JP2003344874A

JP2003344874A - 液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられる欠陥修復装置

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Publication number: JP2003344874A
Application number: JP2002156797A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Ono; 泰弘大野
Original assignee: Fujitsu Display Technologies Corp
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 2002-05-30
Filing date: 2002-05-30
Publication date: 2003-12-03
Anticipated expiration: 2022-05-30
Also published as: JP4322471B2

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、情報機器等の表示装置に用いられる
液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられ
る欠陥修復装置に関し、製造歩留まりが向上して製造コ
ストが低減される液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及
びそれに用いられる欠陥修復装置を提供することを目的
とする。【解決手段】ｎ本の第１のリペア配線３２ａ、３２ｂ
と、リペア配線３２ａ、３２ｂに交差して形成されたｍ
本の第２のリペア配線３４ａ〜３４ｄとを備えたＴＦＴ
基板２の断線ドレインバスライン１２’を修復する欠陥
修復方法において、断線ドレインバスライン１２’の位
置情報に基づいて、断線ドレインバスライン１２’とリ
ペア配線３２ａ、３２ｂとを接続する第１の接続位置ｗ
１、ｗ２と、リペア配線３２ａ、３２ｂとリペア配線３
４ａ、３４ｂとを接続する第２の接続位置ｘ１〜ｘ４と
からなる接続組合せを決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報機器等の表示
装置に用いられる液晶表示装置用基板の欠陥修復方法及
びそれに用いられる欠陥修復装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、画素毎にスイッチング素子を備え
たアクティブマトリクス型液晶表示装置が広く使用され
ている。一般的なアクティブマトリクス型液晶表示装置
は、２枚の透明基板と、両基板間に封止された液晶とを
有している。一方の透明基板は、相互に対向する面（対
向面）に、共通電極、カラーフィルタ（ＣＦ）及び配向
膜等が形成されたＣＦ基板である。他方の透明基板は、
スイッチング素子として用いられる薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ；ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏ
ｒ）、画素電極及び配向膜等が対向面に形成されたＴＦ
Ｔ基板である。ＴＦＴ基板には、複数のゲートバスライ
ンと、絶縁膜（ゲート絶縁膜）を介してゲートバスライ
ンに交差する複数のドレインバスラインとが設けられて
いる。なお、各バスラインの交差位置近傍には、ドレイ
ン電極がドレインバスラインに接続されるＴＦＴが形成
されている。ＴＦＴのソース電極は、各画素領域に配置
される画素電極に接続される。両基板の対向面と反対側
の面には、各々偏光板が貼り付けられている。

【０００３】ところで、液晶表示装置において製造コス
トの低減は重要な課題である。製造コスト低減には、ま
ず製造歩留まりの向上が強く望まれる。液晶表示装置の
製造歩留まりを低下させる原因の一つに、ＴＦＴ基板上
に形成されたバスラインなどの配線パターンに生じる断
線欠陥がある。従来から、ＴＦＴ基板にはリペア配線が
設けられている。バスラインに断線欠陥が発生した場合
には、リペア配線を使用して断線欠陥が修復される。こ
れにより液晶表示装置の表示不良を救済し、製造歩留ま
りを向上させている。

【０００４】図５は、従来のＴＦＴ基板の構成を示して
いる。図５に示すように、ＴＦＴ基板２上には、図中左
右方向に延びる複数のゲートバスライン１０（図５では
４本示している）が形成されている。不図示の絶縁膜を
介してゲートバスライン１０に交差して、図中上下方向
に延びる複数のドレインバスライン１２（図５では１２
本示している）が形成されている。ゲートバスライン１
０は破線内の表示領域Ａの外側の額縁領域Ｂまで延びて
おり、一端に配置された複数の外部接続端子１６にそれ
ぞれ接続されている。同様にドレインバスライン１２は
額縁領域Ｂまで延びており、一端に配置された複数の外
部接続端子１４にそれぞれ接続されている。

【０００５】ドレインバスライン１２は、所定本数毎に
グループ分けされている。ドレインバスライン１２の一
端側（外部接続端子１４側）の額縁領域Ｂには、ゲート
バスライン１０と同一層で形成されたリペア配線１８が
配置されている。リペア配線１８は、各グループ毎のド
レインバスライン１２に絶縁膜を介して交差している。
なお、本明細書中で「交差」とは、配線同士の少なくと
も一部に、基板面に垂直方向に見て互いに重なっている
重なり領域が形成されていることをいう。リペア配線１
８の一端は、外部接続端子２０に接続されている。ま
た、ドレインバスライン１２の他端側の額縁領域Ｂに
は、ゲートバスライン１０と同一層で形成されたリペア
配線２２がドレインバスライン１２のグループ毎に配置
されている。リペア配線２２は、各グループ毎のドレイ
ンバスライン１２に絶縁膜を介して交差している。リペ
ア配線２２の一端は外部接続端子２４に接続されてい
る。

【０００６】このような構成を有するＴＦＴ基板２にお
いて、断線が生じた断線欠陥部２６を有する断線ドレイ
ンバスライン１２’を修復する方法について説明する。
断線ドレインバスライン１２’とリペア配線１８’とが
絶縁膜を介して交差する交差位置（クロスポイント）
と、断線ドレインバスライン１２’とリペア配線２２’
とが絶縁膜を介して交差する交差位置とにレーザ光を照
射して、断線ドレインバスライン１２’と２本のリペア
配線１８’、２２’とを電気的に接続する。リペア配線
１８’に接続された外部接続端子２０’と、リペア配線
２２’に接続された外部接続端子２４’とは、不図示の
周辺回路を介して接続される。これにより、断線ドレイ
ンバスライン１２’全体に階調信号が供給されるように
なり、断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止さ
れる。

【０００７】しかしながら、近年の狭額縁化の要求によ
り額縁領域Ｂに形成できるリペア配線１８、２２の本数
には設計上の制限がある。このため、上記の従来のＴＦ
Ｔ基板２では、１本のリペア配線１８、２２に交差する
ドレインバスライン１２の本数が多くなり、リペア配線
１８、２２とドレインバスライン１２との交差位置で生
じる付加容量が大きくなってしまう。これにより、信号
の遅延及び信号波形の鈍りが生じてしまう。また、上記
の構成では、グループ内では１本のドレインバスライン
１２しか修復することができない。

【０００８】上記の問題を解決するために、図６に示す
ようなリペア配線構成を有するＴＦＴ基板２がある。図
６に示すように、ＴＦＴ基板２上には、複数のゲートバ
スライン１０と、ゲートバスライン１０に絶縁膜を介し
て交差する複数のドレインバスライン１２とが配置され
ている。ゲートバスライン１０は額縁領域Ｂまで延びて
おり、外部接続端子１６に接続されている。同様に、ド
レインバスライン１２は額縁領域Ｂまで延びており、外
部接続端子１４に接続されている。ドレインバスライン
１２は、所定本数毎にｋ個（図６では３個）のグループ
にグループ分けされている。

【０００９】ドレインバスライン１２の一端側（外部接
続端子１４側）の額縁領域Ｂには、ゲートバスライン１
０と同一層で形成されたｎ本（例えば２本）の第１のリ
ペア配線３２ａ、３２ｂがグループ毎に配置されてい
る。２本の第１のリペア配線３２ａ、３２ｂは、グルー
プ毎のドレインバスライン１２に絶縁膜を介して交差し
ている。第１のリペア配線３２ａ、３２ｂの両端には、
ドレインバスライン１２と同一層で形成されたｍ本（本
例では２×ｎ本（＝４本））の第２のリペア配線３４ａ
〜３４ｄがグループ毎に配置されている。第１のリペア
配線３２ａの一端は、第２のリペア配線３４ａの一端に
絶縁膜を介して交差している。第１のリペア配線３２ａ
の他端は、第２のリペア配線３４ｄの一端に絶縁膜を介
して交差している。第１のリペア配線３２ｂの一端は、
第２のリペア配線３４ｂの一端に絶縁膜を介して交差し
ている。第１のリペア配線３２ｂの他端は、第２のリペ
ア配線３４ｃの一端に絶縁膜を介して交差している。第
２のリペア配線３４ａ〜３４ｄの他端は、外部接続端子
３６ａ〜３６ｄにそれぞれ接続されている。

【００１０】また、ドレインバスライン１２の他端側の
額縁領域Ｂには、ゲートバスライン１０と同一層で形成
されたｎ本（２本）の第３のリペア配線３３ａ、３３ｂ
がグループ毎に配置されている。第３のリペア配線３３
ａ、３３ｂは、グループ毎のドレインバスライン１２に
絶縁膜を介して交差している。第３のリペア配線３３
ａ、３３ｂは、基板面に垂直方向に見て「コ」の字状に
形成されている。第３のリペア配線３３ａ、３３ｂの両
端は、ドレインバスライン１２と同一層で形成された２
×ｎ本（４本）の第４のリペア配線３５ａ〜３５ｄに絶
縁膜を介して交差している。第４のリペア配線３５ａ〜
３５ｄの一端は、外部接続端子３７ａ〜３７ｄにそれぞ
れ接続されている。

【００１１】上記の構成では、グループ毎のドレインバ
スライン１２の本数を減少させることにより、第１のリ
ペア配線３３ａ、３３ｂと交差するドレインバスライン
１２の本数が減少し、付加容量も減少する。

【００１２】このような構成を有するＴＦＴ基板２にお
いて、断線が生じた断線欠陥部２６を有する断線ドレイ
ンバスライン１２’を修復する方法について説明する。
この場合、以下のような（１）〜（４）の４通りの欠陥
修復方法が存在する。

【００１３】（１）断線ドレインバスライン１２’とリ
ペア配線３２ａとが絶縁膜を介して交差する第１の交差
位置ｗ１にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライ
ン１２’とリペア配線３２ａとを電気的に接続する。リ
ペア配線３２ａとリペア配線３４ａとが絶縁膜を介して
交差する第２の交差位置ｘ１にレーザ光を照射して、リ
ペア配線３２ａとリペア配線３４ａとを電気的に接続す
る。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａ
とが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ１にレー
ザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペ
ア配線３３ａとを電気的に接続する。リペア配線３３ａ
とリペア配線３５ａとが絶縁膜を介して交差する第４の
交差位置ｚ１にレーザ光を照射して、リペア配線３３ａ
とリペア配線３５ａとを電気的に接続する。この場合、
第１乃至第４の交差位置ｗ１、ｘ１、ｙ１、ｚ１がそれ
ぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ａ
に接続された外部接続端子３６ａと、リペア配線３５ａ
に接続された外部接続端子３７ａとは、不図示の周辺回
路を介して接続される。これにより、断線ドレインバス
ライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、
断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。

【００１４】（２）断線ドレインバスライン１２’とリ
ペア配線３２ｂとが絶縁膜を介して交差する第１の交差
位置ｗ２にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライ
ン１２’とリペア配線３２ｂとを電気的に接続する。リ
ペア配線３２ｂとリペア配線３４ｂとが絶縁膜を介して
交差する第２の交差位置ｘ２にレーザ光を照射して、リ
ペア配線３２ｂとリペア配線３４ｂとを電気的に接続す
る。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ｂ
とが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ２にレー
ザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペ
ア配線３３ｂとを電気的に接続する。リペア配線３３ｂ
とリペア配線３５ｂとが絶縁膜を介して交差する第４の
交差位置ｚ２にレーザ光を照射して、リペア配線３３ｂ
とリペア配線３５ｂとを電気的に接続する。この場合、
第１乃至第４の交差位置ｗ２、ｘ２、ｙ２、ｚ２がそれ
ぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ｂ
に接続された外部接続端子３６ｂと、リペア配線３５ｂ
に接続された外部接続端子３７ｂとは、不図示の周辺回
路を介して接続される。これにより、断線ドレインバス
ライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、
断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。

【００１５】（３）断線ドレインバスライン１２’とリ
ペア配線３２ｂとが絶縁膜を介して交差する第１の交差
位置ｗ２にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライ
ン１２’とリペア配線３２ｂとを電気的に接続する。リ
ペア配線３２ｂとリペア配線３４ｃとが絶縁膜を介して
交差する第２の交差位置ｘ３にレーザ光を照射して、リ
ペア配線３２ｂとリペア配線３４ｃとを電気的に接続す
る。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ｂ
とが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ２にレー
ザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペ
ア配線３３ｂとを電気的に接続する。リペア配線３３ｂ
とリペア配線３５ｃとが絶縁膜を介して交差する第４の
交差位置ｚ３にレーザ光を照射して、リペア配線３３ｂ
とリペア配線３５ｃとを電気的に接続する。この場合、
第１乃至第４の交差位置ｗ２、ｘ３、ｙ２、ｚ３がそれ
ぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ｃ
に接続された外部接続端子３６ｃと、リペア配線３５ｃ
に接続された外部接続端子３７ｃとは、不図示の周辺回
路を介して接続される。これにより、断線ドレインバス
ライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、
断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。

【００１６】（４）断線ドレインバスライン１２’とリ
ペア配線３２ａとが絶縁膜を介して交差する第１の交差
位置ｗ１にレーザ光を照射して、断線ドレインバスライ
ン１２’とリペア配線３２ａとを電気的に接続する。リ
ペア配線３２ａとリペア配線３４ｄとが絶縁膜を介して
交差する第２の交差位置ｘ４にレーザ光を照射して、リ
ペア配線３２ａとリペア配線３４ｄとを電気的に接続す
る。断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａ
とが絶縁膜を介して交差する第３の交差位置ｙ１にレー
ザ光を照射して、断線ドレインバスライン１２’とリペ
ア配線３３ａとを電気的に接続する。リペア配線３３ａ
とリペア配線３５ｄとが絶縁膜を介して交差する第４の
交差位置ｚ４にレーザ光を照射して、リペア配線３３ａ
とリペア配線３５ｄとを電気的に接続する。この場合、
第１乃至第４の交差位置ｗ１、ｘ４、ｙ１、ｚ４がそれ
ぞれ第１乃至第４の接続位置になる。リペア配線３４ｄ
に接続された外部接続端子３６ｄと、リペア配線３５ｄ
に接続された外部接続端子３７ｄとは、不図示の周辺回
路を介して接続される。これにより、断線ドレインバス
ライン１２’全体に階調信号が供給されるようになり、
断線欠陥による液晶表示装置の表示不良が防止される。

【００１７】以上のような４通りの欠陥修復方法を組み
合わせて用い、さらに適切な切断位置（カッティングポ
イント）でリペア配線３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂ
を切断することにより、互いに同一グループ内であって
も４本の断線ドレインバスライン１２’を修復できる。

【００１８】また、付加容量を低減する方法の１つとし
て、不用なリペア配線を切除する方法がある。上記の欠
陥修復方法（４）の場合、リペア配線３２ａの交差位置
ｗ１より交差位置ｘ１側と、リペア配線３３ａの交差位
置ｙ１より交差位置ｚ１側とを切断位置として、リペア
配線３２ａ、３３ａをレーザ光により切断する。これに
より、リペア配線３２ａ、３３ａとドレインバスライン
１２との交差部の個数を減少させることができ、付加容
量を低減することができる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上記構成のＴＦＴ基板
２では、断線ドレインバスライン１２’を修復する際
に、レーザ光を照射する交差位置を適切に選択する必要
がある。また、リペア配線３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３
３ｂをレーザ光により切断する際に、切断位置を適切に
選択する必要がある。しかし、これらの選択は作業者の
判断により行われるため、選択ミスが生じてしまうおそ
れがある。選択ミスによりレーザ光の照射位置を誤って
しまいＴＦＴ基板２の修復が不可能になると、製造歩留
まりが低下してしまうという問題が生じる。

【００２０】本発明の目的は、バスラインの断線欠陥の
修復作業を容易にすることにより、作業工数の低減及び
作業負担の軽減を実現し、それに伴い製造歩留まりが向
上して製造コストが低減される液晶表示装置用基板の欠
陥修復方法及びそれに用いられる欠陥修復装置を提供す
ることにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記目的は、複数のバス
ラインのうち所定本数で構成されたグループ毎のバスラ
インに絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成されたｎ本
の第１のリペア配線と、前記第１のリペア配線に絶縁膜
を介して交差して形成されたｍ本の第２のリペア配線と
を備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バ
スラインを修復する欠陥修復方法において、前記断線バ
スラインの位置情報に基づいて、前記断線バスラインと
前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続位置と、
前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを接続
する第２の接続位置とからなる接続組合せを決定するこ
とを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法によ
って達成される。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態による液晶
表示装置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられる欠
陥修復装置について図１乃至図４を用いて説明する。図
１は、液晶表示装置用基板の欠陥修復装置の概略構成を
示すブロック図である。欠陥修復装置は、ＴＦＴ基板２
にレーザ光を照射するレーザ光照射部を有している。レ
ーザ光照射部は、所定の照射波長のレーザ光を発振する
レーザ発振器６２を有している。レーザ光の照射方向に
は、レーザパワー調整用フィルタ６４と、レーザ光のス
ポット形状を調整する加工形状変更用スリット６６と、
対物レンズ６８とがこの順に配置されている。

【００２３】また、レーザ光照射部は、ＴＦＴ基板２が
載置され、基板面方向に移動可能なステージ６０を有し
ている。ステージ６０には、ＴＦＴ基板２の概略の位置
決めを行う突当て７２が取り付けられている。ステージ
６０の上方には、ＴＦＴ基板２の位置補正用マークを読
み取るための位置補正用マーク読取りカメラ７０が配置
されている。また、図示していないが、ステージ６０の
上方には、作業者がＴＦＴ基板２の状態を観察するため
の基板観察用カメラが配置されている。

【００２４】また、欠陥修復装置は、作業者が所定の情
報を入力する入力部５２を有している。入力部５２は、
キーボード、マウス、ステージ移動用コントローラ、及
びレーザ発振スイッチ等で構成されている。入力部５２
は、制御部５０に接続されている。制御部５０には、表
示部５６が接続されている。表示部５６はＣＲＴ等の表
示装置で構成され、所定の情報を表示するようになって
いる。

【００２５】制御部５０には、記憶部５４が接続されて
いる。記憶部５４には、ステージ６０の絶対位置と、Ｔ
ＦＴ基板２の位置補正用マークの位置とから、ステージ
６０の絶対位置に対するＴＦＴ基板２の相対位置を算出
するプログラムが格納されている。また記憶部５４に
は、ＴＦＴ基板２上に配置されたゲートバスライン１０
とドレインバスライン１２とで形成されたマトリクスに
おいて、各ゲートバスライン１０及び各ドレインバスラ
イン１２にそれぞれ付されたバスライン番号で記述され
たマトリクス上の座標をステージ６０上の絶対座標に変
換するプログラムが格納されている。さらに記憶部５４
には、後述する接続組合せ決定用テーブルや、切断組合
せ決定用テーブル等が格納されている。

【００２６】また、記憶部５４には、任意のドレインバ
スライン１２に対して交差位置及び切断位置を特定する
位置データ（計算式を含む）が格納されている。さら
に、ドレインバスライン番号と交差位置及び切断位置と
に基づいて必要なリペア配線を特定できるプログラム
や、ドレインバスライン番号とリペア配線の情報とに基
づいて交差位置及び切断位置とを特定できるプログラム
が格納されている。

【００２７】次に、本実施の形態による液晶表示装置用
基板の欠陥修復方法について図２乃至図４を用い、さら
に図６を参照しつつ説明する。本実施の形態による欠陥
修復方法の前提として、欠陥検査工程において、ＴＦＴ
基板２にはいくつかの断線ドレインバスライン１２’が
検出されているものとする。まず、ステージ６０上にＴ
ＦＴ基板２を載置する。ＴＦＴ基板２の２辺を突当て７
２に接触させることにより、ほぼ所定の位置に載置でき
る。次に、ＴＦＴ基板２上に配置された複数の位置補正
用マークを位置補正用マーク読取りカメラ７０で読み込
む。このとき、ステージ６０の移動軸と、ＴＦＴ基板２
上のゲートバスライン１０及びドレインバスライン１２
の延伸方向とが平行になるように、ステージ６０の絶対
位置と、読み取った位置補正用マーク位置とを利用し
て、ステージ６０に対するＴＦＴ基板２の相対位置を補
正する。

【００２８】次に、例えば作業者は、前工程で取得され
た断線欠陥部２６の位置情報のうちドレインバスライン
座標（ドレインバスライン番号）情報を入力部５２から
入力する。ドレインバスライン番号は、例えば図６の左
端のドレインバスライン１２から順に付されており、例
えば１から３８４０までである。制御部５０は、入力さ
れたドレインバスライン番号を記憶部５４に一時的に格
納する。断線欠陥部２６の位置情報は、欠陥検査工程で
用いられた欠陥検査装置から直接入力されるようにして
もよい。

【００２９】次に制御部５０は、ドレインバスライン番
号を記憶部５４から読み出し、断線ドレインバスライン
１２’の本数Ｌ１を算出する。次に制御部５０は、断線
ドレインバスライン１２’の本数Ｌ１と、第４のリペア
配線３５ａ〜３５ｄ（又は各グループ内での第２のリペ
ア配線３４ａ〜３４ｄ）の本数ｍ（本例ではｍ＝４）と
を比較し、Ｌ１＞ｍであれば、欠陥修復不可である旨を
表示部５６に出力する。次に制御部５０は、各断線ドレ
インバスライン１２’毎の接続組合せを以下のように決
定する。ここで、接続組合せは、断線ドレインバスライ
ン１２’とリペア配線３２ａ、３２ｂのいずれかとの接
続位置と、リペア配線３２ａ、３２ｂのいずれかとリペ
ア配線３４ａ〜３４ｄのいずれか１つとの接続位置と、
断線ドレインバスライン１２’とリペア配線３３ａ、３
３ｂのいずれかとの接続位置と、リペア配線３３ａ、３
３ｂのいずれかとリペア配線３５ａ〜３５ｄのいずれか
１つとの接続位置との組合せにより構成される。

【００３０】図２は、本実施の形態による液晶表示装置
用基板の欠陥修復方法を示すフローチャートである。図
３は、記憶部５４に格納されている接続組合せ決定用テ
ーブルの一例を示している。図３に示すように、接続組
合せ決定用テーブルでは、接続組合せのパターン番号が
特定されると、欠陥修復に使用するリペア配線の組合せ
及び接続位置が一意に決定されるようになっている。例
えば接続組合せがパターン１であれば、リペア配線３２
ａ、３４ａ、３３ａ、３５ａを接続位置ｗ１、ｘ１、ｙ
１、ｚ１で接続させて断線欠陥が修復されるようにな
る。断線ドレインバスライン１２’が特定されれば、各
接続位置ｗ１、ｘ１、ｙ１、ｚ１の座標が決定される。

【００３１】図２に示すように、まず制御部５０は、断
線ドレインバスライン１２’のうち、ドレインバスライ
ン番号の最も小さい断線ドレインバスライン１２’を抽
出する（ステップＳ１）。次に制御部５０は、抽出され
た断線ドレインバスライン１２’の接続組合せを図３に
示すパターン１に決定する（ステップＳ２）。次に、他
の断線ドレインバスライン１２’があれば（ステップＳ
３）、ステップＳ１に戻り、パターン２〜４をこの順に
決定する。他の断線ドレインバスライン１２’がなけれ
ばステップＳ４に進む。これにより、全ての断線ドレイ
ンバスライン１２’の接続組合せが決定される。

【００３２】次に制御部５０は、ｋ個に分割された各グ
ループの断線ドレインバスライン１２’の本数Ｌ２（Ｌ
２（１）〜Ｌ２（ｋ））を順に算出する（ステップＳ
５）。制御部５０は、断線ドレインバスライン１２’の
グループ内の本数Ｌ２を第１のリペア配線ｎ（本例では
ｎ＝２）と比較し（ステップＳ６）、Ｌ２≦ｎであれば
ステップ８に進む。Ｌ２＞ｎであればステップＳ７に進
み、グループ毎に切断組合せを決定する。切断組合せ
は、第１のリペア配線３２ａ、３２ｂ及び第３のリペア
配線３３ａ、３３ｂを切断する切断位置の組合せにより
構成される。

【００３３】図４は、記憶部５４に格納されている切断
組合せ決定用テーブルの一例を示している。図４に示す
ように、切断組合せ決定用テーブルでは、断線ドレイン
バスライン１２’のグループ内の本数Ｌ２に基づき、切
断の必要なリペア配線が特定されるようになっている
（図４のテーブル内ではリペア配線の符号を示してい
る）。例えばＬ２＝３であれば、第１のリペア配線３２
ｂ及び第３のリペア配線３３ｂの切断が必要になる。第
１のリペア配線３２ｂを切断する第１の切断位置は、３
本の断線ドレインバスライン１２’のうち、バスライン
番号の小さい方から２番目及び３番目の断線ドレインバ
スライン１２’とリペア配線３２ｂとの交差位置の間の
略中間位置になる。第３のリペア配線３３ｂを切断する
第２の切断位置は、同様にバスライン番号の小さい方か
ら２番目及び３番目の断線ドレインバスライン１２’と
リペア配線３３ｂとの交差位置の間の略中間位置にな
る。上記の略中間位置が他のドレインバスライン１２と
リペア配線３２ｂ、３３ｂとの交差位置である場合に
は、例えば当該略中間位置から所定距離だけ上記の２番
目の断線ドレインバスライン１２’側に移動させた位置
を切断位置にする。また例えばＬ２＝４であれば、第１
のリペア配線３２ａ、３２ｂ及び第３のリペア配線３３
ａ、３３ｂの切断が必要になる。

【００３４】次に制御部５０は、他のグループについて
も同様に切断組合せを決定する（ステップＳ８）。ｋ個
のグループの切断組合せを決定したらステップＳ９に進
む。これにより、全ての断線ドレインバスライン１２’
の切断組合せが決定される。

【００３５】次に制御部５０は、決定された接続組合せ
及び切断組合せに基づいて、それぞれの接続位置及び切
断位置からステージ６０上の絶対座標に変換する。次に
制御部５０は、所定の絶対座標情報を出力してステージ
６０を移動させ、レーザ光の照射位置を相対的にＴＦＴ
基板２上の所定の位置に移動させる。例えば、断線ドレ
インバスライン１２’を修復するために必要な接続位置
が４つある場合、制御部５０はステージ６０を移動させ
てレーザ光の照射位置を第１の接続位置に移動させ、停
止させる。なお、作業者が、ＴＦＴ基板２の断線欠陥部
２６を基板観察用カメラで観察しながら、ステージ移動
用コントローラを用いてステージ６０を移動させ、レー
ザ光の照射位置を第１の接続位置に配置させてもよい。
ステージ６０が停止すると、制御部５０はレーザ光照射
信号をレーザ発振器６２に出力し、レーザ光を第１の接
続位置に照射させる。次に制御部５０は、ステージ６０
を移動させてレーザ光の照射位置を第２の接続位置に移
動させ、停止させる。次に制御部５０は、レーザ光照射
信号をレーザ発振器６２に出力し、レーザ光を第２の接
続位置に照射させる。その後同様に、制御部５０はレー
ザ光の照射位置を第３及び第４の接続位置に順次移動さ
せ、レーザ光を照射させる。

【００３６】以下のように、作業者がレーザ発振スイッ
チ等を用いてレーザ発振器６２にレーザ光を照射させる
ようにしてもよい。作業者は、キーボード等を用いてレ
ーザ光のスポット形状の情報を入力する。制御部５０
は、入力されたレーザ光のスポット形状の情報に基づい
て、加工形状変更用スリット６６を動作させる。次に作
業者は、キーボード等を用いてレーザ光の照射強度を入
力する。制御部５０は、入力されたレーザ光の照射強度
の情報に基づき、レーザパワー調整用フィルタ６４を動
作させる。次に作業者は、レーザ発振信号をレーザ発振
スイッチを用いて入力する。レーザ発振信号を入力した
制御部５０は、レーザ発振器６２に所定の信号を出力し
レーザ光を照射させる。次に、作業者が例えばキーボー
ドの所定のキーを入力することにより、制御部５０はス
テージ６０を移動させてレーザ光の照射位置を次の接続
位置に移動させ、停止させる。その後同様に、作業者の
所定のキー入力等に基づき、制御部５０はレーザ光の照
射位置を所定の接続位置に順次移動させ、レーザ光を照
射させる。

【００３７】以上の工程を経て、ＴＦＴ基板２上の断線
ドレインバスライン１２’が修復される。なお、付加容
量を低減するために、不用なリペア配線を切除する工程
を加えてもよい。

【００３８】本実施の形態によれば、制御部５０により
接続位置及び切断位置が選択されるため、作業者の判断
を必要としない。このため、作業者による選択ミスが生
じることがない。その結果、ＴＦＴ基板２を容易かつ確
実に修復できるようになる。

【００３９】本発明は、上記実施の形態に限らず種々の
変形が可能である。例えば、上記実施の形態では、ドレ
インバスライン番号に基づいて接続組合せ及び切断組合
せが決定されているが、本発明はこれに限らず、優先的
に使用するリペア配線等の情報に基づいて接続組合せ及
び切断組合せを決定してもよい。

【００４０】また、上記実施の形態では、ドレインバス
ライン番号の小さい断線ドレインバスライン１２’から
昇順に接続組合せが決定されているが、本発明はこれに
限らず、ドレインバスライン番号の大きい断線ドレイン
バスライン１２’から降順に接続組合せを決定してもよ
い。

【００４１】以上説明した実施の形態による液晶表示装
置用基板の欠陥修復方法及びそれに用いられる欠陥修復
装置は、以下のようにまとめられる。（付記１）複数のバスラインのうち所定本数で構成され
たグループ毎のバスラインに絶縁膜を介してそれぞれ交
差して形成されたｎ本の第１のリペア配線と、前記第１
のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成されたｍ本
の第２のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断
線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復方法
において、前記断線バスラインの位置情報に基づいて、
前記断線バスラインと前記第１のリペア配線とを接続す
る第１の接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２
のリペア配線とを接続する第２の接続位置とからなる接
続組合せを決定することを特徴とする液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法。

【００４２】（付記２）付記１記載の液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法において、前記位置情報に基づいて、
前記第１のリペア配線を切断する第１の切断位置からな
る切断組合せを前記グループ毎にさらに決定することを
特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。

【００４３】（付記３）複数のバスラインのうち所定本
数で構成されたグループ毎のバスラインの一端に絶縁膜
を介してそれぞれ交差して形成されたｎ本の第１のリペ
ア配線と、前記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差
して形成されたｍ本の第２のリペア配線と、前記バスラ
インの他端に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成され
たｎ本の第３のリペア配線と、前記第３のリペア配線に
絶縁膜を介して交差して形成されたｍ本の第４のリペア
配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた
断線バスラインを修復する欠陥修復方法において、前記
断線バスラインの位置情報に基づいて、前記断線バスラ
インの一端と前記第１のリペア配線とを接続する第１の
接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア
配線とを接続する第２の接続位置と、前記断線バスライ
ンの他端と前記第３のリペア配線とを接続する第３の接
続位置と、前記第３のリペア配線と前記第４のリペア配
線とを接続する第４の接続位置とからなる接続組合せを
決定することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修
復方法。

【００４４】（付記４）付記３記載の液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法において、前記位置情報に基づいて、
前記第１のリペア配線を切断する第１の切断位置と、前
記第３のリペア配線を切断する第２の切断位置とからな
る切断組合せを前記グループ毎にさらに決定することを
特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復方法。

【００４５】（付記５）付記２又は４に記載の液晶表示
装置用基板の欠陥修復方法において、前記切断組合せ
は、前記断線バスラインの本数が前記グループ内でｎ本
より多いときに決定されることを特徴とする液晶表示装
置用基板の欠陥修復方法。

【００４６】（付記６）付記１乃至５のいずれか１項に
記載の液晶表示装置用基板の欠陥修復方法において、前
記位置情報は、前記バスライン毎に付与されたバスライ
ン番号であることを特徴とする液晶表示装置用基板の欠
陥修復方法。

【００４７】（付記７）付記６記載の液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法において、前記接続組合せは、前記バ
スライン番号順に決定されることを特徴とする液晶表示
装置用基板の欠陥修復方法。

【００４８】（付記８）複数のバスラインに絶縁膜を介
して交差して形成された第１のリペア配線と、複数の前
記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成され
た第２のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断
線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復装置
において、前記断線バスラインの位置情報が入力される
入力部と、前記位置情報に基づいて、前記断線バスライ
ンと前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続位置
と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを
接続する第２の接続位置とからなる接続組合せを前記断
線バスライン毎に決定する制御部と、前記接続組合せに
基づいて前記液晶表示装置用基板を移動させ、所定位置
にレーザ光を照射するレーザ光照射部とを有することを
特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復装置。

【００４９】（付記９）複数のバスラインの一端に絶縁
膜を介して交差して形成された第１のリペア配線と、前
記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成され
た第２のリペア配線と、前記バスラインの他端に絶縁膜
を介して交差して形成された第３のリペア配線と、前記
第３のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成された
第４のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線
欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復装置に
おいて、前記断線バスラインの位置情報が入力される入
力部と、前記位置情報に基づいて、前記断線バスライン
の一端と前記第１のリペア配線とを接続する第１の接続
位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配線
とを接続する第２の接続位置と、前記断線バスラインの
他端と前記第３のリペア配線とを接続する第３の接続位
置と、前記第３のリペア配線と前記第４のリペア配線と
を接続する第４の接続位置とからなる接続組合せを前記
断線バスライン毎に決定する制御部と、前記接続組合せ
に基づいて前記液晶表示装置用基板を移動させ、所定位
置にレーザ光を照射するレーザ光照射部とを有すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修復装置。

【００５０】（付記１０）付記８又は９に記載の液晶表
示装置用基板の欠陥修復装置において、前記接続組合せ
を決定するための接続組合せ決定用テーブルが格納され
た記憶部をさらに有していることを特徴とする液晶表示
装置用基板の欠陥修復装置。

【００５１】

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、バスライ
ンの断線欠陥の修復作業を容易にすることにより、作業
工数の低減及び作業負担の軽減を実現し、それに伴い製
造歩留まりが向上して製造コストを低減することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基
板の欠陥修復装置の概略構成を示すブロック図である。

【図２】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法を示すフローチャートである。

【図３】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法に用いる接続組合せ決定用テーブルを
示す図である。

【図４】本発明の一実施の形態による液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法に用いる切断組合せ決定用テーブルを
示す図である。

【図５】従来の液晶表示装置用基板の概略構成を示す図
である。

【図６】従来の他の液晶表示装置用基板の概略構成を示
す図である。

【符号の説明】

２ＴＦＴ基板１０ゲートバスライン１２ドレインバスライン１２’ 断線ドレインバスライン１４、１６、２０、２４、３６ａ〜３６ｄ、３７ａ〜３
７ｄ外部接続端子１８、２２、３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３３ｂ、３４ａ
〜３４ｄ、３５ａ〜３５ｄリペア配線２６断線欠陥部５０制御部５２入力部５４記憶部５６表示部６０ステージ６２レーザ発振器６４レーザパワー調整用フィルタ６６加工形状変更用スリット６８対物レンズ７０位置補正用マーク読取りカメラ７２突当てＡ表示領域Ｂ額縁領域ｗ１、ｗ２、ｘ１〜ｘ４、ｙ１、ｙ２、ｚ１〜ｚ４接
続位置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2H088 FA10 FA14 FA15 FA16 FA23 FA28 FA30 MA16 2H092 GA33 GA61 HA04 HA06 JA24 JB74 JB77 MA47 MA52 NA15 NA16 NA28 NA30

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のバスラインのうち所定本数で構成さ
れたグループ毎のバスラインに絶縁膜を介してそれぞれ
交差して形成されたｎ本の第１のリペア配線と、前記第
１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成されたｍ
本の第２のリペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の
断線欠陥が生じた断線バスラインを修復する欠陥修復方
法において、前記断線バスラインの位置情報に基づいて、前記断線バ
スラインと前記第１のリペア配線とを接続する第１の接
続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリペア配
線とを接続する第２の接続位置とからなる接続組合せを
決定することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥修
復方法。
【請求項２】請求項１記載の液晶表示装置用基板の欠陥
修復方法において、前記位置情報に基づいて、前記第１のリペア配線を切断
する第１の切断位置からなる切断組合せを前記グループ
毎にさらに決定することを特徴とする液晶表示装置用基
板の欠陥修復方法。
【請求項３】複数のバスラインのうち所定本数で構成さ
れたグループ毎のバスラインの一端に絶縁膜を介してそ
れぞれ交差して形成されたｎ本の第１のリペア配線と、
前記第１のリペア配線に絶縁膜を介して交差して形成さ
れたｍ本の第２のリペア配線と、前記バスラインの他端
に絶縁膜を介してそれぞれ交差して形成されたｎ本の第
３のリペア配線と、前記第３のリペア配線に絶縁膜を介
して交差して形成されたｍ本の第４のリペア配線とを備
えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生じた断線バスラ
インを修復する欠陥修復方法において、前記断線バスラインの位置情報に基づいて、前記断線バ
スラインの一端と前記第１のリペア配線とを接続する第
１の接続位置と、前記第１のリペア配線と前記第２のリ
ペア配線とを接続する第２の接続位置と、前記断線バス
ラインの他端と前記第３のリペア配線とを接続する第３
の接続位置と、前記第３のリペア配線と前記第４のリペ
ア配線とを接続する第４の接続位置とからなる接続組合
せを決定することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠
陥修復方法。
【請求項４】複数のバスラインに絶縁膜を介して交差し
て形成された第１のリペア配線と、複数の前記第１のリ
ペア配線に絶縁膜を介して交差して形成された第２のリ
ペア配線とを備えた液晶表示装置用基板の断線欠陥が生
じた断線バスラインを修復する欠陥修復装置において、前記断線バスラインの位置情報が入力される入力部と、前記位置情報に基づいて、前記断線バスラインと前記第
１のリペア配線とを接続する第１の接続位置と、前記第
１のリペア配線と前記第２のリペア配線とを接続する第
２の接続位置とからなる接続組合せを前記断線バスライ
ン毎に決定する制御部と、前記接続組合せに基づいて前記液晶表示装置用基板を移
動させ、所定位置にレーザ光を照射するレーザ光照射部
とを有することを特徴とする液晶表示装置用基板の欠陥
修復装置。
【請求項５】請求項４記載の液晶表示装置用基板の欠陥
修復装置において、前記接続組合せを決定するための接続組合せ決定用テー
ブルが格納された記憶部をさらに有していることを特徴
とする液晶表示装置用基板の欠陥修復装置。