KR101064553B1 - 프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치 - Google Patents

프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 상부 카메라로 프로브 핀의 위치를 확인하면서 스케일의 기준점에 프로브 핀을 정위치시킨 뒤, 정위치된 프로브 핀을 그대로 하부 카메라로 이동시켜 투영된 프로브 핀의 위치에 상응하는 선형 구동부의 좌표값과 프로브 핀의 상하높이를 기준 위치 정보로 저장하고, 프로브 핀의 기판 테스트 수행 중 하부 카메라로 프로브 핀을 이동시켜 투영된 위치를 기준 위치 정보와 비교하여 위치 틀어짐이 발생한 경우 프로브 핀 업다운 장치와 미세 구동부의 구동에 의해 프로브 핀의 위치를 자동적으로 보정하게 되는 것이다. 이러한 본 발명은 디스플레이 기판(글래스)에 대한 테스트 수행 중에 발생하는 프로브 핀의 위치 틀어짐을 자동으로 보정할 수 있게 됨으로써, 기판 제조 및 검사의 생산성이 향상되는 효과가 있으며, 기판 테스트의 오류 발생을 최소화하여 테스트 신뢰성을 향상시키게 된다.
프로브 핀, 위치, 자동 보정, 카메라, 비전 프로그램

Description

프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치{Probe driving apparatus capable of automatically compensating location of probe pin}
본 발명은 LCD와 같은 디스플레이 제품 제조 과정의 최종 공정인 검사 공정에서 스테이지 상에 배치된 글래스 기판을 프로브 핀으로 테스트할 때 프로브 핀에 위치 변화가 발생하는 경우 이를 자동적으로 보정하여 프로브 핀이 항상 초기에 설정된 위치를 유지할 수 있도록 하는 프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치에 관한 것이다.
현재, 액정표시소자(Liquid Crystal Display : LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP), 전계 방출 디스플레이 소자(Field Emission Display : FED) 및 진공형광소자(VFD)와 같은 다양한 종류의 평판디스플레이(Flat Panel Display : FPD) 장치가 종래의 음극선관(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 활발히 개발되고 있다.
이러한 평판디스플레이(FPD)를 구성하는 FPD 기판은 제조 과정의 최종 공정 에서 검사 공정을 거치게 된다. 특히, FPD 기판의 회로패턴을 구성하는 트랜지스터에 대한 전기적 특성을 시험하기 위하여 프로브 스테이션(Probe Station)이 사용되고 있는데, 이것은 스테이지 위에 FPD 기판(글래스)를 고정시킨 상태에서 원하는 위치의 글래스 패턴에 프로브 핀(probe pin, 프로브 카드)을 물리적으로 접촉시킨 뒤, 전기적 신호를 인가하여 측정 데이터를 출력하게 된다. 즉, FPD의 각 부품들이 조립되기 전에 이전 공정에서 기판 표면에 형성된 회로 패턴에 전기적 신호를 가함으로써 회로의 상태를 측정하는 것이다.
첨부도면 도 1은 종래의 프로브 구동장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 "A"부 상세도이며, 도 3과 도 4는 각각 도 1의 이동자에 설치된 주요 구성부를 나타낸 측면도와 정면도로서, 프로브 구동장치의 개략적인 구성은 다음과 같이 이루어져 있다. 즉, 글래스(G)가 로딩되는 스테이지(1)를 상대로 X축 리니어 모터(2)와 Y축 리니어 모터(3)가 각각 배치되어 있고, X축 리니어 모터(2) 상에는 이동자(4)가 설치되어 X축 방향으로 이동할 수 있게 된다. 그리고, 이동자(4)에는 스테핑 모터에 의해 구동되는 카메라 업다운 장치(5)와 프로브 핀 업다운 장치(6)가 설치되어 있는데, 카메라 업다운 장치(5)에는 카메라(7)가 장착되어 상하 이동할 수 있게 되고, 프로브 핀 업다운 장치(6)에는 마운틴 블록(8)에 의해 프로브 핀(9)이 장착되어 상하 이동할 수 있게 된다. 상기 스테이지(1)의 가장자리에는 스케일(1a)이 부착되어 있으며, 프로브 핀 업다운 장치(6)의 하단측에는 프로브 핀(9)이 장착된 마운틴 블록(8)의 위치를 전후 및 좌우로 미세 조절하기 위한 미세 조절 핸들(10a,11a)이 구비된 전후 슬라이드 테이블(10)과 좌우 슬라이드 테이블(11)이 설치되어 있다. 이러한 구성에 따른 작동은 다음과 같이 이루어진다.
먼저, 스테이지(1) 상에 로딩된 글래스(G)에 프로브 핀((9)을 접촉하기 전에, X축 리니어 모터(2)와 Y축 리니어 모터(3)를 구동하여 이동자(4)를 스테이지(1)의 스케일(1a) 상단까지 이동시킨다. 이어서, 카메라 업다운 장치(5)에 의해 카메라(7)를 상하로 이송하면서 스케일(1a)의 중심점을 투영한다. 투영된 스케일(1a)의 중심점을 확인한 후, 프로브 핀 업다운 장치(6)를 구동하면 프로브 핀(9)이 상하로 이동하는데, 카메라(7)에 투영된 스케일(1a)의 이미지에 프로브 핀(9)이 보이도록 위치시킨 후 프로브 핀(9)을 글래스(G)에 접촉시킨다.
이어서, 카메라(7)에 투영된 스케일(1a)의 중심점과 프로브 핀(9)의 이미지를 보고 프로브 핀(9)의 틀어진 방향을 눈으로 확인한 후, 프로브 핀 업다운 장치(6)를 이용하여 프로브 핀(9)을 미세하게 상승시키고, 미세 조절 핸들(10a,11a)을 조작하여 전후 슬라이드 테이블(10)과 좌우 슬라이드 테이블(11)을 동작시킨다. 그러면 마운틴 블록(8)이 전후 및 좌우로 이동하여 스케일(1a)의 중심점에 프로브 핀(9)의 말단부가 일치하도록 맞추게 되고, 이 상태에서 글래스(G)에 대한 테스트를 수행한다.
도 5a는 스케일(1a)을 상대로 프로브 핀(9)의 위치(위상)를 미세 조절하기 전에 카메라에 투영된 모습을 보여주고 있고, 도 5b는 프로브 핀(9) 위치의 미세 조절 후 카메라에 투영된 모습을 보여주고 있다. 미설명 부호 Zc는 '카메라에 투영된 영역'이다.
이상의 설명과 같이, 종래의 프로브 구동장치에서 프로브 핀(9)의 위치를 스 케일(1a)의 중심점에 맞추기 위해서는 카메라(7)에 투영된 화면을 육안으로 확인하면서 미세 조절 핸들(10a,11a)을 조정하게 된다. 일반적으로 글래스(G)의 회로패턴 사이즈는 20㎛ 정도이고 프로브 핀(9)의 사이즈는 15㎛이기 때문에, 프로브 핀(9)이 정밀하게 세팅되어야 글래스(G)에 대한 정밀한 테스트가 가능하다. 그런데, 이러한 종래의 프로브 구동장치에서는 초기에 세팅된 프로브 핀(9)의 위치에서 글래스(G)의 회로패턴에 대한 테스트를 일정 시간 진행한 후에 작업자가 정기적으로 프로브 핀(9)의 상태를 확인하고, 프로브 핀(9)의 위치가 틀어진 경우에는 수동 조작에 의해 프로브 핀(9)의 위치를 재조정하여야 하기 때문에 매우 불편하다. 또한, 프로브 핀(9)의 위치가 틀어진 상태에서도 테스트가 진행되는 상황이 발생할 수가 있는데, 이로 인해 글래스(G)에 대한 테스트 오류가 유발되고 테스트 정밀도와 효율성이 저하되는 문제가 있다.
본 발명은 전술한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위해 개발된 것으로서, 그 목적은, 디스플레이 기판(글래스)의 회로패턴에 프로브 핀을 위치시킨 후 장시간 사용시 발생하는 프로브 핀의 위치 틀어짐을 체크하고, 위치 틀어짐 발생시 프로브 핀의 위치를 자동으로 조정하여 프로브 핀이 항상 원래의 위치를 유지할 수 있도록 하는 프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치를 제공하는 데에 있다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기준점을 갖는 스케일이 구비되고 상부에 기판이 로딩되는 스테이지와, 상기 스테이지를 상대로 배치되어 X축 및 Y축 방향으로 구동되는 선형 구동부와, 상기 선형 구동부 상에 설치되어 상기 스테이지를 상대로 이동되는 이동자와, 상기 이동자에 의해 이동하며 상기 스테이지 상의 기판을 테스트하는 프로브 핀과, 상기 이동자에 설치되어 상기 프로브 핀을 승강시키는 프로브 핀 업다운 장치와, 상기 스케일 상에서의 상기 프로브 핀의 위치 확인을 위해 상기 이동자에 승강 가능하게 설치되는 상부 카메라와, 상기 프로브 핀을 전후 좌우 방향으로 미세 이동시키는 미세 구동부와, 상기 스테이지의 일측에 설치되어 상기 프로브 핀의 하측에서 프로브 핀을 촬영할 수 있게 되는 하부 카메라와, 상기 상부 카메라로 상기 프로브 핀의 위치를 확인하면서 상기 스케일의 기 준점에 프로브 핀을 정위치시킨 뒤, 정위치된 프로브 핀을 그대로 상기 하부 카메라로 이동시켜 투영된 프로브 핀의 위치에 상응하는 상기 선형 구동부의 좌표값과 프로브 핀의 상하높이를 기준 위치 정보로 저장하고, 상기 프로브 핀의 기판 테스트 수행 중 상기 하부 카메라로 상기 프로브 핀을 이동시켜 투영된 위치를 상기 기준 위치 정보와 비교하여 위치 틀어짐이 발생한 경우 상기 프로브 핀 업다운 장치와 상기 미세 구동부의 구동에 의해 상기 프로브 핀의 위치를 기준 위치로 보정하는 제어부를 포함하여 이루어진다.
특히, 상기 제어부는 상기 프로브 핀에 대한 위치 틀어짐의 판단과 위치 보정에 대한 제어를 수행하는 비전 프로그램을 구비한 구성으로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 미세 구동부는 전후방향 미세 구동부와 좌우방향 미세 구동부로 구성되고, 상기 전후방향 미세 구동부와 좌우방향 미세 구동부는 스테핑 모터 또는 직류모터로 구동될 수 있다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 디스플레이 기판(글래스)에 대한 테스트 수행 중에 발생하는 프로브 핀의 위치 틀어짐을 자동으로 보정할 수 있게 됨으로써, 기판 제조 및 검사의 생산성이 향상되는 효과가 있다. 또한, 프로브 핀이 자동적인 위치 보정에 의해 항상 초기 위치를 유지할 수 있게 되므로, 기판 테스트의 오류 발생을 최소화하여 테스트 신뢰성을 향상시키게 되며, 결국 테스트 장비의 성능 향상은 물론 디스플레이 제품의 신뢰성 향상에 기여하게 되는 효과가 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 구동 장치의 전체 구성을 나타낸 사시도이고, 도 7은 도 6의 "B"부 상세도이다. 그리고, 도 8a는 본 발명의 하부 카메라에 투영된 프로브 핀의 기준 위치 이미지를 나타낸 도면이고, 도 8b는 위치 틀어짐 상태의 프로브 핀이 하부 카메라에 투영된 이미지를 나타낸 도면이며, 도 9는 본 발명에서 직류모터를 이용하여 프로브 핀의 위치 보정이 이루어지는 과정을 하부 카메라에 투영된 이미지로 나타낸 도면이다.
상기 도면들에 나타난 바와 같이, 본 발명의 실시예로서 제시된 프로브 구동 장치는 글래스(G)가 로딩되는 스테이지(110)와, X축 및 Y축 방향으로 구동되는 선형 구동부(120)와, 이 선형 구동부(120) 상에서 이동되는 이동자(130)와, 상기 글래스를 테스트하는 프로브 핀(140)과, 이 프로브 핀(140)을 승강시키는 프로브 핀 업다운 장치(150)와, 상기 이동자(130)에 승강 가능하게 설치되는 상부 카메라(160)와, 프로브 핀(140)을 미세 이동시키는 미세 구동부(170)와, 프로브 핀(140)의 하측에서 프로브 핀(140)의 이미지를 투영하는 하부 카메라(180)와, 프로브 핀(140)의 위치 보정을 제어하는 제어부(190)로 구성되어 있다. 각 구성 요소별로 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 상기 스테이지(110)의 상부에는 테스트 대상물인 디스플레이 기판 글래스(G)가 로딩되며, 이 스테이지(110)의 일측 가장자리에는 눈금자인 스케일(scale : 111)이 구비되어 있다.
상기 선형 구동부(120)는 일반적으로 알려진 X축 리니어 모터(121)와 Y축 리니어 모터(122)로 구성되어 스테이지(110)를 상대로 X축 및 Y축 방향으로 구동되는 구동수단으로서, Y축 리니어 모터(122)가 스테이지(110)를 상대로 Y축 방향으로 배치되어 있고, X축 리니어 모터(121)는 Y축 리니어 모터(122) 상에 X축 방향으로 설치되어 있다.
상기 이동자(130)는 선형 구동부(120)의 X축 리니어 모터(121) 상에 설치되어 상기 스테이지(110)를 상대로 X축 리니어 모터(121)의 X축 방향을 따라 이동할 수 있게 되며, 이 이동자(130)에 의해 상기 프로브 핀(140)과 상부 카메라(160)가 스테이지(110)를 상대로 X축 및 Y축 방향으로 이송된다.
특히, 이동자(130)에는 프로브 핀(140)을 승강 작동시키는 프로브 핀 업다운 장치(150)가 설치됨과 아울러 이 프로브 핀 업다운 장치(150) 옆에는 상부 카메라(160)를 승강 작동시키는 카메라 업다운 장치(161)가 설치되어 있다. 따라서, 프로브 핀(140)과 상부 카메라(160)는 스테이지(110)에 대해 X축과 Y축 및 Z축(상하방향)으로 이송이 가능하게 된다.
상기 상부 카메라(160)는 프로브 핀(140)을 프로브 핀 업다운 장치(150) 측에 설치한 상태에서 스케일(111) 상에 위치시킬 때 프로브 핀(140)의 위치를 확인하기 위해 구비되며, 카메라 업다운 장치(161)에 의해 승강 작동이 이루어진다.
상기 프로브 핀(140)은 미세 구동부(170)에 의해 전후 및 좌우 방향으로 미세 이동할 수 있게 되는데, 미세 구동부(170)는 전후방향 미세 구동부(171)와 좌우방향 미세 구동부(172)로 구성된다. 이러한 전후방향 미세 구동부(171)와 좌우방향 미세 구동부(172)는 스테핑 모터 또는 직류 모터로 구동될 수 있으며, 본 실시예에서는 상기 제어부(190)의 제어에 따라 작동하는 스테핑 모터로 구동되는 것으로 한다.
상기 하부 카메라(180)는 스테이지(110)의 일측 가장자리에서 프로브 핀(140)의 하측으로부터 프로브 핀(140)을 촬영할 수 있도록 구비된다.
상기 제어부(190)는 상기 선형 구동부(120)와 이동자(110) 및 프로브 핀 업다운 장치(150)와 미세 구동부(170), 카메라 업다운 장치(161)를 제어함으로써 프로브 핀(140)과 상부 카메라(160)의 위치를 설정할 수 있게 된다. 제어부(190)는 상부 카메라(160)로 프로브 핀(140)의 위치를 확인하면서 스케일(111)의 기준점에 프로브 핀(140)을 정위치시킨 뒤, 정위치된 프로브 핀(140)을 그대로 하부 카메라(180)로 이동시켜 하부 카메라(180)에 투영된 프로브 핀(140)의 위치에 상응하는 선형 구동부(120)의 X축 및 Y축 좌표값을 기준 위치 정보로 저장한다. 이 기준 위치 정보에는 상기 프로브 핀 업다운 장치(150)에 의해 승강된 프로브 핀(140)의 상하높이도 Z축 좌표값으로서 포함된다. 한편, 제어부(190)는 프로브 핀(140)이 글래스(G)에 대한 테스트를 수행하는 중에 주기적으로 하부 카메라(180)로 프로브 핀(140)을 이동시켜 하부 카메라(180)에 투영된 프로브 핀(140)의 위치에 대한 선형 구동부(120)의 좌표값과 프로브 핀(140)의 높이를 상기 기준 위치 정보와 비교하여 위치 틀어짐이 발생한 경우에는 프로브 핀 업다운 장치(150)와 미세 구동부(170)를 구동시킴으로써 프로브 핀(140)의 위치를 기준 위치로 보정하게 된다.
본 실시예의 제어부(190)는 프로브 핀(140)에 대한 위치 틀어짐의 판단과 위치 보정에 대한 제어를 수행하는 비전 프로그램(vision program)을 구비하고 있는데, 이 비전 프로그램은 하부 카메라(180)에 의해 촬영된 프로브 핀(140)의 중심 위치를 미리 입력된 상기 기준 위치 정보와 비교하여 프로브 핀(140)의 틀어진 정도를 측정한 다음, 측정된 값에 의거하여 프로브 핀 업다운 장치(150)에 의해 프로브 핀(140)을 미세하게 상승시키고, 전후방향 미세 구동부(171)와 좌우방향 미세 구동부(172)의 스테핑 모터를 구동하여 프로브 핀(140)을 전후 및 좌우 방향으로 미세하게 이동시킴으로써, 프로브 핀(140)의 중심이 기준 위치 정보에 부합되도록 하부 카메라(180)의 중심점 위치로 이동되도록 한다.
다음에서는 상기와 같이 구성된 실시예에 의거하여 본 발명의 작동 과정을 설명한다.
먼저, 선형 구동부(120)를 구동하여 이동자(130)를 스테이지(110)의 일측 가장자리에 구비된 스케일(111)로 이동시킨다. 그리고, 카메라 업다운 장치(161)에 의해 상부 카메라(160)를 상하방향으로 구동하여 상부 카메라(160)에 스케일(111)의 눈금이 투영되도록 하고, 다시 선형 구동부(120)를 구동하여 상부 카메라(160)와 스케일(111)의 중심점이 일치되도록 한다.
이어서, 프로브 핀 업다운 장치(150)를 구동하여 프로브 핀(140)의 이미지가 상부 카메라(160)에 스케일(111)과 함께 투영되도록 하고, 프로브 핀(140)의 위치를 상부 카메라(160)로 확인하면서 스케일(111)의 눈금에 프로브 핀(140)을 접촉시킨다.
프로브 핀(140)의 접촉 상태 확인 후, 다시 프로브 핀 업다운 장치(150)를 구동하여 프로브 핀(140)을 미세하게 상승시키고, 전후방향 미세 구동부(171)와 좌우방향 미세 구동부(172)를 사용하여 프로브 핀(140)을 스케일(111)의 중심점(기준점)에 정위치시킨다.
이어서, 정위치된 프로브 핀(140)이 그대로 스테이지(110)의 일측 가장자리에 설치된 하부 카메라(180)로 이동하도록 선형 구동부(120)에 의해 이동자(130)를 구동하고, 하부 카메라(180)에 프로브 핀(140)의 이미지가 투영되도록 한다. 그리고, 프로브 핀 업다운 장치(150)를 구동하여 프로브 핀(140)을 하강시킴으로써 하부 카메라(180)에 프로브 핀(140)을 접촉시키고, 다시 미세하게 상승시켜 하부 카메라(180)의 중심점에 프로브 핀(140)의 중심을 일치시킨다. 이때 선형 구동부(120)의 X축/Y축 좌표값과 프로브 핀 업다운 장치(150)의 승강에 의한 프로브 핀(140)의 접촉 높이(상하 높이, Z축 좌표값)는 제어부(190)의 비전 프로그램에 '기준 위치 정보'로 저장된다.
이후에 일정시간 동안 스테이지(110) 상의 글래스(G)에 대한 테스트를 수행하는데, 테스트 수행이 일정시간 이루어짐에 따라 프로브 핀(140)의 위치가 틀어지는 현상이 발생하게 된다.
이러한 프로브 핀(140)의 위치 틀어짐을 보정하기 위해 다음과 같이 제어가 이루어진다. 먼저, 정기적으로 비전 프로그램에 설정된 시간이 되면 제어부(190)의 제어에 따라 선형 구동부(120)가 구동됨으로써 이동자(130)가 이동하여 프로브 핀(140)이 하부 카메라(180)에 투영된다. 즉, 상기 기준 위치 정보로 저장된 선형 구동부(120)의 X축/Y축 좌표값과 프로브 핀(140)의 상하 높이에 해당하는 위치로 프로브 핀(140)이 하부 카메라의 영역(Zc)으로 이동하는 것이다. 만일 프로브 핀(140)의 위치 틀어짐이 발생하지 않았다면 기준 위치 이미지를 나타낸 도 8a에 나타난 것처럼 프로브 핀(140)의 중심(P)이 하부 카메라(180)의 중심점(Cc)과 일치하게 되지만, 위치 틀어짐이 발생하였다면 도 8b와 같이 프로브 핀(140)의 중심(P)이 하부 카메라(180)의 중심점(Cc)으로부터 틀어져 있게 된다.
제어부(190)의 비전 프로그램은 이렇게 하부 카메라(180)에 투영된 프로브 핀(140)의 위치 영상을 기준 위치 정보에서의 영상과 비교하여 위치 틀어짐의 정도를 측정한다. 그리고는 프로브 핀 업다운 장치(150)를 구동하여 프로브 핀(140)을 미세하게 상승시킨 상태에서 전후방향 미세 구동부(171)와 좌우방향 미세 구동부(172)의 구동에 의해 프로브 핀(140)의 위치를 기준 위치인 하부 카메라(180)의 중심점으로 이동시키고, 프로브 핀 업다운 장치(150)에 의해 프로브 핀(140)의 상하 접촉 높이를 조절함으로써 프로브 핀(140)의 위치를 기준 위치와 동일한 위치로 바로 잡는다. 이와 같이 프로브 핀(140)의 틀어진 위치를 보정한 다음에는 다시 스테이지(110)로 프로브 핀(140)을 이송하여 글래스(G)의 테스트 작업을 재개하게 되며, 이러한 자동 보정 작업은 제어부(190)의 제어에 따라 글래스(G)의 테스트 수행 중에 주기적으로 이루어지게 된다.
이상에서는 본 발명을 바람직한 실시예에 의거하여 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
도 1은 종래의 프로브 구동장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 "A"부 상세도이다.
도 3은 도 1의 이동자에 설치된 주요 구성부를 나타낸 측면도이다.
도 4는 도 1의 이동자에 설치된 주요 구성부를 나타낸 정면도이다.
도 5a는 종래의 프로브 구동장치에서 스케일을 상대로 프로브 핀의 위치를 미세 조절하기 전에 카메라에 투영된 모습을 나타낸 도면이고, 도 5b는 프로브 핀 위치의 미세 조절 후 카메라에 투영된 모습을 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 구동 장치의 전체 구성을 나타낸 사시도이다.
도 7은 도 6의 "B"부 상세도이다.
도 8a는 본 발명의 하부 카메라에 투영된 프로브 핀의 기준 위치 이미지를 나타낸 도면이고, 도 8b는 위치 틀어짐 상태의 프로브 핀이 하부 카메라에 투영된 이미지를 나타낸 도면이다.
도 9는 본 발명에서 직류모터를 이용하여 프로브 핀의 위치 보정이 이루어지는 과정을 하부 카메라에 투영된 이미지로 나타낸 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
110 : 스테이지 111 : 스케일
120 : 선형 구동부 121 : X축 리니어 모터
122 : Y축 리니어 모터 130 : 이동자
140 : 프로브 핀 150 : 프로브 핀 업다운 장치
160 : 상부 카메라 161 : 카메라 업다운 장치
170 : 미세 구동부 171 : 전후방향 미세 구동부
172 : 좌우방향 미세 구동부 180 :하부 카메라
190 : 제어부 G : 글래스(디스플레이 기판)

Claims (4)

  1. 기준점을 갖는 스케일이 구비되고 상부에 기판이 로딩되는 스테이지;
    상기 스테이지를 상대로 배치되어 X축 및 Y축 방향으로 구동되는 선형 구동부;
    상기 선형 구동부 상에 설치되어 상기 스테이지를 상대로 이동되는 이동자;
    상기 이동자에 의해 이동하며 상기 스테이지 상의 기판을 테스트하는 프로브 핀;
    상기 이동자에 설치되어 상기 프로브 핀을 승강시키는 프로브 핀 업다운 장치;
    상기 스케일 상에서의 상기 프로브 핀의 위치 확인을 위해 상기 이동자에 승강 가능하게 설치되는 상부 카메라;
    상기 프로브 핀을 전후 좌우 방향으로 미세 이동시키는 미세 구동부;
    상기 스테이지의 일측에 설치되어 상기 프로브 핀의 하측에서 프로브 핀을 촬영할 수 있게 되는 하부 카메라;
    상기 상부 카메라로 상기 프로브 핀의 위치를 확인하면서 상기 스케일의 기준점에 프로브 핀을 정위치시킨 뒤, 정위치된 프로브 핀을 그대로 상기 하부 카메라로 이동시켜 투영된 프로브 핀의 위치에 상응하는 상기 선형 구동부의 좌표값과 프로브 핀의 상하높이를 기준 위치 정보로 저장하고, 상기 프로브 핀의 기판 테스트 수행 중 상기 하부 카메라로 상기 프로브 핀을 이동시켜 투영된 위치를 상기 기 준 위치 정보와 비교하여 위치 틀어짐이 발생한 경우 상기 프로브 핀 업다운 장치와 상기 미세 구동부의 구동에 의해 상기 프로브 핀의 위치를 기준 위치로 보정하는 제어부를 포함하여 이루어진 프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 프로브 핀에 대한 위치 틀어짐의 판단과 위치 보정에 대한 제어를 수행하는 비전 프로그램을 구비한 것을 특징으로 하는 프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 미세 구동부는 전후방향 미세 구동부와 좌우방향 미세 구동부로 구성되고, 상기 전후방향 미세 구동부와 좌우방향 미세 구동부는 스테핑 모터로 구동되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 미세 구동부는 전후방향 미세 구동부와 좌우방향 미세 구동부로 구성되 고, 상기 전후방향 미세 구동부와 좌우방향 미세 구동부는 직류모터로 구동되는 것을 특징으로 하는 프로브 핀의 위치 자동 보정 기능을 갖는 프로브 구동 장치.
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