JP3166028B2 - 抵抗値測定装置 - Google Patents
抵抗値測定装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、抵抗体の抵抗値を
測定する抵抗値測定装置に関し、例えば、絶縁性溶剤が
収容された液槽内で複数のサーミスタの抵抗値を測定す
る抵抗値測定装置に関する。
測定する抵抗値測定装置に関し、例えば、絶縁性溶剤が
収容された液槽内で複数のサーミスタの抵抗値を測定す
る抵抗値測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１２から図１４までを参照して従来の
サーミスタ抵抗値測定装置を説明する。図１２は複数の
サーミスタが整列したサーミスタ整列用治具を示す斜視
図、図１３は図１２に示されるサーミスタ整列用治具の
断面図、図１４は図１２に示されるサーミスタ整列用治
具を絶縁性溶剤が収容された液槽に浸漬した状態を示す
斜視図である。
サーミスタ抵抗値測定装置を説明する。図１２は複数の
サーミスタが整列したサーミスタ整列用治具を示す斜視
図、図１３は図１２に示されるサーミスタ整列用治具の
断面図、図１４は図１２に示されるサーミスタ整列用治
具を絶縁性溶剤が収容された液槽に浸漬した状態を示す
斜視図である。
【０００３】サーミスタ整列用治具１０は、サーミスタ
２０が配置される複数の凹部１２ａが形成されたサーミ
スタ整列板１２と、このサーミスタ整列板１２の下面に
取り付けられたコモン電極板１４と、コモン電極板１４
を支持する支持板１６を備えている。サーミスタ整列用
治具１０に整列した複数のサーミスタ２０は、絶縁性溶
剤２２が収容された液槽２４に浸漬される。この液槽２
４の内で手動によりコンタクトプローブ２６を複数のサ
ーミスタ２０に順次に接触させて、標準素子２７が接続
されたパーセントメータ２８を用いてサーミスタ２０の
抵抗値が測定される。抵抗値の測定に当たっては、絶縁
性溶剤２２を均一温度に保つために、撹拌機３０で絶縁
性溶剤２２が撹拌される。
２０が配置される複数の凹部１２ａが形成されたサーミ
スタ整列板１２と、このサーミスタ整列板１２の下面に
取り付けられたコモン電極板１４と、コモン電極板１４
を支持する支持板１６を備えている。サーミスタ整列用
治具１０に整列した複数のサーミスタ２０は、絶縁性溶
剤２２が収容された液槽２４に浸漬される。この液槽２
４の内で手動によりコンタクトプローブ２６を複数のサ
ーミスタ２０に順次に接触させて、標準素子２７が接続
されたパーセントメータ２８を用いてサーミスタ２０の
抵抗値が測定される。抵抗値の測定に当たっては、絶縁
性溶剤２２を均一温度に保つために、撹拌機３０で絶縁
性溶剤２２が撹拌される。
【０００４】しかし、上記従来のサーミスタ抵抗値測定
装置には、以下の（１）〜（６）の問題がある。 （１）手動で測定するため、サーミスタへのコンタクト
プローブの押付け圧力の変動が大きく、測定した抵抗値
にばらつきが生じる。 （２）コンタクトプローブを手動で位置決めするため、
多数のサーミスタを測定すると、重複して測定したり飛
び抜かして測定する等の誤測定が多い。 （３）液槽内の溶剤を撹拌しているためサーミスタの確
認が難しく、位置決めが困難である。 （４）コンタクトプローブを手動で扱うため、コンタク
トプローブからの温度の影響を測定値が受ける可能性が
高い。 （５）コンタクトプローブを手動で扱って測定するた
め、例えば１８０分で２５００個しか測定できない。 （６）サーミスタ整列治具を液槽にセットしてから温度
が安定するまで５分程度の温度安定時間が必要である。
装置には、以下の（１）〜（６）の問題がある。 （１）手動で測定するため、サーミスタへのコンタクト
プローブの押付け圧力の変動が大きく、測定した抵抗値
にばらつきが生じる。 （２）コンタクトプローブを手動で位置決めするため、
多数のサーミスタを測定すると、重複して測定したり飛
び抜かして測定する等の誤測定が多い。 （３）液槽内の溶剤を撹拌しているためサーミスタの確
認が難しく、位置決めが困難である。 （４）コンタクトプローブを手動で扱うため、コンタク
トプローブからの温度の影響を測定値が受ける可能性が
高い。 （５）コンタクトプローブを手動で扱って測定するた
め、例えば１８０分で２５００個しか測定できない。 （６）サーミスタ整列治具を液槽にセットしてから温度
が安定するまで５分程度の温度安定時間が必要である。
【０００５】ところで、抵抗体にコンタクトプローブを
などの端子を接触させて抵抗値を測定する方法として
は、２つの端子を用いて抵抗値を測定する２端子測定方
法と、４つの端子を用いて抵抗値を測定する４端子測定
方法が知られている。図１５を参照して２端子測定方法
を説明する。２端子測定方法は、２つの端子７０，７２
を抵抗体７４に接触させてその抵抗値を測定する方法で
あり、測定回路上、端子７０，７２の有する測定接触抵
抗ｒ 1 ，ｒ2 と測定回路抵抗ｒ3 ，ｒ4 とが測定値にプ
ラスされて測定誤差成分になるため、高抵抗値の抵抗体
では測定誤差成分の比率が小さくて無視できるほどであ
るものの、低抵抗値の抵抗体では測定誤差成分の比率が
高くなり高精度で抵抗値を測定することは難しいという
デメリットがある。一方、この２端子測定方法は測定系
の構造が簡素であり、このため小型の抵抗体や異種形状
の抵抗体にも容易に対応できるというメリットがある。
などの端子を接触させて抵抗値を測定する方法として
は、２つの端子を用いて抵抗値を測定する２端子測定方
法と、４つの端子を用いて抵抗値を測定する４端子測定
方法が知られている。図１５を参照して２端子測定方法
を説明する。２端子測定方法は、２つの端子７０，７２
を抵抗体７４に接触させてその抵抗値を測定する方法で
あり、測定回路上、端子７０，７２の有する測定接触抵
抗ｒ 1 ，ｒ2 と測定回路抵抗ｒ3 ，ｒ4 とが測定値にプ
ラスされて測定誤差成分になるため、高抵抗値の抵抗体
では測定誤差成分の比率が小さくて無視できるほどであ
るものの、低抵抗値の抵抗体では測定誤差成分の比率が
高くなり高精度で抵抗値を測定することは難しいという
デメリットがある。一方、この２端子測定方法は測定系
の構造が簡素であり、このため小型の抵抗体や異種形状
の抵抗体にも容易に対応できるというメリットがある。
【０００６】図１６を参照して従来の４端子測定方法を
説明する。４端子測定方法は、４つの端子８０，８４
（破線で示す８２，８６はそれぞれ端子８０，８４が下
方に移動したときの位置を示す４つの端子のうち２本
は、端子８０，８４の向う側にあるため図示されていな
い。）を抵抗体８８に接触させてその抵抗値を測定する
方法であり、抵抗体８８は、矢印Ａ方向からガイド９０
に案内されてきて押え部材９２に押えられる。このよう
に、４端子測定方法では、４つの端子８０，８４（残り
２本は図示せず）を抵抗体８８に接触させる必要があ
り、しかもガイド９０や押え部材９２を用いるため、抵
抗体８８の小型化や形状変化などへの適応性が低く、端
子が確実に抵抗体に接触せずに抵抗値の測定が不安定に
なるおそれもある。さらに、抵抗体が小さくなると測定
装置の構造が複雑になり、抵抗体を交換する作業が大変
なものになり測定時間が長くなるというデメリットがあ
る。一方、測定回路上、２端子測定方法における測定誤
差成分（測定回路抵抗と測定接触抵抗）を全てキャンセ
ルすることができ、高抵抗値の抵抗体のみならず低抵抗
値の抵抗体においても高精度に抵抗値を測定できるとい
うメリットがある。
説明する。４端子測定方法は、４つの端子８０，８４
（破線で示す８２，８６はそれぞれ端子８０，８４が下
方に移動したときの位置を示す４つの端子のうち２本
は、端子８０，８４の向う側にあるため図示されていな
い。）を抵抗体８８に接触させてその抵抗値を測定する
方法であり、抵抗体８８は、矢印Ａ方向からガイド９０
に案内されてきて押え部材９２に押えられる。このよう
に、４端子測定方法では、４つの端子８０，８４（残り
２本は図示せず）を抵抗体８８に接触させる必要があ
り、しかもガイド９０や押え部材９２を用いるため、抵
抗体８８の小型化や形状変化などへの適応性が低く、端
子が確実に抵抗体に接触せずに抵抗値の測定が不安定に
なるおそれもある。さらに、抵抗体が小さくなると測定
装置の構造が複雑になり、抵抗体を交換する作業が大変
なものになり測定時間が長くなるというデメリットがあ
る。一方、測定回路上、２端子測定方法における測定誤
差成分（測定回路抵抗と測定接触抵抗）を全てキャンセ
ルすることができ、高抵抗値の抵抗体のみならず低抵抗
値の抵抗体においても高精度に抵抗値を測定できるとい
うメリットがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記事情に
鑑み、従来に比べ短い測定時間で高精度でしかも抵抗値
を測定できる抵抗値測定装置を提供することを目的とす
る。
鑑み、従来に比べ短い測定時間で高精度でしかも抵抗値
を測定できる抵抗値測定装置を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の抵抗値測定装置は、複数のサーミスタ
が整列したサーミスタ整列用治具を、絶縁性溶剤が収容
された液槽に浸漬し、上記複数のサーミスタそれぞれに
コンタクトプローブを順次に接触させて上記複数のサー
ミスタの抵抗値の測定を行う抵抗値測定装置において、
（１）複数の上記コンタクトプローブが先端部に取り付
けられたアームを有し、このアームを移動させて所定の
加重で上記複数のサーミスタそれぞれに上記コンタクト
プローブを接触させる位置決め機（２）上記コンタクト
プローブによる上記測定を順次切り替えるスキャナを備
え、（３）上記各コンタクトプローブが、互いに電気的
に絶縁された同軸の円筒状のプローブピンを有するもの
であり、かつ、（４）上記サーミスタ整列用治具が、互
いに所定間隔離れた複数の第１の櫛歯を有する櫛状の第
１の電極板、及び、互いに隣接する上記複数の第１の櫛
歯の間に、この第１の櫛歯に対して所定のギャップを保
って配置された複数の第２の櫛歯を有する第２の電極板
を備え、互いに隣接する上記第１及び第２の櫛歯上に上
記ギャップを跨いでサーミスタを整列させるものである
ことを特徴とするものである。
の本発明の第１の抵抗値測定装置は、複数のサーミスタ
が整列したサーミスタ整列用治具を、絶縁性溶剤が収容
された液槽に浸漬し、上記複数のサーミスタそれぞれに
コンタクトプローブを順次に接触させて上記複数のサー
ミスタの抵抗値の測定を行う抵抗値測定装置において、
（１）複数の上記コンタクトプローブが先端部に取り付
けられたアームを有し、このアームを移動させて所定の
加重で上記複数のサーミスタそれぞれに上記コンタクト
プローブを接触させる位置決め機（２）上記コンタクト
プローブによる上記測定を順次切り替えるスキャナを備
え、（３）上記各コンタクトプローブが、互いに電気的
に絶縁された同軸の円筒状のプローブピンを有するもの
であり、かつ、（４）上記サーミスタ整列用治具が、互
いに所定間隔離れた複数の第１の櫛歯を有する櫛状の第
１の電極板、及び、互いに隣接する上記複数の第１の櫛
歯の間に、この第１の櫛歯に対して所定のギャップを保
って配置された複数の第２の櫛歯を有する第２の電極板
を備え、互いに隣接する上記第１及び第２の櫛歯上に上
記ギャップを跨いでサーミスタを整列させるものである
ことを特徴とするものである。
【０００９】また、上記目的を達成するための本発明の
第２の抵抗値測定装置は、抵抗体にコンタクトプローブ
を接触させてこの抵抗体の抵抗値の測定を行う抵抗値測
定装置において、（５）互いに所定間隔離れた複数の第
１の櫛歯を有する櫛状の第１の電極板、及び、互いに隣
接する上記複数の第１の櫛歯の間に、この第１の櫛歯に
対して所定のギャップを保って配置された複数の第２の
櫛歯を有する第２の電極板を備え、互いに隣接する上記
第１及び第２の櫛歯上に上記ギャップを跨いで抵抗体を
整列させる抵抗体整列用治具を備え（６）上記コンタク
トプローブが、互いに電気的に絶縁された同軸の円筒状
のプローブピンを有するものであることを特徴とするも
のである。
第２の抵抗値測定装置は、抵抗体にコンタクトプローブ
を接触させてこの抵抗体の抵抗値の測定を行う抵抗値測
定装置において、（５）互いに所定間隔離れた複数の第
１の櫛歯を有する櫛状の第１の電極板、及び、互いに隣
接する上記複数の第１の櫛歯の間に、この第１の櫛歯に
対して所定のギャップを保って配置された複数の第２の
櫛歯を有する第２の電極板を備え、互いに隣接する上記
第１及び第２の櫛歯上に上記ギャップを跨いで抵抗体を
整列させる抵抗体整列用治具を備え（６）上記コンタク
トプローブが、互いに電気的に絶縁された同軸の円筒状
のプローブピンを有するものであることを特徴とするも
のである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の抵
抗値測定装置の実施形態を説明する。図１は抵抗値測定
装置を示す正面図、図２は図１に示された抵抗値測定装
置の平面図、図３は図１に示された抵抗値測定装置のブ
ロック図、図４は図１に示された抵抗値測定装置でサー
ミスタの抵抗値を測定している状態を示す説明図であ
る。
抗値測定装置の実施形態を説明する。図１は抵抗値測定
装置を示す正面図、図２は図１に示された抵抗値測定装
置の平面図、図３は図１に示された抵抗値測定装置のブ
ロック図、図４は図１に示された抵抗値測定装置でサー
ミスタの抵抗値を測定している状態を示す説明図であ
る。
【００１１】抵抗値測定装置４０には、絶縁性溶剤が収
容された２つの液槽４２，４４が備えられており、これ
ら液槽４２，４４同士は連絡水路４６でつながれてい
る。また、連絡水路４６を経由して２つの液槽４２，４
４の間を往復動するアーム４８を有する位置決めロボッ
ト５０（水平間接型ロボット、本発明にいう位置決め機
構の一例である）が、２つの液槽４２，４４の間に配置
されている。アーム４８の先端部には、標準サーミスタ
（図示せず）と、５行×５列のコンタクトプローブ５２
が取り付けられている。また、抵抗値を測定する機器を
制御する測定機制御部５４には、抵抗値を測定する際に
コンタクトプローブ５２を切り替えるスキャナ５６と、
抵抗値を測定するマルチメータ５８と、マルチメータ５
８で測定した標準サーミスタの抵抗値及び被測定サーミ
スタの抵抗値双方を互いに比較演算して測定精度を求め
るパーソナルコンピュータ６０とが備えられている。パ
ーソナルコンピュータ６０には、位置決めロボット５０
のコントローラ６２に接続されたボード６０ａ、スキャ
ナ５６とマルチメータ５８とに接続されたボード６０ｃ
などが備えられている。
容された２つの液槽４２，４４が備えられており、これ
ら液槽４２，４４同士は連絡水路４６でつながれてい
る。また、連絡水路４６を経由して２つの液槽４２，４
４の間を往復動するアーム４８を有する位置決めロボッ
ト５０（水平間接型ロボット、本発明にいう位置決め機
構の一例である）が、２つの液槽４２，４４の間に配置
されている。アーム４８の先端部には、標準サーミスタ
（図示せず）と、５行×５列のコンタクトプローブ５２
が取り付けられている。また、抵抗値を測定する機器を
制御する測定機制御部５４には、抵抗値を測定する際に
コンタクトプローブ５２を切り替えるスキャナ５６と、
抵抗値を測定するマルチメータ５８と、マルチメータ５
８で測定した標準サーミスタの抵抗値及び被測定サーミ
スタの抵抗値双方を互いに比較演算して測定精度を求め
るパーソナルコンピュータ６０とが備えられている。パ
ーソナルコンピュータ６０には、位置決めロボット５０
のコントローラ６２に接続されたボード６０ａ、スキャ
ナ５６とマルチメータ５８とに接続されたボード６０ｃ
などが備えられている。
【００１２】また、サーミスタ整列用治具６４には、サ
ーミスタを整列させる穴が、１ブロックを２５行×５０
列として２ブロック形成されており、２５００個のサー
ミスタが配列される。次に、抵抗値測定装置４０を用い
て複数のサーミスタの抵抗値を自動的に測定する手順を
説明する。
ーミスタを整列させる穴が、１ブロックを２５行×５０
列として２ブロック形成されており、２５００個のサー
ミスタが配列される。次に、抵抗値測定装置４０を用い
て複数のサーミスタの抵抗値を自動的に測定する手順を
説明する。
【００１３】先ず、被測定サーミスタをサーミスタ整列
用治具６４に整列させて、絶縁性の高い溶剤を入れた液
槽４２，４４の内に固定し、液槽４２，４４に取付けら
れた撹拌機（図示せず）で溶剤を循環させる。サーミス
タ整列用治具６４を固定後、５分以内の安定時間を取
り、測定機制御部５４に測定開始を指令すると測定がス
タートされる。測定に当たってのコンタクトプローブ５
２の被測定サーミスタへの位置決めは位置決めロボット
５０により行われ、これによりＸ，Ｙ，Ｚ方向への高精
度の位置決めが行われる。
用治具６４に整列させて、絶縁性の高い溶剤を入れた液
槽４２，４４の内に固定し、液槽４２，４４に取付けら
れた撹拌機（図示せず）で溶剤を循環させる。サーミス
タ整列用治具６４を固定後、５分以内の安定時間を取
り、測定機制御部５４に測定開始を指令すると測定がス
タートされる。測定に当たってのコンタクトプローブ５
２の被測定サーミスタへの位置決めは位置決めロボット
５０により行われ、これによりＸ，Ｙ，Ｚ方向への高精
度の位置決めが行われる。
【００１４】１回の位置決めで複数のコンタクトプロー
ブ５２が被測定サーミスタと接触し、コンタクトプロー
ブ５２とコモン電極６４ａとの間で被測定サーミスタの
抵抗値が測定される。コンタクトプローブ５２による測
定はスキャナ５６によって順次切り替えられ、このた
め、被測定サーミスタの抵抗値を短時間で測定すること
ができる。被測定サーミスタの抵抗値は標準サーミスタ
の抵抗値との比較法で判定され、測定値はボード６０ｃ
を介してパーソナルコンピュータ６０に取り込まれて演
算処理される。この一連の測定に当っては、液槽４２，
４４にそれぞれサーミスタ整列用治具６４をセットして
交互に測定する。このため、温度安定時間が短縮でき、
連続的に測定できる。尚、外的温度の影響を受けにくく
するためにコンタクトプローブ５２は連絡水路４６を移
動させる。また、被測定サーミスタの抵抗値測定に当っ
ては、４端子測定方法が用いられる。
ブ５２が被測定サーミスタと接触し、コンタクトプロー
ブ５２とコモン電極６４ａとの間で被測定サーミスタの
抵抗値が測定される。コンタクトプローブ５２による測
定はスキャナ５６によって順次切り替えられ、このた
め、被測定サーミスタの抵抗値を短時間で測定すること
ができる。被測定サーミスタの抵抗値は標準サーミスタ
の抵抗値との比較法で判定され、測定値はボード６０ｃ
を介してパーソナルコンピュータ６０に取り込まれて演
算処理される。この一連の測定に当っては、液槽４２，
４４にそれぞれサーミスタ整列用治具６４をセットして
交互に測定する。このため、温度安定時間が短縮でき、
連続的に測定できる。尚、外的温度の影響を受けにくく
するためにコンタクトプローブ５２は連絡水路４６を移
動させる。また、被測定サーミスタの抵抗値測定に当っ
ては、４端子測定方法が用いられる。
【００１５】この４端子測定方法について、図５から図
９まで参照して説明する。各コンタクトプローブ５２
は、図５に明確に示されているように、同軸の円筒状の
プローブピン１１４ａ，１１４ｂを有するものである。
これらプローブピン１１４ａ，１１４ｂの間には絶縁体
１１４ｃが挟まれており、プローブピン１１４ａ，１１
４ｂ同士は互いに電気的に絶縁されている。
９まで参照して説明する。各コンタクトプローブ５２
は、図５に明確に示されているように、同軸の円筒状の
プローブピン１１４ａ，１１４ｂを有するものである。
これらプローブピン１１４ａ，１１４ｂの間には絶縁体
１１４ｃが挟まれており、プローブピン１１４ａ，１１
４ｂ同士は互いに電気的に絶縁されている。
【００１６】電極板付き台座１０４は、絶縁板１２４と
この絶縁板１２４の上に張り付けられた電極板１２６と
を備えている。電極板１２６は、互いに所定間隔離れた
３つの第１の櫛歯１２８ａ，１２８ｂ，１２８ｃを有す
る櫛状の第１の電極板１２８を備え、さらに、互いに隣
接する第１の櫛歯１２８ａ，１２８ｂ，１２８ｃそれぞ
れの間に、これら第１の櫛歯１２８ａ，１２８ｂ，１２
８ｃに対して所定のギャップ１３２を保って配置された
２つの第２の櫛歯１３０ａ，１３０ｂを有する第２の電
極板１３０を備えている。抵抗体１２０は、図８に示す
ように、互いに隣接する第１及び第２の櫛歯（例えば、
１２８ａと１３０ａ）の上にギャップ１３２を跨ぐ状態
に整列される。尚、図６には、３つの第１の櫛歯１２８
ａ，１２８ｂ，１２８ｃと２つの第２の櫛歯１３０ａ，
１３０ｂとを示したが、櫛歯の数を増加させることによ
り測定個数を増加することもできる。
この絶縁板１２４の上に張り付けられた電極板１２６と
を備えている。電極板１２６は、互いに所定間隔離れた
３つの第１の櫛歯１２８ａ，１２８ｂ，１２８ｃを有す
る櫛状の第１の電極板１２８を備え、さらに、互いに隣
接する第１の櫛歯１２８ａ，１２８ｂ，１２８ｃそれぞ
れの間に、これら第１の櫛歯１２８ａ，１２８ｂ，１２
８ｃに対して所定のギャップ１３２を保って配置された
２つの第２の櫛歯１３０ａ，１３０ｂを有する第２の電
極板１３０を備えている。抵抗体１２０は、図８に示す
ように、互いに隣接する第１及び第２の櫛歯（例えば、
１２８ａと１３０ａ）の上にギャップ１３２を跨ぐ状態
に整列される。尚、図６には、３つの第１の櫛歯１２８
ａ，１２８ｂ，１２８ｃと２つの第２の櫛歯１３０ａ，
１３０ｂとを示したが、櫛歯の数を増加させることによ
り測定個数を増加することもできる。
【００１７】図８と図９を参照して、上記した抵抗値測
定装置４０を使って抵抗体１２０の抵抗値を測定する方
法を説明する。ここでは、第１の櫛歯１２８ａと第２の
櫛歯１３０ａの上にギャップ１３２を跨ぐ状態に抵抗体
１２０が配置された場合を例にして説明する。抵抗体１
２０の上端面には、２つのプローブピン１１４ａ，１１
４ｂを接触させ、一方、抵抗体１２０の下端面には第１
の櫛歯１２８ａと第２の櫛歯１３０ａを接触させる。こ
れにより、抵抗体１２０には４つの端子が接触している
こととなり、４端子測定方法によってその抵抗値を測定
することができる。抵抗体１２０の形状の変更に応じ
て、抵抗体整列用治具１０６の形状や電極板１２６の形
状を変更することにより、容易に４端子測定方法によっ
て抵抗値を測定することができる。
定装置４０を使って抵抗体１２０の抵抗値を測定する方
法を説明する。ここでは、第１の櫛歯１２８ａと第２の
櫛歯１３０ａの上にギャップ１３２を跨ぐ状態に抵抗体
１２０が配置された場合を例にして説明する。抵抗体１
２０の上端面には、２つのプローブピン１１４ａ，１１
４ｂを接触させ、一方、抵抗体１２０の下端面には第１
の櫛歯１２８ａと第２の櫛歯１３０ａを接触させる。こ
れにより、抵抗体１２０には４つの端子が接触している
こととなり、４端子測定方法によってその抵抗値を測定
することができる。抵抗体１２０の形状の変更に応じ
て、抵抗体整列用治具１０６の形状や電極板１２６の形
状を変更することにより、容易に４端子測定方法によっ
て抵抗値を測定することができる。
【００１８】また、抵抗体のサイズの適応範囲はプロー
ブピンの外形に依存し、現在使用可能な最小径のプロー
ブピンを使用した場合、被測定体の測定部が□０．５ｍ
ｍ又はφ０．５ｍｍまで測定可能である。プローブピン
の径が小さくなれば上記以下のサイズも測定可能とな
る。また、この４端子測定方法によれば、１ＫΩ以下の
チップサーミスタの測定において、測定ばらつきを０．
０１Ω以下にすることが可能となった。
ブピンの外形に依存し、現在使用可能な最小径のプロー
ブピンを使用した場合、被測定体の測定部が□０．５ｍ
ｍ又はφ０．５ｍｍまで測定可能である。プローブピン
の径が小さくなれば上記以下のサイズも測定可能とな
る。また、この４端子測定方法によれば、１ＫΩ以下の
チップサーミスタの測定において、測定ばらつきを０．
０１Ω以下にすることが可能となった。
【００１９】抵抗値測定装置４０を用いてサーミスタの
抵抗値を自動的に測定することにより、手作業を省力化
できて８分で２５００個のサーミスタの抵抗値を測定で
き、大幅に測定時間を短縮できた。単位時間あたりの処
理能力は、従来の手作業の約２０倍になった。さらに、
位置決めロボットを用いてサーミスタの抵抗値を連続的
に測定することにより抵抗値のばらつき及び測定ミス等
の問題が解決できた。
抵抗値を自動的に測定することにより、手作業を省力化
できて８分で２５００個のサーミスタの抵抗値を測定で
き、大幅に測定時間を短縮できた。単位時間あたりの処
理能力は、従来の手作業の約２０倍になった。さらに、
位置決めロボットを用いてサーミスタの抵抗値を連続的
に測定することにより抵抗値のばらつき及び測定ミス等
の問題が解決できた。
【００２０】次に、図１０と図１１を参照して本発明の
抵抗値測定装置の他の実施形態を説明する。ここで示す
抵抗値測定装置のコンタクトプローブは、図１に示すロ
ボット５０のアーム４８の先端部に取り付けられて自在
に移動するものではなく、抵抗体整列用治具にボルトで
固定されるものであるが、ロボット５０のアーム４８の
先端部に取り付けられて自在に移動するようにすること
もでき、図１のコンタクトプローブと同様の形状であ
る。
抵抗値測定装置の他の実施形態を説明する。ここで示す
抵抗値測定装置のコンタクトプローブは、図１に示すロ
ボット５０のアーム４８の先端部に取り付けられて自在
に移動するものではなく、抵抗体整列用治具にボルトで
固定されるものであるが、ロボット５０のアーム４８の
先端部に取り付けられて自在に移動するようにすること
もでき、図１のコンタクトプローブと同様の形状であ
る。
【００２１】抵抗値測定装置１００では、台座１０２の
上に電極板付き台座１０４と抵抗体整列用治具１０６と
が重なってボルト１０８で固定されている。電極板付き
台座１０４と抵抗体整列用治具１０６の両端部にはそれ
ぞれ台座１１０がボルト１１２で固定されている。台座
１１０には、５本のコンタクトプローブ１１４が固定さ
れたプローブピン取付治具１１６が、止めねじ１１８で
固定されている。また、抵抗体整列用治具１０６に形成
された抵抗体整列孔１０６ａには、抵抗体１２０が収容
されている。
上に電極板付き台座１０４と抵抗体整列用治具１０６と
が重なってボルト１０８で固定されている。電極板付き
台座１０４と抵抗体整列用治具１０６の両端部にはそれ
ぞれ台座１１０がボルト１１２で固定されている。台座
１１０には、５本のコンタクトプローブ１１４が固定さ
れたプローブピン取付治具１１６が、止めねじ１１８で
固定されている。また、抵抗体整列用治具１０６に形成
された抵抗体整列孔１０６ａには、抵抗体１２０が収容
されている。
【００２２】さらに、抵抗値測定装置１００には、抵抗
値を測定する際に、各コンタクトプローブ１１４を切り
替えるスキャナ１５０と、抵抗値を測定するマルチメー
タ１６０と、パーソナルコンピュータ１７０とが備えら
れており、マルチメータ１６０には電極板１２８，１３
０が接続されている。この抵抗値測定装置１００は、サ
ーミスタのみならず全ての抵抗体の抵抗値を測定でき、
その測定に当っては、上述した４端子測定法を用いるこ
とにより、高精度な測定ができる。
値を測定する際に、各コンタクトプローブ１１４を切り
替えるスキャナ１５０と、抵抗値を測定するマルチメー
タ１６０と、パーソナルコンピュータ１７０とが備えら
れており、マルチメータ１６０には電極板１２８，１３
０が接続されている。この抵抗値測定装置１００は、サ
ーミスタのみならず全ての抵抗体の抵抗値を測定でき、
その測定に当っては、上述した４端子測定法を用いるこ
とにより、高精度な測定ができる。
【００２３】上記した抵抗値測定装置１００を使った４
端子測定方法によれば、抵抗体の交換作業が容易にな
り、交換作業時間が２秒／個となった。また、抵抗体の
サイズの適応範囲はプローブピンの外形に依存し、現在
使用可能な最小径のプローブピンを使用した場合、被測
定体の測定部が□０．５ｍｍ又はφ０．５ｍｍまで測定
可能である。プローブピンの径が小さくなれば上記以下
のサイズも測定可能となる。また、この４端子測定方法
によれば、１ＫΩ以下のチップサーミスタの測定におい
て、測定ばらつきを０．０１Ω以下にすることが可能と
なった。
端子測定方法によれば、抵抗体の交換作業が容易にな
り、交換作業時間が２秒／個となった。また、抵抗体の
サイズの適応範囲はプローブピンの外形に依存し、現在
使用可能な最小径のプローブピンを使用した場合、被測
定体の測定部が□０．５ｍｍ又はφ０．５ｍｍまで測定
可能である。プローブピンの径が小さくなれば上記以下
のサイズも測定可能となる。また、この４端子測定方法
によれば、１ＫΩ以下のチップサーミスタの測定におい
て、測定ばらつきを０．０１Ω以下にすることが可能と
なった。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明の第１の抵抗
値測定装置によれば、位置決め機を用いることにより、
サーミスタ整列用治具に整列したサーミスタへのコンタ
クトプローブの位置決めが容易にできるため測定時間を
短くでき、ハンドリングの容易でない小型のサーミスタ
であっても容易に位置決めできる。また、コンタクトプ
ローブの押付け圧力も均一にできるため、高精度でばら
つきの小さい測定を行える。また、複数のコンタクトプ
ローブが取り付けられたアームを移動して位置決めする
ため、１回の位置決めで複数のコンタクトプローブを位
置決めでき、この複数のコンタクトプローブをスキャナ
で順次切り替えて抵抗値を測定するため連続的な測定が
行える。この結果、オペレータはサーミスタ整列用治具
へのサーミスタの整列及び液槽へのサーミスタ整列用治
具の装着・回収が主な作業となり作業性が大幅に向上す
ると共に信頼性も向上した。また、自動で測定するた
め、重複して測定したり飛び抜かして測定する等の誤測
定が無い。さらに、同軸の円筒状のプローブピンと櫛歯
状の第１及び第２の電極板とを使って４端子測定方法に
よって抵抗値を測定するので、高精度で抵抗値を測定で
きる。
値測定装置によれば、位置決め機を用いることにより、
サーミスタ整列用治具に整列したサーミスタへのコンタ
クトプローブの位置決めが容易にできるため測定時間を
短くでき、ハンドリングの容易でない小型のサーミスタ
であっても容易に位置決めできる。また、コンタクトプ
ローブの押付け圧力も均一にできるため、高精度でばら
つきの小さい測定を行える。また、複数のコンタクトプ
ローブが取り付けられたアームを移動して位置決めする
ため、１回の位置決めで複数のコンタクトプローブを位
置決めでき、この複数のコンタクトプローブをスキャナ
で順次切り替えて抵抗値を測定するため連続的な測定が
行える。この結果、オペレータはサーミスタ整列用治具
へのサーミスタの整列及び液槽へのサーミスタ整列用治
具の装着・回収が主な作業となり作業性が大幅に向上す
ると共に信頼性も向上した。また、自動で測定するた
め、重複して測定したり飛び抜かして測定する等の誤測
定が無い。さらに、同軸の円筒状のプローブピンと櫛歯
状の第１及び第２の電極板とを使って４端子測定方法に
よって抵抗値を測定するので、高精度で抵抗値を測定で
きる。
【００２５】また、本発明の第２の抵抗値測定装置によ
れば、同軸の円筒状のプローブピンと櫛歯状の第１及び
第２の電極板とを使って４端子測定方法によって抵抗値
を測定するので、高精度で抵抗値を測定できる。
れば、同軸の円筒状のプローブピンと櫛歯状の第１及び
第２の電極板とを使って４端子測定方法によって抵抗値
を測定するので、高精度で抵抗値を測定できる。
【図１】本発明の抵抗値測定装置の一実施例を示す正面
図である。
図である。
【図２】図１に示された抵抗値測定装置の平面図であ
る。
る。
【図３】図１に示された抵抗値測定装置のブロック図で
ある。
ある。
【図４】図１に示された抵抗値測定装置でサーミスタの
抵抗値を測定している状態を示す説明図である。
抵抗値を測定している状態を示す説明図である。
【図５】図１に示す抵抗値測定装置のプローブピンを示
す断面図である。
す断面図である。
【図６】図１に示す抵抗値測定装置の電極板付き台座を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図７】図１に示す抵抗値測定装置の電極板付き台座を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図８】図１に示す抵抗値測定装置による４端子測定方
法を示す説明図である。
法を示す説明図である。
【図９】（ａ）は４端子測定方法を示す説明図、（ｂ）
は（ａ）の等価回路を示す回路図である。
は（ａ）の等価回路を示す回路図である。
【図１０】本発明の抵抗値測定装置の他の実施例を示
す、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
す、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。
【図１１】図１０に示す抵抗値測定装置のブロック図で
ある。
ある。
【図１２】複数のサーミスタが整列した従来のサーミス
タ整列用治具を示す斜視図である。
タ整列用治具を示す斜視図である。
【図１３】図１２に示されたサーミスタ整列用治具の断
面図である。
面図である。
【図１４】図１２に示されたサーミスタ整列用治具を、
絶縁性溶剤が収容された液槽に浸漬した状態を示す斜視
図である。
絶縁性溶剤が収容された液槽に浸漬した状態を示す斜視
図である。
【図１５】（ａ）は２端子測定方法を示す説明図、
（ｂ）は（ａ）の等価回路を示す回路図である。
（ｂ）は（ａ）の等価回路を示す回路図である。
【図１６】従来の４端子測定方法を示す説明図である。
４０，１００ 抵抗値測定装置 ４２，４４ 液槽 ４８ アーム ５０ 位置決めロボット ５２ コンタクトプローブ ５６ スキャナ ６４ サーミスタ整列用治具 １０６ 抵抗体整列用治具 １１４ コンタクトプローブ １１４ａ，１１４ｂ プローブピン １２６ 電極板 １２８ 第１の電極板 １２８ａ，１２８ｂ，１２８ｃ 第１の櫛歯 １３０ 第２の電極板 １３０ａ，１３０ｂ 第２の櫛歯
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 福村 盛文 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三菱マテリアル株式会社 生産技術セン ター内 (56)参考文献 特開 昭61−172071（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−282265（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−107856（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−18975（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 27/02 G01R 1/067 G01R 31/26
Claims (2)
- 【請求項１】 複数のサーミスタが整列したサーミスタ
整列用治具を、絶縁性溶剤が収容された液槽に浸漬し、
前記複数のサーミスタそれぞれにコンタクトプローブを
順次に接触させて前記複数のサーミスタの抵抗値の測定
を行う抵抗値測定装置において、 複数の前記コンタクトプローブが先端部に取り付けられ
たアームを有し、該アームを移動させて所定の加重で前
記複数のサーミスタそれぞれに前記コンタクトプローブ
を接触させる位置決め機と、 前記コンタクトプローブによる前記測定を順次切り替え
るスキャナとを備え、 前記各コンタクトプローブが、互いに電気的に絶縁され
た同軸の円筒状のプローブピンを有するものであり、か
つ、 前記サーミスタ整列用治具が、互いに所定間隔離れた複
数の第１の櫛歯を有する櫛状の第１の電極板、及び、互
いに隣接する前記複数の第１の櫛歯の間に、該第１の櫛
歯に対して所定のギャップを保って配置された複数の第
２の櫛歯を有する第２の電極板を備え、互いに隣接する
前記第１及び第２の櫛歯上に前記ギャップを跨いでサー
ミスタを整列させるものであることを特徴とする抵抗値
測定装置。 - 【請求項２】 抵抗体にコンタクトプローブを接触させ
て該抵抗体の抵抗値の測定を行う抵抗値測定装置におい
て、 互いに所定間隔離れた複数の第１の櫛歯を有する櫛状の
第１の電極板、及び、互いに隣接する前記複数の第１の
櫛歯の間に、該第１の櫛歯に対して所定のギャップを保
って配置された複数の第２の櫛歯を有する第２の電極板
を備え、互いに隣接する前記第１及び第２の櫛歯上に前
記ギャップを跨いで抵抗体を整列させる抵抗体整列用治
具を備え、 前記コンタクトプローブが、互いに電気的に絶縁された
同軸の円筒状のプローブピンを有するものであることを
特徴とする抵抗値測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25108695A JP3166028B2 (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 抵抗値測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25108695A JP3166028B2 (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 抵抗値測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989951A JPH0989951A (ja) | 1997-04-04 |
| JP3166028B2 true JP3166028B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=17217437
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25108695A Expired - Lifetime JP3166028B2 (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | 抵抗値測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3166028B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4244778B2 (ja) * | 2003-10-21 | 2009-03-25 | 株式会社村田製作所 | チップ型電子部品の特性測定装置 |
| JP2010276510A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Nidec-Read Corp | 検査用治具 |
| JP5504698B2 (ja) * | 2009-06-02 | 2014-05-28 | 日本電産リード株式会社 | 検査用治具及び検査用接触子 |
| JP5381609B2 (ja) * | 2009-10-20 | 2014-01-08 | 日本電産リード株式会社 | 検査用治具及び接触子 |
| CN102735889A (zh) * | 2011-04-13 | 2012-10-17 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 探针电路 |
| WO2016006269A1 (ja) * | 2014-07-09 | 2016-01-14 | 株式会社村田製作所 | リード付きサーミスタの抵抗測定装置 |
| CN105004958B (zh) * | 2015-08-11 | 2018-05-04 | 太仓市高泰机械有限公司 | 一种热敏电阻检测装置 |
| KR102261447B1 (ko) * | 2019-11-29 | 2021-06-07 | 주식회사 민테크 | 배터리의 임피던스 측정장치 |
-
1995
- 1995-09-28 JP JP25108695A patent/JP3166028B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0989951A (ja) | 1997-04-04 |
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|---|---|---|---|
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