JPH10123474A - 液晶表示パネルの欠陥修復装置及びその欠陥修復方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶表示パネルの欠陥部位の修復作業を迅速
且つ確実に行うことができ、生産性を向上させることが
できる液晶表示パネルの欠陥修復装置を提供すること。 【解決手段】 液晶表示パネルの欠陥部位の概略座標情
報を特定する座標特定手段と、レーザー光の光軸と直交
する平面内で移動可能に液晶表示パネルを支持する支持
手段と、液晶表示パネルの移動を制御する制御手段と、
前記レーザー光を出力するレーザー出力手段とを備え、
制御手段により前記概略座標により特定される部位がレ
ーザー光の光軸上に位置するように液晶表示パネルの位
置を制御して、欠陥部位に対する大まかな位置合わせを
行う。この後、作業者は、液晶表示パネルの位置を手動
により修正してレーザー光の光軸上に欠陥部位を正確に
位置させて修復作業を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光を照射
して液晶表示パネルの欠陥を修復する液晶表示パネルの
欠陥修復装置及びその欠陥修復方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネルの製造工程における検査
や、この液晶表示パネルに液晶駆動回路などを実装して
モジュール化する際の検査工程において表示状態に欠陥
が発見されると、その欠陥の内容を解析して修復が可能
か否かの判断がなされ、修復可能と判断された場合に
は、欠陥修復装置を用いて欠陥の修復が行われる。

【０００３】従来から、この欠陥修復装置として、特開
平３−２０９４２２号公報に開示された装置のように、
レーザー光を照射して欠陥を修復するものが知られてお
り、この装置によれば、レーザー光を照射する部位がレ
ーザー光の光軸上に正確に位置するように、レーザー光
の照射に際して予め位置合わせを行う必要がある。

【０００４】ところで、例えば液晶表示パネルに形成さ
れたソースバスラインやゲートバスラインなどの配線の
断線による欠陥に対しては、一般には断線が生じた配線
に予備配線を接続して断線部をバイパスする修復方法が
採られる。この修復方法を用いて欠陥を修復する場合、
従来の装置によれば、先ず、モニタに映し出される液晶
表示パネルの表面の拡大映像を確認しながら目視により
断線部を確認した後、レーザー光の照射位置に対応する
のモニタ上のマークを断線部に合わせて、レーザー光を
断線部に照射する。これにより、断線部を平坦化すると
共に確実に断線して断線状態を安定化させる。

【０００５】次に、モニタに映し出される映像を見なが
ら、この断線が生じた配線に予備配線を接続するための
接続点を目視により探索し、この接続点に前記モニタの
マークを合わせてレーザー光を照射する。なお、この接
続点は、レーザー光を照射することにより、正規の配線
と予備配線とを電気的に接続するものであり、レーザー
光を照射する接続点を選択することにより予備配線に接
続する配線が選択される。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の装置によれば、欠陥部位にレーザー光を照射する
にあたって、目視で確認しながら位置合わせを行うもの
となっているため、位置合わせの作業に多大な時間を要
し、作業効率の低下を招いていた。特に、液晶表示パネ
ルの表示領域の外部においては、各配線のパターンが一
様となっていないことに起因して、目視による上述の接
続点の探索に多大な時間を費やし、作業効率を低下させ
る主因となっていた。

【０００７】また、液晶表示パネルの表示領域の内部に
おいては、逆に各配線のパターンが上下左右の各方向に
同様であることに起因して、作業者が位置合わせのため
に液晶表示パネルを移動させるにあたって欠陥が存在す
る配線を誤認することがある。この結果、予備配線の接
続に失敗し、生産効率が著しく低下すると共に生産コス
トの増加を招いていた。

【０００８】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであり、欠陥部位の修復作業を迅速且つ確実に行
うことができ、作業性及び生産性を向上させることがで
きる液晶表示パネルの欠陥修復装置及びその欠陥修復方
法を提供することを課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決達成するため、以下の構成を有する。請求項１に記載
の発明に係る液晶表示パネルの欠陥修復装置は、レーザ
ー光を照射して欠陥を修復する液晶表示パネルの欠陥修
復装置であって、液晶表示パネルの欠陥部位の概略座標
を特定する座標特定手段と、前記レーザー光の光軸と直
交する平面内で移動可能に前記液晶表示パネルを支持す
る支持手段と、前記平面内において前記概略座標により
特定される前記液晶表示パネルの部位が前記レーザー光
の光軸上に位置するように前記液晶表示パネルの移動を
制御する制御手段と、前記レーザー光を出力するレーザ
ー出力手段とを備えたことを特徴とする液晶表示パネル
の欠陥修復装置の構成を有する。

【００１０】請求項２に記載の発明に係る液晶表示パネ
ルの欠陥修復装置は、レーザー光を照射して欠陥を修復
する液晶表示パネルの欠陥修復装置であって、液晶表示
パネルの欠陥部位の概略座標を特定する第１の座標特定
手段と、前記レーザー光の光軸と直交する平面内で移動
可能に前記液晶表示パネルを支持する支持手段と、前記
平面内における前記液晶表示パネルの移動を制御する制
御手段と、前記欠陥部位が前記レーザー光の光軸上に位
置するように前記平面内において前記液晶表示パネルの
位置を修正して前記欠陥部位の詳細座標を特定する第２
の座標特定手段と、前記レーザー光を出力するレーザー
出力手段とを備え、前記制御手段は、前記概略座標によ
り特定される前記液晶表示パネルの部位が前記レーザー
光の光軸上に位置するように前記液晶表示パネルの移動
を制御し、前記詳細座標に基づき前記レーザー光を照射
すべき部位が前記レーザー光の光軸上に位置するように
前記液晶表示パネルの移動を制御することを特徴とする
液晶表示パネルの欠陥修復装置の構成を有する。

【００１１】請求項３に記載の発明に係る液晶表示パネ
ルの欠陥修復装置は、第２の座標特定手段が、レーザー
出力手段によるレーザー光の出力を契機として、欠陥部
位の詳細座標を特定することを特徴とする請求項２に記
載の液晶表示パネルの欠陥修復装置の構成を有する。

【００１２】請求項４に記載の発明に係る液晶表示パネ
ルの欠陥修復方法は、レーザー光を照射して欠陥を修復
する液晶表示パネルの欠陥修復方法であって、液晶表示
パネルの欠陥部位の概略座標を特定する第１のステップ
と、前記概略座標に基づき前記欠陥部位を前記レーザー
光の光軸の近傍に誘導する第２のステップと、前記欠陥
部位が前記レーザー光の光軸上に位置するように前記液
晶表示パネルの位置を修正して前記レーザー光を前記欠
陥部位に照射する第３のステップと、前記欠陥部位の詳
細座標を特定する第４のステップと、前記詳細座標に基
づきレーザー光を照射すべき部位を前記レーザー光の光
軸上に誘導して該部位に前記レーザー光を照射する第５
のステップとを有することを特徴とする液晶表示パネル
の欠陥修復方法の構成を有する。

【００１３】上記構成された本発明に係る液晶表示パネ
ルの欠陥修復装置及びその欠陥修復方法は以下のように
作用する。即ち、請求項１に記載の発明に係る液晶表示
パネルの欠陥修復装置によれば、座標特定手段により液
晶表示パネルの欠陥部位の概略座標を特定して、前記欠
陥部位の液晶表示パネル上でのおおまかな位置を入力す
る。次に、制御手段は、前記概略座標により特定される
部位がレーザー光の光軸上に位置するように、支持手段
に支持された液晶表示パネルの移動を制御する。この結
果、欠陥部位がレーザー光の光軸の近傍に位置するよう
に、液晶表示パネルが誘導される。

【００１４】また、請求項２に記載の発明に係る液晶表
示パネルの欠陥修復装置によれば、第１の座標特定手段
により液晶表示パネルの欠陥部位の概略座標を特定し
て、前記欠陥部位の液晶表示パネル上でのおおまかな位
置を入力する。次に、制御手段は、前記概略座標により
特定される部位がレーザー光の光軸上に位置するよう
に、支持手段に支持された液晶表示パネルの移動を制御
する。この結果、欠陥部位がレーザー光の光軸の近傍に
位置するように、液晶表示パネルが誘導される。

【００１５】次に、第２の座標特定手段により液晶表示
パネルの位置を修正して、欠陥部位をレーザー光の光軸
上に位置させる。この第２の座標特定手段は、欠陥部位
がレーザー光の光軸上に位置した状態における液晶表示
パネルの位置から欠陥部位の詳細座標を特定する。次
に、前記制御手段は、第２の座標特定手段により特定さ
れた前記詳細座標に基づいてレーザー光を照射すべき部
位を探索して、このレーザー光を照射すべき部位がレー
ザー光の光軸上に位置するように、支持手段に支持され
た液晶表示パネルの移動を制御する。

【００１６】このように、制御手段は、第１の座標特定
手段により特定される概略座標に基づいて欠陥部位をレ
ーザー光の光軸の近傍に誘導するステップと、第２の座
標特定手段により特定される詳細座標に基づいて前記欠
陥部位を起点としてレーザー光を照射すべき部位をレー
ザー光の光軸上に誘導するステップとの２ステップの制
御プロセスを経て、最終的にレーザー光を照射すべき部
位をレーザー光の光軸上に位置させる。なお、第２の座
標特定手段により欠陥部位の詳細座標を特定する過程に
おいても、欠陥部位がレーザー光の光軸上に位置するの
で、結果として、“欠陥部位”と“レーザー光を照射す
べき部位”とが、時を異にしてレーザー光の光軸上に位
置することとなる。

【００１７】さらに、請求項３に記載の発明に係る液晶
表示パネルの欠陥修復装置によれば、請求項２に記載の
発明に係る液晶表示パネルの欠陥修復装置において、第
２の座標特定手段は、レーザー出力手段によるレーザー
光の出力を契機（トリガー）として、欠陥部位の詳細座
標を特定する。即ち、第２の座標特定手段は、欠陥部位
がレーザー光の光軸上に位置した状態における液晶表示
パネルの位置から欠陥部位の詳細座標を特定するもので
あるが、欠陥部位がレーザー光の光軸上に位置している
か否かを判別する必要がある。

【００１８】ところで、欠陥部位そのものに対してレー
ザー光を照射することとした場合、レーザー出力手段か
らレーザー光を出力するにあたっては欠陥部位がレーザ
ー光の光軸上に位置することが前提とされる。従って、
欠陥部位がレーザー光の光軸上に位置しているか否かの
判別は、レーザー光が出力されているか否かにより行う
ことができ、第２の座標特定手段はレーザー光の出力を
契機として欠陥部位の詳細座標を特定する。

【００１９】さらにまた、請求項４に記載の発明に係る
液晶表示パネルの欠陥修復方法によれば、第１のステッ
プにより液晶表示パネルの欠陥部位の概略座標を特定
し、第２のステップにより前記概略座標に基づき前記欠
陥部位を前記レーザー光の光軸の近傍に誘導する。ま
た、第３のステップにより前記欠陥部位が前記レーザー
光の光軸上に位置するように前記液晶表示パネルの位置
を修正して前記レーザー光を前記欠陥部位に照射し、第
４のステップにより前記欠陥部位の詳細座標を特定す
る。そして、第５のステップにより前記詳細座標に基づ
きレーザー光を照射すべき部位を前記レーザー光の光軸
上に誘導して該部位に前記レーザー光を照射する。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、図１から図４を参照しなが
ら、配線の断線に起因して表示欠陥が生じた場合を例と
して、本発明の実施形態に係る液晶表示パネルの欠陥修
復装置及びその欠陥修復方法について詳細に説明する。
ここで、図１は、本実施形態の装置の構成図であり、図
２は本実施形態の装置の上面図である。また、図３は検
査対象物である液晶表示パネルの配線概念図であり、図
４は本実施形態の装置の動作を説明するための説明図で
ある。

【００２１】図１に示す本実施形態の装置は、検査対象
物の液晶表示パネル（図示せず）を装着（支持）して直
交平面内を移動するＸＹステージ１（支持手段）と、該
ＸＹステージ１を駆動するステージドライバ２（制御手
段の一部）と、欠陥部位の大まかな座標情報（以下、
「概略座標情報」と記す）を入力するタッチパネル３
（座標特定手段）と、レーザー光を出力するレーザーヘ
ッド４（レーザー出力手段）と、該レーザー光の出力状
態を制御すると共に該レーザー光の出力を報知するため
の報知信号を出力するレーザー制御装置５（レーザー出
力手段の一部）と、前記タッチパネル３及びレーザー制
御装置５からそれぞれ概略座標情報及び報知信号を入力
して液晶表示パネルが装着された前記ＸＹステージの移
動を制御するためのステージ移動信号を出力するステー
ジ制御部６（制御手段）とから構成されている。

【００２２】また、前記ステージ制御部６は、作業者が
装置に対して必要な命令情報等を入力するためのキー入
力部６Ａと、同じく作業者が装置に対して後述する修正
座標情報を入力するためのステージ移動器具６Ｂと、前
記タッチパネル３、レーザー制御装置５、キー入力部６
Ａ及びステージ移動器具６Ｂからの各種情報を演算処理
して前記ステージ移動信号を生成する情報処理部６Ｃと
から構成されている。さらに、前記情報処理部６Ｃは、
入力した各種情報を演算処理する演算部６Ｃ−１と、タ
ッチパネル３またはステージ移動器具６Ｂから入力した
各種座標情報を格納する座標情報記憶部６Ｃ−２と、前
記演算部６Ｃ−１及び座標情報記憶部６Ｃ−２の動作を
制御する制御部６Ｃ−３とから構成されている。

【００２３】以下、このように構成された本実施形態の
装置の動作（欠陥修復方法）について詳細に説明する。
本実施形態の装置に検査対象物の液晶表示パネルを装着
する場合、図２に示すように、先ず、ＸＹステージ１を
検査ポジションに移動させて液晶表示パネルＢを装着す
る。次に、ＸＹステージ１に装着された液晶表示パネル
Ｂの上にタッチパネル３を被せ、図示しない液晶駆動装
置により液晶表示パネルＢを点灯表示状態に設定する。

【００２４】ここで、液晶表示パネルＢは、図３に例示
するように、垂直方向と水平方向にそれぞれソースバス
ラインＳＢ₁〜ＳＢ_N及びゲートバスラインＧＢ₁〜ＧＢ_N
の正規の配線が布線されている。これら配線の一端側に
はソース端子及びゲート端子（図示なし）が設けられ、
例えば奇数番目のソースバスラインのソース端子をソー
ス端子領域Ｋ１側に、偶数番目のソースバスラインのソ
ース端子をソース端子領域Ｋ２側に振り分けて、ソース
端子及びゲート端子がそれぞれソース端子領域Ｋ１，Ｋ
２及びゲート端子領域Ｌ１，Ｌ２に設けられている。

【００２５】また、同図において、ソース端子領域Ｋ１
及びＫ２には、ソースバスラインＳＢ₁〜ＳＢ_Nと交差す
るように予備配線Ｍ１及びＭ２がそれぞれ布線されてお
り、これら配線の交点が接続点を形成する。前述したよ
うに、この接続点にレーザー光を照射することにより、
交差するソースバスラインと予備配線とが電気的に接続
される。さらに、同図に例示する液晶表示パネルＢは、
ソースバスラインＳＢ₄に断線欠陥部Ｘを有するものと
なっている。この場合、ソースバスラインＳＢ₄のソー
ス端子はソース端子領域Ｋ２側に配置されているものと
すれば、断線欠陥部Ｘから上側の配線には点灯信号が伝
達されないので、この上側の配線により駆動される表示
領域は輝線となって表示される。

【００２６】このように各種の配線が布線された液晶表
示パネルＢを点灯表示状態にする場合、ゲート端子領域
Ｌ１，Ｌ２及びソース端子領域Ｋ１，Ｋ２の各領域に設
けられたゲート端子及びソース端子に対して液晶駆動装
置（図示なし）から点灯信号を選択的に印加する。

【００２７】ここで、再び説明を図２に戻す。このよう
に液晶表示パネルＢを点灯表示状態に設定すると、次に
作業者は、検査ポジションにある液晶表示パネルＢの表
示状態をタッチパネル３を通して目視検査する。この目
視検査の結果、上述の断線欠陥部Ｘに起因して、液晶表
示パネルＢの座標位置Ｊ１に表示欠陥（輝線欠陥）を発
見すると、作業者は、その表示欠陥が位置するタッチパ
ネル３の一部を指で触れて、その位置を入力する。

【００２８】次に、図１に示すステージ制御部６は、作
業者が指で触れたタッチパネル３上の位置を上述の断線
欠陥部Ｘの概略座標情報Ｊ２として特定し、座標情報記
憶部６Ｃ−２に格納する。なお、この概略座標情報Ｊ２
は、上述のように作業者が指で触れた位置から特定され
るものであることから、図２に誇張して示すように、断
線欠陥部Ｘの本来の座標位置Ｊ１からずれたものとな
る。

【００２９】このように概略座標情報Ｊ２が特定される
と、次に作業者は、キー入力部６Ａから命令情報を入力
して、図２に破線で示すようにＸＹステージ１を修復ポ
ジションに移し、この概略座標情報Ｊ２を用いて大まか
な位置合わせ（以下、「１次アライメント」と記す）を
行う。

【００３０】以下、図４（ａ）及び（ｂ）を参照しなが
ら１次アライメントの動作について説明する。先ず、図
４（ａ）に示すように、液晶表示パネルＢが修復ポジシ
ョンに位置した状態で作業者がキー入力部６Ａを操作し
て１次アライメントの実行命令を入力すると、図１に示
す演算部６Ｃ−１は、座標情報記憶部６Ｃ−２に格納さ
れた概略座標情報Ｊ２を読み出し、この概略座標情報Ｊ
２により特定される部位をレーザー照射位置Ｐ（レーザ
ー光の光軸上）に位置させるために必要なＸＹステージ
１の図４（ａ）に示す移動ベクトルＶ１を演算する。

【００３１】情報処理部６Ｃは、この演算結果（移動ベ
クトルＶ１）に基づきステージ移動信号を生成してステ
ージドライバ２に与え、ＸＹステージ１（即ち液晶表示
パネルＢ）の移動を制御する。この結果、図４（ｂ）に
示すように、液晶表示パネルＢに対してレーザー照射位
置Ｐが相対的に移動し、座標位置Ｊ２により特定される
部位がレーザー照射位置Ｐに合致して、１次アライメン
トを終了する。

【００３２】次に、作業者は、図示しないモニタに映し
出される液晶表示パネルＢの拡大映像を目視で確認しな
がら、図１に示すステージ移動器具６Ｂを操作して、手
動により液晶表示パネルＢの位置を修正し、図４（ｃ）
に示すように、前述の断線欠陥部Ｘが位置する座標位置
Ｊ１をレーザー照射位置Ｐに正確に合致させる。このと
き、ステージ移動器具６Ｂは修正座標情報を生成して情
報処理部６Ｃに与え、情報処理部６Ｃは、この修正座標
情報が反映されたステージ移動信号をステージドライバ
２に与えてＸＹステージ１（断線欠陥部Ｘ）の位置を修
正する。

【００３３】このようにして断線欠陥部Ｘの位置を修正
した後、作業者は、図１に示すレーザー制御装置５を操
作してレーザー光を断線欠陥部Ｘに照射し、断線部を平
滑化すると共に断線状態を安定化させる修復作業を行
う。このレーザー光の出力と同時に、レーザー制御装置
５はレーザー光の出力を報知する報知信号を情報処理部
６Ｃに与え、これを受けた情報処理部６Ｃは、レーザー
光が断線欠陥部Ｘに照射された時点でのＸＹステージ１
の位置から断線欠陥部Ｘの正確な座標情報を割り出し
て、これを詳細座標情報として特定し、座標情報記憶部
６Ｃ−２に格納する。

【００３４】次に作業者が、予備配線の接続命令をキー
入力部６Ａから入力すると、演算部６Ｃ−１は、座標情
報記憶部６Ｃ−２から断線欠陥部Ｘの詳細座標情報を読
み出し、断線欠陥部Ｘが存在する配線ＳＢ₄を特定し
て、これに予備配線を接続するための接続点（レーザー
光を照射すべき部位）の探索を行い、この接続点をレー
ザー照射位置に合わせるための位置合わせ（以下、「２
次アライメント」と記す）を行う。

【００３５】即ち、図１に示す演算部６Ｃ−１は、図３
において、先ず詳細座標情報から断線欠陥部Ｘが存在す
る配線ＳＢ₄のブロック番号と配線番号を割り出す。そ
して、このブロック番号と配線番号で特定される配線
（即ちソースバスラインＳＢ₄）に対して予備配線Ｍ
１，Ｍ２の接続点Ｎ１，Ｎ２を特定した後、これら接続
点Ｎ１，Ｎ２の座標を演算して座標情報記憶部６Ｃ−２
に格納する。

【００３６】次に、図１に示す情報処理部６Ｃは、座標
情報記憶部６Ｃ−２から接続点Ｎ１の座標情報を読み出
し、接続点Ｎ１をレーザー照射位置Ｐに位置させるため
に必要なＸＹステージ１の図４（ｄ）に示す移動ベクト
ルＶ２を演算する。情報処理部６Ｃは、この演算結果
（移動ベクトルＶ２）に基づきステージ移動信号を生成
してステージドライバ２に与え、ＸＹステージ１の移動
を制御する。

【００３７】この結果、同図（ｄ）に示すように、レー
ザー照射位置Ｐが接続点Ｎ１に合致し、接続点Ｎ１に対
する２次アライメントが終了する。この後、作業者は、
レーザー制御装置５を操作して、図３及び図４（ｄ）に
示す接続点Ｎ１にレーザー光を照射し、図３に示す分断
された配線ＳＢ₄の一方と予備配線Ｍ１とを電気的に接
続する作業を行う。

【００３８】同様にして、図１に示す情報処理部６Ｃ
は、座標情報記憶部６Ｃ−２から接続点Ｎ２の座標情報
を読み出し、接続点Ｎ２をレーザー照射位置Ｐに位置さ
せるために必要なＸＹステージ１の移動ベクトルを演算
して、レーザー照射位置Ｐを接続点Ｎ２に合致させる。
そして、接続点Ｎ２にレーザー光を照射し、分断された
配線ＳＢ₄の他方と予備配線Ｍ２とを電気的に接続す
る。

【００３９】ここで、図３において、予備配線Ｍ１とＭ
２とは、図示しない垂直方向の予備配線により電気的に
接続されており、分断された配線ＳＢ₄の一方と他方と
は、予備配線Ｍ１，Ｍ２及び垂直方向の予備配線を介し
て電気的に接続される。この結果、配線ＳＢ₄の断線欠
陥部Ｘがバイパスされ、表示欠陥（輝線欠陥）が修復さ
れることとなる。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、以下のような効果を得ることができる。即
ち、請求項１及び請求項４に記載の発明によれば、欠陥
部位の概略座標情報に基づいて欠陥部位をレーザー照射
位置の近傍に誘導するようにしたので、欠陥部位をレー
ザー照射位置に合わせるための位置の修正作業量が極め
て少なくなり、迅速且つ正確に欠陥部位をレーザー照射
位置に合わせることができる。

【００４１】また、請求項２に記載の発明によれば、欠
陥部位の概略座標情報に基づいて欠陥部位をレーザー照
射位置の近傍に誘導し、さらに欠陥部位の詳細座標情報
に基づいて予備配線との接続点（レーザー光を照射すべ
き部位）をレーザー光照射位置に誘導するようにしたの
で、迅速且つ正確に接続点をレーザー照射位置に合わせ
ることができ、予備配線の接続ミスを完全に排除するこ
とができる。

【００４２】従って、本発明によれば、作業者の手動に
よる位置合わせは、レーザー光照射位置の近傍に誘導さ
れた欠陥部位の位置を僅かに修正することで足りるの
で、位置合わせに要する時間を大幅に短縮することがで
き、作業性と生産効率とを共に飛躍的に向上させること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る液晶表示パネルの欠
陥修復装置の構成図である。

【図２】本発明の実施の形態に係る液晶表示パネルの欠
陥修復装置の上面図である。

【図３】検査対象物としての液晶表示パネルの配線概念
図である。

【図４】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施の形態に係る
液晶表示パネルの欠陥修復装置の動作を説明するための
説明図である。

【符号の説明】

１ ＸＹステージ ２ ステージドライバ ３ タッチパネル ４ レーザーヘッド ５ レーザー制御装置 ６ ステージ制御部 ６Ｃ−１ 演算部 ６Ｃ−２ 座標情報記憶部 ６Ｃ−３ 制御部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザー光を照射して欠陥を修復する液
   晶表示パネルの欠陥修復装置であって、 液晶表示パネルの欠陥部位の概略座標を特定する座標特
   定手段と、 前記レーザー光の光軸と直交する平面内で移動可能に前
   記液晶表示パネルを支持する支持手段と、 前記平面内において前記概略座標により特定される前記
   液晶表示パネルの部位が前記レーザー光の光軸上に位置
   するように前記液晶表示パネルの移動を制御する制御手
   段と、 前記レーザー光を出力するレーザー出力手段とを備えた
   ことを特徴とする液晶表示パネルの欠陥修復装置。
2. 【請求項２】 レーザー光を照射して欠陥を修復する液
   晶表示パネルの欠陥修復装置であって、 液晶表示パネルの欠陥部位の概略座標を特定する第１の
   座標特定手段と、 前記レーザー光の光軸と直交する平面内で移動可能に前
   記液晶表示パネルを支持する支持手段と、 前記平面内における前記液晶表示パネルの移動を制御す
   る制御手段と、 前記欠陥部位が前記レーザー光の光軸上に位置するよう
   に前記平面内において前記液晶表示パネルの位置を修正
   して前記欠陥部位の詳細座標を特定する第２の座標特定
   手段と、 前記レーザー光を出力するレーザー出力手段とを備え、 前記制御手段は、前記概略座標により特定される前記液
   晶表示パネルの部位が前記レーザー光の光軸上に位置す
   るように前記液晶表示パネルの移動を制御し、前記詳細
   座標に基づき前記レーザー光を照射すべき部位が前記レ
   ーザー光の光軸上に位置するように前記液晶表示パネル
   の移動を制御することを特徴とする液晶表示パネルの欠
   陥修復装置。
3. 【請求項３】 第２の座標特定手段は、レーザー出力手
   段によるレーザー光の出力を契機として、欠陥部位の詳
   細座標を特定することを特徴とする請求項２に記載の液
   晶表示パネルの欠陥修復装置。
4. 【請求項４】 レーザー光を照射して欠陥を修復する液
   晶表示パネルの欠陥修復方法であって、 液晶表示パネルの欠陥部位の概略座標を特定する第１の
   ステップと、 前記概略座標に基づき前記欠陥部位を前記レーザー光の
   光軸の近傍に誘導する第２のステップと、 前記欠陥部位が前記レーザー光の光軸上に位置するよう
   に前記液晶表示パネルの位置を修正して前記レーザー光
   を前記欠陥部位に照射する第３のステップと、 前記欠陥部位の詳細座標を特定する第４のステップと、 前記詳細座標に基づきレーザー光を照射すべき部位を前
   記レーザー光の光軸上に誘導して該部位に前記レーザー
   光を照射する第５のステップとを有することを特徴とす
   る液晶表示パネルの欠陥修復方法。