JP2006019537A - プローブ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のプローブ装置10は、プローブカード11と、ウエハチャック12と、ウエハチャック12を昇降させる3本の昇降軸12Aと、これらの昇降軸12Aに加わる針圧をそれぞれ検出する3個の圧力センサ12Cと、を備え、各昇降軸12Aはそれぞれ電流値に基づいてヤング率が変化するヤング率変動部材12Bを有し、これらの部材12Bのヤング率を各圧力センサ12Cの検出値に基づいて制御し、各圧力センサ12Cの検出値を一定値に保持する。
【選択図】図1
Description
11 プローブカード
12 ウエハチャック(載置台)
12A 昇降軸(軸体)
12B ヤング率変動部材(電流値に基づいてヤング率が変化する部材)
12C 圧力センサ
W ウエハ(被検査体)
Claims (3)
- 被検査体と電気的に接触するプローブカードと、このプローブカードと対向して配置され且つ上記被検査体を載置する載置台と、この載置台を複数箇所で昇降可能に支持する複数の軸体と、これらの軸体に加わる圧力をそれぞれ個別に検出する複数の圧力センサと、を備えたプローブ装置であって、上記各軸体はヤング率が変化する部材を有し、上記各部材のヤング率を上記各圧力センサの検出値に基づいて制御し、上記各圧力センサの値を一定値に保持することを特徴とするプローブ装置。
- 上記軸体を3箇所に設けたことを特徴とする請求項1に記載のプローブ装置。
- 上記軸体は電流値に基づいてヤング率が変化することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブ装置。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009130114A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
WO2010143852A2 (ko) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | 주식회사 쎄믹스 | 척의 기구적 강성을 보완한 웨이퍼 프로버 스테이션 및 그 제어방법 |
JP2011504658A (ja) * | 2007-11-22 | 2011-02-10 | セミックス インク | ウエハプローバのz軸位置制御装置及び方法 |
KR101089593B1 (ko) * | 2009-06-09 | 2011-12-05 | 주식회사 쎄믹스 | 척의 기구적 강성을 보완한 웨이퍼 프로버 스테이션 및 그 제어방법 |
TWI398650B (zh) * | 2009-04-20 | 2013-06-11 | Chroma Ate Inc | 用以控制點測機之檢測電流導通的裝置及方法 |
JP2014086656A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 評価装置および評価方法 |
CN103977964A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 泰克元有限公司 | 测试分选机用施压装置 |
CN103983810A (zh) * | 2014-05-21 | 2014-08-13 | 天津大唐国际盘山发电有限责任公司 | 油站差压开关的校验连接装置 |
JP2015037136A (ja) * | 2013-08-14 | 2015-02-23 | 株式会社東京精密 | プローブ装置及びプローブ方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59117229A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Comput Eng Corp Ltd | ブロ−バ装置 |
JPH03177039A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-08-01 | Fujitsu Ltd | 半導体試験装置 |
JPH04273458A (ja) * | 1991-02-28 | 1992-09-29 | Ando Electric Co Ltd | 測定ヘッドとプローブカードの水平出し機構 |
-
2004
- 2004-07-02 JP JP2004196222A patent/JP2006019537A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59117229A (ja) * | 1982-12-24 | 1984-07-06 | Hitachi Comput Eng Corp Ltd | ブロ−バ装置 |
JPH03177039A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-08-01 | Fujitsu Ltd | 半導体試験装置 |
JPH04273458A (ja) * | 1991-02-28 | 1992-09-29 | Ando Electric Co Ltd | 測定ヘッドとプローブカードの水平出し機構 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009130114A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
JP2011504658A (ja) * | 2007-11-22 | 2011-02-10 | セミックス インク | ウエハプローバのz軸位置制御装置及び方法 |
TWI398650B (zh) * | 2009-04-20 | 2013-06-11 | Chroma Ate Inc | 用以控制點測機之檢測電流導通的裝置及方法 |
WO2010143852A2 (ko) * | 2009-06-09 | 2010-12-16 | 주식회사 쎄믹스 | 척의 기구적 강성을 보완한 웨이퍼 프로버 스테이션 및 그 제어방법 |
WO2010143852A3 (ko) * | 2009-06-09 | 2011-03-31 | 주식회사 쎄믹스 | 척의 기구적 강성을 보완한 웨이퍼 프로버 스테이션 및 그 제어방법 |
KR101089593B1 (ko) * | 2009-06-09 | 2011-12-05 | 주식회사 쎄믹스 | 척의 기구적 강성을 보완한 웨이퍼 프로버 스테이션 및 그 제어방법 |
JP2014086656A (ja) * | 2012-10-26 | 2014-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 評価装置および評価方法 |
CN103977964A (zh) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | 泰克元有限公司 | 测试分选机用施压装置 |
JP2015037136A (ja) * | 2013-08-14 | 2015-02-23 | 株式会社東京精密 | プローブ装置及びプローブ方法 |
CN103983810A (zh) * | 2014-05-21 | 2014-08-13 | 天津大唐国际盘山发电有限责任公司 | 油站差压开关的校验连接装置 |
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