JPH01245536A - 液晶表示体プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、液晶表示体プローブ装置に関する。

（従来の技術） 半導体ウェハ等の被検査体の電気的特性を検査するプロ
ーブ装置は、ウェハ上の多数の素子の電気的特性を検査
する検査部と、ウェハが収納されているカセットよりウ
ェハを取り出して上記検査部に供給し、検査が終了した
ウェハを上記カセットに戻し搬送するローダ部とから構
成されている。

上記検査部はウェハ上の多数の電極と同じ位置。

配列のプローブ針を有するプローブカードを具備し、こ
のプローブカードにテスタを接続してウェハチップの電
気的特性を測定するものが一般的である。

ところで、近年テレビ画面を構成する大型液晶基板（以
下、ＬＣＤと略記する）を被検査体とし、この種のプロ
ーブ装置でその電気的特性を検査するものがある。

そこで、被検査体の電極にプローブ端子電極を接触させ
て検査する提案が、例えば特公昭５９−５０９４２号公
報等に記載されている。上記公報ではステージを介して
検査される被検査体を上昇させて、プローブ端子電極と
を接触し、検査する構成のプローブ装置が記載されてい
る。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来プローブ装置では、ＬＣＤのすべて
の電極部に接触されるプローブ端子電極は、略等荷重圧
力で接触させて検査しなければ、接触抵抗が異なり、正
確な検査ができず、各プロ−ブ端子電極のＬＣＤに対す
る荷重圧力を設定圧に調整している。この調整に時間が
膨大にかかるという問題点があった。

即ち、従来のプローブ装置の構造は、第５図で示すよう
に、ステージα）を介して、被検査体であるＬＣＤ■を
、このステージ（１）の上部に固定支持されたプローブ
端子電極■の集合面（３ａ）と平行を保って上昇させて
、このプローブ端子電極■に略等荷重圧力で接触させる
ように構成したものである。

このような構成では、半導体ウェハチップの如く小面積
のものであれば、被検査体表面に対するプローブ端子電
極■の集合面（３ａ）との平行方向の傾き誤差は許容誤
差範囲として認められるが、ＬＣＤ■の場合では、表面
積が半導体ウェハチップに比べて大きいので上記平行方
向の傾き誤差が僅かであっても、ＬＣＤ■の表面積に比
例してプローブ端子電極■の最端部のそれぞれの高さ（
Δｔ）のバラツキが生じてしまう。

このバラツキを調整補正するものとして、各プローブ端
子電極■毎に高さ調整機構を設けて、それぞれの高さを
調整して接触時の接触圧力を調整可能にしている。

この調整可能にした各プローブ端子電極を電極毎に設け
ているので調整する数がＬＣＤの電極の数と比例して増
加している。これをすべて調整することは調整する時間
が膨大に費し１作業能率の低下につながる不具合点があ
った。

そこで、本発明の目的とするところは、上述した従来の
欠点に鑑みてなされたもので、調整時間の短かく、しか
も、正確な検査を行うことができるＬＣＤプローバ装置
を提供することにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、液晶表示体の電極にプローブ端子電極を接触
して、電気的特性検査をするプローブ装置において、上
記液晶表示体を載置するステージに上記電極と接触可能
にプローブ端子電極を設けたことを特徴としたものであ
る。

（作　用） 本発明では、ＬＣＤを載置するステージにプローブ端子
電極を、ＬＣＤの電極と接触可能に配置している。従っ
て、プローブ端子電極を使用して、ＬＣＤを検査する場
合には、ＬＣＤが載置固定されたステージのプローブ端
子電極を載置されたしＣＤの電極に接触させることで、
検査を実行することができる。

上記ＬＣＤの電極面は四辺の平面方向に沿って、それぞ
れ形成されているので、この電極と対応したプローブ端
子電極例えば、フィルム電極で一辺毎に一括接触させる
ことで、検査を実行することができる。

（実施例） 以下、本発明液晶表示体プローブ装置を、液晶表示体プ
ローバ（以下、ＬＣＤプローバと略記する）に適用した
一実施例について図面を参照して具体的に説明する。

上記ＬＣＤプローバは、カセットから検査時に取出した
ＬＣＤを検査部のステージに載置し、ここで、外部のテ
スタと接続しているプローブ端子電極と、上述したＬＣ
Ｄに形成された電極部とを電気的に接続して、ＬＣＤに
形成された走査ライン・信号ラインと称する配線の断線
、短絡及びＬＣＤの画素の色彩状態等を検査するもので
ある。

上記ＬＣＤプローバの外観構成について説明する。

第４図に示すように、上記ＬＣＤプローバ（イ）では被
検査体例えばＬＣＤを待機収納し、検査時、ＬＣＤをス
テージまで搬送するローダ部０と、このローダ部■によ
って搬送されたＬＣＤをテスタと接続したプローブ端子
電極に接触させて検査する検査部０と、この検査部■に
おけるＬＣＤの電極部及びプローブ端子電極部との配置
関係を確認するマイクロスコープ■とから構成されてい
る。

上記ローダ部■は、待機されたＬＣＤをカセットから取
出し、これをプリアライメント（粗調整）した後に上記
検査部０に受は渡す。

そして、この検査部０で、検査終絡後のＬＣＤをカセッ
ト内に戻すように構成されている。

上記検査部（０は、上記ローダ部■を介して搬送されで
きたＬＣＤをステージ上に載置して仮固定、例えば真空
圧の吸着固定される。

そして、このステージに吸着されたＬＣＤは、Ｘ軸・Ｙ
軸及び周回転方向に駆動制御して、一方に電極が揃うよ
うにアライメント（微調整）される。

このアライメントされたＬＣＤの電極にプローブ端子電
極を接続させて、テスタで判定し、検査する構成になっ
ている。

上記マイクロスコープ■は、上記検査部０において、Ｌ
ＣＤの電極部とプローブ端子電極とが適正配置であるか
否か。また、電極部を通って通電された電圧によって画
素状態をａｍするものである。

以上が、ＬＣＤプローバの概略構成である。

次に、上述した検査部０におけるＬＣＤの電極部とこの
電極部に対応するプローブ端子電極の構成について、第
１図乃至第３図を用いてさらに具体的説明する。先ず、
ＬＣＤ■の内部構造から説明する。　　　′ ローダ部（ハ）から受は渡されたＬＣＤ■は、真空圧に
よって吸着されてステージ■に載置されている。

このＬＣＤ■の電極部は、第３図に示すように、Ｙ軸方
向（列方向）に並んで配線されている走査ライン（８）
と称する配線部分の両端に走査ライン電極（８ａ、　８
ｂ）が形成されている。

同様にしてＸ軸方向（行方向）に並んで配線されている
信号ライン０と称する配線部分の両端に信号ライン電極
（９ａ、　９ｂ）が形成されている。

上記説明したＬＣＤ■を第１図に示すように。

ステージ（ト）に載置して、ＬＣＤ■の電極に対する接
触機構構造について説明する。

上記接触機構（１０）は、ＬＣＤ■の四辺の各電極部の
それぞれの電極端子に通電させて検査する際に、このＬ
ＣＤ（２）に形成された電極端子にプローブ端子電極を
接続させるものである。

この接触機構（１０）には、ＬＣＤ■の電極部を挟むよ
うに把握して、接触する把持機構（１１）と、固定され
たプローブ端子電極（１２）に近づいて接触させる上昇
接触機構（１３）とから構成されている。

上記把持機構（１１）はＬＣＤ■の四辺の各電極部の相
対向する一対辺の電極１例えばＬＣＤ（２）の信号ライ
ン電極（９ａ、　９ｂ）にプローブ端子電極のフィルム
電極（１４）を押圧する如く把持してＬＣＤ■の電極に
通電させる機構である。

上述した把持機構（１１）を第２図に用いて、さらに具
体的に説明する。

上記把持機構（１１）はＬＣＤ■の相対向する一対辺の
電極部における電極端子がすべて等圧力で着脱自在に接
触固定するものである。

即ち、ステージ（１５）面に載置したＬＣＤ■の電極面
に、この電極面と対応したプローブ端子電極であるフィ
ルム電極（１４）面を吸着し、この上方がら抑圧部（１
６）がＬＣＤ■を設定圧力で加圧するように構成されて
いる。

この抑圧部（１６）駆動制御は予め記憶されたプログラ
ムによって駆動して、ＬＣＤ■を加圧、または、加圧解
除するものである。例えばステージ（１５）表面の内部
に内空部（１７）を設けこの内空部（１７）と、このス
テージ（１５）の側部（１５ａ、　１５ｂ）に貫通する
貫通口（１８）がこのステージ（１５）面と平行に穿設
されている。

上記内空部（１７）の中央には、回転駆動される回転板
（１９）が設けられている。

この回転板（１９）の回転運動を直線運動に変換される
クランク機構（２０）が設けられている。

このクランク機構（２０）は、上述したステージ（１５
）の側壁（１５ａ、　１５ｂ）に穿設された貫通口（１
８）に挿着したラック（２１）が上述した回転板（１９
）の回転駆動に従って、この貫通口（１９）を摺動する
如く、進退するように設けられている。

さらに、上記進退されるラック（２１）の突出外端部に
ピニオンギア（２２）が螺合結合されて回転自在に設け
られている。

一方、上記ステージ（１５）の側壁（１５ａ、　１５ｂ
）には載置し、吸着されたＬＣＤ■の相対向する一対の
辺を上部側から押圧させる押圧部（１６）が側壁（１５
ａ。

１５ｂ）位置に回動自在に設けられている。

例えば、この抑圧部（１６）はＬ字形に形成され、この
Ｌ字形の中央にＬＣＤ■と回転接触させる回動部（２３
）を設けている。

この回動部（２３）を中心にして一端にはＬＣＤ■と接
触される抑圧面（２３Ａ）を設けている。

また、反対端には、上述したピニオンギア（２２）と螺
合結合されるギア（２３Ｂ）部とが設けられている。

上記抑圧面（２３Ａ）には、プローブ端子電極、例えば
フィルム電極（１４）が固定、例えば真空吸着して固定
された状態で抑圧面（２３Ａ）に支持されている。

以上がＬＣＤ■の四辺の相対向する一対の辺を把持する
把持機構（１１）の構成の説明である。ここで、上述し
たクランク機構（２０）とラック（２１）との間に引張
コイルバネ（２４）が設けられているのは、抑圧面（２
３Ａ）がフィルム電極（１４）を介して、ＬＣＤ（２１
の電極に所定の当接後に、上記抑圧部（１６）が、加圧
する方向に強制回転される場合に、上記引張コイルバネ
（２４）が伸びる方向に作用する。

この引張コイルバネ（２４）の弾性力が、ＬＣＤ■の電
極にフィルム電極（１４）を加圧するように設けられて
いる。

従って、ＬＣＤ■の電極部に対するフィルム電極（１４
）の加圧力は各電極端列に均等に加圧される。

以上で、上記把持機構（１１）の構成の説明を終る。

上記把持機構（１１）の作用について説明する。

上記把持機構（１１）は例えば、Ｘ軸方向に走査した信
号ライン（９）の電極部に（９ａ、　９ｂ）に対応した
フィルム電極（１４）を介して、均等に接触するように
作用する。

即ち、回転駆動される回転板（１９）が、予め記憶され
たプログラムに従って、回転駆動するようになる。

この転駆動された回転板（１９）によって、ステージ（
１５）の側壁（１５ａ、　１５ｂ）に突出したラック（
２１）がクランク機構（２０）を介して埋設する如く退
去するようになる。

この退去によって、螺合結合したピニオンギア（２２）
が反時計廻りに逆回転することになる。

この反時計廻りに逆回転したピニオンギア（２２）は、
このギア（２２）と螺合結合されている抑圧部（１６）
の抑圧面（２３ａ）を時計廻りに回転することになる。

この押圧面（２３ａ）にはフィルム電極（１４）がＬＣ
Ｄ■のＸ軸方向に走査した信号ライン■）と対応する如
く、固定されているので、この抑圧面（２３ａ）がＬＣ
Ｄ■を抑圧する。

以上で上記把持機構（１１）の作用の説明を終る。

つぎに、上述した上昇接触機構（１３）は、ＬＣＤ■の
四辺の各電極部の相対向する他の一対辺の電極、例えば
ＬＣＤ■の走査ライン電極（８ａ、　８ｂ）にプローブ
端子電極（１２）を押圧する如く接触して、ＬＣＤ■の
他の一対辺の電極に通電させる機構である。

上述した上昇接触機構（１３）は、高さ方向の頂面位置
にプローブ端子電極（１２）を列方向に上記走査ライン
電極（８ａ、　８ｂ）と対応して配列されている。

上記プローブ端子電極（１２）より下方の位置にＬＣＤ
■を載置するステージ（１５）を配置している。

上記ステージ■を頂面位置に上昇するように構成された
ものである。

ここで、上記プローブ端子電極（１２）は、頂面位置に
マニュプレータ（２５）によって固定支持されている。

このマニュプレータ（２５）は上記プローブ端子電極（
１２）の接触端をＬＣＤに対して上下動するように調整
機構が設けられている。

上記マニュプレータ（２５）の作用について説明する。

上記マニュプレータ（２５）は、例えばＹ軸方向に走査
した走査ライン■の電極部（８ａ、　８ｂ）に対応した
プローブ端子電極（１２）がマニュプレータ（２５）の
昇降機構を介して、各プローブ端子電極（１２）を調整
して配置している。

この配置されたステージ（１５）を昇降して、このステ
ージ（１５）上のＬＣＤ■の電極に接触している。

ここで、例えばＸ軸方向の信号ライン（９）に接触する
把持機構（１１）における接触圧力と、Ｙ軸方向の走査
ライン（８）に接触する上昇機構における接触圧力とは
、予め一定に決められている。

次に作用について説明する。

ローダ部■でカセットより一枚のＬＣＤ■を取出す。こ
の取出されたＬＣＤ■はプリアライメントされた後、検
査部りのステージ（１）表面に受は渡す。

この受は渡されたＬＣＤ■はプリアライメントされた後
、検査部０のステージ（１５）面に授受する。

この授受されたＬＣＤ■は、アライメント位置でアライ
メント（微調整）する。

このアライメントされたＬＣＤ■は、検査中心位置、例
えばＹ軸方向に形成した走査ライン（８）の電極と接触
するプローブ端子電極が配置された検査中心位置まで搬
送される。

次に本実施例の特徴的な作用を説明する。

上記検査中心位置まで搬送されたＬＣＤ■は。

ステージ（１５）に載置されており、このステージ（１
５）に設けられている把持機構（１１）の回転板（１９
）が、予め記憶されたプログラムに従って、回転駆動す
る。例えば時計廻り方向に回転駆動する。

そして上述したように押圧部（１６）の抑圧面（２３ａ
）の押圧力によって、フィルム電極（１４）を介して、
このフィルム電極（１４）と所定の設定された圧力で、
Ｌ、　ＣＤ■のＸ軸方向に配線された走査ライン（ハ）
の電極（８ａ、　８ｂ）に接触する。

上記この押圧部（１６）を介して、フィルム電極（１４
）と接触された。信号ライン０の検査を行うときは、先
ず、ステージ（１５）を上昇させない状態にしておく。

そして、信号ライン（９）の検査を実行することができ
る。

次に、上昇接触機構（１３）を駆動させて、マニプユレ
ータ（２５）を介して、ヘッドプレート（２６）に設け
られたプローブ端子電極（１２）と、接触する。

この接触時に、プローブ端子電極（１２）列とＬＣＤ■
面に傾きが生じている場合は、このＹ軸方向に走査した
走査ラインに）のみの調整が必要である。

本実施列においてプローブ端子電極（１２）を例えばＸ
軸方向の信号ライン０にのみをステージ（１５）側に設
けてた一実施例を示したが、これに限定するものではな
く、例えばＸ軸方向の信号ライン（９）及びＹ軸方向の
走査ライン（８）の両方のプローブ端子電極をステージ
（１５）に設けても無論良いことは言うまでもない。

本実施列ＬＣＤプローバの効果は、例えばＸ軸方向の信
号ライン（９）をステージ（１５）に設けるとともに、
このステージ（１５）の把持機構（１１）で、ステージ
（１５）上のＬＣＤ電極（１４）と接触させるようにし
たので、少くともＸ軸方向の信号ライン０）のプ　４０
−ブ端子電極では、従来のように一本毎にプローブ端子
電極を調整する必要がなくなり、ステージ（１５）の内
空部（１７）の回転板（１９）の駆動によって、ＬＣＤ
■の四辺の中の相対向する一対辺を１等圧力で抑圧保持
させることができる。

本実施例の外に上述したように、例えばＸ軸方向の信号
ライン０及びＹ軸方向に走査する走査ライン（８）の両
方を上述した把持機構（１１）を設ければ、そして、上
昇機構を排除すれば、重量物のヘッドプレートが不用と
なり軽量なＬＣＤプローバ（イ）が得られる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、液晶表示体を載置するステージにプロ
ーブ端子電極を設け、さらに接触可能にしたので、プロ
ーブ端子電極毎に調整することなく均等に接触させるこ
とができ、検査作業時間の短縮と検査者の負担の軽減を
図ると共に、１台のプローブ装置の検査能力を従来より
も高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明ＬＣＤプローブ装置の特徴的構成を示
す概略説明図、 第２図は第１図の把持機構を具体的に説明するための説
明図。 第３図は、第１図のプローブ装置で検査されるＬＣＤの
構成を説明するための説明図、第４図は本発明ＬＣＤプ
ローブ装置を適用したＬＣＤプローバの一実施例の外観
構成を示す平面３、プローブ端子電極　４．ＬＣＤプロ
ーバ５、ローダ部　　　　　６．検査部 ８、走査ライン　　　　９．信号ライン１０、接触機構
　　　　　１１．把持機構１２、プローブ端子電極　１
３．上昇接触機構１４．フィルム電極　　　１５．ステ
ージ１６、抑圧部　　　　　　２５．マニプユレータ２
６、ヘッドプレー１− 特許出願人　東京エレクトロン株式会社第３図 Ｘ軸力筒 ８ｂ馳舒 第４図 第５図 ヘリドブ［−ト

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）液晶表示体の電極にプローブ端子電極を接触して、
   電気的特性検査をするプローブ装置において、上記液晶
   表示体を載置するステージに上記電極と接触可能にプロ
   ーブ端子電極を設けたことを特徴とする液晶表示体プロ
   ーブ装置。