JPH0680711B2 - ウエハプローバ - Google Patents
ウエハプローバInfo
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- JPH0680711B2 JPH0680711B2 JP63054564A JP5456488A JPH0680711B2 JP H0680711 B2 JPH0680711 B2 JP H0680711B2 JP 63054564 A JP63054564 A JP 63054564A JP 5456488 A JP5456488 A JP 5456488A JP H0680711 B2 JPH0680711 B2 JP H0680711B2
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- Japan
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- wafer
- chip
- probe
- chuck
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Description
この発明は半導体ウエハのプローブテストを行なうため
のウエハプローバに関し、半導体ウエハを精度よく測定
するのに適したウエハプローバを提供するものである。
のウエハプローバに関し、半導体ウエハを精度よく測定
するのに適したウエハプローバを提供するものである。
半導体装置の製造工程においては、ウエハ上にウエハチ
ップが完成すると、プローブテストと呼ばれ電極パッド
にプローブ針を接触させてウエハチップの電気的特性検
査が行なわれる。 このような検査においては、プローブ位置において、プ
ローブ針が一定の針圧でウエハチップの電極パッドに接
触しているか否かが検査精度に大きく影響するものであ
った。 従来、このプローブ針がウエハの電極パッド上へ接触す
る場合の針圧は、ウエハの厚さやウエハ表面の傾きによ
って影響されるため、プローブ針に対してウエハチャッ
クのＺ軸方向の移動量を制御することにより調整されて
いた。
ップが完成すると、プローブテストと呼ばれ電極パッド
にプローブ針を接触させてウエハチップの電気的特性検
査が行なわれる。 このような検査においては、プローブ位置において、プ
ローブ針が一定の針圧でウエハチップの電極パッドに接
触しているか否かが検査精度に大きく影響するものであ
った。 従来、このプローブ針がウエハの電極パッド上へ接触す
る場合の針圧は、ウエハの厚さやウエハ表面の傾きによ
って影響されるため、プローブ針に対してウエハチャッ
クのＺ軸方向の移動量を制御することにより調整されて
いた。
しかしながら、本発明者等は針圧への影響因子として、
ウエハの厚さの不均一やウエハ表面の傾き、針圧を受け
た場合のウエハチャックのたわみ量等が非常に大きい影
響力を持っていることを発見した。 近年のウエハの高密度化に伴い、第９図に示すように、
プローブ針21がプローブカード22に垂直に設置されるよ
うになった。このような場合には、わずかな針圧の違い
によりプローブ針21に過度の負荷がかかって変形し、負
荷が除かれたのちもその変形が残ってしまい、プローブ
針21が使用できなくなってしまう。 この発明の目的は、かかる従来の問題点に対処してなさ
れたもので、ウエハの高さや変形に関係なく、適正な針
圧で高精度にウエハを検査できるウエハプローバを提供
することである。
ウエハの厚さの不均一やウエハ表面の傾き、針圧を受け
た場合のウエハチャックのたわみ量等が非常に大きい影
響力を持っていることを発見した。 近年のウエハの高密度化に伴い、第９図に示すように、
プローブ針21がプローブカード22に垂直に設置されるよ
うになった。このような場合には、わずかな針圧の違い
によりプローブ針21に過度の負荷がかかって変形し、負
荷が除かれたのちもその変形が残ってしまい、プローブ
針21が使用できなくなってしまう。 この発明の目的は、かかる従来の問題点に対処してなさ
れたもので、ウエハの高さや変形に関係なく、適正な針
圧で高精度にウエハを検査できるウエハプローバを提供
することである。
すなわちこの発明のウエハプローバは、ウエハをウエハ
チャックによって移動可能に保持するとともに、ハイト
センサでウエハ上の１チップごとにその特定点の高さを
検出し、プローブ位置においてウエハチャックを各チッ
プに応じてＺ軸方向に移動量を調整することにより、ウ
エハとプローブ針との間隔を常に一定に保持しつつ、ウ
エハ上の各チップを検査することを特徴とするものであ
る。
チャックによって移動可能に保持するとともに、ハイト
センサでウエハ上の１チップごとにその特定点の高さを
検出し、プローブ位置においてウエハチャックを各チッ
プに応じてＺ軸方向に移動量を調整することにより、ウ
エハとプローブ針との間隔を常に一定に保持しつつ、ウ
エハ上の各チップを検査することを特徴とするものであ
る。
以下、この発明の一実施例を図面を用いて説明する。第
１図ないし第４図はこの発明のウエハプローバの一実施
例を示し、第１図はその概略平面図、第２図は側面図、
第３図はダミーウエハの用法を示す概略平面図、第４図
はウエハチャックの駆動方向を示す斜視図である。 プローブ位置に設置したプローブカード等からなるプロ
ーブ手段１と、ウエハ12の相対的移動により各チップ13
ごとに検査される。例えばウエハ12が上下、Ｘ軸−Ｙ軸
方向に移動することにより検査される。上記上下移動に
おいて、あらかじめ定められた位置に設けられたハイト
センサ２の位置を、ウエハチャック11に吸着されたウエ
ハ12が通過することにより、ウエハ12内の全チップ13に
ついて、その高さがハイトセンサ２により検知される。
すなわち、第２図に示すようにウエハ12の端縁がハイト
センサ２を縦横に横切った際の２点X1，X2およびY1，Y2
の中心、 から垂線を延ばし、その交点をウエハ12の中心Ｏとして
以後の基準とする。そして上記中心Ｏを起点として、う
ず巻き状ないし蛇行状に移動させ、ウエハ12上の各チッ
プ13をハイトセンサ２によって検知する。この検知結果
はメモリに記憶させておく。 ４は、マイクロスコープと撮像カメラ３からの出力によ
るTVモニタで、ウエハ12のチップ13に設けた電極パッド
にプローブ位置においてプローブ針21をコンタクトさ
せ、その針跡の位置やサイズを確認するために使用され
る。すなわち第４図に示すように、ウエハ12を吸着した
ウエハチャック11をＸ軸,Y軸,Z軸方向およびθ方向に駆
動させ、確認した針跡によってウエハ12の姿勢を制御す
るのである。 なお、上記ハイトセンサ２によって各チップ13の高さを
検知する前に、このTVモニタ４でウエハ12を観察してチ
ップ13内のどの位置を検知するかを決定する。 その後ウエハ12をハイトセンサ２の視野位置まで移動さ
せ、上記手順でウエハ12の中心Ｏを決定して、各チップ
13ごとにその高さを検知する。得られた各チップ13ごと
の高さのデータは、メモリに記憶しておく。 次にウエハ12はプローブ位置まで移送され、各チップ13
ごとに電気的に測定される。その際ウエハチャック11
は、第５図のように各チップ13ごとにプローブ針21に接
触させるように動作するが、各チップ13ごとの高さに応
じてＺ軸方向に移動量を調整する。この調整は、ウエハ
チャック11の駆動系を、メモリに記憶された各チップ13
ごとの高さのデータに応じて制御することにより行なわ
れる。なおウエハ12のＸ軸ないしＹ軸方向の傾きは、VT
モニタ４の位置で修正されているので、プローブ位置に
おいては調整する必要がない。 この実施例においては、検査すべきウエハ12をプローブ
位置に移送してウエハ12上の各チップ13を電気的に測定
するのに際し、次の準備工程を経るようにしたものであ
る。 すなわち、先ずウエハチャック11のチャックトップの各
部位についてのたわみ量を、プローブ針21による針圧と
の関係において測定する。測定に際しては第６図に示す
ように、プローブ位置のヘッドプレート33に支持され
た、上下方向に進退自在のマグネスケール34を使用す
る。すなわち、ウエハチャック11のチャックトップ31に
ウエイト32を載せ、この状態でウエハチャック11をＺ軸
方向に上昇させてマグネスケール34の先端に当接され
る。そしてウエハチャック11のチャックトップ31の各部
位についてそのたわみ量を検出する。 上記たわみ量は、通常ウエハチャックの支柱部分との関
係からウエハチャックの中心においては少なく、周辺部
分において大きくなる。しかしながら、ウエハチャック
11の材質等の要素もあってかなりのバラツキを有するも
のである。 このようにして測定したウエハチャック11のチャックト
ップ31のたわみ量は、メモリに記憶させておき、のちの
プローブ工程においてウエハチャック11のＺ軸方向の駆
動を制御するのに使用する。このようにして針圧の狙い
を低減することにより、より一層高精度にウエハを検査
することができる。 なお同時に、下記に示すような手段で、ウエハチャック
11のＺ軸方向の移動の際の停止位置のズレを検出したと
ころ、移動速度によって第８図のＡに示すような振動が
生じていることが判明した。 ズレの検出には第７図に示すように、プローブ位置のヘ
ッドプレート33に支持されたオシロスコープ35を使用す
る。すなわち、ウエハチャック11のチャックトップ31に
ウエイト32を載せ、この状態でウエハチャック11をＺ軸
方向に上昇させてオシロスコープ35でその位置を検出す
る。そしてチャックトップ31の各部位についてその振動
量を検出する。 このようにして測定したウエハチャック11の振動はその
Ｚ軸方向の速度に大きく影響されるため、本発明者等は
種々検討した結果、ウエハチャック11のＺ軸方向の駆動
を２段階制御することによって解消できることを見いだ
した。このようにして振動量を低減することにより、よ
り一層高精度にウエハを検査することができる。 次にこの発明のウエハプローバの動作について説明す
る。 通常のロード、アンロード手段でダミーウエハ14をプロ
ーブ位置に移送する。次いでダミーウエハ14上の任意の
位置に、プローブ針21で針跡からなるマーク15を付して
TVモニタ４の位置まで回送する。そして、このダミーウ
エハ14上のマーク15をTVモニタ４で確認するとともに、
プローブ位置との間の距離Ｌを検出する。得られたデー
タはRAM等のメモリに記憶させておく。 次に、検査すべきウエハ12をプローブ位置に移送して、
ウエハ12のチップ13に設けた電極パッドにプローブ位置
においてプローブ針21をコンタクトさせる。プローブ針
21の針跡等のマーク23を付された検査すべきウエハ12
は、TVモニタ４によって上記マーク23の位置やサイズが
確認される。それと同時に、ウエハ12を吸着したウエハ
チャック11をＸ軸,Y軸,Z軸方向およびθ方向に駆動さ
せ、確認した針跡等のマーク23によってウエハ12の姿勢
を制御する。その後、ウエハ12はプローブ位置に送ら
れ、各チップ13ごとに通常のテストを受ける。 上記各工程において、ウエハチャック11のたわみ量に応
じた制御がＺ軸方向について行なわれる。また、第８図
のＢに示すように、ウエハチャック11をＺ軸方向に駆動
する際には、上昇過程の大半は高速で移動させ、停止位
置に近ずいた時点で低速にするという２段階で動作させ
る。このようにすれば、上記振動を解消して非常に制度
よく、しかも速度を落とさずにテスト等を行なうことが
できる。 なお、チップ13内のどの位置の高さをハイトセンサ２に
よって測定するかは、マイクロスコープと撮像カメラ３
からの出力によるTVモニタ４内の映像を、TVモニタ４内
中心に位置する十字マーク５に合わせることにより指示
する。十字マーク５の下に位置する点が、X,Y方向へど
れだけ移動すればハイトセンサ２の真下にくるかが判れ
ば、TVモニタ４に指示したチップ13内の点を正確にハイ
トセンサ２の下へ移動することが可能となる。 この移動量は、例えば以下の方法を取ることにより実行
可能となる。まず、上記ウエハチャック11がハイトセン
サ２の真下を縦および横に横切った際の２点、X1，X2お
よびY1，Y2の中心、 から垂線を延ばした、交点 は、ウエハチャック11の中心Ｏであり、ハイトセンサ２
の真下にウエハチャック11が移動する座標となる。 次に、TVモニタ４の十字マーク５の真下をウエハチャッ
ク11が縦および横に横切った際の２点をX3，X4および
Y3，Y4とし、 を求めればこの点は、ウエハチャック中心がTVモニタ４
の十字マーク５の下に移動する点となる。上記 と の２点間の差がハイトセンサ２とTVモニタ４の十字マー
ク５との間の距離すなわち移動量となる。 したがって、上記ハイトセンサ２によって各チップ13の
高さを検知する前に、このTVモニタ４でウエハ12を観察
してチップ13内のどの位置を検知するかを決定する。 その後ウエハ12をハイトセンサ２の位置まで移動させ、
上記手順でウエハ12の中心Ｏを決定して、各チップ13ご
とにその高さを検知する。 チップ13のＸ方向およびＹ方向の大きさは、あらかじめ
キーボード等を用いて入力することにより、プローバ内
部に記憶されている。したがって、ハイトセンサ２の真
下にTVモニタ４にて指示した特定点が移動した後は、あ
らかじめ記憶されたチップ13の大きさ分だけ移動するこ
とにより、ウエハ12上の各チップ13上の特定点の高さ測
定が可能となる。得られた各チップ13ごとの高さのデー
タは、メモリに記憶しておく。 次にウエハ12はプローブ位置まで移送され、上述のよう
に各チップ13ごとに電気的に測定される。なおこのプロ
ーブ工程において、プローブ位置、ハイトセンサ２およ
びTVモニタ４の間の距離L1，L2を、ウエハ12の中心Ｏ等
を基準にして計測しておき、そのデータに応じてウエハ
チャック11の移動量を制御するようにすれば、プローブ
工程全体を自動的に行なわせることができる。 上記実施例では、ウエハに形成される全チップについて
の高さを検知し、この検知信号により各チップの針圧を
あらかじめ定めた針圧に補正する例について説明した
が、ウエハを複数のブロックに分割し、ブロック単位で
針圧調整してもよい。ブロックは例えば中心部、周辺部
の５分割などである。さらにあらかじめ定められた位置
のチップやダミーチップのみ高さ検知してもよい。
１図ないし第４図はこの発明のウエハプローバの一実施
例を示し、第１図はその概略平面図、第２図は側面図、
第３図はダミーウエハの用法を示す概略平面図、第４図
はウエハチャックの駆動方向を示す斜視図である。 プローブ位置に設置したプローブカード等からなるプロ
ーブ手段１と、ウエハ12の相対的移動により各チップ13
ごとに検査される。例えばウエハ12が上下、Ｘ軸−Ｙ軸
方向に移動することにより検査される。上記上下移動に
おいて、あらかじめ定められた位置に設けられたハイト
センサ２の位置を、ウエハチャック11に吸着されたウエ
ハ12が通過することにより、ウエハ12内の全チップ13に
ついて、その高さがハイトセンサ２により検知される。
すなわち、第２図に示すようにウエハ12の端縁がハイト
センサ２を縦横に横切った際の２点X1，X2およびY1，Y2
の中心、 から垂線を延ばし、その交点をウエハ12の中心Ｏとして
以後の基準とする。そして上記中心Ｏを起点として、う
ず巻き状ないし蛇行状に移動させ、ウエハ12上の各チッ
プ13をハイトセンサ２によって検知する。この検知結果
はメモリに記憶させておく。 ４は、マイクロスコープと撮像カメラ３からの出力によ
るTVモニタで、ウエハ12のチップ13に設けた電極パッド
にプローブ位置においてプローブ針21をコンタクトさ
せ、その針跡の位置やサイズを確認するために使用され
る。すなわち第４図に示すように、ウエハ12を吸着した
ウエハチャック11をＸ軸,Y軸,Z軸方向およびθ方向に駆
動させ、確認した針跡によってウエハ12の姿勢を制御す
るのである。 なお、上記ハイトセンサ２によって各チップ13の高さを
検知する前に、このTVモニタ４でウエハ12を観察してチ
ップ13内のどの位置を検知するかを決定する。 その後ウエハ12をハイトセンサ２の視野位置まで移動さ
せ、上記手順でウエハ12の中心Ｏを決定して、各チップ
13ごとにその高さを検知する。得られた各チップ13ごと
の高さのデータは、メモリに記憶しておく。 次にウエハ12はプローブ位置まで移送され、各チップ13
ごとに電気的に測定される。その際ウエハチャック11
は、第５図のように各チップ13ごとにプローブ針21に接
触させるように動作するが、各チップ13ごとの高さに応
じてＺ軸方向に移動量を調整する。この調整は、ウエハ
チャック11の駆動系を、メモリに記憶された各チップ13
ごとの高さのデータに応じて制御することにより行なわ
れる。なおウエハ12のＸ軸ないしＹ軸方向の傾きは、VT
モニタ４の位置で修正されているので、プローブ位置に
おいては調整する必要がない。 この実施例においては、検査すべきウエハ12をプローブ
位置に移送してウエハ12上の各チップ13を電気的に測定
するのに際し、次の準備工程を経るようにしたものであ
る。 すなわち、先ずウエハチャック11のチャックトップの各
部位についてのたわみ量を、プローブ針21による針圧と
の関係において測定する。測定に際しては第６図に示す
ように、プローブ位置のヘッドプレート33に支持され
た、上下方向に進退自在のマグネスケール34を使用す
る。すなわち、ウエハチャック11のチャックトップ31に
ウエイト32を載せ、この状態でウエハチャック11をＺ軸
方向に上昇させてマグネスケール34の先端に当接され
る。そしてウエハチャック11のチャックトップ31の各部
位についてそのたわみ量を検出する。 上記たわみ量は、通常ウエハチャックの支柱部分との関
係からウエハチャックの中心においては少なく、周辺部
分において大きくなる。しかしながら、ウエハチャック
11の材質等の要素もあってかなりのバラツキを有するも
のである。 このようにして測定したウエハチャック11のチャックト
ップ31のたわみ量は、メモリに記憶させておき、のちの
プローブ工程においてウエハチャック11のＺ軸方向の駆
動を制御するのに使用する。このようにして針圧の狙い
を低減することにより、より一層高精度にウエハを検査
することができる。 なお同時に、下記に示すような手段で、ウエハチャック
11のＺ軸方向の移動の際の停止位置のズレを検出したと
ころ、移動速度によって第８図のＡに示すような振動が
生じていることが判明した。 ズレの検出には第７図に示すように、プローブ位置のヘ
ッドプレート33に支持されたオシロスコープ35を使用す
る。すなわち、ウエハチャック11のチャックトップ31に
ウエイト32を載せ、この状態でウエハチャック11をＺ軸
方向に上昇させてオシロスコープ35でその位置を検出す
る。そしてチャックトップ31の各部位についてその振動
量を検出する。 このようにして測定したウエハチャック11の振動はその
Ｚ軸方向の速度に大きく影響されるため、本発明者等は
種々検討した結果、ウエハチャック11のＺ軸方向の駆動
を２段階制御することによって解消できることを見いだ
した。このようにして振動量を低減することにより、よ
り一層高精度にウエハを検査することができる。 次にこの発明のウエハプローバの動作について説明す
る。 通常のロード、アンロード手段でダミーウエハ14をプロ
ーブ位置に移送する。次いでダミーウエハ14上の任意の
位置に、プローブ針21で針跡からなるマーク15を付して
TVモニタ４の位置まで回送する。そして、このダミーウ
エハ14上のマーク15をTVモニタ４で確認するとともに、
プローブ位置との間の距離Ｌを検出する。得られたデー
タはRAM等のメモリに記憶させておく。 次に、検査すべきウエハ12をプローブ位置に移送して、
ウエハ12のチップ13に設けた電極パッドにプローブ位置
においてプローブ針21をコンタクトさせる。プローブ針
21の針跡等のマーク23を付された検査すべきウエハ12
は、TVモニタ４によって上記マーク23の位置やサイズが
確認される。それと同時に、ウエハ12を吸着したウエハ
チャック11をＸ軸,Y軸,Z軸方向およびθ方向に駆動さ
せ、確認した針跡等のマーク23によってウエハ12の姿勢
を制御する。その後、ウエハ12はプローブ位置に送ら
れ、各チップ13ごとに通常のテストを受ける。 上記各工程において、ウエハチャック11のたわみ量に応
じた制御がＺ軸方向について行なわれる。また、第８図
のＢに示すように、ウエハチャック11をＺ軸方向に駆動
する際には、上昇過程の大半は高速で移動させ、停止位
置に近ずいた時点で低速にするという２段階で動作させ
る。このようにすれば、上記振動を解消して非常に制度
よく、しかも速度を落とさずにテスト等を行なうことが
できる。 なお、チップ13内のどの位置の高さをハイトセンサ２に
よって測定するかは、マイクロスコープと撮像カメラ３
からの出力によるTVモニタ４内の映像を、TVモニタ４内
中心に位置する十字マーク５に合わせることにより指示
する。十字マーク５の下に位置する点が、X,Y方向へど
れだけ移動すればハイトセンサ２の真下にくるかが判れ
ば、TVモニタ４に指示したチップ13内の点を正確にハイ
トセンサ２の下へ移動することが可能となる。 この移動量は、例えば以下の方法を取ることにより実行
可能となる。まず、上記ウエハチャック11がハイトセン
サ２の真下を縦および横に横切った際の２点、X1，X2お
よびY1，Y2の中心、 から垂線を延ばした、交点 は、ウエハチャック11の中心Ｏであり、ハイトセンサ２
の真下にウエハチャック11が移動する座標となる。 次に、TVモニタ４の十字マーク５の真下をウエハチャッ
ク11が縦および横に横切った際の２点をX3，X4および
Y3，Y4とし、 を求めればこの点は、ウエハチャック中心がTVモニタ４
の十字マーク５の下に移動する点となる。上記 と の２点間の差がハイトセンサ２とTVモニタ４の十字マー
ク５との間の距離すなわち移動量となる。 したがって、上記ハイトセンサ２によって各チップ13の
高さを検知する前に、このTVモニタ４でウエハ12を観察
してチップ13内のどの位置を検知するかを決定する。 その後ウエハ12をハイトセンサ２の位置まで移動させ、
上記手順でウエハ12の中心Ｏを決定して、各チップ13ご
とにその高さを検知する。 チップ13のＸ方向およびＹ方向の大きさは、あらかじめ
キーボード等を用いて入力することにより、プローバ内
部に記憶されている。したがって、ハイトセンサ２の真
下にTVモニタ４にて指示した特定点が移動した後は、あ
らかじめ記憶されたチップ13の大きさ分だけ移動するこ
とにより、ウエハ12上の各チップ13上の特定点の高さ測
定が可能となる。得られた各チップ13ごとの高さのデー
タは、メモリに記憶しておく。 次にウエハ12はプローブ位置まで移送され、上述のよう
に各チップ13ごとに電気的に測定される。なおこのプロ
ーブ工程において、プローブ位置、ハイトセンサ２およ
びTVモニタ４の間の距離L1，L2を、ウエハ12の中心Ｏ等
を基準にして計測しておき、そのデータに応じてウエハ
チャック11の移動量を制御するようにすれば、プローブ
工程全体を自動的に行なわせることができる。 上記実施例では、ウエハに形成される全チップについて
の高さを検知し、この検知信号により各チップの針圧を
あらかじめ定めた針圧に補正する例について説明した
が、ウエハを複数のブロックに分割し、ブロック単位で
針圧調整してもよい。ブロックは例えば中心部、周辺部
の５分割などである。さらにあらかじめ定められた位置
のチップやダミーチップのみ高さ検知してもよい。
この発明のウエハプローバは、各ウエハの高さを検出し
ておき、この検出値に応じてプローブ針と電極パッドと
の相対的移動量を補正することにより、常にあらかじめ
定めた針圧で検査でき、高精度な測定が可能となる。
ておき、この検出値に応じてプローブ針と電極パッドと
の相対的移動量を補正することにより、常にあらかじめ
定めた針圧で検査でき、高精度な測定が可能となる。
第１図はこの発明のウエハプローバの一実施例を示す概
略平面図、第２図はその側面図、第３図はダミーウエハ
の用法を示す概略平面図、第４図はウエハチャックの駆
動方向を示す斜視図、第５図はプローブ工程におけるウ
エハのＺ軸方向の動作を示す概略側面図、第６図はウエ
ハチャックのたわみ量を検出する手段を示す概略側面
図、第７図はウエハチャックの停止位置のズレを検出す
る手段を示す概略側面図、第８図はウエハチャックの停
止時の振動を示すグラフ、第９図は従来の場合のプロー
ブ針が変形したところを示す概略側面図、第10図は針圧
を受けた場合のウエハチャックのたわみを示す概略側面
図である。 １…プローブ手段、２…ハイトセンサ ３…マイクロスコープと撮像カメラ ４…モニタ、11…ウエハチャック 12…ウエハ、13…チップ 14…ダミーウエハ、15…マーク 21…プローブ針、22…プローブカード 23…マーク、31…チャックトップ 32…ウエイト、33…ヘッドプレート 34…マグネスケール、35…オシロスコープ
略平面図、第２図はその側面図、第３図はダミーウエハ
の用法を示す概略平面図、第４図はウエハチャックの駆
動方向を示す斜視図、第５図はプローブ工程におけるウ
エハのＺ軸方向の動作を示す概略側面図、第６図はウエ
ハチャックのたわみ量を検出する手段を示す概略側面
図、第７図はウエハチャックの停止位置のズレを検出す
る手段を示す概略側面図、第８図はウエハチャックの停
止時の振動を示すグラフ、第９図は従来の場合のプロー
ブ針が変形したところを示す概略側面図、第10図は針圧
を受けた場合のウエハチャックのたわみを示す概略側面
図である。 １…プローブ手段、２…ハイトセンサ ３…マイクロスコープと撮像カメラ ４…モニタ、11…ウエハチャック 12…ウエハ、13…チップ 14…ダミーウエハ、15…マーク 21…プローブ針、22…プローブカード 23…マーク、31…チャックトップ 32…ウエイト、33…ヘッドプレート 34…マグネスケール、35…オシロスコープ
Claims (1)
- 【請求項１】ウエハをウエハチャックによって移動可能
に保持するとともに、ハイトセンサでウエハ上の１チッ
プごとにその特定点の高さを検出し、プローブ位置にお
いてウエハチャックを各チップに応じてＺ軸方向に移動
量を調整することにより、ウエハとプローブ針との間隔
を常に一定に保持しつつ、ウエハ上の各チップを検査す
ることを特徴とするウエハプローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63054564A JPH0680711B2 (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | ウエハプローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63054564A JPH0680711B2 (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 | ウエハプローバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01227449A JPH01227449A (ja) | 1989-09-11 |
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1988
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