JP3889839B2 - 位置合わせ装置及びパネル検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はPDP等の平面表示ディスプレイに用いられる表示パネルの電極に対して信号を供給する検査用の端子を接続する位置合わせ装置及びパネル検査装置に関する。
【0002】
近年、表示装置の発展は目覚ましく、特に平面ディスプレイは薄型・軽量などの特徴から急速に普及してきた。プラズマ・パネル・ディスプレイ(PDP:Plasuma Display Panel) は大型画面の表示装置として従来の背面投射型ディスプレイ(CRT)に代わる次世代の平面表示ディスプレイである。
【0003】
そのPDPは、表示装置として組み立てる前に、表示パネル単体での表示電極端子列の良否検査や、表示素子の全点灯検査が行われる。その検査のために、パネルの電極に対して、検査用駆動回路から電気信号を供給するためのプローブユニットを精度良く接続(プロービング)する必要がある。
【0004】
【従来の技術】
従来、LCD等のパネル検査装置において、表示電極に駆動信号を供給する場合、全電極に対応した検査用端子を備えたプローブユニットをTVカメラ等を用いて位置あわせするものがある。その位置合わせ後に、表示電極に対して検査用端子を介して検査用駆動回路から電気信号を供給し、パネルの画素欠陥等の検査が行われる。
【0005】
ところで、近年では、プラズマ・パネル・ディスプレイ(PDP:Plasuma Display Panel) 等の表示パネルカラー表示を可能にするとともに、大型画面化されているため、パネル全体の大きさがが大きくなるとともに、表示画素数も多くなってきている。
【0006】
図5に示すように、表示パネル、例えば、PDPのガラス製のパネル1には、複数の電極2がパネル1の辺に沿って形成されている。電極2の数、電極幅W、及び、電極ピッチPは、パネル1の大きさと、そのパネル1により表示可能な画素数によって決定される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のパネル検査装置では、1つのプローブユニットに全ての検査用端子が備えられているため、小型の表示パネルを検査する場合には適しているが、図5に示されるパネル1のように、大型の表示パネルの場合には以下の問題がある。
【0008】
(1)ガラス製の表示パネル1は、電極加工工程での熱処理の影響で、表示パネル自体の伸縮が発生し、表示電極の電極ピッチが設計時の寸法から大きくずれる場合がある。例えば、両端の電極間が920mmのパネルの場合、電極ピッチ精度は最大で基準寸法の1/1000程度ばらつくため、設計値から0.92mm程度電極位置ずれが生じる。
【0009】
(2)ガラス製の表示パネル1は熱膨張係数が9×10^−6/℃であるため、例えばパネル1の温度が10℃変化すると、設計値から0.08mmの電極位置ずれが生じる。
【0010】
従って、上記の電極ずれが最大に発生したとすると、図5に示される両端の電極2a,2b間の距離Lは、設計値から1.00mmもずれることになる。そして、大型で画素数の多い表示パネルの場合、距離Lに比べて電極2の幅及びピッチは非常に小さい。例えば、図5に示すパネル1の場合、電極ピッチP=0.3mm、電極幅W=0.15mmに形成されている。そのため、プローブユニットの端子を目的とする電極2に精度良く接続することができなくなるという問題があった。
【0011】
本発明は上記問題点を解決するためになされたものであって、その目的は大型表示パネルの電極と検査用端子とを精度良く接続することができる位置合わせ装置を提供することにある。
【0012】
また、大型表示パネルの電極と検査用端子とを精度良く接続して表示パネルの検査を行うことができるパネル検査装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するため、請求項1発明は、被試験パネルの周辺に沿って配列された電極に接続する検査用プローブの位置を決定する位置合わせ装置であって、被試験パネルの辺には、複数の電極よりなる電極群が互いに離間して複数形成され、前記電極群を構成する複数の電極に接続される検査用プローブをそれぞれ備え、前記複数の電極群に対応する位置にそれぞれ設けられた複数のコンタクトユニットと、被試験パネルのずれ量を測定するずれ量測定手段と、
前記測定結果のずれ量に応じて、前記複数のコンタクトユニットを比例的に移動させる比例移動手段とを備えたことを要旨とする。
【0014】
請求項2発明は、請求項1に記載の位置合わせ装置において、前記ずれ量測定手段は、前記被試験パネルの辺に沿って配列された両端の電極の画像を取り込むカメラと、前記画像に基づいて、前記両端の電極間距離を測定する距離測定手段と、前記測定結果の電極間距離と、予め記憶された基準となる基準端子間距離との差を演算する差演算手段とから構成され、前記比例移動手段は、前記演算結果のずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させるようにしたことを要旨とする。
【0015】
請求項3発明は、請求項2に記載の位置合わせ装置において、前記比例移動手段は、前記被試験パネルの辺に配列された一端の電極を予め設定された基準電極位置に移動させた後、前記演算結果のずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させるようにしたことを要旨とする。
【0016】
請求項4発明は、請求項1乃至3に記載の位置合わせ装置において、前記比例移動手段は、前記各コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に沿って移動可能に支持するガイドレールと、前記各コンタクトユニットに備えられたカムフォロアと、前記各コンタクトユニットに対応して設けられ、前記基準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から各電極群を代表する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設定されたカムと、前記カムを前記ずれ量に応じて回転駆動する駆動手段とから構成されたことを要旨とする。
【0017】
請求項5発明は、請求項1乃至3に記載の位置合わせ装置において、前記比例移動手段は、前記各コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に沿って移動可能に支持するガイドレールと、前記ずれ量を基に、シャフトを回転駆動する駆動手段と、前記シャフトに備えられた主動側プーリと、前記主動側プーリによりタイミングベルトを介して回転駆動される従動側プーリと、前記従動側プーリにより回転駆動され、その回転により前記コンタクトユニットを移動させるボールネジとから構成され、前記主動側プーリと従動側プーリとボールネジのうちの1つ、又は、2つ以上の組み合わせにより前記各コンタクトユニットの移動量を、前記基準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から各電極群を代表する位置までの距離との比に設定したことを要旨とする。
【0018】
請求項6発明は、請求項1乃至5に記載の位置合わせ装置と、前記検査用プローブを前記被検査パネルに接続するクランプユニットと、前記検査用プローブを介して被検査パネルに対して検査用の電気信号を供給する検査用駆動回路とを備えたことを要旨とする。
【0019】
(作用)
従って、請求項1に記載の発明によれば、被試験パネルの辺には、複数の電極よりなる電極群が互いに離間して複数形成される。コンタクトユニットは、電極群を構成する複数の電極に接続される検査用プローブがそれぞれ備えられ、複数の電極群に対応する位置にそれぞれ設けられる。そして、ずれ量測定手段は、被試験パネルのずれ量を測定し、比例移動手段は、測定結果のずれ量に応じて、複数のコンタクトユニットを比例的に移動させる。
【0020】
請求項2に記載の発明によれば、ずれ量測定手段は、カメラと距離測定手段土佐演算手段とから構成される。カメラは、被試験パネルの辺に沿って配列された両端の電極の画像を取り込む。距離測定手段は、取り込まれた画像に基づいて、両端の電極間距離を測定する。差演算手段は、測定結果の電極間距離と、予め記憶された基準となる基準端子間距離との差を演算する。そして、比例移動手段は、演算結果のずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させる。
【0021】
請求項3に記載の発明によれば、比例移動手段は、被試験パネルの辺に配列された一端の電極を予め設定された基準電極位置に移動させた後、演算結果のずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させる。
【0022】
請求項4に記載の発明によれば、比例移動手段には、ガイドレールとカムフォロアとカムと駆動手段とから構成される。ガイドレールは、各コンタクトユニットを電極が配列された辺に沿って移動可能に支持する。カムは、各コンタクトユニットに対応して設けられ、コンタクトユニットに備えられたカムフォロアが当接され、基準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から各電極群を代表する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設定される。そして、駆動手段は、カムをずれ量に応じて回転駆動する。
【0023】
請求項5に記載の発明によれば、比例移動手段には、ガイドレール、駆動手段、主動側プーリ、従動側プーリ、及び、ボールネジが備えられる。各コンタクトユニットは、ガイドレールによって電極が配列された辺に沿って移動可能に支持される。駆動手段は、ずれ量を基に、シャフトを回転駆動し、そのシャフトには、主動側プーリが備えられる。その主動側プーリによりタイミングベルトを介して従動側プーリが回転駆動され、その従動側プーリの回転によりコンタクトユニットがボールネジにより移動される。そして、主動側プーリと従動側プーリとボールネジのうちの1つ、又は、2つ以上の組み合わせにより各コンタクトユニットの移動量を、基準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から各電極群を代表する位置までの距離との比に設定される。
【0024】
請求項6に記載の発明によれば、請求項1乃至5に記載の位置合わせ装置と、検査用プローブを被検査パネルに接続するクランプユニットと、検査用プローブを介して被検査パネルに対して検査用の電気信号を供給する検査用駆動回路とが備えられる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施の形態を図1〜図3に従って説明する。
図1は、パネル試験装置10の概略構成図である。パネル試験装置10は、接続装置11と制御装置12とから構成されている。先ず、接続装置11の構成を説明する。
【0026】
接続装置11には、ステージ21が設けられている。ステージ21には、ステッピングモータ22が設けられ、そのステッピングモータ22が駆動されると、ステージ21は、図示しないガイドレールに沿って矢印A方向に移動する。ステージ21には、PDP等の被試験パネル23が図示しない固定治具によって所定の位置に載置固定される。
【0027】
被試験パネル23の所定の複数辺には、それぞれ複数の電極24が各辺に沿って形成されている。尚、説明の都合上、図1には、1つの辺に沿って形成された電極24のみを示している。
【0028】
電極24は、所定の電極幅W及び電極ピッチP(図5参照)にて形成されている。また、電極24は、所定数毎に一定の間隔を開けて形成され、複数(本実施形態では5つ)の電極群25a〜25eを構成している。
【0029】
従って、各電極群25a〜25eは、1つの辺に沿って形成されるとともに、互いに所定間隔を開けて離間して形成されている。また、各電極群25a〜25eは、それぞれ代表する位置(例えば、各電極群25a〜25eの中心位置)が両端の電極24(以下、他の電極24と区別するために電極24a,24bとする)のうちの何れか1方からの距離が予め設定されている。
【0030】
尚、本実施形態では、各電極群25a〜25eの距離は、図1においてステッピングモータ22が備えられた側の電極24aから設定され、各電極群25a〜25eの距離X1,X2,X3,X4,X5が予め設定されている。
【0031】
また、接続装置11には、複数(本実施形態では5つ)のコンタクトユニット31a〜31eが設けられている。各コンタクトユニット31a〜31eは、それぞれ被試験パネル23の電極群25a〜25eに対応して設けられている。
【0032】
各コンタクトユニット31a〜31eには、それぞれプローブユニット32a〜32eが設けられている。各プローブユニット32a〜32eには、それぞれ検査用プローブ33a〜33eが備えられている。
【0033】
図2に示すように、検査用プローブ33a〜33eは、可撓可能な材質、例えば、フレキシブル基板よりなり、プローブユニット32a〜32eにそれぞれ固定されている。各検査用プローブ33a〜33eの先端(右端)には、図示しないバンプが形成されている。バンプは、各電極群25a〜25eを構成する電極24の数に対応した数及び間隔で設けられている。これらのバンプを電極23に押しつけることにより、後述する電源回路12aから出力される検査用信号が各電極24から被試験パネル23に供給される。
【0034】
各コンタクトユニット31a〜31eには、比例移動手段としてのガイドレール34a〜34eがそれぞれ設けられている。各コンタクトユニット31a〜31eは、各ガイドレール34a〜34eによって、電極24が形成された被試験パネル23の辺に沿って移動可能に支持されている。
【0035】
各コンタクトユニット31a〜31eには、比例移動手段としてのカムフォロア35a〜35eがそれぞれ設けられている。各コンタクトユニット31a〜31eには、それぞれスプリング36a〜36eが設けられている。
【0036】
図2に示すように、コンタクトユニット31aには、押圧手段としてのクランぷユニット37が設けられている。クランプユニット37は、エアシリンダ38と、そのエアシリンダ38により駆動され回動するクランパ39とから構成され、そのクランパ39により検査用プローブ33aの先端に設けられた図示しないバンプが被試験パネル23の電極(図2では省略)に押しつけられる。
【0037】
また、コンタクトユニット31aには、ガイドレール40が設けられている。コンタクトユニット31a及びクランプユニット37は、ガイドレール40によって支持されるとともに、そのガイドレール40に沿って被試験パネル23に対して接離方向(図2において左右方向)に移動可能になっている。この構成によって、コンタクトユニット31a及びクランプユニット37を被試験パネル23から離間させ、その被試験パネル23の着脱を容易にしている。
【0038】
尚、コンタクトユニット31aは、図1においては、図面が煩雑になるのをさけるために省略してある。また、他のコンタクトユニット31b〜31eにも同様のクランプユニット37が設けられており、その構成及び動作は同じであるので、図面及び説明を省略する。
【0039】
また、図1に示すように、接続装置11には、駆動手段としてのステッピングモータ41が設けられている。ステッピングモータ41には、軸受け42a,42bによって支持されたシャフト43が軸着されている。シャフト43には、コンタクトユニット31a〜31eに対応した比例移動手段としての端面カム44a〜44eが固定されている。
【0040】
端面カム44a〜44eは、各コンタクトユニット31aから31eに対応した位置、即ち、被試験パネル23に形成された電極群25a〜25eに対応した位置に固定されている。図3(a)に示すように、端面カム44aには、コンタクトユニット31aに設けられたカムフォロア35aが当接されている。更に、図1に示すように、コンタクトユニット31aは、スプリング36aによって図1の左方向に付勢されている。
【0041】
従って、図1に示されるステッピングモータ41によってシャフト43が回転されると、その回転によって端面カム44aによってカムフォロア35aが図中の右矢印方向に移動する。その結果、図1に示されるコンタクトユニット31aは、ガイドレール34aによって被試験パネル23の辺に沿って図面右方向に移動する。また、図1に示されるように、コンタクトユニット31aは、スプリング36aによって図1の左方向に付勢されている。従って、図3に示されるカムフォロア35aは、端面カム44aから離間することがないので、コンタクトユニット31aは、図1の左方向に移動する。尚、他のコンタクトユニット31b〜31eは、コンタクトユニット31aと同じであるので、説明を省略する。
【0042】
また、各端面カム44a〜44eは、カムフォロア35a〜35eを移動させる変位量が、図3(b)に示されるカム線図の様に、図1における右端の端面カム44eほど変位量が大きくなるように設定されている。また、各端面カム44a〜44eの変位量は、各コンタクトユニット31a〜31eの位置、即ち、被試験パネル23の各電極群25a〜25eの位置の比に対応して設定されている。
【0043】
具体的には、基準となる端の電極24aから各電極群25a〜25eを代表する位置(本実施形態では、各電極群25a〜26eの中心)までの距離が距離X1,X2,X3,X4,X5に設定されている。そして、両端の電極24a,24b間の距離を距離Lとする。被試験パネル23が伸縮した場合、各電極群25a〜25eのずれは、各距離X1〜X5をそれぞれ基準となる距離寸法Lで割った値に比例する。即ち、各電極群25a〜25eのずれ量をそれぞれずれ量ΔX1〜ΔX5とすると、各ずれ量ΔX1〜ΔX5は、それぞれ(X1/L),(X2/L),(X3/L),(X4/L),(X5/L)に比例する。従って、各端面カム44a〜44eの変位量の比(カム比)は、(X1/L):(X2/L):(X3/L):(X4/L):(X5/L)となるように設定されている。
【0044】
従って、ステッピングモータ41によってシャフト43が回転されると、そのシャフト43に固定された端面カム44a〜44eの回転角に応じて、基準となる電極24aから各電極群25a〜25eまでの距離X1の位置の比に応じて各コンタクトユニット31a〜31eが移動する。
【0045】
更にまた、図1に示すように、接続装置11には、ずれ量測定手段としての1対のカメラ51,52が設けられている。カメラ51,52は、被試験パネル23に発生する基準パネルに対するずれを測定するために設けられている。両カメラ51,52は、予め基準となる位置に設置されている。基準となる位置は、被試験パネル23の設計上の両端の端子24a,24bに対応した位置である。尚、図1では、両カメラ51,52は、被試験パネル23とコンタクトユニット31a,33eとの間に示されているが、実際には、図2に示すように、被試験パネル23の端部上方に図示しない固定具により配設されている。
【0046】
両カメラ51,52は、被試験パネル23の両端の電極24a、24b付近を画像として取り込む。そして、両カメラ51,52は、それぞれ取り込んだ画像を制御装置12に出力する。
【0047】
次に、制御装置12について説明する。ずれ量測定手段、比例移動手段、距離測定手段、差演算手段、及び、駆動手段としての制御装置12は、コンピュータよりなり、被試験パネル23を検査するための検査プログラムが予め格納されている。制御装置12には、ステッピングモータ22,41が接続されている。
【0048】
また、制御装置12には、電源回路12aが設けられている。電源回路12aは、被試験パネル23を検査するための電気信号を出力する検査用駆動回路であり、図では省略してあるが各コンタクトユニット31a〜31eの検査用プローブ33a〜33eに接続されている。
【0049】
制御装置12は、検査プログラムに基づいて、被試験パネル23のずれ量を測定する。その測定結果に基づいて、制御装置12は、ステッピングモータ22,45を駆動制御して、被試験パネル23の各電極群25a〜25eと、各コンタクトユニット31a〜31eの位置合わせを行う。そして、制御装置12は、図2に示されるエアシリンダ38を制御してクランパ39を用いて検査用プローブ33a〜33eを被試験パネル23の各電極24に接続する。更に、制御装置12は、電源回路12aから検査用の電気信号を検査用プローブ33a〜33eを介して被試験パネル23に供給し、その被試験パネル23の試験を行う。
【0050】
制御装置12は、予め記憶された検査プログラムに基づいて動作し、被試験パネル23の各電極群25a〜25eに検査用プローブ33a〜33eを接続し、電源回路12aから検査用の電気信号を検査用プローブ33a〜33eを介して被試験パネル23に供給し、その被試験パネル23の試験を行う。
【0051】
その検査プログラムにおいて、制御装置12は、先ず、被試験パネル23のずれ量を測定する。そのずれ量の測定には、カメラ51,52から入力される画像データに基づいて行われる。
【0052】
制御装置12は、両カメラ51,52により得られた画像に基づいて、被試験パネル23の両端の端子24a,24bが、それぞれ画面のどの位置に写るかによって端子間距離L1を測定する。
【0053】
尚、図1において、電極24の位置は、設計上の位置として図示されており、実際の被試験パネル23においては、電極加工工程での熱処理の影響や、熱膨張などによりずれた端子24のうち、両端の端子24のみを示している。このずれたときの両端の端子24と、設計上の両端の端子24a、24bとを区別するため、位置がずれたときの両端の端子24を、以下、端子24c,24dとする。また、設計寸法通りの架空の表示パネルを、以下、基準パネルという。即ち、図1に示される端子24は基準パネルの端子位置であり、端子24c、24dは、被試験パネル23の端子位置を示している。
【0054】
従って、制御装置12は、両カメラ51,52により得られた画像に基づいて、被試験パネル23両端の端子24c,24d間の距離L1を測定する。また、制御装置12には、予め基準パネル両端の端子24a,24b間の距離Lが記憶されている。制御装置12は、測定した距離L1と、予め記憶されている距離Lとに基づいて、被試験パネル23に生じたずれ量ΔLを演算する。そのずれ量ΔLは、ΔL=L1−Lとなる。
【0055】
制御装置12は、この演算したずれ量ΔLに基づいて、被試験パネル23が合格品か否かを判断する。制御装置12は、ずれ量ΔLが所定値以下の場合、制御装置12は、その時の被試験パネル23を合格品と判断し、所定値以上の場合、制御装置12はその時の被試験パネル23を不合格品と判断する。この判断基準となる値は、コンタクトユニット31a〜31eの最大移動可能量に基づいて設定されている。
【0056】
即ち、コンタクトユニット31a〜31eが最大に移動しても、被試験パネル23のずれが解消できない、即ち、被試験パネル23の各電極24に検査用プローブ33a〜33eを接続できないほどずれた被試験パネル23を不合格品とするわけである。例えば、最大移動可能量を2mmとした場合、本実施形態において、制御装置12は、ずれ量ΔLが0〜1mmの範囲内の被試験パネル23を合格品として判断するように設定されている。
【0057】
被試験パネル23が合格品の場合、制御装置12は、次に、ステッピングモータ22を駆動制御してステージ21を移動させ、被試験パネル23の端子24cを基準パネルの端子24aの位置に移動させる。次に、制御装置12は、ステッピングモータ41を駆動制御して、演算したずれ量ΔLに基づいて、そのずれ量ΔLに対応した角度だけ端面カム44a〜44eを回動させる。
【0058】
すると、各コンタクトユニット31a〜31eは、それぞれ被試験パネル23のずれ量と、各電極群25a〜25eの位置の比に応じて移動する。その結果、各コンタクトユニット31a〜31eは、各電極群25a〜25eに相対する位置に移動する。そして、制御装置12は、各コンタクトユニット31a〜31eのクランプユニット37を制御し、検査用プローブ33a〜33eを電極24に接続する。
【0059】
この時、各端面カム44a〜44eは、カム比が(X1/L):(X2/L):(X3/L):(X4/L):(X5/L)に設定されている。そのため、各コンタクトユニット31a〜31eの移動量は、ずれ量ΔLと各端面カム44a〜44eのカム比とに基づいた量だけ移動する。
【0060】
そして、各コンタクトユニット31a〜31eの移動量は、各電極群25a〜25eのずれ量とほぼ等しくなる。例えば、ステッピングモータ41の誤差0.05゜以内である。これは、ステッピングモータ41の1回転当たりの駆動ステップ数に基づく。そして、最も移動量が大きく設定された端面カム44eの場合、その移動量は、その端面カム44eが180゜回転した場合に最大となり、この移動量を例えば2mmに設定されているものとする。すると、この場合の移動量の誤差は、約0.5×10^−3mm(=0.5ミクロン)となる。この移動量の誤差は、電極幅W(=0.15mm)及び電極ピッチP(=0.3mm)に比べて非常に小さいため、電極24と検査用プローブ33a〜33eの接続に影響はない。
【0061】
そして、検査用プローブ33a〜33eと電極24との接続が終了すると、制御装置12は、電源回路12aから検査用の電気信号を各検査用プローブ33a〜33eを介して被試験パネル23に供給して被試験パネル23を点灯させ、被試験パネル23の検査を行う。
【0062】
尚、図1においては、被試験パネル23の1辺に形成された電極に対する検査用プローブ33a〜33eを位置合わせする機構についてのみを示している。そして、実際には、被試験パネル23の複数の辺に電極が形成されており、各辺に形成された電極に接続される検査用プローブが用意されている。しかしながら、各辺に形成された電極に対する検査用プローブの位置合わせの構成及び動作はそれぞれ同じであるため、他の辺に対する構成の図面及び動作の説明を省略する。
【0063】
以上記述したように、本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
(1)被試験パネル23の辺には、複数の電極24よりなる電極群25a〜25eが互いに離間して複数形成される。パネル試験装置10には、各電極群25a〜25eに対応したコンタクトユニット31a〜31eが備えられる。各コンタクトユニット31a〜31eには、電極群25a〜25eを構成する複数の電極24に接続される検査用プローブ33a〜33eがそれぞれ備えられ、複数の電極群25a〜25eに対応する位置にそれぞれ設けられる。また、各コンタクトユニット31a〜31eに備えられたカムフォロア35a〜35eは、基準端子24a,24b間の距離Lと、予め設定された基準となる電極24aから各電極群25a〜25eを代表する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設定された端面カム44a〜44eにそれぞれ当接される。そして、制御装置12は、カメラ51,52により得られた画像に基づいて、被試験パネル23のずれ量を測定し、そのずれ量に応じた角度だけ端面カム44a〜44eを回転駆動し、各コンタクトユニット31a〜31eを移動させるようにした。
【0064】
その結果、各コンタクトユニット31a〜31eは、各電極群25a〜25eのずれ量に応じただけ移動するので、各コンタクトユニット31a〜31eは、各電極群25a〜25eに相対する位置に移動する。従って、大型の被試験パネル23が熱処理の影響や熱膨張などにより電極24の位置がずれても、各電極群25a〜25eと各コンタクトユニット31a〜31eとを精度良く位置合わせすることができる。そして、検査用プローブ33a〜33eを目的とする電極24に精度良く接続することができる。
【0065】
尚、本発明は前記実施の形態の他、以下の態様で実施してもよい。
(1)上記実施形態において、端面カム44a〜44eに代えて、正面カム,みぞカム等の平面カム、円筒カム,円錐カム等の立体カム、等の様々なカムを用いて実施する。
【0066】
(2)上記実施形態では、端面カム44a〜44eを用いて各コンタクトユニット31a〜31eをそれぞれ電極群25a〜25eのずれ量に応じて移動させる比例移動手段を構成したが、その移動手段の構成をプーリを用いた構成や、リンク機構等に適宜変更して実施しても良い。
【0067】
例えば、図4に示すように、シャフト43に一体回転可能に取着された主動側プーリ51と、コンタクトユニット31a側に設けられた従動側プーリ52とをタイミングベルト53により連結する。従動側プーリ52には、ボールネジ54が一体回転可能に取着され、そのボールネジ54の回転に応じてジョイント部55を介してコンタクトユニット31aがガイドレール34aに沿って移動する。そして、主動側プーリ51の半径を、各コンタクトユニット31a〜31eの位置に応じて比例的に変更する。この構成により、上記実施形態と同じ効果を奏する。
【0068】
また、図4に示す構成において、主動側プーリ51の半径を各コンタクトユニット31a〜31eにおいて同一とし、従動側プーリ52の半径を比例的に変更する。また、主動側プーリ51と従動側プーリ52の半径を同一とし、ボールネジ54のピッチを変更する。更に、従動側プーリ53の半径を同一とし、主動側プーリ51とボールネジ54のピッチとによりコンタクトユニット31a〜31eの移動量を比例関係とする。更にまた、従動側プーリ52とボールネジ54、主動側プーリ51と従動側プーリ52とボールネジ54のピッチとによりコンタクトユニットの移動量を設定する。これらのうちのいずれの場合にも、上記実施形態と同じ効果を奏する。
【0069】
(3)上記実施形態において、ステッピングモータ41を各コンタクトユニット31a〜31eに備える。この場合、上記実施形態の端面カム44a〜44eを各コンタクトユニット31a〜31eに備えられたステッピングモータを同一角度だけ回転駆動し、各端面カム44a〜44eを回動させる。
【0070】
また、各コンタクトユニット31a〜31eの端面カム44a〜44eを同一形状(変位量が同じ)とし、制御装置12は、各コンタクトユニット31a〜31eにそれぞれ備えられたステッピングモータを駆動するパルス数を各ユニット31a〜31eに対応して比例した値に設定し、各ステッピングモータに供給する。この構成によっても、各コンタクトユニット31a〜31eは、それぞれ移動量が比例関係となり、検査用プローブ33a〜33eを精度良く電極24に位置合わせすることができる。
【0071】
(4)上記実施形態では、5個のコンタクトユニット31a〜31eの場合について説明したが、例えば、コンタクトユニットの数を4個以下、又は、6個以上に適宜変更して実施する。
【0072】
(5)上記実施形態において、被試験パネル23として、PDP以外の平面表示パネル、例えば、液晶表示パネル(LCD)、EL(エレクトロルミネセントディスプレイ)パネル、FED等の検査装置に応用する。
【0073】
【発明の効果】
以上詳述したように、請求項1乃至5に記載の発明によれば、大型表示パネルの電極と検査用端子とを精度良く接続することが可能な位置合わせ装置を提供することができる。
【0074】
また、請求項6に記載の発明によれば、大型表示パネルの電極と検査用端子とを精度良く接続して検査を行うことが可能なパネル検査装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の表示パネル検査装置の概略構成図。
【図2】 コンタクトユニットの概略側面図。
【図3】 (a) は端面カムの斜視図、(b) は(a) のカム線図。
【図4】 別のコンタクトユニットの概略平面図。
【図5】 平面表示パネルの電極を示す一部拡大図。
【符号の説明】
12 ずれ量測定手段、比例移動手段、距離測定手段、差演算手段、及び、駆動手段としての制御装置
23 被試験パネル
24 電極
25a〜25e 電極群
31a〜31e コンタクトユニット
33a〜33e 検査用プローブ
34a〜34e 比例移動手段としてのガイドレール
35a〜35e 比例移動手段としてのカムフォロア
37 クランプユニット
41 駆動手段としてのステッピングモータ
43 比例移動手段としてのシャフト
44a〜44e 比例移動手段としてのカム(端面カム)
51,52 ずれ量測定手段としてのカメラ
Claims (6)
- 被試験パネルの周辺に沿って配列された電極に接続する検査用プローブの位置を決定する位置合わせ装置であって、
被試験パネルの辺には、複数の電極よりなる電極群が互いに離間して複数形成され、
前記電極群を構成する複数の電極に接続される検査用プローブをそれぞれ備え、前記複数の電極群に対応する位置にそれぞれ設けられた複数のコンタクトユニットと、
被試験パネルのずれ量を測定するずれ量測定手段と、
前記測定結果のずれ量に応じて、前記複数のコンタクトユニットを比例的に移動させる比例移動手段とを備えた位置合わせ装置。 - 前記ずれ量測定手段は、
前記被試験パネルの辺に沿って配列された両端の電極の画像を取り込むカメラと、
前記画像に基づいて、前記両端の電極間距離を測定する距離測定手段と、
前記測定結果の電極間距離と、予め記憶された基準となる基準端子間距離との差を演算する差演算手段とから構成され、
前記比例移動手段は、前記演算結果のずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させるようにした請求項1に記載の位置合わせ装置。 - 前記比例移動手段は、
前記被試験パネルの辺に配列された一端の電極を予め設定された基準電極位置に移動させた後、前記演算結果のずれ量を基に、各プローブユニットを比例的に移動させるようにした請求項2に記載の位置合わせ装置。 - 前記比例移動手段は、
前記各コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に沿って移動可能に支持するガイドレールと、
前記各コンタクトユニットに備えられたカムフォロアと、
前記各コンタクトユニットに対応して設けられ、前記基準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から各電極群を代表する位置までの距離との比に応じて変位量がそれぞれ設定されたカムと、
前記カムを前記ずれ量に応じて回転駆動する駆動手段とから構成された請求項1乃至3に記載の位置合わせ装置。 - 前記比例移動手段は、
前記各コンタクトユニットを前記電極が配列された辺に沿って移動可能に支持するガイドレールと、
前記ずれ量を基に、シャフトを回転駆動する駆動手段と、
前記シャフトに備えられた主動側プーリと、
前記主動側プーリによりタイミングベルトを介して回転駆動される従動側プーリと、
前記従動側プーリにより回転駆動され、その回転により前記コンタクトユニットを移動させるボールネジとから構成され、
前記主動側プーリと従動側プーリとボールネジのうちの1つ、又は、2つ以上の組み合わせにより前記各コンタクトユニットの移動量を、前記基準端子間距離と、予め設定された基準となる電極から各電極群を代表する位置までの距離との比に設定した請求項1乃至3に記載の位置合わせ装置。 - 請求項1乃至5に記載の位置合わせ装置と、
前記検査用プローブを前記被検査パネルに接続するクランプユニットと、
前記検査用プローブを介して被検査パネルに対して検査用の電気信号を供給する検査用駆動回路とを備えたパネル検査装置。
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