CN102043071B - 检查用夹具以及触头 - Google Patents

Abstract

本发明提供检查用夹具以及触头。提供具有可应对基板的细小化及复杂化，并具备部件个数减低的简单化构造的四端子测定用的触头的检查用夹具。检查用夹具特征在于具有：上方端压接于电极部的导电性的筒形状的第一筒体；从第一筒体的下方端开口部突出，以电连接的方式同轴配置在第一筒体内，上方端配置在第一筒体内部且下方端压接于检查点的导电性的筒形状的第二筒体；和不与第一和第二筒体电连接且同轴收纳在第一和第二筒体内部，上方端压接于电极部且下方端压接于检查点的导电性的筒形状的第三筒体，第一筒体在第一筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状第一切口部，第一筒体在比第一切口部靠下方端侧的位置具有与第二筒体固定的第一固定部。

Description

检查用夹具以及触头

技术领域

本发明涉及对预先设定在被检查物的检查对象部上的检查点和用于实施该检查的检查装置进行电连接的检查用夹具，尤其涉及能够容易地进行四端子测定的检查用触头和使用该触头的检查用夹具。

背景技术

本发明的检查用夹具，对于被检查物所具有的检查对象部，从检查装置对规定检查位置供给电力或电气信号，并且从检查对象部检测电气信号，由此能够检测检查对象部的电气特性，或者进行动作试验。

本发明的被检查物，能够列举出例如印刷布线基板、柔性基板、陶瓷多层布线基板、液晶显示器或等离子显示器用的电极板、以及半导体封装用的封装基板或者膜式载体等各种基板、半导体晶片或半导体芯片、CSP(Chip size package)等的半导体装置。

在本说明书中，将这些上述的被检查物统称为“被检查物”，将形成在被检查物的检查对象部称为“检查部”。此外，在检查部设定用于实际检查该检查部的电气特性的检查点，通过使触头压接于该检查点，来检测检查部的电气特性。

以往，在作为被检查物的一实施方式的电路基板上形成有多个布线。该布线被形成用于供给电力或流过电气信号，以使搭载在电路基板上的电气、电子部件具有期望的功能。因此，布线不良会导致电路基板的动作不良。

为了解决该问题，曾经提出过多个判定形成在电路基板、半导体装置等被检查物的布线的对象部是否良好的检查装置的发明。

该检查装置为了对例如作为被检查物的基板上所形成的布线是否良好进行判断，使用具有与预先设定在布线上的多个检查点分别连接的多个触头(探针)的检查用夹具来实施检查。

该检查用夹具的触头的一端被压接在布线(检查部)上的检查点，其另一端被压接在与基板检查装置电气连接的电极部。于是，借助该检查用夹具，从基板检查装置供给用于测定布线的电气特性的电流、电压，并且向基板检查装置发送来自布线的电气信号。

近年来，由于技术的进步，半导体装置变小、基板变小，基板上的布线也随之形成得更加细小且复杂。随着该基板的布线向细小化及复杂化发展，检查用夹具所具有的触头也被要求触头本身细线化、触头间距狭小化、多针化、简单化。

尤其在对细小化及复杂化的被检查物的对象部进行测定时，由于对象部与触头接触时产生的接触阻力值的影响较大，因此实施四端子测定法。在该四端子测定法中，需要相对检查点配置电流供给用和电压检测用这两组电气独立的触头。因此，相比通常情况要求更加细线化的触头。

此处，例如在专利文献1所公开的检查用夹具的触头中，具备筒状部件的第一电极部、和与该第一电极部内部绝缘且配置在其内部的第二电极部，使第一电极部和第二电极部同时与检查点接触。

但是，在专利文献1所公开的检查用夹具中，由于由使用绕线的螺旋弹簧来形成，因此很难形成具有比线圈直径的四倍左右小的直径的线圈，极难形成外径在100μm以下的绕线螺旋弹簧，作为检查用夹具极难进行组装。即使能够形成，在制造成本上利用到2000～4000根检查用夹具也过于昂贵，具有不切实际的问题。

[专利文献1]日本特开2005-249447号公报

发明内容

本发明提供一种具有能够应对基板的细小化及复杂化，并且具备部件个数减低的简单化构造的四端子测定用的触头的检查用夹具。

为了解决上述的课题，本发明的特征在于，本发明所涉及的检查用夹具具备：连接电极体，该连接电极体具备多个与检查装置电连接的电极部；导电性的筒形状的第一筒体，该第一筒体的上方端压接于上述电极部；导电性的筒形状的第二筒体，该第二筒体从上述第一筒体的下方端开口部突出，并以与该第一筒体电连接的方式同轴地配置在该第一筒体内，该第二筒体的上方端配置在该第一筒体的内部，且该第二筒体的下方端压接于上述检查部；导电性的筒形状的第三筒体，该第三筒体并不与上述第一筒体和上述第二筒体电连接，且同轴地收纳在该第一筒体和该第二筒体内部，该第三筒体的上方端压接于上述电极部，且该第三筒体的下方端压接于上述检查部；第一板状部件，该第一板状部件具有用于将上述第二筒体和第三筒体的各自的下方端引导至上述检查点的第一引导孔；以及第二板状部件，该第二板状部件具有用于将上述第一筒体和上述第三筒体的各自的上方端引导至上述电极部的第二引导孔，且该第二板状部件被配置成与上述第一板状部件隔开预定间隔，上述第一筒体在该第一筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的第一切口部，上述第三筒体在该第三筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的第二切口部，上述第一筒体在比上述第一切口部更靠下方端侧的位置具有用于与上述第二筒体固定的第一固定部。

上述第一引导孔可以具有比上述第一筒体的外径小且比第二筒体的外径大的孔径。在此，“比第二筒体的外径大的孔径”意味着“比第二筒体的外径稍微大的孔径”。对于“稍微”的上限和下限属于能够以本领域技术人员的水平根据环境而变更的设计事项。以下在本说明书中相同。

上述第三筒体形成为，设于该第三筒体的下方侧的一个切口部可以存在于第一引导孔的内部。

上述第一引导孔可以具有：第一引导上孔，该第一引导上孔具有比上述第一筒体的外径稍大的孔径；以及第一引导下孔，该第一引导下孔与上述第一引导上孔连通连结，并且具有比上述第一筒体的外径小且比上述第二筒体的外径大的孔径。在此，“比第一筒体的外径大的孔径”意味着“比第一筒体的外径稍微大的孔径”。对于“稍微”的上限和下限属于能够以本领域技术人员的水平根据环境而变更的设计事项。以下在本说明书中相同。

上述第三筒体可以在上方端与下方端之间的筒壁部具有螺旋状的两个第二切口部，这两个第二切口部彼此隔开距离，并且，在这两个第二切口部之间具有用于与上述第二筒体固定的第二固定部。

第三筒体的第二切口部可以以相对于该第三筒体的中心呈对称形状的方式来配置。在此，“相对于第三筒体的中心呈对称”意味着“包含相对于第三筒体的中心呈大致对称的对称”。对于“大致”的上限和下限属于能够以本领域技术人员的水平根据环境而变更的设计事项。以下在本说明书中相同。

并且，本发明所涉及的触头的特征在于，该触头是在检查用夹具中使用的触头，该检查用夹具对被检查物和检查装置进行电连接，上述被检查物具有作为被检查对象的检查部，上述检查装置用于检查检查部的电气特性，其中，上述触头具备：导电性的筒形状的第一筒体，该第一筒体的上方端压接于上述电极部；导电性的筒形状的第二筒体，该第二筒体从上述第一筒体的下方端开口部突出，并以与该第一筒体电连接的方式同轴地配置在该第一筒体内，该第二筒体的上方端配置在该第一筒体的内部，且该第二筒体的下方端压接于上述检查部；以及导电性的筒形状的第三筒体，该第三筒体并不与上述第一筒体和上述第二筒体分别电连接，且同轴地收纳在该第一筒体和该第二筒体内部，该第三筒体的上方端压接于上述电极部，且该第三筒体的下方端压接于上述检查部，上述第一筒体在该第一筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的第一切口部，上述第三筒体在该第三筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的两个第二切口部，这两个第二切口部彼此隔开距离，上述第一筒体在比上述第一切口部更靠下方端侧的位置具有与上述第二筒体固定的第一固定部，上述第三筒体在上述两个第二切口部之间具有用于与上述第二筒体固定的第二固定部。

上述第三筒体的第二切口部可以以相对于该第三筒体的中心呈对称形状的方式来配置。

并且，本发明所涉及的触头的特征在于，该触头是在检查用夹具中使用的触头，该检查用夹具对被检查物和检查装置进行电连接，上述被检查物具有作为被检查对象的检查部，上述检查装置用于检查检查部的电气特性，其中，上述触头具有：由导电性的筒状部件形成的内侧触头，该内侧触头的一方端压接于电极部，且另一方端压接于检查点；以及由导电性的筒状部件形成的外侧触头，该外侧触头将上述内侧触头以非导电状态收纳于内部，该外侧触头的一方端压接于电极部，且另一方端压接于检查点，上述内侧触头和上述外侧触头在上述一方端与另一方端之间的筒壁部形成有螺旋状的切口部，上述外侧触头的筒状部件的外侧壁面形成为从上述另一方端侧朝向上述一方端侧逐渐或者阶梯状地变大。

根据第一方面所记载的发明，通过使用导电性的第一筒体、以比该第一筒体突出的方式收纳于该第一筒体的内部的导电性的第二筒体、以及收纳于该第二筒体内部的导电性的第三筒体，本检查用夹具所具备的触头具有配置在同轴上的两个端子(外侧触头和内侧触头)。并且，收纳于第一筒体内部的第二筒体的下方端和收纳于第二筒体内部的第三筒体的下方端与检查部侧接触，将第二筒体收纳于内部的第一筒体的上方端和收纳于第二筒体内部的第三筒体的上方端与电极部侧接触，因此，能够使上方端(电极部侧)的2个端子的间距比下方侧(检查部侧)的2个端子的间距宽，因此能够避免电极部的间距狭小化，并且对于间距狭小的检查点也能够有效地利用。进一步，通过将第二筒体作为第一筒体和第三筒体的引导件，能够确保触头的强度并且能够使双方可靠地垂直伸缩。另外，由于两个触头由一体型的三个筒状部件形成，因此能够减少部件数量并简单化。

根据第二方面所记载的发明，当触头被保持于检查用夹具时，该触头的第一筒体下方端与第一板状部件上表面接触，由此能够防止触头脱落。

根据第三方面所记载的发明，由于第三筒体形成为，设于下方侧的一个切口部存在于第一引导孔的内部，因此，形成该第一引导孔的第一板状部件能够对该切口部的伸缩动作进行引导，能够稳定地进行伸缩动作。

根据第四方面所记载的发明，当触头被保持于检查用夹具时，该触头的第一筒体下方端与形成第一引导下孔的第一板状部件的上表面(第一引导上孔与第一引导下孔之间的边界面)接触，由此能够高精度地将触头保持在适当的位置，并且能够以第二筒体下方端和第三筒体下方端可与检查点接触的方式保持触头。

根据第五方面所记载的发明，由于在第三筒体上夹着第二固定部形成有两个切口部，因此，上方端侧的切口部根据来自电极部的挤压力而伸缩，下方端侧的切口部根据来自检查点的挤压力而伸缩，因此，能够实现各个切口部独立地伸缩的功能。

根据第六方面所记载的发明，由于第三筒体的第二切口部以相对于第三筒体的中心呈大致对称形状的方式来配置，因此，当组装触头时无需区分第三筒体的上方端或下方端，能够缩短触头的制作所需要的时间。

根据第七方面和第九方面的发明，通过使用导电性的第一筒体、以比该第一筒体的开口突出的方式收纳于该第一筒体的内部的导电性的第二筒体、以及收纳于该第二筒体内部的导电性的第三筒体，检查用夹具的触头的上方端和下方端配置在同轴上。并且，收纳于第一筒体内部的第二筒体的下方端和收纳于第二筒体内部的第三筒体的下方端与检查部侧接触，将第二筒体收纳于内部的第一筒体的上方端和收纳于第二筒体内部的第三筒体的上方端与电极部侧接触，因此，能够使上方端(电极部侧)的2个端子的间距比下方侧(检查部侧)的2个端子的间距宽，因此能够避免电极部的间距狭小化，并且对于间距狭小的检查点也能够有效地利用。进一步，通过将第二筒体作为第一筒体和第三筒体的引导件，能够确保触头的强度并且能够使双方可靠地垂直伸缩。另外，由于两个触头由一体型的三个筒状部件形成，因此能够减少部件数量并简单化。

根据第八方面所记载的发明，由于第三筒体的第二切口部以相对于第三筒体的中心呈大致对称形状的方式来配置，因此，当组装触头时无需区分第三筒体的上方端或下方端，能够缩短触头的制作所需要的时间。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的检查用夹具的一个实施方式的简略结构图。

图2是本发明的第一实施方式的触头(第一触头)的简略截面图。

图3是构成第一触头的外侧触头的分解截面图，(a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体，(c)表示第二筒体配置在第一筒体内的状态。

图4表示内侧触头(第三筒体)的简略截面图。

图5是使用第一触头的检查用夹具的简略截面图。

图6是表示使用第一触头的检查用夹具的检查时的状态的简略截面图。

图7是本发明的第二实施方式的触头(第二触头)的简略截面图。

图8是使用第二触头的检查用夹具的简略截面图。

图9是表示使用第二触头的检查用夹具的动作的状态的简略截面图。

图10是本发明的第三实施方式的触头(第三触头)的简略截面图。

符号说明

1...检查用夹具；2...触头；211...第一筒体；211b...第一切口部；211c...第一固定部；212...第二筒体；212b...第二固定部；213...第三筒体；213b...第二切口部；213e...第三切口部；213d...第三固定部；3...保持体；31...第一板状部件；311...第一引导孔；32...第二板状部件；321...第二引导孔；4...连接电极体；41...电极部；5...导线部。

具体实施方式

对用于实施本发明的实施方式进行说明。

图1是表示本发明所涉及的检查用夹具的一个实施方式的简略结构图。本发明所涉及的检查用夹具1具有多个触头2、将这些触头2保持成多针状的保持体3、支承该保持体3并具有与触头2接触而成为导通状态的电极部41(参照图5)的连接电极体4、和设置为从电极部41延伸出来并与之电气连接的导线部5。

此外，图1中作为多个触头2虽然示出3根触头并且还示出了分别对应的3根导线部5，但它们可根据检查对象的基板所设定的检查点来决定，而不局限为3根。

本发明的主要特征在于，利用三个导电性的筒状部件中的两个作为第一触头，利用剩余的一个筒状部件作为第二触头，由此，作为具有外侧触头和内侧触头这两个触头的触头加以使用，从而能够利用于四端子测定。

通过以这种方式构成，外侧触头的下方端(第二筒体的下方端)和内侧触头的下方端(第三筒体的下方端)与检查点接触，外侧触头的上方端(第一筒体的上方端)和内侧触头的上方端(第三筒体的上方端)与电极部接触。

对本发明所涉及的第一实施方式的触头(以下称为第一触头)进行说明。图2是本发明的第一触头的简略截面图，图3表示构成第一触头的外侧触头的分解截面图，(a)表示第一筒体，(b)表示第二筒体，(c)表示第二筒体配置在第一筒体内的状态，图4表示第三筒体的简略截面图。

如上所述，该第一触头2具有外侧触头21和内侧触头22，内侧触头22以与外侧触头21绝缘的状态配置在外侧触头21的内部。

外侧触头21具有第一筒体211和第二筒体212，内侧触头22由第三筒体213形成。对于第一触头2，如图2所示，外侧触头21的第一筒体211配置在最外侧，外侧触头21的第二筒体212配置在第一筒体211的内侧，第三筒体213配置在最内侧。这样，第一触头2通过直径不同的三个筒状部件配置成同心轴状而构成。

第一筒体211形成外侧触头21的一部分并形成外侧触头21的与电极部抵接的部位。该第一筒体211是三个筒状部件中的具有最大直径的筒状部件。该第一筒体211具有预定的长度，并且形成为具有两端开口部的导电性的中空状的圆柱形状(筒形状)。该第一筒体211的一端开口部与后述的电极部41连接，由此能够使电极部与外侧触头21电连接。

第一筒体211由第一顶端部211a、第一切口部211b、第一固定部211c以及第一后端部211d各个部位形成(参照图3(a))。由于第一顶端部211a、第一切口部211b以及第一后端部211d从同一个筒状部件形成各个部位，因此各个部位具有相同的外径和内径，第一固定部211c形成于该筒状部件的壁面。对于本发明的第一筒体211，通过在一根筒状部件的壁面设置螺旋状的切口而形成切口部，并将夹着该切口部的两个筒状部件分别形成为第一顶端部和第一后端部。另外，该第一切口部211b的长度并无特殊限定，需要以具有期望的伸缩长度的方式对长度进行调整，只要第一筒体211的强度足够即可，也可以遍及第一筒体211的大致全长形成切口部。

第一顶端部211a具有与电极部41抵接的一方开口的上端面，该第一顶端部211a的上端面相当于第一筒体211的上方端。第一顶端部211a贯通支承在后述的第二板状部件32的第二引导孔321内部，并被引导至预定的第一电极部411。第一顶端部211a的长轴方向的长度并无特殊限定，优选形成得比第二板状部件32的厚度长。第一顶端部211a的下端与后述的第一切口部211b的上端连通连结。

第一切口部211b形成在第一顶端部211a和第一后端部211d之间，该第一切口部211b的上端与第一顶端部211a的下端连通连结，该第一切口部211b的下端与后述的第一后端部211d的上端连通连结。如上所述，该第一切口部211b通过沿着作为第一筒体的筒状部件的壁面形成螺旋状的切口而形成。通过以这种方式在第一筒体211形成螺旋状的切口，该第一切口部211b作为在第一筒体的长轴方向伸缩的伸缩部发挥功能。另外，该切口部211b所具有的伸缩特性可以通过切口部的宽度或长度和筒状部件的厚度的调整、筒状部件的材料的种类、对筒状部件施加的各种处理(热处理或化学处理等)、或者各种机械加工处理(塑性加工等)适当调整，由使用者适当调整。另外，切口部在图中设有一个，但是也可以设有多个。

第一后端部211d的上端与第一切口部211b的下端连通连结，第一后端部211d的下端开口部相当于第一筒体211的下方端。对于该第一后端部211d，第一板状部件31与该第一后端部211d的下方面抵接。因此，第一筒体211的作为上方端的第一顶端部211a的上方面与电极部抵接，第一筒体211的作为下方端的第一后端部211d的下方面与第一板状部件31抵接(参照图5)。第一后端部211d的长轴方向的长度形成为具有如上所述地第一后端部211d的下方面能够与第一板状部件31抵接的长度。另外，该第一后端部211d以使后述的第二筒体从该第一后端部211d的开口部突出的方式设置。

第一固定部211c对第一筒体211和第二筒体212进行电连接。该第一固定部211c形成于第一后端部211d。在该图3(a)所示的第一固定部211c处，表示了通过从第一筒体211(第一后端部211d)侧朝第二筒体212侧进行挤压而形成第一后端部211d朝内侧弯曲的凹部的状态。另外，该凹部是在将第二筒体212配置在第一筒体211内之后的情况下为了对第一筒体211和第二筒体212进行固定而形成的，也可以预先形成于第一筒体211。并且，该凹部是在为了对第一筒体211和第二筒体212进行固定而从外侧(第一筒体211)朝内侧(第二筒体212)进行挤压(敛缝)来进行固定的情况下形成的。

基于第一固定部211c的第一筒体和第二筒体的固定方法并不限定于该敛缝的方法，也可以使用激光焊接、电弧焊接或者粘结剂等其他的固定方法。另外，虽然作为第一筒体211和第二筒体212的固定方法，在采用焊接等的第一筒体211和第二筒体212电连接的固定方法的情况下，不需要利用焊锡或导线等进行连接，但是，在采用第一筒体211和第二筒体212并不电连接的固定方法的情况下，例如也能够利用焊锡或导线等对第一筒体211和第二筒体212进行电连接。

如上所述，第一筒体211能够由一根导电性的筒状部件形成，例如形成为外径40～250μm、内径30～240μm、壁厚5～50μm。

优选第一筒体211的长轴方向的长度形成得比后述的第一板状部件31与第二板状部件32之间的间隔和第一引导上孔311的深度的总计的长度稍长。这是为了在第一触头2被保持于保持体3的情况下使第一切口部211b收缩而处于施力状态，从而成为第一筒体211的上端稳定地压接电极部的状态。

第一筒体211的上端与电极部接触，与第一筒体211电连接的第二筒体212以从第一筒体211的下端突出的方式配置。第一筒体211和第二筒体212由导电性的材料形成。作为该材料，只要是具有导电性的材料即可，并无特殊限定，例如能够举例表示镍、镍合金、钯合金。

第一顶端部211a、第一切口部211b以及第一后端部211d分别配置于第一筒体211，但这些部位也可以配置成相对于第一筒体211位于对称的位置。在以这种方式配置的情况下，第一筒体211具有对称形状，从而消除上下方向的差异，因此组装变得容易。

第二筒体212形成外侧触头21的一部分且是外侧触头21的用于与检查点抵接的部件。该第二筒体212在三个筒状部件内具有大致中间大小的直径，具有预定的长度，且由导电性的材料形成。该第二筒体212形成为具有两端开口的中空状的圆柱形状(筒形状)。第二筒体212以其下方端与检查点接触、并且上方端始终存在于第一筒体211内部的方式配置。另外，外侧触头21使用彼此电连接的第一筒体211和第二筒体212，电极部41与第一筒体211导通接触，检查点与第二筒体212导通接触，由此检查点与电极部电连接。

该第二筒体212具有第二顶端部212a、第二固定部212b以及第二后端部212c。第二顶端部212a和第二后端部212c由一根筒状部件形成，具有相同的外径和内径，第二固定部212b形成在该筒状部件的壁面上。

第二顶端部212a是形成第二筒体212的筒状部件的一方端部，从后述的第二固定部212b到电极部侧的部位相当于该第二顶端部212a。该第二顶端部212a始终被收纳配置在第一筒体211内。为了使该第二顶端部212a如上所述地始终被收纳于第一筒体211内，第二顶端部212a的长度需要形成为如下的长度：即便是在利用第一筒体211所具有的第一切口部211b的伸缩功能使第一筒体211缩短的情况下，该第二顶端部212a也不会从第一筒体211的上方端突出的长度。

第二后端部212c是形成第二筒体212的筒状部件的另一方端部，从后述的第二固定部212b到检查点侧的部位相当于该第二后端部212c，该第二后端部212c的另一方开口部作为外侧触头21的下方端与检查点导通接触。第二后端部212c的长度需要形成为如上所述地比第一筒体211的第一后端部211d的另一方开口部突出配置的长度。

第二固定部212b对第一筒体211和第二筒体212进行电连接。该第二固定部212b形成在与上述的第一固定部211c相同的位置。第二固定部212b优选形成在从第二筒体212的中央偏移的位置(在图3中为比中央更靠下方侧的位置)。这是为了将第二固定部212b形成在与配置在第一后端部211d上的第一固定部211c的位置对应的位置。第一筒体211和第二筒体212以这种方式被固定，由此，由于第一固定部211c存在于比第一切口部211b靠下方端侧的第一后端部211d上，因此，通过第一切口部211b伸缩，第二顶端部212a在第一筒体211的内部空间中相对移动。另外，图3(b)中所示的第二固定部212b表示为朝内侧弯曲的内侧凹部，该内侧凹部是在将第二筒体212收纳在第一筒体211内部之后为了对第一筒体211、第二筒体212以及第三筒体213进行固定而形成的，但也可以预先形成于第二筒体212。并且，该内侧凹部是在为了对第一筒体211和第二筒体212进行固定而从外侧(第一筒体211)朝内侧(第二筒体212)进行挤压(敛缝)来进行固定的情况下形成的。该第一筒体和第二筒体的固定方法并不限定于敛缝，也可以采用激光焊接、电弧焊接、粘结剂等其他的固定方法。

第二筒体212由一根导电性的筒状部件形成，例如形成为外径20～220μm、内径10～200μm、壁厚5～50μm。

第二筒体212也可以通过以相对于中心点对称或者相对于中心轴线对称的方式配置各个部位而形成。在像这样以成为对称形状的方式形成的情况下，当制造外侧触头21时，能够无区别地对待第二筒体212的上下。

与第一筒体211同样，第二筒体212也由导电性的材料形成。作为该材料，只要是具有导电性的材料即可，并无特殊限定，例如能够举例表示镍、镍合金、钯合金。

如图3(c)所示，第一筒体211和第二筒体212以在一侧第一筒体211突出、在另一侧第二筒体212突出的方式配置，由此形成外侧触头21。第一筒体211和第二筒体212利用第一固定部211c和第二固定部211b电连接并固定，因此，通过使第一筒体211的上方端与电极部接触、使第二筒体212的下方端与检查点接触，能够作为对电极部和检查点进行电连接的触头发挥功能。

其次，对形成第一触头2的作为内侧触头22的第三筒体213进行说明(参照图4)。该第三筒体213形成内侧触头22，并且形成内侧触头22与电极部和检查点抵接的部位。该第三筒体213是三个筒状部件中的具有最小直径的筒状部件。该第三筒体213具有预定的长度，并且形成具有两端开口的导电性的中空状的圆柱形状(筒形状)。

第三筒体213由第三顶端部213a、第二切口部213b、中间部213c、第三固定部213d、第三切口部213e以及第三后端部213f各个部位形成(参照图4)。第三顶端部213a、第二切口部213b、中间部213c、第三切口部213e以及第三后端部213f各个部位由同一筒状部件构成，因此，各个部位具有相同的外径和内径，第三固定部213d形成于该筒状部件的壁面。对于本发明的第三筒体213，通过在一根筒状部件的壁面设置螺旋状的切口而形成切口部，并将夹着该切口部的两个筒状部件分别形成为第三顶端部213a和第三后端部213f。另外，该第二切口部213b和第三切口部213e的长度并无特殊限定，需要以具有期望的伸缩长度的方式对长度进行调整，只要第三筒体213的强度足够即可，也可以遍及第三筒体213的大致全长形成切口部。

第三顶端部213a具有与电极部41抵接的上方开口的上端面，该第三顶端部213a的上端面相当于内侧触头22的上方端。第三顶端部213a贯通支承在后述的第二板状部件32的第二引导孔321的内部，并被引导至预定的第二电极部412。第三顶端部213a的长轴方向的长度并无特殊限定，但优选形成为比第二板状部件32的厚度长。第三顶端部213a的下端与后述的第二切口部213b上端连通连结。

第二切口部213b形成在第三顶端部213a和中间部213c之间，其上端与第三顶端部213a的下端连通连结，下端与后述的中间部213c的上端连通连结。如上所述，该第二切口部213b通过沿着作为第三筒体的筒状部件的壁面形成螺旋状的切口而形成。通过以这种方式在第三筒体213形成螺旋状的切口，该第二切口部213b作为在第三筒体的长轴方向伸缩的伸缩部发挥功能。另外，该切口部213b所具有的伸缩的特性可以通过切口部的宽度或长度和筒状部件的厚度的调整、筒状部件的材料的种类、对筒状部件施加的各种处理(热处理或化学处理等)、或者各种机械加工处理(塑性加工等)适当调整，由使用者适当调整。并且，该切口部213b在图中设有一个，但是也可以设有多个。

中间部213c形成在第三筒体213的第二切口部213b和第三切口部213e之间，其上端与第二切口部213b下端连通连结，其下端与后述的第三切口部213e上端连通连结。该中间部213c具有后述的第三固定部213d，并电绝缘地固定于第一筒体211和第二筒体212。

第三固定部213d以绝缘状态固定第二筒体212和第三筒体213。该第三固定部213d形成于中间部213c。在该图4中所示的第三固定部213d处，通过从第二筒体212(第二后端部212c)侧朝第三筒体213侧进行挤压而进行固定。另外，该固定部是在将第三筒体213配置在第二筒体212内之后的情况下为了对第二筒体212和第三筒体213进行固定而形成的，但也可以预先形成于第三筒体213。并且，该固定部是在为了对第二筒体212和第三筒体213进行固定而从外侧(第二筒体212)朝内侧(第三筒体213)进行挤压(敛缝)以进行固定的情况下形成的。

基于第三固定部213d的第二筒体和第三筒体的固定方法并不限定于该敛缝的方法，也可以采用粘结剂等其他的固定方法。但是，由于第二筒体212和第三筒体213必须以绝缘状态固定，因此不能采用电连接的固定方法。

第三切口部213e形成在中间部213c与第三后端部213f之间，其上端与中间部213c的下端连通连结，其下端与后述的第三后端部213f的上端连通连结。如上所述，该第三切口部213e通过沿着作为第三筒体的筒状部件的壁面形成螺旋状的切口而形成。通过以这种方式在第三筒体213形成螺旋状的切口，该第三切口部213e作为在第三筒体的长轴方向伸缩的伸缩部发挥功能。另外，该切口部213e所具有的伸缩的特性可以通过切口部的宽度或长度和筒状部件的厚度的调整、筒状部件的材料的种类、对筒状部件施加的各种处理(热处理或化学处理等)、或者各种机械加工处理(塑性加工等)适当调整，由使用者适当调整。并且，该第三切口部在图中设有一个，但是也可以设有多个。

第三后端部213f的上端与第三切口部213e的下端连通连结，下端开口相当于第三筒体213的下方端。因此，第三筒体213的作为上方端的第三顶端部213a的上方面与电极部抵接，作为下方端的第三后端部213f的下方面与检查点抵接。如上所述，第三后端部213f的长轴方向的长度形成为具有第三后端部213f的下方面能够抵接于检查点的长度。

第三筒体213能够由一根导电性的筒状部件形成，例如形成为外径20～220μm、内径10～200μm、壁厚5～50μm。

优选第三筒体213的长轴方向的长度形成为比后述的第一板状部件31的下表面与第二板状部件32的上表面之间的间隔稍长。这是为了在当第一触头2被保持于保持体3时使第二切口部213b收缩而处于施力状态，从而成为第三筒体213的上端部稳定地压接于电极部的状态。

第三筒体213的上端与电极部接触，下端与检查点接触，经由该第三筒体213实现检查点与电极部之间的电导通。另外，第三筒体213由导电性的材料形成。作为该第三筒体213的材料，只要是具有导电性的材料即可，并无特殊限定，例如能够举例表示镍、镍合金、钯合金。

第三顶端部213a、第二切口部213b、中间部213c、第三切口部213e以及第三后端部213f分别配置于第三筒体213，但是，这些部位也可以配置成相对于第三筒体213位于对称的位置。在以这种方式配置的情况下，第三筒体213具有对称形状，由此消除上下方向的差异，组装变得容易。

第一触头2以将作为内侧触头的第三筒体213收纳于外侧触头(第一筒体211和第二筒体212)的内部的方式配置，因此，如图4所示，优选在第三筒体213的筒状部件部分的外侧周缘形成绝缘被膜213g。该绝缘被膜213g例如能够利用聚酰亚胺、聚四氟乙烯(PTFE)或环氧树脂。该绝缘被膜213g的厚度例如形成为1～5μm。另外，也可以在切口部的外侧周缘也形成有该绝缘被膜。

在图4的实施方式中，该绝缘被膜213g形成于第三筒体213的外侧周缘，但是，也可以形成于第二筒体212的内侧周缘。

当第一触头2被挤压于检查点、电极部时，外侧触头21的下方端(第二筒体212的下方端)和内侧触头22的下方端(第三筒体213的下方端)与检查点抵接，外侧触头21的上方端(第一筒体211的上方端)和内侧触头的上方端(第三筒体213的上方端)与电极部抵接。

如图2所示，第三筒体213以从第一筒体211的上方端开口部和第二筒体212的下方端开口部突出的方式配置，但是，第三筒体213也能够以完全不突出的方式配置。由于第一筒体211和第三筒体213均具备具有伸缩功能的切口部，因此，无论在平面上哪个筒体突出，当从检查点或者电极部挤压时切口部充分地收缩，由此，第一筒体211和第二筒体212(外侧触头)以及第三筒体213(内侧触头)双方都能够与检查点、电极部抵接。

图5是表示第一触头2安装于保持体的状态的截面图。检查用夹具1具有用于保持第一触头2的保持体3。该保持体3具有第一板状部件31和第二板状部件32。

第一板状部件31具有用于将第一触头2的下方端引导至检查点的第一引导上孔311和第一引导下孔312。第一引导上孔311形成为具有比第一筒体211的外径稍大的内径。并且，第一引导下孔312与第一引导上孔311连通连结，且形成为具有比第一筒体211的外径稍小且比第二筒体212的外径稍大的内径。

通过以这种方式形成第一引导上孔311和第一引导下孔312，当将第一触头2从后述的第二引导孔321插入并保持于保持体3时，由于第一筒体211的第一后端部211d下端的外径与第一引导下孔312的直径的差异，能够卡定第一触头2。进一步，由于第一后端部211d的外径与第一引导上孔311的内径的差极小，因此能够更高精度地将第一触头2保持于保持体3。

另外，该第一板状部件31的厚度并无特殊限定，但是，优选形成为比第一后端部211d的长度短。这是为了使第一后端部211d能够沿着第一引导上孔311可靠地伸缩。

第二板状部件32配置成与第一板状部件31具有预定间隔，并且具有用于将第一触头2的上方端引导至电极部41的第二引导孔321。第二引导孔321形成为具有比第一筒体211的外径稍大的孔径。另外，该第二板状部件32的后端并无特殊限定，但优选形成为比第一顶端部211a的长度短。这是为了使第一顶端部211a能够沿着第二引导孔321可靠地被引导。并且，第一板状部件31的下表面与第二板状部件32的上表面之间的间隔并无特殊限定，但优选以比第一触头2的长度(外侧触头和内侧触头的长度)稍短的方式配置。

当将第一触头2装配于保持体3时，使第一触头2的下端部穿过第二引导孔32，然后使该下端部穿过第一引导上孔311和第一引导下孔312，从而进行装配。此时，第一触头2以分别从第一引导下孔312和第二引导孔321突出至外侧的方式配置。

在检查用夹具1的连接电极体4形成有与各个第一触头2对应的电极部41。该电极部41具有第一电极部411和第二电极部412，第一电极部411与第一筒体211抵接而成为导通状态，第二电极部412与第三筒体213抵接而成为导通状态。

图5所示的电极部41表示了第一电极部411和第二电极部412，这些电极部分别由导线形成，且形成为各自的端面与各个筒体的端部接触。第一电极部411和第二电极部412形成为与各个筒体接触、且配置在最远的位置(具有最大的空间的位置)。

另外，电极部41的构造除了图5所示的构造之外，例如还可以形成为以下的同轴构造：使用同轴电缆这样的构造的电线、内部导体同轴地配置于筒状的外部导体的内部。并且，内部导体可以是实心的圆柱形状，也可以是中空的筒形状。在该情况下，该电极部的外部导体与第一电极部411对应，内部导体与第二电极部412对应。

图6是表示使用第一触头的检查用夹具的检查时的状态的简略截面图。对于第一触头2，在装配于保持体3的情况下，从第二板状部件32的第二引导孔321插入，并被引导至第一板状部件31的第一引导上孔311和第一引导下孔312。此时，对于该第一触头2，第一筒体211在第一引导上孔311和第一引导上孔312的孔径不同的边界处被卡定。

在第一触头2被插入保持体3之后，以第一触头2的上方端抵靠于电极部41的方式使第二板状部件32与连接电极体4抵接。此时，由于第一触头2的外侧出头21和内侧触头22分别被压接于第一电极部411和第二电极部412，因此，各个第一切口部211b和第二切口部213b收缩而成为施力状态。因此，无论外侧触头的下方端(第二筒体212的第二后端部212c的下端)和内侧触头的下方端(第三筒体213的第三后端部213f的下方面)是否与检查点抵接，外侧触头和内侧触头的上方端都稳定地与电极部41接触。并且，配置于内侧触头22的下方端侧的第三切口部213e为自然长度的状态、是待检查的状态，仅在实际的检查时该切口部沿第三筒体213的长轴方向收缩。另外，外侧触头的第一切口部211b在外侧触头的上方端(第一筒体211的上方端)压接于电极部时收缩，但是，优选形成为在外侧触头的下方端(第二筒体212的下方端)与检查点接触时也能够收缩。

以上是第一实施方式的检查用夹具的结构的说明。

如上所述，该第一触头2由第一筒体211、第二筒体212以及第三筒体213构成，且分别由具有导电性的材料形成。对于该第一触头1，与被检查物的微细化和复杂化对应，触头自身需要细线化。另一方面，为了使触头在与保持体成直角的方向伸缩，需要使探针自身具有伸缩功能。但是，如果利用以往的采用绕线的螺旋弹簧形成具有伸缩功能的部位，则该部位的外径由绕线自身的直径的大小决定。这意味着难以形成具有比绕线的直径的四倍左右小的直径的螺旋弹簧，特别是极难形成外径在100μm以下的螺旋弹簧。并且，即便能够形成这种螺旋弹簧并制造触头，由于组装性或制造成本的问题，在利用于由2～4千根的触头构成的检查用夹具时也过于昂贵，存在不实用的问题点。

因此，在本发明中，通过利用如下所述的制造方法，能够更廉价且容易地制造微细的触头。该制造方法能够公开如下所述的两个制造方法。

[制法例1]

(1)首先，准备用于形成第一筒体211的中空部的芯线(未图示)。另外，该芯线采用规定第一筒体211的内径的期望的粗细的具有导电性的芯线(例如直径30μm，不锈钢(SUS))。

(2)其次，在芯线(不锈钢线)涂敷光致抗蚀剂被膜，覆盖该芯线的周面。对该光致抗蚀剂的期望的部分进行曝光、显影、加热处理来形成螺旋状的掩膜。此时，例如能够使芯线沿着中心轴旋转，并利用激光进行曝光而形成螺旋状的掩膜。为了形成本发明的第一筒体211，在预定的位置(第一筒体的大致中央部)形成切口部(第一切口部211b)。

(3)其次，对该芯线实施镀镍。此时，由于芯线具有导电性，所以没有形成光致抗蚀剂掩膜的部位被镀镍。

(4)其次，除去光致抗蚀剂掩膜，抽出芯线，形成期望长度的第一筒体211。当然也可以在将芯线完全抽出之后将筒体切断。

并且，第一筒体211也能够以下述的方法制造。

[制法例2]

首先，如上所述准备用于形成第一筒体211的中空部的芯线(未图示)。对该芯线镀镍达到期望的厚度，从而在芯线的周面形成镀镍层。

(2)其次，在该镀镍层的表面涂敷光致抗蚀剂。对该光致抗蚀剂的期望的部分进行曝光、显影、加热处理来形成螺旋状的掩膜。此时，例如能够使芯线沿着中心轴旋转，并利用激光进行曝光而形成螺旋状的掩膜。为了形成本发明的第一筒体211，在预定的位置(第一筒体的大致中央部)形成切口部(第一切口部211b)。

(3)其次，蚀刻除去镀镍。此时，未形成光致抗蚀剂掩膜的部位的镀镍被除去。

(4)其次，除去光致抗蚀剂掩膜，抽出芯线，形成期望长度的第一筒体211。当然也可以在将芯线完全抽出之后将筒体切断。

以往的采用绕线的螺旋弹簧方式取决于绕线材料的直径，难以形成具有比该直径的四倍左右小的直径的线圈，极难形成100μm以下的螺旋弹簧。基于上述的制法制得的本发明的第一筒体211，在对芯线镀镍而形成期望的形状后，通过抽出芯线而制造得出，与以往的使用绕线的螺旋弹簧方式的情况相比，能够减薄弹簧材料的壁厚，同时能够高精度且自如地一并制造细小的外径及内径。

另外，在[制法例1]和[制法例2]中，当然也可以为了切断筒体而形成光致抗蚀剂掩膜。

第一筒体211的制造方法如上，但是，本发明中的第二筒体212的制造方法除了不需要形成光致抗蚀剂掩膜这点以及筒状部件的直径、内径不同这点以外都与第一筒体211的制造方法同样，因此省略说明。

本发明的第三筒体213形成为2个切口部(第二切口部213b和第三切口部213e)具有预定距离(与中间部213c的长度对应的距离)。因此，形成光致抗蚀剂掩膜的部位和个数不同。并且，筒状部件的直径和内径也与第一筒体不同。除了这些点以外都与第一筒体211的制造方法同样，因此省略制造方法的说明。

其次，对第二实施方式的检查用夹具1’进行说明。图7是本发明的第二实施方式的触头(第二触头)的简略截面图。图8是使用了第二触头的检查用夹具的简略截面图。图9是表示使用了第二触头的检查用夹具的动作的状态的简略截面图。该第二触头2’的基本结构形成为与上述的第一触头2大致同样的结构，具有构成外侧触头21的第一筒体211’和第二筒体212，以及作为内侧触头22的第三筒体223。并且，进一步，第二触头2’形成为：将第二筒体212收纳于第一筒体211’的内部而作为外侧触头21，将作为内侧触头22的第三筒体223收纳于第二筒体212的内部(参照图7)。另外，第二触头2’和第一触头2具有类似的结构，在下述的说明中对不同的结构进行说明，对相同的结构省略说明。

第一触头2和第二触头2’的主要的不同点在于第一筒体211’的长轴方向的长度，第二触头2’的第一筒体211’形成为比第一触头2的第一筒体211的长轴方向的长度短。特别地，该第二触头2’的第一后端部211d’形成为比第一触头2的第一后端部211d的长轴方向的长度短。

并且，在图7所示的第二触头2’的实施例中，形成于内侧触头22的第三筒体223的切口部形成有三个，但是，只要以后述的第三固定部223f作为边界在第三筒体223的上端部侧和下端部侧分别形成有至少一个切口部即可。在图7所示的第二触头2’中，在第三固定部223f的上端部侧形成有第二切口部223b和第三切口部223d两个切口部，在第三固定部223f的下端部侧形成有第四切口部223g一个切口部。另外，第二切口部223b和第三切口部223d产生用于将内侧触头22压接于电极部的挤压力，第四切口部223g产生用于将内侧触头22压接于检查点的挤压力。

如上所述，第二触头2’具有第三固定部223f，该第三固定部223f形成于第二中间部223e(参照图7)。该第三固定部223f是以非导电状态固定第三筒体223和第二筒体212的部位。另外，第一筒体211’和第二筒体212导通连接并借助第一固定部211c和第二固定部212b而被固定，进一步，第二筒体212和第三筒体223借助该第三固定部223f被固定，因此，第一至第三筒体被固定成一体。

在图7所示的第三固定部223f，表示在第二中间部223e的壁面朝内侧弯曲的凹部形状，该凹部是在将第三筒体223收纳于第二筒体212内部之后形成的，并不是预先形成于第三筒体223的。并且，该凹部是为了将第一筒体211’、第二筒体212以及第三筒体223固定成一体而通过从最外侧的第一筒体211’侧朝内侧进行挤压(敛缝)而形成的。该第一至第三筒体的固定方法并不限定于该敛缝，也可以采用激光焊接、电弧焊接、粘结剂等其他的固定方法。另外，该固定方法也可以分两阶段进行：在固定第二筒体和第三筒体之后，将这些筒体固定于第一筒体。

在该第二触头2’的实施例中，与第一触头2不同，第三筒体223的绝缘被膜223i以覆盖第三筒体223的整体表面的方式形成，分别形成于该筒状部件(第三顶端部223a、第三中间部223c、第二中间部223e、第三后端部223h)的表面和切口部部分(第二切口部223b、第三切口部223d、第四切口部223g)的表面。该绝缘被膜223i也可以如第一触头2的实施例所示仅在筒状部件形成绝缘被膜，也可以形成于第二筒体212的内侧表面。

如图7所示，第三筒体223以从第一筒体211’的上方端开口和第二筒体212的下方端开口突出的方式配置，但是，第三筒体223也能够以完全不突出的方式配置。由于第一筒体211’和第三筒体223均具备具有伸缩功能的切口部，因此，无论在平面上哪个筒体突出，当从检查点或者电极部挤压时切口部充分地收缩，由此，外侧触头21和内侧触头22双方都能够与检查点或电极部抵接。

在该图7所示的第二触头2’中，为了固定第一筒体211’、第二筒体212以及第三筒体223，在将三个筒状部件配置于预定的位置之后从第一筒体211’的外侧朝内侧进行挤压(敛缝)而将各个筒状部件形成为一体并固定于同一部位。该各个筒状部件的固定方法并不限定于该敛缝，也可以采用激光焊接、电弧焊接、粘结剂等其他的固定方法。另外，可以如上所述地在将第一至第三筒体全部配置好之后对全部的筒体进行固定，也可以在首先对第一筒体和第二筒体进行固定之后固定第三筒体。或者，也可以在对第二筒体和第三筒体进行固定之后固定第一筒体。另外，第二筒体212和第三筒体223需要以非导电状态固定。

图8是表示第二触头2’安装于保持体3的状态的简略截面图。第二实施方式的检查用夹具1’利用具有第一板状部件33和第二板状部件32的保持体3保持第二触头2’而进行组装。此时，与第一实施方式的检查用夹具1的情况不同，形成于第一板状部件33的第一引导孔331仅形成具有预定孔径的贯通孔。

该第一板状部件33的第一引导孔331形成为具有比第一筒体211’的外径稍小、且比第二筒体212的外径稍大的孔径。通过以这种方式形成第一引导孔331，第一触头2’借助第一筒体211’与第二筒体212之间的阶梯差被卡定。即，虽然第二筒体212能够通过第一板状部件33的第一引导孔331，但是第一筒体211’无法通过第一引导孔331，能够借助该第一引导孔331防止第二触头2’脱出。

另外，此时，第二触头2’优选以第三筒体223的第四切口部223g存在于第一引导孔331内部而被卡定的方式形成第一后端部211d’。通过以这种方式形成第二触头2’，能够增多第二筒体212和第三筒体223的插入于第一引导孔331的部位，在实施检查时第二后端部212c和第三后端部223h能够高精度地与检查点抵接。

在将第二触头2’保持于保持体3之后，以第二触头2’的上方端抵靠于电极部41的方式使第二板状部件32与连接电极体4抵接。此时，第二触头2’的第一筒体211’和第三筒体223分别压接于第一电极部411和第二电极部412，因此，具有伸缩功能的各个第一切口部211b、第二切口部223b以及第三切口部223d收缩而处于施力状态，无论第一筒体211’的第一顶端部211a和第三筒体223的第三顶端部223a是否与检查点抵接，各个筒体都稳定地与各个电极部41接触。并且，配置于下方侧的第三筒体223的第四切口部223g为自然长度的状态、是待检查的状态，仅在实际的检查时该切口部伸缩。

在采用具有第二触头2’的检查用夹具实施检查的情况下，第二筒体和第三筒体的下方端与检查点抵接。此时，第二筒体212利用第二固定部212b与第一筒体211’固定，因此，第一筒体211’所具有的第一切口部211b收缩，在第三筒体223中第四切口部223g收缩。

以上是第二实施方式的检查用夹具的说明。

其次，对第三实施方式的触头(第三触头)进行说明。该第三触头2”具有与第二触头2’的结构大致相同的结构，以不同的结构为中心进行说明。对于图10所示的第三触头2”，与第二触头2’相比较，连接固定第一筒体211’、第二筒体212’、第三筒体223的固定部位不同。在该第三触头2”中，形成有以导通状态连接固定第一筒体211’和第二筒体212’的第一固定部211c和第二固定部212b，且形成有以非导通状态连接固定第二筒体212’和第三筒体223的第三固定部212b’和第四固定部223f。对于这些固定部，如图10所示，第一筒体211’与第二筒体212’之间的固定部位和第二筒体212’与第三筒体223之间的固定部位的位置并不是设定在同一位置，而是设定在不同的位置。通过以这种方式进行固定，先固定第三筒体和第二筒体，然后将这些筒体固定于第一筒体，由此实施触头的组装，因此，能够使各个组装工序分工化，组装工序变得容易。

另外，这些固定部的固定方法能够利用上述的方法，省略说明。

在图10的第三触头2”中，这些固定部形成为配置于第三筒体223的第二中间部223e的位置，通过将各个固定部形成于该位置，位于比该位置更靠上端部侧的切口部产生向电极部41压接的挤压力，位于比该位置更靠下端部侧的切口部产生向检查点压接的挤压力。

如上述的说明那样，本发明的第一至第三触头由三个筒体形成，因此，能够使触头的下方端(检查点)的2个端子的间距比触头的上方端(电极部)的2个端子的间距窄。并且，通过利用第二筒体作为第一筒体和第三筒体的引导件，能够确保触头的强度并且能够使双方可靠地垂直伸缩。进一步，能够减少形成于保持触头的保持体的引导孔的数量，能够减少组装工序。

以上是第三实施方式的检查用夹具的说明。

并且，也可以在这些第一至第三触头的上端部和下端部的顶端形成尖锐形状的锥部，或者形成具有多个凸部的凸面状(crown)。

第一至第三触头通过组合三个筒状部件而形成，但是，也可以将作为内侧触头的筒状部件配置在最内侧，并像由第二筒体和第一筒体形成的外侧触头那样组合多个直径逐渐增大的筒状部件作为外侧触头。

Claims (9)

1.一种检查用夹具，该检查用夹具对被检查物和检查装置进行电连接，所述被检查物具有作为被检查对象的检查点，所述检查装置用于检查该检查点间的电气特性，所述检查用夹具的特征在于，

所述检查用夹具具备：

连接电极体，该连接电极体具备多个与所述检查装置电连接的电极部；

导电性的筒形状的第一筒体，该第一筒体的上方端压接于所述电极部；

导电性的筒形状的第二筒体，该第二筒体从所述第一筒体的下方端开口部突出，并以与该第一筒体电连接的方式同轴地配置在该第一筒体内，该第二筒体的上方端配置在该第一筒体的内部，且该第二筒体的下方端压接于所述检查点；

导电性的筒形状的第三筒体，该第三筒体并不与所述第一筒体和所述第二筒体电连接，且同轴地收纳在该第一筒体和该第二筒体内，该第三筒体的上方端压接于所述电极部，且该第三筒体的下方端压接于所述检查点；

第一板状部件，该第一板状部件具有用于将所述第二筒体和第三筒体的各自的下方端引导至所述检查点的第一引导孔；以及

第二板状部件，该第二板状部件具有用于将所述第一筒体和所述第三筒体的各自的上方端引导至所述电极部的第二引导孔，且该第二板状部件被配置成与所述第一板状部件隔开预定间隔，

所述第一筒体在该第一筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的第一切口部，

所述第三筒体在该第三筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的第二切口部，

所述第一筒体在比所述第一切口部更靠下方端侧的位置具有用于与所述第二筒体固定的第一固定部。

2.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，

所述第一引导孔具有比所述第一筒体的外径小且比第二筒体的外径大的孔径。

3.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，

所述第三筒体形成为，设于该第三筒体的下方侧的一个切口部存在于第一引导孔的内部。

4.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，

所述第一引导孔具有：

第一引导上孔，该第一引导上孔具有比所述第一筒体的外径大的孔径；以及

第一引导下孔，该第一引导下孔与所述第一引导上孔连通连结，并且具有比所述第一筒体的外径小且比所述第二筒体的外径大的孔径。

5.根据权利要求1所述的检查用夹具，其特征在于，

所述第三筒体在上方端与下方端之间的筒壁部具有螺旋状的两个第二切口部，这两个第二切口部彼此隔开距离，并且，在这两个第二切口部之间具有用于与所述第二筒体固定的第三固定部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查用夹具，其特征在于，

所述第三筒体的第二切口部以相对于该第三筒体的中心呈对称形状的方式来配置。

7.一种触头，该触头是在检查用夹具中使用的触头，该检查用夹具对被检查物和检查装置进行电连接，所述被检查物具有作为被检查对象的检查点，所述检查装置用于检查该检查点间的电气特性，所述触头的特征在于，

所述触头具备：

导电性的筒形状的第一筒体，该第一筒体的上方端压接于电极部；

导电性的筒形状的第二筒体，该第二筒体从所述第一筒体的下方端开口部突出，并以与该第一筒体电连接的方式同轴地配置在该第一筒体内，该第二筒体的上方端配置在该第一筒体的内部，且该第二筒体的下方端压接于所述检查点；以及

导电性的筒形状的第三筒体，该第三筒体并不与所述第一筒体和所述第二筒体分别电连接，且同轴地收纳在该第一筒体和该第二筒体内部，该第三筒体的上方端压接于所述电极部，且该第三筒体的下方端压接于所述检查点，

所述第一筒体在该第一筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的第一切口部，

所述第三筒体在该第三筒体的上方端和下方端之间的筒壁部设有螺旋状的两个第二切口部，这两个第二切口部彼此隔开距离，

所述第一筒体在比第一切口部更靠下方端侧的位置具有用于与所述第二筒体固定的第一固定部，

所述第三筒体在所述两个第二切口部之间具有用于与所述第二筒体固定的第三固定部。

8.根据权利要求7所述的触头，其特征在于，

所述第三筒体的第二切口部以相对于该第三筒体的中心呈对称形状的方式来配置。

9.一种触头，该触头是在检查用夹具中使用的触头，该检查用夹具对被检查物和检查装置进行电连接，所述被检查物具有作为被检查对象的检查点，所述检查装置用于检查该检查点间的电气特性，所述触头的特征在于，

所述触头具有：

由导电性的筒状部件形成的内侧触头，该内侧触头的一方端压接于电极部，且另一方端压接于检查点；以及

由导电性的筒状部件形成的外侧触头，该外侧触头将所述内侧触头以非导电状态收纳于内部，该外侧触头的一方端压接于电极部，且另一方端压接于检查点，

所述内侧触头和所述外侧触头在所述一方端与另一方端之间的筒壁部形成有螺旋状的切口部，

所述外侧触头的筒状部件的外侧壁面形成为从所述另一方端侧朝向所述一方端侧逐渐或者阶梯状地变大。

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