TWI667484B - 檢測裝置 - Google Patents

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Abstract

一種檢測裝置，係包括：具有座體之測試組件、設於該座體上之固定器、以及感測作用力之感測器，以藉由該感測器感測該固定器與該座體之間的相互作用力，進而判斷該固定器與該座體是否相接觸密合，藉此確保該測試組件之機構穩固性。

Description

檢測裝置
本發明係有關一種檢測裝置，尤指一種可判斷自身機構穩定性的檢測裝置。
習知半導體晶圓用之自動化測試設備，如配置有測試組件之設備，其可對半導體晶圓或電子部件快速進行測量並產生測試結果，同時可針對測試結果進行分析。
由於習知自動化測試設備能自動測試電子部件或半導體晶圓，故需具有特定功能，例如，可減少電子部件或半導體晶圓配置於檢測裝置(如測試組件及其相關組件)上的時間以確保該檢測裝置可長時間正常運作、或可檢查該檢測裝置內部是否存在故障組件。
然而，於習知自動化測試設備中，係以人工方式檢查該檢測裝置內部是否存在故障組件，故不僅檢查時程冗長，且精確度不足，致使檢查結果之可靠性不佳，因而造成後續測試結果極不準確。
因此，如何克服習知技術中之問題，實已成目前亟欲解決的課題。
鑑於上述習知技術之缺失，本發明係揭露一種檢測裝置，係包括：一測試組件，係具有相對之第一側與第二側，其中，該第一側設有至少一座體，且該第二側設有至少一測試部；以及至少一感測器，係連接該座體。
前述之檢測裝置中，復包括固定器係設於該座體上。
前述之檢測裝置中，該感測器用於感測該固定器與該座體之間的相互作用力。
前述之檢測裝置中，該座體上係設有被動件，且該固定器固接該被動件。
前述之檢測裝置中，該固定器係具有一本體及至少一設於該本體中之作用部，以令該作用部連結該被動件。該固定器例如為夾持件。
前述之檢測裝置中，該測試組件復具有用於設置該測試部之電路板。
前述之檢測裝置中，該感測器係埋設於該測試組件內。
前述之檢測裝置中，該感測器係設於該測試組件之第一側，以令該座體設於該感測器上。
前述之檢測裝置中，該感測器係為壓力感測器。
前述之檢測裝置中，復包括接收器，係通訊連接該感測器。例如，該接收器係為顯示器，以顯示該感測器所測得的數值。
由上可知，本發明之檢測裝置中，主要藉由該感測器感測該固定器與設於該測試組件上之該座體之間的相互作 用力，以判斷該固定器與該座體是否相接觸密合，藉此確保該測試組件之機構穩固性，故相較於習知技術，本發明之檢測裝置以感測方式檢查該測試組件之機構穩固性，不僅檢查時程較短，且精確度較佳，以提高檢查結果之可靠性，進而提升後續電子元件測試作業之測試結果準確性。
1‧‧‧檢測裝置
10‧‧‧測試組件
10a‧‧‧第一側
10b‧‧‧第二側
100‧‧‧座體
101‧‧‧測試部
102‧‧‧被動件
103‧‧‧電路板
104‧‧‧強化件
11‧‧‧固定器
11a‧‧‧本體
110‧‧‧作用部
111‧‧‧墊部
12‧‧‧感測器
13‧‧‧接收器
130‧‧‧電線
S‧‧‧容置空間
第1圖係為本發明之檢測裝置之分解側視示意圖。
第2圖係為本發明之檢測裝置之側視示意圖。
第3圖係為第2圖之檢測裝置於另一狀態下之側視示意圖。
以下藉由特定的具體實施例說明本發明之實施方式，熟悉此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地瞭解本發明之其他優點及功效。
須知，本說明書所附圖式所繪示之結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示之內容，以供熟悉此技藝之人士之瞭解與閱讀，並非用以限定本發明可實施之限定條件，故不具技術上之實質意義，任何結構之修飾、比例關係之改變或大小之調整，在不影響本發明所能產生之功效及所能達成之目的下，均應仍落在本發明所揭示之技術內容得能涵蓋之範圍內。同時，本說明書中所引用之如“第一”、“第二”、及“一”等之用語，亦僅為便於敘述之明瞭，而非用以限定本發明可實施之範圍，其相對關係之改變或調整，在無實質變更技術內容下，當亦視為本發明可實施 之範疇。
請參閱第1及2圖，係為本發明之檢測裝置1之剖面示意圖。如第1圖所示，所述之檢測裝置1係包括：一測試組件10、一固定器11以及至少一感測器12。
所述之測試組件10係具有相對之第一側10a與第二側10b，其中，該第一側10a上設有至少一座體100，且該第二側10b設有至少一測試部101。
於本實施例中，該測試組件10係為探針卡，其主體結構係包含一用於設置該座體100之強化件104、及一用於設置該測試部101之電路板103。例如，該強化件104係為框體，以架設該電路板103。
再者，該座體100係為培林(Bearing)座，即軸承座，其上設有一被動件(follower)102，以令該固定器11固定該被動件102。例如，該被動件102係為凸輪(cam)結構。
又，該測試部101係為探針頭，其用於接觸如晶圓之電子元件(圖未示)，以令該電子元件藉由該測試部101電性導接至該電路板103。
所述之固定器11係設於該座體100上，其具有一本體11a及至少一設於該本體11a中之作用部110。
於本實施例中，該本體11a係形成有一容置空間S，以容置該作用部110。
再者，該作用部110係為夾持件，如夾鉗，以夾固該被動件102，使該作用部110可藉由該被動件102帶動該座體100，令該本體11a抵靠該座體100。
又，該固定器11復具有至少一設於該本體11a中以定位該作用部110之墊部111。例如，該墊部111係墊高該作用部110。
所述之感測器12係用於感測該本體11a與該座體100之間的相互作用力。
於本實施例中，該感測器12係為壓力感測器，其埋設於該測試組件10內。例如，該感測器12係設於該測試組件10之第一側10a，且令該座體100設於該感測器12上。
再者，該檢測裝置1復包括一接收器13，係以有線(如電線130)或無線方式通訊連接該感測器12。例如，該接收器13係為顯示器，以顯示該感測器12所測得的數值(如壓力值)。
於進行測試作業時，需確保該測試組件10之機構穩固性，以避免該測試組件10於測試如晶圓之電子元件時位移，進而造成晶圓測試作業之測試品質不良。
因此，可利用該感測器12感測該固定器11之本體11a與設於該測試組件10上之該座體100之間的相互作用力(如抵靠壓力或該作用部110之夾持力)，以判斷該本體11a與該座體100是否相接觸密合，藉此確保該測試組件10之機構穩固性。例如，若該本體11a與該座體100未密合，則代表該測試組件10之機構穩固性不佳。具體地，當該感測器12所感測之壓力值大於一預設值(例如：35kg~40kg)時，該本體11a與該座體100相密合(如第 2圖所示)；當該壓力值小於該預設值(例如：35kg~40kg)時，該本體11a與該座體100未密合(如第3圖所示)。
綜上所述，本發明之檢測裝置1，係藉由該感測器12感測該固定器11之本體11a與該座體100之間的相互作用力，以判斷該固定器11與該座體100是否相接觸密合，藉此確保該測試組件10之機構穩固性，故相較於習知技術，本發明之檢測裝置1以感測方式檢查該測試組件10之機構穩固性，不僅檢查時程較短，且精確度較佳，以提高檢查結果之可靠性，進而提升後續電子元件測試作業之測試結果準確性。
上述實施例係用以例示性說明本發明之原理及其功效，而非用於限制本發明。任何熟習此項技藝之人士均可在不違背本發明之精神及範疇下，對上述實施例進行修改。因此本發明之權利保護範圍，應如後述之申請專利範圍所列。

Claims (12)

  1. 一種檢測裝置，係包括：一測試組件，係具有相對之第一側與第二側，其中，該測試組件之第一側設有至少一座體，該測試組件之第二側設有至少一測試部，且該測試部直接接觸該測試組件之第二側；以及至少一感測器，係連接該座體，且該感測器介於該座體與該測試部之間。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之檢測裝置，其中，復包括設於該座體上之固定器。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之檢測裝置，其中，該感測器用於感測該固定器與座體之間的相互作用力。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之檢測裝置，其中，該座體上係設有被動件，且該固定器固接該被動件。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之檢測裝置，其中，該固定器係具有一本體及至少一設於該本體中之作用部，以令該作用部連結該被動件。
  6. 如申請專利範圍第2項所述之檢測裝置，其中，該固定器係為夾持件。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之檢測裝置，其中，該測試組件復具有用於設置該測試部之電路板。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之檢測裝置，其中，該感測器係埋設於該測試組件內。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之檢測裝置，其中，該感測器係設於該測試組件之第一側，且令該座體設於該感測器上。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之檢測裝置，其中，該感測器係為壓力感測器。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之檢測裝置，復包括有通訊連接該感測器之接收器。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之檢測裝置，其中，該接收器係為顯示器，以顯示該感測器所測得的數值。
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