KR102059437B1 - Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬방법 - Google Patents

Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 또는 마스크 상에 구비되는 얼라인먼트 마크의 제작상의 오차에 관계없이 기판과 마스크 사이의 정렬을 정확히 수행할 수 있는 Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬 방법에 관한 것으로, 본 발명은 기판과 마스크를 정렬시키는 정렬방법에 있어서, 기판 얼라인 마크와 마스크 얼라인 마크를 인식하는 인식단계와, Z축 비틀림 정도에 따른 오프셋 량을 추가로 차감 또는 증가시키는 1차 보정단계와, 인식단계에서 획득한 화상 데이터를 이용하여 산출된 상기 기판 얼라인 마크와 상기 마스크 얼라인 마크 간의 정렬 이동량에 근거하여 이동 수단을 제어하고 상기 기판 혹은 상기 마스크를 이동시킨 정렬 공정을 1회 또는 수회 반복하여 얼라인이 이루어지도록 하는 2차 보정단계와, 상기 이동수단을 제어하여 기판과 마스크를 합착시키는 합착단계를 포함함으로써, 기판과 마스크를 정렬시킬 때 발생할 수 있는 Z축 비틀림 정도를 검출하여 오프셋을 미리 설정해주는 1차 보정단계를 거친 후 기판과 마스크의 마크를 이용하여 보정하는 2차 보정단계가 수행되도록 하여, 기판과 마스크가 보다 정밀하게 정렬되고, 1차 보정단계에 의하여 2차 보정 시 시간이 감소하므로 전체 보정시간을 감소시키는 효과가 있다.

Description

Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬방법{A Method for Aligning Substrate with Mask}
본 발명은 Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 또는 마스크 상에 구비되는 얼라인먼트 마크의 제작상의 오차에 관계없이 기판과 마스크 사이의 정렬을 정확히 수행할 수 있는 Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬 방법에 관한 것이다.
최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광을 받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 EL(Organic Electro Luminescence) 등이 대표적이다.
그 중에서도, 최근에는 저전압 구동, 자기발광, 경량 박형, 광시야각, 빠른 응답속도 등의 장점을 갖는 유기 EL(Organic Electro Luminescence)이 각광받고 있는 추세인데, 유기 EL 소자는 고휘도 등의 성능을 구현하기 위해 단위 화소의 크기가 작아지고 있다.
한편, 평판표시소자를 제작함에 있어서 포토리소그래피 공정, 식각, 증착 등의 단위 공정이 필수적으로 적용된다. 이와 같은 단위 공정들이 정상적으로 수행되기 위해서는 해당 단위 공정의 대상물인 기판과 상기 기판으로부터 소정 거리만큼 상부로 이격되어 있는 마스크(mask)가 정확히 정렬(alignment)되어야 한다. 상기 기판과 마스크의 정렬이 정확히 이루어지지 않은 상태에서 포토리소그래피 공정, 식각, 증착 등의 공정이 진행되면 전극의 단락, 과식각 등의 문제점이 발생된다.
통상, 기판과 마스크 각각에는 얼라인먼트 마크가 구비되어 있어 이를 통해 기판과 마스크 사이의 정렬 과정을 진행한다. 그러나, 기판과 마스크 각각에 구비되는 얼라인먼트 마크는 제작 과정에서 최초 설계된 위치에서 다소 벗어난 위치에 구비된다. 또한, 얼라인먼트 마크의 틀어짐은 제작과정에서의 오차뿐만 아니라 실제 마스크 혹은 기판이 놓여지는 마스크 홀더 및 기판 홀더와의 공차에 의해서도 발생가능한데, 이러한 오차는 '포지션 위치 오차'이며, 제작과정에서 발생하는 오차는 '제작 오차'라고 할 수 있다.
그러나, 평판표시소자의 화소가 작아짐에 따라 정렬 마진(alignment margin) 역시 작아져 정확한 정렬 과정의 진행이 더욱 요구된다고 할 수 있다.
이와 관련된 종래의 기술로서, 한국 등록특허 제1104608호에는 기판 또는 마스크 상에 구비되는 얼라인먼트 마크의 제작상의 오차에 관계없이 기판과 마스크 사이의 정렬을 정확히 수행할 수 있는 얼라인먼트 방법이 개시되어 있다.
그러나, 선행문헌에서는 각 쌍의 마크끼리 서로 연결하여 동일 평면 상에 가상의 3개의 선을 설정하고, 상기 3개의 선이 서로 겹쳐지지 않도록 기판과 마스크를 예비 정렬함으로써, 기판과 마스크를 정렬시키는 방법이 복잡하고, 얼라인먼트 마크의 위치를 정밀하게 감지하기 어려운 경우에는 기판의 정렬 오류가 발생할 수 있는 문제점이 있었다.
한국등록특허 제1104608호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로서, 기판과 마스크를 정렬시킬 때 발생할 수 있는 Z축 비틀림 정도를 검출하여 오프셋을 미리 설정해주는 1차 보정단계를 거친 후 기판과 마스크의 마크를 이용하여 보정하는 2차 보정단계가 수행되도록 하여, 기판과 마스크가 보다 정밀하게 정렬될 수 있도록 하는 기판과 마스크 정렬방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 최초 1회의 Z축 비틀림 정도를 데이터 베이스(DB)화하여 2회부터 얼라인(정렬)하기 전에 미리 Z축 비틀림 정도를 보정하므로 전체적으로 정렬시간을 단축시킬 수 있는 기판과 마스크 정렬방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 안출한 것으로서, 기판과 마스크를 정렬시키는 정렬방법에 있어서, 기판 얼라인 마크와 마스크 얼라인 마크를 인식하는 인식단계와, Z축 비틀림 정도에 따른 오프셋 량을 추가로 차감 또는 증가시키는 1차 보정단계와, 인식단계에서 획득한 화상 데이터를 이용하여 산출된 상기 기판 얼라인 마크와 상기 마스크 얼라인 마크 간의 정렬 이동량에 근거하여 이동 수단을 제어하고 상기 기판 혹은 상기 마스크를 이동시킨 정렬 공정을 1회 또는 수회 반복하여 얼라인이 이루어지도록 하는 2차 보정단계와, 상기 이동수단을 제어하여 기판과 마스크를 합착시키는 합착단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판과 마스크 정렬방법이 제공된다.
본 발명에 있어서, 최초 정렬되는 1번째 기판은 상기 1차 보정단계 전에 Z축 비틀림 정도를 검사하는 확인단계를 진행하고, 상기 확인단계에서 검사된 Z축 비틀림 정도를 데이터 베이스(DB)화하여 2회부터 정렬되는 2번째 기판부터는 상기 데이터 베이스에 따른 오프셋 량을 추가로 차감 또는 증가시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 합착단계 이후 합착된 결과를 확인하는 검사단계와, 기판 증착공정 수행단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 1차 보정단계 또는 2차 보정단계는 X축, Y축 및 θ축의 3축으로 정렬할 수 있다.
여기서, 상기 기판과 마스크를 정렬시키기 위해 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 X-Y스테이지와, 상기 기판과 마스크를 정렬시키기 위해 θ각도로 회전하는제2 Z축을 이용하여 X축, Y축 및 θ축의 3축으로 정렬할 수 있다.
또한, 상기 인식단계에서는 광학수단을 이용하여 인식할 수 있다.
여기서, 상기 광학수단은 CCD 카메라와, 상기 CCD 카메라를 X축, Y축 및 θ축 방향으로 구동하는 카메라 구동부를 포함한다.
이상에서 살펴본 본 바와 같은 본 발명에 의하면, 기판과 마스크를 정렬시킬 때 발생할 수 있는 Z축 비틀림 정도를 검출하여 오프셋을 미리 설정해주는 1차 보정단계를 거친 후 기판과 마스크의 마크를 이용하여 보정하는 2차 보정단계가 수행되도록 하여, 기판과 마스크가 보다 정밀하게 정렬될 수 있도록 하는 효과가 있다.
또한, 최초 1회의 Z축 비틀림 정도를 데이터 베이스(DB)화하여 2회부터는 Z축 비틀림 정도를 검출없이 미리 설정하여 진행하므로 2차 보정단계의 속도를 빠르게 수행하게 되어 이에 따라 전체 정렬 속도가 증가하고, 정렬시간을 단축시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판과 마스크 정렬방법을 설명하기 위한 박막증착장치의 자동정렬장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명에서의 박막증착장치의 자동정렬장치를 도시한 단면도이다.
도 3는 본 발명의 실시예에 따른 기판과 마스크 정렬방법의 흐름도이다.
도 4는 본 발명에 따른 얼라인 알고리즘을 설명하기 위한 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 얼라인 알고리즘을 설명하기 위한 도면으로서, Dx, Dy를 계산하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 얼라인 알고리즘을 이용하여 기판과 마스크를 얼라인하는 방법을 나타내는 흐름도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 이때 도면에 도시되고 설명되는 본 발명의 구성과 작용은 적어도 하나의 실시예로서 설명되는 것이며, 이것에 의해서 본 발명의 기술적 사상과 그 핵심 구성 및 작용이 제한되지는 않는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판과 마스크 정렬방법을 설명하기 위한 박막증착장치의 자동정렬장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에서의 박막증착장치의 자동정렬장치를 도시한 단면도이고, 도 3는 본 발명의 실시예에 따른 기판과 마스크 정렬방법의 흐름도이고, 도 4는 본 발명에 따른 얼라인 알고리즘을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 기판 또는 마스크 상에 구비되는 얼라인먼트 마크의 제작상의 오차에 관계없이 기판과 마스크 사이의 정렬을 정확히 수행할 수 있는 Z축 비틀림 보정이 포함된 기판과 마스크 정렬 방법에 관한 것으로, 기판과 마스크를 합착시키기 위해 기판과 마스크의 위치를 정확히 정렬(alignment)하기 위한 장치에 적용된다.
본 발명의 자동정렬장치는 도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 마그넷 플레이트(3)를 승하강시키는 제1 Z축(10)과, 상기 제1 Z축(10)을 구동시키기 위한 제1 Z축 구동부(12)와, 상기 기판(S)과 마스크(6)를 정렬시키기 위해 θ각도로 회전하는 제2 Z축(20)과, 상기 제2 Z축(20)을 구동시키기 위한 제2 Z축 구동부(22)와, 상기 제1 Z축과 상기 제2 Z축을 승하강시키는 제3 Z축(30)과, 상기 제3 Z축(30)을 구동시키기 위한 제3 Z축 구동부(32)를 포함한다.
상기 제1 Z축(10)은 마그넷 플레이트(3)와, 기판홀더(50)를 승강시키기 위한 축으로서, 도 2에서 보는 바와 같이, Z축(상하) 방향으로 설치되며, 상기 제2 Z축(20) 내부에 삽입되게 설치된다.
즉, 상기 제1 Z축(10)은 내축으로, 상기 제2 Z축(20)은 외축으로 이루어지며, 상기 제1 Z축(10)과 제2 Z축(20)은 동심으로 설치되는 것이다.
상기 제2 Z축(20)은 θ축으로서, 증착 공정 중에는 회전축으로 사용되고, 기판(S)과 마스크(6) 얼라인 시에는 θ각을 위한 θ축으로 사용된다. 즉, 본 발명은 증착 공정 중에 회전으로 사용하는 회전축과 얼라인을 위한 θ축이 동일한 것이다.
또한, 상기 마스크(6)를 로딩하는 어셈블리의 쿨링을 위해 상기 제2 Z축(20)의 외주면에는 로테이션 조인트(Rotation Joint)가 설치될 수 있다.
한편, 상기 제3 Z축(30)은 기판(S)과 마스크(6) 로딩 시 전체 기구물을 승강시키는 것으로, 상기 제1 Z축(10)과 제2 Z축(20)을 모두 승강시키게 구성된다.
이와 같은 본 발명의 자동정렬장치는 상기 기판(S)과 마스크(6)를 정렬시키기 위해 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 X-Y스테이지(40)와, 상기 기판(S)을 잡아주는 기판 홀더(50)와, 증착 챔버에 고정되어 있으며, 기판(S)을 고정시킨 후 마스크(6)를 정렬시키는 정밀정렬부와, 상기 기판(S)과 마스크(6)와의 정렬이 이루어지도록 상기 제1 Z축 구동부(12), 제2 Z축 구동부(22) 및 제3 Z축 구동부(32)를 제어하는 제어부(도시하지 않음)를 더 포함한다.
상기 X-Y 스테이지(40)는 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 것으로, Z축 플레이트(34)가 설치되어 상기 제3 Z축 구동부(32)에 의해 상기 Z축 플레이트가 이동되도록 할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 자동정렬장치는 기판(S)과 마스크(6)의 얼라인을 위해서 3축으로 구동한다. 즉, X축, Y축 및 각도조절을 위한 θ축이 필요한 것이다. 여기서, X축과 Y축의 이동은 상기 X-Y 스테이지(40)에서 이루어지고, θ축의 이동은 상기 제2 Z축(20)에서 이루어진다.
여기서, 상기 제어부는 상기 기판을 고정시킨 후 상기 마스크를 이동시켜 상기 정밀정렬부 상에서 마스크와의 정렬이 이루어지도록 할 수 있다.
상기 기판과 마스크에 형성된 마크를 인식하기 위한 광학수단으로 카메라가 설치될수 있다. 상기 카메라는 CCD 카메라가 적용가능하며, 상기 CCD 카메라를 X-Y 방향으로 구동하는 카메라 구동부와, 상기 CCD카메라를 상기 챔버의 외측에 고정하는 고정부재를 포함할 수 있다.
본 발명의 기판과 마스크를 정렬시키는 정렬방법은 기판 얼라인 마크와 마스크 얼라인 마크를 인식하는 인식단계(S100)와, Z축 비틀림 정도에 따른 오프셋 량을 추가로 차감 또는 증가시키는 1차 보정단계(S200)와, 인식단계에서 획득한 화상 데이터를 이용하여 산출된 상기 기판 얼라인 마크와 상기 마스크 얼라인 마크 간의 정렬 이동량에 근거하여 이동 수단을 제어하고 상기 기판 혹은 상기 마스크를 이동시킨 정렬 공정을 1회 또는 수회 반복하여 얼라인이 이루어지도록 하는 2차 보정단계(S400)와, 상기 이동수단을 제어하여 기판과 마스크를 합착시키는 합착단계를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 1차 보정단계(S200) 후 인식단계에서 획득한 화상 데이터를 이용하여 마스크 얼라인 마크와 기판 얼라인 마크 간의 정렬 이동량을 산출하는 산출단계(S300)와, 산출단계의 산출 데이터를 토대로 하여 상기 이동수단을 제어하여 기판과 마스크가 정렬되도록 이동시키는 이동단계(S500)를 더 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명에서는 마그넷 플레이트와 마스크를 업다운시키는 Z축 구동부로 인해 발생하는 Z축 비틀림을 보정하는 1차 보정단계(S200)를 갖는 것에 그 특징이 있다.
본 발명에 있어서, 최초 정렬되는 1번째 기판은 상기 1차 보정단계(S200) 전에 Z축 비틀림 정도를 검사하는 확인단계를 진행하고, 상기 확인단계에서 검사된 Z축 비틀림 정도를 데이터 베이스(DB)화하여 2회부터 정렬되는 2번째 기판부터는 상기 데이터 베이스에 따른 오프셋 량을 추가로 차감 또는 증가시키는 것을 특징으로 한다.
한편, 본 발명은 상기 합착단계 이후 합착된 결과를 확인하는 검사단계와, 기판 증착공정 수행단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 1차 보정단계(S200) 또는 2차 보정단계(S400)는 X축, Y축 및 θ축의 3축으로 상기 기판과 마스크를 정렬시키며, X축 및 Y축 방향으로 이동하는 X-Y스테이지(40)와, 상기 기판과 마스크를 정렬시키기 위해 θ각도로 회전하는 제2 Z축(20)을 이용하여 X축, Y축 및 θ축의 3축으로 정렬할 수 있다.
도 4는 본 발명에 따른 얼라인 알고리즘을 설명하기 위한 도면이고, 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 얼라인 알고리즘을 설명하기 위한 도면으로서, Dx, Dy를 계산하는 방법을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 본 발명의 얼라인 알고리즘을 이용하여 기판과 마스크를 얼라인하는 방법을 나타내는 흐름도이다.
얼라인 알고리즘은 비젼 시스템(Vision System)을 이용하여 상판과 하판(본 발명에서는 기판과 마스크)를 정렬할 때 얼라인 완료판정 기준으로 사용되는 것으로, 본 발명의 얼라인 알고리즘은 기판과 마스크의 정렬 이외에도 LCD 상하 결합, 노광기 필름과 기판의 결합 등의 상?하판을 정렬하는 모든 경우에 사용이 가능하다.
또한, 얼라인 알고리즘에 의하면 상판과 하판의 크기가 다른 경우 사이즈 불량 양을 계산하여 불량관리를 할 수 있고, X축 및 Y축에 관한 얼라인 판정 기준을 달리하여 중요도에 따라 X축과 Y축에 대하여 각각 관리가 가능하다.
또한, 정밀도를 요하는 축은 정밀하게 관리하고, 그렇지 않은 축은 간략하게 관리하여 얼라인 시간을 단축할 수 있다.
이와 같은 얼라인 알고리즘을 설명하기 위한 용어를 설명하면 다음과 같다.
Dx : 중심점을 기준으로 발생한 X축으로 발생한 오차,
Dy : 중심점을 기준으로 발생한 Y축으로 발생한 오차,
Dt : 중심점을 기준으로 틀어진 각,
Ex : 각을 포함하여 X축으로 고쳐야 할 얼라인 미스(Miss)량,
Ey : 각을 포함하여 Y축으로 고쳐야 할 얼라인 미스(Miss)량,
E : 총 얼라인 미스량,
S1 : 카메라1에서 사이즈 오차,
S2 : 카메라 2에서 사이즈 오차.
<사이즈 같고 각이 a만큼 틀어진 경우>(도 3의 (a))
Dx=0, Dy=0, Dt=a,
Ex= r*cos(a)
Ey=r*sin(a)
S1=0, S2=0
E=
Figure 112013053723996-pat00001
여기서, r은 중심에서 마크간 거리이다.
<사이즈가 커지고 각이 a만큼 틀어진 경우>(도 3의 (b))
Dx=0, Dy=0, Dt=a,
Ex= r*cos(a)
Ey=r*sin(a)
S1=S1, S2=S2
E=
Figure 112013053723996-pat00002

<사이즈 같고 x, y, (a)만큼 틀어진 경우>(도 3의 (c))
Dx=x, Dy=y, Dt=a,
Ex= Dx +r*cos(a)
Ey= Dy +r*sin(a)
S1=0, S2=0
E=
Figure 112013053723996-pat00003

<사이즈가 커지고 x, y, (a)만큼 틀어진 경우>(도 3의 (d))
Dx=x, Dy=y, Dt=a,
Ex= Dx +r*cos(a)
Ey= Dy +r*sin(a)
S1=S1, S2=S2
E=
Figure 112013053723996-pat00004
상기에서 보는 바와 같이, 사이즈가 변경되어도 고쳐야 할 얼라인 미스량은 일정하다.
이와 같은 얼라인 판정 기준은 다음과 같다.
|Dx|< X축 허용오차
|Dy|< Y축 허용오차
|Dt|< T축 허용오차
Ex< X축으로 고쳐야 할 얼라인 미스 허용오차
Ey< Y축으로 고쳐야 할 얼라인 미스 허용오차
E< 고쳐야 할 얼라인 미스 허용오차
또한, 사이즈 불량 판별의 판정 기준은 다음과 같다.
S1< 사이즈 불량 허용 오차
S2< 사이즈 불량 허용 오차
이와 같은 본 발명에서, Dx, Dy, Dt값을 이용하여 얼라인한다.
또한, Ex, Ey, E값을 이용하여 얼라인 성공여부를 판정한다. 여기서, Ex, Ey(얼라인 미스 허용오차) 값을 이용하여 X, Y축 얼라인 정밀도를 조절할 수 있다.
얼라인 판정 기준에 의해 얼라인은 완료되지만 사이즈 불량 허용치에 이상이 되어얼리안을 실패할 수 있다. 본 발명은 이와 같은 제품 불량에 의한 대량 불량을 막을 수 있다.
이후에는 Dx, Dy의 계산 방법에 대해 설명하도록 한다.
<사이즈가 같은 경우, Dx=-10, Dy=0, Dt=0>(도 4의 (a))
Dx=(dx2+dx1)/2=-10
<사이즈가 다른 경우, Dx=-10, Dy=0, Dt=0>(도 4의 (b))
사이즈가 20 팽창한 경우,
Dx=(dx2+dx1)/2=-10
<사이즈가 같은 경우 정렬(+10 이송)>(도 4의 (c))
Dx=(dx2+dx1)/2=0
<사이즈가 다른 경우 정렬(+10 이송)>(도 4의 (d))
사이즈가 20 팽창한 경우,
Dx=(dx2+dx1)/2=0
여기서, dx1의 사이즈 불량 10, dx2의 사이즈 불량 10, 얼라인 정밀도는 0이다.
<사이즈가 같은 경우, Dx=0, Dy=10, Dt=0>(도 5의 (a))
Dy=(dy2+dy1)/2=10
<사이즈가 다른 경우, Dx=-10, Dy=0, Dt=0>(도 5의 (b))
사이즈가 20 팽창한 경우,
Dy=(dy2+dy1)/2=-10
<사이즈가 같은 경우 정렬(-10 이송)>(도 5의 (c))
Dy=(dy2+dy1)/2=0
<사이즈가 다른 경우 정렬(-10 이송)>(도 5의 (d))
사이즈가 20 팽창한 경우,
Dy=(dy2+dy1)/2=0
여기서, dy1의 사이즈 불량 10, dy2의 사이즈 불량 10, 얼라인 정밀도는 0이다.
<사이즈가 같고 Dx=-10, Dy=0, Dt=10 인 경우>(도 5의 (e))
Dx=(dx2+dx1)/2=-10
도 6은 본 발명의 얼라인 알고리즘을 이용하여 기판과 마스크를 얼라인하는 방법을 나타내는 흐름도로서, 본 발명의 얼라인 알고리즘을 이용하여 기판과 마스크를 정렬하기 위해서는 먼저, 기판과 마스크를 로딩한 후, 얼라인 정밀도를 입력한다.
오차를 측정하여, 측정된 오차(Dx, Dy, Dt) 만큼 이동한다.
이후, 얼라인 정밀도를 판정하여 측정된 오차(Dx, Dy, Dt, Ex, Ey, E)가 X축, Y축, T축 허용 오차 및 X축 얼라인 미스 허용 오차, Y축 얼라인 미스 허용 오차, 총 얼라인 허용 오차의 범위 내에 있으면 사이즈 불량을 판별한다.
사이즈 불량이 허용 오차의 범위 내에 있으면 공정을 진행하고, 사이즈 불량이 허용 오차의 범위를 초과하면 상기 기판과 마스크를 언로딩한다.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.
S100 : 인식단계 S200 : 1차 보정단계
S300 : 산출단계 S400 : 2차 보정단계
S500 : 이동단계

Claims (7)

  1. 기판과 마스크를 정렬시키는 정렬방법에 있어서,
    기판 얼라인 마크와 마스크 얼라인 마크를 인식하는 인식단계;
    Z축 비틀림 정도에 따른 오프셋 량을 추가로 차감 또는 증가시키는 1차 보정단계;
    인식단계에서 획득한 화상 데이터를 이용하여 산출된 상기 기판 얼라인 마크와 상기 마스크 얼라인 마크 간의 정렬 이동량에 근거하여 이동 수단을 제어하고 상기 기판 혹은 상기 마스크를 이동시킨 정렬 공정을 1회 또는 수회 반복하여 얼라인이 이루어지도록 하는 2차 보정단계; 및
    상기 이동수단을 제어하여 기판과 마스크를 합착시키는 합착단계;를 포함하며,
    최초 정렬되는 1번째 기판은 상기 1차 보정단계 전에 Z축 비틀림 정도를 검사하는 확인단계를 진행하고, 상기 확인단계에서 검사된 Z축 비틀림 정도를 데이터 베이스(DB)화하여 2회부터 정렬되는 2번째 기판부터는 상기 데이터 베이스에 따른 오프셋 량을 추가로 차감 또는 증가시키고,
    상기 인식단계에서는 광학수단을 이용하여 인식하되,
    상기 광학수단은,
    CCD 카메라와, 상기 CCD 카메라를 X축, Y축 및 θ축 방향으로 구동하는 카메라 구동부를 포함하는 기판과 마스크 정렬방법.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 합착단계 이후 합착된 결과를 확인하는 검사단계; 및
    기판 증착공정 수행단계;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판과 마스크 정렬방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 1차 보정단계 또는 2차 보정단계는 X축, Y축 및 θ축의 3축으로 정렬하는 것을 특징으로 하는 기판과 마스크 정렬방법.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 기판과 마스크를 정렬시키기 위해 X축 및 Y축 방향으로 이동하는 X-Y스테이지와,
    상기 기판과 마스크를 정렬시키기 위해 θ각도로 회전하는 제2 Z축을 이용하여 X축, Y축 및 θ축의 3축으로 정렬하는 것을 특징으로 하는 기판과 마스크 정렬방법.
  6. 삭제
  7. 삭제
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