KR100350642B1

KR100350642B1 - 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템 및 그 방법

Info

Publication number: KR100350642B1
Application number: KR1019990046914A
Authority: KR
Inventors: 최순신; 강정수
Original assignee: 삼성전자 주식회사
Priority date: 1999-10-27
Filing date: 1999-10-27
Publication date: 2002-08-28
Also published as: KR20010038798A

Abstract

이 발명은 액정 표시 장치 제조시에 단선 결함이나 화소 결함이 발생된 기판상의 위치로 보수기를 정확하게 이동시키기 위한 것이다. 이를 위하여, 결합 검출부가 결함이 발생된 위치의 좌표를 측정하고, 제어기가 이 결함 위치 좌표를 토대로 하여 보수기를 해당 위치로 이동시킨다. 제어기는 이 결함 위치 좌표가 보수기를 정렬시키기 위한 정렬 좌표가 포함되는 영역에 위치되는 경우에는 보수기를 정렬 좌표를 기준으로 하여 결함 위치 좌표까지 이동시킨다. 그러나 이 결함 위치 좌표가 정렬 좌표가 포함되는 영역에 위치되지 않는 경우에는 먼저, 보수기를 정렬 좌표로부터 결함 위치 좌표가 포함되는 영역의 기준 좌표로 이동시킨 다음에, 이 기준 좌표를 기준으로 하여 보수기를 결함 위치 좌표까지 이동시킨다. 이와 같이 보수기를 결함이 발생된 위치까지 단계별로 이동시킴에 따라, 이송시에 떨림 등에 의하여 보수기가 잘못된 위치로 이동되는 것이 방지된다. 따라서, 결함이 발생한 위치에 대한 정확한 보수 작업이 이루어져서 보수 작업의 신뢰성이 향상되고 생산성이 향상된다.

Description

액정 표시 장치의 결함 보수 시스템 및 그 방법{SYSTEM FOR REPAIRING DEFECTS OF LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD THEREOF}

이 발명은 액정 표시 장치의 결함 보수(repair) 시스템 및 그 방법에 관한 것으로 보다 상세하게 말하자면, 특히 박막 트랜지스터 액정 표시 장치(thin filmtransistor liquid crystal display; 이하 'TFT-LCD' 라 함)의 제조 공정시에 화소 결함이나 단선 결함이 발생한 경우에 결함이 발생된 위치를 자동으로 찾아가서 결함을 보수하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치는 원하는 색을 표시하기 위한 적, 녹, 청의 컬러 필터(color filter; CF) 및 블랙 매트릭스(black matrix)가 형성되어 있는 칼라 필터 기판과, 다수의 화소 전극과 박막 트랜지스터(thin film transistor: TFT)가 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판으로 이루어진다.

이러한 액정 표시 장치는 중앙부에 단위 화소의 집합으로 이루어진 표시 영역이 있으며, 각각의 단위 화소에는 표시 동작을 위한 화소 전극이 형성되어 있다. 이러한 화소 전극들은 서로 교차하여 단위 화소 영역을 정의하는 게이트선과 데이터선을 통하여 인가되는 신호에 따라 구동된다. 이 때, 게이트선과 데이터선은 박막 트랜지스터 등의 스위칭 소자를 통하여 화소 전극과 연결되어 있으며, 박막 트랜지스터는 게이트선으로부터의 주사 신호에 따라 스위칭되어 데이터선으로부터 인가되는 화상 신호를 화소 전극에 인가한다.

이러한 박막 트랜지스터 액정 표시 장치를 제조하는 공정에서 공정 수율을 감소시키는 원인 중의 하나는 데이터선의 단선 결함(line defect)이다. 이러한 데이터선의 단선 결함을 해결하기 위한 하나의 방법으로는, 기판에서 표시 영역의 둘레에 각각 데이터선 및 게이트 배선과 표차하는 리던던시(redundancy) 배선을 형성하여, 각각의 데이터 및 게이트 배선에서 오픈이 발생하는 경우에 리던던시 배선을 이용하여 표시 영역의 둘레로 우회하여 신호를 전달하는 방법이 있다. 일반적으로이러한 리던던시 배선을 리페어선이라고 한다.

종래의 리페어선을 이용하여 액정 표시 장치의 단선 결함 등을 보수하는 경우에는 먼저, 결함이 발생된 위치에 대한 정보에 따라 작업자가 직접 결함이 발생된 데이터선을 리던던시선에 연결하였다. 이외에도 화소 결함이 발생된 경우에는 해당 화소 전극과 연결된 데이터선 등을 수동으로 끊어 버리는 보수 작업을 수행하였다.

이와 같이 기판 상에 발생된 단선 결함이나 화소 결함을 보수하는 보수 작업이 수동으로 이루어짐에 따라 작업성 및 생산성이 떨어지는 문제점이 발생하였다.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 결함이 발생한 위치에 대한 정보에 따라 고 결함 보수를 위한 보수기를 해당 지점으로 이동시킨 다음에 자동으로 작동시켜, 잘못 연결된 데이터선 또는 게이트선을 끊어 버리거나 연결되지 않은 데이터선 또는 게이트선을 해당 화소 전극에 연결하는 보수 작업을 수행하는 기술이 개발되고 있다.

도 1에 종래의 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템에서 결함이 발생한 위치를 찾아가는 원리가 도시되어 있다. 첨부한 도 1에 도시되어 있듯이, 종래에는 결함을 보수하는 보수기를 정렬시키기 위한 정렬 좌표를 미리 설정한 다음, 이 정렬 좌표를 기준으로 하여 결함이 발생한 위치의 좌표를 찾아가게 된다.

그러나 이러한 방식은 정렬 좌표에서부터 결함이 발생한 위치의 좌표까지 결함 보수 시스템을 한번에 이동시키기 때문에 오차가 발생할 가능성이 증가하게 된다.

즉, 기판의 크기가 큰 상태에서 정렬 좌표로부터 멀리 떨어진 위치에서 결함이 발생할수록 정렬 좌표에서 결함이 발생한 위치의 좌표까지 이동하는 거리 및 시간이 증가함에 따라, 이동 도중에 아주 미세하게 방향을 벗어나게 되는 경우에도 오차가 크게 발생하여 보수기가 결함이 발생한 위치까지 정확하게 이동되지 못하는 경우가 발생하게 된다.

또한, 이동 도중에 외부의 충격 등에 의하여 보수기가 크게 흔들리게 되는 경우에도 위치 오차가 크게 발생하여 보수기가 정확하게 해당 위치로 이동되지 못하는 경우가 발생하게 된다.

이와 같이 보수기가 결함이 발생한 위치에 정확하게 위치되지 못하면, 결함이 정상적으로 보수되지 못하거나 오히려 결함이 발생되지 않은 지점에 잘못된 보수 처리가 이루어지는 등 오동작이 발생할 가능성이 증가된다. 이에 따라 액정 표시 장치의 제조 수율이 감소되고 신뢰성이 저하되는 문제점이 발생한다.

그러므로 이 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로 액정 표시 장치에서 단선 결함이나 화소 결함이 발생한 위치를 보다 정확하게 찾아내서 보수 처리의 정확성을 향상시키기 위한 것이다.

도 1은 종래의 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템에서 결함이 발생한 위치를 찾아가는 원리를 나타낸 도이다.

도 2는 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템의 구조를 나타낸 블록도이다.

도 3은 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템에서 결함이 발생한 위치를 찾아가는 원리를 나타낸 도이다.

도 4는 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 방법에 대한 순서도이다.

도 5는 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 기판 상에 결함이 발생한 경우의 상태도이다.

이러한 목적을 달성하기 위하여, 이 발명에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템은 기판 상에 발생된 결함을 보수하는 보수기를 설정된 정렬 좌표로부터 결함이 발생된 위치의 좌표까지 단계별로 이동시킨다.

이러한 이 발명의 특징에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템은 기판상에서 결함이 발생된 위치의 좌표를 측정하는 결함 검출부; 상기 결함을 보수하는 보수기; 및 상기 결함 위치 좌표에 따라 상기 보수기를 설정된 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표까지 다수의 단계를 거쳐서 이동시키고, 상기 보수기를 구동시켜 결함이 보수되도록 제어하는 제어기를 포함한다.

상기 제어기는 상기 기판을 다수의 영역으로 나누고 각 영역의 기준 좌표를 설정한 다음에, 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 상기 정렬 좌표가 포함되는 정렬 영역내에 위치되는 경우에는 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 결함이 발생된 위치의 좌표까지 이동시키고, 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에는 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 위치되는 영역의 기준 좌표까지 이동시킨 다음에 상기 보수기를 상기 기준 좌표로부터 결함이 발생된 위치까지 이동시킨다.

한편, 상기 제어기는 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에, 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 위치되는 영역의 기준 좌표까지 이동시키기 위한 최단 경로를 구한 다음에, 상기 보수기를 상기 최단 경로내에 포함되는 각 영역의 기준 좌표로 단계별로 이동시킨 후 상기 보수기를 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 위치되는 영역의 기준 좌표에서 결함이 발생된 위치 좌표로 이동시킨다.

이외에도 결함 보수 시스템은 상기 기판에 대한 정보를 관리하는 호스트를 더 포함하고, 이 경우에 상기 제어기는 상기 호스트로부터 기판에 정보를 전송받아서 보수기를 구동시킨다.

이 발명의 다른 특징에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 방법은, 기판 상에 발생된 결함을 보수하는 보수기를 포함하는 결함 보수 시스템을 제어하는 방법에 있어서, 상기 기판상에 결함이 발생된 위치의 좌표를 검출하는 단계; 상기 기판상에 보수기를 정렬시키는 정렬 좌표로부터 상기 보수기를 상기 결함 위치 좌표까지 다수의 단계를 거쳐서 이동시키는 단계; 및 상기 보수기를 구동시켜 상기 기판상의 결함이 발생된 위치에 대한 보수 작업을 수행하는 단계를 포함한다.

상기 보수기를 이동시키는 단계는, 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 상기 정렬 좌표가 포함되는 정렬 영역내에 위치되는 경우에는 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 결함이 발생된 위치의 좌표까지 이동시키고, 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에는 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함이 발생된 위치의 좌표가 위치되는 영역의 기준 좌표까지 이동시킨 다음에 상기 보수기를 상기 기준 좌표로부터 결함이 발생된 위치까지 이동시킨다.

이와 같이 보수기가 결함이 발생된 위치까지 단계별로 이동함에 따라, 이동시에 발생될 수 있는 보수기의 떨림 등에 의한 오차로 인하여 보수기의 잘못된 위치로 이동되는 것이 방지된다.

이하, 이 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 이 발명을 용이하게 실시할 수 있는 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다.

도 2에 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템의 구조가 도시되어 있다.

첨부한 도 2에 도시되어 있듯이, 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템은 결함 검출부(10), 데이터 저장부(20), 보수기(30) 및 데이터 저장부(20)에 저장된 데이터에 따라 보수기(30)의 동작을 제어하는 제어기(40)를 포함한다.

이외에도 작업 대상물(기판)에 대한 정보를 관리하고, 제어기(40)의 요청에 따라 다수의 정보를 제어기(40)로 전송하는 호스트(50)를 포함한다.

결함 검출부(10)는 기판에 발생된 단선 결함 등을 검출하며, 주로 광학적인 방식에 의하여 단선 결함을 검출하는 자동 광학 검사(automatic optical inspection : AOI) 장치가 사용된다. 이 발명의 실시예에서, 결함 검출부(10)는 렌즈 등을 통하여 촬영된 기판의 영상을 통상의 영상 처리 기술에 따라 처리하여 단선 결함이나 화소 결함 등이 발생하였는가를 검출하고, 결함이 발생된 위치의 좌표를 측정한다. 그리고, 기판의 결함 위치 좌표와 그 외 다수 정보를 파일 단위로 처리하여 데이터 저장부(20)에 저장한다.

데이터 저장부(20)는 파일 서버 등으로 이루어지며, 기판별로 해당 기판의 다수 정보(결함 위치 좌표 포함)를 파일 단위로 처리하여 저장한다.

보수기(30)는 기판 상의 결함을 보수하며, 결함 보수를 위한 리페어선으로 레이저 등을 발사하여 데이터선이나 신호선을 리페어선을 통하여 해당 화소 전극으로 연결시켜주거나, 잘못 연결된 데이터선이나 신호선을 화소 전극으로부터 분리시키거는 보수 기능을 수행한다.

제어기(40)는 데이터 저장부(20)에 저장된 데이터 파일에 따라 기판 상에서 결함이 발생된 곳을 파악하여 보수기(30)를 해당 위치로 이동시킨 후에 구동시켜 단선 결함이 보수되도록 한다. 제어기(40)와 공지된 통신 수단에 의하여 호스트(50)와 서로 정보를 주고 받는다.

이 발명의 실시예에서는 종래와 달리, 결함이 발생된 위치에 따라 보수기(30)가 정렬되는 정렬 위치로부터 결함이 발생된 위치까지 이동시키는 동작이 다수 단계를 거쳐서 이루어진다.

도 3에 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템에서 결함이 발생한 위치를 찾아가는 원리가 도시되어 있다. 이 발명의 실시예에서는 기판을 다수의 영역으로 나누고, 각 영역의 기준 좌표를 설정한다. 여기서, 보수기를 정렬시키기 위한 정렬 좌표가 포함되는 영역의 기준 좌표는 정렬 좌표가 되며, 일반적으로 정렬 좌표는 기판의 좌측의 최상위 좌표 즉, x, y= (0.0)으로 설정된다.

그리고 결함이 발생된 위치의 좌표가 (xi, yi)인 경우에, 이 좌표 (xi, yi)가 정렬 좌표가 포함된 영역에 위치되는 경우에는 정렬 좌표 (0.0)를 기준으로 하여 보수기를 결함이 발생된 위치 (xi, yi)까지 이동시킨다.

그러나, 이 좌표 (xi, yi)가 정렬 좌표가 포함된 영역에 위치되지 않는 경우에는 결함이 발생된 위치의 좌표 (xi, yi)가 위치되는 영역의 기준 좌표를 구한 후, 보수기를 정렬 좌표로부터 구해진 해당 영역의 기준 좌표까지 이동시킨 다음에, 해당 영역의 기준 좌표에서 결함이 발생된 위치의 좌표까지 이동시킨다. 이 때, 해당 영역의 기준 좌표를 기준으로 하여 결함이 발생된 위치까지의 이동 거리및 이동 방향을 산출하고, 산출된 이동 거리 및 이동 방향에 따라 보수기를 결함이 발생된 위치까지 이동시킨다.

이와 같이 보수기가 결함이 발생된 위치까지 단계별로 이동함에 따라, 이동시에 발생될 수 있는 보수기의 떨림 등에 의한 오차로 인하여 보수기의 잘못된 위치로 이동되는 것을 방지할 수 있다.

이러한 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템의 동작을 보다 상세하게 설명한다.

도 4에 이 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템의 동작의 순서도가 도시되어 있으며, 도 5에 기판 상에 결함이 발생한 경우의 상태도가 도시되어 있다.

액정 표시 장치 제조시에, 기판을 다수의 화소의 집합으로 이루어진 표시 영역으로 나누고 각각의 단위 화소에 화소 전극을 형성하고, 이러한 화소 전극들에 게이트선과 데이터선을 서로 교차시켜 연결하는 배선 공정을 수행한 다음에, 이러한 배선 공정이 정확하게 이루어졌는가를 검사하게 된다.

결함 검출부(10)는 화소 전극, 데이터선 및 게이트선이 형성되어 있는 기판을 촬영한 다음에, 촬영된 기판의 영상을 처리하여 설계된 배선 패턴에 따라 화소 전극이 해당 데이터선 및 게이트선과 정확하게 연결되었는가를 검사한다.

이 때, 도 5에 도시되어 있듯이, 기판 상에 화소 전극에 연결되어야 할 데이터선이나 게이트선이 끊어져 있는 단선 결함이나, 화소 전극에 연결되지 않아야 할 데이터선이나 게이트선이 연결되어 있는 화수 결함 등이 발생되면, 결함검출부(10)는 결함이 발생된 위치의 좌표를 측정하고, 이 결함 위치 좌표를 기판의 다른 정보와 함께 파일 단위로 처리하여 데이터 저장부(20)에 저장한다(S100∼S110). 이에 따라, 데이터 저장부(20)는 처리되는 다수의 기판에 대한 정보가 파일 단위로 저장된다.

이와 같은 검사 동작이 다수의 기판에 대하여 순차적으로 이루어지고, 검사가 완료되면 기판은 컬러 필터 기판 등과 조립되는 어셈블리 공정으로 진행하기 전에 결함 발생 여부에 따라 보수를 받는 보수 공정으로 보내진다.

보수 공정을 수행하는 보수 설비의 제어기(40)는 이전 설비 즉, 결함 여부를 검출하는 설비로부터 기판이 전송되어 도시하지 않은 핸들링 스테이션 상으로 로딩되면, 호스트(50)로부터 로딩된 기판의 정보를 전송받는다(S120).

호스트(50)는 로딩된 기판에 대한 기판 번호 등의 정보를 제어기(40)로 전송하며, 제어기(40)는 로딩된 기판의 기판 번호를 토대로 하여 데이터 저장부(20)를 억세스하여 기판 정보가 저장되어 있는 파일을 리드한다. 그리고, 파일에 저장되어 있는 기판 정보를 토대로 하여 이송된 기판이 결함이 발생된 기판인지를 판단한다(S130).

이송된 기판이 결함이 발생된 기판인 경우, 제어기(40) 데이터 저장부(20)로부터 리드된 파일내에 저장된 결함이 발생된 위치의 좌표를 토대로 하여 보수 작업을 수행한다(S140).

먼저, 제어기(40)는 결함 위치 좌표가 보수기(30)가 정렬되어 위치되는 정렬 좌표가 포함된 영역(이하, 정렬 영역)내에 위치하는가를 판단하고(S150), 결함 위치 좌표가 정렬 영역내에 위치되는 경우에는 보수기(30)를 정렬 좌표에서부터 결함 위치 좌표까지 이동시킨다(S160).

한편, 결함 위치 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에는 결함 위치 좌표가 위치되는 영역의 기준 좌표를 구하고, 보수기(30)를 정렬 좌표로부터 해당 영역의 기준 좌표까지 이동시킨 후, 다시 보수기(30)를 기준 좌표로부터 결함 위치 좌표까지 이동시킨다(S170).

예를 들어 보다 상세하게 설명하면, 첨부한 도 3에 도시되어 있듯이, 전체 좌표가 100×100으로 이루어지는 기판을 4개의 영역으로 나누면, 기판은 정렬 좌표(0.0)를 기준 좌표로 하는 제1 영역(A), (50,0)을 기준 좌표로 하는 제2 영역(B), (0,50)을 기준 좌표로 하는 제3 영역(C) 및 (50.50)을 기준 좌표로 하는 제4 영역(D)으로 나뉘어질 수 있다.

이와 같이 기판이 다수의 영역(A∼D)으로 나누어져 있다고 가정한 경우에, 결함이 발생한 기판의 결함 위치 좌표가 정렬 좌표 (0,0)를 기준으로 하는 정렬 영역 즉, 제1 영역(A)에 포함되는 경우에는 정렬 좌표를 기준으로 하여 결함 위치 좌표까지의 이동 방향에 따른 이동 거리를 산출한 다음에, 제어기(40)는 산출된 이동 거리에 따라 보수기(30)를 정렬 좌표로부터 결함이 발생된 위치까지 이동시킨다.

그러나, 결함 위치 좌표가 정렬 좌표 (0,0)를 포함하는 제1 영역(A)에 위치되지 않고 예를 들어, 제2 영역(B)에 위치되는 (60.10)인 경우에는, 보수기를 정렬 좌표 (0,0)에서 제2 영역의 기준 좌표(50,0)로 이동시킨 후, 기준 좌표(50,0)을 기준으로 하여 결함 위치 좌표(60,10)까지의 이동 방향에 따른 이동 거리를 산출한다음에, 산출된 이동 거리에 따라 보수기(30)를 기준 좌표(50,0)에서부터 결함 발생 위치 좌표(60,10)까지 이동시킨다.

이외에도, 결함 위치 좌표가 제3 영역(C) 또는 제4 영역(D)에 위치되는 경우에도, 보수기(30)를 정렬 좌표(0,0)으로부터 제3 영역(C) 또는 제4 영역(D)의 기준 좌표로 이동시킨 후, 기준 좌표를 기준으로 하여 보수기(30)를 결함 위치 좌표로 이동시킨다.

위에 기술된 바와 같이 보수기(30)를 결함이 발생된 위치까지 이동시킨 후, 제어기(40)는 보수기(30)를 구동시켜 결함 보수 작업을 수행한다. 예를 들어, 연결되지 않아야 할 데이터선에 화소 전극이 연결되어 있으면, 데이터선과 화소 전극을 연결하는 선에 레이저를 조사하여 끊어 버린다. 또한, 연결되어야 할 데이터선에 화소 전극이 연결되어 있지 않으면 리페어선으로 레이저를 조사하여 해당 전극에 신호가 전달되도록 한다.

이 발명의 실시예에서는 제어기가 결함이 발생된 위치 좌표가 어느 영역에 포함되는지의 여부를 판단하고, 해당하는 영역의 기준 좌표로부터 결함 위치 좌표까지의 이동거리를 산출하여 보수기를 이동시켰으나, 이와는 달리, 검출된 결함 위치 좌표에 따른 처리 방안 즉, 결함 위치 좌표에 따라 보수기를 위의 실시예와 동일하게 영역별로 이동시키는 처리 방안을 미리 설정하여 데이터 저장부에 저장시킨 다음에, 이후에 제어기가 이 처리 방안에 따라 보수기를 해당하는 결함 위치 좌표로 이동시켜 보수 작업을 수행할 수도 있다.

이와 같이 보수기가 정렬 좌표로부터 단계별로 결함 위치 좌표까지 이동함에따라, 이동시에 발생될 수 있는 떨림 등에 의하여 잘못된 위치로 이동되는 문제점을 해결할 수 있다.

위에 기술된 실시예에서는 기판을 4개의 영역으로 나누어서 보수기를 영역별로 이동시키는 경우에 대하여 기술하였지만, 이에 한정되지 않고 기판을 4개 이하 또는 4개 이상의 영역으로 나누어서 보수기를 영역별로 이동시키는 경우도 가능하다.

기판을 4개 이상의 영역으로 나누어서 보수기를 이동시키는 경우에는, 정렬 좌표로부터 결함 위치 좌표까지 보수기를 이동시키는 거리가 가장 짧은 경로를 찾아내서 보수기를 단계별로 이동시킨다. 예를 들어, 기판을 6개의 영역으로 나눈 상태에서 제6 영역에 결함이 발생된 경우에는, 보수기를 정렬 영역에서 제4 영역의 기준 좌표로 이동시킨 다음에 다시 제6 영역의 기준 좌표로 이동시키고, 제6 영역의 기준 좌표를 토대로 하여 보수기를 다시 결함 위치 좌표까지 이동시키는 경로가 가장 짧다.

따라서, 보수기가 가장 빠른 이동 속도로 해당 결함 위치 좌표까지 정확하게 이동되게 된다.

이 발명은 다음의 기술되는 청구 범위를 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변경 및 실시가 가능하다.

위에 기술된 실시예에서는 박막 트랜지스터 액정 표시 장치의 제조 공정 중 단선 결함이나 화소 결함이 발생된 경우에, 결함을 보수하는 보수기를 결함이 발생된 위치까지 단계별로 이동시킴에 따라, 이동시의 떨림 등에 의하여 발생될 수 있는 오차에 의하여 잘못된 위치로 이동되는 것을 방지할 수 있다.

보수기가 결함이 발생되 위치로 정확하게 이동됨에 따라 잘못된 위치에 대하여 보수 작업이 이루어지는 것을 방지할 수 있다.

이에 따라 보수 작업의 신뢰성이 향상되며, 또한 결함이 발생되는 기판 수가 감소됨에 따라 수율이 증가된다.

Claims

(정정) 기판상에서 결함이 발생된 위치의 좌표를 측정하는 결함 검출부;

상기 결함을 보수하는 보수기; 및

상기 결함이 발생된 결함 위치 좌표에 따라 상기 보수기를 설정된 정렬 좌표에서 상기 결함 위치 좌표로 이동시키는 제어기

를 포함하며,

상기 제어기는 상기 기판을 기준 좌표를 가지는 다수의 영역으로 나눈 다음에, 상기 결함 위치 좌표가 상기 정렬 좌표가 포함되는 정렬 영역내에 위치되는 경우에는 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 결함 위치 좌표까지 이동시키고, 상기 결함위치 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에는 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표까지 적어도 하나의 영역을 거쳐서 단계별로 이동시키는 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템.
(정정) 제1항에 있어서,

상기 제어기는

상기 결함 위치 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에, 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표가 위치되는 결함 영역의 기준 좌표까지 이동시키는 수단, 상기 보수기를 상기 기준 좌표로부터 결함이 발생한 결함 위치 좌표까지 이동시키는 수단을 포함하는 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템.
(정정) 제1항에 있어서,

상기 제어기는

상기 결함 위치 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에, 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표가 위치되는 결함 영역의 기준 좌표까지 이동시키기 위한 최단 경로를 구하는 수단, 상기 보수기를 상기 최단 경로내에 포함되는 각 영역의 기준 좌표로 단계별로 이동시켜서 상기 결함 영역의 기준 좌표까지 이동시키는 수단, 상기 보수기를 상기 결함 영역의 기준 좌표에서 상기 결함 위치 좌표로 이동시키는 수단을 포함하는 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템 .
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 기판에 대한 정보를 관리하는 호스트를 더 포함하고,

상기 제어기는 상기 호스트로부터 기판에 정보를 전송받아서 보수기를 구동시키는 액정 표시 장치의 결함 보수 시스템 .
(정정) 정렬 좌표로부터 기판상의 결함이 발생한 위치로 이동되어 결함을 보수하는 보수기를 포함하는 시스템의 결함 보수 방법에 있어서,

a) 상기 기판을 다수의 여역으로 나눈 다음에 각 영역의 기준 좌표를 설정하는 단계;

b) 상기 기판상에 결함이 발생된 위치의 좌표를 검출하는 단계;

c) 상기 결함이 발생된 결함 위치 좌표가 상기 정렬 좌표가 포함되는 정렬 영역내에 위치되는 경우에는 상기 보수기를 상기 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표까지 이동시키는 단계; 및

d) 상기 결함이 발생된 결함 위치 좌표가 상기 정렬 좌표가 포함되는 정렬 영역내에 위치되는 않는 경우에는, 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표까지 적어도 하나의 영역을 거쳐서 단계별로 이동시키는 단계; 및

e) 상기 결함 위치 좌표에서 보수기를 구동시켜 상기 기판상의 결함이 발생된 위치에 대한 보수 작업을 수행하는 단계

를 포함하는 액정 표시 장치의 결함 보수 방법.
(정정) 제5항에 있어서,

상기 보수기를 이동시키는 d) 단계는,

상기 결함 위치 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에, 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표가 위치되는 결함 영역의 기준 좌표까지 이동시키는 단계; 및

상기 보수기를 상기 기준 좌표로부터 결함이 발생한 결함 위치 좌표까지 이동시키는 단계

를 포함하는 액정 표시 장치의 결함 보수 방법.
(정정) 제6항에 있어서,

상기 보수기를 이동시키는 d) 단계는,

상기 결함 위치 좌표가 정렬 영역내에 위치되지 않는 경우에, 상기 보수기를 정렬 좌표로부터 상기 결함 위치 좌표가 위치되는 결함 영역의 기준 좌표까지 이동시키기 위한 최단 경로를 구하는 단계;

상기 보수기를 상기 최단 경로내에 포함되는 각 영역의 기준 좌표로 단계별로 이동시켜서 상기 결함 영역의 기준 좌표까지 이동시키는 단계; 및

상기 보수기를 상기 결함 영역의 기준 좌표에서 상기 결함 위치 좌표로 이동시키는 단계

를 포함하는 액정 표시 장치의 결함 보수 방법.