CN218766676U - 载板检测复判装置 - Google Patents

Abstract

本公开提供的一种载板检测复判装置，涉及检测装置技术领域。该载板检测复判装置包括载台、光学成像组件、移动组件和控制器，载台用于放置载板；光学成像组件用于对载板进行成像；移动组件用于与载台和/或光学成像组件连接，以使光学成像组件与载板的位置相对应；控制器与移动组件连接；控制器还用于存储载板的缺陷数据，并用于根据缺陷数据控制光学成像组件与载板相对移动。该载板检测复判装置结构简单紧凑，检测效率高。

Description

载板检测复判装置

技术领域

本实用新型涉及检测装置技术领域，具体而言，涉及一种载板检测复判装置。

背景技术

随着半导体封装技术的发展，载板的特征尺寸不断缩小、集成度不断提高，如何保证材料的质量成为关键一环。目前，以人工检测为主的检测方式，生产效率低，缺陷难以检出，检测准确率受人为因素波动较大，整个检测过程费时费力，严重制约企业产能的进一步提升。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种载板检测复判装置，其实现对载板缺陷的二次检测，提高检测精度和检测效率。

本实用新型的实施例是这样实现的：

第一方面，本实用新型提供一种载板检测复判装置，包括：

载台，所述载台用于放置载板；

光学成像组件，用于对所述载板进行成像；

移动组件，用于与所述载台和/或所述光学成像组件连接，以使所述光学成像组件与所述载板的位置相对应；

控制器，与所述移动组件连接；所述控制器还用于存储所述载板的缺陷数据，并用于根据所述缺陷数据控制所述光学成像组件与所述载板相对移动。

在可选的实施方式中，所述移动组件包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件与所述载台连接，带动所述载台沿第一方向移动；所述第二运动组件与所述光学成像组件连接，带动所述光学成像组件沿第二方向移动；所述第一方向与所述第二方向不同。

在可选的实施方式中，所述移动组件包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件与所述载台连接，带动所述载台沿第一方向移动；所述第二运动组件与所述载台连接，带动所述载台沿第二方向移动；

或者，所述第一运动组件与所述光学成像组件连接，带动所述光学成像组件沿第一方向移动；所述第二运动组件与所述光学成像组件连接，带动所述光学成像组件沿第二方向移动；

所述第一方向与所述第二方向垂直。

在可选的实施方式中，所述光学成像组件包括安装板、显微镜和调节平台，所述安装板与所述移动组件连接，所述调节平台设于所述安装板上，所述显微镜设于所述调节平台上，所述调节平台能带动所述显微镜沿第三方向移动。

在可选的实施方式中，所述光学成像组件还包括相机，所述相机设于所述安装板上，所述相机位于所述显微镜的上方，可拍摄所述显微镜中的成像。

在可选的实施方式中，所述光学成像组件还包括激光器，所述激光器设于所述调节平台上，用于照射所述载板。

在可选的实施方式中，所述光学成像组件还包括光源，所述光源设于所述调节平台上。

在可选的实施方式中，所述光源包括多个，多个所述光源分别位于所述显微镜的不同位置。

在可选的实施方式中，还包括人机交互界面，所述人机交互界面与所述控制器连接，用于向所述控制器输入操作指令。

在可选的实施方式中，还包括基座，所述基座包括第一机台和第二机台，所述第一机台连接于所述第二机台的侧面，所述载台设于所述第一机台，所述光学成像组件和所述控制器设于所述第二机台。

本实用新型实施例的有益效果包括：

本实用新型实施例提供的载板检测复判装置，控制器内预先存储有载板的缺陷数据，当在载台放置载板后，会根据缺陷数据自动控制光学成像组件与载台相对移动，以便于光学成像组件对载台上的载板进行高清成像。再根据成像特征判断缺陷是否存在，检测精度高，检测效率高，严格控制载板质量，减少成本浪费。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例提供的载板检测复判装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的载板检测复判装置中光学成像组件的结构示意图。

图标：100-载板检测复判装置；101-基座；103-第一机台；105-第二机台；110-载台；120-光学成像组件；121-安装板；122-显微镜；123-调节平台；124-相机；125-激光器；126-光源；127-第一光源；128-第二光源；130-移动组件；131-第一运动组件；133-第二运动组件。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1和图2，本实施例提供一种载板检测复判装置100，包括载台110、光学成像组件120、移动组件130和控制器(图未示)，载台110用于放置载板；光学成像组件120用于对载板进行成像；移动组件130用于与载台110和/或光学成像组件120连接，以使光学成像组件120与载板的位置相对应；控制器与移动组件130连接；控制器还用于存储载板的缺陷数据，并用于根据缺陷数据控制光学成像组件120与载板相对移动。该载板检测复判装置100结构简单紧凑，检测效率高，有利于提高载板质量，提升企业产能，减少不必要的成本浪费。

移动组件130包括第一运动组件131和第二运动组件133，第一运动组件131与载台110连接，带动载台110沿第一方向移动；第二运动组件133与光学成像组件120连接，带动光学成像组件120沿第二方向移动；第一方向与第二方向不同。本实施例中，第一方向和第二方向相互垂直。第一方向为图1所示的Y方向，第二方向为X方向。本实施例中，第一运动组件131调节载台110的位置，第二运动组件133调节光学成像组件120的位置，载台110和光学成像组件120两者相对运动时，调节效率更高，调节更灵活，调节精度也更高。并且这样设置，结构布局更合理，结构更紧凑，有利于缩减整体装置的尺寸，减小装置占用的空间体积。

当然，并不仅限于此，也可以将第一运动组件131和第二运动组件133连接，第一运动组件131和第二运动组件133共同驱动载台110或光学成像组件120移动，这样也能实现载台110和光学成像组件120两者相对运动。可选地，移动组件130包括第一运动组件131和第二运动组件133，第一运动组件131与载台110连接，带动载台110沿第一方向移动；第二运动组件133与载台110连接，带动载台110沿第二方向移动。或者，第一运动组件131与光学成像组件120连接，带动光学成像组件120沿第一方向移动；第二运动组件133与光学成像组件120连接，带动光学成像组件120沿第二方向移动；其中，第一方向与第二方向垂直。

需要说明的是，第一运动组件131和第二运动组件133的具体结构为现有技术，只要能实现沿直线运动即可，这里不作具体限定。

可选地，结合图2，光学成像组件120包括安装板121、显微镜122、调节平台123、相机124、激光器125和光源126。安装板121与移动组件130连接，调节平台123设于安装板121上，显微镜122设于调节平台123上，调节平台123能带动显微镜122沿第三方向移动。本实施例中，第三方向为Z方向，即带动显微镜122上下移动。调节平台123可以通过人工进行精细调节，以便于提高显微镜122的成像清晰度，提高检测精度。当然，调节平台123也能通过控制器进行自动调节，这里不作具体限定。

本实施例中，第二运动组件133与安装板121连接，能带动安装板121沿第二方向移动。可以理解，设于安装板121上的其它部件，如显微镜122、调节平台123、相机124、激光器125和光源126等也能和安装板121一起整体沿第二方向移动。

可选地，相机124设于安装板121上，相机124位于显微镜122的上方，可拍摄显微镜122中的成像。本实施例中，显微镜122用于对载台110上的载板进行高清放大成像，以便于人工观察成像特征，根据成像特征判断载板是否存在缺陷。其中，人工观察，可以通过显微镜122的目镜直接观察成像特征。也可以通过相机124拍照，相机124将显微镜122中的成像拍摄成图片，传递至外部显示屏上，人工通过观察显示屏上的图片也可以进行缺陷判断。这样，观看外部显示屏上的图像，有利于提高人工判断效率，进而提高缺陷复判效率。

激光器125设于调节平台123上，用于照射载板。若人工判断确认载板存在缺陷时，激光器125直接照射缺陷位置，便于人工标记载板上的缺陷。

可选地，光源126设于调节平台123上。光源126的数量包括多个，分别位于显微镜122的不同位置。比如，光源126包括第一光源127和第二光源128，第一光源127位于显微镜122的正下方，围绕显微镜122的物镜呈环形设置。第二光源128设于显微镜122的侧边。通过多个光源126沿不同方向进行补光，提高显微镜122的成像清晰度，便于人工观察成像特点，有利于提高缺陷复判的准确度。

本实施例中，还包括基座101，基座101包括第一机台103和第二机台105，第一机台103连接于第二机台105的侧面，且第一机台103的高度低于第二机台105的高度，载台110设于第一机台103，光学成像组件120和控制器设于第二机台105。其中，第一运动组件131设于第一机台103上，第二运动组件133设于第二机台105上。这样设计，显微镜122设于第二机台105上，且位于载台110的上方，便于通过显微镜122观察载台110上的载板。结构布局合理，结构紧凑，空间体积小，第一运动组件131和第二运动组件133独立运动，互不干涉，调节灵活，移动精度高，也便于人工操作。

可选地，还包括人机交互界面(图未示)，人机交互界面与控制器连接，用于向控制器输入操作指令。本实施例中，人机交互界面和控制器设于第二机台105上，便于人工操作，比如对数据的导入、保存、编辑、删除等都可以通过人机交互界面完成。此外，该人机交互界面还可以充当外部显示器的作用，相机124将显微镜122中的成像拍摄成图片传递至人机交互界面上，便于人工查看判断缺陷。

本实用新型实施例提供的载板检测复判装置100，其复判方法如下：

需要说明的是，进行缺陷复判的载板，会预先完成一次初步缺陷检查，初检后每个载板会形成一份相应的缺陷数据，比如包括载板的缺陷类型以及缺陷在载板上的位置等。本实施例中的载板检测复判装置100是对初检后有缺陷的载板进行二次检测，确认载板是否确实具有缺陷。

复判前，会将所有载板的缺陷数据导入本实施例中的控制器。

将载板放入载台110上，通过人机交互界面选择该载板对应的缺陷数据。每个载板对应一个缺陷数据，该缺陷数据包括但不限于缺陷类型以及缺陷位置坐标等。

控制器先自动控制第一运动组件131和第二运动组件133工作，将载台110和光学成像组件120移动至起始坐标位置，比如指定载板的右上角坐标为(0，0)，完成坐标对位。

一个载板可能有多个缺陷，通过人机交互界面选择其中一个缺陷，控制器根据选择的缺陷，自动控制第一运动组件131和第二运动组件133工作，将载台110和光学成像组件120移动至缺陷所在的目标坐标位置，以使显微镜122处于缺陷观察位。通过显微镜122成像，人工判断该缺陷是否存在，即确认初检的缺陷结果是否正确。若缺陷确实存在，则激光器125开启，激光器125自动照射指向该缺陷位置，人工使用标记笔对缺陷进行标注。若缺陷不存在，即初检结果为误判，则重新选择该载板的下一个缺陷进行确认。该过程中，可以人工对调节平台123进行调节，使显微镜122成像更加清晰，提高复判准确度。

若缺陷确实存在，对缺陷标注完成后，选择该载板的下一个缺陷，重复上述步骤进行缺陷复判确认，直至该载板的所有缺陷均复判确认完成。

在人机交互界面中选择检测结束，控制器自动控制第一运动组件131和第二运动组件133工作，使载台110退出，便于取出载板。随后将下一载板放入载台110上进行复判检测。

综上所述，本实用新型实施例提供的载板检测复判装置100，具有以下几个方面的有益效果：

本实用新型实施例提供的载板检测复判装置100，控制器内预先存储有载板的缺陷数据，当在载台110放置载板后，会根据缺陷数据自动控制光学成像组件120与载台110相对移动，以便于光学成像组件120对载台110上的载板进行高清成像。再根据成像特征判断缺陷是否存在，检测精度高，检测效率高，严格控制载板质量，减少成本浪费。此外，该载板检测复判装置100结构简单、布局合理，结构紧凑，集成度高，适应性好，可以对各种不同类型的载板进行缺陷复判检测，操作方便，可提高缺陷检出效率与准确性，具有极大的推广应用价值。

该载板检测复判装置100不仅适用于半导体领域中的载板检测，也适用于其它领域的板材的表面缺陷检测，应用范围广，通用性高，适应性强。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种载板检测复判装置，其特征在于，包括：

载台，所述载台用于放置载板；

光学成像组件，用于对所述载板进行成像；

移动组件，用于与所述载台和/或所述光学成像组件连接，以使所述光学成像组件与所述载板的位置相对应；

控制器，与所述移动组件连接；所述控制器还用于存储所述载板的缺陷数据，并用于根据所述缺陷数据控制所述光学成像组件与所述载台相对移动。

2.根据权利要求1所述的载板检测复判装置，其特征在于，所述移动组件包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件与所述载台连接，带动所述载台沿第一方向移动；所述第二运动组件与所述光学成像组件连接，带动所述光学成像组件沿第二方向移动；所述第一方向与所述第二方向不同。

3.根据权利要求1所述的载板检测复判装置，其特征在于，所述移动组件包括第一运动组件和第二运动组件，所述第一运动组件与所述载台连接，带动所述载台沿第一方向移动；所述第二运动组件与所述载台连接，带动所述载台沿第二方向移动；

或者，所述第一运动组件与所述光学成像组件连接，带动所述光学成像组件沿第一方向移动；所述第二运动组件与所述光学成像组件连接，带动所述光学成像组件沿第二方向移动；

所述第一方向与所述第二方向垂直。

4.根据权利要求1所述的载板检测复判装置，其特征在于，所述光学成像组件包括安装板、显微镜和调节平台，所述安装板与所述移动组件连接，所述调节平台设于所述安装板上，所述显微镜设于所述调节平台上，所述调节平台能带动所述显微镜沿第三方向移动。

5.根据权利要求4所述的载板检测复判装置，其特征在于，所述光学成像组件还包括相机，所述相机设于所述安装板上，所述相机位于所述显微镜的上方，可拍摄所述显微镜中的成像。

6.根据权利要求4所述的载板检测复判装置，其特征在于，所述光学成像组件还包括激光器，所述激光器设于所述调节平台上，用于照射所述载板。

7.根据权利要求4所述的载板检测复判装置，其特征在于，所述光学成像组件还包括光源，所述光源设于所述调节平台上。

8.根据权利要求7所述的载板检测复判装置，其特征在于，所述光源包括多个，多个所述光源分别位于所述显微镜的不同位置。

9.根据权利要求1所述的载板检测复判装置，其特征在于，还包括人机交互界面，所述人机交互界面与所述控制器连接，用于向所述控制器输入操作指令。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的载板检测复判装置，其特征在于，还包括基座，所述基座包括第一机台和第二机台，所述第一机台连接于所述第二机台的侧面，所述载台设于所述第一机台，所述光学成像组件和所述控制器设于所述第二机台。

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