JP5947406B2 - 変形計測装置並びにシート処理装置 - Google Patents
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Description
各視野の中心位置間距離は図5に示した距離Lであるので、8bの相対位置は(dXb+L、dYb)、8cの相対位置は(dXc、dYc+L)、8dの相対位置は(dXd+L、dYd+L)で表される。このようにして算出された相対位置情報がパターン8の位置情報を記録するパターン位置記録手段86に記録される。
[数1]
δabx=dXa+dXb+M−L
δaby=dYa+dYb (1)
同様にして、パターン8aと8cの間の変形量δacx、δacy、8cと8dの間の変形量δcdx、δcdy、8dと8bの間の変形量δdbx、δdbyを算出することができる。
[数2]
Δabx=(dXa+dXb+M−L)/M
Δaby=(dYa+dYb)/M
同様にして、パターン8aと8cの間の変形量Δacx、Δacy、8cと8dの間の変形量Δcdx、Δcdy、8dと8bの間の変形量Δdbx、Δdbyを算出することができる。
[数3]
δax=((H+L/2(sinθx+sinθy))tanθy)
+L/2(1−cosθy)
δay=((H+L/2(sinθx+sinθy))tanθx)
+L/2(1−cosθx) (3)
同様に、パターン8bのX軸方向とY軸方向の検出位置の誤差δbx、δbyは、(4)式で示される。
[数4]
δbx=((H+L/2(sinθx−sinθy))tanθy)
−L/2(1−cosθy)
δby=((H+L/2(sinθx−sinθy))tanθx)
+L/2(1−cosθx) (4)
となる。
[数5]
δabx=Lsinθytanθy+L(1−cosθy)
δaby=Lsinθytanθx (5)
一方、1台の位置検出カメラ3により、パターン8a、8b間の変形を計測する場合を考える。パターン8aの計測時におけるX軸方向のカメラ傾斜角をθ1ax、Y軸方向のカメラ傾斜角をθ1ayとすると、パターン8aのX軸方向の検出位置の誤差δ1axとY軸方向の検出位置の誤差δ1ayは、(6)式で示される。
[数6]
δ1ax=Hsinθ1ay
δ1ay=Hsinθ1ax (6)
パターン8aの計測後、パターン8bを計測するため、位置検出カメラ3はパターン8b上に移動するため、移動により位置検出カメラ3傾斜角が変化する。パターン8b計測時のX軸方向のカメラ傾斜角をθ1bx、Y軸方向のカメラ傾斜角をθ1byとするとし、パターン8bのX軸方向の検出位置の誤差δ1bxとY軸方向の検出位置の誤差δ1byは、(7)式で示される。
[数7]
δ1bx=Hsinθ1by
δ1by=Hsinθ1bx (7)
よって、1台の位置検出カメラ3により求めたパターン8a、8b間の変形量の計測誤差δ1abxとδ1abyは、(8)式で示される。
[数8]
δ1abx=Hsinθ1ay+Hsinθ1by
δ1acx=Hsinθ1ax+Hsinθ1bx (8)
ここで、カメラ保持筐体4及び位置検出カメラ3の傾斜角が、例えば1度以下と微小な場合を考える。角度θが微小の場合、sinθ、cosθ、tanθは、(9)式で示される。
[数9]
sinθ≒θ
cosθ≒1−θθ/2
tanθ≒θ (9)
よって、パターン8a、8bの距離、つまり変形量の計測誤差は、(10)式で示される。
[数10]
δabx≒3Lθyθy/2
δaby≒ Lθyθx (10)
一方、1台の位置検出カメラ3により測定した時に生じるパターン8a、8b間の距離、つまり変形量の計測誤差は、(11)式で示される。
[数11]
δ1abx≒H(θ1ay+θ1by)
δ1acx≒H(θ1ax+θ1bx) (11)
ここで、変形量もしくは歪み率の計測誤差を定量的に考えてみる。位置検出カメラ3と測定対象7との距離Hとパターン形成時におけるパターン8a、8b間の距離Mが仮に等しいとする。複数台の位置検出カメラ3をカメラ保持筐体4に固定保持した状態で計測すると、カメラ保持筐体4の傾斜角θxとθyを約0.003rad以下、つまり、約0.17度以下に抑えることにより、カメラ保持筐体4が傾斜したことによる測定対象7の変形量もしくは歪み率の計測誤差を比率にして10−5レベル以下に抑えることができる。
搬送モータ102によって駆動されるローラ(121、122、131、132)が複数台備え付けられている。図8のシート搬送機構101において、測定対象7であるシートSは、搬送モータ102によって、図8中の左から右へ搬送される。なお、本発明のシート搬送機構101の適用事例はこの例に限らない。要するに搬送の途中、加工の前段に変形計測装置2を含み、その検出した変形を後段の加工に反映させるものであれば何でもよい。
Claims (11)
- 複数のパターンを記したシート状の測定対象の変形量を計測する変形計測装置であって、
前記シート状の測定対象の表面を撮影する複数のカメラを固定配置しているカメラ保持筺体と、該カメラ保持筺体を前記シート状の測定対象の表面に平行な面上で移動させるカメラ保持筺体移動手段と、該カメラ保持筺体移動手段を前記シート状の測定対象の表面に平行な面上で位置制御するカメラ保持筺体位置制御手段と、該カメラ保持筺体位置制御手段が定めた位置の情報と前記カメラの撮影した撮影情報を用いて前記シート状の測定対象の変形量を算出する変形状態解析手段とを備えていることを特徴とする変形計測装置。 - 請求項1記載の変形計測装置であって、
前記カメラ保持筺体位置制御手段は、前記複数のカメラの視野内に前記パターンが入る位置に位置制御することを特徴とする変形計測装置。 - 請求項2記載の変形計測装置であって、
前記シート状の測定対象の表面に記された複数のパターン間の距離、及び前記複数のカメラ間の距離が予め知られており、前記変形状態解析手段は前記複数のカメラの視野内に撮影された前記パターン間の相対距離に応じて前記シート状の測定対象の変形量を計測することを特徴とする変形計測装置。 - 請求項3記載の変形計測装置であって、
前記カメラによる撮影、及び撮影情報を用いた変形量算出処理を、前記シート状の測定対象の複数個所で実施し、前記シート状の測定対象の変形量を得ることを特徴とする変形計測装置。 - 複数のパターンを記したシート状の測定対象を搬送して、変形量を計測して、シート処理を実行するために、張力制御部と、変形計測部と、シート処理部を備えたシート処理装置であって、
前記張力制御部は、前記複数のパターンを記したシート状の測定対象の搬送方向の張力を制御する張力調整手段を備え、
前記変形計測部は、前記シート状の測定対象の表面を撮影する複数のカメラを固定配置しているカメラ保持筺体と、該カメラ保持筺体を前記シート状の測定対象の表面に平行な面上で移動させるカメラ保持筺体移動手段と、該カメラ保持筺体移動手段を前記シート状の測定対象の表面に平行な面上で位置制御するカメラ保持筺体位置制御手段と、該カメラ保持筺体位置制御手段が定めた位置の情報と前記カメラの撮影した撮影情報を用いて前記シート状の測定対象の変形量を算出する変形状態解析手段と、該変形状態解析手段で求めた変形量に応じてシート張力を定め前記張力調整手段に与えるシート張力演算部と、前記変形状態解析手段で求めた変形量に応じてシート位置を修正する修正位置情報を前記シート処理部に与えるシート位置修正演算部を備え、
前記シート処理部は、前記変形状態解析手段のシート位置修正演算部が求めたシート上の処理位置を定めて所定の処理を実行する処理手段を備えていることを特徴とするシート処理装置。 - 請求項5記載のシート処理装置であって、
前記カメラ保持筺体移動手段は、前記シート状の測定対象の表面に平行な面上での移動を含む3次元の移動を行うことを特徴とするシート処理装置。 - 請求項5、または請求項6記載のシート処理装置であって、
前記変形計測部において変形を計測する時の前記シートは、シート固定保持部により固定されており、計測したシートの変形状態を保ったまま、後段の前記シート処理部へ搬送されることを特徴とするシート処理装置。 - 請求項5から請求項7のいずれか1項に記載のシート処理装置であって、
前記変形計測部を含む搬送過程の前後に張力遮断部を備え、更に上流側もしくは下流側の他の領域でのシートの張力の影響を排除することを特徴とするシート処理装置。 - 請求項1記載の変形計測装置であって、
測定対象の面外方向の位置を計測可能な距離センサを有し、該距離センサは前記測定対象の表面に平行に移動可能な距離センサ移動手段を有することを特徴とする変形計測装置。 - 請求項9記載の変形計測装置であって、
測定対象の表面に平行に移動可能な距離センサ移動手段と、前記カメラ保持筺体移動手段が同一体に組み込まれていることを特徴とする変形計測装置。 - 請求項1記載の変形計測装置であって、
前記カメラ保持筺体移動手段が、移動可能に構成された範囲内において、前記測定対象を平面固定保持する測定対象平面保持手段を有することを特徴とする変形計測装置。
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