JP2000211103A - スクリ―ン印刷装置およびスクリ―ン印刷方法 - Google Patents
スクリ―ン印刷装置およびスクリ―ン印刷方法Info
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- JP2000211103A JP2000211103A JP11012810A JP1281099A JP2000211103A JP 2000211103 A JP2000211103 A JP 2000211103A JP 11012810 A JP11012810 A JP 11012810A JP 1281099 A JP1281099 A JP 1281099A JP 2000211103 A JP2000211103 A JP 2000211103A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 位置精度を向上させ印刷品質を安定して確保
できるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 パターン孔が設けられたスクリーンマス
ク１０を基板６に当接させ、ペーストを供給してスキー
ジを摺動させることにより、パターン孔を介して基板６
にペーストを印刷するスクリーン印刷方法において、ス
クリーンマスクや基板位置決め部１および基板６の認識
マークを単一のカメラ２０にて撮像するようにし、基板
位置決め部１の座標系と、カメラ２０を移動させる移動
手段の座標系との位置ずれ量をカメラ２０より取得した
画像データに基づいて求め、基板位置決め部の位置補正
を行うようにした。これにより、従来必要であった光学
系の位置合わせを行う必要がなく、高精度の位置認識を
実現できる。
できるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を
提供することを目的とする。 【解決手段】 パターン孔が設けられたスクリーンマス
ク１０を基板６に当接させ、ペーストを供給してスキー
ジを摺動させることにより、パターン孔を介して基板６
にペーストを印刷するスクリーン印刷方法において、ス
クリーンマスクや基板位置決め部１および基板６の認識
マークを単一のカメラ２０にて撮像するようにし、基板
位置決め部１の座標系と、カメラ２０を移動させる移動
手段の座標系との位置ずれ量をカメラ２０より取得した
画像データに基づいて求め、基板位置決め部の位置補正
を行うようにした。これにより、従来必要であった光学
系の位置合わせを行う必要がなく、高精度の位置認識を
実現できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板にクリーム半
田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリー
ン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものであ
る。
田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリー
ン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】電子部品実装工程において、基板上にク
リーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する
方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法
は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたスク
リーンマスクを基板に当接させ、スクリーンマスク上に
ペーストを供給してスキージを摺動させることにより、
パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するもので
ある。
リーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する
方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法
は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたスク
リーンマスクを基板に当接させ、スクリーンマスク上に
ペーストを供給してスキージを摺動させることにより、
パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するもので
ある。
【０００３】このスクリーン印刷においては、スクリー
ンマスクを基板に対して正確に位置合わせする必要があ
る。このため、スクリーン印刷装置の立ち上げ時におけ
る機械誤差の較正、品種切り替え時のスクリーンマスク
の位置ずれ検出および生産時における基板の位置ずれ検
出など、基板とスクリーンマスクの位置合わせ誤差を数
値データとして定量的に把握し、これらの誤差を補正す
ることが行われている。そしてこれらの誤差検出方法と
して従来より画像認識による方法が用いられている。こ
のような目的のため、従来スクリーン印刷装置には、基
板を認識するためのカメラと、スクリーンマスクを認識
するためのカメラが別個に設けられ、それぞれのカメラ
によって得られた認識結果に基づいて前記誤差を検出す
ることが行われていた。
ンマスクを基板に対して正確に位置合わせする必要があ
る。このため、スクリーン印刷装置の立ち上げ時におけ
る機械誤差の較正、品種切り替え時のスクリーンマスク
の位置ずれ検出および生産時における基板の位置ずれ検
出など、基板とスクリーンマスクの位置合わせ誤差を数
値データとして定量的に把握し、これらの誤差を補正す
ることが行われている。そしてこれらの誤差検出方法と
して従来より画像認識による方法が用いられている。こ
のような目的のため、従来スクリーン印刷装置には、基
板を認識するためのカメラと、スクリーンマスクを認識
するためのカメラが別個に設けられ、それぞれのカメラ
によって得られた認識結果に基づいて前記誤差を検出す
ることが行われていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のスクリーン印刷装置には、以下に述べるような問題
点があった。まずスクリーンマスクおよび基板を認識す
るカメラを個別に設けていたため、２つのカメラの光学
系上の座標系の相対的位置関係を合わせることが必要で
あり、この位置合わせに煩雑な作業を要していた。また
スクリーンマスクを認識するカメラは構造配置上上向き
に設けられていたため、ゴミや異物がカメラ上に付着し
誤認識を生じやすいという不具合があった。また装置立
ち上げ時においては、基板を認識するカメラと基板を位
置決めする位置決めテーブルとの相対的位置を較正する
位置合わせ作業も、従来は位置合わせ治具を用いて作業
者が手作業的に行っていた。このため、各作業者の熟練
度によって位置合わせ精度がばらつき、結果として印刷
品質の安定が確保され難いという問題点があった。
来のスクリーン印刷装置には、以下に述べるような問題
点があった。まずスクリーンマスクおよび基板を認識す
るカメラを個別に設けていたため、２つのカメラの光学
系上の座標系の相対的位置関係を合わせることが必要で
あり、この位置合わせに煩雑な作業を要していた。また
スクリーンマスクを認識するカメラは構造配置上上向き
に設けられていたため、ゴミや異物がカメラ上に付着し
誤認識を生じやすいという不具合があった。また装置立
ち上げ時においては、基板を認識するカメラと基板を位
置決めする位置決めテーブルとの相対的位置を較正する
位置合わせ作業も、従来は位置合わせ治具を用いて作業
者が手作業的に行っていた。このため、各作業者の熟練
度によって位置合わせ精度がばらつき、結果として印刷
品質の安定が確保され難いという問題点があった。
【０００５】そこで本発明は、位置精度を向上させ印刷
品質を安定して確保できるスクリーン印刷装置およびス
クリーン印刷方法を提供することを目的とする。
品質を安定して確保できるスクリーン印刷装置およびス
クリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のスクリー
ン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンマス
クを基板に当接させ、このスクリーンマスク上にペース
トを供給してスキージを摺動させることにより、前記パ
ターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン
印刷装置であって、前記基板を位置決めする基板位置決
め手段と、前記スクリーンマスクの特徴点および前記基
板の特徴点を上方より撮像する単一の撮像手段と、この
撮像手段を水平面内で移動させる移動手段とを備えた。
ン印刷装置は、パターン孔が設けられたスクリーンマス
クを基板に当接させ、このスクリーンマスク上にペース
トを供給してスキージを摺動させることにより、前記パ
ターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン
印刷装置であって、前記基板を位置決めする基板位置決
め手段と、前記スクリーンマスクの特徴点および前記基
板の特徴点を上方より撮像する単一の撮像手段と、この
撮像手段を水平面内で移動させる移動手段とを備えた。
【０００７】請求項２記載のスクリーン印刷方法は、パ
ターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接さ
せ、このスクリーンマスク上にペーストを供給してスキ
ージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して
基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であっ
て、前記基板を位置決めする基板位置決め手段の座標系
と、前記スクリーンマスクおよび基板を撮像する撮像手
段を移動させる移動手段の座標系との位置ずれ量を前記
撮像手段により取得した画像データに基づいて求め、前
記位置ずれ量に基づいて前記基板位置決め手段の位置補
正を行う。
ターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接さ
せ、このスクリーンマスク上にペーストを供給してスキ
ージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して
基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であっ
て、前記基板を位置決めする基板位置決め手段の座標系
と、前記スクリーンマスクおよび基板を撮像する撮像手
段を移動させる移動手段の座標系との位置ずれ量を前記
撮像手段により取得した画像データに基づいて求め、前
記位置ずれ量に基づいて前記基板位置決め手段の位置補
正を行う。
【０００８】請求項３記載のスクリーン印刷方法は、請
求項２記載のスクリーン印刷方法であって、前記画像デ
ータは、前記基板位置決め手段に設けられた特徴点を撮
像して得られたものである。
求項２記載のスクリーン印刷方法であって、前記画像デ
ータは、前記基板位置決め手段に設けられた特徴点を撮
像して得られたものである。
【０００９】請求項４記載のスクリーン印刷方法は、請
求項２記載のスクリーン印刷方法であって、前記画像デ
ータは、基板位置決め手段に保持された基板の特徴点を
撮像して得られたものである。
求項２記載のスクリーン印刷方法であって、前記画像デ
ータは、基板位置決め手段に保持された基板の特徴点を
撮像して得られたものである。
【００１０】請求項５記載のスクリーン印刷方法は、パ
ターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接さ
せ、このスクリーンマスク上にペーストを供給してスキ
ージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して
基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であっ
て、前記基板の特徴点を撮像手段によって撮像するため
に撮像手段を基板に対して相対的に移動させる工程にお
いて、基板の搬送方向の移動は前記撮像手段を移動させ
る移動手段によって行い、基板の搬送方向と直交する方
向の移動は、基板を位置決めする基板位置決め手段によ
って行う。
ターン孔が設けられたスクリーンマスクを基板に当接さ
せ、このスクリーンマスク上にペーストを供給してスキ
ージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して
基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であっ
て、前記基板の特徴点を撮像手段によって撮像するため
に撮像手段を基板に対して相対的に移動させる工程にお
いて、基板の搬送方向の移動は前記撮像手段を移動させ
る移動手段によって行い、基板の搬送方向と直交する方
向の移動は、基板を位置決めする基板位置決め手段によ
って行う。
【００１１】請求項１記載の発明によれば、スクリーン
マスクおよび基板の双方の特徴点を単一の撮像手段で撮
像することにより、従来必要であった光学系の位置合わ
せを行う必要がなく、高精度の位置認識を実現できる。
マスクおよび基板の双方の特徴点を単一の撮像手段で撮
像することにより、従来必要であった光学系の位置合わ
せを行う必要がなく、高精度の位置認識を実現できる。
【００１２】請求項２，３、および４記載の発明によれ
ば、基板位置決め手段の座標系と、撮像手段を移動させ
る移動手段の座標系との位置ずれ量を撮像手段で取得し
た画像データに基づいて求めることにより、高精度の位
置合わせを行うことができる。
ば、基板位置決め手段の座標系と、撮像手段を移動させ
る移動手段の座標系との位置ずれ量を撮像手段で取得し
た画像データに基づいて求めることにより、高精度の位
置合わせを行うことができる。
【００１３】請求項５記載の発明によれば、基板の特徴
点を撮像手段によって撮像するために撮像手段を基板に
対して相対的に移動させる工程において、基板の搬送方
向の移動は前記撮像手段を移動させる移動手段によって
行い、基板の搬送方向と直交する方向の移動のみを基板
を位置決めする基板位置決め手段によって行うことによ
り、基板位置決め手段の大きさをコンパクトにすること
ができる。
点を撮像手段によって撮像するために撮像手段を基板に
対して相対的に移動させる工程において、基板の搬送方
向の移動は前記撮像手段を移動させる移動手段によって
行い、基板の搬送方向と直交する方向の移動のみを基板
を位置決めする基板位置決め手段によって行うことによ
り、基板位置決め手段の大きさをコンパクトにすること
ができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスク
リーン印刷装置の側面図、図２は同スクリーン印刷装置
の平面図、図３（ａ），（ｂ）、図４（ａ），（ｂ）は
同スクリーン印刷装置の部分平面図、図５は同スクリー
ン印刷方法におけるカメラと基板位置決め部との位置合
わせのフロー図、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）は同認識
マークの画像図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態のスク
リーン印刷装置の側面図、図２は同スクリーン印刷装置
の平面図、図３（ａ），（ｂ）、図４（ａ），（ｂ）は
同スクリーン印刷装置の部分平面図、図５は同スクリー
ン印刷方法におけるカメラと基板位置決め部との位置合
わせのフロー図、図６（ａ），（ｂ），（ｃ）は同認識
マークの画像図である。
【００１５】まず図１、図２を参照してスクリーン印刷
装置の構造を説明する。図１において、基板位置決め手
段である基板位置決め部１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ
軸テーブル３よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル４
を段積みし、さらにその上にＺ軸テーブル５を配設して
構成されており、Ｚ軸テーブル５上には基板６をクラン
パ８によって保持する基板保持部７が設けられている。
印刷対象の基板６は図２に示す搬入コンベア１４によっ
て基板位置決め部１に搬入される。基板位置決め部１を
駆動することにより、基板６の位置を調整することがで
きる。印刷後の基板６は、搬出コンベア１５によって搬
出される。
装置の構造を説明する。図１において、基板位置決め手
段である基板位置決め部１は、Ｘ軸テーブル２およびＹ
軸テーブル３よりなる移動テーブル上にθ軸テーブル４
を段積みし、さらにその上にＺ軸テーブル５を配設して
構成されており、Ｚ軸テーブル５上には基板６をクラン
パ８によって保持する基板保持部７が設けられている。
印刷対象の基板６は図２に示す搬入コンベア１４によっ
て基板位置決め部１に搬入される。基板位置決め部１を
駆動することにより、基板６の位置を調整することがで
きる。印刷後の基板６は、搬出コンベア１５によって搬
出される。
【００１６】位置決め部１の上方には、スクリーンマス
ク１０が配設されており、スクリーンマスク１０はホル
ダ１１にマスクプレート１２を装着して構成されてい
る。基板６は基板位置決め部１によってマスクプレート
１２に対して位置合わせされ下方から当接する。スクリ
ーンマスク１０上には、スキージユニット１３が水平方
向に往復動自在に配設されている。基板６がマスクプレ
ート１２の下面に当接した状態で、マスクプレート１２
上にペーストであるクリーム半田を供給し、スキージユ
ニット１３のスキージをマスクプレート１２の表面に当
接させて摺動させることにより、基板６の表面にはマス
クプレート１２に設けられたパターン孔１２ａ（図２参
照）を介してクリーム半田が印刷される。
ク１０が配設されており、スクリーンマスク１０はホル
ダ１１にマスクプレート１２を装着して構成されてい
る。基板６は基板位置決め部１によってマスクプレート
１２に対して位置合わせされ下方から当接する。スクリ
ーンマスク１０上には、スキージユニット１３が水平方
向に往復動自在に配設されている。基板６がマスクプレ
ート１２の下面に当接した状態で、マスクプレート１２
上にペーストであるクリーム半田を供給し、スキージユ
ニット１３のスキージをマスクプレート１２の表面に当
接させて摺動させることにより、基板６の表面にはマス
クプレート１２に設けられたパターン孔１２ａ（図２参
照）を介してクリーム半田が印刷される。
【００１７】スクリーンマスク１０の上方には、単一の
撮像手段であるカメラ２０が設けられている。図２に示
すように、カメラ２０はＸ軸テーブル２１およびＹ軸テ
ーブル２２によってＸＹ方向に水平移動する。すなわち
Ｘ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２は移動手段と
なっている。カメラ２０は基板６、クランパ８およびマ
スクプレート１２に設けられた特徴点としての各認識マ
ークを撮像する。そして撮像により得られた画像データ
に基づいて各認識マークの位置が求められる。
撮像手段であるカメラ２０が設けられている。図２に示
すように、カメラ２０はＸ軸テーブル２１およびＹ軸テ
ーブル２２によってＸＹ方向に水平移動する。すなわち
Ｘ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２は移動手段と
なっている。カメラ２０は基板６、クランパ８およびマ
スクプレート１２に設けられた特徴点としての各認識マ
ークを撮像する。そして撮像により得られた画像データ
に基づいて各認識マークの位置が求められる。
【００１８】図２に示すように、基板６には対角位置に
特徴点である認識マーク６ａ，６ｂが設けられており、
基板６を保持するクランパ８には、特徴点である認識マ
ーク８ａ，８ｂが設けられている。さらにマスクプレー
ト１２には、基板６に設けられた認識マーク６ａ，６ｂ
に対応した位置に開口１２Ａ（マスクプレート１２の破
断範囲内に位置しているため鎖線で示している），１２
Ｂが設けられており、マスクプレート１０に対して基板
６が正しい位置関係にある状態では、開口１２Ａ，１２
Ｂを介して上方から認識マーク６ａ，６ｂを目視により
視認またはカメラ２０により撮像可能となっている。
特徴点である認識マーク６ａ，６ｂが設けられており、
基板６を保持するクランパ８には、特徴点である認識マ
ーク８ａ，８ｂが設けられている。さらにマスクプレー
ト１２には、基板６に設けられた認識マーク６ａ，６ｂ
に対応した位置に開口１２Ａ（マスクプレート１２の破
断範囲内に位置しているため鎖線で示している），１２
Ｂが設けられており、マスクプレート１０に対して基板
６が正しい位置関係にある状態では、開口１２Ａ，１２
Ｂを介して上方から認識マーク６ａ，６ｂを目視により
視認またはカメラ２０により撮像可能となっている。
【００１９】次に図３、図４を参照してカメラ２０によ
る上記各認識マークの撮像動作について説明する。これ
らの認識マークの撮像は、スクリーン印刷装置の立ち上
げ時やメンテ時などに基板位置決め部の座標系とカメラ
２０を移動させる移動手段との位置合わせ、スクリーン
マスク１２を装着した後に行われるスクリーンマスク１
２の位置ずれ検出、また実際の印刷稼働時に搬入された
基板６の位置を検出する際などに行われるものである。
る上記各認識マークの撮像動作について説明する。これ
らの認識マークの撮像は、スクリーン印刷装置の立ち上
げ時やメンテ時などに基板位置決め部の座標系とカメラ
２０を移動させる移動手段との位置合わせ、スクリーン
マスク１２を装着した後に行われるスクリーンマスク１
２の位置ずれ検出、また実際の印刷稼働時に搬入された
基板６の位置を検出する際などに行われるものである。
【００２０】図３（ａ），（ｂ）はマスクプレート１２
に設けられた開口１２Ａ，１２Ｂを撮像する際のカメラ
２０の動作を示している。まず図３（ａ）に示すよう
に、Ｘ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル２２を駆動してカ
メラ２０を開口１２Ａの上方に位置させ、開口１２Ａを
撮像する。次いで再びＸ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル
２２を駆動してカメラ２０を開口１２Ｂの上方に移動さ
せ同様に開口１２Ｂを撮像する。
に設けられた開口１２Ａ，１２Ｂを撮像する際のカメラ
２０の動作を示している。まず図３（ａ）に示すよう
に、Ｘ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル２２を駆動してカ
メラ２０を開口１２Ａの上方に位置させ、開口１２Ａを
撮像する。次いで再びＸ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル
２２を駆動してカメラ２０を開口１２Ｂの上方に移動さ
せ同様に開口１２Ｂを撮像する。
【００２１】図４（ａ），（ｂ）は、基板６に設けられ
た認識マーク６ａ，６ｂを撮像する際のカメラ２０の動
作を示している。図４（ａ）に示すように、Ｙ軸テーブ
ル３（図１参照）を駆動することにより基板位置決め部
１の基板６をスクリーンマスク１０の外に移動させ、こ
の状態でＸ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２を駆
動してカメラ２０を認識マーク６ａ上に位置させ、撮像
する。次いで図４（ｂ）に示すように、カメラ２０を認
識マーク６ｂ上に位置させて同様に認識マーク６ｂを撮
像する。
た認識マーク６ａ，６ｂを撮像する際のカメラ２０の動
作を示している。図４（ａ）に示すように、Ｙ軸テーブ
ル３（図１参照）を駆動することにより基板位置決め部
１の基板６をスクリーンマスク１０の外に移動させ、こ
の状態でＸ軸テーブル２１およびＹ軸テーブル２２を駆
動してカメラ２０を認識マーク６ａ上に位置させ、撮像
する。次いで図４（ｂ）に示すように、カメラ２０を認
識マーク６ｂ上に位置させて同様に認識マーク６ｂを撮
像する。
【００２２】このとき、カメラ２０を基板６に対して相
対的に移動させる工程において、基板６の搬送方向の移
動はカメラ２０を移動させるＸ軸テーブル２１によって
行い、搬送方向と直交する方向の移動のみを基板位置決
め部１のＹ軸テーブル３を駆動することにより行う。こ
のような撮像動作を行わせることにより、基板６の認識
のために基板位置決め部１をＸ方向（基板搬送方向）へ
駆動する必要がなく、したがって位置決め部１のＸ軸テ
ーブル２の所要ストロークを小さくすることができ、装
置の搬送方向の長さを短縮してコンパクト化を図ること
が可能となる。
対的に移動させる工程において、基板６の搬送方向の移
動はカメラ２０を移動させるＸ軸テーブル２１によって
行い、搬送方向と直交する方向の移動のみを基板位置決
め部１のＹ軸テーブル３を駆動することにより行う。こ
のような撮像動作を行わせることにより、基板６の認識
のために基板位置決め部１をＸ方向（基板搬送方向）へ
駆動する必要がなく、したがって位置決め部１のＸ軸テ
ーブル２の所要ストロークを小さくすることができ、装
置の搬送方向の長さを短縮してコンパクト化を図ること
が可能となる。
【００２３】次に、図４（ｂ）に示すクランパ８の認識
マーク８ａ，８ｂを認識することによって行われる基板
位置決め部の位置ずれ補正処理について、図５のフロー
を参照して説明する。この位置ずれ補正処理は、基板位
置決め部１に固有の座標系と、カメラ２０を移動させる
Ｘ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル２２の座標系との位置
ずれ量を、カメラ２０により取得した画像データに基づ
いて求め、この位置ずれ量に基づいて基板位置決め部１
の位置補正を行うものである。そして、ここでは画像デ
ータとして基板位置決め部１のクランパ８に設けられた
特徴点である認識マーク８ａ，８ｂを撮像することによ
って得られたものを用いる例を示している。
マーク８ａ，８ｂを認識することによって行われる基板
位置決め部の位置ずれ補正処理について、図５のフロー
を参照して説明する。この位置ずれ補正処理は、基板位
置決め部１に固有の座標系と、カメラ２０を移動させる
Ｘ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル２２の座標系との位置
ずれ量を、カメラ２０により取得した画像データに基づ
いて求め、この位置ずれ量に基づいて基板位置決め部１
の位置補正を行うものである。そして、ここでは画像デ
ータとして基板位置決め部１のクランパ８に設けられた
特徴点である認識マーク８ａ，８ｂを撮像することによ
って得られたものを用いる例を示している。
【００２４】以下、図５のフローに沿って説明する。ま
ず図４（ｂ）に示すクランパ８の認識マーク８ａ上にカ
メラ２０を移動し（ＳＴ１）、認識マーク８ａを撮像し
て得られた画像データに基づき認識マーク８ａの位置を
認識する（ＳＴ２）。そして図６（ａ）に示すように認
識マーク８ａの位置ずれ量ｘａ，ｙａを計算する（ＳＴ
３）。次いでカメラ２０をクランパ８の認識マーク８ｂ
上に移動し（ＳＴ４）、認識マーク８ｂを撮像し同様に
位置を認識する（ＳＴ５）。
ず図４（ｂ）に示すクランパ８の認識マーク８ａ上にカ
メラ２０を移動し（ＳＴ１）、認識マーク８ａを撮像し
て得られた画像データに基づき認識マーク８ａの位置を
認識する（ＳＴ２）。そして図６（ａ）に示すように認
識マーク８ａの位置ずれ量ｘａ，ｙａを計算する（ＳＴ
３）。次いでカメラ２０をクランパ８の認識マーク８ｂ
上に移動し（ＳＴ４）、認識マーク８ｂを撮像し同様に
位置を認識する（ＳＴ５）。
【００２５】これにより図６（ｂ）に示すように認識マ
ーク８ｂの位置ずれ量ｘｂ，ｙｂが求められ、図６
（ｃ）に示すようにこれらの認識マーク８ａ，８ｂを結
ぶ直線を求め、この直線のずれ角度θを求める（ＳＴ
６）。すなわち、これにより位置合わせ対象の平面上に
設けられた２点のうちの１点における位置ずれ量と、２
点を結ぶ直線のずれ角度が求められたことになり、２つ
の独立した直交座標系の相対的な位置関係を特定する位
置補正量が求められる。
ーク８ｂの位置ずれ量ｘｂ，ｙｂが求められ、図６
（ｃ）に示すようにこれらの認識マーク８ａ，８ｂを結
ぶ直線を求め、この直線のずれ角度θを求める（ＳＴ
６）。すなわち、これにより位置合わせ対象の平面上に
設けられた２点のうちの１点における位置ずれ量と、２
点を結ぶ直線のずれ角度が求められたことになり、２つ
の独立した直交座標系の相対的な位置関係を特定する位
置補正量が求められる。
【００２６】そして求められた位置ずれ量とずれ角度に
基づいて位置補正量を算出し、基板位置決め部１の動作
を制御するプログラム上のマシンパラメータを修正する
（ＳＴ７）。これにより、基板位置決め部１とカメラ２
０を移動させるＸ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル２２と
の動作上の相的関係が常に正しく保たれ、カメラ２０に
よる基板６の認識時の誤差を減少させることができる。
なお、上記例では、クランパ８に設けられた認識マーク
８ａ，８ｂを認識することにより位置ずれ補正を行うよ
うにしているが、サンプル基板をクランパ８に保持さ
せ、サンプル基板に設けられた認識マークを撮像して得
られた画像データを用いるようにしてもよい。
基づいて位置補正量を算出し、基板位置決め部１の動作
を制御するプログラム上のマシンパラメータを修正する
（ＳＴ７）。これにより、基板位置決め部１とカメラ２
０を移動させるＸ軸テーブル２１、Ｙ軸テーブル２２と
の動作上の相的関係が常に正しく保たれ、カメラ２０に
よる基板６の認識時の誤差を減少させることができる。
なお、上記例では、クランパ８に設けられた認識マーク
８ａ，８ｂを認識することにより位置ずれ補正を行うよ
うにしているが、サンプル基板をクランパ８に保持さ
せ、サンプル基板に設けられた認識マークを撮像して得
られた画像データを用いるようにしてもよい。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、スクリーンマスクおよ
び基板の双方の特徴点を単一の撮像手段で撮像するよう
にしたので、従来必要であった光学系の位置合わせを行
う必要がなく、高精度の位置認識を実現できる。また基
板位置決め手段の座標系と、撮像手段を移動させる移動
手段の座標系との位置ずれ量を撮像手段で取得した画像
データに基づいて求めるようにしたので、高精度の位置
合わせを効率よく行うことができる。更に、基板撮像時
にカメラと基板の相対位置の搬送方向への移動をカメラ
のみを移動させて行うようにしたので、基板位置決め部
の所要ストロークを短縮して装置のコンパクト化を図る
ことができる。
び基板の双方の特徴点を単一の撮像手段で撮像するよう
にしたので、従来必要であった光学系の位置合わせを行
う必要がなく、高精度の位置認識を実現できる。また基
板位置決め手段の座標系と、撮像手段を移動させる移動
手段の座標系との位置ずれ量を撮像手段で取得した画像
データに基づいて求めるようにしたので、高精度の位置
合わせを効率よく行うことができる。更に、基板撮像時
にカメラと基板の相対位置の搬送方向への移動をカメラ
のみを移動させて行うようにしたので、基板位置決め部
の所要ストロークを短縮して装置のコンパクト化を図る
ことができる。
【図１】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
側面図
側面図
【図２】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の
平面図
平面図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷
装置の部分平面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の部
分平面図
装置の部分平面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の部
分平面図
【図４】（ａ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷
装置の部分平面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の部
分平面図
装置の部分平面図 （ｂ）本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の部
分平面図
【図５】本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法に
おけるカメラと基板位置決め部との位置合わせのフロー
図
おけるカメラと基板位置決め部との位置合わせのフロー
図
【図６】（ａ）本発明の一実施の形態の認識マークの画
像図 （ｂ）本発明の一実施の形態の認識マークの画像図 （ｃ）本発明の一実施の形態の認識マークの画像図
像図 （ｂ）本発明の一実施の形態の認識マークの画像図 （ｃ）本発明の一実施の形態の認識マークの画像図
１ 基板位置決め部 ２ Ｘ軸テーブル ３ Ｙ軸テーブル ６ 基板 ６ａ、６ｂ 認識マーク ８ クランパ ８ａ、８ｂ 認識マーク １０ スクリーンマスク １２ マスクプレート １２ａ パターン孔 １２Ａ、１２Ｂ 開口部 １３ スキージユニット ２０ カメラ ２１ Ｘ軸テーブル ２２ Ｙ軸テーブル
フロントページの続き (72)発明者 時田 邦彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 村上 稔 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2C035 AA06 FA31 FB25 FB38 FD01 2C250 EB26 EB29
Claims (5)
- 【請求項１】パターン孔が設けられたスクリーンマスク
を基板に当接させ、このスクリーンマスク上にペースト
を供給してスキージを摺動させることにより、前記パタ
ーン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印
刷装置であって、前記基板を位置決めする基板位置決め
手段と、前記スクリーンマスクの特徴点および前記基板
の特徴点を上方より撮像する単一の撮像手段と、この撮
像手段を水平面内で移動させる移動手段とを備えたこと
を特徴とするスクリーン印刷装置。 - 【請求項２】パターン孔が設けられたスクリーンマスク
を基板に当接させ、このスクリーンマスク上にペースト
を供給してスキージを摺動させることにより、前記パタ
ーン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印
刷方法であって、前記基板を位置決めする基板位置決め
手段の座標系と、前記スクリーンマスクおよび基板を撮
像する撮像手段を移動させる移動手段の座標系との位置
ずれ量を前記撮像手段により取得した画像データに基づ
いて求め、前記位置ずれ量に基づいて前記基板位置決め
手段の位置補正を行うことを特徴とするスクリーン印刷
方法。 - 【請求項３】前記画像データは、前記基板位置決め手段
に設けられた特徴点を撮像して得られたものであること
を特徴とする請求項２記載のスクリーン印刷方法。 - 【請求項４】前記画像データは、基板位置決め手段に保
持された基板の特徴点を撮像して得られたものであるこ
とを特徴とする請求項２記載のスクリーン印刷方法。 - 【請求項５】パターン孔が設けられたスクリーンマスク
を基板に当接させ、このスクリーンマスク上にペースト
を供給してスキージを摺動させることにより、前記パタ
ーン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印
刷方法であって、前記基板の特徴点を撮像手段によって
撮像するために撮像手段を基板に対して相対的に移動さ
せる工程において、基板の搬送方向の移動は前記撮像手
段を移動させる移動手段によって行い、基板の搬送方向
と直交する方向の移動は、基板を位置決めする基板位置
決め手段によって行うことを特徴とするスクリーン印刷
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01281099A JP4364333B2 (ja) | 1999-01-21 | 1999-01-21 | スクリーン印刷方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01281099A JP4364333B2 (ja) | 1999-01-21 | 1999-01-21 | スクリーン印刷方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000211103A true JP2000211103A (ja) | 2000-08-02 |
| JP4364333B2 JP4364333B2 (ja) | 2009-11-18 |
Family
ID=11815754
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01281099A Expired - Fee Related JP4364333B2 (ja) | 1999-01-21 | 1999-01-21 | スクリーン印刷方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4364333B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103260881A (zh) * | 2010-10-19 | 2013-08-21 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN103269856A (zh) * | 2010-10-19 | 2013-08-28 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN103269855A (zh) * | 2010-10-19 | 2013-08-28 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN103847220A (zh) * | 2014-02-18 | 2014-06-11 | 昆山双特科技有限公司 | 一种网架与线路板定位装置 |
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|---|---|---|---|---|
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| GB2497056B (en) * | 2010-10-19 | 2018-01-17 | Panasonic Corp | Screen printing device and screen printing method |
| US20160057855A1 (en) * | 2013-04-15 | 2016-02-25 | Heptagon Micro Optics Pte. Ltd. | Accurate Positioning and Alignment of a Component During Processes Such as Reflow Soldering |
| CN112192960B (zh) * | 2020-09-17 | 2022-10-04 | 浙江天之元物流科技有限公司 | 自动纠偏印刷装置与自动纠偏印刷方法 |
-
1999
- 1999-01-21 JP JP01281099A patent/JP4364333B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103269855A (zh) * | 2010-10-19 | 2013-08-28 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN103269855B (zh) * | 2010-10-19 | 2014-11-12 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| CN103269856B (zh) * | 2010-10-19 | 2014-11-12 | 松下电器产业株式会社 | 丝网印刷装置和丝网印刷方法 |
| US8919249B2 (en) | 2010-10-19 | 2014-12-30 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Screen printing device and screen printing method |
| CN103847220A (zh) * | 2014-02-18 | 2014-06-11 | 昆山双特科技有限公司 | 一种网架与线路板定位装置 |
| CN103847220B (zh) * | 2014-02-18 | 2015-12-30 | 昆山双特科技有限公司 | 一种网架与线路板定位装置 |
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| JP4364333B2 (ja) | 2009-11-18 |
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