KR100750466B1

KR100750466B1 - 평판표시소자 검사용 프로브 조립체

Info

Publication number: KR100750466B1
Application number: KR1020060016660A
Authority: KR
Inventors: 강성일
Original assignee: 강성일
Priority date: 2006-02-21
Filing date: 2006-02-21
Publication date: 2007-08-22

Abstract

본 발명은, 평판표시소자 검사용 프로브 조립체에 관한 것으로, 베이스 블럭(100)과, 상기 베이스 블럭 상에 상하 이동 가능하게 결합되는 상하이동 블럭(102)과, 상기 상하이동 블럭(102)의 양 측벽에 결합된 스케일바(118)에 의해 가이드되어 횡적으로 이동 가능하게 형성된 한 쌍의 디지탈 스케일(114)과, 상기 상하이동 블럭(102)의 바닥면에 결합된 좌우이동 LM 가이드레일(117)에 결합되는 좌우이동 LM 가이드블럭(119)이 바닥면 하측에 결합 형성되어 횡적 이동 가능하게 형성되고 일측에 검사용 단자 접촉용 복수의 프로브핀(126)이 결합되어 있는 한 쌍의 프로브핀 고정 블럭(112)과, 상기 프로브핀 고정 블럭의 하단 일측에 결합되는 프로브핀 모듈(113)과, 상기 베이스 블럭(100)을 강제로 상하 이동시키기 위한 수단과, 상기 프로브핀 고정 블럭(112)을 횡적 이동시키기 위한 수단과, 상기 베이스 블럭(100)의 수직판(100-2)에 결합된 상하이동 LM 가이드레일(120)과, 상기 상하이동 LM 가이드레일(120)에 결합되며 상기 상하이동 블럭(102)에 결합되는 상하이동 LM 가이드블럭(120)을 포함하는 평판표시소자 검사용 프로브 조립체에 관한 것이다.

평판표시소자, 프로브핀

Description

평판표시소자 검사용 프로브 조립체{A probing assembly for testing flat panel display device}

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예의 개략도이다.

도 6 및 도 7은 는 본 발명의 일 실시예의 설계도면이다.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 예시사진이다.

<도면의 주요 부호에 관한 설명>

100 : 베이스 블럭 102 : 상하이동 블럭

104 : 스케일바 고정블럭 106 :지그 고정블럭

108 : 회전 손잡이 110 :좌우 이동볼트

112 : 프로브핀 고정 블럭 113 : 프로브핀 모듈

114 :디지탈 스케일 116 : 표시부

117 : 좌우이동 LM 가이드레일 118 :스케일바

119 : 좌우이동 LM 가이드블럭 120 :상하이동 LM 가이드레일

121 : 상하이동 LM 가이드블럭 122 : 핸들

124 : 지그 126 : 프로브핀

130 : 평판표시소자 132 : 패드 단자

134 : 지그 고정 볼트 136 : 고정 홈

본 발명은 평판표시소자 검사용 프로브 조립체에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 서로 다른 사이즈(spec)을 갖는 평판표시소자 특히 OLED 등의 평판표시소자에 대하여 매우 신속하고도 정확하게 적응적으로 대응할 수 있게 하는 프로브 조립체에 관한 것이다.

일반적으로, TFT-LCD, PDP, OLED등은 평판디스플레이의 일종으로써, 무수히 많은 셀로 이루어진 화소가 배열되어 소정의 크기를 갖고 있다. 내부 구조는 소자 마다 특징을 갖고 있지만 영상 신호를 인가하는 영상신호 전극 및 구동 회로는 공통적으로 구비되어 있다. 평판표시소자는 제조를 완료한 후, 평판 표시소자의 패드전극에 프로브 조립체의 프로브를 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 조기에 제거하는 테스트(Test)공정을 진행하고 있다. 이와 같은 평판표시소자의 테스트는, 프로브 조립체를 구비한 프로빙 장치를 이용하여 이루어지고, 이와 같은 프로빙장치의 프로브 조립체는, 니들(Needle) 타입, 블레이드(Blade) 타입 및 필름(Film) 타입,멤스(MEMS) 타입등과 같이 다양한 형태로 개발 사용되고 있다. 그런데, 최근에 평판표시소자가 고집적화됨에 따라 평판표시소자의 패턴의 선폭이 극도로 작아지고 있으며 생산 수율을 관리 하기 위해 반복 재현성 및 신뢰성이 확보된 프로브 조립체를 필요로 하고 있다. 따라서, 평판표시소자의 미세 피치(fine pitch)에 대응이 가능함과 동시에 재현성 및 신뢰성, 생산성이 뛰어난 프로브 조립체의 개발이 절실히 요구되고 있다.

종래의 기술에서 프로브핀을 평판표시소자의 패드 단자에 접촉하기 위하여 프로브 조립체를 사용하여 검사대상인 평판표시소자에 맞추어 프로브핀 위치를 정렬하여 프로브핀과 패드 단자의 접촉이 이루어지게 하였는데, 검사대상이 다양한 종류를 갖는 경우 예를 들면 서로다른 사이즈의 평판표시소자를 하나의 프로브 조립체를 사용하여 검사하는 경우 각각의 평판표시소자마다 프로브 조립체의 프로브핀 정렬을 새로 바꾸는데 상당한 어려움을 겪게 되었다.

본 발명은 검사대상인 복수의 종류의 평판표시소자를 검사할 때 매우 신속하고 용이하게 프로브핀의 정렬을 새로 할 수 있게 하여 하나의 프로브 조립체만으로로 복수의 모델의 평판표시소자의 검사를 적응적으로 용이하게 수행할 수 있게 하는 것을 그 목적으로 한다.

한편, 본 발명은 미세 정렬이 가능하며 정확한 재현성을 갖는 정렬이 가능하게 함으로써 정확한 정밀도를 갖는 검사 작업이 가능하게 하는 것을 그 목적으로 한다.

본 발명은 평판표시소자 검사용 프로브 조립체에 관한 것으로, 수평판(100-1)과 수직판(100-2)을 포함하는 베이스 블럭(100)과, 상기 베이스 블럭 상에 상하 이동 가능하게 결합되는 상하이동 블럭(102)과, 상기 상하이동 블럭(102)의 양 측벽에 결합된 스케일바(118)에 의해 가이드되어 횡적으로 이동 가능하게 형성된 한 쌍의 디지탈 스케일(114)과, 상기 상하이동 블럭(102)의 바닥면에 결합된 좌우이동 LM 가이드레일(117)에 결합되는 좌우이동 LM 가이드블럭(119)이 바닥면 하측에 결합 형성되어 횡적 이동 가능하게 형성되고 일측에 검사용 단자 접촉용 복수의 프로브핀(126)이 결합되어 있는 한 쌍의 프로브핀 고정 블럭(112)과, 상기 프로브핀 고정 블럭의 하단 일측에 결합되는 프로브핀 모듈(113)과,상기 베이스 블럭(100)의 수평판(100-1) 상에 결합된 지그 고정블럭(106)과, 상기 지그 고정 블럭(106) 상에 올려놓고 그 위에 올려 놓는 평판표시소자를 검사하기 위한 지그(124)와, 상기 베이스 블럭(100)을 강제로 상하 이동시키기 위한 수단과, 상기 프로브핀 고정 블럭(112)을 횡적 이동시키기 위한 수단과, 상기 베이스 블럭(100)의 수직판(100-2)에 결합된 상하이동 LM 가이드레일(120)과, 상기 상하이동 LM 가이드레일(120)에 결합되며 상기 상하이동 블럭(102)에 결합되는 상하이동 LM 가이드블럭(120)을 포함하며, 상기 한 쌍의 프로브핀 고정 블럭은 각각 상기 디지탈 스케일과 결합되어 함께 횡적 이동되게 형성되며, 상기 디지탈 스케일은 상측에 표시부(116)가 존재하여 디지탈 스케일의 이동거리를 숫자로 표시하도록 형성된 것을 그 특징으로 하는 평판 표시소자 검사용 프로브 조립체에 관한 것이다.

여기서, 상기 지그 고정블럭(106)에는 복수의 지그 고정 볼트(134)가 결합되어 있고,상기 지그에는 상기 지그 고정볼트의 끝단과 맞물리는 고정 홈(136)이 라운드되게 만입된 형태로 형성되어 있어서, 상기 지그 고정 볼트(134)의 끝단이 상기 고정 홈(136)에 맞물리면서 상기 지그의 위치가 조정된다.

이하 첨부도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 평판표시소자 검사용 프로브 조립체는 지그(124) 상에 놓여지는 평판표시소자(130)의 패드 단자(132)에 프로브핀(126)을 정확히 접촉하게 하기 위하여 다음과 같은 구성을 갖고 있다.

수평판(100-1)과 수직판(100-2)을 포함하는 베이스 블럭(100)이 형성되어 있고, 이러한 베이스 블럭의 일측에는 도시된 바와 같이 지그 고정블럭(106)이 결합된다. 즉, 도 1에 도시된 바와 같이 베이스 블럭(100)의 수평판(100-1) 상에는 지그(124)를 올려놓고 고정하기 위한 지그 고정블럭(106)이 결합되어 있다. 지그 고정블럭(106)은 도시된 바와 같이 좌우 한 쌍의 부재로 구성될 수 있으며, 그 위에 지그를 올려놓고 고정하여 지그가 안정적으로 고정되며 나아가 지그의 위치가 조정되게 하는 기능을 수행한다.

한편, 베이스 블럭 상에는 도 1에 도시된 바와 같이 상하이동 블럭(102)이 상하 이동 가능하게 결합된다. 상하 이동블럭은 LM 가이드 방식으로 안정적으로 상하로 수직 이동되게 형성된다. 이를 위해 베이스 블럭(100)의 수직판(100-2)에는 도 1에 도시된 바와 같이 상하이동 LM 가이드레일(120)이 결합되어 있고, 상하이동 블럭(102)에는 상기 상하이동 LM 가이드레일(120)에 결합되어 가이드되기 위한 상하이동 LM 가이드블럭(121)이 결합 형성된다. 즉, 상하이동 LM 가이드레일(120)과 상하이동 LM 가이드블럭(121)이 맞물림으로써 상하이동 블럭(102)은 안정적으로 상하로 수직 이동되게 형성되는 것이다.

상하이동 블럭(102)의 양측으로 스케일바 고정블럭(104)이 도 1에 도시된 바와 같이 결합 형성되며 스케일바 고정블럭에는 스케일바(118)가 도시된 바와 같이 가로질러 결합되어, 한 쌍의 디지탈 스케일(114)이 스케일바에 가이드되면서 횡적으로 이동 가능하게 형성된다. 디지탈 스케일(114)은 스케일바 상에서 이동된 거리를 측정하는 장비로서 일본 Mitutoyo사 제품 등의 기성품을 활용할 수 있음은 물론이다.

한편, 상하이동 블럭(102)의 바닥면 상에는 한 쌍의 프로브핀 고정 블럭(112)이 결합되어 있는데, 프로브핀 고정 블럭은 상하이동 블럭 상에서 횡적으로(즉, 좌우 방향으로) 이동 가능하도록 결합된다. 즉, 상하이동 블럭의 바닥면 상측 으로 좌우이동 LM 가이드레일(117)이 도 3에 도시된 바와 같이 결합되고 프로브핀 고정 블럭의 바닥면의 하측으로 좌우이동 LM 가이드블럭(119)이 결합되어 좌우이동 LM 가이드레일(117)과 좌우이동 LM 가이드블럭(119)이 맞물림으로써 프로브핀 고정 블럭이 LM 가이드방식으로 가이드되는 횡적 이동이 가능하게 되는 것이다.

한 쌍의 프로브핀 고정 블럭(112)의 하단 일측에는 도 1에 도시된 바와 같이 검사용 단자 접촉용 복수의 프로브핀(126)이 결합되어 있는 프로브핀 모듈(113)이 볼트(115) 등에 의해 결합된다. 따라서 검사 대상인 평판표시소자가 변경되어 프로브핀의 피치 등이 변경될 필요가 있을 때 볼트(115)를 풀고 프로브핀 모듈만을 교환하여 사용하면 되므로 검사용 평판표시소자의 종류가 바뀌더라도 신속히 대응가능하게 되어 매우 편리하다.

한편, 한 쌍의 프로브핀 고정 블럭(112)과 한 쌍의 디지탈 스케일(116)은 각각 상호 고정 결합되어 함께 횡적 이동되게 형성된다. 따라서 프로브핀 고정 블럭이 횡적으로 이동한 거리는 디지탈 스케일에 의하여 정확히 측정되는 것이다. 디지탈 스케일은 상측에 표시부(116)가 존재하여 디지탈 스케일의 이동거리 즉 프로브핀 고정 블럭의 횡적 이동 거리가 표시부를 통하여 숫자로 외부에 표시된다.

지그 고정블럭(106)에는 복수의 지그 고정 볼트(134)가 결합되어 있고,상기 지그(124)의 측면에는 상기 지그 고정볼트의 끝단과 맞물리는 고정 홈(136)이 라운 드되게 만입된 형태로 형성되어 있어서, 상기 지그 고정 볼트(134)의 끝단이 상기 고정 홈(136)에 맞물리면서 상기 고정 볼트의 센터와 상기 고정홈의 센터가 일치하게 조정됨에 따라 지그(124)의 위치가 정밀하게 조정되게 된다.

상기한 구성의 본 발명의 평판표시소자 검사용 프로브 조립체는 다음과 같이 동작한다. 지그를 지그 고정 블럭 상에 올려 놓고 지그 고정볼트를 조임으로써 지그의 위치를 정밀 조정한 후 검사하고자 하는 평판 표시소자를 지그 상에 올려 놓는다. 검사하고자 하는 평판표시소자의 사양에 따라 프로브핀 고정 블럭을 정해진 위치로 횡적 이동시킨다. 이를 위해 프로브핀 고정 블럭(112)을 횡적 이동시키기 위한 수단이 구비되어야 하는데, 본 실시예에서는 도 1에 도시된 바와 같이 상하이동블럭(102)에 좌우이동볼트 고정 블럭(107)이 결합되고 이에 회전 손잡이(108)가 결합되어 회전 손잡이에 의하여 좌우 이동볼트(110)를 움직여 프로브핀 고정 블럭(112)을 이동시키게 되는 것이다.

프로브핀 고정 블럭이 횡적으로 이동되는 거리는 프로브핀 고정 블럭에 결합된 디지탈 스케일(114)의 표시부(116)에 표시되기 때문에 디지탈 스케일에 일정 숫자가 표시되도록 프로브핀 고정 블럭을 횡적으로 이동시킴으로써 정확한 위치까지 프로브핀 고정 블럭을 이동시킬 수 있게 된다.

프로브핀 고정 블럭의 위치 조정이 완료되면 상하이동블럭(102)을 강제로 상 하 이동시키기 위한 수단을 사용하여 강제로 상하이동블럭(102)을 아래로 이동시키며, 이에 의하여 프로브핀 고정 블럭에 형성된 복수의 프로브핀(126)이 평판표시소자의 단자(132)에 접촉되게 되고 검사가 수행되게 된다. 상하이동블럭(102)을 강제로 상하 이동시키기 위한 수단으로는 레귤레이터를 사용하는 전기 구동 방식 등 다양한 방식이 가능할 것이며, 본 실시예에서는 수동으로 조작하는 방식을 예로 든다. 즉, 본 실시예에서는 핸들(122)을 조작하여 상하이동블럭을 오르내리는 구성을 예로 들었다. 즉, 도 3에 도시된 바와 같이 상하이동블럭에는 캠브라켓(140)이 결합되며, 캠브라켓은 핸들(122), 캠(142), 회전축(144) 등을 구비하는 캠 구조체(150)에 의하여 도 4 또는 도 5에 도시된 방식으로 이동되게 되어 결국 상하이동블럭이 상하 이동되게 되는 것이다. 당업자라면 도면만 보아도 그 구조를 알 수 있을 것이지만 보다 상세히 설명하면, 베이스 블럭의 수직판(100-2)에 고정되되 회전축(144)를 축으로 하여 회전가능하게 고정된 캠 구조체(150)의 캠(142)이 상하이동블럭에 고정 결합된 캠 브라켓(140)에 접촉되어 핸들(122)의 조작에 따라 캠 브라켓을 도 5와 같이 상측으로 밀어 올림에 따라 상하 이동블럭이 상측으로 이동되게 되며 다시 도 4의 위치로 핸들을 조작하면 상하 이동블럭이 아래로 내려오게 되는 것이다. 캠 브라켓의 중앙 하단에는 캠안치홈(141)이 형성되어 있어서 도 5와 같이 상하 이동블럭이 상측으로 이동된 상태에서 캠(142)이 캠안치홈(141)에 안치되어 평상시 상하 이동블럭이 상측으로 이동된 상태로 유지될 수 있게 하면 더욱 편리하다.

도 6 및 도 7에는 본 발명의 일 실시예의 구체적인 설계도면이 도시되어 있고 도 8a 내지 도 8c에는 제작된 견본 사진이 도시되어 있으므로 본 발명을 이해하는데 더욱 도움이 될 것이다.

한편, 또 다른 실시예로 디지탈 스케일, 스케일바(118), 좌우이동 LM 가이드레일(117), 좌우이동 LM 가이드블럭(119), 프로브핀 고정 블럭(112)을 횡적 이동시키기 위한 수단 등 프로브핀 고정 블럭의 횡적이동에 관련된 구성을 모두 생략하고 단순히 하나의 프로브핀 고정 블럭을 상하로 이동시키면서 평판표시소자를 검사하는 단순화된 프로브 조립체도 가능할 것이다.

이상에서 설명한 본 발명의 실시예는 본 발명의 실시 태양 중 하나의 예를 든 것으로 본 발명은 이에 한정되지 아니하고 이와 등가물, 균등물을 포함함을 밝혀 둔다.

본 발명은 검사대상인 복수의 종류의 평판표시소자를 검사할 때 매우 신속하고 용이하게 프로브핀의 정렬을 새로 할 수 있게 하여 하나의 프로브 조립체만으로로 복수의 모델의 평판표시소자의 검사를 적응적으로 용이하게 수행할 수 있게 하는 효과를 갖는다.

한편, 본 발명은 미세 정렬이 가능하며 정확한 재현성을 갖는 정렬이 가능하게 함으로써 정확한 정밀도를 갖는 검사 작업이 가능하다.

Claims

평판표시소자 검사용 프로브 조립체에 있어서,

수평판(100-1)과 수직판(100-2)을 포함하는 베이스 블럭(100)과,

상기 베이스 블럭 상에 상하 이동 가능하게 결합되는 상하이동 블럭(102)과,

상기 상하이동 블럭(102)의 양측에 형성된 한 쌍의 스케일바 고정블럭(104)에 결합된 스케일바(118)에 의해 가이드되어 횡적으로 이동 가능하게 형성된 한 쌍의 디지탈 스케일(114)과,

상기 상하이동 블럭(102)의 바닥면에 결합된 좌우이동 LM 가이드레일(117)에 결합되는 좌우이동 LM 가이드블럭(119)이 바닥면 하측에 결합 형성되어 횡적 이동 가능하게 형성되고 일측에 검사용 단자 접촉용 복수의 프로브핀(126)이 결합되어 있는 한 쌍의 프로브핀 고정 블럭(112)과,

상기 프로브핀 고정 블럭의 하단 일측에 결합되는 프로브핀 모듈(113)과,

상기 베이스 블럭(100)의 수평판(100-1) 상에 결합된 지그 고정블럭(106)과,

상기 지그 고정 블럭(106) 상에 올려놓고 그 위에 올려 놓는 평판표시소자를 검사하기 위한 지그(124)와,

상기 베이스 블럭(100)을 강제로 상하 이동시키기 위한 수단과,

상기 프로브핀 고정 블럭(112)을 횡적 이동시키기 위한 수단과,

상기 베이스 블럭(100)의 수직판(100-2)에 결합된 상하이동 LM 가이드레일(120)과,

상기 상하이동 LM 가이드레일(120)에 결합되며 상기 상하이동 블럭(102)에 결합되는 상하이동 LM 가이드블럭(121)을 포함하며,

상기 한 쌍의 프로브핀 고정 블럭은 각각 상기 디지탈 스케일과 결합되어 함께 횡적 이동되게 형성되며,

상기 디지탈 스케일은 상측에 표시부(116)가 존재하여 디지탈 스케일의 이동거리를 숫자로 표시하도록 형성된 것을 그 특징으로 하는

평판표시소자 검사용 프로브 조립체
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