JP2010034482A - 検査装置 - Google Patents
検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010034482A JP2010034482A JP2008197818A JP2008197818A JP2010034482A JP 2010034482 A JP2010034482 A JP 2010034482A JP 2008197818 A JP2008197818 A JP 2008197818A JP 2008197818 A JP2008197818 A JP 2008197818A JP 2010034482 A JP2010034482 A JP 2010034482A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- tester
- semiconductor wafer
- mounting table
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の検査装置10は、移動可能な載置台11上で保持された半導体ウエハWと載置台11の上方に配置されたプローブカード12を位置合わせした後、半導体ウエハWとプローブカード12を一括接触させて半導体ウエハWの電気的特性検査を行う検査装置において、プローブカード12を支持する支持柱18Aと、プローブカード12の上側に配置されたテスタ21と、テスタ21に連結され且つテスタ21を昇降させてプローブカード12と電気的に接触させる昇降駆動機構22と、プローブカード12と載置台11の間に移動可能に配置されて半導体ウエハW及びプローブカード12の双方を撮像するアライメント機構13と、を備えている。
【選択図】図1
Description
11 載置台
12 プローブカード
12A プローブ
13 アライメント機構
18A 支持柱(支持体)
21 テスタ
22 昇降駆動機構
23 昇降ガイド機構
24 荷重センサ
25 接続リング
W 半導体ウエハ(被検査体)
Claims (5)
- 移動可能な載置台上で保持された被検査体と上記載置台の上方に配置されたプローブカードを位置合わせした後、上記被検査体と上記プローブカードを一括接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行う検査装置において、上記プローブカードを支持する支持体と、上記プローブカードの上側に配置されたテスタと、上記テスタに連結され且つ上記テスタを昇降させて上記プローブカードと電気的に接触させる昇降駆動機構と、上記プローブカードと上記載置台の間に移動可能に配置されて上記被検査体及び上記プローブカードの双方を撮像するアライメント機構と、を備えたことを特徴とする検査装置。
- 上記被検査体と上記プローブカードの接触荷重を検出する荷重センサを設けたことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 上記テスタを昇降案内する昇降ガイド機構を設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 上記テスタは、上記プローブカードと電気的に接触する接続リングを有すると共に上記接続リングを保守点検するために旋回可能に構成されていることを特徴とする求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 上記アライメント機構は、上下方向及び水平方向に移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008197818A JP5358138B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008197818A JP5358138B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010034482A true JP2010034482A (ja) | 2010-02-12 |
JP5358138B2 JP5358138B2 (ja) | 2013-12-04 |
Family
ID=41738580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008197818A Active JP5358138B2 (ja) | 2008-07-31 | 2008-07-31 | 検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5358138B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012068032A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Tesetsuku:Kk | Tcp試験装置 |
JP2013124996A (ja) * | 2011-12-16 | 2013-06-24 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体試験装置 |
WO2016159156A1 (ja) * | 2015-03-30 | 2016-10-06 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP2016192549A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-10 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP6308639B1 (ja) * | 2017-08-07 | 2018-04-11 | 株式会社テクノホロン | プロービングステーション |
CN110211889A (zh) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 东京毅力科创株式会社 | 检查系统 |
CN114034830A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-02-11 | 青岛浩大生物科技工程有限责任公司 | 一种保健品质量检测装置 |
WO2023127490A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0661317A (ja) * | 1992-08-03 | 1994-03-04 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH0758167A (ja) * | 1993-08-18 | 1995-03-03 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH08148534A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-06-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウエハプローバ |
JP2000124274A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-04-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ |
JP2003050271A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法 |
JP2005005300A (ja) * | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Tokyo Electron Ltd | 真空プローブ装置のための検査ステージと検査方法 |
-
2008
- 2008-07-31 JP JP2008197818A patent/JP5358138B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0661317A (ja) * | 1992-08-03 | 1994-03-04 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH0758167A (ja) * | 1993-08-18 | 1995-03-03 | Tokyo Electron Ltd | プローブ装置 |
JPH08148534A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-06-07 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウエハプローバ |
JP2000124274A (ja) * | 1998-10-21 | 2000-04-28 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | プローバ |
JP2003050271A (ja) * | 2001-08-06 | 2003-02-21 | Tokyo Electron Ltd | プローブカード特性測定装置、プローブ装置及びプローブ方法 |
JP2005005300A (ja) * | 2003-06-09 | 2005-01-06 | Tokyo Electron Ltd | 真空プローブ装置のための検査ステージと検査方法 |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102411122A (zh) * | 2010-09-21 | 2012-04-11 | 株式会社泰塞克 | Tcp测试装置 |
JP2012068032A (ja) * | 2010-09-21 | 2012-04-05 | Tesetsuku:Kk | Tcp試験装置 |
JP2013124996A (ja) * | 2011-12-16 | 2013-06-24 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体試験装置 |
US10338101B2 (en) | 2015-03-30 | 2019-07-02 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Prober |
WO2016159156A1 (ja) * | 2015-03-30 | 2016-10-06 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP2016192549A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-10 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP6048614B1 (ja) * | 2015-03-30 | 2016-12-21 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP2017017347A (ja) * | 2015-03-30 | 2017-01-19 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP2017028296A (ja) * | 2015-03-30 | 2017-02-02 | 株式会社東京精密 | プローバ |
JP6308639B1 (ja) * | 2017-08-07 | 2018-04-11 | 株式会社テクノホロン | プロービングステーション |
TWI656350B (zh) * | 2017-08-07 | 2019-04-11 | 日商泰克霍隆公司 | 探測站 |
JP2019033150A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-02-28 | 株式会社テクノホロン | プロービングステーション |
CN110211889A (zh) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | 东京毅力科创株式会社 | 检查系统 |
CN114034830A (zh) * | 2021-12-16 | 2022-02-11 | 青岛浩大生物科技工程有限责任公司 | 一种保健品质量检测装置 |
CN114034830B (zh) * | 2021-12-16 | 2022-12-23 | 青岛浩大生物科技工程有限责任公司 | 一种保健品质量检测装置 |
WO2023127490A1 (ja) * | 2021-12-27 | 2023-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査装置及び検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5358138B2 (ja) | 2013-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5358138B2 (ja) | 検査装置 | |
US7859283B2 (en) | Probe apparatus, probing method, and storage medium | |
US8294480B2 (en) | Inspection apparatus having alignment mechanism | |
TW301099B (ja) | ||
US8659311B2 (en) | Test apparatus and test method | |
CN111742399B (zh) | 接触精度保证方法、接触精度保证机构和检查装置 | |
US9176169B2 (en) | Probe apparatus and test apparatus | |
US20200400743A1 (en) | Wafer inspection system, wafer inspection apparatus and prober | |
KR101386331B1 (ko) | 웨이퍼 반송 장치 | |
KR102171309B1 (ko) | 검사 시스템 | |
TW442884B (en) | Probe system | |
US20110107858A1 (en) | Probe apparatus and substrate transfer method | |
JP2006019537A (ja) | プローブ装置 | |
JPH0541423A (ja) | プローブ装置 | |
WO2023127490A1 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2000180807A (ja) | 液晶基板の検査装置 | |
WO2022202405A1 (ja) | 処理装置及び位置決め方法 | |
JPH11238767A (ja) | ウエハと接触子の位置合わせ装置 | |
WO2023189676A1 (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
KR20230117524A (ko) | 전기 검사 장치 및 전기 검사 방법 | |
KR20100031299A (ko) | 듀얼 척 플레이트를 구비하는 웨이퍼 프로버 | |
JP2023152601A (ja) | 検査方法及び検査装置 | |
JP2009164298A (ja) | 載置体の傾斜調整装置及びプローブ装置 | |
KR20100109190A (ko) | 비전 검사기능이 구비된 프로브카드의 검사장치 | |
JPH07199139A (ja) | 液晶基板の検査方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130711 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130827 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5358138 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |