JP2003050271A - プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法 - Google Patents
プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来は測定装置のプレートをプレートに付設
されたシリンダでメインチャックを押圧し、この時のプ
レートとメインチャック間の変位量をプレートに直付け
されたレーザー変位計を用いて測定しているため、シリ
ンダによる押圧時の荷重によってプレート自体が撓んで
もレーザー変位計ではプローブカードの撓み量を含んだ
メインチャックとプローブカード間の相対的な変位量
（相対変位量）を測定するだけで、プレートの撓みによ
るＺ方向の変位量（絶対変位量）を測定することができ
ない。 【解決手段】 本発明のプローブカード特性測定装置１
０は、メインチャック２１上に載置され且つプローブカ
ード２６からの荷重を検出するロードセル１１と、メイ
ンチャック２１の上昇に伴うプローブカード２６の絶対
変位量をメインチャック２１の上昇量を介して検出する
変位センサ１３とを備えている。
されたシリンダでメインチャックを押圧し、この時のプ
レートとメインチャック間の変位量をプレートに直付け
されたレーザー変位計を用いて測定しているため、シリ
ンダによる押圧時の荷重によってプレート自体が撓んで
もレーザー変位計ではプローブカードの撓み量を含んだ
メインチャックとプローブカード間の相対的な変位量
（相対変位量）を測定するだけで、プレートの撓みによ
るＺ方向の変位量（絶対変位量）を測定することができ
ない。 【解決手段】 本発明のプローブカード特性測定装置１
０は、メインチャック２１上に載置され且つプローブカ
ード２６からの荷重を検出するロードセル１１と、メイ
ンチャック２１の上昇に伴うプローブカード２６の絶対
変位量をメインチャック２１の上昇量を介して検出する
変位センサ１３とを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブカードの
特性、例えば検査時のプローブカードの撓みよる変位量
を測定することができるプローブカード特性測定装置及
びこのプローブカード特性測定装置を有するプローブ装
置並びにプローブ方法に関する。
特性、例えば検査時のプローブカードの撓みよる変位量
を測定することができるプローブカード特性測定装置及
びこのプローブカード特性測定装置を有するプローブ装
置並びにプローブ方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体装置の検査工程では半導体
ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称す。）の検査装置と
してプローブ装置が広く用いられている。プローブ装置
は、通常、ローダ室及びプローバ室を備え、ウエハ状態
で半導体素子（以下、「デバイス」と称す。）の電気的
特性検査を行う。ローダ室は、複数（例えば、２５枚）
のウエハが収納されたキャリアを載置するキャリア載置
部と、キャリア載置部からウエハを一枚ずつ搬送するウ
エハ搬送機構と、ウエハ搬送機構を介して搬送されるウ
エハのプリアライメントを行うプリアライメント機構
（以下、「サブチャック」と称す。）とを備えている。
また、プローバ室は、ウエハを載置してＸ、Ｙ、Ｚ及び
θ方向に移動する載置台（以下、「メインチャック」と
称す。）と、メインチャックと協働してウエハのアライ
メントを行うアライメント機構と、メインチャックの上
方に配置されたプローブカードと、プローブカードとテ
スタ間に介在するテストヘッドとを備えている。
ウエハ（以下、単に「ウエハ」と称す。）の検査装置と
してプローブ装置が広く用いられている。プローブ装置
は、通常、ローダ室及びプローバ室を備え、ウエハ状態
で半導体素子（以下、「デバイス」と称す。）の電気的
特性検査を行う。ローダ室は、複数（例えば、２５枚）
のウエハが収納されたキャリアを載置するキャリア載置
部と、キャリア載置部からウエハを一枚ずつ搬送するウ
エハ搬送機構と、ウエハ搬送機構を介して搬送されるウ
エハのプリアライメントを行うプリアライメント機構
（以下、「サブチャック」と称す。）とを備えている。
また、プローバ室は、ウエハを載置してＸ、Ｙ、Ｚ及び
θ方向に移動する載置台（以下、「メインチャック」と
称す。）と、メインチャックと協働してウエハのアライ
メントを行うアライメント機構と、メインチャックの上
方に配置されたプローブカードと、プローブカードとテ
スタ間に介在するテストヘッドとを備えている。
【０００３】プローバ室内では、ウエハとプローブカー
ドのプローブのアライメントを行った後、ウエハをメイ
ンチャックを介してインデックス送りし、メインチャッ
クを上昇させてウエハとプローブとを所定の針圧で接触
させて所定の電気的特性検査を行う。この際、メインチ
ャックを所定量だけオーバードライブさせてウエハとプ
ローブの電気的接触を図っている。
ドのプローブのアライメントを行った後、ウエハをメイ
ンチャックを介してインデックス送りし、メインチャッ
クを上昇させてウエハとプローブとを所定の針圧で接触
させて所定の電気的特性検査を行う。この際、メインチ
ャックを所定量だけオーバードライブさせてウエハとプ
ローブの電気的接触を図っている。
【０００４】ところが、メインチャックをオーバードラ
イブさせてウエハの検査を行う際に、プローブカードと
メインチャック間の針圧（荷重）によって上下方向（Ｚ
方向）の変位がある。この変位量はプローブカード及び
メインチャックの静剛性特性によって異なる。そこで、
従来はレーザー変位計を備えた測定装置を用いて静剛性
特性を測定している。この測定装置は、プローブカード
と同一径でプローブカードに近似した機械的特性を有す
るプレートと、このプレートに取り付けられたシリンダ
及びレーザー変位計とを備えて構成されている。そし
て、静剛性を測定する時には、測定装置のプレートをプ
ローブカードの装着部位に装着する。そして、この状態
でオーバードライブ時と同一の荷重をプレートに取り付
けられたシリンダからメインチャックに付与し、この時
のメインチャックのＺ方向の変位量をレーザー変位計で
測定する。
イブさせてウエハの検査を行う際に、プローブカードと
メインチャック間の針圧（荷重）によって上下方向（Ｚ
方向）の変位がある。この変位量はプローブカード及び
メインチャックの静剛性特性によって異なる。そこで、
従来はレーザー変位計を備えた測定装置を用いて静剛性
特性を測定している。この測定装置は、プローブカード
と同一径でプローブカードに近似した機械的特性を有す
るプレートと、このプレートに取り付けられたシリンダ
及びレーザー変位計とを備えて構成されている。そし
て、静剛性を測定する時には、測定装置のプレートをプ
ローブカードの装着部位に装着する。そして、この状態
でオーバードライブ時と同一の荷重をプレートに取り付
けられたシリンダからメインチャックに付与し、この時
のメインチャックのＺ方向の変位量をレーザー変位計で
測定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
測定装置による測定の場合には、プローブカード部分に
測定装置を取り付け、プローブカードのＺ方向の変位量
を無視せざるを得なかった。即ち、測定装置のプレート
をプレートに付設されたシリンダでメインチャックを押
圧し、この時のプレートとメインチャック間のＺ方向の
変位量をプレートに直付けされたレーザー変位計を用い
て測定しているため、シリンダによる押圧時の荷重によ
ってプレート自体が撓んでもレーザー変位計ではプロー
ブカードの撓み量を含んだメインチャックとプローブカ
ード間の相対的な変位量（相対変位量）を測定するだけ
で、プレートの撓みによるＺ方向の変位量（絶対変位
量）を測定することができないという課題があった。し
かも、プローブカードの代替品であるプレートを用いて
変位量を測定するため、測定装置のプレートとプローブ
カードとでは撓み量が異なり、実際に検査を行う時のプ
ローブカードの撓み量を正確には測定することができな
いという課題もあった。従って、プローブカードの絶対
変位量が判らないために、メインチャックのオーバード
ライブ量と荷重の関係も正確に把握することができず、
メインチャックのオーバードライブ量を適正に設定する
ことができないという課題があった。特に、最近のよう
にウエハの大口径化及びデバイスの超高集積化によりプ
ローブカードの大型化及び多ピン化が進み、検査時の高
荷重によりプローブカードの撓みが大きくなり、プロー
ブカードの変位量が検査の信頼性に影響することにな
る。
測定装置による測定の場合には、プローブカード部分に
測定装置を取り付け、プローブカードのＺ方向の変位量
を無視せざるを得なかった。即ち、測定装置のプレート
をプレートに付設されたシリンダでメインチャックを押
圧し、この時のプレートとメインチャック間のＺ方向の
変位量をプレートに直付けされたレーザー変位計を用い
て測定しているため、シリンダによる押圧時の荷重によ
ってプレート自体が撓んでもレーザー変位計ではプロー
ブカードの撓み量を含んだメインチャックとプローブカ
ード間の相対的な変位量（相対変位量）を測定するだけ
で、プレートの撓みによるＺ方向の変位量（絶対変位
量）を測定することができないという課題があった。し
かも、プローブカードの代替品であるプレートを用いて
変位量を測定するため、測定装置のプレートとプローブ
カードとでは撓み量が異なり、実際に検査を行う時のプ
ローブカードの撓み量を正確には測定することができな
いという課題もあった。従って、プローブカードの絶対
変位量が判らないために、メインチャックのオーバード
ライブ量と荷重の関係も正確に把握することができず、
メインチャックのオーバードライブ量を適正に設定する
ことができないという課題があった。特に、最近のよう
にウエハの大口径化及びデバイスの超高集積化によりプ
ローブカードの大型化及び多ピン化が進み、検査時の高
荷重によりプローブカードの撓みが大きくなり、プロー
ブカードの変位量が検査の信頼性に影響することにな
る。
【０００６】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたもので、検査時のプローブカードの絶対変位量を測
定することができ、ひいては載置台のオーバドライブ量
と荷重との関係を正確に把握して適正なオーバードライ
ブ量を設定することができるプローブカード特性測定装
置及びプローブ装置を提供することを目的としている。
れたもので、検査時のプローブカードの絶対変位量を測
定することができ、ひいては載置台のオーバドライブ量
と荷重との関係を正確に把握して適正なオーバードライ
ブ量を設定することができるプローブカード特性測定装
置及びプローブ装置を提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のプローブカード特性測定装置は、昇降可能な載置台を
上昇させてその上の被検査体にプローブカードを接触さ
せて上記被検査体の電気的特性を検査する際のプローブ
カードの特性を測定する装置であって、上記載置台上で
上記プローブカードからの荷重を検出する荷重センサ
と、上記載置台の上昇に伴う上記プローブカードの絶対
変位量を検出する変位センサとを備えたことを特徴とす
るものである。
のプローブカード特性測定装置は、昇降可能な載置台を
上昇させてその上の被検査体にプローブカードを接触さ
せて上記被検査体の電気的特性を検査する際のプローブ
カードの特性を測定する装置であって、上記載置台上で
上記プローブカードからの荷重を検出する荷重センサ
と、上記載置台の上昇に伴う上記プローブカードの絶対
変位量を検出する変位センサとを備えたことを特徴とす
るものである。
【０００８】また、本発明の請求項２に記載のプローブ
カード特性測定装置は、昇降可能な載置台を上昇させて
その上の被検査体にプローブカードを接触させて上記被
検査体の電気的特性を検査する際のプローブカードの特
性を測定する装置であって、上記載置台上で上記プロー
ブカードからの荷重を検出する荷重センサと、上記載置
台の上昇に伴う上記プローブカードを含むその取付面全
体の絶対変位量を検出する変位センサとを備えたことを
特徴とするものである。
カード特性測定装置は、昇降可能な載置台を上昇させて
その上の被検査体にプローブカードを接触させて上記被
検査体の電気的特性を検査する際のプローブカードの特
性を測定する装置であって、上記載置台上で上記プロー
ブカードからの荷重を検出する荷重センサと、上記載置
台の上昇に伴う上記プローブカードを含むその取付面全
体の絶対変位量を検出する変位センサとを備えたことを
特徴とするものである。
【０００９】また、本発明の請求項３に記載のプローブ
カード特性測定装置は、請求項１または請求項２に記載
の発明において、上記荷重センサ及び変位センサを着脱
自在に構成したことを特徴とするものである。
カード特性測定装置は、請求項１または請求項２に記載
の発明において、上記荷重センサ及び変位センサを着脱
自在に構成したことを特徴とするものである。
【００１０】また、本発明の請求項４に記載のプローブ
カード特性測定装置は、請求項１〜請求項３のいずれか
１項に記載の発明において、上記変位センサのターゲッ
トを上記荷重センサ、上記プローブカード及び上記載置
台のいずれかの場所の少なくとも一箇所に付設したこと
を特徴とするものである。
カード特性測定装置は、請求項１〜請求項３のいずれか
１項に記載の発明において、上記変位センサのターゲッ
トを上記荷重センサ、上記プローブカード及び上記載置
台のいずれかの場所の少なくとも一箇所に付設したこと
を特徴とするものである。
【００１１】また、本発明の請求項５に記載のプローブ
カード特性測定装置は、請求項１〜請求項４のいずれか
１項に記載の発明において、上記変位センサとして渦電
流式変位センサを設けたことを特徴とするものである。
カード特性測定装置は、請求項１〜請求項４のいずれか
１項に記載の発明において、上記変位センサとして渦電
流式変位センサを設けたことを特徴とするものである。
【００１２】また、本発明の請求項６に記載のプローブ
カード特性測定装置は、請求項１〜請求項５のいずれか
１項に記載の発明において、上記荷重センサを上記載置
台の中央に位置決めする位置決め部材を設けたことを特
徴とするものである。
カード特性測定装置は、請求項１〜請求項５のいずれか
１項に記載の発明において、上記荷重センサを上記載置
台の中央に位置決めする位置決め部材を設けたことを特
徴とするものである。
【００１３】また、本発明の請求項７に記載のプローブ
装置は、被検査体を載置するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移
動可能な載置台と、この載置台の上方に配置されたプロ
ーブカードとを備え、制御装置の制御下で上記載置台を
移動させて上記被検査体と上記プローブとを接触させて
上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置にお
いて、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のプロ
ーブカード特性測定装置を着脱可能に設けることを特徴
とするものである。
装置は、被検査体を載置するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移
動可能な載置台と、この載置台の上方に配置されたプロ
ーブカードとを備え、制御装置の制御下で上記載置台を
移動させて上記被検査体と上記プローブとを接触させて
上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装置にお
いて、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載のプロ
ーブカード特性測定装置を着脱可能に設けることを特徴
とするものである。
【００１４】また、本発明の請求項８に記載のプローブ
装置は、請求項７に記載の発明において、上記制御装置
は、上記プローブカード特性測定装置を介して複数の温
度下で測定した結果を記憶する記憶手段を有することを
特徴とするものである。
装置は、請求項７に記載の発明において、上記制御装置
は、上記プローブカード特性測定装置を介して複数の温
度下で測定した結果を記憶する記憶手段を有することを
特徴とするものである。
【００１５】また、本発明の請求項９に記載のプローブ
方法は、Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移動可能な載置台上に
被検査体を載置する工程と、上記載置台を制御装置の制
御下で移動させて上記被検査体をプローブカードに接触
させる工程と、上記載置台を上記制御装置の制御下でオ
ーバドライブさせる工程とを備えたプローブ方法におい
て、検査に先立つ工程として、請求項１〜請求項６のい
ずれか１項に記載のプローブカード特性測定装置を用い
て上記プローブカードを含むその取付面全体の絶対変位
量を検出する工程と、上記絶対変位量を上記制御装置に
記憶させる工程とを有し、上記オーバードライブの工程
では上記制御装置に記憶された絶対変位量に基づいて上
記載置台をオーバドライブさせることを特徴とするもの
である。
方法は、Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移動可能な載置台上に
被検査体を載置する工程と、上記載置台を制御装置の制
御下で移動させて上記被検査体をプローブカードに接触
させる工程と、上記載置台を上記制御装置の制御下でオ
ーバドライブさせる工程とを備えたプローブ方法におい
て、検査に先立つ工程として、請求項１〜請求項６のい
ずれか１項に記載のプローブカード特性測定装置を用い
て上記プローブカードを含むその取付面全体の絶対変位
量を検出する工程と、上記絶対変位量を上記制御装置に
記憶させる工程とを有し、上記オーバードライブの工程
では上記制御装置に記憶された絶対変位量に基づいて上
記載置台をオーバドライブさせることを特徴とするもの
である。
【００１６】また、本発明の請求項１０に記載のプロー
ブ方法は、請求項９に記載の発明において、上記検査に
先立つ工程を複数の温度について繰り返し行うことを特
徴とするものである。 ［発明の詳細な説明］
ブ方法は、請求項９に記載の発明において、上記検査に
先立つ工程を複数の温度について繰り返し行うことを特
徴とするものである。 ［発明の詳細な説明］
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図１及び図２の（ａ）、
（ｂ）に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。本
実施形態のプローブカード特性測定装置１０は図１に示
すように本実施形態のプローブ装置２０のプローバ室内
に配置して用いられる。そこでまず、本実施形態のプロ
ーブ装置２０について説明する。本実施形態のプローブ
装置２０は、図１に示すように、ウエハ（図示せず）を
載置する載置台（メインチャック）２１と、このメイン
チャック２１をＸ方向に移動させるＸステージ２２と、
このＸステージ２２をＹ方向に移動させるＹステージ２
３とを備えている。Ｘ、Ｙステージ２２、２３はそれぞ
れの駆動機構（図示せず）を介してＸ、Ｙ方向に移動す
る。また、メインチャック２１はＺ、θ方向駆動機構を
備え、これらの駆動機構を介してＺ方向及びθ方向に移
動する。また、プローバ室の上面にはヘッドプレート２
４が配置され、プローバ室の上面を被っている。このヘ
ッドプレート２４には円形状の孔２４Ａが形成され、こ
の孔２４Ａにはカードクランプ機構２５が取り付けられ
ている。そして、このカードクランプ機構２５に対して
プローブカード２６がカードホルダー２６Ａを介して着
脱可能に取り付けられている。更に、プローブカード２
６には接続リング２７を介してテストヘッド２８が接続
され、これらの接続リング２７及びテストヘッド２８を
介してテスタ（図示せず）とプローブカード２６の間で
検査時の電気的信号を送受信してウエハの電気的特性検
査を行う。また、図１において、２７Ａはポゴピン等の
接触端子である。また、プローバ室内にはアライメント
機構を構成するアライメントブリッジ（図示せず）をプ
ローバ室正面と背面間で移動案内する左右一対のガイド
レール２９、２９が配設されている。そして、プローブ
装置２０は制御装置３０の制御下で駆動する。この制御
装置３０には本実施形態のプローブカード特性測定装置
１０を介して求められたプローブカード２６の特性を記
憶する記憶部３０Ａを有している。
（ｂ）に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。本
実施形態のプローブカード特性測定装置１０は図１に示
すように本実施形態のプローブ装置２０のプローバ室内
に配置して用いられる。そこでまず、本実施形態のプロ
ーブ装置２０について説明する。本実施形態のプローブ
装置２０は、図１に示すように、ウエハ（図示せず）を
載置する載置台（メインチャック）２１と、このメイン
チャック２１をＸ方向に移動させるＸステージ２２と、
このＸステージ２２をＹ方向に移動させるＹステージ２
３とを備えている。Ｘ、Ｙステージ２２、２３はそれぞ
れの駆動機構（図示せず）を介してＸ、Ｙ方向に移動す
る。また、メインチャック２１はＺ、θ方向駆動機構を
備え、これらの駆動機構を介してＺ方向及びθ方向に移
動する。また、プローバ室の上面にはヘッドプレート２
４が配置され、プローバ室の上面を被っている。このヘ
ッドプレート２４には円形状の孔２４Ａが形成され、こ
の孔２４Ａにはカードクランプ機構２５が取り付けられ
ている。そして、このカードクランプ機構２５に対して
プローブカード２６がカードホルダー２６Ａを介して着
脱可能に取り付けられている。更に、プローブカード２
６には接続リング２７を介してテストヘッド２８が接続
され、これらの接続リング２７及びテストヘッド２８を
介してテスタ（図示せず）とプローブカード２６の間で
検査時の電気的信号を送受信してウエハの電気的特性検
査を行う。また、図１において、２７Ａはポゴピン等の
接触端子である。また、プローバ室内にはアライメント
機構を構成するアライメントブリッジ（図示せず）をプ
ローバ室正面と背面間で移動案内する左右一対のガイド
レール２９、２９が配設されている。そして、プローブ
装置２０は制御装置３０の制御下で駆動する。この制御
装置３０には本実施形態のプローブカード特性測定装置
１０を介して求められたプローブカード２６の特性を記
憶する記憶部３０Ａを有している。
【００１８】而して、本実施形態のプローブカード特性
測定装置１０は、図１に示すように、メインチャック２
１上に載置され且つプローブカード２６からの荷重を検
出する荷重センサ（ロードセル）１１と、このロードセ
ル上に配置されてプローブカード２６と接触するコンタ
クトブロック１２と、メインチャック２１の上昇に伴う
プローブカード２６の撓みによる変位量（絶対変位量）
をメインチャック２１の上昇量を介して検出する変位セ
ンサ１３とを備えている。即ち、変位センサ１３は、メ
インチャック２１の上昇に伴ってコンタクトブロック１
２がプローブカード２６と接触した時点からロードセル
１１が所定の荷重（ウエハ検査時の荷重と等しい荷重）
を検出するまでのコンタクトブロック１２の上昇量を検
出することができる。この時のコンタクトブロック１２
の上昇量は、プローブカード２６がコンタクトブロック
１２を介して押し上げられた時の撓みによる変位量、即
ち絶対変位量に相当することになる。
測定装置１０は、図１に示すように、メインチャック２
１上に載置され且つプローブカード２６からの荷重を検
出する荷重センサ（ロードセル）１１と、このロードセ
ル上に配置されてプローブカード２６と接触するコンタ
クトブロック１２と、メインチャック２１の上昇に伴う
プローブカード２６の撓みによる変位量（絶対変位量）
をメインチャック２１の上昇量を介して検出する変位セ
ンサ１３とを備えている。即ち、変位センサ１３は、メ
インチャック２１の上昇に伴ってコンタクトブロック１
２がプローブカード２６と接触した時点からロードセル
１１が所定の荷重（ウエハ検査時の荷重と等しい荷重）
を検出するまでのコンタクトブロック１２の上昇量を検
出することができる。この時のコンタクトブロック１２
の上昇量は、プローブカード２６がコンタクトブロック
１２を介して押し上げられた時の撓みによる変位量、即
ち絶対変位量に相当することになる。
【００１９】上記ロードセル１１としては従来公知のも
のを使用することができる。本実施形態のロードセル１
１及びコンタクトブロック１２は、例えば円柱状に形成
され、コンタクトブロック１２の下部にはフランジ１２
Ａが形成されている。このロードセル１１はメインチャ
ック２１の中央に載置して使用される。ロードセル１１
をメインチャック２１の中央に配置するために、位置決
めプレート（図示せず）が用いられる。この位置決めプ
レートは例えばプラスチック等によってリング状の薄い
プレートとして形成され、外径がメインチャック２１の
上面の外径と一致し、内径がロードセル１１下端の外径
に一致するように形成されている。従って、位置決めプ
レートをメインチャック２１上面に敷き、その中央孔に
ロードセル１１を合わせてメインチャック２１上に載置
することで、ロードセル１１をメインチャック２１の中
央に正確に配置することができる。また、ロードセル１
１には表示器１１Ａが配線１１Ｂを介して接続され、ロ
ードセル１１によって検出されたプローブからの荷重を
キログラム単位で表示器１１Ａにデジタル表示する。
のを使用することができる。本実施形態のロードセル１
１及びコンタクトブロック１２は、例えば円柱状に形成
され、コンタクトブロック１２の下部にはフランジ１２
Ａが形成されている。このロードセル１１はメインチャ
ック２１の中央に載置して使用される。ロードセル１１
をメインチャック２１の中央に配置するために、位置決
めプレート（図示せず）が用いられる。この位置決めプ
レートは例えばプラスチック等によってリング状の薄い
プレートとして形成され、外径がメインチャック２１の
上面の外径と一致し、内径がロードセル１１下端の外径
に一致するように形成されている。従って、位置決めプ
レートをメインチャック２１上面に敷き、その中央孔に
ロードセル１１を合わせてメインチャック２１上に載置
することで、ロードセル１１をメインチャック２１の中
央に正確に配置することができる。また、ロードセル１
１には表示器１１Ａが配線１１Ｂを介して接続され、ロ
ードセル１１によって検出されたプローブからの荷重を
キログラム単位で表示器１１Ａにデジタル表示する。
【００２０】上記変位センサ１３としては従来公知のも
のを使用することができる。本実施形態の変位センサ１
３は、例えば渦電流式変位センサを使用している。変位
センサ１３には表示器１３Ａが配線１３Ｂを介して接続
され、変位センサ１３によって検出されたターゲットま
での距離をミクロン単位で表示器１３Ａにデジタル表示
する。この変位センサ１３は、例えば金属等のリング状
のプレート基材に周方向等間隔を空けた複数箇所（例え
ば３箇所）に配設されている。そこで、以下では便宜
上、変位センサ１３を有するリング状のプレート基材を
変位センサ１３として説明する。変位センサ１３は図１
に示すようにプレート状の支持体１４の中央に取り付け
られている。変位センサ１３を有する支持体１４は、同
図に示すように、アライメント機構を構成する左右一対
のガイドレール２９、２９間に着脱自在に架設され、プ
ローブカード２６のやや下方でメインチャック２１の上
方に位置している。この支持体１４は、中央の水平部
と、この水平部から左右両端に向けて下降傾斜する傾斜
部とから形成されている。水平部には変位センサ１３を
装着するための円形状の孔が形成され、傾斜部の下降端
には左右のガイドレール２９、２９と係合する係合溝が
形成されている。
のを使用することができる。本実施形態の変位センサ１
３は、例えば渦電流式変位センサを使用している。変位
センサ１３には表示器１３Ａが配線１３Ｂを介して接続
され、変位センサ１３によって検出されたターゲットま
での距離をミクロン単位で表示器１３Ａにデジタル表示
する。この変位センサ１３は、例えば金属等のリング状
のプレート基材に周方向等間隔を空けた複数箇所（例え
ば３箇所）に配設されている。そこで、以下では便宜
上、変位センサ１３を有するリング状のプレート基材を
変位センサ１３として説明する。変位センサ１３は図１
に示すようにプレート状の支持体１４の中央に取り付け
られている。変位センサ１３を有する支持体１４は、同
図に示すように、アライメント機構を構成する左右一対
のガイドレール２９、２９間に着脱自在に架設され、プ
ローブカード２６のやや下方でメインチャック２１の上
方に位置している。この支持体１４は、中央の水平部
と、この水平部から左右両端に向けて下降傾斜する傾斜
部とから形成されている。水平部には変位センサ１３を
装着するための円形状の孔が形成され、傾斜部の下降端
には左右のガイドレール２９、２９と係合する係合溝が
形成されている。
【００２１】図１に示すように上記変位センサ１３の内
径はコンタクトブロック１２の外径より大きく形成さ
れ、メインチャック２１の上昇によってコンタクトブロ
ック１２の上部が変位センサ１３を突き抜けるようにな
っている。このロードセル１１の高さ方向の途中にはフ
ランジ１２Ａが金属によって形成され、このフランジ１
２Ａの外径は変位センサ１３の内径より大きく、その外
径より小さく形成されている。従って、フランジ１２Ａ
は変位センサ１３の真下に位置し、変位センサ１３のタ
ーゲットとして機能するようにしてある。
径はコンタクトブロック１２の外径より大きく形成さ
れ、メインチャック２１の上昇によってコンタクトブロ
ック１２の上部が変位センサ１３を突き抜けるようにな
っている。このロードセル１１の高さ方向の途中にはフ
ランジ１２Ａが金属によって形成され、このフランジ１
２Ａの外径は変位センサ１３の内径より大きく、その外
径より小さく形成されている。従って、フランジ１２Ａ
は変位センサ１３の真下に位置し、変位センサ１３のタ
ーゲットとして機能するようにしてある。
【００２２】次に、図２の（ａ）、（ｂ）を参照しなが
ら上記プローブカード特性測定装置１０の動作について
説明する。本実施形態のプローブカード特性測定装置１
０はウエハの検査を行う前にプローブカード２６の特性
を測定するために使用される。プローブカード特性測定
装置１０をプローブ装置２０に装着するためには、メイ
ンチャック２６を例えばプローブセンタ（プローバ室の
略中央）に配置した後、メインチャック２１の上面に位
置決めプレートを配置してメインチャック２１上面の中
央位置を決める。次いで、メインチャック２１の中央に
ロードセル１１を配置した後、支持体１４を左右のガイ
ドレール２９、２９間に架設する。これによってプロー
ブカード特性測定装置１０の設置を終了する。
ら上記プローブカード特性測定装置１０の動作について
説明する。本実施形態のプローブカード特性測定装置１
０はウエハの検査を行う前にプローブカード２６の特性
を測定するために使用される。プローブカード特性測定
装置１０をプローブ装置２０に装着するためには、メイ
ンチャック２６を例えばプローブセンタ（プローバ室の
略中央）に配置した後、メインチャック２１の上面に位
置決めプレートを配置してメインチャック２１上面の中
央位置を決める。次いで、メインチャック２１の中央に
ロードセル１１を配置した後、支持体１４を左右のガイ
ドレール２９、２９間に架設する。これによってプロー
ブカード特性測定装置１０の設置を終了する。
【００２３】次いで、プローブカード特性測定装置１０
を用いてプローブカード２６の撓みによる絶対変位量を
検出する。それにはまず、図２の（ａ）に示すようにメ
インチャック２１を上昇させてコンタクトブロック１２
とプローブカード２６を接触させる。コンタクトブロッ
ク１２とプローブカード２６が接触したか否かはロード
セル１１の表示器１１Ａの表示内容から判断することが
できる。コンタクトブロック１２がプローブカード２６
と接触した時に、変位センサ１３の表示器１３Ａの表示
量をゼロに設定する。
を用いてプローブカード２６の撓みによる絶対変位量を
検出する。それにはまず、図２の（ａ）に示すようにメ
インチャック２１を上昇させてコンタクトブロック１２
とプローブカード２６を接触させる。コンタクトブロッ
ク１２とプローブカード２６が接触したか否かはロード
セル１１の表示器１１Ａの表示内容から判断することが
できる。コンタクトブロック１２がプローブカード２６
と接触した時に、変位センサ１３の表示器１３Ａの表示
量をゼロに設定する。
【００２４】その後、図２の（ｂ）に示すようにメイン
チャック２１を上昇させてコンタクトブロック１２とプ
ローブカード２６間に荷重Ｆを掛ける。ロードセル１１
の表示器１１Ａが所定の荷重を検出するまでメインチャ
ック２１を上昇させる。この間にプローブカード２６の
みならずカードクランプ機構２５及びヘッドプレート２
４を含めたプローブカード２６の取付面全体が一体とな
って図２の（ｂ）に示すように破線位置から徐々に撓
み、変位センサ１３の表示器１３Ａにコンタクトブロッ
ク１２の上昇距離がプローブカード２６の取付面全体の
絶対変位量としてミクロン単位で表示される。ロードセ
ル１１の表示器１１Ａが所定の荷重（ウエハの検査時に
必要な荷重）を表示した時点でメインチャック２１を止
め、この時の変位センサ１３の表示器１３Ａの表示量を
ウエハを検査する時のプローブカード２６の絶対変位量
として読み取る。この一連の操作によって、プローブカ
ード２６に対する荷重とプローブカード２６の取付面全
体の絶対変位量との関係を把握することができる。
チャック２１を上昇させてコンタクトブロック１２とプ
ローブカード２６間に荷重Ｆを掛ける。ロードセル１１
の表示器１１Ａが所定の荷重を検出するまでメインチャ
ック２１を上昇させる。この間にプローブカード２６の
みならずカードクランプ機構２５及びヘッドプレート２
４を含めたプローブカード２６の取付面全体が一体とな
って図２の（ｂ）に示すように破線位置から徐々に撓
み、変位センサ１３の表示器１３Ａにコンタクトブロッ
ク１２の上昇距離がプローブカード２６の取付面全体の
絶対変位量としてミクロン単位で表示される。ロードセ
ル１１の表示器１１Ａが所定の荷重（ウエハの検査時に
必要な荷重）を表示した時点でメインチャック２１を止
め、この時の変位センサ１３の表示器１３Ａの表示量を
ウエハを検査する時のプローブカード２６の絶対変位量
として読み取る。この一連の操作によって、プローブカ
ード２６に対する荷重とプローブカード２６の取付面全
体の絶対変位量との関係を把握することができる。
【００２５】また、図２ではプローブを有しないプロー
ブカード２６を用いてその絶対変位量と荷重の関係を求
めたが、プローブを有するプローブカードについて同様
の測定を行い、この測定結果とプローブのない上述の測
定結果とを比較し、これら両者の差がメインチャック２
１のオーバードライブ量として求められる。この結果か
らオーバードライブ量とプローブの針圧の関係を知るこ
とができる。このオーバードライブ量とプローブの針圧
の関係をプローブ装置２０に設定することにより適正な
針圧でウエハの検査を行うことができる。
ブカード２６を用いてその絶対変位量と荷重の関係を求
めたが、プローブを有するプローブカードについて同様
の測定を行い、この測定結果とプローブのない上述の測
定結果とを比較し、これら両者の差がメインチャック２
１のオーバードライブ量として求められる。この結果か
らオーバードライブ量とプローブの針圧の関係を知るこ
とができる。このオーバードライブ量とプローブの針圧
の関係をプローブ装置２０に設定することにより適正な
針圧でウエハの検査を行うことができる。
【００２６】而して、ウエハは種類によって低温検査か
ら高温検査まで様々な温度下で検査を行う。そこで、本
実施形態では上記プローブカード特性測定装置１０を用
いて種々のウエハ検査に対応させるために、複数の温度
下でそれぞれの温度における絶対変位量を個別に求め、
これらの測定結果に基づいたオーバードライブ量とプロ
ーブの針圧の関係を例えばプローブ装置２０の制御装置
３０の記憶部３０Ａに格納して記憶させておく。そし
て、ウエハの検査を行い場合には、ウエハの検査温度に
即したオーバードライブ量とプローブの針圧の関係を記
憶部３０Ａから読み出し、この関係に基づいてメインチ
ャック２１をオーバードライブ量を制御することによ
り、その検査温度におけるメインチャック２１のオーバ
ードライブ量を正確に管理して常に適正な針圧でウエハ
の検査を行うことができ、検査の信頼性を高めることが
できる。
ら高温検査まで様々な温度下で検査を行う。そこで、本
実施形態では上記プローブカード特性測定装置１０を用
いて種々のウエハ検査に対応させるために、複数の温度
下でそれぞれの温度における絶対変位量を個別に求め、
これらの測定結果に基づいたオーバードライブ量とプロ
ーブの針圧の関係を例えばプローブ装置２０の制御装置
３０の記憶部３０Ａに格納して記憶させておく。そし
て、ウエハの検査を行い場合には、ウエハの検査温度に
即したオーバードライブ量とプローブの針圧の関係を記
憶部３０Ａから読み出し、この関係に基づいてメインチ
ャック２１をオーバードライブ量を制御することによ
り、その検査温度におけるメインチャック２１のオーバ
ードライブ量を正確に管理して常に適正な針圧でウエハ
の検査を行うことができ、検査の信頼性を高めることが
できる。
【００２７】従って、本実施形態のプローブ装置を用い
て本発明のプローブ方法を実施する場合には以下のよう
にして行う。即ち、ウエハの検査を行う前にこのウエハ
に使用されるプローブカード２６の絶対変位量を上述の
ようにして求め、この絶対変位量に基づいたオーバード
ライブ量とプローブの針圧の関係をプローブ装置２０の
制御装置３０（記憶部３０Ａ）に記憶させておく。この
プローブカード２６を異なる温度下で使用する場合に
は、それぞれの温度における絶対変位量を求めておき、
これらの絶対変位量に基づいたオーバードライブ量とプ
ローブの針圧の関係を記憶部３０Ａに記憶させておく。
然る後、ウエハを検査する場合にはこのウエハの検査温
度に即したオーバードライブ量とプローブの針圧の関係
を記憶部３０Ａから読み出し、このオーバードライブ量
とプローブの針圧の関係に基づいてメインチャック２６
のオーバードライブ量を制御する。つまり、プローブ装
置２０のメインチャック２１上に載置し、制御装置３０
の制御下でメインチャック２１をＸ、Ｙ及びＺ方向に移
動させてウエハとプローブカードとを接触させると、メ
インチャック２１は制御装置３０の制御下で最適なオー
バードライブ量でオーバドライブし、プローブカード２
６からウエハに最適な針圧を付与してウエハの電気的特
性検査を行う。
て本発明のプローブ方法を実施する場合には以下のよう
にして行う。即ち、ウエハの検査を行う前にこのウエハ
に使用されるプローブカード２６の絶対変位量を上述の
ようにして求め、この絶対変位量に基づいたオーバード
ライブ量とプローブの針圧の関係をプローブ装置２０の
制御装置３０（記憶部３０Ａ）に記憶させておく。この
プローブカード２６を異なる温度下で使用する場合に
は、それぞれの温度における絶対変位量を求めておき、
これらの絶対変位量に基づいたオーバードライブ量とプ
ローブの針圧の関係を記憶部３０Ａに記憶させておく。
然る後、ウエハを検査する場合にはこのウエハの検査温
度に即したオーバードライブ量とプローブの針圧の関係
を記憶部３０Ａから読み出し、このオーバードライブ量
とプローブの針圧の関係に基づいてメインチャック２６
のオーバードライブ量を制御する。つまり、プローブ装
置２０のメインチャック２１上に載置し、制御装置３０
の制御下でメインチャック２１をＸ、Ｙ及びＺ方向に移
動させてウエハとプローブカードとを接触させると、メ
インチャック２１は制御装置３０の制御下で最適なオー
バードライブ量でオーバドライブし、プローブカード２
６からウエハに最適な針圧を付与してウエハの電気的特
性検査を行う。
【００２８】以上説明したように本実施形態によれば、
プローブカード特性測定装置１０は、メインチャック２
１上に載置され且つプローブカード２６からの荷重を検
出する荷重センサ（ロードセル）１１と、メインチャッ
ク２１の上昇に伴うプローブカード２６の撓みによる変
位量（絶対変位量）をメインチャック２１の上昇量を介
して検出する変位センサ１３とを備えているため、プロ
ーブカード特性測定装置１０をプローブ装置２０に装着
することにより、従来のようにプローブカードの代替品
ではなく実際に使用するプローブカード２６を装着した
状態で測定を行うため、実際に使用するプローブカード
２６の検査時の絶対変位量を測定することができる。ま
た、プローブを有するプローブカードに対して同様の測
定を行うことによってメインチャック２１のオーバード
ライブ量とプローブの針圧の関係を知ることができる。
プローブカード特性測定装置１０は、メインチャック２
１上に載置され且つプローブカード２６からの荷重を検
出する荷重センサ（ロードセル）１１と、メインチャッ
ク２１の上昇に伴うプローブカード２６の撓みによる変
位量（絶対変位量）をメインチャック２１の上昇量を介
して検出する変位センサ１３とを備えているため、プロ
ーブカード特性測定装置１０をプローブ装置２０に装着
することにより、従来のようにプローブカードの代替品
ではなく実際に使用するプローブカード２６を装着した
状態で測定を行うため、実際に使用するプローブカード
２６の検査時の絶対変位量を測定することができる。ま
た、プローブを有するプローブカードに対して同様の測
定を行うことによってメインチャック２１のオーバード
ライブ量とプローブの針圧の関係を知ることができる。
【００２９】また、本実施形態によれば、プローブカー
ド特性測定装置１０を用いて得られたプローブカード２
６（プローブカード２６を含むその取付面全体）の絶対
変位量を求め、この絶対変位量に基づいたオーバードラ
イブ量とプローブの針圧の関係をプローブ装置２０の記
憶部３０Ａに格納しておくことにより、ウエハの検査、
を行う時には、このウエハの検査に即したオーバードラ
イブ量とプローブの針圧の関係を記憶部３０Ａから読み
出し、制御装置３０の制御下でメインチャック２１のオ
ーバードライブ量を最適制御するようにしたため、ウエ
ハの検査時にメインチャック２１のオーバードライブ量
を正確に管理して常に適正な針圧でウエハの検査を行う
ことができ、検査の信頼性を高めることができる。
ド特性測定装置１０を用いて得られたプローブカード２
６（プローブカード２６を含むその取付面全体）の絶対
変位量を求め、この絶対変位量に基づいたオーバードラ
イブ量とプローブの針圧の関係をプローブ装置２０の記
憶部３０Ａに格納しておくことにより、ウエハの検査、
を行う時には、このウエハの検査に即したオーバードラ
イブ量とプローブの針圧の関係を記憶部３０Ａから読み
出し、制御装置３０の制御下でメインチャック２１のオ
ーバードライブ量を最適制御するようにしたため、ウエ
ハの検査時にメインチャック２１のオーバードライブ量
を正確に管理して常に適正な針圧でウエハの検査を行う
ことができ、検査の信頼性を高めることができる。
【００３０】図２の（ａ）、（ｂ）ではテストヘッド２
８がない状態でプローブカード２６の絶対変位量と荷重
を測定したが、図１に示すようにテストヘッド２８をプ
ローブカード２６に接触させた実際の使用状態の場合で
も図２の（ａ）、（ｂ）に示した場合と同様にプローブ
カード２６の絶対変位量と荷重を測定することができ、
ひいては検査時のメインチャック２１の適正なオーバー
ドライブ量を設定し、ウエハに適正な針圧を付与して信
頼性の高いウエハ検査を行うことができる。
８がない状態でプローブカード２６の絶対変位量と荷重
を測定したが、図１に示すようにテストヘッド２８をプ
ローブカード２６に接触させた実際の使用状態の場合で
も図２の（ａ）、（ｂ）に示した場合と同様にプローブ
カード２６の絶対変位量と荷重を測定することができ、
ひいては検査時のメインチャック２１の適正なオーバー
ドライブ量を設定し、ウエハに適正な針圧を付与して信
頼性の高いウエハ検査を行うことができる。
【００３１】尚、上記実施形態では変位センサ１３でコ
ンタクトブロック１２のフランジ１２Ａまでの距離を測
定する場合について説明したが、変位センサでプローブ
カードまでの距離を測定するようにし、プローブカード
の変位を直接測定するようにしても良い。また、変位セ
ンサ１３でメインチャック２１表面までの距離を測定す
るようにしても良い。これらいずれの場合でも上記実施
形態と同様の作用効果を期することができる。また、バ
ンプタイプのプローブを有するプローブカードについて
も同様にプローブカード特性を測定することができる。
また、ウエハ以外のＬＣＤ基板等の被検査体の検査にも
適用することができる。
ンタクトブロック１２のフランジ１２Ａまでの距離を測
定する場合について説明したが、変位センサでプローブ
カードまでの距離を測定するようにし、プローブカード
の変位を直接測定するようにしても良い。また、変位セ
ンサ１３でメインチャック２１表面までの距離を測定す
るようにしても良い。これらいずれの場合でも上記実施
形態と同様の作用効果を期することができる。また、バ
ンプタイプのプローブを有するプローブカードについて
も同様にプローブカード特性を測定することができる。
また、ウエハ以外のＬＣＤ基板等の被検査体の検査にも
適用することができる。
【００３２】
【発明の効果】本発明の請求項１〜請求項６に記載の発
明によれば、検査時のプローブカードまたはプローブカ
ードを含むその取付面全体の絶対変位量を測定すること
ができ、ひいては載置台のオーバドライブ量と荷重との
関係を把握して適正なオーバードライブ量を設定するこ
とができるプローブカード特性測定装置を提供すること
ができる。
明によれば、検査時のプローブカードまたはプローブカ
ードを含むその取付面全体の絶対変位量を測定すること
ができ、ひいては載置台のオーバドライブ量と荷重との
関係を把握して適正なオーバードライブ量を設定するこ
とができるプローブカード特性測定装置を提供すること
ができる。
【００３３】また、本発明の請求項７〜請求項１０に記
載の発明によれば、検査時のプローブカードまたはプロ
ーブカードを含むその取付面全体の絶対変位量を測定す
ることができ、ひいては載置台のオーバドライブ量と荷
重との関係を把握して適正なオーバードライブ量を設定
することができるプローブ装置及びプローブ方法を提供
することができる。
載の発明によれば、検査時のプローブカードまたはプロ
ーブカードを含むその取付面全体の絶対変位量を測定す
ることができ、ひいては載置台のオーバドライブ量と荷
重との関係を把握して適正なオーバードライブ量を設定
することができるプローブ装置及びプローブ方法を提供
することができる。
【図１】本発明のプローブカード特性測定装置の一実施
形態を適用したプローブ装置を示す構成図である。
形態を適用したプローブ装置を示す構成図である。
【図２】図１に示すプローブカード特性測定装置の動作
説明図で、（ａ）はプローブカードとロードセルが接触
した状態を示す図、（ｂ）はメインチャックをオーバー
ドライブさせた状態を示す図である。
説明図で、（ａ）はプローブカードとロードセルが接触
した状態を示す図、（ｂ）はメインチャックをオーバー
ドライブさせた状態を示す図である。
１０ プローブカード特性測定装置
１１ ロードセル（荷重センサ）
１２Ａ フランジ（ターゲット）
１３ 変位センサ
２０ プローブ装置
２１ メインチャック（載置台）
２６ プローブカード
３０ 制御装置
３０Ａ 記憶部（記憶手段）
Claims (10)
- 【請求項１】 昇降可能な載置台を上昇させてその上の
被検査体にプローブカードを接触させて上記被検査体の
電気的特性を検査する際のプローブカードの特性を測定
する装置であって、上記載置台上で上記プローブカード
からの荷重を検出する荷重センサと、上記載置台の上昇
に伴う上記プローブカードの絶対変位量を検出する変位
センサとを備えたことを特徴とするプローブカード特性
測定装置。 - 【請求項２】 昇降可能な載置台を上昇させてその上の
被検査体にプローブカードを接触させて上記被検査体の
電気的特性を検査する際のプローブカードの特性を測定
する装置であって、上記載置台上で上記プローブカード
からの荷重を検出する荷重センサと、上記載置台の上昇
に伴う上記プローブカードを含むその取付面全体の絶対
変位量を検出する変位センサとを備えたことを特徴とす
るプローブカード特性測定装置。 - 【請求項３】 上記荷重センサ及び変位センサを着脱自
在に構成したことを特徴とする請求項１または請求項２
に記載のプローブカード特性測定装置。 - 【請求項４】 上記変位センサのターゲットを上記荷重
センサ、上記プローブカード及び上記載置台のいずれか
の場所の少なくとも一箇所に付設したことを特徴とする
請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載のプローブカ
ード特性測定装置。 - 【請求項５】 上記変位センサとして渦電流式変位セン
サを設けたことを特徴とする請求項１〜請求項４のいず
れか１項に記載のプローブカード特性測定装置。 - 【請求項６】 上記荷重センサを上記載置台の中央に位
置決めする位置決め部材を設けたことを特徴とする請求
項１〜請求項５のいずれか１項に記載のプローブカード
特性測定装置。 - 【請求項７】 被検査体を載置するＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方
向へ移動可能な載置台と、この載置台の上方に配置され
たプローブカードとを備え、制御装置の制御下で上記載
置台を移動させて上記被検査体と上記プローブとを接触
させて上記被検査体の電気的特性検査を行うプローブ装
置において、請求項１〜請求項６のいずれか１項に記載
のプローブカード特性測定装置を着脱可能に設けること
を特徴とするプローブ装置。 - 【請求項８】 上記制御装置は、上記プローブカード特
性測定装置を介して複数の温度下で測定した結果を記憶
する記憶手段を有することを特徴とする請求項７に記載
のプローブ装置。 - 【請求項９】 Ｘ、Ｙ、Ｚ及びθ方向へ移動可能な載置
台上に被検査体を載置する工程と、上記載置台を制御装
置の制御下で移動させて上記被検査体をプローブカード
に接触させる工程と、上記載置台を上記制御装置の制御
下でオーバドライブさせる工程とを備えたプローブ方法
において、検査に先立つ工程として、請求項１〜請求項
６のいずれか１項に記載のプローブカード特性測定装置
を用いて上記プローブカードを含むその取付面全体の絶
対変位量を検出する工程と、上記絶対変位量を上記制御
装置に記憶させる工程とを有し、上記オーバードライブ
の工程では上記制御装置に記憶された絶対変位量に基づ
いて上記載置台をオーバドライブさせることを特徴とす
るプローブ方法。 - 【請求項１０】 上記検査に先立つ工程を複数の温度に
ついて繰り返し行うことを特徴とする請求項９に記載の
プローブ方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001237642A JP4782953B2 (ja) | 2001-08-06 | 2001-08-06 | プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法 |
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