DE202008013982U1

DE202008013982U1 - Messsystem zum Bestimmen von Streuparametern

Info

Publication number: DE202008013982U1
Application number: DE200820013982
Authority: DE
Original assignee: Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Current assignee: Rosenberger Hochfrequenztechnik GmbH and Co KG
Priority date: 2008-10-20
Filing date: 2008-10-20
Publication date: 2009-01-08
Anticipated expiration: 2018-10-21
Also published as: CA2738717A1; US9116189B2; JP2012506030A; WO2010046017A1; CN102187233B; CN102187233A; EP2338063A1; HK1159252A1; CA2738717C; US20110241712A1; KR101245382B1; KR20110070903A

Abstract

Messsystem zum Bestimmen von Streuparametern eines elektrischen Messobjektes (40, 42, 44, 46, 48) auf einem Substrat (38) mit einem Messgerät (10) mit wenigstens einem Messkanal (18, 20, 22, 24) und wenigstens einer Messsonde (28), die mit wenigstens einem Messkanal (18, 20, 22, 24) elektrisch verbunden ist und die zum kontaktlosen oder kontaktbehafteten Kontaktieren eines elektrischen Signalleiters (50) des elektrischen Messobjektes (40, 42, 44, 46, 48) in der elektronischen Schaltung ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass für wenigstens eine Messsonde (28) eine erste Positioniervorrichtung (30) vorgesehen ist, wobei wenigstens ein Sensor (34) vorgesehen ist, welcher eine Position wenigstens einer Messsonde (28) detektiert und ein Positionssignal abgibt.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Messsystem zum Bestimmen von Streuparametern eines elektrischen Messobjektes auf einem Substrat mit einem Messgerät mit wenigstens einem Messkanal und wenigstens einer Messsonde, die mit wenigstens einem Messkanal elektrisch verbunden ist und die zum kontaktlosen oder kontaktbehafteten Kontaktieren eines elektrischen Signalleiters des elektrischen Messobjektes in der elektronischen Schaltung ausgebildet ist, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei der Entwicklung beispielsweise von komplexen planaren Mikrowellenschaltungen, welche aus mehreren Unterschaltkreisen aufgebaut sind, ist es nützlich, die Streuparameter für jeden Unterschaltkreis oder ggf. für einzelne elektronische Bauteile separat zu bestimmen. Hierdurch kann die Leistungsfähigkeit der verschiedenen Unterschaltkreise bzw. elektronische Bauteile individuell analysiert und überprüft werden. Die Bestimmung der Streuparameter eines innerhalb einer Schaltung eingebetteten elektrischen Messobjektes (DUT – Device Under Test) erfolgt mit einem modifizierten Vektornetzwerkanalysator (VNA). Die Messgenauigkeit der kontaktlosen Vektornetzwerkanalyse hängt in erster Linie von der Reproduzierbarkeit der Positionierung der Messsonde (Probe) ab. Unter Verwendung eines automatischen On-Wafer-Probers und motorisierten Probeheads ist es möglich, die Position der kontaktlosen Probes und speziell den Abstand der Probes bezüglich eines planaren Messsubstrates einzustellen.
Für die Charakterisierung von eingebetteten DUTs müssen die kontaktlosen Probes oder die DUTs in ihrer Positionen verschoben werden. Dabei müssen die Probes bei der Vermessung aller DUTs bzw. der Kalibrierstandards die gleiche Position (in x-, y- und z-Richtung) relativ zu den Zuleitungen der DUTs bzw. der Kalibrierungs-Standards aufweisen. Aufgrund von Unebenheiten des planaren Messsubstrates, Schräglage der Koppelsonden usw. ist es schwierig, eine reproduzierbare Positionierung der Probes bzw. Messsonden zu gewährleisten. Die Messgenauigkeit ist von der Positioniergenauigkeit abhängig.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Messsystem der o. g. Art hinsichtlich der Messgenauigkeit und Reproduzierbarkeit von Messergebnissen zu verbessern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Messsystem der o. g. Art mit den in Anspruch 1 gekennzeichneten Merkmalen gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben.
Bei einem Messsystem der o. g. Art ist es erfindungsgemäß vorgesehen, dass für wenigstens eine Messsonde eine erste Positioniervorrichtung vorgesehen ist, wobei wenigstens ein Sensor vorgesehen ist, welcher eine Position wenigstens einer Messsonde detektiert und ein Positionssignal abgibt.
Dies hat den Vorteil, dass eine exakte und wiederholbare Positionierung der Messsonde relativ zum elektrischen Messobjektes erzielt wird, wodurch sich eine hohe Messgenauigkeit der Streuparametermessung bzw. Vektornetzwerkanalyse ergibt.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist wenigstens ein erstes Steuergerät vorgesehen, welches zum Empfang des Positionssignals des Sensors mit diesem verbunden ist und derart ausgebildet ist, dass das erste Steuergerät wenigstens eine erste Positioniervorrichtung derart ansteuert, dass sich die Messsonde, deren Position von dem Sensor detektiert wird, an einer vorbestimmten Position im Raum relativ zum elektrischen Messobjekt befindet.
Zweckmäßigerweise weist die erste Positioniervorrichtung einen manuellen oder motorischen Antrieb auf.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist wenigstens ein Sensor ein optischer, elektrooptischer, elektrischer, akustischer, Infrarot-, elektrostatischer und/oder magnetischer Sensor.
Zweckmäßigerweise ist das Messgerät ein modifizierter Vektornetzwerkanalysator, bei dem die Messsonden über eine Anschlussleitung direkt mit den Empfängern bzw. Messkanälen elektrisch verbunden sind.
Die Messsonde ist beispielsweise als kapazitiv und/oder induktiv koppelnde Sonde bzw. Schleifensonde ausgebildet.
Zum zusätzlichen exakten Positionieren auch der elektronischen Schaltung innerhalb des Messsystems ist wenigstens eine motorisch oder manuell angetriebene zweite Positioniervorrichtung vorgesehen und zur mechanischen Aufnahme der elektronischen Schaltung ausgebildet.
Zweckmäßigerweise ist wenigstens ein Steuergerät zum Ansteuern der zweiten Positioniervorrichtung vorgesehen, wobei optional wenigstens ein Datenpfad bzw. wenigstens eine Datenleitung zum Übertragen von Positionsdaten von wenigstens einem Sensor an wenigstens ein zweites Steuergerät vorgesehen ist. Das erste und das zweite Steuergerät sind beispielsweise in einem einzigen Steuergerät integriert.
In einer bevorzugten Ausführungsform detektiert der wenigstens eine Sensor eine absolute Position der Messsonde im Raum und/oder eine Position der Messsonde relativ zum elektrischen Messobjekt und/oder eine Position der Messsonde relativ zu einer Positionsmarkierung auf der elektronischen Schaltung und/oder eine Position der Messsonde relativ zu einer Signalleitung zwischen dem elektrischen Messobjekt und der restlichen elektronischen Schaltung und gibt ein entsprechendes Positionssignal an wenigstens ein erstes Steuergerät ab.
Dadurch, dass eine Datenübertragungspfad zum Übertragen von Daten zwischen dem Messgerät und wenigstens einem Steuergerät vorgesehen ist, erhält das Steuergerät zusätzlich Daten für die Positionierung der zugeordneten Messsonde aus dem Messgerät und erhält das Messgerät Informationen darüber, ob die Messsonde korrekt Positioniert ist, so dass mit einer Messung begonnen werden kann oder ein Messwert in Abhängigkeit von den Positionsdaten beurteilt werden kann.
Das elektrische Messobjekt ist ein Kalibrierstandard oder ein in einer auf dem Substrat ausgebildeten, elektronischen Schaltung eingebettetes, elektrisches Messobjekt (DUT – Device Under Test), welches ein oder mehrere elektronische Bauteile umfasst, die elektrisch miteinander verschaltet sind.
Zweckmäßigerweise ist an wenigstens einer Messsonde wenigstens ein Sensor mechanisch befestigt.
Um beispielsweise einen Sensor für mehrere Messsonden verwenden zu können, ist der Sensor derart angeordnet, dass dieser unabhängig vom Substrat im Raum verschiebbar ist.
In einer bevorzugten Ausführungsform ist auf dem Substrat eine Markierung angeordnet, wobei der Sensor zum Erfassen einer relativen Position zu dieser Markierung ausgebildet ist.
Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Diese zeigt in der einzigen Fig. eine schematische Darstellung einer bevorzugten Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Messsystems.
Die in der einzigen Fig. beispielhaft dargestellte, bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Messsystems umfasst einen modifizierten Vektornetzwerkanalysator 10 mit einem Generator 12, einem Widerstand Z_g 14, einem Schalter 16, Messkanäle 18, 20, 22 und 24 sowie einen Computer 26. Statt wie bei einem herkömmlichen VNA sind bei dem modifizierten VNA die Messkanäle 18, 20, 22, 24 direkt mit zwei Messsonden bzw. Probes 28 elektrisch verbunden. Jede Messsonde 28 ist an einer ersten Positioniervorrichtung 30 in Form eines XYZ-Motors angeordnet, d. h. die erste Positioniervorrichtung 30 ist zum Positionieren der jeweiligen Messsonde 28 in drei Dimensionen im Raum ausgebildet. Die ersten Positioniervorrichtungen 30 sind mit einem gemeinsamen Steuergerät 32 verbunden, die die ersten Positioniervorrichtungen 30 zum entsprechenden Positionieren der Messsonden 28 ansteuert. Weiterhin sind zwei Positionsmesssensoren 34 vorgesehen, die mit dem Steuergerät 32 verbunden sind. Jeder Sensor 34 ist mechanisch jeweils mit einer Messsonde 28 verbunden und dient zum detektieren eine Position der Messsonden 28 im Raum. Die Messsonden geben ein entsprechendes Positionssignal, welches eine Position der jeweiligen Messsonde angibt, an das Steuergerät 32. Das Steuergerät 32 steuert in Abhängigkeit von diesen Positionssignalen der Sensoren 34 die ersten Positioniervorrichtungen 30 derart an, dass die Messsonden 28 exakt an vorbestimmten Positionen im Raum positioniert werden. Eine Datenleitung 36, welche einerseits mit dem modifizierten Vektornetzwerkanalysator 10 bzw. dem darin angeordneten Computer 26 und andererseits mit dem Steuergerät 32 verbunden ist, dient zum Austausch von Daten zwischen dem modifizierten Vektornetzwerkanalysator 10 und dem Steuergerät 32.
Auf einem Substrat 38 ist eine elektronische Schaltung mit mehreren elektrischen Messobjekten 40, 42, 44, 46, 48, die in die elektronische Schaltung eingebettet sind, ausgebildet. Diese elektrischen Messobjekte 40, 42, 44, 46, 48 bilden jeweils das zu prüfende Vorrichtung DUT (Device Under Test) aus, deren Streuparameter mit dem modifizierten Vektornetzwerkanalysator 10 bestimmt werden sollen. Die elektrischen Messobjekte 40, 42, 44, 46, 48 sind miteinander elektrisch über jeweilige Signalleiter 50 miteinander verbunden. Die elektronische Schaltung mit elektrischen Messobjekten 40, 42, 44, 46, 48 und Signalleitern 50 ist beispielsweise als planare Schaltung auf dem Substrat 38 ausgebildet. Zum Messen der Streuparameter des DUT 44 sind die Messsonden 28 beidseits zum DUT 44 im Nahfeld derjenigen Signalleiter 50 angeordnet, mit denen das DUT 44 mit der restlichen elektronischen Schaltung elektrisch verbunden ist. Der Generator 12 ist über den Widerstand 14, den Schalter 16, jeweilige Wellenleiter 52 und Übergänge 54 zu jeweiligen Signalleitern 50 mit der elektronischen Schaltung verbunden und speist entsprechende Prüfsignale in die elektronische Schaltung ein.
Mit 56 sind Referenzebenen, mit 58 ist eine erste Position auf dem Substrat 38, mit 60 ist eine zweite Position auf dem Substrat 38, mit 62 ist eine dritte Position auf dem Substrat 38, mit 64 ist eine vierte Position auf dem Substrat 38, mit 66 ist eine fünfte Position auf dem Substrat 38 und mit 68 ist eine sechste Position auf dem Substrat 38 bezeichnet. Zur Bestimmung der Streuparameter des DUT 44 sind die Messsonden 28 an der dritten Positionen 62 und der vierten Position 64 angeordnet. Um beispielsweise die Streuparameter des DUT 40 zu messen, müssen die beiden kontaktlosen Messsonden 28 an die erste Position 58 und die zweite Position 60 verschoben werden.
Die Sensoren 34 detektieren eine Position der Messsonden 28 relativ zu den Signalleitern 50. Hierzu sind beispielsweise Positionsmarken auf dem Substrat 38 ausgebildet. Sofern das entsprechende Positionssignal der Sensoren 34 eine Abweichung von der gewünschten Position im Nahfeldbereich der Signalleiter 50 indiziert, steuert das Steuergerät 32 die Positioniervorrichtungen 30 unabhängig voneinander so an, dass alle Messsonden 28 exakt an der gewünschten Position im Nahfeld der Signalleiter 50 des DUT 44 angeordnet sind. Durch diese geregelte Positionierung bzw. Justierung der Messsonden 28 mittels der Sensoren 34 und dem Steuergerät 32 sind diese Positionen wiederholbar exakt auch für mehrere Substrate 38 mit identischem Aufbau anfahrbar. Das Substrat 38 kann alternativ oder zusätzlich Kalibrierstandards mit jeweiligen Signalleitern zur Kalibrierung des kontaktlosen Messsystems in bekannter Weise aufweisen. Die Messsonden werden dann an einer vorbestimmten, wiederholt exakt anfahrbaren Position im Nahfeld der Signalleiter eines jeweiligen Kalibrierstandards positioniert.
Zusätzlich ist das Substrat 38 auf einem Positionstisch 70 angeordnet, welcher von einer zweiten Positioniervorrichtung 72 in Form eines XYZ-Motors, also in drei Richtungen im Raum, positioniert wird. Die zweite Positioniervorrichtung 72 ist mit dem Steuergerät 32 verbunden, wobei das Steuergerät 32 auch die zweite Positioniervorrichtung 72 in Abhängigkeit von den Positionssignalen der Sensoren 34 ansteuert und die Position des Substrates 38 auf dem Positioniertisch 70 im Raum dementsprechend derart anpasst, dass sich eine minimierte Differenz zwischen der gewünschten Sollposition der Messsonden 28 und der von den Sensoren 34 detektierten Istposition, d. h. gewünschte Position relativ zu den Signalleitern 50, der Messsonden 28 ergibt.
Die Sensoren 34 arbeiten beispielsweise mechanisch, elektrisch, optisch (z. B. Laser), elektro-optisch, akustisch, per Infrarot, usw., um die Position oder eine Positionsabweichung einer zugeordneten Messsonde 28 zu detektieren. Dabei übermittelt der Sensor die vollständige Position an das Steuergerät 32 oder melden nur, wann eine bestimmte Position erreicht wird. Statt mittels des Steuergerätes 32 kann der Sensor auch die Positionsinformation(en) dem Anwender mittels eines akustischen Signals, einer Anzeige, etc. mitteilen. Mittels des Steuergerätes 32 erfolgt die Nachreglung der Probepositionen nach einer Positionsänderung vollständig automatisiert oder manuell.
Das beispielhaft dargestellte, kontaktlose Messsystem umfasst mindestens einen Messkanal 18, 20, 22, 24, mindestens einen Generator 12 und mindestens eine Messprobe bzw. Messsonde 28, die in ihrer räumlichen Position bezüglich mindestens einer an dem DUT 44 bzw. Kalibrierstandard angeschlossenen Zuleitung 50 mit Hilfe von mindestens einer räumlichen Positioniervorrichtung 30 ausgerichtet werden, wobei die Positioniervorrichtung 30 die räumliche Position des Messsubstrates 38 bzw. Kalibriersubstrates und/oder die räumliche Position der Messsonde unabhängig voneinander verändern bzw. einstellen. Es ist mindestens eine Messsonde 28 mit mindestens einem Messkanal 18, 20, 22, 24 für die Detektierung der Messwerte über einen Signalpfad verbunden. Der Signalpfad umfasst unter anderem beispielsweise einen Verstärker, einen Bias, einen Wellenleiter. Die Messsonde 28 ist bevorzugt als kontaktlose Messprobe 28 ausgeführt, wobei die kontaktlose Messprobe 28 eine rein induktive oder kapazitive Probe 28 oder eine Kombination aus beiden ist. Alternativ ist die Messsonde 28 als eine kontaktbehaftete Probe 28, wie beispielsweise eine On-Wafer-Probe, ausgebildet, die auf dem Kalibrier- bzw. Messsubstrat 38 die Zuleitungen der Kalibrierstandards bzw. des DUTs befindliche Koppelstrukturen elektrisch kontaktiert. Die kontaktbehafteten Probes 28 kontaktieren direkt die Zuleitungen 50 des DUTs.
Das Generatorsignal wird über den Umschalter 16 auf einen Wellenleiter geführt. Der Wellenleiter ist über den Wellenleiterübergang 54, beispielsweise eine On-Wafer-Probe oder PCB-Probe oder Koaxial-Planar-Übergänge etc. mit dem planaren Kalibrier- bzw. Messsubstrat 38 elektrisch verbunden. Unter Ausnutzung des Umschalters 16 kann die Signalenergie an verschiedenen Stellen dem Kalibersubstrat bzw. Messsubstrat 38 zugeführt werden. Mittels des Kalibriersubstrates, auf dem sich bekannte oder teilweise bekannte Kalibrierstandards befinden, und herkömmlichen Kalibrierverfahren, wie beispielsweise TRL (Thru-Reflect-Line), lässt sich die Messeinheit kalibrieren bzw. können die Messfehler korrigiert werden. Die komplexwertigen Messwerte werden durch die kontaktlosen Messsonden 28 von den Zuleitungen 50 des Kalibrierstandards bzw. des DUTs 44 ausgekoppelt und zu mindestens einem Messkanal 18, 20, 22, 24 je Messobjekttor über Wellenleiter geführt. Die Messkanäle 18, 20, 22, 24 sind Empfänger die das komplexe Messsignal empfangen und digitalisieren. Anschließend findet die Auswertung der Messwerte im modifizierten Vektornetzwerkanalysator 10 (VNA) oder in einem externen oder internen PC 26 statt. Dies hat den Vorteil, dass eingebettete Messobjekte genau charakterisiert werden können. Die Messkanäle sind beispielsweise vektoriell. Vektoriell heißt, dass sie das komplexe Messsignal detektieren können. Sie können aber auch nicht vektoriell sein, d. h. dass nur der Betrag oder die Phase bzw. der Real- oder der Imaginärteil des Messsignals gemessen wird. Pro Messtor werden beispielsweise zwei vektorielle Messkanäle verwendet (Zweimessstellen-VNA) oder vier reelle Messkanäle (Leistungsdetektoren, Sechstor-Reflektometer).
Die kontaktlose Messsonde 28 umfasst beispielsweise mehrere kontaktlose Einzelmesssonden. Das DUT 40, 42, 44, 46, 48 kann an mehreren Wellenleitern 50 (Zuleitungen) angeschlossen sein, wobei im Nahfeld jeder Zuleitung 50 mindestens eine Messsonde 28 positioniert wird. Die Position jeder einzelnen Messsonde 28 relativ zu einer jeweiligen Zuleitung 50 kann reproduzierbar mittels der Positioniervorrichtung eingestellt werden. Die Positionseinstellung erfolgt über das Steuergerät 32 der Messsonden 28 bzw. des Messsubstrates 38.
Die Nachregelung wird manuell oder automatisiert durchgeführt. Wenn mehrere Sonden 28 verwendet werden, ist es besonders vorteilhaft, alle Sonden 28 unabhängig voneinander hinsichtlich ihrer Position nachzuregeln. Die räumliche Nachregelung wird beispielsweise mit Hilfe der Sensoren 34 automatisiert durchgeführt. Dabei werden elektrische, mechanische, optische oder andere Sensoren 34 verwendet. Für die Positionserkennung sind optional zusätzlich Hilfsstrukturen auf dem Messsubstrat vorhanden. Die von den Sensoren 34 abgegebenen Sensorsignale werden von dem Steuergerät 32 ausgewertet und in Steuersignale für die Positioniervorrichtungen 30 umgewandelt.
Die Sensoren 34 sind beispielsweise Teil der kontaktlosen Probes 28 oder unabhängig von diesen. Beispiele für Sensoren sind Mikroskop, lasergestützter Abstandssensor, Feder-Druckkontakte oder ähnliches.
Die Nachregelung der Position der Messsonden 28 erfolgt alternativ durch mehrfache Messungen und Auswertung von Messungen an mehreren Positionen, wobei dafür ein bestimmter Auswertungsalgorithmus verwendet wird. Das Steuergerät 32 ist für eine automatisierte Nachreglung bevorzugt. Für eine manuelle Nachreglung, d. h. eine Positionsnachregelung durch den Anwender per Hand, ist das Steuergerät 32 nicht notwendig. Da es zur Verringerung der Messfehler sinnvoll ist, alle N Probepositionen relativ zu den Zuleitungen 50 des jeweiligen DUTs 40, 42, 44, 46, 48 für die Charakterisierung eines N-Tor-Messobjektes unabhängig voneinander zu steuern, sind bevorzugt N unabhängige Steuergeräte 32 vorgesehen. Beispielsweise werden N – 1 Steuergeräte mit N – 1 Probes 28 verbunden und ein Steuergerät wird mit dem Positionstisch 70 verbunden.
Bei einer beispielhaften Ausführung befinden sich Positionsmarken auf dem Kalibrier- bzw. Messsubstrat 38, die mit einem Sensor, z. B. Kamera, erkannte und verarbeitet werden. Die Positionen der kontaktlosen Probes 28 werden solange nachgeregelt, bis die gewünschten Positionen relativ zu den Positionsmarken erreicht sind.
Die Übergänge 54 (beispielsweise On-Wafer-Probes) schaffen den Übergang von den Wellenleitern des Generators 12 zu den Wellenleitern 50 des Kalibrier- bzw. Messsubstrates 38. Die Position der Übergänge 54 wird beispielsweise mit einem Steuergerät automatisch oder per Hand eingestellt. Diese Übergänge 54 sind optional als kontaktbehaftete Messsonden ausgebildet und der wenigstens eine Sensor 34 detektiert auch die Position wenigstens eines Überganges 54 und wenigstens eine erste Positioniervorrichtung positioniert auch einen Übergang 54 relativ zum Substrat 38 und/oder das Substrat 38 relativ zu wenigstens einem Übergang 54.

Claims

Messsystem zum Bestimmen von Streuparametern eines elektrischen Messobjektes (40, 42, 44, 46, 48) auf einem Substrat (38) mit einem Messgerät (10) mit wenigstens einem Messkanal (18, 20, 22, 24) und wenigstens einer Messsonde (28), die mit wenigstens einem Messkanal (18, 20, 22, 24) elektrisch verbunden ist und die zum kontaktlosen oder kontaktbehafteten Kontaktieren eines elektrischen Signalleiters (50) des elektrischen Messobjektes (40, 42, 44, 46, 48) in der elektronischen Schaltung ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass für wenigstens eine Messsonde (28) eine erste Positioniervorrichtung (30) vorgesehen ist, wobei wenigstens ein Sensor (34) vorgesehen ist, welcher eine Position wenigstens einer Messsonde (28) detektiert und ein Positionssignal abgibt.
Messsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein erstes Steuergerät (32) vorgesehen ist, welches zum Empfang des Positionssignals des Sensors (34) mit diesem verbunden ist und derart ausgebildet ist, dass das erste Steuergerät (32) wenigstens eine erste Positioniervorrichtung (30) derart ansteuert, dass sich die Messsonde (28), deren Position von dem Sensor (34) detektiert wird, an einer vorbestimmten Position im Raum relativ zum elektrischen Messobjekt (40, 42, 44, 46, 48) befindet.
Messsystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die erste Positioniervorrichtung einen manuellen oder motorischen Antrieb aufweist.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Sensor (34) ein optischer, e lektrooptischer, elektrischer, akustischer, Infrarot-, elektrostatischer und/oder magnetischer Sensor ist.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Messgerät (10) ein modifizierter Vektornetzwerkanalysator ist, wobei die Messkanäle (18, 20, 22, 24) über Anschlussleitungen direkt mit den Messsonden verbunden sind.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messsonde (28) als kapazitiv und/oder induktiv koppelnde Sonde bzw. Schleifensonde ausgebildet ist.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens eine motorisch oder manuell angetriebene zweite Positioniervorrichtung (72) vorgesehen und zur mechanischen Aufnahme des Substrates (38) ausgebildet ist.
Messsystem nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein zweites Steuergerät zum Ansteuern der zweiten Positioniervorrichtung (72) vorgesehen ist.
Messsystem nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Datenpfad zum Übertragen von Positionsdaten von wenigstens einem Sensor (34) an wenigstens ein zweites Steuergerät vorgesehen ist.
Messsystem nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das erste und das zweite Steuergerät in einem einzigen Steuergerät (32) integriert sind.
Messsystem nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der wenigstens eine Sensor (34) eine absolute Position der Messsonde (28) im Raum und/oder eine Position der Messsonde (28) relativ zum elektrischen Messobjekt (40, 42, 44, 46, 48) und/oder eine Position der Messsonde (28) relativ zu einer Positionsmarkierung auf der elektronischen Schaltung bzw. dem Substrat (38) und/oder eine Position der Messsonde (28) relativ zu einer Signalleitung (50) zwischen dem elektrischen Messobjekt (40, 42, 44, 46, 48) und der restlichen elektronischen Schaltung detektiert und ein entsprechendes Positionssignal an wenigstens ein erstes Steuergerät (32) abgibt.
Messsystem nach wenigstens einem der Ansprüche 2 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass ein Datenübertragungspfad (36) zum Übertragen von Daten zwischen dem Messgerät (10) und wenigstens einem Steuergerät (32) vorgesehen ist.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrische Messobjekt ein in einer auf dem Substrat (38) ausgebildeten, elektronischen Schaltung eingebettetes, elektrisches Messobjekt (DUT – Device Under Test) (40, 42, 44, 46, 48) ist, welches ein oder mehrere elektronische Bauteile umfasst, die elektrisch miteinander verschaltet sind.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das elektrische Messobjekt ein Kalibrierstandard ist.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass an wenigstens einer Messsonde (28) wenigstens ein Sensor (34) mechanisch befestigt ist.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor (34) derart angeordnet ist, dass dieser unabhängig vom Substrat (38) im Raum verschiebbar ist.
Messsystem nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem Substrat (38) eine Markierung angeordnet ist, wobei der Sensor (32) zum Erfassen einer relativen Position zu dieser Markierung ausgebildet ist.