JP2019033150A - プロービングステーション - Google Patents
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- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
Abstract
Description
現行のプロービングステーションでは、ウエハステージのXY平面内の移動量が大きいため、上述の構成例と同様に、テストヘッドを上側に配置し、プローブカードが下向きに配置される。
20 パフォーマンスボード
30 プローブカード
40 光学ユニット
42 撮像手段
44 プリズム
50 半導体ウエハ
60 ウエハステージ
70 平面微小移動機構(アライメントステージ)
80 圧力センサ
90 Z軸移動機構
Claims (3)
- 半導体ウエハの電気的特性を測定するプロービングステーションであって、
半導体ウエハが搭載面上に搭載されるウエハステージと、
前記ウエハステージと略同じ大きさで、前記半導体ウエハに形成された全てのチップの電極にコンタクト可能な電極を有するプローブカードと、
前記搭載面を、当該搭載面を含む平面内で、前記半導体ウエハを前記ウエハステージに搭載する際の平面位置ずれの精度分だけ移動させる平面微小移動機構と
前記ウエハステージの位置決めの際に、前記プローブカードと前記ウエハステージの間に配置され、前記半導体ウエハの電極と前記プローブカードの電極をそれぞれ撮像するための光学系ユニットと
を備えることを特徴とするプロービングステーション。 - さらに、
前記ウエハステージを、前記搭載面に直交する方向に移動させるZ軸移動機構と、
前記Z軸移動機構に取り付けられた、前記半導体ウエハと前記プローブカードのコンタクト圧を測定する圧力センサと
を備えることを特徴とする請求項1に記載のプロービングステーション。 - 前記プローブカードが上向きに配置され、
前記ウエハステージを下向きに移動させて、前記半導体ウエハを前記プローブカードに接触させる
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のプロービングステーション。
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