JP4802909B2 - 位置合わせ方法および位置合わせ装置 - Google Patents

Description

本発明は、基板等のワークを目標位置に位置合わせする位置合わせ方法および位置合わせ装置に関するものである。

液晶表示装置の製造工程における液晶パネルに対するフレキシブル基板の実装処理や、露光装置によってフレキシブル基板に配線パターンを露光する露光処理において、目標位置に基板を位置合わせする位置合わせ方法が行なわれている。この種の位置合わせ方法では、製品の精度向上や製造工程の効率化を図るために、高精度かつ効率の良い位置合わせが求められる。

従来、その位置合わせ方法として、目標位置に対する基板の平面内における位置ズレ量を取得するズレ量取得工程と、ＸＹθ成分の全てについて、取得した位置ズレ量が所定の許容ズレ量以下であるか否かを判定するＸＹθ判定工程と、ＸＹθ判定工程において、ＸＹθ成分の少なくとも1つについて位置ズレ量が許容ズレ量以下でないと判断した場合に、上記位置ズレ量に基づいて、基板を搭載したＸＹθ移動機構により基板をＸＹθ方向に移動させる移動工程と、を備えた位置補正処理を、ＸＹθ判定工程においてＸＹθ成分の全てについて位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断するまで、繰り返し行なう方法が取られている（特許文献１参照。）。

なお、このように位置補正処理を繰り返すことによって位置合わせを行うのは、ＸＹθ移動機構の移動精度により、ＸＹθ各成分について、基板の移動予定位置と移動後の位置とにズレが生じてしまい、一度の位置補正処理では高精度な位置合わせを達成することができない場合が多いからである。
特開平６−３４８０３１号公報

しかしながら、上記位置合わせ方法を使用すると、ＸＹθ成分の全てについて位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断されるまで位置補正処理を繰り返すため、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下でも、他成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下でない場合には、θ成分の補正移動を行うことになる。そのため、他成分に影響を与えるθ成分を必要以上に移動させることになるため、θ成分のみならずＸＹ成分についても、位置ズレ量を拡大させる場合が生じ、位置補正処理の回数を増加させてしまうという問題があった。また、この問題を回避すべくθ成分について位置補正処理を行なった後に、他成分について位置補正処理を行なおうとすると、１度の位置補正処理によりＸＹθ成分全ての位置合わせを達成できることがないため、シーケンスが増加してしまい、作業効率を下げてしまう。

本発明は、高精度かつ効率の良いワークの位置合わせを行うことができる位置合わせ方法および位置合わせ装置を提供することを課題としている。

本発明の位置合わせ方法は、目標位置に対する平面内におけるワークの位置ズレ量を取得するズレ量取得工程と、平面内のＸＹθ成分のそれぞれについて、取得した位置ズレ量が所定の許容ズレ量以下であるか否かを判定するＸＹθ判定工程と、ＸＹθ判定工程において、ＸＹθ成分の少なくとも1つについて位置ズレ量が許容ズレ量以下でないと判断した場合に、ワークの位置ズレ量に基づいてワークの位置補正量を設定する補正量設定工程と、設定した位置補正量に基づいて、ワークを搭載したＸＹθ移動機構によりワークをＸＹθ方向に移動させる移動工程と、を備えた位置補正処理を、ＸＹθ判定工程においてＸＹθ成分の全てについて位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断するまで、繰り返し行なう位置合わせ方法であって、ＸＹθ判定工程において、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断した場合に、補正量設定工程において、θ成分における前記位置補正量をゼロに設定することを特徴とする。

本発明の位置合わせ装置は、目標位置に対するワークの平面内における位置ズレ量を取得するズレ量取得手段と、平面内のＸＹθ成分のそれぞれについて、取得された位置ズレ量が所定の許容ズレ量以下であるか否かを判定するＸＹθ判定手段と、ワークの位置ズレ量に基づいてワークの位置補正量を設定する補正量設定手段と、搭載したワークをＸＹθ方向に移動するＸＹθ移動機構と、ズレ量取得手段、ＸＹθ判定手段、補正量設定手段およびＸＹθ移動機構を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、ズレ量取得手段により位置ズレ量を取得させ、当該位置ズレ量が、ＸＹθ判定手段により、ＸＹθ成分の少なくとも1つについて許容ズレ量以下でないと判断された場合に、補正量設定手段によりワークの位置補正量を設定し、設定したワークの位置補正量に基づいて、ＸＹθ移動機構によりワークをＸＹθ方向に移動させる位置補正処理を、ＸＹθ判定手段によりＸＹθ成分の全てについて位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断されるまで繰り返し行うと共に、位置補正処理において、ＸＹθ判定手段により、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断された場合に、補正量設定手段は、θ成分における位置補正量をゼロに設定することを特徴とする。

これらの構成によれば、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断された場合に、θ成分における位置補正量をゼロに設定することにより、他成分に影響を与えるθ方向への移動を必要以上に行うことがないため、θ成分のみならずＸＹ成分についても、θ方向への移動による位置ズレ量の拡大を抑えることができ、位置補正処理の回数の増加を抑えることができる。また、θ成分のみの位置補正処理を行った後、ＸＹ成分の位置補正処理を行った場合とは異なり、１度の位置補正処理により位置合わせを達成できる場合が生じるため、シーケンスの増加を抑えることができる。そのため、高精度かつ効率の良い位置合わせを行うことができる。

上記位置合わせ方法において、ＸＹθ判定工程にて、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断された場合に、補正量設定工程にて、ゼロ設定に対応させてＸＹ成分における前記位置補正量を設定することが好ましい。

上記位置合わせ装置において、ＸＹθ判定手段により、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断された場合に、補正量設定手段は、ゼロ設定に対応させて、ＸＹ成分における位置補正量を設定することが好ましい。

これらの構成によれば、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断された場合に、ゼロ設定に対応させて、ＸＹ成分における位置補正量を設定することにより、θ方向への補正移動を加味せず、位置補正量を設定することができるため、さらに効率の良い位置合わせを行うことができる。

上記位置合わせ方法において、ズレ量取得工程にて、ワークに形成した基準点の画像認識結果に基づいて、上記位置ズレ量を取得することが好ましい。

上記位置合わせ装置において、ズレ量取得手段は、ワークに形成された基準点を撮像する撮像カメラを有し、撮像カメラの撮像結果を画像認識して、位置ズレ量を取得することが好ましい。

これらの構成によれば、ワークに形成した基準点の画像認識結果に基づいて、位置ズレ量を取得することにより、容易かつ正確に位置ズレ量を取得することができる。このため、さらに高精度かつ効率の良い位置合わせを行うことができる。また、従来、画像認識に基づいて位置合わせを行う際に、θ成分の補正移動を行った後、ＸＹ成分の補正移動を行うと、θ成分の位置的影響力が高いため、画像認識範囲から外れてしまう恐れがあるが、本発明においては、ＸＹθの補正移動を同時に行っているため、画像認識範囲から外れてしまう恐れがない。

上記位置合わせ方法において、ワークは、液晶パネルに位置決めして接合されるフレキシブル基板であり、目標位置は、液晶パネル上のアライメントマークに基づいて設定されていることが好ましい。

上記位置合わせ装置において、ワークは、液晶パネルに位置決めして接合されるフレキシブル基板であり、目標位置は、液晶パネル上のアライメントマークに基づいて設定されていることが好ましい。

これらの構成によれば、液晶パネルに対してフレキシブル基板を適切に位置決めした上で両者を接合することができる。

以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る位置合わせ方法を適用した位置合わせ装置について説明する。この位置合わせ装置は、液晶表示装置の製造工程において、フレキシブル基板（ＦＰＣ）を液晶パネルに実装する際に、液晶パネルに仮位置合わせされたフレキシブル基板に対し高精度な位置合わせを行うものである。フレキシブル基板は、仮位置合わせされた状態で位置合わせ装置に導入される。位置合わせ装置は、このフレキシブル基板に対して、高精度な位置合わせを行うことになる。また、実装工程としては、この後、熱圧着装置にて熱圧着をすることにより実装工程を終了する。なお、この高精度な位置合わせは、目標位置に対するフレキシブル基板の位置ズレ量が許容ズレ量以下になるまで、位置補正処理を繰り返すことにより行なわれる（後述する）。
ここで、本位置合わせ装置の詳細について説明する前に液晶パネルおよびフレキシブル基板について説明する。

図１は、液晶パネルＷ１およびフレキシブル基板Ｗ２が接合して形成された接合基板Ｗの全体図である。液晶パネルＷ１は、２枚のガラス基板の間に液晶を封入して構成されており、その一方の長辺には透明電極の配線パターンの端子が設けられている。また、液晶パネルＷ１には端子を挟むように一対のアライメントマーク１１が印されている。
フレキシブル基板Ｗ２には、短冊状のポリイミドフィルム等で構成され、その短辺の一方には液晶パネルＷ１に接続する配線パターンの端子が設けられている。また、フレキシブル基板Ｗ２には、液晶パネルＷ１のアライメントマーク１１との位置合わせのために端子を挟むように一対の突起部１２（基準点）が設けられている。そして、両基板はＡＣＦを介して端子同士が熱圧着されることにより端子接合される。なお、本実施形態では、ＡＣＦがフレキシブル基板Ｗ２に貼着された状態で位置合わせ装置１に搬入される。

図２で示すように、位置合わせ装置１は、液晶パネルＷ１を吸着載置するパネルテーブル２と、パネルテーブル２に隣接して配設され、フレキシブル基板Ｗ２を吸着載置するワークテーブル３と、ワークテーブル３を支持すると共に、ワークテーブル３を介してフレキシブル基板Ｗ２をＸＹθ方向に移動させる補正移動手段４と、パネルテーブル２及びワークテーブル３の上方に配設され、液晶パネルＷ１及びフレキシブル基板Ｗ２の位置を認識するための画像認識装置５と、これらの装置を制御統括する制御装置６（図３参照）と、を備えている。画像認識装置５により液晶パネルＷ１及びフレキシブル基板Ｗ２の位置を認識した後、それに基づいて、補正移動手段４によりワークテーブル３を介してフレキシブル基板Ｗ２を補正移動することにより液晶パネルＷ１に対するフレキシブル基板Ｗ２の位置補正処理を行う。

なお、液晶パネルＷ１およびフレキシブル基板Ｗ２は、仮位置合わせされた状態で、画像認識装置５により一対のアライメントマーク１１及び突起部１２が認識可能な位置に導入される。

パネルテーブル２は、液晶パネルＷ１を載置するものであり、液晶パネルＷ１は端子が上に向く様に載置される。また、パネルテーブル２は、真空吸着機構を備えており、中央部に液晶パネルＷ１を吸着するための複数の吸着穴（図示省略）が形成されている。

ワークテーブル３は、フレキシブル基板Ｗ２を載置するものであり、フレキシブル基板Ｗ２は端子が下に向く様に載置される。また、ワークテーブル３は補正移動手段４により支持されており、補正移動手段４によりＸＹθ方向に移動可能な構成に為されている。なお、ワークテーブル３は、パネルテーブル２と同様、真空吸着機構を備えており、中央部に液晶パネルＷ１を吸着するための複数の吸着穴（図示省略）が形成されている。

補正移動手段４は、ワークテーブル３を支持し、ワークテーブル３を昇降移動するＺ軸テーブル４０と、Ｚ軸テーブル４０を搭載し、Ｚ軸テーブル４０を介してワークテーブル３をＸＹθ方向に移動させるＸＹθ移動機構４１とを備えており、補正移動手段４によるフレキシブル基板Ｗ２の補正移動は、Ｚ軸テーブル４０にてワークテーブル３を上昇させ、液晶パネルＷ１からフレキシブル基板Ｗ２を離間させた状態で行われる。

ＸＹθ移動機構４１は、Ｚ軸テーブル４０を搭載し、Ｚ軸テーブル４０を介してワークテーブル３を回転補正するθテーブル４２と、θテーブル４２を搭載し、Ｚ軸テーブル４０及びθテーブル４２を介してワークテーブル３をＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル４３と、Ｘ軸テーブル４３を搭載し、Ｚ軸テーブル４０、θテーブル４２及びＸ軸テーブル４３を介してワークテーブル３をＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル４４と、を備えている。

画像認識装置５は、一対の撮像カメラ５１と、画像処理部５２とを有しており、一対の撮像カメラ５１は、パネルテーブル２及びワークテーブル３に導入された液晶パネルＷ１及びフレキシブル基板Ｗ２を上方から臨むように設置されている。これにより、各撮像カメラ５１は、対応するアライメントマーク１１と突起部１２とを撮像する。また、撮像カメラ５１は、高精度な位置合わせを行うために、高倍率であり視野が狭いものを使用する。画像処理部５２は、撮像カメラ５１が撮像した結果を画像処理することで、アライメントマーク１１及び突起部１２の位置を画像認識するものである。そして、この画像認識装置５による認識結果（座標データ）に基づいて、制御装置６により、位置ズレ量が取得される。また、この位置ズレ量に基づいて位置補正量が設定される。

なお、位置ズレ量の取得は、これに限定されるものではなく、例えば、変位センサを用いて測定しても良い。もっとも、本実施形態のように画像認識により位置ズレ量を取得することにより、容易かつ正確に位置ズレ量を取得することができ、さらに高精度かつ効率の良い位置合わせを行うことができる。

図３で示すように、制御装置６は、カメラ駆動部６１と、ズレ量演算部６２と、許容ズレ量記憶部６３と、ＸＹθ判定部６４と、補正量設定部６５と、移動機構駆動部６６と、統括制御部６７とを有している。カメラ駆動部６１は、画像認識装置５における撮像カメラ５１を駆動制御する。ズレ量演算部６２は、画像認識装置５における画像処理部５２の座標データを基に位置ズレ量を演算する。許容ズレ量記憶部６３は、許容ズレ量を記憶しておく。ＸＹθ判定部６４は、ズレ量演算部６２により演算された位置ズレ量および許容ズレ量記憶部６３に記憶された許容ズレ量により、ＸＹθ成分それぞれについて、位置ズレ量が許容ズレ量以下かを判定する。補正量設定部６５は、ズレ量演算部６２により演算された位置ズレ量に基づいて、位置補正量を設定する。移動機構駆動部６６は、補正移動手段４のＺ軸テーブル４０及びＸＹθ移動機構４１におけるθテーブル４２、Ｘ軸テーブル４３、Ｙ軸テーブル４４を駆動制御する。統括制御部６７は、カメラ駆動部６１、ズレ量演算部６２、許容ズレ量記憶部６３、ＸＹθ判定部６４、補正量設定部６５および移動機構駆動部６６の統括制御を行う。

次に、図４のフローチャートを用いて、本実施形態の位置合わせ装置１による位置合わせ動作の詳細について説明する。まず、パネルテーブル２及びワークテーブル３に対し液晶パネルＷ１及びフレキシブル基板Ｗ２が、仮位置合わせ状態で導入、載置される。このため、一対のアライメントマーク１１および突起部１２が撮像カメラ５１の視野内に収まるようになっている。

まず、一対の撮像カメラ５１により、液晶パネルＷ１の一対のアライメントマーク１１及びフレキシブル基板Ｗ２の一対の突起部１２を撮像し、これらアライメントマーク１１及び突起部１２の座標位置を演算するマーク座標演算を行なう（Ｓ１）。これにより、アライメントマーク１１の座標位置を基にした座標上の目標位置が設定される。その後、その結果から目標位置に対する突起部１２の位置ズレ量を取得する（Ｓ２）。

次に、ＸＹθ成分それぞれについて取得された位置ズレ量が許容ズレ量以下であるか否かを判定するＸＹθ判定工程を行う（Ｓ３）。この工程にて、ＸＹθ成分すべてについて、取得された位置ズレ量が許容ズレ量以下という条件に合わない場合であって、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下でないと判断されたとき（Ｓ３：（ａ））、θ成分についての位置ズレ量を加味してＸＹθ成分の位置補正量の設定（算出）を行い（Ｓ６）、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下であると判断されたとき、θ成分の位置補正量をゼロと設定し（Ｓ３：（ｂ））、当該ゼロ設定に対応してＸＹ成分の位置補正量を設定する（Ｓ５）。

その後、設定された位置補正量に基づいて、補正移動手段４により、フレキシブル基板Ｗ２をＸＹθ方向に補正移動する（Ｓ７）。ＸＹθ方向への補正移動は、Ｚ軸テーブル４０によりフレキシブル基板Ｗ２を上昇させることで、液晶パネルＷ１とフレキシブル基板Ｗ２とを離間させ、ＸＹθ移動機構４１によりＸＹθ方向移動をした後、Ｚ軸テーブル４０によりフレキシブル基板Ｗ２を降下させることにより行う。なお、θ成分における位置補正量のゼロ設定を行った場合（Ｓ４）には、位置補正量がゼロのため、θ方向への補正移動を行わない。

計算上は、この時点で位置合わせが達成できるが、実際には、ＸＹθ移動機構４１の移動精度により、目標位置とのズレが生じてしまい、一回の位置補正処理により、位置合わせが達成できるとは限らない、そのため、フレキシブル基板Ｗ２の補正移動（Ｓ７）の後、画像認識及びマーク座標演算の工程（Ｓ１）にもどり、ＸＹθ判定工程（Ｓ３）にて、ＸＹθ成分すべてについて、取得された位置ズレ量が許容ズレ量以下と判断される（Ｓ３：（ｃ））まで、位置補正処理を繰り返し行う。

ここで、θ成分について、位置ズレ量が許容ズレ量以下と判断された場合に、θ成分の位置補正量をゼロと設定し、当該ゼロ設定に対応してＸＹ成分の位置補正量を設定するにより、他成分に影響を与えるθ成分の移動を必要以上に行なうことがない。そのため、θ成分のみならずＸＹ成分についても、θ成分の補正移動による位置ズレ量の拡大を抑えることができ、位置補正処理の回数を抑えることができるような構成に為されている。
また、θ成分の位置補正処理した後に、ＸＹ成分の位置補正処理を行うというような方法を使用せず、ＸＹθ成分の位置補正処理を同時に行うことにより、位置的影響力の高いθ成分の補正移動を行った際に、高倍率で視野の狭い撮像カメラ５１の視野内から外れることがないような構成に為されている。

次に、図５を用いて、上記位置合わせを具体的に説明する。図５(ａ)〜(ｃ)は、撮像カメラ５１によって得られた画像データを画像処理して得られた突起部１２の位置、目標位置、及びθ回転中心の位置の座標データである。すなわち、Ａ１,Ａ２は、突起部１２の位置、Ｂ１,Ｂ２は、目標位置における目標点であり、Ｏは、θ回転中心である。また、Ａ３,Ｂ３をＡ１,Ａ２及びＢ１,Ｂ２それぞれの中間点とする。本具体例では、本位置合わせの説明をわかりやすくするために、各値が拡大されており、許容ズレ量を（Ｘ,Ｙ,θ）＝（５ｍｍ,５ｍｍ,１０°）、θ回転中心から中間点Ａ３との距離を５０ｍｍとする。なお、現実の許容ズレ量は、（Ｘ,Ｙ,θ）＝（７μｍ,７μｍ,６０ｓｅｃ）程度である。

まず、上記した通り、接合基板Ｗ上の一対のアライメントマーク１１および突起部１２を撮像する（Ｓ１）。図５(ａ)は、その撮像結果に基づいて算出された座標データである。これらのデータから位置ズレ量（Ｓ２）を取得する。

この位置ズレ量の取得（Ｓ２）は、θ成分は、Ａ１,Ａ２を結んだ直線の角度とＢ１,Ｂ２を結んだ直線の角度の差であり、ＸＹ成分は、Ａ１,Ａ２の中間点であるＡ３と、Ｂ１,Ｂ２の中間点であるＢ３とにおけるＸＹ成分それぞれについての差である。

ここで、位置ズレ量が（Ｘ,Ｙ,θ）＝（８ｍｍ,７ｍｍ,１５°）と取得された。次に、この結果に基づいて、ＸＹθ成分それぞれについて算出された位置ズレ量が許容ズレ量以下かを判定する（Ｓ３）。

許容ズレ量は、上記した通り（Ｘ,Ｙ,θ）＝（５ｍｍ,５ｍｍ,１０°）であるため、ＸＹθ成分全てについて位置ズレ量が許容ズレ量以下、という条件に当てはまらず、と同時に、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下、という条件にも当てはまらない（Ｓ３：（ａ））ため、θ成分についての位置ズレ量を加味してＸＹθ成分の位置補正量の設定（算出）を行う（Ｓ６）。この算出は、θ成分は、目標位置方向への位置ズレ量であり、ＸＹ成分は、θ方向への補正移動による影響（ここでは、Ｘ成分は、５０ｍｍ×ｓｉｎ１５°≒１２．９ｍｍ,Ｙ成分は、５０ｍｍ−５０ｍｍ×ｃｏｓ１５°≒１．７ｍｍ）を位置ズレ量に加味した数字（Ｘ,Ｙ）＝（−８＋１２.９＝４.９ｍｍ,−７＋１.７＝−５.３ｍｍ）となる。
次に、これらの位置補正量の算出結果（Ｘ,Ｙ,θ）＝（４.９ｍｍ,−５.３ｍｍ,−１５°）に基づいて、補正移動手段４によって、フレキシブル基板Ｗ２をＸＹθ方向に補正移動する（Ｓ７）。

補正移動の後、再度接合基板Ｗの１対のアライメントマーク１１および突起部１２を撮像する（Ｓ１）。その結果に基づいて算出された座標データが図５(ｂ)である。計算上は上記補正移動により、目標位置と一致するはずであるが、ＸＹθ移動機構４１の移動精度により、ズレが生じてしまっている。位置ズレ量を取得すると（Ｘ,Ｙ,θ）＝（７ｍｍ,３ｍｍ,５°）であった（Ｓ２）。ここで、この結果に基づいて、ＸＹθ成分それぞれについて取得された位置ズレ量が許容ズレ量以下かを判定する（Ｓ３）。

この結果、ＸＹθ成分全てについて位置ズレ量が許容ズレ量以下、という条件に当てはまらないが、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下、という条件には、当てはまっている（Ｓ３：（ｂ））。そのため、θ成分における位置補正量をゼロに設定する（Ｓ４）と共に、当該ゼロ設定に対応させてＸＹ成分における位置補正量を設定する（Ｓ５）。つまり、θ成分はゼロに設定し、ＸＹ成分については、θ成分がゼロであることによりθ方向への補正移動による影響を受けないため、目標位置方向への位置ズレ量になる。ゆえに、位置補正量は（Ｘ,Ｙ,θ）＝（７ｍｍ,−３ｍｍ,０°）となる。この位置補正量に基づいて、フレキシブル基板Ｗ２のＸＹθ方向への補正移動を行う（Ｓ７）。

補正移動の後、再度接合基板Ｗの１対のアライメントマーク１１及び突起部１２を撮像する（Ｓ１）。その結果に基づいて算出された座標データが図５(ｃ)である。このデータから位置ズレ量は、（Ｘ,Ｙ,θ）＝（３ｍｍ,１ｍｍ,５°）と取得された（Ｓ２）。

この結果を判定する（Ｓ３）と、ＸＹθ成分全てについて位置ズレ量が許容ズレ量以下、という条件に当てはまっている（Ｓ３：（ｃ））ため、本位置合わせ動作を終了し、液晶パネルＷ１に対するフレキシブル基板Ｗ２の位置合わせを達成する。

このような構成によれば、θ成分について位置ズレ量が許容ズレ量以下と判断された場合に、θ成分における位置補正量をゼロに設定することにより、他成分に影響を与えるθ方向への移動を必要以上に行うことがないため、θ成分のみならずＸＹ成分についてもθ方向への移動による位置ズレ量の拡大を抑えることができる。そのため、位置補正処理の回数の増加を抑えることができ、高精度かつ効率の良い位置合わせを行うことができる。

液晶パネル及びフレキシブル基板が接合して形成された接合基板の全体図である。 本発明の一実施形態に係る位置合わせ装置の概略斜視図である。 位置合わせ装置のブロック図である。 フレキシブル基板の位置決め動作を説明するフローチャートである。 位置合わせ動作の具体例における座標データの図である。

符号の説明

１：位置合わせ装置、 ５：画像認識装置、 ６：制御装置、 １１：アライメントマーク、 １２：突起部、 ４１：ＸＹθ移動機構、 ５１：撮像カメラ、 ６４：ＸＹθ判定部、 ６５：補正量設定部、 Ｗ１：フレキシブル基板、 Ｗ２：液晶パネル

Claims (8)

1. 目標位置に対するワークの平面内における位置ズレ量を取得するズレ量取得工程と、
   前記平面内のＸＹθ成分のそれぞれについて、取得した前記位置ズレ量が所定の許容ズレ量以下であるか否かを判定するＸＹθ判定工程と、
   前記ＸＹθ判定工程において、ＸＹθ成分の少なくとも1つについて前記位置ズレ量が前記許容ズレ量以下でないと判断した場合に、前記ワークの位置ズレ量に基づいて前記ワークの位置補正量を設定する補正量設定工程と、
   設定した前記位置補正量に基づいて、前記ワークを搭載したＸＹθ移動機構により前記ワークをＸＹθ方向に移動させる移動工程と、を備えた位置補正処理を、
   前記ＸＹθ判定工程においてＸＹθ成分の全てについて前記位置ズレ量が前記許容ズレ量以下であると判断するまで、繰り返し行なう位置合わせ方法であって、
   前記ＸＹθ判定工程において、θ成分について前記位置ズレ量が前記許容ズレ量以下であると判断した場合に、前記補正量設定工程において、θ成分における前記位置補正量をゼロに設定することを特徴とする位置合わせ方法。
2. 前記ＸＹθ判定工程において、θ成分について前記位置ズレ量が前記許容ズレ量以下であると判断した場合に、前記補正量設定工程において、前記ゼロ設定に対応させて、ＸＹ成分における前記位置補正量を設定することを特徴とする請求項１に記載の位置合わせ方法。
3. 前記ズレ量取得工程において、前記ワークに形成した基準点の画像認識結果に基づいて、前記位置ズレ量を取得することを特徴とする請求項１または２に記載の位置合わせ方法。
4. 前記ワークは、液晶パネルに位置決めして接合されるフレキシブル基板であり、
   前記目標位置は、前記液晶パネル上のアライメントマークに基づいて設定されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の位置合わせ方法。
5. 目標位置に対するワークの平面内における位置ズレ量を取得するズレ量取得手段と、
   前記平面内のＸＹθ成分のそれぞれについて、取得された前記位置ズレ量が所定の許容ズレ量以下であるか否かを判定するＸＹθ判定手段と、
   前記ワークの位置ズレ量に基づいて前記ワークの位置補正量を設定する補正量設定手段と、
   搭載した前記ワークをＸＹθ方向に移動するＸＹθ移動機構と、
   前記ズレ量取得手段、前記ＸＹθ判定手段、補正量設定手段および前記ＸＹθ移動機構を制御する制御手段と、を備え、
   前記制御手段は、
   前記ズレ量取得手段により前記位置ズレ量を取得させ、当該位置ズレ量が、前記ＸＹθ判定手段により、ＸＹθ成分の少なくとも1つについて前記許容ズレ量以下でないと判断された場合に、補正量設定手段により前記ワークの前記位置補正量を設定し、設定した位置補正量に基づいて前記ＸＹθ移動機構により前記ワークをＸＹθ方向に移動させる位置補正処理を、前記ＸＹθ判定手段によりＸＹθ成分の全てについて前記位置ズレ量が前記許容ズレ量以下であると判断されるまで繰り返し行うと共に、
   前記位置補正処理において、前記ＸＹθ判定手段により、θ成分について前記位置ズレ量が前記許容ズレ量以下であると判断された場合に、補正量設定手段は、θ成分における前記位置補正量をゼロに設定することを特徴とする位置合わせ装置。
6. 前記ＸＹθ判定手段により、θ成分について前記位置ズレ量が前記許容ズレ量以下であると判断された場合に、前記補正量設定手段は、前記ゼロ設定に対応させて、ＸＹ成分における前記位置補正量を設定することを特徴とする請求項５に記載の位置合わせ装置。
7. 前記ズレ量取得手段は、前記ワークに形成された基準点を撮像する撮像カメラを有し、前記撮像カメラの撮像結果を画像認識して前記位置ズレ量を取得することを特徴とする請求項５または６に記載の位置合わせ装置。
8. 前記ワークは、液晶パネルに位置決めして接合されるフレキシブル基板であり、
   前記目標位置は、前記液晶パネル上のアライメントマークに基づいて設定されていることを特徴とする請求項５ないし７のいずれかに記載の位置合わせ装置。

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