KR20100127161A - 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션 - Google Patents

Abstract

본 발명은 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션에 관한 것이다. 상기 웨이퍼 프로버 스테이션은, 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임위에 장착되는 척 이송부; 척 플레이트; 상기 베이스 프레임위에 고정 장착되는 상판 지지용 기둥; 프로브 카드가 고정될 프로브 카드용 관통구가 중앙에 형성되고 하부면의 일부가 상기 상판 지지용 기둥의 상부면에 고정되는 상판; 상판 지지용 기둥의 상부면과 상기 상판의 하부면의 사이에 설치되는 다수 개의 하중 측정부; 매니퓰레이터의 회전축에 장착된 헤더 고정부; 상기 헤더 고정부의 장착 위치를 이동시켜 테스터 헤더의 X축 및 Y축 방향의 기울기를 조정하는 X축 기울기 제어부 및 Y축 기울기 제어부; 상기 하중 측정부로부터 입력된 하중값들을 이용하여 상기 상판에 대한 압력 분포도를 측정하며, 상기 압력 분포도를 이용하여 상기 X축 기울기 제어부, Y축 기울기 제어부에 대한 X축, Y축 구동 신호들을 생성하여 제공하는 제어부; 를 구비한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은, 테스터 헤더가 도킹될 때 발생되는 압력값들을 이용하여 테스터 헤더의 위치를 제어함으로써, 테스터 헤더를 웨이퍼 프로버에 정확하게 도킹할 수 있도록 한다.

프로버, 상판, 하중,

Description

상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션{Wafer prober station being capable of measuring and controlling pressure of upper plate}

본 발명은 상판의 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 웨이퍼 프로버의 상판에 부착된 프로브 카드와 매니퓰레이터에 체결된 테스터 헤더를 접속할 때, 상판과 상판 지지용 기둥의 사이의 하중 측정을 통해 상판의 압력 분포도를 확인할 수 있으며, 또한 상기 압력 분포도를 이용하여 테스터 헤더의 각 방향에 대한 위치와 기울기를 조정할 수 있는 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션에 관한 것이다.

웨이퍼 프로버 스테이션은 웨이퍼에 형성된 반도체 IC 칩의 전기적 검사를 하는 장비로서, 전기적 검사를 수행하는 테스터(Tester)와 웨이퍼에 형성된 IC 칩을 전기적으로 접속시키기 위한 프로브 카드를 프로버의 상판에 장착하고, 웨이퍼에 형성된 IC 칩상의 다수의 패드에 프로브 카드의 탐침을 접촉시키게 된다. 도 1은 일반적인 웨이퍼 프로버의 구조를 전체적으로 도시한 도면이다. 도 1을 참조하면, 테스터 헤더(Tester Header;100), 상기 테스터 헤더가 장착되는 매니퓰레이터(Manipulator:101), 베이스 프레임(109), 상기 베이스 프레임의 가장자리에 형성 되는 상판 지지용 기둥(107), 상기 상판 지지용 기둥위에 고정되고 프로브 카드(102)가 고정 장착되는 상판(Upper Plate;108), 상기 베이스 프레임의 상부에 배치되는 척 이송부(105), 상기 척 이송부위에 배치되는 척 플레이트(104), 테스터하고자 하는 웨이퍼를 카세트로부터 척 플레이트로 이송하는 로더(103)를 구비한다. 상기 척 이송부(105)는 척을 XY 방향으로 이동시키는 XY 스테이지(111) 및 척을 상하방향으로 이동시키는 Z 스테이지(112) 등을 구비한다.

전술한 구조를 갖는 웨이퍼 프로버는, 매니퓰레이터(101)를 구동하여 테스터 헤더(100)를 도 1에 표시된 화살표 방향을 따라 회전시킴으로써, 테스터 헤더와 프로버 카드(102)가 접속되도록 한다.

이때, 테스터 헤더(100)와 프로버 카드(102)가 접속되면 테스터 헤더의 무게가 프로버 카드에 전달되는데, 이는 웨이퍼 프로버의 상판(108)에 직접적인 외부 압력으로 작용하게 된다. 상기 테스터 헤더의 무게가 적게는 100kg에서 많게는 1200kg 까지 되며, 최근 IC가 고집적화됨에 따라 테스터 헤더의 무게도 점차 증가되는 추세이다. 따라서, 웨이퍼 프로버의 상판에 작용되는 외부 압력도 테스터 헤더의 무게 증가와 함께 증가된다. 이 경우, 외부 압력이 상판 표면에 전체적으로 균일하게 가해지지 않고 국부적으로 가해지거나 편심 하중이 상판 표면에 가해지는 경우, 상판이 기울어지거나 휘어지는 현상이 발생하게 된다. 상판이 기울어지거나 휘어지는 경우, 프로버 카드와 웨이퍼와의 접촉이 균일하지 못하게 이루어지게 된다. 웨이퍼 프로버를 장시간 사용하게 되면, 웨이퍼 프로버의 정밀도가 떨어지게 되고, 그 결과 생산 효율도 상당히 감소하게 된다. 이러한 문제점을 해결하기 위하 여, 종래에는 테스터 헤더를 웨이퍼 프로버 카드와 접속시킬 때 사람이 직접 눈으로 확인한 후 작업을 수행하였으나, 이는 관리자가 매번 확인하여야 하는 번거러움이 있을 뿐만 아니라, 작업자의 숙련도에 따라 정확도가 떨어지게 되는 문제점이 발생하였다.

또한, 상판에 고정된 프로브 카드의 탐침과 웨이퍼 프로버의 척 플레이트위의 웨이퍼 패드가 접촉된 후 오버 드라이브값을 설정할 때도, 마크 크기를 매번 확인하고 오버 드라이브 값을 입력하여야 된다. 이로 인해, 초기 작업 시간이 길어지게 되는 문제점이 발생하였다.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 웨이퍼 프로버의 상판에 가해지는 압력을 측정하고, 이를 이용하여 상판 전체의 압력 분포도를 측정하고 이를 제공하는 웨이퍼 프로버 스테이션을 제공하는 것이다.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼 프로버의 상판에 가해지는 압력을 측정하고, 이를 이용하여 상판 전체의 압력 분포도를 측정하고, 압력 분포도를 이용하여 상판 전체에 균일한 압력이 가해지도록 테스터 헤더의 위치를 제어하는 웨이퍼 프로버 스테이션을 제공하는 것이다.

전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 특징은 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션에 관한 것으로서, 상기 웨이퍼 프로버 스테이션은, 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임위에 장착되는 척 이송부; 상기 척 이송부위에 배치되는 척 플레이트; 상기 베이스 프레임위에 고정 장착되는 상판 지지용 기둥; 프로브 카드가 고정될 프로브 카드용 관통구가 중앙에 형성되고 하부면의 일부가 상기 상판 지지용 기둥의 상부면에 고정되는 상판; 상기 상판이 고정되는 상기 상판 지지용 기둥의 상부면과 상기 상판의 하부면의 사이에 설치되는 다수 개의 하중 측정부; 상기 하중 측정부로부터 각 설치 위치에 대한 하중값을 입력받고, 입력된 하중값들을 이용하여 상기 상판에 인가되는 압력 분포도를 측정하며, 상기 압력 분포도를 이용하여 테스터 헤더를 웨이퍼 프로버에 도킹시킬 때 테스터 헤더가 정확 하게 도킹되었는지 여부를 판단하는 제어부; 를 구비한다.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션에 있어서, 상기 하중 측정부는 상기 상판의 프로브 카드용 관통구를 중심으로 하여 서로 대향되는 위치에 각각 설치되고, 상기 하중 측정부는 압력 센서, 스트레인 게이지, 커패시터센서 중 어느 하나로 이루어지며, 상기 압력 센서는 로드셀이며, 상기 하중 측정부는 적어도 4개 이상을 구비하고, 상기 상판의 하부면의 4개의 모서리에 각각 설치되는 것이 바람직하다.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션에 있어서, 상기 제어부는 다수 개의 하중 측정부들에 의해 측정된 하중값들의 차이값을 구하고, 상기 차이값들을 이용하여 상기 상판의 기울기를 측정하여 제공하는 것이 바람직하다.

전술한 특징에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션에 있어서, 매니퓰레이터의 회전축에 장착되고 일측면에 테스터 헤더를 고정시키는 헤더 고정부, 및 상기 헤더 고정부에 장착된 테스터 헤더의 X축 방향의 기울기 및 Y축 방향의 기울기를 조정하는 X축 기울기 제어부, Y축 기울기 제어부를 더 구비하고, 상기 X축 기울기 제어부 및 Y축 기울기 제어부는 헤더 고정부가 매니퓰레이터에 고정된 위치를 X축 및 Y축 방향을 따라 각각 이동시키는 모터들을 구비하고, 상기 제어부는 상판의 압력 분포도를 이용하여 X축 기울기 제어부, Y축 기울기 제어부에 대한 X축, Y축 구동 신호들을 생성하고, 생성된 X축, Y축 구동 신호들을 모터들로 각각 제공하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은 테스터 헤더에 의한 수직 방향의 힘과 척 플레이트에 의한 수직 방향으로 가해지는 외부 압력을 측정할 수 있게 된다. 특히, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은, 테스터 헤더와 프로브 카드가 접촉했을 때 발생되는 압력값들을 측정하고 이를 이용하여 상판의 압력 분포도 및 기울기를 측정할 수 있다. 상기 측정된 압력 분포도를 이용함으로써, 테스터 헤더를 웨이퍼 프로버에 정확하게 도킹(Docking)할 수 있게 된다.

한편, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은 상기 측정된 상판의 압력 분포도를 이용하여 테스터 헤더의 위치의 이동을 제어함으로써, 테스터 헤더에 의해 상판에 인가되는 압력이 전체적으로 균일하게 되도록 한다. 그 결과, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은 상판의 변형을 방지할 수 있게 되며, 동작의 안정성을 확보할 수 있게 된다. 또한 본 발명에 따른 상판 압력 측정 장치에 의하여, 웨이퍼 프로버는 프로브 카드와 척 플레이트에 놓여진 웨이퍼가 접촉된 후의 오버 드라이브 값을 정확하게 입력할 수 있게 되어 프로브 카드의 손상을 방지하고 웨이퍼 표면의 손상을 방지할 수 있게 된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션의 구조 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다.

도 2는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션을 개략적으로 도시한 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션의 구조를 개략적으로 도시한 블록도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은 베이스 프레임(200), 상기 베이스 프레임위에 장착되는 척 이송부(210), 상기 척 이송부위에 장착되고 웨이퍼가 로딩되는 척 플레이트(212), 상기 베이스 프레임의 가장자리에 장착되는 상판 지지용 기둥(220), 상기 상판 지지용 기둥에 고정되는 상판(230), 상기 상판 지지용 기둥과 상판의 사이에 장착되는 다수 개의 하중 측정부(240, 241, 242, 243), 매니퓰레이터의 회전축에 장착되고 일면에 테스터 헤더가 고정되는 헤더 고정부(290), 상기 헤더 고정부(290)의 고정 위치를 조정하여 테스터 헤더의 X축 및 Y축 방향의 기울기를 조정하는 X축 기울기 제어부(260)와 Y축 기울기 제어부(270), 상기 헤더 고정부의 고정 높이를 조정하는 Z축 높이 제어부(280) 및 제어부(250)를 구비한다.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션의 상판 압력 측정 가능한 상판 및 척 이송부를 분리하여 도시한 단면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 압력 측정이 가능한 상판에 대한 평면도를 도시한 것이다.

상기 상판(230)은 프로브 카드가 고정될 프로브 카드용 관통구(232)가 중앙에 형성되고 하부면의 일부가 상기 상판 지지용 기둥의 상부면에 고정된다.

상기 하중 측정부(240,241, 242, 243)는 상기 상판이 고정되는 상기 상판 지지용 기둥의 상부면과 상기 상판의 하부면의 사이에 설치되는데, 4개의 하중 측정부가 상기 상판의 하부면의 4개의 모서리에 각각 설치되는 것이 바람직하다. 특히 하중 측정부는 상기 상판의 프로브 카드용 관통구를 중심으로 하여 서로 대향되는 위치에 각각 설치되는 것이 바람직하며, 상기 상판의 하부면의 좌우 방향 또는 상 하 방향을 따라 서로 대향되는 위치에 각각 설치되는 것이 바람직하다.

상기 하중 측정부는 압력 센서, 스트레인 게이지, 커패시터센서 중 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 상기 압력 센서는 로드셀을 사용할 수 있다. 로드셀은 외부로부터 가해지는 하중의 변화에 따라 변위가 발생하고, 이렇게 발생된 변위량은 센서의 몸체에 부착된 스트레인 게이지를 통해 그 값을 확인할 수 있으며, 저항 또는 전압값으로 변환되어 제어부(250)로 제공하게 된다.

상기 제어부(250)는 상기 하중 측정부로부터 각 설치 위치에 대한 하중값들을 입력받고, 입력된 하중값들을 이용하여 상기 상판에 대한 압력 분포도를 측정하여 제공한다. 또한, 상기 제어부는 상기 입력된 하중값들의 차이값을 검출하고, 상기 검출된 차이값들을 이용하여 X축 방향 또는 Y축 방향을 따라 발생하는 기울기를 측정하여 제공한다. 또한, 상기 제어부는 입력된 하중값들과 사전에 설정된 유효 하중 범위와의 편차값을 계산하여 상판에 무리를 주는 과다한 압력이 인가되는지 여부 또는 측정이 어려운 미세한 압력이 인가되는지 여부를 측정하여 제공한다.

전술한 구조에 의하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은 테스터 헤더에 의한 수직 방향의 힘과 척 플레이트에 의한 수직 방향으로 가해지는 외부 압력을 측정할 수 있게 된다. 특히, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 상판 압력 측정 장치는, 테스터 헤더와 프로브 카드가 접촉했을 때 발생되는 압력을 상기 상판의 하단에 설치된 하중 측정부인 압력 센서를 통해 알 수 있다. 이 과정에서 측정되는 압력값들을 이용하여, 테스터 헤더에 의해 프로브 카드가 고정된 상판의 압력 분포도를 측정한다. 상기 측정된 압력 분포도를 이용함으로써, 테스터 헤더를 웨이퍼 프로버에 정확하게 도킹(Docking)할 수 있게 된다. 그 결과, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션은 상판의 변형을 방지할 수 있게 되며, 동작의 안정성을 확보할 수 있게 된다.

또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션에 의하여 측정된 상판에 인가되는 하중값을 이용하여, 웨이퍼 프로버는 프로브 카드와 척 플레이트에 놓여진 웨이퍼가 접촉된 후 제공하여야 할 오버 드라이브 값을 정확하게 계산할 수 있게 된다. 그 결과 프로브 카드의 손상을 방지하고 웨이퍼 표면의 손상을 방지할 수 있게 된다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션의 상판에 균일한 압력이 인가되도록 테스터 헤더의 기울기를 제어할 수 있는 X축 기울기 제어부와 Y축 기울기 제어부, 테스터 헤더의 높이를 제어할 수 있는 Z축 높이 제어부를 구비하는 매니퓰레이터(30)를 도시한 사시도이다.

도 2 내지 도 6을 참조하면, 제어부(250)는 상판의 전체에 균일한 압력이 인가되도록 하기 위하여 상기 측정된 압력 분포도를 이용하여 테스터 헤더의 X축, Y축 방향에 대한 기울기를 검출하고, 상기 기울기에 따라 테스터 헤더가 상판과 평행하게 되도록 하기 위한 X축, Y축의 이동 거리를 계산하며, 각 이동 거리에 따른 X축 기울기 제어부, Y축 기울기 제어부에 대한 X축, Y축 구동 신호를 생성하여 X축 기울기 제어부 및 Y축 기울기 제어부로 제공한다. 또한, 상기 제어부(250)는 상판에 인가되는 압력이 사전에 설정된 유효 하중 범위를 이탈하는지 여부를 확인하고, 사전에 설정된 유효 하중 범위를 이탈하는 경우 사전에 설정된 범위와 측정된 하중 값의 범위의 차이값을 검출하고, 차이값을 이용하여 Z축 높이를 보정하기 위한 Z축 구동 신호를 생성하여 Z축 높이 제어부로 제공한다.

헤더 고정부(290)는 매니퓰레이터의 회전축(32)에 장착되는데, 회전축(32)의 장착 위치를 X축 방향 및 Y축 방향을 따라 이동시킬 수 있게 된다. 상기 X축 기울기 제어부(260)는 상기 헤더 고정부의 장착 위치를 테스터 헤더의 X축 방향을 따라 이동시킬 수 있는 모터를 구비하고, 상기 Y축 기울기 제어부(270)는 상기 헤더 고정부의 장착 위치를 테스터 헤더의 Y축 방향을 따라 이동시킬 수 있는 모터를 구비한다.

상기 X축 및 Y축 기울기 제어부는 상기 제어부로부터 제공되는 X축 구동 신호 및 Y축 구동 신호에 따라 모터들을 구동시켜 테스터 헤더의 X축 방향의 기울기 및 Y축 방향의 기울기를 조정하게 된다.

전술한 구조를 갖는 웨이퍼 프로버 스테이션은 상판에 인가되는 압력 분포도를 이용하여 테스터 헤더의 기울기를 검출하고, 기울기에 따라 테스터 헤더의 장착 위치를 X,Y,Z 축 방향에 대해 이동 제어하여, 테스터 헤더가 상판에 전체적으로 균일한 압력을 인가하도록 한다.

이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

본 발명에 의하여, 웨이퍼 프로버의 상판에 가해지는 외부 압력을 정확하게 측정하고, 그 결과를 이용하여 테스터 헤더가 상판과 평행하게 배치되도록 할 수 있게 된다.

도 1은 일반적인 반도체 웨이퍼 프로버의 구조를 전체적으로 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션을 개략적으로 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션의 제어 모듈을 도시한 블록도이다.

도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션의 압력 측정이 가능한 상판 및 스테이지를 분리하여 도시한 단면도이며, 도 5는 도 4의 해당 부분에 대한 평면도를 도시한 것이다.

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프로버 스테이션의 매니퓰레이터(30)를 도시한 사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 테스터 헤더

101, 30 : 매니퓰레이터

109, 200 : 베이스 프레임

107, 220 : 상판 지지용 기둥

102 : 프로브 카드

108, 230 : 상판

105, 210 : 척 이송부

104, 212 : 척 플레이트

103 : 로더

240, 241, 242, 243 : 하중 측정부

250 : 제어부

260 : X축 기울기 제어부

270 : Y축 기울기 제어부

280 : Z축 높이 제어부

290 : 헤더 고정부

Claims (8)

1. 베이스 프레임;

   상기 베이스 프레임위에 장착되는 척 이송부;

   상기 척 이송부위에 배치되는 척 플레이트;

   상기 베이스 프레임위에 고정 장착되는 상판 지지용 기둥;

   프로브 카드가 고정될 프로브 카드용 관통구가 중앙에 형성되고 하부면의 일부가 상기 상판 지지용 기둥의 상부면에 고정되는 상판;

   상기 상판이 고정되는 상기 상판 지지용 기둥의 상부면과 상기 상판의 하부면의 사이에 설치되는 다수 개의 하중 측정부;

   상기 하중 측정부로부터 각 설치 위치에 대한 하중값을 입력받고, 입력된 하중값들을 이용하여 상기 상판에 인가되는 압력 분포도를 측정하며, 상기 압력 분포도를 이용하여 테스터 헤더를 웨이퍼 프로버에 도킹시킬 때 테스터 헤더가 정확하게 도킹되었는지 여부를 판단하는 제어부;

   를 구비하는 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션.
2. 제1항에 있어서, 상기 하중 측정부는 상기 상판의 프로브 카드용 관통구를 중심으로 하여 서로 대향되는 위치에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션.
3. 제1항에 있어서, 상기 하중 측정부는 압력 센서, 스트레인 게이지, 커패시터센서 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션.
4. 제3항에 있어서, 상기 압력 센서는 로드셀인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버의 상판 압력 측정 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 하중 측정부는 적어도 4개 이상을 구비하고, 상기 상판의 하부면의 4개의 모서리에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프로버의 상판 압력 측정 장치.
6. 제1항에 있어서, 상기 제어부는 다수 개의 하중 측정부들에 의해 측정된 하중값들의 차이값을 구하고, 상기 차이값들을 이용하여 상기 상판의 기울기를 측정하여 제공하는 것을 특징으로 하는 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션.
7. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프로버 스테이션은

   매니퓰레이터의 회전축에 장착되고 일측면에 테스터 헤더를 고정시키는 헤더 고정부, 및 상기 헤더 고정부에 장착된 테스터 헤더의 X축 방향의 기울기 및 Y축 방향의 기울기를 조정하는 X축 기울기 제어부, Y축 기울기 제어부를 더 구비하고,

   상기 X축 기울기 제어부 및 Y축 기울기 제어부는 헤더 고정부가 매니퓰레이터에 고정된 위치를 X축 및 Y축 방향을 따라 각각 이동시키는 모터들을 구비하는 것을 특징으로 하는 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션.
8. 제7항에 있어서, 상기 제어부는 상판의 압력 분포도를 이용하여 X축 기울기 제어부, Y축 기울기 제어부에 대한 X축, Y축 구동 신호들을 생성하고, 생성된 X축, Y축 구동 신호들을 모터들로 각각 제공하는 것을 특징으로 하는 상판 압력 측정 및 보정이 가능한 웨이퍼 프로버 스테이션.

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