KR20170064856A - 카세트 이송 장치 및 상기 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법 - Google Patents

카세트 이송 장치 및 상기 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법 Download PDF

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Abstract

카세트 이송 장치는 가공 장치의 상방에 구비되며 지정된 경로를 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛에 구비되며, 상기 가공 장치의 포트로 카세트를 로딩 및 언로딩하기 위한 핸드 유닛과, 상기 주행 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛의 얼라인을 위해 상기 핸드 유닛을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 구동 유닛과, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 포트에 안착된 카세트의 식별 표시를 촬영하기 위한 촬상 유닛 및 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치와 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차 및 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 크기와 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 Z축 방향 오차를 연산하는 연산 유닛을 포함한다. 따라서, 상기 카세트 이송 장치는 상기 오차에 따라 상기 핸드 유닛을 이송하여 상기 핸드 유닛의 위치를 정렬할 수 잇다.

Description

카세트 이송 장치 및 상기 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법{Apparatus for transferring a cassette and method of aligning hand unit of the apparatus}
본 발명은 카세트 이송 장치 및 상기 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다수의 기판들이 적재된 카세트를 가공 장치로 이송하기 위한 카세트 이송 장치 및 상기 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 카세트 이송 장치를 이용하여 기판들이 적재된 카세트를 상기 기판에 대한 가공 공정을 수행하는 가공 장치의 포트로 로딩하거나, 상기 가공 장치의 포트로부터 언로딩한다. 이때, 상기 카세트 이송 장치는 상기 가공 장치의 상방에 배치될 수 있다.
상기 카세트의 로딩 및 언로딩이 이루어지기 전에 상기 카세트 이송 장치에서 상기 카세트를 파지하는 핸드 유닛의 위치를 정렬한다. 따라서, 상기 카세트 이송 장치가 상기 카세트를 상기 가공 장치의 포트에 정확하게 로딩 및 언로딩할 수 있다.
상기 핸드 유닛의 위치 정렬은 기준이 되는 지점이 없다. 따라서, 작업자가 수작업으로 상기 포트에 대해 상기 핸드 유닛의 위치를 정렬한다.
상기 핸드 유닛의 위치 정렬이 수작업으로 이루어지므로, 작업자의 숙련도에 따라 상기 핸드 유닛의 위치 오차가 발생하며, 상기 핸드 유닛의 위치 정렬에 소요되는 시간이 길어질 수 있다.
본 발명은 핸드 유닛의 위치 정렬을 신속하고 정확하게 수행할 수 있는 카세트 이송 장치를 제공한다.
본 발명은 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 카세트 이송 장치는 가공 장치의 상방에 구비되며 지정된 경로를 따라 주행하는 주행 유닛과, 상기 주행 유닛에 구비되며, 상기 가공 장치의 포트로 카세트를 로딩 및 언로딩하기 위한 핸드 유닛과, 상기 주행 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛의 얼라인을 위해 상기 핸드 유닛을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 구동 유닛과, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 포트에 안착된 카세트의 식별 표시를 촬영하기 위한 촬상 유닛 및 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치와 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차 및 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 크기와 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 Z축 방향 오차를 연산하는 연산 유닛을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 이송 장치는 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛의 기울기 및 가속도를 측정하기 위한 센서 유닛을 더 포함하며, 상기 연산 유닛은 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시와 상기 식별 표시가 촬영될 때 상기 센서 유닛에서 측정된 상기 핸드 유닛의 기울기 및 가속도를 이용하여 상기 핸드 유닛이 수평 상태에서의 식별 표시의 좌표를 연산할 수 있다.
본 발명에 따른 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법은 핸드 유닛에 구비된 촬상 유닛로 가공 장치의 포트에 안착된 카세트의 식별 표시를 촬영하는 단계와, 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치와 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차를 연산하는 단계와, 상기 X축 및 Y축 방향 오차만큼 상기 핸드 유닛을 상기 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 상기 핸드 유닛의 수평 위치를 보정하는 단계 및 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 크기와 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 Z축 방향 오차를 연산하는 단계와, 상기 Z축 방향 오차만큼 상기 핸드 유닛을 Z축 방향으로 이동하여 상기 핸드 유닛의 수직 위치를 보정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법은 상기 카세트의 식별 표시를 촬영시 상기 핸드 유닛이 흔들리는 경우, 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시와 상기 식별 표시가 촬영될 때 상기 센서 유닛에서 측정된 상기 핸드 유닛의 기울기 및 가속도를 이용하여 상기 핸드 유닛이 수평일 때의 상기 식별 표시의 좌표를 연산하는 단계를 더 포함하고, 상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차 연산 및 Z축 방향 오차 연산시 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치 및 현재 크기 대신에 상기 식별 표시의 좌표를 이용할 수 있다.
본 발명에 따르면, 카세트 이송 장치는 촬상 유닛으로 카세트의 식별 표시를 촬영하고, 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시를 기준으로 상기 카세트에 대해 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 연산하고, 상기 연산 결과에 따라 상기 핸드 유닛의 수평 방향 위치 및 수직 방향 위치를 보정한다. 따라서, 상기 핸드 유닛의 위치 정렬을 신속하고 정확하게 수행할 수 있다.
또한, 상기 핸드 유닛이 흔들리는 경우에도 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시와 상기 식별 표시가 촬영될 때 상기 센서 유닛에서 측정된 상기 핸드 유닛의 기울기 및 가속도를 이용하여 상기 핸드 유닛이 수평일 때의 상기 식별 표시의 좌표를 연산할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 정지 상태가 아닌 경우에도 상기 핸드 유닛의 위치 정렬을 신속하고 정확하게 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트 이송 장치를 이용한 핸드 유닛의 정렬 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 카세트 이송 장치 및 상기 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 1을 참조하면, 카세트 이송 장치(100)는 주행 유닛(110), 핸드 유닛(120), 구동 유닛(130), 촬상 유닛(140), 센서 유닛(150) 및 연산 유닛(160)을 포함한다.
주행 유닛(110)은 지정된 경로, 즉, 천장에 고정되는 레일(10)을 따라 주행한다. 주행 유닛(110)은 레일(10)을 따라 이동하기 위한 롤러(112) 및 롤러(112)를 회전시키기 위한 구동부(미도시)를 포함할 수 있다.
주행 유닛(110)이 천장에 고정되는 레일(10)을 따라 주행하므로, 주행 유닛(110)은 기판(미도시)을 가공하기 위한 가공 장치(20)의 상방에 구비될 수 있다.
핸드 유닛(120)은 주행 유닛(110)에 구비되며, 주행 유닛(110)이 주행할 때 다수의 기판들이 적재된 카세트(30)를 고정한다. 또한, 핸드 유닛(120)은 Z축 방향으로 이동 가능하도록 구비된다. 핸드 유닛(120)이 Z축 방향을 따라 승강하면서 카세트(30)를 가공 장치(20)의 포트(40)로 로딩하거나, 가공 장치(20)의 포트(40)로부터 카세트(30)를 언로딩할 수 있다.
구동 유닛(130)은 주행 유닛(110)에 구비되며, 핸드 유닛(120)을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시킨다. 즉, 구동 유닛(130)은 핸드 유닛(120)을 수평 방향 및 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
구동 유닛(130)이 핸드 유닛(120)을 Z축 방향, 즉, 수직 방향을 따라 승강시킴으로써 핸드 유닛(120)이 카세트(30)를 로딩 및 언로딩할 수 있다.
또한, 구동 유닛(130)이 핸드 유닛(120)을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시킴으로써 핸드 유닛(120)을 정렬할 수 있다. 따라서, 핸드 유닛(120)이 카세트(30)를 정확한 위치에 로딩 및 언로딩할 수 있다.
촬상 유닛(140)은 핸드 유닛(120)의 하부면에 구비되며, 가공 장치(20)의 포트(40)에 안착된 카세트(30)의 식별 표시를 촬영합니다. 상기 식별 표시는 카세트(30)의 상부면에 위치할 수 있습니다. 상기 식별 표시로는 큐알 코드가 사용되는 것이 바람직하며, 일정한 형태를 갖는 기호가 사용될 수도 있습니다.
센서 유닛(150)은 핸드 유닛(120)에 구비되며, 핸드 유닛(120)의 기울기 및 가속도를 측정한다. 센서 유닛(150)을 이용하여 핸드 유닛(120)이 정지된 상태인지 흔들리고 있는 상태인지를 확인할 수 있다. 또한, 핸드 유닛(120)이 흔들리고 있는 상태인 경우, 센서 유닛(150)에 측정되는 기울기 및 가속도를 이용하여 핸드 유닛(120)이 흔들리는 방향 및 핸드 유닛(120)이 기울어진 정도를 확인할 수 있다.
연산 유닛(160)은 촬상 유닛(140)과 연결되며, 촬상 유닛(140)에서 촬영된 식별 표시의 이미지를 전달받는다. 또한, 연산 유닛(160)은 핸드 유닛(120)이 기 설정된 기준 위치에 위치할 때 촬상 유닛(140)으로 촬영한 식별 표시의 기준 위치와 기준 크기에 대한 정보를 저장한다.
연산 유닛(160)은 촬상 유닛(140)에서 촬영된 식별 표시의 이미지로부터 획득되는 상기 식별 표시의 현재 위치와 기 저장된 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교할 수 있다. 따라서, 연산 유닛(160)은 상기 식별 표시의 기준 위치와 상기 식별 표시의 현재 위치의 차이를 이용하여 카세트(30)에 대해 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차를 연산할 수 있다.
또한, 연산 유닛(160)은 촬상 유닛(140)에서 촬영된 식별 표시의 이미지로부터 획득되는 상기 식별 표시의 현재 크기와 기 저장된 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교할 수 있다. 따라서, 연산 유닛(160)은 상기 식별 표시의 기준 크기와 상기 식별 표시의 현재 크기의 차이를 이용하여 카세트(30)에 대해 핸드 유닛(120)의 Z축 방향 오차를 연산할 수 있다.
연산 유닛(160)에서 연산된 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차에 따라 구동 유닛(130)이 핸드 유닛(120)을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시켜 핸드 유닛(120)의 수평 위치 및 수직 위치를 보정할 수 있다. 따라서 핸드 유닛(120)을 정확한 위치에 정렬할 수 있다.
연산 유닛(160)의 연산 결과를 이용하여 핸드 유닛(120)의 위치를 정렬하므로, 핸드 유닛(120)의 위치 정렬을 신속하고 정확하게 수행할 수 있다.
그리고, 연산 유닛(160)은 센서 유닛(150)으로부터 카세트(30)의 식별 표시가 촬영될 때 측정된 핸드 유닛(120)의 기울기 및 가속도에 대한 정보를 전달받는다.
핸드 유닛(120)이 흔들리고 있는 상태인 경우, 연산 유닛(160)은 촬상 유닛(140)에서 촬영된 식별 표시의 이미지와 상기 식별 표시가 촬영될 때 센서 유닛(150)에서 측정된 기울기 및 가속도에 대한 정보를 이용하여 핸드 유닛(120)이 수평 상태일 때 상기 촬영된 식별 표시의 좌표를 연산한다. 핸드 유닛(120)이 수평 상태일 때는 핸드 유닛(120)의 기울기 및 가속도가 0이 된다.
핸드 유닛(120)이 흔들리고 있는 상태인 경우, 연산 유닛(160)은 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차 연산 및 Z축 방향 오차 연산시 촬상 유닛(120)에서 촬영된 식별 표시의 이미지로부터 획득되는 현재 위치 및 현재 크기 대신에 상기 식별 표시의 좌표를 이용할 수 있다.
따라서, 핸드 유닛(120)이 흔들리고 있는 상태에서도 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 연산하여 핸드 유닛(120)의 수평 방향 및 수직 방향 위치를 보정할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 카세트 이송 장치를 이용한 핸드 유닛의 정렬 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 먼저, 핸드 유닛(120)에 구비된 촬상 유닛(140)으로 가공 장치(20)의 포트(40)에 안착된 카세트(30)의 식별 표시를 촬영한다.(S110)
이때, 핸드 유닛(120)은 임의의 위치에 위치할 수 있다. 또한, 핸드 유닛(120)은 흔들리지 않고 정지된 수평 상태일 수 있다.
이후, 촬상 유닛(140)에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치와 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교하여 카세트(30)에 대해 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차를 연산한다.(S120)
구체적으로, 촬상 유닛(140)에서 촬영된 식별 표시의 이미지를 연산 유닛(160)이 전달받는다. 연산 유닛(160)은 상기 촬영된 식별 표시의 이미지로부터 상기 식별 표시의 현재 위치를 획득하고, 상기 식별 표시의 현재 위치와 기 저장된 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교할 수 있다. 따라서, 상기 식별 표시의 기준 위치와 상기 식별 표시의 현재 위치의 차이를 이용하여 연산 유닛(160)은 카세트(30)에 대해 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차, 즉, 수평 방향 오차를 연산할 수 있다.
다음으로, 상기 X축 및 Y축 방향 오차만큼 핸드 유닛(120)을 상기 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 핸드 유닛(120)의 수평 위치를 보정한다.(S130)
구체적으로, 연산 유닛(160)에서 연산된 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차에 따라 구동 유닛(130)이 핸드 유닛(120)을 X축, Y축 방향으로 이동시킨다. 따라서, 핸드 유닛(120)의 수평 위치를 보정할 수 있다.
또한, 촬상 유닛(120)에서 촬영된 식별 표시의 크기와 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교하여 카세트(30)에 대해 핸드 유닛(120)의 Z축 방향 오차를 연산한다.(S140)
구체적으로, 연산 유닛(160)은 상기 촬영된 식별 표시의 이미지로부터 상기 식별 표시의 현재 크기를 획득하고, 상기 식별 표시의 현재 크기와 기 저장된 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교할 수 있다. 따라서, 상기 식별 표시의 기준 크기와 상기 식별 표시의 현재 크기의 차이 및 촬상 유닛(140)의 배율을 이용하여 연산 유닛(160)은 카세트(30)에 대해 핸드 유닛(120)의 Z축 방향 오차, 즉, 수직 방향 오차를 연산할 수 있다.
다음으로 상기 Z축 방향 오차만큼 핸드 유닛(120)을 Z축 방향으로 이동하여 핸드 유닛(120)의 수직 위치를 보정한다.(S150)
구체적으로, 연산 유닛(160)에서 연산된 핸드 유닛(120)의 Z축 방향 오차에 따라 구동 유닛(130)이 핸드 유닛(120)을 Z축 방향으로 이동시킨다. 따라서, 핸드 유닛(120)의 수직 위치를 보정할 수 있다.
한편, 촬상 유닛(140)으로 카세트(30)의 식별 표시를 촬영할 때, 핸드 유닛(120)이 흔들린 경우, 촬상 유닛(120)에서 촬영된 식별 표시 이미지와 상기 식별 표시가 촬영될 때 센서 유닛(150)에서 측정된 핸드 유닛(120)의 기울기 및 가속도를 이용하여 핸드 유닛(120)이 수평일 때의 상기 식별 표시의 좌표를 연산한다.
또한, 핸드 유닛(120)이 흔들리고 있는 상태인 경우, 연산 유닛(160)은 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차 연산 및 Z축 방향 오차 연산시, 촬상 유닛(120)에서 촬영된 이미지로부터 획득되는 식별 표시의 현재 위치 및 현재 크기 대신에 상기 연산된 식별 표시의 좌표를 이용할 수 있다.
따라서, 핸드 유닛(120)이 흔들리고 있는 상태에서도 핸드 유닛(120)의 X축 및 Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 연산하여 핸드 유닛(120)의 수평 방향 및 수직 방향 위치를 보정할 수 있다.
상술한 바와 같이, 카세트 이송 장치 및 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법에 따르면, 핸드 유닛이 정지 상태이거나 흔들리고 있는 상태에서도 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차 및 Z축 방향 오차를 연산하고, 상기 연산 결과에 따라 상기 핸드 유닛의 수평 방향 위치 및 수직 방향 위치를 보정한다. 따라서, 상기 핸드 유닛의 위치 정렬을 신속하고 정확하게 수행할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 카세트 이송 장치
110 : 주행 유닛
120 : 핸드 유닛
130 : 구동 유닛
140 : 촬상 유닛
150 : 센서 유닛
160 : 연산 유닛
10 : 레일
20 : 가공 장치
30 : 카세트
40 : 포트

Claims (4)

  1. 가공 장치의 상방에 구비되며 지정된 경로를 따라 주행하는 주행 유닛;
    상기 주행 유닛에 구비되며, 상기 가공 장치의 포트로 카세트를 로딩 및 언로딩하기 위한 핸드 유닛;
    상기 주행 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛의 얼라인을 위해 상기 핸드 유닛을 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동시키기 위한 구동 유닛;
    상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 포트에 안착된 카세트의 식별 표시를 촬영하기 위한 촬상 유닛; 및
    상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치와 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차 및 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 크기와 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 Z축 방향 오차를 연산하는 연산 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛의 기울기 및 가속도를 측정하기 위한 센서 유닛을 더 포함하며,
    상기 연산 유닛은 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시와 상기 식별 표시가 촬영될 때 상기 센서 유닛에서 측정된 상기 핸드 유닛의 기울기 및 가속도를 이용하여 상기 핸드 유닛이 수평 상태에서의 식별 표시의 좌표를 연산하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치.
  3. 핸드 유닛에 구비된 촬상 유닛로 가공 장치의 포트에 안착된 카세트의 식별 표시를 촬영하는 단계;
    상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치와 상기 식별 표시의 기준 위치를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차를 연산하는 단계;
    상기 X축 및 Y축 방향 오차만큼 상기 핸드 유닛을 상기 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 상기 핸드 유닛의 수평 위치를 보정하는 단계;
    상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 크기와 상기 식별 표시의 기준 크기를 비교하여 상기 카세트에 대해 상기 핸드 유닛의 Z축 방향 오차를 연산하는 단계; 및
    상기 Z축 방향 오차만큼 상기 핸드 유닛을 Z축 방향으로 이동하여 상기 핸드 유닛의 수직 위치를 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 카세트의 식별 표시를 촬영시 상기 핸드 유닛이 흔들리는 경우, 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시와 상기 식별 표시가 촬영될 때 상기 센서 유닛에서 측정된 상기 핸드 유닛의 기울기 및 가속도를 이용하여 상기 핸드 유닛이 수평일 때의 상기 식별 표시의 좌표를 연산하는 단계를 더 포함하고,
    상기 핸드 유닛의 X축 및 Y축 방향 오차 연산 및 Z축 방향 오차 연산시 상기 촬상 유닛에서 촬영된 식별 표시의 현재 위치 및 현재 크기 대신에 상기 식별 표시의 좌표를 이용하는 것을 특징으로 하는 카세트 이송 장치의 핸드 유닛 정렬 방법.
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