CN110794176B - 检测装置 - Google Patents

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Abstract

一种检测装置，包括：具有座体的测试组件、设于该座体上的固定器、以及感测作用力的感测器，以借由该感测器感测该固定器与该座体之间的相互作用力，进而判断该固定器与该座体是否相接触密合，借此确保该测试组件的机构稳固性。

Description

检测装置
技术领域
本发明有关一种检测装置，尤指一种可判断自身机构稳定性的检测装置。
背景技术
现有半导体晶圆用的自动化测试设备，如配置有测试组件的设备，其可对半导体晶圆或电子部件快速进行测量并产生测试结果，同时可针对测试结果进行分析。
由于现有自动化测试设备能自动测试电子部件或半导体晶圆，故需具有特定功能，例如，可减少电子部件或半导体晶圆配置于检测装置(如测试组件及其相关组件)上的时间以确保该检测装置可长时间正常运作、或可检查该检测装置内部是否存在故障组件。
然而，于现有自动化测试设备中，是以人工方式检查该检测装置内部是否存在故障组件，故不仅检查时程冗长，且精确度不足，致使检查结果的可靠性不佳，因而造成后续测试结果极不准确。
因此，如何克服现有技术中的问题，实已成目前亟欲解决的课题。
发明内容
鉴于上述现有技术的缺失，本发明揭露一种检测装置，借此确保该测试组件的机构稳固性。
本发明的检测装置包括：一测试组件，其具有相对的第一侧与第二侧，其中，该第一侧设有至少一座体，且该第二侧设有至少一测试部；以及至少一感测器，其连接该座体。
前述的检测装置中，还包括固定器设于该座体上。
前述的检测装置中，该感测器用于感测该固定器与该座体之间的相互作用力。
前述的检测装置中，该座体上设有被动件，且该固定器固接该被动件。
前述的检测装置中，该固定器具有一本体及至少一设于该本体中的作用部，以令该作用部连结该被动件。该固定器例如为夹持件。
前述的检测装置中，该测试组件还具有用于设置该测试部的电路板。
前述的检测装置中，该感测器埋设于该测试组件内。
前述的检测装置中，该感测器设于该测试组件的第一侧，以令该座体设于该感测器上。
前述的检测装置中，该感测器为压力感测器。
前述的检测装置中，还包括接收器，其通讯连接该感测器。例如，该接收器为显示器，以显示该感测器所测得的数值。
由上可知，本发明的检测装置中，主要借由该感测器感测该固定器与设于该测试组件上的该座体之间的相互作用力，以判断该固定器与该座体是否相接触密合，借此确保该测试组件的机构稳固性，故相比于现有技术，本发明的检测装置以感测方式检查该测试组件的机构稳固性，不仅检查时程较短，且精确度较佳，以提高检查结果的可靠性，进而提升后续电子元件测试作业的测试结果准确性。
附图说明
图1为本发明的检测装置的分解侧视示意图。
图2为本发明的检测装置的侧视示意图。
图3为图2的检测装置于另一状态下的侧视示意图。
符号说明：
1 检测装置 10 测试组件
10a 第一侧 10b 第二侧
100 座体 101 测试部
102 被动件 103 电路板
104 强化件 11 固定器
11a 本体 110 作用部
111 垫部 12 感测器
13 接收器 130 电线
S 容置空间。
具体实施方式
以下借由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“第一”、“第二”、及“一”等的用语，也仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当也视为本发明可实施的范畴。
请参阅图1及图2，其为本发明的检测装置1的剖面示意图。如图1所示，所述的检测装置1包括：一测试组件10、一固定器11以及至少一感测器12。
所述的测试组件10具有相对的第一侧10a与第二侧10b，其中，该第一侧10a上设有至少一座体100，且该第二侧10b设有至少一测试部101。
于本实施例中，该测试组件10为探针卡，其主体结构包含一用于设置该座体100的强化件104、及一用于设置该测试部101的电路板103。例如，该强化件104为框体，以架设该电路板103。
此外，该座体100为培林(Bearing)座，即轴承座，其上设有一被动件(follower)102，以令该固定器11固定该被动件102。例如，该被动件102为凸轮(cam)结构。
又，该测试部101为探针头，其用于接触如晶圆的电子元件(图未示)，以令该电子元件借由该测试部101电性导接至该电路板103。
所述的固定器11设于该座体100上，其具有一本体11a及至少一设于该本体11a中的作用部110。
于本实施例中，该本体11a形成有一容置空间S，以容置该作用部110。
此外，该作用部110为夹持件，如夹钳，以夹固该被动件102，使该作用部110可借由该被动件102带动该座体100，令该本体11a抵靠该座体100。
又，该固定器11还具有至少一设于该本体11a中以定位该作用部110的垫部111。例如，该垫部111垫高该作用部110。
所述的感测器12用于感测该本体11a与该座体100之间的相互作用力。
于本实施例中，该感测器12为压力感测器，其埋设于该测试组件10内。例如，该感测器12设于该测试组件10的第一侧10a，且令该座体100设于该感测器12上。
此外，该检测装置1还包括一接收器13，其以有线(如电线130)或无线方式通讯连接该感测器12。例如，该接收器13为显示器，以显示该感测器12所测得的数值(如压力值)。
于进行测试作业时，需确保该测试组件10的机构稳固性，以避免该测试组件10于测试如晶圆的电子元件时位移，进而造成晶圆测试作业的测试品质不良。
因此，可利用该感测器12感测该固定器11的本体11a与设于该测试组件10上的该座体100之间的相互作用力(如抵靠压力或该作用部110的夹持力)，以判断该本体11a与该座体100是否相接触密合，借此确保该测试组件10的机构稳固性。例如，若该本体11a与该座体100未密合，则代表该测试组件10的机构稳固性不佳。具体地，当该感测器12所感测的压力值大于一预设值(例如:35kg～40kg)时，该本体11a与该座体100相密合(如图2所示)；当该压力值小于该预设值(例如:35kg～40kg)时，该本体11a与该座体100未密合(如图3所示)。
综上所述，本发明的检测装置1，其借由该感测器12感测该固定器11的本体11a与该座体100之间的相互作用力，以判断该固定器11与该座体100是否相接触密合，借此确保该测试组件10的机构稳固性，故相比于现有技术，本发明的检测装置1以感测方式检查该测试组件10的机构稳固性，不仅检查时程较短，且精确度较佳，以提高检查结果的可靠性，进而提升后续电子元件测试作业的测试结果准确性。
上述实施例仅用以例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何所属领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修改。因此本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (12)

1.一种检测装置，其特征在于，该检测装置包括：
一测试组件，其具有至少一座体、至少一测试部及相对的第一侧与第二侧，其中，该测试组件的该座体与该测试部分别设于该测试组件的相对的第一侧与第二侧，且该测试组件的该测试部直接接触该测试组件的第二侧；
至少一固定器，其直接设于该测试组件的该座体上；以及
至少一感测器，其连接具有该测试部的该测试组件的该座体以感测该固定器与该测试组件的该座体之间的相互作用力，且该感测器与该测试组件的该座体皆介于直接接触该测试组件的第二侧的该测试部与直接设于该测试组件的该座体上的该固定器之间。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该固定器具有一本体及至少一设于该本体中的作用部，且该本体形成有一容置空间以容置该作用部。
3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，该固定器还具有至少一设于该本体中以定位该作用部的垫部，且该垫部垫高该作用部。
4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该座体上设有被动件，且该固定器固接该被动件。
5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征位于，该固定器具有一本体及至少一设于该本体中的作用部，以令该作用部连结该被动件。
6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该固定器为夹持件。
7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该测试组件进一步具有用于设置该测试部的电路板。
8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该感测器埋设于该测试组件内。
9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该感测器设于该测试组件的第一侧，且令该座体设于该感测器上。
10.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该感测器为压力感测器。
11.根据权利要求1所述的检测装置，其特征位于，该检测装置进一步包括有通讯连接该感测器的接收器。
12.根据权利要求11所述的检测装置，其特征位于，该接收器为显示器，以显示该感测器所测得的数值。
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