KR102028977B1 - 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법 - Google Patents

영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 영상 표시패널의 검사 시스템에 관한 것으로 특히, 영상 표시패널의 불량 여부를 자동 검사 및 판정하면서도 검사 장치들 간의 불량 검출위치 좌표 부정합을 개선하여 검사시간 및 작업인원을 최소화시키고 불량 판정에 대한 신뢰도를 높일 수 있도록 한 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법에 관한 것으로, 복수의 검사 유닛을 구비하여 영상 표시패널들을 스캐닝하고 결함 위치들에 대한 후보군을 설정하는 제 1 검사 장비; 상기 복수의 검사 유닛을 각각 제어하고 각 검사 유닛에서 검출된 결함 후보군들의 결함 위치 좌표를 설정하는 리뷰 제어 호스트; 복수의 고정밀 검사유닛을 이용하여 상기 결함 위치 좌표에 따른 상기 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 제 2 검사 장비; 및 제 2 검사 장비로 상기 결함 위치 좌표를 전송함과 아울러 상기 각 고정밀 검사유닛으로부터의 결함 정보에 따라 상기 결함 위치 좌표의 보정 오프셋을 설정 및 갱신하여 상기 복수의 고정밀 검사유닛을 제어하는 고정밀 제어 호스트를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법{SYSTEM AND METHOD FOR TESTING IMAGE DISPLAY DEVICE}
본 발명은 영상 표시패널의 검사 시스템에 관한 것으로 특히, 영상 표시패널의 불량 여부를 자동 검사 및 판정하면서도 검사 장치들 간의 불량 검출위치 좌표 부정합을 개선하여 검사시간 및 작업인원을 최소화시키고 불량 판정에 대한 신뢰도를 높일 수 있도록 한 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다.
최근, 퍼스널 컴퓨터, 휴대용 단말기, 및 모바일 통신기기 등에 사용되는 영상 표시장치로 경량 박형의 평판 표시장치(Flat Panel Display)가 주로 이용되고 있다. 이러한, 평판 표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 유기 발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel), 전계방출 표시장치(Field Emission Display) 등이 대두되고 있다.
이러한 평판 표시장치를 이루는 각각의 영상 표시패널 즉, 액정 패널이나 유기 발광 표시패널 등은 별도의 구동 회로부나 전원 공급부 등과 조립되는 모듈 조립공정에 들어가기에 앞서 검사과정을 통해 불량 여부를 판별하게 된다. 이러한 불량 검사는 오토 프로브 장치(Auto-Probe Apparatus) 등의 검사 장치를 이용하여 외관 및 전기적 불량 여부를 검사하게 된다.
종래의 검사 시스템은, 영상 표시패널의 각 화소 결함 여부를 검사하는 검사 장비단, 및 검사 결과 기판에 결함이 발생한 경우, 이를 수리하기 위한 수리 시스템(repair system)을 포함한다. 여기서, 검사 장비단은 영상 표시패널의 각 화소 결함 여부를 검사하는 1차 검차 장비들과 1차 검사 장비들을 통해 발견된 결함을 더욱 정밀하게 재확인하는 2차 검사 장비들을 포함한다. 1차 검사 장비들은 영상 표시패널의 정렬 마트를 기준으로 결함 위치들에 대한 후보군 좌표들을 확보하고, 2차 검사 장비들은 후보군 좌표들로 결함 위치들을 정밀하게 재확인하게 된다.
하지만, 종래에는 1차 검사 장비들과 2차 검사 장비들 간에 결함 위치에 대한 좌표 부정합이 발생하게 된다. 이는, 1차 장비들과 2차 장비들 간에 정렬 오차가 존재하면서도 영상 표시패널의 모델별로 정렬 오차 및 좌표 편차가 존재하기 때문에 결함 위치를 설정한 좌표 부정합을 감수할 수밖에 없었다. 이렇게 좌표 편차가 발생하게 되면, 검사 관리자들이 2차 검사 장비들을 수정으로 제어하여 부정합한 좌표들의 주변을 다시 검사하고, 좌표 보정 값을 수동을 입력 및 저장하기도 하였다. 하지만, 이렇게 좌표 부정함 편차가 발생할 때마다 검사 관리자들이 수동으로 검사 장비들을 조작하면, 검사 시간이 증가하고 작업 효율이 떨어져 불량 판정에 대한 신뢰도가 저하되는 등의 문제들이 발생하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로 특히, 영상 표시패널의 불량 여부를 자동 검사 및 판정하면서도 검사 장치들 간의 불량 검출위치 좌표 부정합을 개선하여 검사시간 및 작업 관리인원을 최소화시키고 불량 판정에 대한 신뢰도를 높일 수 있도록 한 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 검사 시스템은 복수의 검사 유닛을 구비하여 영상 표시패널들을 스캐닝하고 결함 위치들에 대한 후보군을 설정하는 제 1 검사 장비; 상기 복수의 검사 유닛을 각각 제어하고 각 검사 유닛에서 검출된 결함 후보군들의 결함 위치 좌표를 설정하는 리뷰 제어 호스트; 복수의 고정밀 검사유닛을 이용하여 상기 결함 위치 좌표에 따른 상기 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 제 2 검사 장비; 및 제 2 검사 장비로 상기 결함 위치 좌표를 전송함과 아울러 상기 각 고정밀 검사유닛으로부터의 결함 정보에 따라 상기 결함 위치 좌표의 보정 오프셋을 설정 및 갱신하여 상기 복수의 고정밀 검사유닛을 제어하는 고정밀 제어 호스트를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 고정밀 제어 호스트는 상기 고정밀 검사유닛들로 상기 결함 위치 좌표 또는 상기 보정 오프셋을 적용하여 보정된 결함 위치 좌표를 공급하여 상기 각 고정밀 검사유닛들의 결함 위치 검출을 제어하는 고정밀 검사 유닛 제어부, 상기 고정밀 검사유닛들로부터 입력되는 촬영 영상과 결함 형태를 포함한 결함 정보를 상기 결함 위치 좌표와 비교하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표의 정합 여부를 판별하는 좌표 정합 판별부, 및 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표 간의 부정합 보정 오프셋을 검출 및 갱신하는 오프셋 갱신 저장부를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 고정밀 검사 유닛 제어부는 초기 제어시 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 상기 결함 위치 좌표를 바로 상기 고정밀 검사유닛들로 공급하여 결함 위치 검출을 제어하고, 상기 오프셋 갱신 저장부로부터 상기 보정 오프셋이 입력되면 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 결함 위치 좌표에 상기 보정 오프셋을 적용하여 입력되는 결함 위치 좌표를 보정하고, 보정된 결함 위치 좌표를 상기 각 고정밀 검사유닛들로 공급하여 상기 결함 위치 검출을 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 오프셋 갱신 저장부는 상기 결함 정보에 포함된 고정밀 촬영 영상과 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표의 비교 결과에 따라, 상기 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표를 기준으로 결함 화소의 부정합 좌표를 고정밀 촬영 장비에서 지원하는 최소 단위로 검출하여 서브 화소 단위의 상기 보정 오프셋을 검출 및 갱신한 것을 특징으로 한다.
상기 각각의 고정밀 검사유닛은 상기 영상 표시패널이 로딩되는 로딩부와 고정밀 카메라가 설치된 비젼부 및 결함 위치를 리페어하는 리페어 장치를 포함하고, 상기 결함 정보를 분석한 고정밀 제어 호스트의 제어에 따라 상기 서브 화소의 결함을 리페어(Defects Repair)하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 액정표시장치의 검사 방법은 복수의 검사 유닛을 구비한 제 1 검사 장비를 이용하여 영상 표시패널들을 스캐닝하고 결함 위치들에 대한 후보군을 설정하는 단계; 리뷰 제어 호스트를 이용하여 상기 복수의 검사 유닛을 각각 제어하고 각 검사 유닛에서 검출된 결함 후보군들의 결함 위치 좌표를 설정하는 단계; 복수의 고정밀 검사유닛을 구비한 제 2 검사 장비를 이용하여 상기 결함 위치 좌표에 따른 상기 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 단계; 및 고정밀 제어 호스트를 이용하여 상기 제 2 검사 장비에 상기 결함 위치 좌표를 전송함과 아울러 상기 각 고정밀 검사유닛으로부터의 결함 정보에 따라 상기 결함 위치 좌표의 보정 오프셋을 설정 및 갱신하여 상기 복수의 고정밀 검사유닛을 제어하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 복수의 고정밀 검사유닛 제어 단계는 고정밀 검사 유닛 제어부를 이용하여 상기 고정밀 검사유닛들 각각에 상기 결함 위치 좌표 또는 상기 보정 오프셋을 적용하여 보정된 결함 위치 좌표를 공급하여 상기 각 고정밀 검사유닛들의 결함 위치 검출을 제어하는 단계, 좌표 정합 판별부를 이용하여 상기 고정밀 검사유닛들로부터 입력되는 촬영 영상과 결함 형태를 포함한 결함 정보를 상기 결함 위치 좌표와 비교하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표의 정합 여부를 판별하는 단계, 및 오프셋 갱신 저장부를 이용하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표 간의 부정합 보정 오프셋을 검출 및 갱신하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 각 고정밀 검사유닛들의 결함 위치 검출을 제어하는 단계는 초기 제어시 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 상기 결함 위치 좌표를 바로 상기 고정밀 검사유닛들로 공급하여 결함 위치 검출을 제어하고, 상기 오프셋 갱신 저장부로부터 상기 보정 오프셋이 입력되면 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 결함 위치 좌표에 상기 보정 오프셋을 적용하여 입력되는 결함 위치 좌표를 보정하고, 보정된 결함 위치 좌표를 상기 각 고정밀 검사유닛들로 공급하여 상기 결함 위치 검출을 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 부정합 보정 오프셋을 검출 및 갱신하는 단계는 상기 결함 정보에 포함된 고정밀 촬영 영상과 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표의 비교 결과에 따라, 상기 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표를 기준으로 결함 화소의 부정합 좌표를 고정밀 촬영 장비에서 지원하는 최소 단위로 검출하여 서브 화소 단위의 상기 보정 오프셋을 검출 및 갱신한 것을 특징으로 한다.
상기 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 단계는 상기 각각의 고정밀 검사유닛에 구비된 상기 영상 표시패널 로딩부와 고정밀 카메라가 설치된 비젼부 및 결함 위치를 리페어하는 리페어 장치를 이용하여, 상기 결함 정보를 분석한 고정밀 제어 호스트의 제어에 따라 상기 서브 화소의 결함을 리페어(Defects Repair)하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법은 영상 표시패널의 불량 여부를 자동 검사 및 판정하면서도 검사 장치들 간의 불량 검출위치 좌표 부정합을 개선하여 검사시간 및 작업 관리인원을 최소화시키고, 불량 판정에 대한 신뢰도를 향상시킬 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시장치의 검사 시스템을 나타낸 구성도.
도 2는 도 1에 도시된 영상 표시장치의 검사 시스템을 이용한 검사 방법을 나타낸 순서도.
도 3은 도 1의 고정밀 제어 호스트를 구체적으로 나타낸 구성도.
도 4는 도 3데 도시된 고정밀 제어 호스트의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도.
도 5는 결함 위치 좌표의 부정합 판별 방법과 보정 오프셋 생성 방법을 설명하기 위한 도면.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법을 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시장치의 검사 시스템을 나타낸 구성도이다. 그리고, 도 2는 도 1에 도시된 영상 표시장치의 검사 시스템을 이용한 검사 방법을 나타낸 순서도이다.
먼저, 도 1에 도시된 검사 시스템은 복수의 검사 유닛(11,12,13)을 구비하여 영상 표시패널들을 스캐닝하고 결함 위치들에 대한 후보군을 설정하는 제 1 검사 장비(13), 복수의 검사 유닛(11,12,13)을 각각 제어하고 각 검사 유닛(11,12,13)에서 검출된 결함 후보군들의 결함 위치 좌표(DCS)를 설정하는 리뷰 제어 호스트(4); 복수의 고정밀 검사유닛(21.22,23)을 이용하여 결함 위치 좌표(DCS)에 따른 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 제 2 검사 장비(6); 및 제 2 검사 장비(6)로 상기 결함 위치 좌표(DCS)를 전송함과 아울러 각 고정밀 검사유닛(21.22,23)으로부터의 결함 정보(IM)에 따라 결함 위치 좌표(DCS)의 보정 오프셋(Offset)을 설정 및 갱신하여 상기 복수의 고정밀 검사유닛(21.22,23)을 제어하는 고정밀 제어 호스트(8)를 구비한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 제 1 검사 장비(13)는 복수의 검사 유닛(11,12,13)을 이용하여 순차적으로 로딩되는 영상 표시패널들을 스캔하고 결함 위치들에 대한 후보군을 설정한다.(S1) 각각의 검사 유닛(11,12,13)에는 영상 표시패널이 로딩되는 로딩부와 영상 검출 카메라가 설치된 비젼부 및 카메라에 입력된 신호를 분석하기 위한 컴퓨터 시스템 등이 구비된다. 이에, 각각의 검사 유닛(11,12,13)은 로딩 된 영상 표시패널의 전면을 수평 또는 수직 방향으로 스캔하여 결함으로 판단되거나 결함으로 판단될 만한 위치들을 결함 후보군으로 설정한다.(S1) 그리고, 영상 표시패널 인식 정보(SDN)와 결함 후보군에 대한 영상 및 결함 정보들(DIMs)을 리뷰 제어 호스트(4)로 공급한다. 이렇게 제 1 검사 장비(13)는 카메라와 같은 비젼(vision) 장치를 이용하여 작업자의 눈에 의한 검사의 한계점을 보완하고 작업의 능률 향상으로 인한 생산성을 향상키게 된다. 각각의 검사 유닛(11,12,13)은 광학기술, 카메라 사양, 이미지 파일 사양 등이 주기적으로 업그레이드될 수 있도록 제작되어 결함의 유무 판정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
리뷰 제어 호스트(4)는 복수의 검사 유닛(11,12,13)을 각각 제어하고 각 검사 유닛(11,12,13)에서 검출된 결함 후보군에 대한 영상 및 결함 정보들(DIMs)을 분석해 결함 위치 좌표(DCS)를 설정하게 된다.(S2) 이러한 리뷰 제어 호스트(4)는 복수의 검사 유닛(11,12,13)과 대응되는 적어도 하나의 퍼스널 컴퓨터 등으로 구성될 수 있다. 리뷰 제어 호스트(4)는 각 검사 유닛(11,12,13)으로부터 캡쳐된 결함 후보군에 대한 영상 및 결함 정보들(DIMs)과 영상 표시패널 인식 정보(SDN) 등을 전송받아 결함의 상태를 자동 판정한다. 그리고 각 검사 유닛(11,12,13)의 정렬 마크(Align Mark)을 기준으로 결함 후보군에 대한 결함 위치 좌표(DCS)를 설정한다.(S2) 이렇게 설정된 결함 후보군들의 결함 위치 좌표(DCS)는 고정밀 제어 호스트(8)로 공급된다.
제 2 검사 장비(6)는 복수의 고정밀 검사유닛(21.22,23)을 구비하며, 고정밀 제어 호스트(8)로부터의 결함 위치 좌표(DCS)에 따라 영상 표시패널들의 결함 위치를 정밀하게 검사한다.(S3)
각각의 고정밀 검사유닛(21.22,23)에는 영상 표시패널이 로딩되는 로딩부와 고정밀 카메라가 설치된 비젼부 및 결함 위치를 리페어하는 리페어 장치, 그리고 결함 위치를 분석하여 리페어 장치와 비젼부를 제어하는 컴퓨터 시스템 등이 구비된다. 이에, 각각의 고정밀 검사유닛(21.22,23)은 고정밀 제어 호스트(8)로부터의 결함 위치 좌표(DCS)에 따라 영상 표시패널들의 결함 위치를 촬영하고, 촬영 영상과 결함 형태 등을 포함한 결함 정보(IM)를 생성하여 고정밀 제어 호스트(8)로 공급한다.(S3) 또한, 각각의 고정밀 검사유닛(21.22,23)은 결함 정보(IM)를 분석한 고정밀 제어 호스트(8)의 제어에 따라 결함 위치를 찾아 결함을 리페어(Defects Repair)하기도 한다. 이렇게, 각각의 고정밀 검사유닛(21.22,23)은 고정밀 카메라와 같은 비젼 장치를 이용하여 검사자의 눈에 의한 검사의 한계점을 보완하고 작업의 능률 향상으로 인한 생산성을 향상키게 된다. 각각의 고정밀 검사유닛(21.22,23)은 광학기술, 카메라 사양, 이미지 파일 사양 등이 주기적으로 업그레이드될 수 있도록 제작되어 결함의 유무 판정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
고정밀 제어 호스트(8)는 제 2 검사 장비(6)의 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로 해당 영상 표시패널의 인식 정보(SDN)와 결함 위치 좌표(DCS)를 전송하여 고정밀 검사유닛(21.22,23)들의 결함 위치 검출을 제어한다. 그리고, 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로부터 입력되는 쵤영 영상과 결함 형태를 포함한 결함 정보(IM)를 전송했던 결함 위치 좌표(DCS)와 비교한다. 그리고, 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표(DCS)의 정합 여부를 판별하여, 부정합 판별시 상기 결함 위치 좌표(DCS)의 보정 오프셋(Offset)을 설정 및 갱신한다.(S4) 이렇게 갱신된 보정 오프셋(Offset)은 자체 저장한 후, 결함 위치 좌표(DCS)에 보정 오프셋(Offset)을 적용하여 결함 위치 좌표(DCS)가 보정되도록 한다. 고정밀 제어 호스트(8)는 보정 오프셋(Offset)을 적용하여 보정된 결함 위치 좌표(R_SDN)를 다시 고정밀 검사유닛(21.22,23)으로 공급하여 고정밀 검사유닛(21.22,23)들이 영상 표시패널의 결함 영역을 더욱 정확하게 찾아낼 수 있도록 하고, 결함 정보(IM) 분석 결과 리페어가 가능하다고 판단된 결함 부위는 고정밀 검사유닛(21.22,23)이 리페어할 수 있도록 별도의 제어신호를 공급하기도 한다.(S5)
한편, 검사자는 고정밀 제어 호스트(8)가 자동 판정 방식에 의해 기판의 불량 여부를 판단할 수 없는 경우 보충적으로 결함의 영상 파일 등을 이용하여 작업자가 직접 결함의 상태를 검토하고, 이에 따라 판정을 수행하여 고정밀 제어 호스트(8) 및 고정밀 검사유닛(21.22,23)을 제어한다.
이후, 별도로 더 구비된 품질 관리 유닛(10)에서는 리페어가 완료된 영역의 영상들을 캡쳐하고 결함의 리페어가 성공적으로 수행되었는지 여부, 즉 ADR(Auto defects repair)의 성공 여부를 판단한다.(S6) 그리고, 고정밀 검사유닛(21.22,23)에 의해 결함이 리페어 되었음에도 불구하고, 결함이 여전히 존재하는 경우, 즉, ADR이 성공하지 않은 것으로 판단되면, 고정밀 제어 호스트(8) 및 고정밀 검사유닛(21.22,23)에 의한 결함 수리 과정이 반복된다.
도 3은 도 1의 고정밀 제어 호스트를 구체적으로 나타낸 구성도이다. 그리고, 도 4는 도 3데 도시된 고정밀 제어 호스트의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 3에 도시된 고정밀 제어 호스트(8)는 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로 결함 위치 좌표(DCS) 또는 보정 오프셋(Offset)을 적용하여 보정된 결함 위치 좌표(R_SDN)를 공급하여 각 고정밀 검사유닛(21.22,23)들의 결함 위치 검출을 제어하는 고정밀 검사 유닛 제어부(31), 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로부터 입력되는 촬영 영상과 결함 형태를 포함한 결함 정보(IM)를 결함 위치 좌표(DCS)와 비교하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표(DCS)의 정합 여부를 판별하는 좌표 정합 판별부(32), 및 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표(DCS) 간의 부정합 보정 오프셋(Offset)을 검출 및 갱신하는 오프셋 갱신 저장부(33)를 구비한다.
도 3과 도 4를 참조하면, 고정밀 검사 유닛 제어부(31)는 초기 제어시 상기 리뷰 제어 호스트(4)로부터 입력된 결함 위치 좌표(DCS)를 바로 각 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로 공급하여 고정밀 검사유닛(21.22,23)들의 결함 위치 검출을 제어한다. 그리고, 상기 오프셋 갱신 저장부(33)로부터 상기 보정 오프셋(Offset)이 입력되면, 상기 리뷰 제어 호스트(4)로부터 입력된 결함 위치 좌표(DCS)에 상기 보정 오프셋(Offset)을 적용하여 결함 위치 좌표(DCS)를 보정하고, 보정된 결함 위치 좌표(R_DCS)를 각 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로 공급하여 고정밀 검사유닛(21.22,23)들이 영상 표시패널의 결함 영역을 더욱 정확하게 찾아낼 수 있도록 제어한다.(ST1)
도 5는 결함 위치 좌표의 부정합 판별 방법과 보정 오프셋 생성 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5를 추가적으로 참조하면, 좌표 정합 판별부(32)는 상기 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로부터 입력되는 촬영 영상과 결함 형태를 포함한 결함 정보(IM)를 상기 결함 위치 좌표(DCS(x,y)) 또는 보정된 결함 위치 좌표(R_SDN)와 비교하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표(DCS)의 정합 여부를 판별한다.(ST2) 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표(DCS)가 정확히 정합된 경우에는 기존의 보정 오프셋(Offset)을 그대로 저장한 후 다음 과정이 진행되도록 한다.(ST4)
오프셋 갱신 저장부(33)는 결함 정보(IM)에 포함된 고정밀 촬영 영상과 결함 위치 좌표(DCS) 또는 보정된 결함 위치 좌표(R_SDN)의 비교 결과에 따라, 결함 위치 좌표(DCS) 또는 보정된 결함 위치 좌표(R_SDN)를 기준으로 결함 화소의 부정합 좌표(예를 들어, (-3,-3))를 고정밀 카메라에서 지원하는 최소 단위로 검출하여 서브 화소 단위의 보정 오프셋(Offset)을 검출 및 갱신한다.(ST3) 다시 말해, 오프셋 갱신 저장부(33)는 부정합 상태의 좌표를 해당 장비에서 제어 가능한 최소 단위 예를 들어, 고정밀 카메라의 촬영 해상도에 따른 화소 단위, 또는 최대 확대 배율이나 미리 설정된 확대 배율에서의 촬영 화소 단위 등으로 검출하게 된다. 이렇게 고정밀 카메라 등의 해당 장비에서 지원가능한 최소 단위로 좌표를 검출하면, 검출된 좌표 단위를 수 마이크로 단위 이내로 검출 및 보정할 수 있기 때문에, 결함 영역의 검출 및 리페어 작업이 더욱 정밀해질 수 있다.
이에, 고정밀 검사 유닛 제어부(31)는 리뷰 제어 호스트(4)로부터 입력되는 결함 위치 좌표(DCS)에 상기 보정 오프셋(Offset)을 적용하여 결함 위치 좌표(DCS)를 보정하고, 보정된 결함 위치 좌표(R_DCS)를 각 고정밀 검사유닛(21.22,23)들로 공급하여 고정밀 검사유닛(21.22,23)들이 영상 표시패널의 결함 영역을 더욱 정확하게 찾아낼 수 있도록 제어하게 된다.(ST1)
이 후, 고정밀 제어 호스트(8)는 순차적으로 입력되는 결함 정보(IM)를 분석하여 결과 리페어가 가능 여부를 판단한다.(ST5) 그리고, 리페어가 가능하다고 판단된 결함 부위는 고정밀 검사유닛(21.22,23)이 리페어할 수 있도록 별도의 제어신호를 공급하기도 한다.(ST5)
한편, 검사자는 고정밀 제어 호스트(8)가 자동 판정 방식에 의해 기판의 불량 여부를 판단할 수 없는 경우 보충적으로 결함의 영상 파일 등을 이용하여 작업자가 직접 결함의 상태를 검토하고, 이에 따라 판정을 수행하여 고정밀 제어 호스트(8) 및 고정밀 검사유닛(21.22,23)을 제어한다.
이후, 별도로 더 구비된 품질 관리 유닛(10)에서는 리페어가 완료된 영역의 영상들을 캡쳐하고 결함의 리페어가 성공적으로 수행되었는지 여부, 즉 ADR(Auto defects repair)의 성공 여부를 판단한다.(ST6) 그리고, 고정밀 검사유닛(21.22,23)에 의해 결함이 리페어 되었음에도 불구하고, 결함이 여전히 존재하는 경우, 즉, ADR이 성공하지 않은 것으로 판단되면, 고정밀 제어 호스트(8) 및 고정밀 검사유닛(21.22,23)에 의한 결함 수리 과정이 반복된다.
이상에서 상술한 본 발명의 실시 예에 따른 영상 표시장치의 검사 시스템 및 방법은 자동 판정 호스트 즉, 리뷰 제어 호스트(4)와 고정밀 제어 호스트(85)를 이용하여 영상 표시패널의 불량 여부를 자동으로 판정한다. 이에 따라, 검사 시간 및 검사자의 수를 획기적으로 줄일 수 있게 된다. 뿐만 아니라, 검사자에 의한 수동 방식의 불량검사가 아닌 자동 판정 방식을 이용하여 불량 여부을 판정함에 따라 판정 성공률이 획기적으로 높아지게 되어 불량 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
뿐만 아니라, 검사 장비들(2,6) 간의 불량 검출위치 좌표 부정합을 개선하여 검사시간 및 작업 관리인원을 최소화시키고, 불량 판정에 대한 신뢰도를 향상시킬 수 있게 된다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 종래의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

Claims (10)

  1. 복수의 검사 유닛을 구비하여 영상 표시패널들을 스캐닝하고 결함 위치들에 대한 후보군을 설정하는 제 1 검사 장비;
    상기 복수의 검사 유닛을 각각 제어하고 각 검사 유닛에서 검출된 결함 후보군들의 결함 위치 좌표를 설정하는 리뷰 제어 호스트;
    복수의 고정밀 검사유닛을 이용하여 상기 결함 위치 좌표에 따른 상기 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 제 2 검사 장비; 및
    제 2 검사 장비로 상기 결함 위치 좌표를 전송함과 아울러 상기 각 고정밀 검사유닛으로부터의 결함 정보에 따라 상기 결함 위치 좌표의 보정 오프셋을 설정 및 갱신하여 상기 복수의 고정밀 검사유닛을 제어하는 고정밀 제어 호스트를 구비하고,
    상기 고정밀 제어 호스트는
    상기 고정밀 검사유닛들로 상기 결함 위치 좌표 또는 상기 보정 오프셋을 적용하여 보정된 결함 위치 좌표를 공급하여 상기 각 고정밀 검사유닛들의 결함 위치 검출을 제어하는 고정밀 검사 유닛 제어부,
    상기 고정밀 검사유닛들로부터 입력되는 촬영 영상과 결함 형태를 포함한 결함 정보를 상기 결함 위치 좌표와 비교하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표의 정합 여부를 판별하는 좌표 정합 판별부, 및
    상기 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표 간의 부정합 보정 오프셋을 검출 및 갱신하는 오프셋 갱신 저장부를 구비하는 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 시스템.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 고정밀 검사 유닛 제어부는
    초기 제어시 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 상기 결함 위치 좌표를 바로 상기 고정밀 검사유닛들로 공급하여 결함 위치 검출을 제어하고,
    상기 오프셋 갱신 저장부로부터 상기 보정 오프셋이 입력되면 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 결함 위치 좌표에 상기 보정 오프셋을 적용하여 입력되는 결함 위치 좌표를 보정하고, 보정된 결함 위치 좌표를 상기 각 고정밀 검사유닛들로 공급하여 상기 결함 위치 검출을 제어하는 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 오프셋 갱신 저장부는
    상기 결함 정보에 포함된 고정밀 촬영 영상과 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표의 비교 결과에 따라, 상기 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표를 기준으로 결함 화소의 부정합 좌표를 고정밀 촬영 장비에서 지원하는 최소 단위로 검출하여 서브 화소 단위의 상기 보정 오프셋을 검출 및 갱신한 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 각각의 고정밀 검사유닛은
    상기 영상 표시패널이 로딩되는 로딩부와 고정밀 카메라가 설치된 비젼부 및 결함 위치를 리페어하는 리페어 장치를 포함하고,
    상기 결함 정보를 분석한 고정밀 제어 호스트의 제어에 따라 상기 서브 화소의 결함을 리페어(Defects Repair)하는 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 시스템.
  6. 복수의 검사 유닛을 구비한 제 1 검사 장비를 이용하여 영상 표시패널들을 스캐닝하고 결함 위치들에 대한 후보군을 설정하는 단계;
    리뷰 제어 호스트를 이용하여 상기 복수의 검사 유닛을 각각 제어하고 각 검사 유닛에서 검출된 결함 후보군들의 결함 위치 좌표를 설정하는 단계;
    복수의 고정밀 검사유닛을 구비한 제 2 검사 장비를 이용하여 상기 결함 위치 좌표에 따른 상기 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 단계; 및
    고정밀 제어 호스트를 이용하여 상기 제 2 검사 장비에 상기 결함 위치 좌표를 전송함과 아울러 상기 각 고정밀 검사유닛으로부터의 결함 정보에 따라 상기 결함 위치 좌표의 보정 오프셋을 설정 및 갱신하여 상기 복수의 고정밀 검사유닛을 제어하는 단계를 포함하고,
    상기 복수의 고정밀 검사유닛 제어 단계는
    고정밀 검사 유닛 제어부를 이용하여 상기 고정밀 검사유닛들 각각에 상기 결함 위치 좌표 또는 상기 보정 오프셋을 적용하여 보정된 결함 위치 좌표를 공급하여 상기 각 고정밀 검사유닛들의 결함 위치 검출을 제어하는 단계,
    좌표 정합 판별부를 이용하여 상기 고정밀 검사유닛들로부터 입력되는 촬영 영상과 결함 형태를 포함한 결함 정보를 상기 결함 위치 좌표와 비교하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표의 정합 여부를 판별하는 단계, 및
    오프셋 갱신 저장부를 이용하여 고정밀 촬영된 결함 위치와 결함 위치 좌표 간의 부정합 보정 오프셋을 검출 및 갱신하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 방법.
  7. 삭제
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 각 고정밀 검사유닛들의 결함 위치 검출을 제어하는 단계는
    초기 제어시 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 상기 결함 위치 좌표를 바로 상기 고정밀 검사유닛들로 공급하여 결함 위치 검출을 제어하고,
    상기 오프셋 갱신 저장부로부터 상기 보정 오프셋이 입력되면 상기 리뷰 제어 호스트로부터 입력된 결함 위치 좌표에 상기 보정 오프셋을 적용하여 입력되는 결함 위치 좌표를 보정하고, 보정된 결함 위치 좌표를 상기 각 고정밀 검사유닛들로 공급하여 상기 결함 위치 검출을 제어하는 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 부정합 보정 오프셋을 검출 및 갱신하는 단계는
    상기 결함 정보에 포함된 고정밀 촬영 영상과 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표의 비교 결과에 따라, 상기 결함 위치 좌표 또는 보정된 결함 위치 좌표를 기준으로 결함 화소의 부정합 좌표를 고정밀 촬영 장비에서 지원하는 최소 단위로 검출하여 서브 화소 단위의 상기 보정 오프셋을 검출 및 갱신한 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 영상 표시패널들의 결함 위치를 검사하는 단계는
    상기 각각의 고정밀 검사유닛에 구비된 상기 영상 표시패널 로딩부와 고정밀 카메라가 설치된 비젼부 및 결함 위치를 리페어하는 리페어 장치를 이용하여,
    상기 결함 정보를 분석한 고정밀 제어 호스트의 제어에 따라 상기 서브 화소의 결함을 리페어(Defects Repair)하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 영상 표시장치의 검사 방법.
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