KR101438098B1 - 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테이프 캐리어 패키지의 또는 칩온필름과 같은 연성 인쇄회로기판 리드와 프로브의 니들이 자동적으로 정렬시킬 수 있는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 관한 것이다.
그에 따른 본 발명의 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치는 연성 인쇄회로기판에 형성되는 리드와 접촉되는 프로브카드의 니들을 접촉시에 상기 프로브카드의 니들과 상기 리드가 접촉되도록 자동으로 정렬시키는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 있어서, 상기 프로브카드가 안착되는 안착공간을 마련하는 프로브카드 안착부; 상기 프로브카드 안착부의 하부와 연결되어 상기 프로브카드 안착부를 지지하며, 적어도 두 개의 리니어가이드 적층되되 이송방향이 서로 간에 다른 방향을 향하도록 형성되는 다방향리니어가이드부; 및, 상기 다방향리니어가이드부 측부에 각각에 결합되며, 구동시에 상기 다방향리니어가이드부를 이동시켜 상기 프로브카드 안착부의 평면상의 위치를 변화시키는 모터구동체; 를 포함한다.

Description

연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치{PROBE CARD ALIGN DEVICE OF FPCB}
본 발명은 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 테이프 캐리어 패키지의 또는 칩온필름과 같은 연성 인쇄회로기판 리드와 프로브의 니들이 자동적으로 정렬시킬 수 있는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 관한 것이다.
연성 인쇄회로기판 가운데 초박형 필름에 회로패턴을 인쇄하는 것으로써, 현재 스마트폰과 같이 고집적도를 요구하는 분야에서는 테이프 캐리어 패키지(TCP ; tape carrier package)가 많이 사용되고 있으며, 현재에는 회로 패턴의 밀적도가 더 높아짐에 따라 더욱 정밀한 피치를 요구되어, 테이프 캐리어 패키지에서 회로패턴의 밀집도가 높은 칩온필름(COF ; chip on film)으로 전환되고 있는 추세에 있다.
이와 같은 테이프 캐리어 패키지(TCP ; tape carrier package)나 칩온필름(COF ; chip on film)과 같은 연성 인쇄회로기판은 필름형 테이프상에 회로 패턴을 인쇄하여 이용하는 것으로써, 최근의 스마트폰과 같이 회로기판의 집적도가 높으면서 실장크기를 최소화시킬 수 있는 용도로 이용된다.
이러한 연성 인쇄회로기판 가운데, 테이프 캐리어 패키지의 제조공정을 살펴보면, 테이프 캐리어 패키지는 회로패턴이 형성된 테이프 캐리어 패키지를 롤형태로 제조한 상태에서, 일정간격으로 형성되는 회로 패턴들의 양단부에 프로브니들(핀들)을 접촉시키고, 프로브 니들에 전기신호를 흘려 회로 패턴들의 통전 유무를 확인하게 된다.
이 경우, 테이프 캐리어 패키지는 각 회로 패턴들마다 프로브 검사를 시행하여야 하기 때문에 테이프 캐리어 패기지를 일정구간 이송시킨 상태에서 각 회로 패턴들의 프로브 검사를 시행하고 있다.
여기서, 도 1을 참조하여 보면, 도 1은 프로브카드에 관한 종래 사진으로써, 도 1에 도시된 니들의 상부에 테이프 캐리어 패키지를 위치시키고, 푸셔로 테이프 캐리어 패키지를 가압하여 니들과 테이프 캐리어 패키지의 리드를 접촉시킴으로써, 니들과 테이프 캐리어 패키지의 리드를 접촉시키게 된다.
이 경우, 테이프 캐리어 패키지의 리드와 니들의 접촉상태는 리드와 니들의 접촉상태를 카메라로 촬영하고, 리드와 니들의 접촉상태에 관한 컨택이미지를 기저장된 기준이미지와 비교하여 리드와 니들이 올바르게 접촉되었는지를 판단하게 된다.
상기한 바와 같은 프로브 검사는 테이프 캐리어 패키지의 단위 회로패턴마다 시행하여 진행되는데, 이 경우, 푸셔는 반복적으로 테이프 캐리어 패키지를 가압하는 구동을 함으로써, 프로브의 니들에 압력을 가하게 된다.
따라서, 프로브카드의 니들은 어느 정도 사용시간이 지난 경우, 프로브의 니들이 마모되거나 프로브의 니들이 휘어지는 문제점을 유발시키고 있다.
이와 같이 프로부의 니들이 휘어지는 경우에는 테이프 캐리어 패키지에 형성되는 회로패턴이나 반도체칩의 정상구동 확인에 관한 프로브 컨택을 시행할 수 없기 때문에 이를 조정하기 위한 니들 조정작업을 시행해야만 한다.
이와 같은 니들 조정작업에 관한 종래 선행기술로써, 대한민국 공개특허 제10-2009-0030429호인 프로브 정렬방법 및 프로브 정렬장치에서는 현미경 카메라로 스테이지에 배치된 자(scale)를 촬상하여 자에 의해 측정된 제1 폭을 갖는 현미경 표시영역을 모니터에 표시하고, 제1 폭 내에 포함되는 화소들의 제1 개수를 획득하며, 미리 설정된 정렬 포인트들 사이에 포함되는 화소들의 제2 개수를 산출하고, 현미경 표시영역에 제2 개수의 간격만큼 상호 이격되게 정렬 포인트들을 표시함으로써, 모니터를 관찰하며 정렬 포인트에 각 프로브를 작업자가 핀셋으로 수작업으로 조작하여 배치시키는 것에 관한 기술을 개시하고 있다.
상기한 바와 같은 프로브 정렬방법은 프로브의 니들이 휘어지는 경우나, 프로브 카드를 새로운 것으로 교체한 이후에 반드시 시행되어야만 하는 작업이다.
이와 같이, 프로브 니들이 정렬된 이후에, 작업자는 프로브의 니들과 테이프 캐리어 패키지의 리드가 용이하게 접촉되도록 정렬시키는 작업을 진행하게 된다.
이를 위하여 종래의 경우, 니들이 일체형으로 결합되는 프로브카드와 결합되는 위치조정판의 위치를 평면상에서 미세하게 이동되도록 하는 나사부들을 설치하고, 작업자가 프로브 니들과 테이프 캐리어 패키지의 리드가 접촉된 상태의 비젼모니터를 보면서, 나사부를 수동으로 회전시켜 위치조정판의 위치를 이동시킴으로써, 니들이 일체형으로 결합된 프로브카드의 위치를 조정시키는 역할을 하게 된다.
하지만, 이와 같이 나사부를 작업자가 수동으로 회전시킴으로써 프로브카드의 니들이 테이프 캐리어 패키지의 리드와 일치하도록 하는 방식은 위치조정판을 밀어내는 나사와 위치조정판간에 유격이 발생하고, 나사부의 나사산이 마모되는 경우에는 그 오차가 더욱 커지기 때문에 오차가 발생하여 작업자가 수작업으로 위치조정판의 위치를 조정하기 어려운 문제점을 유발시키고 있다.
더욱이, 종래 나사부를 작업자가 수동으로 회전시켜 프로브 카드를 회전시키는 방식은 위치조정판을 평면상에 X축 또는 Y축에 관한 직선구동만을 하기 때문에, 프로브카드를 회전시켜 위치를 조정해야만 하는 상황이 발생하는 경우, 회전위치 조정에 대한 위치정렬은 시행할 수 없는 문제점을 내포하고 있다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 대한민국 등록 특허 제10-1223584호인 프로브 카드 정렬 장치는 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치를 검출하는 검출모듈; 상기 검출모듈에서 검출한 필름형 칩의 위치에 따라 프로브 카드를 정렬하기 위한 정렬 신호를 송출하는 제어모듈; 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 X축 방향으로 이동시키는 제1이동모듈; 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 Y축 방향으로 이동시키는 제2이동모듈; 및 상기 제어모듈에서 송출된 정렬 신호에 따라 상기 프로브 카드를 회전시키는 제3이동모듈;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 검사하고자 하는 필름형 칩의 위치에 따라 제1이동모듈, 제2이동모듈, 제3이동모듈이 프로브 카드를 자동으로 정렬함으로써, 측정자가 수동으로 정렬하는 것에 비하여 신속 정확하게 프로브 카드를 정렬할 수 있는 장점을 제공하고 있다.
이와 같은 종래 프로브 카드 정렬 장치는 x축 이송에 관한 제1이동모듈, y축 이송에 관한 제2이동모듈 및, 회전이송에 관한 제3이동모듈이 각각이 적층된 상태로 배치되기 때문에, x축과 y축에 관한 이송뿐만 아니라, 회전각도에 관한 정렬까지도 자동으로 수행할 수 있는 이점을 제공하게 있다.
하지만, 이러한 종래 프로브 카드 정렬 장치는 x축 이송에 관한 제1이동모듈, y축 이송에 관한 제2이동모듈 및, 회전이송에 관한 제3이동모듈 각각을 적층시킨 상태에서 구동되기 때문에, x축 이송에 관한 제1이동모듈이 구동되는 경우에 발생하는 관성력이, 제2이동모듈 및 제3이동모듈 각각에 미치게 된다.
이와 마찬가지로, Y축 이송에 관한 제2이동모듈이 구동되는 경우에 발생하는 관성력이 제1이동모듈 및 제3이동모듈 각각에 영향을 주게 된다.
따라서, 이러한 종래 프로브 카드 정렬 장치는 각각의 이동모듈의 구동시에 서로 간에 관성력을 전달하기 때문에 이로 인한 오차가 발생하게 되므로, 그에 따른 오차 보정 작업을 시행해야 한다.
또한, 종래 프로브 카드 정렬 장치는 제1이동모듈과 제2이동모듈 및 제3이동모듈 가운데 어느 한 모듈에서 부품 마모등의 이유로 오차가 발생하게 되면, 다른 이동모듈의 위치에도 영향을 주게 된다.
예를 들어, 제1이동모듈에 오차가 발생하게 되면, 위치제어를 위한 제어기에서 정상적인 제2이동모듈 및 제3이동모듈을 1스텝 이동시키는 제어신호를 발생하여도, 제1이동모듈에 의해 오차의 발생 때문에 제2이동모듈이 및 제3이동모듈이 1스텝을 벗어난 위치로 이동하게 되어 위치 제어 작업이 매우 어려운 문제점을 유발시키게 된다.
대한민국 공개 특허 제10-2009-0030429호(2009. 03. 25 공개) 대한민국 등록 특허 제10-1223584호(2013. 01 11 등록)
본 발명은 프로브카드의 니들과 연성 인쇄회로기판의 리드를 자동적으로 정렬되도록 프로브카드의 위치를 자동 조정되도록 하면서, 프로브카드의 니들을 연성 인쇄회로기판의 리드와 정렬되도록 위치를 조정하는 가운데, 위치 조정에 관한 이송장치의 구성들이 서로 간에 관성력에 관한 영향을 주지 않도록 하는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치를 제공하는 데 있다.
상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치는 연성 인쇄회로기판에 형성되는 리드와 접촉되는 프로브카드의 니들을 접촉시에 상기 프로브카드의 니들과 상기 리드가 접촉되도록 자동으로 정렬시키는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 있어서, 상기 프로브카드가 안착되는 안착공간을 마련하는 프로브카드 안착부; 상기 프로브카드 안착부의 하부와 연결되어 상기 프로브카드 안착부를 지지하며, 적어도 두 개의 리니어가이드 적층되되 이송방향이 서로 간에 다른 방향을 향하도록 형성되는 다방향리니어가이드부; 및, 상기 다방향리니어가이드부 측부에 각각에 결합되며, 구동시에 상기 다방향리니어가이드부를 이동시켜 상기 프로브카드 안착부의 평면상의 위치를 변화시키는 모터구동체; 를 포함한다.
상기 다방향리니어가이드부는 상기 프로브카드 안착부의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제1상부리니어가이드 및, 상기 제1상부리니어가이드의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제1상부리니어가이드를 포함하는 제1리니어가이드부; 상기 프로브카드 안착부의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제2상부리니어가이드 및, 상기 제2상부리니어가이드의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제2상부리니어가이드를 포함하는 제2리니어가이드부; 상기 프로브카드 안착부의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제3상부리니어가이드 및, 상기 제3상부리니어가이드의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제3상부리니어가이드를 포함하는 제3리니어가이드부; 및, 상기 프로브카드 안착부의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제4상부리니어가이드 및, 상기 제4상부리니어가이드의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제4상부리니어가이드를 포함하는 제4리니어가이드부;를 포함한다.
여기서, 상기 모터구동체는 상기 제1리니어가이드부에 결합되며, X축방향으로 구동하는 X축모터구동체; 상기 제2리니어가이드부에 결합되며, Y축방향으로 구동하는 제1의 Y축모터구동체; 및, 상기 제3리니어가이드부에 결합되며, Y축방향으로 구동하는 제2의 Y축모터구동체; 를 포함하며, 상기 X축모터구동체는 X축방향으로 구동시에 상기 프로브카드 안착부를 X축으로 이동시키고, 상기 제1의 Y축모터구동체 및 상기 제2의 Y축모터구동체는 구동방향이 Y축상에서 동일한 방향으로 구동하는 경우, 상기 프로브카드 안착부를 Y축방향으로 구동시키고, 상기 제1의 Y축모터구동체는 구동방향이 Y축의 정방향으로 구동하고 상기 제2의 Y축모터구동체는 구동방향이 Y축의 역방향으로 구동하는 경우, 상기 프로브카드 안착부를 일방향으로 회전시키고, 상기 제1의 Y축모터구동체는 구동방향이 Y축의 역방향으로 구동하고 상기 제2의 Y축모터구동체는 구동방향이 Y축의 정방향으로 구동하는 경우, 상기 프로브카드 안착부를 타방향으로 회전시킬 수 있다.
또한, 상기 프로브카드 안착부에 연결되어 배치되며, 상기 프로브카드의 니들의 하부에 배치되어 상기 연성 인쇄회로기판을 촬영하는 카메라부; 상기 카메라부와 연동하며, 상기 프로브카드 안착부에 결합되고, 상기 카메라부가 촬영한 이미지로부터 상기 연성 인쇄회로기판이 기준위치에서 얼마만큼 벗어났는지에 관한 오차범위를 연산하고, 상기 오차범위와 대응하는 오차신호를 송출하는 이미지연산부; 및, 상기 모터구동체들과 전기적으로 연결되며, 상기 이미지연산부와 연동하여 상기 이미지연산부로부터 상기 오차신호를 입력받아 상기 오차신호와 대응하는 제어신호를 생성하고, 상기 제어신호를 상기 모터구동체들에 전송하는 제어부; 를 포함한다.
본 발명은 카메라부에 의해 촬영되는 이미지를 기저장된 이미지와 비교하여 연성 인쇄회로기판의 X축, Y축 및, 회전에 관한 변위를 자동으로 정렬되도록 하는 구동에 있어, 하나의 결합체로 구성된 프로브카드 안착부 각각에 다방향리니어가이드부를 결합시키고, 다방향리니어가이드부를 X축방향, Y축방향 및, 회전방향으로 구동시키는 모터구동체를 결합시킴으로써, 하나의 결합체로 구성된 프로브카드 안착부를 X축방향, Y축방향 및, 회전방향으로 이동시킬 수 있기 때문에, 종래 선행기술과 같이 위치 조정에 관한 이송장치의 구성들이 서로 간에 관성력에 관한 영향을 주지않은 상태로 프로브카드 안착부의 위치를 정렬시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 장착되는 테이프 캐리어 패키지 이송장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 평면도.
도 4는 도 1에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에서 프로브카드 안착부의 상부플레이트를 제거한 상태의 사시도.
도 5는 도 4에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 평면도.
도 6은 도 4에 도시된 다방향리니어가이드부를 확대한 상태의 사시도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 X축으로 이동하는 상태를 나타내는 평면도.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 Y축으로 이동하는 상태를 나타내는 평면도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 회전하는 상태를 나타내는 평면도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치를 모식화한 단면도.
도 11은 도 10에 도시된 카메라부에 의해 촬영되는 접촉이미지와 이미지연산부에 기저장되는 기준이미지에 관한 구성도.
도 12는 도 10에 도시된 카메라부에 의해 촬영되는 연성 인쇄회로기판의 얼라인마크를 촬영한 얼라인마크 촬영접촉이미지와 이미지연산부에 기저장되는 얼라인마크 기준이미지에 관한 구성도.
이하, 상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부 도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백히 드러나게 될 것이다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 본 발명의 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치를 첨부된 도 1 내지 도 12를 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 장착되는 테이프 캐리어 패키지 이송장치의 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 평면도이다. 도 4는 도 1에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에서 프로브카드 안착부의 상부플레이트를 제거한 상태의 사시도이다. 도 5는 도 4에 도시된 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 평면도이다. 도 6은 도 4에 도시된 다방향리니어가이드부를 확대한 상태의 사시도이다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치를 이루는 각각의 구성에 대해 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치(100)는 프로브카드 안착부(10), 다방향리니어가이드부(20) 및, 모터구동체(30)를 포함한다.
본 실시예의 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치(100)는 연성 인쇄회로기판을 이송시키는 이송장치(200)에 결합되어 구동된다.
상기 프로브카드 안착부(10)는 프로브카드가 안착되는 안착공간을 마련하고, 안착되는 프로브카드를 프로브검사장치에 결합되도록 상하로 구동되는 것으로써, 중앙에 원형의 홀이 형성되어 프로브카드가 안착되는 상부플레이트(11)와, 상부플레이트(11)의 내측 홀에 배치되어 프로브카드(미도시)를 상하 방향으로 이동시키는 플레이트구동체(12)를 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 프로브카드 안착부(10)는 프로브카드의 니들을 보호하기 위하여 일방향으로 이송되는 니들덮개부(13)가 더 구성될 수 있다. 하지만, 본 발명에서 프로브카드 안착부(10)를 상기한 예로 한정하는 것은 아니며, 본 실시예에서 프로브카드 안착부(10)는 프로브카드를 안착시킬 수 있는 모든 안착수단으로 변형이 가능하다.
상기 다방향리니어가이드부(20)는 프로브카드 안착부(10)의 하부와 연결되어 프로브카드 안착부(10)를 지지하며, 적어도 두 개의 리니어가이드 적층되되 이송방향이 서로 간에 다른 방향을 향하도록 형성된다.
본 실시예의 경우, 다방향리니어가이드부(20)는 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)를 포함한다.
상기 제1리니어가이드부(21)는 도 6에 도시된 바와 같이, 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제1상부리니어가이드(21a) 및, 제1상부리니어가이드(21a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제1하부리니어가이드(21b)를 포함한다. 여기서, 제1상부리니어가이드(21a)는 가이드와 레일로 구성될 수 있고, 제2상부리니어가이드(21b)도 가이드와 레일로 구성될 수 있으며, 제1상부리니어가이드(21a)는 가이드와 제2상부리니어가이드(21b)의 가이드를 결합시키는 결합뭉치(20a)가 더 구성될 수 있고, 결합뭉치(20a)의 상부에는 상부플레이트(11)와 결합되는 결속구(20b)가 더 구성될 수 있다. 이러한 제1리니어가이드부(21)의 구조는 후술하는 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)와 동일하게 구성된다. 한편, 본 실시예에서 설명하는 X축방향과 Y축방향은 도면에 표시된 화살표 방향을 기준에 해당하며, X축방향과 Y축방향이 이루는 면의 공간을 평면으로 지칭하기로 하고, X축방향과 Y축방향이 이루는 면과 수직한 방향을 Z축 방향으로 지칭하기로 한다. 이와 같이, 제1리니어가이드부(21)는 제1상부리니어가이드(21a)가 가이드에 의해 구속된 상태로 X축방향으로 이동하고, 제1하부리니어가이드(21b)가 가이드 의해 구속된 상태로 Y축으로 이동하기 때문에 X축과 Y축이 이루는 모든 평면상에서 구동이 가능하게 된다.
상기 제2리니어가이드부(22)는 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제2상부리니어가이드(22a) 및, 상기 제2상부리니어가이드(22a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제2하부리니어가이드(22b)를 포함한다. 여기서, 제2리니어가이드부(22)는 제1리니어가이드부(21)와 동일한 구조로 형성되기 때문에, 본 설명에서는 이에 관한 상세한 설명을 생략하기로 한다. 이러한 제2리니어가이드부(22)는 제2상부리니어가이드(22a)가 가이드에 의해 구속된 상태로 X축방향으로 이동하고, 제2하부리니어가이드(22b)가 가이드 의해 구속된 상태로 Y축으로 이동하기 때문에 X축과 Y축이 이루는 모든 평면상에서 구동이 가능하게 된다.
상기 제3리니어가이드부(23)는 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제3상부리니어가이드(23a) 및, 제3상부리니어가이드(23a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제3하부리니어가이드(23b)를 포함한다. 여기서, 제3리니어가이드부(23)는 제1리니어가이드부(21)와 동일한 구조로 형성되기 때문에, 본 설명에서는 이에 관한 상세한 설명을 생략하기로 한다. 이러한 제3리니어가이드부(23)는 제3상부리니어가이드(23a)가 가이드에 의해 구속된 상태로 X축방향으로 이동하고, 제3하부리니어가이드(23b)가 가이드 의해 구속된 상태로 Y축으로 이동하기 때문에 X축과 Y축이 이루는 모든 평면상에서 구동이 가능하게 된다.
상기 제4리니어가이드부(24)는 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제4상부리니어가이드(24a) 및, 제4상부리니어가이드(24a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제4하부리니어가이드(24b)를 포함한다. 여기서, 제4리니어가이드부(24)는 제1리니어가이드부(21)와 동일한 구조로 형성되기 때문에, 본 설명에서는 이에 관한 상세한 설명을 생략하기로 한다. 이러한 제4리니어가이드부(24)는 제4상부리니어가이드(24a)가 가이드에 의해 구속된 상태로 X축방향으로 이동하고, 제4하부리니어가이드(24b)가 가이드 의해 구속된 상태로 Y축으로 이동하기 때문에 X축과 Y축이 이루는 모든 평면상에서 구동이 가능하게 된다.
이와 같은 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)는 프로브카드 안착부(10)의 상부플레이트(11)의 하부에 배치된 상태로 상부플레이트(11)에 결합되되, 상부플레이트(11)의 네 귀퉁이 주변에 배치되어 상부플레이트(11)가 X축과 Y축의 평면상에서만 구동되도록 하는 역할을 하게 된다.
상기 모터구동체(30)는 다방향리니어가이드부(20) 측부에 각각에 결합되며, 구동시에 다방향리니어가이드부(20)를 이동시켜 프로브카드 안착부(10)의 평면상의 위치를 변화시키는 구성이다. 여기서, 모터구동체(30)와 다방향리니어가이드부(20)의 하부에는 베이스플레이트(5)가 더 구성되어, 모터구동체(30)와 다방향리니어가이드부(20)가 안착될 영역을 마련할 수 있다.
본 실시예의 경우, 모터구동체(30)는 X축모터구동체(31), 제1의 Y축모터구동체(32) 및, 제2의 Y축모터구동체(33)를 포함한다.
상기 X축모터구동체(31)는 제1리니어가이드부(21)를 X축방향으로 이송시키는 역할을 하기 위하여, 제1리니어가이드부(21)에 결합되며, X축방향으로 구동한다. 이러한 X축모터구동체(31)는 모터(31a)의 축단에 볼스크류(31b)와 볼스크류(31b)를 지지하는 베어링(31d)을 장착하고, 볼스크류(31a)의 나사산과 결합되어 볼스크류의 회전시에 직선구동을 하는 구동체(31c)를 포함하여 구성될 수 있다. 하지만, 본 발명에서 X축모터구동체(31)의 구성을 모터와 볼스크류를 이용한 방식으로 한정하는 것은 아니며, X축모터구동체(31)는 직선구동가능한 리니어모터와 같은 이송체로 구성될 수 있음은 물론이다.
상기 제1의 Y축모터구동체(32)는 제2리니어가이드부(22)를 Y축방향으로 이송시키는 역할을 하기 위하여, 제2리니어가이드부(22)에 결합되며, Y축방향으로 구동하게 된다. 이러한 제1의 Y축모터구동체(32)는 모터(32a)의 축단에 볼스크류(32b)와 볼스크류(32b)를 지지하는 베어링(32d)을 장착하고, 볼스크류(32b)의 나사산과 결합되어 볼스크류(32b)의 회전시에 직선구동을 하는 구동체(32c)를 포함하여 구성될 수 있다. 하지만, 본 발명에서 제1의 Y축모터구동체(32)의 구성을 모터와 볼스크류를 이용한 방식으로 한정하는 것은 아니며, 제1의 Y축모터구동체(32)는 직선구동가능한 리니어모터와 같은 이송체로 구성될 수 있음은 물론이다.
상기 제2의 Y축모터구동체(33)는 제3리니어가이드부(23)를 Y축방향으로 이송시키는 역할을 하기 위하여, 제3리니어가이드부(23)에 결합되며, Y축방향으로 구동하게 된다. 이러한 제2의 Y축모터구동체(33)는 모터(33a)의 축단에 볼스크류(33b)와 볼스크류를 지지하는 베어링(33d)을 장착하고, 볼스크류(33b)의 나사산과 결합되어 볼스크류(33b)의 회전시에 직선구동을 하는 구동체(33c)를 포함하여 구성될 수 있다. 하지만, 본 발명에서 제2의 Y축모터구동체(33)의 구성을 모터와 볼스크류를 이용한 방식으로 한정하는 것은 아니며, 제2의 Y축모터구동체(33)는 직선구동가능한 리니어모터와 같은 이송체로 구성될 수 있음은 물론이다.
이하에서는 상기한 구성으로 이루어지는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치(100)의 구동에 대해 설명하기로 한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치(100)가 X축으로 이동하는 상태를 나타내는 평면도이다. 도 7에서는 이해의 편의를 돕기 위하여 프로브카드 안착부(10)의 상부플레이트(11)를 점선으로 도시하여 설명하기로 하며, 실제 상부플레이트(11)의 움직임은 마이크로단위로 구동되기 때문에 이해의 편의를 위하여 이동상태를 화살표로 도시하기로 한다.
<본 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 X축 구동>
먼저, X축모터구동체(31)는 모터가 일방향(일 예;시계반향)으로 회전하여 볼스크류를 회전시키고, 볼스크류에 결합된 구동체(31c)는 X축 양의 방향(도면에 도시된 화살표 방향)으로 이동하게 된다. 참고로, 모터가 반시계방향으로 구동하게 되면, 구동체는 도면의 표시된 화살표 방향의 반대 방향으로 이동된다.
이와 같이, X축모터구동체(31)가 구동되면, 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)들은 각각이 X축으로의 자유도가 해제되어 있어, 각각 X축으로 이동되고, 이 경우, 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)과 결합된 프로브카드 안착부(10)는 X축으로 이동하게 된다.
<본 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 Y축 구동>
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 Y축으로 이동하는 상태를 나타내는 평면도이다. 도 8에서는 이해의 편의를 돕기 위하여 프로브카드 안착부(10)의 상부플레이트(11)를 점선으로 도시하여 설명하기로 하며, 실제 상부플레이트(11)의 움직임은 마이크로단위로 구동되기 때문에 이해의 편의를 위하여 이동상태를 화살표로 도시하기로 한다.
먼저, 제1의 Y축모터구동체(32)와 제2의 Y축모터구동체(33)는 각각의 모터가 회전하여 각각의 볼스크류를 회전시키고, 각각의 볼스크류에 결합된 각각의 구동체(32c, 33c)는 Y축 양의 방향(도면에 도시된 화살표 방향)으로 이동하게 된다.
이와 같이, 제1의 Y축모터구동체(32)의 구동체와 제2의 Y축모터구동체(33)의 구동체(32c, 33c)가 Y축으로 구동되면, 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)들은 각각이 Y축으로의 자유도가 해제되어 있어, 각각 Y축으로 이동되고, 이 경우, 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)과 결합된 프로브카드 안착부(10)는 Y축으로 이동하게 된다.
<본 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치의 회전 구동>
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 회전하는 상태를 나타내는 평면도이다. 도 9에서는 이해의 편의를 돕기 위하여 프로브카드 안착부(10)의 상부플레이트(11)를 점선으로 도시하여 설명하기로 하며, 실제 상부플레이트(11)의 움직임은 마이크로단위로 구동되기 때문에 이해의 편의를 위하여 이동상태를 화살표로 도시하기로 한다.
먼저, 제1의 Y축모터구동체(32)와 제2의 Y축모터구동체(33)는 프로브카드 안착부(10)를 회전시키기 위하여 각각의 모터가 회전하여 각각의 볼스크류를 회전시키되, 제1의 Y축모터구동체(32)의 구동체(32c)와 제2의 Y축모터구동체(33)의 구동체(33c)가 서로 간에 다른 방향으로 구동되도록, 제1의 Y축모터구동체(32)의 구동체는 Y축 양의 방향(도면에 도시된 화살표 방향)으로 이동되고, 제2의 Y축모터구동체(33)의 구동체(33c)는 Y축 음의 방향(도면에 도시된 Y축 화살표의 역방향)으로 이동시키게 된다.
이와 같이, 제1의 Y축모터구동체(32)의 구동체와 제2의 Y축모터구동체(33)의 구동체가 각기 다른 방향으로 구동되면, 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)들은 각각이 X축 및 Y축으로의 자유도가 해제되어 있어, X축 및 Y축으로 각기 이동하기 때문에, 제1리니어가이드부(21), 제2리니어가이드부(22), 제3리니어가이드부(23) 및, 제4리니어가이드부(24)과 결합된 프로브카드 안착부(10)는 X축과 Y축으로 동시에 이동하게 된다.
이때, 제1의 Y축모터구동체(32)의 구동체와 제2의 Y축모터구동체(33)의 구동체의 이송거리를 달리하게 되면, 프로브카드 안착부(10)는 제1의 Y축모터구동체(32)의 구동체와 제2의 Y축모터구동체(33)의 구동체의 서로 다른 이송거리에 의해 회전하는 구동을 하게 된다.
이와 마찬가지로, 제1의 Y축모터구동체(32)의 구동체는 Y축 음의 방향(도면에 도시된 화살표의 역방향)으로 이동되고, 제2의 Y축모터구동체(33)의 구동체는 Y축 양의 방향(도면에 도시된 화살표 방향)으로 이동시키게 되면, 프로브카드 안착부(10)는 다른 방향으로 회전하는 구동을 하게 된다.
상기한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치는 하나의 결합체로 구성된 프로브카드 안착부(10) 각각에 다방향리니어가이드부(20)를 결합시키고, 다방향리니어가이드부(20)를 X축방향, Y축방향 및, 회전방향으로 구동시키는 모터구동체(30)를 결합시킴으로써, 하나의 결합체로 구성된 프로브카드 안착부(10)를 X축방향, Y축방향 및, 회전방향으로 이동시킬 수 있기 때문에, 종래 선행기술과 같이 위치 조정에 관한 이송장치의 구성들이 서로 간에 관성력에 관한 영향을 주지 않은 상태로 프로브카드 안착부(10)의 위치를 정렬시킬 수 있게 된다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치가 테이프 캐리어 패키지 또는 칩온필름과 같은 연성 회로기판의 리드와 프로브 니들을 정렬시키는 예에 대해 설명을 하기로 한다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 프로브카드가 장착된 상태를 모식화한 단면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 카메라부(40)에 의해 촬영되는 접촉이미지(C1)와 이미지연산부(50)에 기저장되는 기준이미지(R1)에 관한 구성도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치는 테이프 캐리어 패키지 또는 칩온필름과 같은 연성 인쇄회로기판(1)의 리드(1a)를 자동으로 정렬시키기 위하여 카메라부(40)와 이미지연산부(50) 및 제어부(60)를 포함한다.
상기 카메라부(40)는 화상카메라와 같은 촬영장치로 구성될 수 있으며, 프로브카드 안착부(10)에 연결되어 배치되며, 프로브카드(2)의 니들(2a)의 하부에 배치되고, 프로브카드(2)의 니들(2a)과 테이프 캐리어 패키지나 칩온필름과 같은 연성 회로기판(1)의 리드(1a) 접촉상태를 촬영하여 접촉이미지(C1)를 검출하게 된다.
상기 이미지연산부(50)는 카메라부(40)와 연동하며, 프로브카드 안착부(10)에 결합된다. 여기서, 이미지연산부(50)는 카메라부(40)로부터 접촉이미지(C1)를 입력받아 접촉이미지(C1)를 저장하기 메모리장치(예 ; ram, ssd, sd)를 구비하고 있으며, 나아가, 이미지연산부(50)는 접촉이미지(C1)와 비교되는 기준이미지(R1)를 포함하고 있다. 이러한 이미지연산부(50)는 연산장치(cpu)를 포함하여 구성됨으로써, 접촉이미지(C1)와 기준이미지(R1)를 비교하여 접촉이미지(C1)와 기준이미지(R1)의 오차범위를 연산하고 오차범위와 대응하는 오차신호를 송출하게 된다. 여기서, 오차신호는 첩촉이미지가 기준이미지(R1)로 벗어났을 경우, X축 오차거리, Y축 오차거리, 각도 오차에 관한 거리신호이다. 여기서, 이미지연산부(50)는 프로브카드 안착부(10)에 결합(도면에는 설명의 편의상 프로브카드 안착부에서 떨어진 상태의 블록도로 도시)된 상태로 구동되기 때문에, 프로브카드 안착부(10)를 정렬구동을 즉각적으로 시행할 수 있다. 종래의 경우에는, 작업자가 수작업으로 프로브카드 안착부(10)를 조정하기 위하여 비젼모니터를 보기 때문에, 이를 위한 비젼시스템이 갖추어져 구동되나, 본 실시예의 이미지연산부(50)는 모니터가 구비된 비젼시스템이 없이도 프로브카드 안착부(10)를 정렬시킬 수 있게 된다.
상기 제어부(60)는 모터구동체(30)의 구동을 제어하는 제어모듈로써, 모터구동체(30)들과 전기적으로 연결되며, 이미지연산부(50)와 연동하여 이미지연산부(50)로부터 오차신호를 입력받아 오차신호와 대응하는 제어신호를 생성하고, 제어신호를 모터구동체(30)들에 전송하게 된다. 여기서, 제어신호는 오차신호에 포함된 X축 오차거리, Y축 오차거리, 각도 오차를 기준으로 X축모터구동체(31), 제1의 Y축모터구동체(32) 및, 제2의 Y축모터구동체(33)들 각각이 이송될 거리에 관한 신호이다.
이와 같은 카메라부(40)와 이미지연산부(50) 및 제어부(60)를 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치는 카메라가부가 촬영한 접촉이미지(C1)가 기준이미지(R1)에서 벗어난 경우에 오차범위를 이미지연산부(50)가 연산하여 오차신호로 변환한후, 오차신호를 제어부(60)로 전송하고, 제어부(60)는 오차신호와 대응하는 제어신호를 X축모터구동체(31), 제1의 Y축모터구동체(32) 및, 제2의 Y축모터구동체(33) 각각에 전송하여 프로브카드 안착부(10)를 자동으로 정렬시킴으로써, 니들(2a)과 리드(1a)가 정렬되도록 할 수 있다.
여기서, 카메라부(40)는 자동으로 위치가 정렬되는 프로브카드 안착부(10)와 일체형으로 결합되어 움직이게 되므로, 연성 인쇄회로기판(1)의 위치 변화가 발생한 경우에도, 카메라부(40)의 포커스나 카메라부(40)를 이동시키는 구동을 하지 않고도 니들(2a)의 정확한 위치를 검출할 수 있게 된다.
도 12는 도 10에 도시된 카메라부(40)에 의해 촬영되는 연성 인쇄회로기판의 얼라인마크(3)를 촬영한 얼라인마크(3) 촬영접촉이미지(C1)와 이미지연산부(50)에 기저장되는 얼라인마크 기준이미지(R2)에 관한 구성도이다.
아울러, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치는 상기한 바와 같이, 연성 인쇄회로기판(1)의 리드(1a)와 프로브카드(2)의 니들(2a)의 접촉상태에 관한 접촉이미지(C1)를 촬영하여 연성 인쇄회로기판(1)의 리드(1a)와 프로브카드(2)의 니들(2a)을 정렬시키는 방식이외에 테이프 캐리어 패키지 또는 칩온필름에 얼라인마크(3)를 형성하는 방식을 이용하여 프로브카드 안착부(10)를 자동적으로 정렬시킬 수 있다.
이를 위하여 테이프 캐리어 패키지 또는 칩온필름와 같은 연성 인쇄회로기판(1)에 얼라인마크(3)를 형성한 상태에서, 이미지연산부(50)에 얼라인마크 기준이미지(R2)를 기저장시키고, 카메라부(40)를 이용하여 얼라인마크(3)를 촬영하여 촬영된 얼라인마크 촬영이미지(C2)를 이미지연산부(50)로 전송하고, 이미지연산부(50)에서 얼라인마크 기준이미지(R2)와 얼라인마크 촬영이미지(C2)를 비교하여 얼라인마크 기준이미지(R2)에서 얼라인마크 촬영이미지(C2)가 얼마만큼 벗어났는지에 관해 연산하여 오차신호를 생성하게 된다. 예를 들어, 전술한 방식과 동일하게, 얼라인마크 기준이미지(R2)에서 얼라인마크 촬영이미지(C2)가 X축으로 얼마만큼 벗어났는지에 따른 이송거리와, Y축으로 얼마만큼 벗어났는지에 관한 이송거리 및, 얼마만큼의 각도변위가 일어났는지에 관한 회전각도에 관한 오차신호를 생성하게 된다. 이 경우, 연성 인쇄회로기판(1)에는 복수 개의 얼라인마크(3)가 형성(예 ; 연성 회로기판의 양 측에 각각 형성)되고, 카메라부(40)는 복수 개의 얼라인마크(3)와 대응하는 개수로 형성되어 각각의 얼라인마크(3)를 촬영하며, 이미지연산부(50)는 각각의 얼라인마크(3)에 대한 오차범위를 연산하여 산술평균등의 연산으로 보다 정확한 오차신호를 생성할 수 있다.
다음, 제어부(60)는 전술한 방식과 동일하게 이미지연산부(50)로부터 오차신호를 입력받고, 오차신호에 대응하는 제어신호를 생성하여 X축모터구동체(31), 제1의 Y축모터구동체(32) 및, 제2의 Y축모터구동체(33) 각각에 전송함으로써, 프로브카드 안착부(10)를 자동으로 정렬시켜 니들(2a)과 리드(1a)가 정렬되도록 할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 연성 인쇄회로기판(1)의 프로브카드 얼라인장치는 종래 선행기술과 같이 위치 조정에 관한 이송장치의 구성들이 서로 간에 관성력에 관한 영향을 주지않은 상태로 프로브카드 안착부(10)의 위치를 정렬시키는 과정에서 촬영된 이미지를 바탕으로 프로브카드 안착부(10)가 자동적으로 정렬되도록 함으로써, 프로브카드(1) 교체 지연으로 인한 시간적 손실 및 비용손실을 획기적으로 줄일 수 있게 된다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10 ; 프로브카드 안착부 20 ; 다방향리니어가이드부
30 ; 모터구동체 21a ; 제1상부리니어가이드
21b ; 제1하부리니어가이드 21 ; 제1리니어가이드부
22a ; 제2상부리니어가이드 22b ; 제2하부리니어가이드
22 ; 제2리니어가이드부 23a ; 제3상부리니어가이드
23b ; 제3하부리니어가이드 23 ; 제3리니어가이드부
24a ; 제4상부리니어가이드 24b ; 제4하부리니어가이드
24 ; 제4리니어가이드부 31 ; X축모터구동체
32 ; 제1의 Y축모터구동체 33 ; 제2의 Y축모터구동체
40 ; 카메라부 50 ; 이미지연산부
60 ; 제어부 1 ; 연성 인쇄회로기판
1a ; 리드 2 ; 프로브카드
2a ; 니들
3 ; 얼라인마크

Claims (4)

  1. 연성 인쇄회로기판에 형성되는 리드와 접촉되는 프로브카드의 니들을 접촉시에 상기 프로브카드의 니들과 상기 리드가 접촉되도록 자동으로 정렬시키는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치에 있어서,
    상기 프로브카드가 안착되는 안착공간을 마련하는 프로브카드 안착부(10);
    상기 프로브카드 안착부의 하부와 연결되어 상기 프로브카드 안착부를 지지하며, 적어도 두 개의 리니어가이드 적층되되 이송방향이 서로 간에 다른 방향을 향하도록 형성되는 다방향리니어가이드부(20); 및,
    상기 다방향리니어가이드부(20) 측부에 각각에 결합되며, 구동시에 상기 다방향리니어가이드부(20)를 이동시켜 상기 프로브카드 안착부(10)의 평면상의 위치를 변화시키는 모터구동체(30); 를 포함하며,
    상기 다방향리니어가이드부(20)는,
    상기 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제1상부리니어가이드(21a) 및, 상기 제1상부리니어가이드(21a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제1하부리니어가이드(21b)를 포함하는 제1리니어가이드부(21);
    상기 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제2상부리니어가이드(22a) 및, 상기 제2상부리니어가이드(22a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제2하부리니어가이드(22b)를 포함하는 제2리니어가이드부(22);
    상기 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제3상부리니어가이드(23a) 및, 상기 제3상부리니어가이드(23a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제3하부리니어가이드(23b)를 포함하는 제3리니어가이드부(23); 및,
    상기 프로브카드 안착부(10)의 하부에 결합되며 X축방향으로 이동되는 제4상부리니어가이드(24a) 및, 상기 제4상부리니어가이드(24a)의 하부에 결합되며 Y축방향으로 이동되는 제4하부리니어가이드(24b)를 포함하는 제4리니어가이드부(24);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 모터구동체(30)는
    상기 제1리니어가이드부(21)에 결합되며, X축방향으로 구동하는 X축모터구동체(31);
    상기 제2리니어가이드부(22)에 결합되며, Y축방향으로 구동하는 제1의 Y축모터구동체(32); 및,
    상기 제3리니어가이드부(23)에 결합되며, Y축방향으로 구동하는 제2의 Y축모터구동체(33); 를 포함하며,
    상기 X축모터구동체(31)는 X축방향으로 구동시에 상기 프로브카드 안착부(10)를 X축으로 이동시키고,
    상기 제1의 Y축모터구동체(32) 및 상기 제2의 Y축모터구동체(33)는 구동방향이 Y축상에서 동일한 방향으로 구동하는 경우, 상기 프로브카드 안착부(10)를 Y축방향으로 구동시키고,
    상기 제1의 Y축모터구동체(32)는 구동방향이 Y축의 정방향으로 구동하고 상기 제2의 Y축모터구동체(33)는 구동방향이 Y축의 역방향으로 구동하는 경우, 상기 프로브카드 안착부(10)를 일방향으로 회전시키고,
    상기 제1의 Y축모터구동체(32)는 구동방향이 Y축의 역방향으로 구동하고 상기 제2의 Y축모터구동체(33)는 구동방향이 Y축의 정방향으로 구동하는 경우, 상기 프로브카드 안착부(10)를 타방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 프로브카드 안착부(10)에 연결되어 배치되며, 상기 프로브카드의 니들의 하부에 배치되어 상기 연성 인쇄회로기판을 촬영하는 카메라부(40);
    상기 카메라부(40)와 연동하며, 상기 프로브카드 안착부(10)에 결합되고, 상기 카메라부(40)가 촬영한 이미지로부터 상기 연성 인쇄회로기판이 기준위치에서 얼마만큼 벗어났는지에 관한 오차범위를 연산하고, 상기 오차범위와 대응하는 오차신호를 송출하는 이미지연산부(50); 및,
    상기 모터구동체(30)들과 전기적으로 연결되며, 상기 이미지연산부(50)와 연동하여 상기 이미지연산부(50)로부터 상기 오차신호를 입력받아 상기 오차신호와 대응하는 제어신호를 생성하고, 상기 제어신호를 상기 모터구동체(30)들에 전송하는 제어부(60); 를 포함하는 프로브카드 얼라인장치.
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