JPH07270487A - サーミスタ抵抗値測定装置 - Google Patents

サーミスタ抵抗値測定装置

Info

Publication number
JPH07270487A
JPH07270487A JP6339594A JP6339594A JPH07270487A JP H07270487 A JPH07270487 A JP H07270487A JP 6339594 A JP6339594 A JP 6339594A JP 6339594 A JP6339594 A JP 6339594A JP H07270487 A JPH07270487 A JP H07270487A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thermistor
resistance value
thermistors
measurement
measured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6339594A
Other languages
English (en)
Inventor
Morifumi Fukumura
盛文 福村
Koji Yotsumoto
孝二 四元
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Materials Corp
Original Assignee
Mitsubishi Materials Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Materials Corp filed Critical Mitsubishi Materials Corp
Priority to JP6339594A priority Critical patent/JPH07270487A/ja
Publication of JPH07270487A publication Critical patent/JPH07270487A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】従来に比べ短い測定時間で高精度に抵抗値を測
定できるサーミスタ抵抗値測定装置を提供する。 【構成】先端部にコンタクトプローブ52が取り付けら
れたアーム48を有する位置決めロボット50と、抵抗
値を測定する際にコンタクトプローブ52を切り替える
スキャナ56と、抵抗値を測定するマルチメータ58
と、マルチメータ58で測定した標準サーミスタの抵抗
値及び被測定サーミスタの抵抗値を互いに比較演算して
測定精度を求めるパーソナルコンピュータ60とを備え
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁性溶剤が収容され
た液槽内で複数のサーミスタの抵抗値を測定するサーミ
スタ抵抗値測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5から図7までを参照して従来のサー
ミスタ抵抗値測定装置を説明する。図5は複数のサーミ
スタが整列したサーミスタ整列用治具を示す斜視図、図
6は図5に示されるサーミスタ整列用治具の断面図、図
7は図5に示されるサーミスタ整列用治具を絶縁性溶剤
が収容された液槽に浸漬した状態を示す斜視図である。
【0003】サーミスタ整列用治具10は、サーミスタ
20が配置される複数の凹部12aが形成されたサーミ
スタ整列板12と、このサーミスタ整列板12の下面に
取り付けられたコモン電極板14と、コモン電極板14
を支持する支持板16を備えて構成されている。サーミ
スタ整列用治具10に整列した複数のサーミスタ20
は、絶縁性溶剤22が収容された液槽24に浸漬され
る。この液槽24の内で手動によりコンタクトプローブ
26を複数のサーミスタ20に順次に接触させて、標準
素子27が接続されたパーセントメータ28を用いてサ
ーミスタ20の抵抗値が測定される。抵抗値の測定に当
たっては、絶縁性溶剤22を均一温度に保つために、撹
拌機30で絶縁性溶剤22が撹拌される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のサ
ーミスタ抵抗値測定装置には、以下の(1)〜(6)の
問題がある。 (1)手動で測定するため、サーミスタへのコンタクト
プローブの押付け圧力の変動が大きく、測定した抵抗値
にばらつきが生じる。 (2)コンタクトプローブを手動で位置決めするため、
多数のサーミスタを測定すると、重複して測定したり飛
び抜かして測定する等の誤測定が多い。 (3)液槽内の溶剤を撹拌しているためサーミスタの確
認が難しく、位置決めが困難である。 (4)コンタクトプローブを手動で扱うため、コンタク
トプローブからの温度の影響を測定値が受ける可能性が
高い。 (5)コンタクトプローブを手動で扱って測定するた
め、例えば180分で2500個しか測定できない。 (6)サーミスタ整列治具を液槽にセットしてから温度
が安定するまで5分程度の温度安定時間が必要である。
【0005】本発明は、上記事情に鑑み、従来に比べ短
い測定時間で高精度で抵抗値を測定できるサーミスタ抵
抗値測定装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
の本発明のサーミスタ抵抗値測定装置は、複数のサーミ
スタが整列したサーミスタ整列用治具を、絶縁性溶剤が
収容された液槽に浸漬し、複数のサーミスタそれぞれに
コンタクトプローブを順次に接触させてこれらサーミス
タの抵抗値の測定を行うサーミスタ抵抗値測定装置にお
いて、複数のコンタクトプローブと、この複数のコンタ
クトプローブが先端部に取り付けられたアームを有し、
このアームを移動させて所定の加重で複数のサーミスタ
に複数のコンタクトプローブを接触させる位置決め機
と、上記複数のコンタクトプローブによる抵抗値の測定
を順次切り替えるスキャナとを備えたことを特徴とする
ものである。
【0007】
【作用】本発明のサーミスタ抵抗値測定装置によれば、
位置決め機を用いることにより、サーミスタ整列用治具
に整列したサーミスタへのコンタクトプローブの位置決
めが容易にできるため測定時間を短くでき、ハンドリン
グの容易でない小型のサーミスタであっても、容易に位
置決めできる。また、コンタクトプローブの押付け圧力
も均一にできるため、高精度でばらつきの少ない測定を
行える。
【0008】さらに、複数のコンタクトプローブが取り
付けられたアームを移動して位置決めするため、1回の
位置決めで複数のコンタクトプローブを位置決めでき、
この複数のコンタクトプローブをスキャナで順次切り替
えて抵抗値を測定するため連続的に測定が行える。この
結果、作業性が大幅に向上する(従来の20倍程度)と
共に信頼性も向上する。また、自動で測定するため、重
複して測定したり飛び抜かして測定する等の誤測定が無
い。
【0009】
【実施例】以下、図面を参照して本発明のサーミスタ抵
抗値測定装置の一実施例を説明する。図1はサーミスタ
抵抗値測定装置を示す正面図、図2は図1に示されたサ
ーミスタ抵抗値測定装置の平面図、図3は図1に示され
たサーミスタ抵抗値測定装置のブロック図、図4は図1
に示されたサーミスタ抵抗値測定装置でサーミスタの抵
抗値を測定している状態を示す説明図である。
【0010】サーミスタ抵抗値測定装置40には、絶縁
性溶剤が収容された2つの液槽42,44が備えられて
おり、これら液槽42,44同士は連絡水路46でつな
がれている。また、連絡水路46を経由して2つの液槽
42,44の間を往復動するアーム48を有する位置決
めロボット50(水平間接型ロボット)が、2つの液槽
42,44の間に配置されている。アーム48の先端部
には、標準サーミスタ(図示せず)と、5行×5列のコ
ンタクトプローブ52が取り付けられている。また、抵
抗値を測定する機器を制御する測定機制御部54には、
抵抗値を測定する際にコンタクトプローブ52を切り替
えるスキャナ56と、抵抗値を測定するマルチメータ5
8と、マルチメータ58で測定した標準サーミスタの抵
抗値及び被測定サーミスタの抵抗値を互いに比較演算し
て測定精度を求めるパーソナルコンピュータ60とが備
えられている。パーソナルコンピュータ60には、位置
決めロボット50のコントローラ62に接続されたボー
ド60a、スキャナ56とマルチメータ58とに接続さ
れたボード60cなどが備えられている。
【0011】また、サーミスタ整列用治具64には、サ
ーミスタを整列させる穴が、1ブロックを25行×50
列として2ブロック形成されており、2500個のサー
ミスタが配列される。次に、サーミスタ抵抗値測定装置
40を用いて複数のサーミスタの抵抗値を自動的に測定
する手順を説明する。
【0012】先ず、被測定サーミスタをサーミスタ整列
用治具64に整列させて、絶縁性の高い溶剤を入れた液
槽42,44の内に固定し、液槽42,44に取付けら
れた撹拌機(図示せず)で溶剤を循環させる。サーミス
タ整列用治具64を固定後、5分以内の安定時間を取
り、測定機制御部54に測定開始を指令すると測定がス
タートされる。測定に当たってのコンタクトプローブ5
2の被測定サーミスタへの位置決めは位置決めロボット
50により行われ、これによりX,Y,Z方向への高精
度の位置決めが行われる。
【0013】1回の位置決めで複数のコンタクトプロー
ブ52が被測定サーミスタと接触し、コンタクトプロー
ブ52とコモン電極64aとの間で被測定サーミスタの
抵抗値が測定される。コンタクトプローブ52による測
定はスキャナ56によって順次切り替えられ、このた
め、被測定サーミスタの抵抗値を短時間で測定すること
ができる。被測定サーミスタの抵抗値は標準サーミスタ
の抵抗値との比較法で判定され、測定値はボード60c
を介してパーソナルコンピュータ60に取り込まれて演
算処理される。この一連の測定に当っては、液槽42,
44にそれぞれサーミスタ整列用治具64をセットして
交互に測定する。このため、温度安定時間が短縮でき、
連続的に測定できる。尚、外的温度の影響を受けにくく
するためにコンタクトプローブ52は連絡水路46を移
動させる。
【0014】サーミスタ抵抗値測定装置40を用いてサ
ーミスタの抵抗値を自動的に測定することにより、手作
業を省力化できて8分で2500個のサーミスタの抵抗
値を測定でき、大幅に測定時間を短縮できた。単位時間
あたりの処理能力は、従来の手作業の約20倍になっ
た。さらに、位置決めロボットを用いてサーミスタの抵
抗値を連続的に測定することにより抵抗値のばらつき及
び測定ミス等の問題が解決できた。
【0015】
【発明の効果】以上説明したように本発明のサーミスタ
抵抗値測定装置によれば、位置決め機を用いることによ
り、サーミスタ整列用治具に整列したサーミスタへのコ
ンタクトプローブの位置決めが容易にできるため測定時
間を短くでき、ハンドリングの容易でない小型のサーミ
スタであっても容易に位置決めできる。また、コンタク
トプローブの押付け圧力も均一にできるため、高精度で
ばらつきの小さい測定を行える。また、複数のコンタク
トプローブが取り付けられたアームを移動して位置決め
するため、1回の位置決めで複数のコンタクトプローブ
を位置決めでき、この複数のコンタクトプローブをスキ
ャナで順次切り替えて抵抗値を測定するため連続的な測
定が行える。この結果、オペレータはサーミスタ整列用
治具へのサーミスタの整列及び液槽へのサーミスタ整列
用治具の装着・回収が主な作業となり作業性が大幅に向
上すると共に信頼性も向上した。また、自動で測定する
ため、重複して測定したり飛び抜かして測定する等の誤
測定が無い。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のサーミスタ抵抗値測定装置の一実施例
を示す正面図である。
【図2】図1に示されたサーミスタ抵抗値測定装置の平
面図である。
【図3】図1に示されたサーミスタ抵抗値測定装置のブ
ロック図である。
【図4】図1に示されたサーミスタ抵抗値測定装置でサ
ーミスタの抵抗値を測定している状態を示す説明図であ
る。
【図5】複数のサーミスタが整列したサーミスタ整列用
治具を示す斜視図である。
【図6】図5に示されたサーミスタ整列用治具の断面図
である。
【図7】図5に示されたサーミスタ整列用治具を、絶縁
性溶剤が収容された液槽に浸漬した状態を示す斜視図で
ある。
【符号の説明】
40 サーミスタ抵抗値測定装置 42,44 液槽 48 アーム 50 位置決めロボット 52 コンタクトプローブ 56 スキャナ 64 サーミスタ整列用治具

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のサーミスタが整列したサーミスタ
    整列用治具を、絶縁性溶剤が収容された液槽に浸漬し、
    前記複数のサーミスタそれぞれにコンタクトプローブを
    順次に接触させて前記複数のサーミスタの抵抗値の測定
    を行うサーミスタ抵抗値測定装置において、 複数のコンタクトプローブと、 該複数のコンタクトプローブが先端部に取り付けられた
    アームを有し、該アームを移動させて所定の加重で前記
    複数のサーミスタに前記複数のコンタクトプローブを接
    触させる位置決め機と、 前記複数のコンタクトプローブによる前記測定を順次切
    り替えるスキャナとを備えたことを特徴とするサーミス
    タ抵抗値測定装置。
JP6339594A 1994-03-31 1994-03-31 サーミスタ抵抗値測定装置 Pending JPH07270487A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6339594A JPH07270487A (ja) 1994-03-31 1994-03-31 サーミスタ抵抗値測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6339594A JPH07270487A (ja) 1994-03-31 1994-03-31 サーミスタ抵抗値測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH07270487A true JPH07270487A (ja) 1995-10-20

Family

ID=13228083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6339594A Pending JPH07270487A (ja) 1994-03-31 1994-03-31 サーミスタ抵抗値測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH07270487A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102107190A (zh) * 2010-12-20 2011-06-29 常州市科文传感器材料有限公司 二极管型热敏电阻高速测试系统
CN107782968A (zh) * 2016-08-24 2018-03-09 神讯电脑(昆山)有限公司 阻抗测试装置
CN110455514A (zh) * 2019-08-20 2019-11-15 田楚兵 一种力及电阻曲线综合检测方法及测试仪

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102107190A (zh) * 2010-12-20 2011-06-29 常州市科文传感器材料有限公司 二极管型热敏电阻高速测试系统
CN107782968A (zh) * 2016-08-24 2018-03-09 神讯电脑(昆山)有限公司 阻抗测试装置
CN110455514A (zh) * 2019-08-20 2019-11-15 田楚兵 一种力及电阻曲线综合检测方法及测试仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9664733B2 (en) Probe device for testing electrical characteristics of semiconductor element
US9442156B2 (en) Alignment support device and alignment support method for probe device
JPH07270487A (ja) サーミスタ抵抗値測定装置
JPH0989951A (ja) 抵抗値測定装置
JPH09107011A (ja) 半導体装置、およびこの半導体装置の位置合わせ方法
KR100944070B1 (ko) 프린트 기판의 전기 검사 장치, 검사 지그 및 검사 지그의고정 확인 방법
US20020039022A1 (en) Calibration device for semiconductor testing apparatus, calibration method and semiconductor testing apparatus
CN210803589U (zh) 一种电感测试辅助工具
JP2001235505A (ja) 回路基板検査装置
JP2004101275A (ja) 基板検査装置及び基板検査方法
JP2011214907A (ja) 核酸濃度定量分析装置の通電検査に用いる通電検査用カセット、および、通電検査方法
CN211928139U (zh) 多通道导通性测试平台
JP3276755B2 (ja) 実装部品のリードの半田付け不良検出方法
JP6576176B2 (ja) プローブユニットおよび基板検査装置
JP2005049314A (ja) プロービングテスト法およびプローブ状態検出装置
JP2003121459A (ja) 電気特性測定装置及び測定方法
JPH05152389A (ja) プローブカード
CN118444227A (zh) 分流器测试装置及其控制方法、控制装置
JPH09222441A (ja) サーミスタ抵抗値測定選別装置
CN218647106U (zh) 一种实装电路板的测试打标装置
KR20030001830A (ko) 프로브 장치
KR0127639B1 (ko) 프로우빙 시험 방법 및 그 장치
KR100451384B1 (ko) 소켓류 검사장치 및 그를 이용한 소켓류 검사방법
JP2001196205A (ja) 電子部品の検査方法と検査装置
JPH07109837B2 (ja) プロ−ブ装置

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010123