JP5868122B2 - 基板処理装置、テーブル機構、位置決め方法及びプログラム - Google Patents
基板処理装置、テーブル機構、位置決め方法及びプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5868122B2 JP5868122B2 JP2011239658A JP2011239658A JP5868122B2 JP 5868122 B2 JP5868122 B2 JP 5868122B2 JP 2011239658 A JP2011239658 A JP 2011239658A JP 2011239658 A JP2011239658 A JP 2011239658A JP 5868122 B2 JP5868122 B2 JP 5868122B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- eccentric cam
- substrate
- cam
- imaging unit
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/14—Details
- B41F15/16—Printing tables
- B41F15/18—Supports for workpieces
- B41F15/20—Supports for workpieces with suction-operated elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/08—Machines
- B41F15/0881—Machines for printing on polyhedral articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/14—Details
- B41F15/16—Printing tables
- B41F15/18—Supports for workpieces
- B41F15/26—Supports for workpieces for articles with flat surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F15/00—Screen printers
- B41F15/14—Details
- B41F15/34—Screens, Frames; Holders therefor
- B41F15/36—Screens, Frames; Holders therefor flat
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F33/00—Indicating, counting, warning, control or safety devices
- B41F33/0081—Devices for scanning register marks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F33/00—Indicating, counting, warning, control or safety devices
- B41F33/04—Tripping devices or stop-motions
- B41F33/14—Automatic control of tripping devices by feelers, photoelectric devices, pneumatic devices, or other detectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41P—INDEXING SCHEME RELATING TO PRINTING, LINING MACHINES, TYPEWRITERS, AND TO STAMPS
- B41P2215/00—Screen printing machines
- B41P2215/10—Screen printing machines characterised by their constructional features
- B41P2215/11—Registering devices
- B41P2215/114—Registering devices with means for displacing the article
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49764—Method of mechanical manufacture with testing or indicating
- Y10T29/49769—Using optical instrument [excludes mere human eyeballing]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Screen Printers (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。
前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。
前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。
前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。
前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
この場合、前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定してもよい。
この場合、前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定してもよい。
この場合、前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備していてもよい。
この場合、前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられてもよい。
前記テーブルは、基板を位置決めするためのテーブルである。
前記偏心カム機構は、回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する。
前記基準マークは、前記テーブルの移動に応じて移動する。
前記撮像部は、前記基準マークを撮像するための撮像部である。
前記制御部は、前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする。
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量が測定される。
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板が位置決めされる。
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップを実行させる。
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップを実行させる。
図1は、本実施形態に係るスクリーン印刷装置100を示す正面図である。図2は、スクリーン印刷装置100を示す側面図である。なお、本明細書中で説明する、各図では、図面を分かりやすく表示するため、スクリーン印刷装置100や、スクリーン印刷装置100が有する各部材等の大きさを実際の寸法とは異なって表示する場合がある。
図3は、位置決め機構20を示す斜視図である。図4は、図3に示すA方向から位置決め機構20を見た場合の側面図であり、図5は、図3に示すB方向から位置決め機構20を見た場合の側面図である。
図6及び図7を参照して、まず、テーブル機構30の構成について説明する。
テーブル機構30は、ベース31と、ベース31上に設けられたフレーム状のX軸テーブル32Xと、X軸テーブル32X上に設けられたフレーム状のY軸テーブル32Yと、Y軸テーブル32Y上に設けられたθ軸テーブル32θとを有する。また、テーブル機構30は、X軸テーブル32Xを移動させるX軸偏心カム機構21Xと、Y軸テーブル32Yを移動させるY軸偏心カム機構21Yと、θ軸テーブル32θを回転(移動)させるθ軸偏心カム機構21θとを有する。各軸の偏心カム機構21は、同様の構成を有している。
次に、図3〜図5を参照して、基板保持機構50の構成について説明する。これらの図に示すように、基板保持機構50は、θ軸テーブル32θ上に配置されたベース51と、ベース51上に配置された2つのベルト保持部材60と、ベース51上に配置されたステージ支持部材65とを有する。2つのベルト保持部材60は、Y軸方向に沿って配置され、基板9を搬送するコンベアベルト61を保持する。ステージ支持部材65は、基板9を吸着保持する基板吸着ステージ(図示せず)を下方から支持する。
次に、本実施形態に係るスクリーン印刷装置100の処理について説明する。
まず、偏心カム26の個体差によるバラつきなどに起因する、制御部によるテーブル32の移動の指令値と、実際のテーブル32の移動値との差を画像処理によって確認する校正シーケンスの際の処理について説明する。この校正シーケンスは、例えば、スクリーン印刷装置100の出荷時や、スクリーン印刷装置100のメンテナンス時に実行される。
次に、制御部は、制御部は、指令値に対する、θ軸テーブル32θの回転量と、X軸方向及びY軸方向でのずれ量とに基づいて、再度、θ軸テーブル32θの移動に用いられる移動式を補正する。これにより、θ軸テーブル32θの移動に用いられる移動式を正確に補正することができる。
次に、基準位置登録シーケンス及び基板位置決めシーケンスについて説明する。基板位置決めシーケンスは、通常生産で実行される処理であり、スクリーン1の位置に対して基板9の位置を合わせる処理である。
まず、スクリーン1の位置に対して、基板9の基準位置が登録されるときの処理(基準位置登録シーケンス)について説明する。図14は、基準位置登録シーケンスを示す図である。
次に、スクリーン1の位置に対して基板9の位置を合わせる基板位置決めシーケンスについて説明する。図15は、基板位置決めシーケンスを示す図である。
上記した例では、テーブル機構30が用いられる基板処理装置の一例として、スクリーン印刷装置100を例に挙げて説明した。しかしながら、基板処理装置は、これに限られない。典型的には、基板9位置決めのためのテーブル機構30が用いられる基板処理装置であれば、本技術は、どのような基板処理装置であっても適用可能である。
(1) 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備する基板処理装置。
(2)上記(1)に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
(3)上記(2)に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
(4)上記(2)に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。
(5)上記(3)に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定する
基板処理装置。
(6)上記(1)乃至(5)のうち、何れか1つに記載の基板処理装置であって、
前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有する
基板処理装置。
(7)上記(1)乃至(6)のうち、何れか1つに記載の基板処理装置であって、
請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記基板は、アライメントマークを有し、
前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備し、
前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられる
基板処理装置。
(8)上記(1)乃至(7)のうち、何れか1つに記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムは、略円柱形状である
基板処理装置。
(9) 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備するテーブル機構。
(10) 基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする
位置決め方法。
(11)基板処理装置に、
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させるステップと、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップと、
前記基板の位置決め時に、前記測定された移動量に応じて偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップと
を実行させるプログラム。
8…基準マーク
9…基板
10…スキージ部
20…位置決め機構
21…偏心カム機構
22…偏心カム機構本体
23…カム受けブロック
26…偏心カム
27…カム駆動用モータ
30…テーブル機構
31…ベース
32X…X軸テーブル
32Y…Y軸テーブル
32θ…θ軸テーブル
35…センサ部
50…基板保持機構
80…クリーニング部
85…撮像部
86…第1の撮像部
87…第2の撮像部
90…支持ベース
100…スクリーン印刷装置
Claims (10)
- 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量に基づいて前記偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備する基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムの仮のカムストローク中心を検出するセンサをさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが仮のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの実際のカムストローク中心を測定する
基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記撮像部を移動させる移動機構をさらに具備し、
前記制御部は、前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態で、前記移動機構により前記撮像部の撮像視野の中心に基準マークが位置するように前記撮像部を移動させ、前記撮像部が移動された後、前記偏心カムを回転させ、前記偏心カムの回転に応じて移動する基準マークを前記撮像部により撮像して、前記偏心カムの回転に対する前記テーブルの移動量を測定する
基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カム機構は、磁性体でなる前記偏心カムと、マグネットを含むカム受けブロックとを有する
基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記基板は、アライメントマークを有し、
前記基板処理装置は、前記基板上のアライメントマークを撮像するための撮像部を具備し、
前記アライメントマークを撮像するための撮像部が、前記基準マークを撮像するための撮像部として用いられる
基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記偏心カムは、略円柱形状である
基板処理装置。 - 基板を位置決めするためのテーブルと、
回転により前記テーブルを移動させる偏心カムを有する偏心カム機構と、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークと、
前記基準マークを撮像するための撮像部と、
前記偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から前記偏心カムを回転させて前記テーブルを移動させ、前記テーブルの移動に応じて移動する前記基準マークを前記撮像部により撮像することで、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、前記基板の位置決め時に、前記測定された前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量に基づいて前記偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする制御部と
を具備するテーブル機構。 - 基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを当該偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から回転させて前記テーブルを移動させ、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定し、
前記基板の位置決め時に、前記測定された前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量に基づいて前記偏心カムを回転させて前記基板を位置決めする
位置決め方法。 - 基板処理装置に、
基板を位置決めするためのテーブルを回転により移動させる偏心カムを当該偏心カムが実際のカムストローク中心に位置する状態から回転させて前記テーブルを移動させるステップと、
前記テーブルの移動に応じて移動する基準マークを撮像部により撮像させて、前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量を測定するステップと、
前記基板の位置決め時に、前記測定された前記偏心カムの回転に対するテーブルの移動量に基づいて前記偏心カムを回転させて前記基板を位置決めするステップと
を実行させるプログラム。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011239658A JP5868122B2 (ja) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 基板処理装置、テーブル機構、位置決め方法及びプログラム |
CN201210411775.9A CN103085450B (zh) | 2011-10-31 | 2012-10-24 | 基板处理设备、工作台机构、定位方法以及程序 |
US13/658,842 US20130106041A1 (en) | 2011-10-31 | 2012-10-24 | Substrate processing apparatus, table mechanism, positioning method, and program |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011239658A JP5868122B2 (ja) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 基板処理装置、テーブル機構、位置決め方法及びプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013095051A JP2013095051A (ja) | 2013-05-20 |
JP5868122B2 true JP5868122B2 (ja) | 2016-02-24 |
Family
ID=48171578
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011239658A Active JP5868122B2 (ja) | 2011-10-31 | 2011-10-31 | 基板処理装置、テーブル機構、位置決め方法及びプログラム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130106041A1 (ja) |
JP (1) | JP5868122B2 (ja) |
CN (1) | CN103085450B (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2119679A1 (de) * | 2008-05-16 | 2009-11-18 | 3S Swiss Solar Systems AG | Verfahren zum Bearbeiten eines Laminats |
JP6156869B2 (ja) * | 2013-06-27 | 2017-07-05 | Jukiオートメーションシステムズ株式会社 | 位置検出装置、基板製造装置、位置検出方法、及び基板の製造方法 |
CN109982852B (zh) * | 2016-12-05 | 2021-05-11 | 株式会社富士 | 印刷装置及印刷系统 |
WO2018122938A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 株式会社Fuji | スクリーン印刷機 |
JP7054131B2 (ja) * | 2017-08-10 | 2022-04-13 | マイクロ・テック株式会社 | スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法 |
EP3680077A4 (en) * | 2017-09-06 | 2021-04-07 | Horizon International Inc. | CUTTING MACHINE |
DE102020100648A1 (de) * | 2020-01-14 | 2021-07-15 | Lambotec GmbH | Computerimplementiertes Verfahren zur Steuerung einer Siebdruckmaschine, computergesteuerte Siebdruckmaschine |
KR102435797B1 (ko) * | 2020-07-30 | 2022-08-25 | 한국원자력연구원 | 위치 조정 장치 |
DE102021128724B3 (de) * | 2021-11-04 | 2023-02-09 | Ersa Gmbh | Einpressmaschine zum Einpressen von Bauteilen in ein Substrat, insbesondere in eine Leiter- oder Trägerplatte, mit Substratpositionierung und Verfahren zum Betreiben einer Einpressmaschine |
CN114407512B (zh) * | 2022-01-22 | 2023-04-14 | 刘宇祥 | 一种平网面丝网印刷机 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4307961A (en) * | 1979-04-02 | 1981-12-29 | Western Electric Company, Inc. | Apparatus for precisely aligning a pair of elements |
JP2001301120A (ja) * | 2000-04-24 | 2001-10-30 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置 |
JP3870066B2 (ja) * | 2000-12-27 | 2007-01-17 | サンエー技研株式会社 | 基板位置決め装置および露光装置 |
JP4436721B2 (ja) * | 2004-07-05 | 2010-03-24 | パナソニック株式会社 | スクリーン印刷方法、生産ライン及びプログラム |
CN201105530Y (zh) * | 2007-11-07 | 2008-08-27 | 熊猫电子集团有限公司 | Pcb板焊膏印刷用钢网离网机构 |
JP5094508B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2012-12-12 | 富士機械製造株式会社 | スクリーン印刷機およびその印刷オフセット設定方法 |
CN201703009U (zh) * | 2010-04-30 | 2011-01-12 | 东远精技工业股份有限公司 | 印刷工作流水线 |
CN201960810U (zh) * | 2011-01-20 | 2011-09-07 | 福建省晋江市佶龙机械工业有限公司 | 一种平网印花机的网框升降装置 |
-
2011
- 2011-10-31 JP JP2011239658A patent/JP5868122B2/ja active Active
-
2012
- 2012-10-24 US US13/658,842 patent/US20130106041A1/en not_active Abandoned
- 2012-10-24 CN CN201210411775.9A patent/CN103085450B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103085450B (zh) | 2016-08-10 |
JP2013095051A (ja) | 2013-05-20 |
US20130106041A1 (en) | 2013-05-02 |
CN103085450A (zh) | 2013-05-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5868122B2 (ja) | 基板処理装置、テーブル機構、位置決め方法及びプログラム | |
JP4033705B2 (ja) | プリント配線板位置誤差取得方法,プログラムおよび電子回路部品装着システム | |
KR101375189B1 (ko) | 전자 부품 장착 장치 | |
EP2152055B1 (en) | Component recognizing device, surface mounting machine, and component testing machine | |
JP5362259B2 (ja) | 画像記録装置 | |
CN115790455B (zh) | 一种喷墨打印基板平整度检测系统 | |
EP2663174A2 (en) | Working apparatus for component or board | |
JP6016940B2 (ja) | 部品実装機 | |
JP4324805B2 (ja) | パターン形成装置 | |
JP2003289199A (ja) | 対基板作業システム | |
JP4926264B2 (ja) | パターン形成装置および位置決め装置 | |
KR102346777B1 (ko) | 얼라인 장치와 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 시스템, 이를 이용한 얼라인 방법 | |
JP2008307719A (ja) | スクリーン印刷機及び印刷位置補正方法 | |
JP5183957B2 (ja) | 基板搬送装置及び印刷装置 | |
JPH05337421A (ja) | ディスペンス装置及びそれを用いた部品搭載装置 | |
CN111093996B (zh) | 丝网印刷机 | |
JP6320925B2 (ja) | 部品実装機 | |
JP3929579B2 (ja) | 部品装着方法及び同装置 | |
JP2011142350A (ja) | 部品実装装置および部品実装方法 | |
KR101438098B1 (ko) | 연성 인쇄회로기판의 프로브카드 얼라인장치 | |
JP5854934B2 (ja) | 表面実装機、基板固定位置の認識方法 | |
US20230415500A1 (en) | Support unit and printing system | |
JP5492481B2 (ja) | 電子部品搭載装置 | |
JP2008307718A (ja) | スクリーン取付構造 | |
JPH05342335A (ja) | 電子部品搭載装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20140522 |
|
A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20140924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150825 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20151208 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5868122 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |