JPH0735701A - パターン目視検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検査・修正工程を要する検査物に適用する場
合に、省人化が図れ、大幅なコストダウンが可能になる
パターン目視検査装置を実現する。 【構成】 検査工程で欠陥箇所が発見された液晶表示パ
ネル３を平面ステージ２上にセットする。続いて、液晶
表示パネル３と平面ステージの座標系が位置合わせられ
る。パターン目視検査装置１には、この液晶表示パネル
３の欠陥に関するデータが検査装置より転送されるよう
になっており、コントローラ４がモータＭｘ、Ｍｙを駆
動制御して、欠陥位置に顕微鏡１０を位置合わせする。
顕微鏡１０のカメラ１３が撮像した信号は、モニターに
転送され、モニター画面上に欠陥箇所の画像パターンが
表示される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示パネル等の平
面型表示装置のパターン目視検査装置に関するる。

【０００２】

【従来の技術】平面型表示装置は、マトリクス状に配列
された表示絵素を選択することにより画面上に表示パタ
ーンを形成している。この種の表示絵素の選択方式とし
て、基板上に個々の独立した絵素電極を配列すると共
に、各絵素電極のそれぞれにスイッチング素子を接続
し、該スイッチング素子により表示絵素を選択して表示
駆動するアクティブマトリクス駆動方式の液晶表示パネ
ル（液晶表示装置）がある。このアクティブマトリクス
駆動方式の液晶表示パネルは、高コントラストの表示が
可能である。

【０００３】このような特長を有する故、アクティブマ
トリクス駆動方式の液晶表示パネルは、最近では、平面
テレビジョン、プロジェクションディスプレイのライト
バルブ、パーソナルコンピュータ（以下パソコンと称す
る）の端末表示装置等に実用化され、その応用分野は大
きく拡大している。

【０００４】しかしながら、このような液晶表示パネル
は、その製造にあたり、高度な薄膜形成技術や微細パタ
ーンエッチング技術等を必要とするため、良品率の向上
を図ることが困難である。そのため、コストアップを招
来するという問題がある。

【０００５】良品率を向上し、コストダウンを図るため
には、以下の対策を講じればよい。 一旦製作された液晶表示パネルを検査し、検査工程で
検出された欠陥を修正する工程を設け、欠陥を修正して
良品として出荷する。

【０００６】検出された欠陥を解析して分類し、解析
結果に基づきいずれの工程で不良が頻出しているかを特
定し、この工程を改良して前工程における不良原因を解
消する。

【０００７】従来、欠陥の修正は、まず検査工程で検査
装置によって欠陥を検出し、欠陥箇所を何らかの方法で
マーキングし、液晶表示パネルの非点灯状態において
も、どこに欠陥が存在するかを第３者が容易に判別でき
るようにする。この内、最も簡単な方法は、欠陥箇所を
マジックインク等で囲むことである。

【０００８】続いて、マーキングの施された液晶表示パ
ネルを修正装置の位置に搬送し、ここで、液晶表示パネ
ルを平面ステージ上に載置し、次にマーキングを目安に
欠陥位置を捜す。続いて、作業者が欠陥の存在する領域
を顕微鏡で拡大観察して欠陥位置を絵素単位で特定し、
その後、必要な修正作業を施していた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
方法で欠陥を修正する場合は、検査装置および修正装置
の両方の位置で常時作業者が必要になるため、省人化が
図れず、効率的な生産を行ってコストダウンを図る上で
のネックになっていた。

【００１０】ところで、現在の修正装置における修正作
業は以下の〜の内容を経て行われている。

【００１１】欠陥位置の特定 欠陥種類の判別 目視パターンの観察 作業内容の決定 修正作業 修正作業の成否の確認 ここで、修正作業の自動化を図る上でネックになるの
は、上記の作業中のとである。というのは、欠陥の
種類によって修正作業の方法が異なるため、最終的に顕
微鏡で見たパターンから作業方法を特定する必要があ
る。例えば、液晶表示パネルの欠陥としては、線欠陥と
点欠陥とがあり、それぞれにも複数種類存在する。そし
て、その種類毎に修正方法が異なるので、該当する欠陥
に対してどのような修正を施すかを判断しなければなら
ない。顕微鏡で見た画像パターンを目視して、修正方法
を決定することは、高度な画像認識技術を有する作業者
によって可能となるため、自動化を実現することは困難
である。

【００１２】このような事情により、作業者の目視観察
により、およびの作業を行っているのが現状であ
る。および以外の作業については、作業者を介さず
とも、既存の技術で自動化できるルーチンワークであ
る。

【００１３】このような事情により、限られた数の作業
者を効率良く運用して、効率の良い修正作業を行うため
には、およびの作業のみを実行できる有人の装置を
製作し、これら以外の作業を自動化装置として独立させ
るシステム構成をとればよい。以下に説明の便宜上、
およびの作業のみを実行できる有人の装置を判断装置
と称し、それ以外の作業を自動的に行う装置を自動修正
装置と称する。

【００１４】本発明はこのような現状に鑑みてなされた
ものであり、検査・修正工程を要する検査物に適用する
場合に、省人化が図れ、大幅なコストダウンが可能にな
るパターン目視検査装置を提供することを目的とする。

【００１５】本発明の他の目的は、欠陥等の解析装置と
しても利用が期待できるパターン目視検査装置を提供す
ることにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明のパターン目視検
査装置は、平面ステージ上に載置された被検査物を目視
でパターン検査するパターン目視検査装置であって、該
平面ステージの上方又は下方に設けられた顕微鏡と、該
顕微鏡と該平面ステージをステージ面に平行な第１の方
向に相対移動可能に支持する第１支持手段と、該第１支
持手段を該平面ステージのステージ面に平行であって、
該第１の方向と直交する第２の方向に移動可能に支持す
る第２支持手段とを備えており、そのことにより上記目
的が達成される。

【００１７】また、本発明のパターン目視検査装置は、
平面ステージ上に載置された被検査物を目視でパターン
検査するパターン目視検査装置であって、該平面ステー
ジがステージ面と平行な第１の方向および該ステージ面
と平行であって、該第１の方向と直交する第２の方向に
移動可能になっており、該平面ステージの上方又は下方
に顕微鏡が固定配置されており、そのことにより上記目
的が達成される。

【００１８】前記被検査物が液晶表示パネルである場合
は、該液晶表示パネルに存在する欠陥を検査する検査装
置から該欠陥の座標データが送られて来ると、前記第１
支持手段および第２移動手段を移動させて、前記顕微鏡
を該液晶表示パネルの欠陥位置に位置合わせするように
すると、好ましいものになる。

【００１９】また、好ましくは、前記平面テーブルを移
動させて、該液晶表示パネルの欠陥位置を前記顕微鏡に
位置合わせする。

【００２０】また、目視検査によって得られたその後の
修正作業に関するデータを欠陥座標データと関連付けて
登録する登録手段と、該登録手段に登録されたデータを
修正装置に転送する手段とを備えると、好ましいものに
なる。

【００２１】

【作用】上記の構成によれば、平面ステージ上に検査
物、例えば液晶表示パネルが載置され、前工程の検査工
程で得られた当該液晶表示パネルの欠陥箇所に関する座
標データ（位置データ）が送られて来ると、この座標デ
ータが読み出され、第１支持手段および第２支持手段が
それぞれ第１の方向および第２の方向に自動的に所定量
だけ移動され、又は平面ステージが第１の方向および第
２の方向に所定量だけ移動され、これにより、液晶表示
パネルの欠陥箇所とその上方又は下方に位置する顕微鏡
との位置合わせが行われる。

【００２２】従って、従来方法のように、検査段階でマ
ジックインク等を用いてマーキングする必要がなくな
る。また、修正段階で手作業で欠陥箇所と顕微鏡との位
置合わせを行う必要がない。

【００２３】また、特に目視検査によって得られたその
後の修正作業に関するデータを欠陥位置データと関連付
けて登録する登録手段と、該登録手段に登録されたデー
タを修正装置に転送する手段を設ける場合は、後工程の
修正工程におけるレーザ照射等のルーチンワークを機械
に委ねて自動的に行うことができる。

【００２４】このように、上記の構成によれば、検査・
修正工程における省人化を図ることができる。

【００２５】

【実施例】以下に本発明の実施例を図面を参照して説明
する。

【００２６】（実施例１）図１は本発明パターン目視検
査装置１の実施例１を示す。このパターン目視検査装置
１は、上記の判断装置として使用される。以下にその詳
細を説明する。

【００２７】左右に長い長方形状をなす平面ステージ２
上には、液晶表示パネル３が載置されている。液晶表示
パネル３は、前工程である検査工程で検査装置２０（図
２参照）によって、欠陥箇所が検出されており、欠陥箇
所に関する座標データがパターン目視検査装置１の制御
用コントローラ４に入力されている。

【００２８】平面ステージ２の４隅には、支柱５がそれ
ぞれ立設されている。左側および右側の各２本の支柱
５、５間には、前後方向にアーム６、６がそれぞれ架設
されている。また、各アーム６、６間には、前後方向に
相当するＹ軸方向に移動可能になったアーム７が架設さ
れている。アーム７の左右端部は下方に屈曲しており、
屈曲部でアーム６、６を跨ぐようにして架設されてい
る。アーム７には、これをＹ軸方向に往復移動させるモ
ータＭｙが連結されている。モータＭｙはコントローラ
４から与えられる駆動指令信号に応じてアーム７をＹ軸
方向に移動させる。

【００２９】アーム７には、ホルダー８が左右方向に相
当するＸ軸方向への往復移動可能に設けられている。ホ
ルダー８の一部は下方が開口されたコ字状をなし、この
部分でアーム７を挟持して、Ｘ軸方向にスライド可能に
なっている。ホルダー８からはコ字状をなす保持部８ａ
が前方に向けて突出しており、この保持部８ａに顕微鏡
１０の鏡筒１１が保持されている。ホルダー８にはこれ
をＸ軸方向に往復移動させるモータＭｘが連結されてい
る。モータＭｘはコントローラ４から与えられる駆動指
令信号に応じてホルダー８およびこれに保持された顕微
鏡１０をＹ軸方向に移動させる。

【００３０】顕微鏡１０は、鏡筒１１と、該鏡筒１１の
下端に設けられた対物レンズ１２と、鏡筒１１の上端に
設けられたカメラ１３とを有する。カメラ１３は対物レ
ンズ１２を通してその直下に位置する液晶表示パネル３
の視野領域における画像パターンを撮像し、撮像信号を
ケーブル１４を介して図示しないモニターに転送する。
これにより、モニターの画面上に液晶表示パネル３の画
像パターンが表示され、これを視認した作業者が欠陥の
種類を特定し、修正方法を決定する。

【００３１】図２は、本発明パターン目視検査装置を判
断装置として備えた、液晶表示パネル３の検査・修正シ
ステムのシステム構成を示す。検査装置２０は液晶表示
パネル３の欠陥を検出し、欠陥位置の定量化を行う。こ
の定量化は、例えば、目視検査する液晶表示パネル３の
上にタッチパネル等の位置情報入力デバイスを据え付
け、欠陥位置に対応する座標をタッチパネル上で指定入
力することによって行われる。指定入力された座標デー
タは、検査装置２０を制御するパソコンに出力されてデ
ータ登録される。

【００３２】パソコンに登録された座標データは、通信
若しくはパッケージの状態で修正装置を制御するパソコ
ンにデータ転送される。転送手段としては、通信ケーブ
ルを利用したパソコン通信、フロッピーディスク（Ｆ
Ｄ）に座標データを書き込み、この書き込まれた座標デ
ータを修正装置３０のパソコンで読み取る方法等があ
る。図示例では、イーサーネット等のＬＡＮ４１を利用
したパソコン通信で行っている。この座標データは、ま
たＬＡＮ４１を利用して判断装置（パターン目視検査装
置）１の前記コントローラ４に転送される。各装置間の
通信手順や作業手順等は、ホストコンピューター４０に
よって制御される。

【００３３】図３は検査装置２０、判断装置１および修
正装置３０における情報の流れを示す。以下にその詳細
を説明する。検査装置２０で液晶表示パネル３に存在す
る欠陥が検出されると、上記のようにしてタッチパネル
等の位置情報入力デバイスにより欠陥検出箇所の座標デ
ータが検査装置２０制御用のパソコンに登録される。続
いて、この座標データはＬＡＮ４１を利用して判断装置
１にデータ転送される。なお、検査装置２０と判断装置
１とを一体化したシステム構成をとることもできる。こ
の場合は、同一のパソコンで制御されるので、両者間で
データ転送を行う必要はない。但し、検査装置２０を自
動化できる場合は、この限りでない。

【００３４】検査装置２０における液晶表示パネル３の
欠陥の座標データはラフなものであってよい。また、検
査装置２０では欠陥の種類も無人で検出される。検査終
了後、欠陥が検出された液晶表示パネル３は判断装置
１、すなわちパターン目視検査装置１の平面ステージ２
上に載置される。この載置は、アライメントされた状態
で行われる。すなわち、液晶表示パネル３のＸ−Ｙ座標
系と平面ステージ２のＸ−Ｙ座標系とが一致するよう
に、液晶表示パネル３のアライメントをした状態で載置
される。

【００３５】続いて、判断装置１の制御用コントローラ
４は、平面ステージ２上に判断対象の液晶表示パネル３
が載置されると、検査装置２０によって登録された欠陥
位置の座標データを読み出し、続いて、モータＭｘ、Ｍ
ｙを駆動して、液晶表示パネル３の欠陥位置に自動で顕
微鏡１０を位置合わせする。顕微鏡１０が位置合わせさ
れると、作業者がモニター画面を視認することにより、
欠陥を拡大して目視観察する。そして、どのような修正
方法を行うかを決定する。続いて、欠陥の座標データと
修正方法のデータをパソコンに登録し、ＬＡＮ４１を利
用して修正装置３０のパソコンにデータ転送する。この
判断工程において、欠陥の座標データは検査工程のもの
に比べて精度良い数字にアップデートされる。

【００３６】修正装置３０は、欠陥の座標データと修正
方法のデータとを受け取ると、所定位置に載置された液
晶表示パネル３の欠陥箇所に自動的に移動し、続いて、
画像認識でキーとなるパターンとのマッチングを行い、
これを確認すると、制御用のパソコンに格納された修正
方法のための制御プログラムに従い、例えば自動で欠陥
箇所にレーザビームを照射して、欠陥を修正する。この
レーザ修正方法については、公知であるので、具体的な
説明は省略する。

【００３７】次に、判断装置１における操作方法の手順
を詳細に説明する。まず、欠陥が検出された液晶表示パ
ネル３を平面ステージ２上にセットする。続いて、液晶
表示パネル３のＸ−Ｙ座標系と平面ステージ２のＸ−Ｙ
座標系とのアライメントを行う。次に、検査装置２０に
より検出された欠陥の座標データを判断装置１のコント
ローラ４に入力する。続いて、モータＭｘ、Ｍｙを駆動
制御して顕微鏡１０を液晶表示パネル３の欠陥箇所に位
置合わせする。これにより、モニターにカメラ１３によ
り撮像された画像パターンが表示される。

【００３８】続いて、作業者がモニター画面を視認し
て、拡大された欠陥をパターン観察し、欠陥の種類およ
び対応する修正方法を特定する。そして、欠陥の座標デ
ータおよび修正方法をパソコンにデータ登録する。

【００３９】このようにして、１つ目の欠陥に対する作
業入力が終了すると、２つ目の欠陥の判断を行うため
に、コントローラ４は当該２つ目の欠陥に関する座標デ
ータを読み出し、その座標位置に顕微鏡１０を位置合わ
せすべく、モータＭｘ、Ｍｙを駆動制御する。以下上記
同様の操作が再行されて、２つ目の欠陥に対する作業入
力が行われる。

【００４０】そして、判断装置１による全ての欠陥の判
断動作が終了すると、その後、液晶表示パネル３が平面
ステージ２から回収される。回収された液晶表示パネル
３は修正装置３０の位置に搬送され、その後、上記した
修正作業が行われる。

【００４１】上記の判断操作において、平面ステージ上
の液晶表示パネル３は、点灯される場合と点灯されない
場合がある。ここで、液晶表示パネル３の点灯とは、信
号線に適当な電気信号を送り、各絵素電極に電圧を印加
することをいう。

【００４２】液晶表示パネル３の点灯は、検査装置２０
における欠陥位置の特定精度が悪い場合に行われる。す
なわち、この場合は、検査装置２０で見つかった欠陥の
直上から顕微鏡１０がずれることがあるので、液晶表示
パネル３を点灯して欠陥が目視で見えるようにするため
である。

【００４３】これに対して、検査装置２０における欠陥
位置の特定精度が十分良好で、かつ判断装置１の平面ス
テージ２のステージ精度が良好で、１つの欠陥位置を精
度よく特定できる場合は、液晶表示パネル３を点灯させ
る必要はない。

【００４４】また、修正作業の特定の前提となる欠陥の
種類の判別は、以下の２種類の方法によって行われる。

【００４５】液晶表示パネル３に入力される入力信号
の種類を変えて、反応の違いを見る。この方法の詳細
は、本願出願人が先に提案した特願平４−３１５４１７
号に開示されているので、ここでは省略する。

【００４６】パターンの目視観察 本実施例では、具体的には以下の手順で行う。点欠陥の
中には、信号線と絵素電極が短絡することに起因して発
生するものがあるが、このような点欠陥については、ま
ず、検査工程において、上記の方法で、その欠陥が信
号線と絵素電極に起因する点欠陥であることを判別す
る。続いて、の方法で、短絡している箇所を発見し、
その信号線は絵素電極に信号を供給している側の信号線
であるのか、それともこの信号線に隣接する信号線であ
るのかを判別する。このような手順を経て、欠陥の座標
データと修正方法が具体的に特定される。

【００４７】（実施例２）図４は本発明パターン目視検
査装置の実施例２を示す。この実施例２では、顕微鏡１
０をＸ−Ｙ２軸方向に移動させて、液晶表示パネル３の
欠陥箇所に顕微鏡１０を位置合わせする代わりに、平面
ステージ２をＸ−Ｙ２軸方向に移動させて、液晶表示パ
ネル３の欠陥位置を顕微鏡１０に位置合わせする構成を
とる。

【００４８】作業台５０上の左右方向両側には、前後方
向に一対のレール５１、５１が設けられており、このレ
ール５１、５１上に前後一対のレール５２、５２が左右
方向に相当するＸ軸方向に移動可能に載置されている。
また、レール５２、５２上には、液晶表示パネル３がセ
ットされる平面ステージ２が前後方向に相当するＹ軸方
向に移動可能に載置されている。レール５２、５２の移
動および平面ステージ２の移動は、各々に連結されたモ
ータ（図示せず）によって行われる。これらのモータの
駆動制御は、コントローラ４によって行われる。

【００４９】作業台５０の後端部であって、左右方向の
中央部に相当する位置には、Ｌ字状のアーム５３が立設
されている。アーム５３の上端部から前方に突出した突
出端には、顕微鏡１０が鉛直姿勢で保持されている。顕
微鏡１０は、実施例１のものと同様に、鏡筒１１、対物
レンズ１２およびカメラ１３を備えている。

【００５０】このような構成において、コントローラ４
からの駆動指令により、モータが駆動されると、レール
５２、５２がＹ軸方向に往復移動し、かつ平面ステージ
がＸ軸方向に往復移動するので、結局、平面ステージ２
上の液晶表示パネル３の欠陥箇所が固定配置された顕微
鏡１０の位置に位置合わせられることになる。

【００５１】カメラ１３には、ケーブル５４を介してモ
ニター５５が接続されており、カメラ１３によって撮像
された、欠陥箇所の画像パターンが拡大されて、モニタ
ー５５の画面上に表示される。

【００５２】判断方法については、上記実施例１同様で
あるので省略する。

【００５３】実施例１、２に示す本発明パターン目視検
査装置を判断装置として使用する場合は、以下に示すよ
うに、従来人間が行っていた作業の２／７を人間が担当
すればよいので、液晶表示パネル１枚当りの作業者拘束
時間を確実に短縮できる。

【００５４】例えば、 （Ａ）修正装置のスループットを１０分 （Ｂ）判断装置に要する時間を５分、自動修正に要する
時間を６分 とすると、（Ｂ）では２回ロード／アンロードを繰り返
す分時間が多くかかる。これを１分とする。１日の作業
時間を１０００分とすると、（Ａ）では、１人の作業者
がかかりきりで、１００枚／日、（Ｂ）では、判断装置
が２００枚／日、修正装置の能力が１６６枚／日とな
り、１人の作業者で従来方法の倍の処理枚数を達成でき
る。

【００５５】上記各実施例では、顕微鏡１０を平面ステ
ージ２の上方に配置したが、平面ステージ２の下方に顕
微鏡１０を設けることも可能である。この場合は、液晶
表示パネル３を裏表逆にして平面ステージ２上に載置す
ればよい。

【００５６】また、上記各実施例では、本発明パターン
目視検査装置を判断装置に適用する場合について説明し
たが、このパターン目視検査装置は、解析装置としても
利用できる。以下に解析装置として使用する場合につい
て説明する。通常、検査工程で不良と判定された液晶表
示パネルについては、その不良原因を究明し、対策を講
じるために、欠陥解析作業が行われる。それ故、この解
析作業はオフラインでの扱いとなる。

【００５７】検査工程で不良と判定された液晶表示パネ
ルの内、解析が必要なものをピックアップし、欠陥部分
の座標データを何らかの方法で入力する。この入力デー
タを受けて、判断装置に液晶表示パネルを載置し、欠陥
箇所を順番に顕微鏡で観察する。そして、観察した結果
を液晶表示パネルの欠陥データとして登録手段に登録し
てこのデータを収集すると、欠陥に関するデータベース
を構築することができる。そして、このデータを工程内
の様々なデータとリンクすれば、液晶表示パネルの歩留
りの向上に大いに寄与できる。

【００５８】なお、上記各実施例では、液晶表示パネル
を検査する場合について説明したが、検査・判断・修正
を要する他の検査物についても同様に適用できる。

【００５９】

【発明の効果】以上の本発明パターン目視検査装置を液
晶表示パネルの検査・判断・修正工程における判断装置
として使用する場合は、検査工程で欠陥が発見された液
晶表示パネルを平面ステージ上にセットすると、液晶表
示パネルの欠陥箇所に顕微鏡が自動的に位置合わせさ
れ、続いて、画像パターンの目視観察により、欠陥の種
類に応じた修正方法が特定され、欠陥の座標データおよ
び修正方法をデータ登録することができる。

【００６０】従って、検査工程で液晶表示パネルにマー
キングを施す必要がないので、検査工程を迅速に行え
る。また、判断工程において、液晶表示パネルの欠陥箇
所に顕微鏡が自動的に位置合わせられるので、手作業で
位置合わせする場合に比べて格段に時間を短縮できる。
また、判断工程におけるデータを利用すれば、修正工程
で自動的に修正作業を行うことができる。従って、修正
工程に要する時間も大幅に短縮できる。

【００６１】このように、本発明によれば、省人化が図
れ、製品の大幅なコストダウンが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明パターン目視検査装置の実施例１を示す
斜視図。

【図２】本発明パターン目視検査装置を判断装置として
備えた、液晶表示パネルの検査・修正システムのシステ
ム構成図。

【図３】検査装置、判断装置および修正装置における情
報の流れを示すフローチャート。

【図４】本発明パターン目視検査装置の実施例１を示す
斜視図。

【符号の説明】

１ パターン目視検査装置 ２ 平面ステージ ３ 液晶表示パネル ４ コントローラ １０ 顕微鏡 １３ カメラ

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 平面ステージ上に載置された被検査物を
   目視でパターン検査するパターン目視検査装置であっ
   て、 該平面ステージの上方又は下方に設けられた顕微鏡と、 該顕微鏡と該平面ステージをステージ面に平行な第１の
   方向に相対移動可能に支持する第１支持手段と、 該第１支持手段を該平面ステージのステージ面に平行で
   あって、該第１の方向と直交する第２の方向に移動可能
   に支持する第２支持手段とを備えたパターン目視検査装
   置。
2. 【請求項２】 平面ステージ上に載置された被検査物を
   目視でパターン検査するパターン目視検査装置であっ
   て、 該平面ステージがステージ面と平行な第１の方向および
   該ステージ面と平行であって、該第１の方向と直交する
   第２の方向に移動可能になっており、該平面ステージの
   上方又は下方に顕微鏡が固定配置されているパターン目
   視検査装置。
3. 【請求項３】 前記被検査物が液晶表示パネルであり、
   該液晶表示パネルに存在する欠陥を検査する検査装置か
   ら該欠陥の座標データが送られて来ると、前記第１支持
   手段および第２移動手段を移動させて、前記顕微鏡を該
   液晶表示パネルの欠陥位置に位置合わせする請求項１又
   は請求項２記載のパターン目視検査装置。
4. 【請求項４】 前記被検査物が液晶表示パネルであり、
   該液晶表示パネルに存在する欠陥を検査する検査装置か
   ら該欠陥の座標データが送られて来ると、前記平面テー
   ブルを移動させて、該液晶表示パネルの欠陥位置を前記
   顕微鏡に位置合わせする請求項２記載のパターン目視検
   査装置。
5. 【請求項５】 目視検査によって得られたその後の修正
   作業に関するデータを欠陥座標データと関連付けて登録
   する登録手段と、 該登録手段に登録されたデータを修正装置に転送する手
   段とを備えた請求項２又は請求項４記載のパターン目視
   検査装置。