JP2013222915A - ペースト塗布装置及びペースト塗布方法並びにダイボンダ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の塗布エリア内にペーストを塗布描画する描画パターンは、少なくとも、前記塗布エリアの短辺の近くに、前記横方向に描画する第1の描画経路及び第5の描画経路、斜め方向に描画する第2の描画経路及び第4の描画経路、並びに第3の描画経路を有し、前記制御手段は、前記吐出手段及び前記移動手段を制御して、予め設定された描画開始点から描画終了点まで、前記第1の描画経路、前記第2の描画経路、前記第3の描画経路、前記第4の描画経路、及び前記第5の描画経路まで、連続して前記ペーストを塗布する。
【選択図】図6
Description
なお、塗布エリア101の形状は、一般的に、当該塗布エリアに接着するダイの形状と相似であり、図1の場合は、ダイも正方形の形状をしている。
また、特許文献1には、長方形(例えば、0.5mm×4mm)のダイにも適用可能と記載されているが、特に具体的な記載はない。
図2(a)は、このように、3つの直線状の描画経路208、209及び210で構成される。この結果、Z字状の描画経路によって、Z字状の塗布パターンが、基板面に形成された電極等の塗布エリア201上に形成される。この場合、塗布エリア201が長方形であるため、余白部215及び216の面積は、正方形の時よりも大きい。このため、ダイ接着時には、塗布されたペーストは余白部215及び216を完全には覆うことができず、濡れムラが発生する可能性がある。このことは、図2(b)に示すように、長方形の長手方向を図2(a)より短くした場合には、余白部225及び226の面積が小さくなることからも明らかである。
なお、塗布エリア201及び221の形状は、一般的に、当該塗布エリアに接着するダイの形状と相似であり、図2の場合は、ダイも塗布エリアと相似の長方形の形状をしている。
さらに、正方形のダイにおいても、そのサイズが大きくなるとZ字状の塗布パターンでは余白部分が大きくなるため、塗布パターンを見直し、濡れムラを改善する必要が生ずる。
なお、以下の説明は、本発明の一実施形態を説明するためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。従って、当業者であればこれらの各要素若しくは全要素をこれと均等なものに置換した実施形態を採用することが可能であり、これらの実施形態も本願発明の範囲に含まれる。
また、本書では、既に説明した図1及び図2を含め、以降の各図の説明において、共通な機能を有する構成要素には同一の参照番号を付し、説明を省略する。
図3のペースト塗布装置100において、架台1上には、X軸移動テーブル3が設けられ、このX軸移動テーブル3上には、これと直交するようにして、Y軸移動テーブル5が設けられている。このY軸移動テーブル5は、X軸移動テーブル3に設けられているX軸サーボモータ4の駆動により、X軸移動テーブル3上をX軸方向に移動する。Y軸移動テーブル5上には、基板保持機構7が設けられている。この基板保持機構7は、Y軸移動テーブル5に取り付けられているY軸サーボモータ6の駆動により、Y軸移動テーブル5上をY軸方向に移動する。また、基板保持機構7にθ軸移動テーブル8が取り付けられており、図示しないθ軸サーボモータによるθ軸移動テーブル8の回転駆動により、基板保持機構7がθ軸方向(Z軸廻りの回転方向)に回転駆動される。基板9は基板保持機構7に取り付けられ、X、Y、θ軸の各移動テーブル3、5、8のサーボモータの駆動により、X、Y軸方向に移動したり、θ軸方向に回転したりして所定の位置に位置決めされる。
例えば、Z軸テーブル支持架台2がガイドレール26上でY軸方向に移動するようにし、Z軸テーブル支持架台2にX軸方向移動用のガイドレール(図示しない)を設け、Z軸移動テーブル支持ブラケット10をガイドレールに沿って移動するようにしてX軸方向に移動しても良い。なお、駆動部についての図示も周知であり、省略する。
主制御部17は、各テーブル3、5、11のサーボモータ4、6、12やθ軸移動テーブル8のサーボモータなどを制御する。主制御部17での各種処理のためのデータは、キーボード20から入力される。また、画像認識カメラ15で捉えた画像や主制御部17での処理状況はモニタ19で表示される。また、キーボード20から入力されたデータなどは、外部記憶装置であるハードディスク18aやDVD18bなどの記憶媒体に記憶保管される。
上記のようなペースト塗布装置100は、例えば、後述するダイボンダに組み込まれる。
図4において、主制御部17は、CPU(Central Processing Unit)17a、モータコントローラ17b、モータドライバ17f〜17i、画像処理装置17e、及び外部インターフェース17dを内蔵している。ここで、画像処理装置17eは、画像認識カメラ15で得られる映像信号を処理する。また、外部インターフェース17dは、副制御部18との間の信号伝送やレギュレータ22a、23a、バルブユニット24の制御及び距離計16の測定入力を行なう。
また、CPU17aは、ROM17aa、RAM17ab、及び入出力部17acを備えている。ROM17aaは、主演算部での演算や塗布描画を行なうための処理プログラムを格納している。また、RAM17abは、主演算部での処理結果や外部インターフェース17d及びモータコントローラ17bからの入力データを格納する。また、入出力部17acは、ユーザの操作によって、外部インターフェース17dやモータコントローラ17bとデータをやり取りする。
また、ROM17aaには、ペーストを塗布する基板毎に、当該基板内の塗布エリア位置やペースト塗布情報などのプログラムデータが保存されている。なお、ペースト塗布情報には、塗布動作についてのデータであって、例えば、ペースト塗布描画経路、描画開始点、描画終了点、通過点、ノズルの移動速度、シリンジ13の種類、吐出圧力、ノズル13aの種類、吐出高さ等がある。
これらのデータのうち、対象基板のデータがRAM17abに読み出されて、ペースト塗布に使用される。
そしてCPU17aは、ROM17aaに保存された動作プログラムに従い、ペースト塗布装置100に関わる動作を統括制御する。
サーボモータ4、6、8a、12は、キーボード20から入力されてCPU17a内蔵のRAMに格納されているデータに基づいて、正逆回転する。これにより、基板保持機構7に保持された基板9が、Z軸移動テーブル11を介して支持されるノズル13aに対し、X、Y軸方向に任意の距離を移動する。その移動中、シリンジ13に僅かな気圧が継続して印加されることにより、ノズル13aの先端部のペースト吐出口から流動性材料であるペーストが吐出され、基板9の所定の塗布エリア内に所望の描画パターンが塗布描画される。この描画パターンは、基板9の塗布エリア毎に予め設定され、ROM等の記憶装置に格納されている。
この吐出圧制御機構により、バルブユニット24からシリンジ13内のペースト等の流動性材料に所望の圧力が加えられて、吐出圧が制御される構成となっている。
なお、ペースト塗布装置100は、各軸を駆動するモータにサーボモータを使用したが、DCモータ、リニアモータ、振動モータ、ステッピングモータ、ユニバーサルモータ等を使用することもできる。
図3において、まず、電源を投入すると、ステップS100では、ペースト塗布装置の初期設定が実行される。
この基板予備位置決め処理では、基板保持機構7に搭載された基板9の位置決め用マークを画像認識カメラ15で撮影し、その撮影画像から位置決め用マークの重心位置を画像処理で求めて、基板9のθ軸方向での傾きを検出し、これに応じてサーボモータ8aを駆動し、このθ軸方向の傾きも補正する。
なお、シリンジ13内のペースト等の流動性材料の残り量(内容量)が少ない場合には、次のペースト塗布作業の途中で流動性材料の途切れがないようにするために、前もってシリンジ13をノズル13aとともに交換する。シリンジ13やノズル13aを交換した場合には、X、Y軸面での位置ずれが生ずることがある。この位置ずれをなくすために、基板9でのパターンを形成しない領域で交換した新たなノズル13aを用いて十字マークの描画を行ない、この十字マークを画像認識カメラ15で撮影して、その撮影画像から十字マークの交点の重心位置を画像処理で求める。そして、この重心位置と基板9上の位置決め用マークの重心位置との間の距離を算出し、その算出結果をノズル13aの流動性材料吐出口の位置ずれ量(dx,dy)として、CPU17aに内蔵のRAMに格納する。これにより、基板予備位置決め処理(ステップS400)を終了する。
ノズル13aの位置ずれ量(dx,dy)は、後に行なうパターンの塗布描画動作時、ノズル13aの位置ずれを補正するために用いるものである。
このパターン描画処理では、塗布開始位置にノズル13aの流動性材料吐出口を位置付けるために、基板9を移動させ、ノズル13aの位置の比較および調整移動を行なう。このために、まず、先の基板予備位置決め処理(ステップS400)で得られてCPU17aのRAM17abに格納されたノズル13aの位置ずれ量(dx,dy)が、予め設定されたノズル13aの位置ずれ量の許容範囲(△X,△Y)にあるか否かの判断を行なう。
位置ずれ量(dx,dy)がこの許容範囲内(△X≧dxおよび△Y≧dy)にあれば、そのままとし、許容範囲外(△X<dxまたは△Y<dy)であれば、この位置ずれ量(dx,dy)を基に、基板9を移動させることにより、ノズル13aの流動性材料吐出口と基板9の所望位置との間のずれを解消させ、ノズル13aを所望位置に位置決めする。
ステップS600では、全ての基板について、塗布作業が終了したか否かを判定する。否であればステップS200に戻る。また、全ての基板について塗布作業が終了した場合には、装置の電源をオフする。
この結果、ノズル13aは、塗布エリア201の長手方向にほぼ平行な直線状の描画径路692を通過し、ほぼ直線状に長く描画塗布されるので、余白部(ペーストが塗布されない領域)は、塗布エリア201に対して小さくできる。この結果、ダイをボンディングしても、濡れムラを低減することができる。
この図6(b)の塗布エリア101及び描画パターンを、破線250によって、上下に等分に分割する。分割された縦方向の長さLmは、長さLsの2分の1である。この結果、図6(b)の上部は矢印251のように、図6(c)の上部に分離して配置でき、図6(b)の下部は矢印252のように、図6(c)の下部に分離して配置できる。
そして、上部と下部の間に、塗布エリア260及び描画パターン692を加えることによって、図6(a)の描画経路を構成できる。
そして、図6(a)で述べたように、描画開始点211(111)から描画終了点212(112)まで、描画経路208(108)、描画経路691、描画経路692、描画経路693、及び描画経路210(110)まで連続して塗布描画される。
なお、図6(a)または図6(b)の描画経路は、いずれも直線である。
また、上記実施例において、それぞれの描画経路から次の描画経路に移る場合の点(位置)で、ノズル13aが、所定時間停止しても良い。また、それぞれの描画経路における吐出条件(例えば、描画速度や吐出圧力等)を変更しても良い。これらの結果、最適なペースト塗布を実現することができる。
ダイボンダでは、基板9の塗布エリアにペースト塗布後、基板9は搬送路上のダイボンディング位置に送られて位置決めされる。そして塗布エリア内に塗布されたペースト上に、ボンディングヘッドのピックアップツールによってウェハからピックアップされたダイがボンディングされる。
このように、ダイボンダ710は、大別してウェハ供給部71と、ワーク供給・搬送部72と、ダイボンディング部73と、制御部735とを有する。
なお、図7には図示していないが、ダイボンダ710は、さらに、駆動機構、認識処理部、及びモニタを備え、制御部735と他の機器とはインターフェースを介して通信している。また、制御部735は、例えば、CPUであり、メモリとして、RAM及びROM(Read Only Memory)を接続した構成を備える(後述の図8参照。)。
また、制御部735は、ダイボンダ710のダイのピックアップ及びダイマウントに係る動作を統括制御する。
また、ワーク供給・搬送部72では、スタックローダ721によりフレームフィーダ722に供給されたワーク(リードフレーム、基板等)は、フレームフィーダ722上の2箇所の処理位置を介してアンローダ723に搬送される。
さらに、I/O基板820は、CPU基板801が装置の異常を検出した時に送信される制御信号を受信して、ブザー鳴動部821、および警報灯表示部822を制御して、ブザー鳴動および警報灯表示動作を起動させる。
またさらに、操作パネル830は、ダイボンダ710の表示部831を制御し、表示部831にデータ入力画面やエラー表示を行うデータ入力画面、およびエラーを表示させる。
さらにまた、ハードディスク840は、ダイボンダ710の制御プログラムを保存し、CPU基板801の制御に応じて、適宜、制御プログラム部841と、データの保存及び読み出しを行うためにデータの保存・読み出し部842とを制御する。
またさらに、通信基板850は、CPU基板801から送信される制御信号に基づいて、ディスペンサ部851を制御して、シリンジ13からペーストを吐出する。このディスペンサ部851によるペースト吐出動作は、プリフォームX軸モータ811、プリフォームY軸モータ812、及びプリフォームZ軸モータ813の動作に同期して、基板9上の塗布エリア101に、上述の図6示す描画パターンを形成する。
図9(a)の描画パターン901は、描画開始点902から、図6で説明した描画パターンの描画開始点211まで、右側下方向から斜めに描画する描画経路903を設け、かつ、図6で説明した描画パターンの描画終了点212から描画終了点909まで、左側上方向に斜めに描画する描画経路908を設けたものである。勿論、描画開始点211から描画終了点212まで、連続して描画塗布する。この結果、図9(b)に示すように、塗布エリア201上にペースト907が形成される。
また、図10は、本発明に使用する描画パターンの他の実施例である。図10は、図9の実施例の描画パターンを曲線状にしたものである。この図10に示すS字状の描画パターン1001のように、描画経路の一部またはすべてを曲線で描いても良い。なお、このように、左右逆に描画してよいことも勿論のことである。
図11もまた、本発明に使用する描画パターンの他の実施例である。即ち、図11の描画パターン1111、1112及び1113は、図6の実施例の描画経路692を上下への直線状ではなく、斜めに描画塗布するようにして、さらに、濡れムラを低減して、余白部を小さくするようにしたものである。
この結果、余白部を小さくすることができる。この結果、ダイをボンディングしても、濡れムラを低減することができる。
Claims (7)
- シリンジのノズルからペーストを吐出させる吐出手段、前記ノズルを基板の所定の塗布エリアに対して相対的に移動する移動手段、及び制御手段を備え、前記ノズルからペーストを吐出させて前記塗布エリア内に、当該ペーストを塗布するペースト塗布装置であって、
前記塗布エリアには、描画パターンが前記塗布エリア毎に予め設定され、前記描画パターンは、少なくとも、前記塗布エリアの横方向の辺の近くに、前記横方向に描画する第1の描画経路及び第5の描画経路、斜め方向に描画する第2の描画経路及び第4の描画経路、並びに第3の描画経路を有し、
前記制御手段は、前記吐出手段及び前記移動手段を制御して、予め設定された描画開始点から描画終了点まで、前記第1の描画経路、前記第2の描画経路、前記第3の描画経路、前記第4の描画経路、及び前記第5の描画経路まで、連続して前記ペーストを塗布することを特徴とするペースト塗布装置。 - 請求項1記載のペースト塗布装置において、前記塗布エリアは前記横方向の辺に対して長い縦方向の辺を有する長方形であることを特徴とするペースト塗布装置。
- 請求項1または2記載のペースト塗布装置において、前記第3の描画経路は、前記塗布エリアの前記横方向の辺に対し直角の方向であることを特徴とするペースト塗布装置。
- シリンジのノズルからペーストを吐出させる吐出手段、前記ノズルを基板の所定の塗布エリアに対して相対的に移動する移動手段、及び制御手段を備え、前記ノズルからペーストを吐出させて前記塗布エリア内に、当該ペーストを塗布するペースト塗布方法であって、
前記塗布エリアには、描画パターンが前記塗布エリア毎に予め設定され、前記描画パターンは、少なくとも、前記塗布エリアの横方向の辺の近くに、前記横方向に描画する第1の描画経路及び第5の描画経路、斜め方向に描画する第2の描画経路及び第4の描画経路、並びに第3の描画経路を有し、予め設定された描画開始点から描画終了点まで、前記第1の描画経路、前記第2の描画経路、前記第3の描画経路、前記第4の描画経路、及び前記第5の描画経路まで、連続して前記ペーストを塗布することを特徴とするペースト塗布方法。 - 請求項4記載のペースト塗布方法において、前記塗布エリアは前記横方向の辺に対して長い縦方向の辺を有する長方形であることを特徴とするペースト塗布方法。
- 請求項4または5記載のペースト塗布方法において、前記第3の描画経路は、前記塗布エリアの前記横方向の辺に対し直角の方向であることを特徴とするペースト塗布方法。
- ダイを供給するウェハ供給部と、基板を搬送するワーク供給・搬送部と、前記基板に接着剤をノズルから吐出することによって塗布エリア内にペーストを塗布するシリンジと前記シリンジを移動する駆動機構とを有するプリフォーム部と、前記ペーストを塗布された前記基板の前記塗布エリアに、前記ダイをボンディングするボンディングヘッド部と、前記ウェハ供給部、前記ワーク供給・搬送部、前記プリフォーム部、前記ボンディングヘッド部を制御する制御手段とを備えたダイボンダであって、
前記塗布エリアには、描画パターンが前記塗布エリア毎に予め設定され、前記描画パターンは、少なくとも、前記塗布エリアの横方向の辺の近くに、前記横方向に描画する第1の描画経路及び第5の描画経路、斜め方向に描画する第2の描画経路及び第4の描画経路、並びに第3の描画経路を有し、
前記プリフォーム部は、前記シリンジの前記ノズルからペーストを吐出させる吐出手段、前記ノズルを基板の所定の塗布エリアに対して相対的に移動する移動手段、及び制御手段を備え、前記ノズルからペーストを吐出させて前記塗布エリア内に、当該ペーストを塗布し、
前記制御手段は、前記吐出手段及び前記移動手段を制御して、予め設定された描画開始点から描画終了点まで、前記第1の描画経路、前記第2の描画経路、前記第3の描画経路、前記第4の描画経路、及び前記第5の描画経路まで、連続して前記ペーストを塗布することを特徴とするダイボンダ。
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