JP2010087358A - 搬送システム及びズレ検出用治具 - Google Patents

Abstract

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容する被搬送物を、ポートとの間で移載する搬送システムにおいて、移載用位置のズレ量を検出する。
【解決手段】搬送システム（１００）は、被搬送物（９）が所定位置に載置されるポートとの間で、被搬送物を移載可能であると共に、被搬送物を保持可能である搬送本体部（２０）と、搬送本体部が搭載されており、天井に敷設された軌道に沿って走行可能であると共に停止可能な走行部（１９）と、走行部がポートに対応する停止位置に停止した際に、所定位置に対面するように被搬送物の代わりに搬送本体部に保持され、ポートを撮像し、ポートに係る距離画像を出力する距離画像手段（１０）と、出力された距離画像に基づいて、走行部が停止位置に停止した際における所定位置に対する搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するズレ量検出手段（２５）とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の被搬送物を、ポートとの間で移載し、ポートとの位置ズレに対するティーチング或いは補正を実行可能である搬送システム、及び該搬送システムにおいてそのような位置ズレを検出するために用いられるズレ検出用治具の技術分野に関する。

この種の搬送システムとして、ポートまでの距離を測定する高さセンサと、ポート上の位置決めピンの水平面内位置を測定する画像認識部とを有するティーチングユニットを備え、これら２つの測定手段により位置決めピンの位置を検出し、移載位置のズレ量を検出するものがある（特許文献１）。また、ＣＣＤカメラを有する位置補正器を備え、ポート上に配置された補正シートに描かれた補正マークの位置を検出し、移載位置を補正するものがある（特許文献２）。

特開２００６−１９２５４９号公報 特開２００５−１７０５４４号公報

しかしながら、上述の特許文献１では、位置決めピンの位置を検出するのに、高さセンサ及び画像認識部により少なくとも２回の測定を行う必要があり、該位置を検出する段階が煩雑であるという技術的問題点がある。また、上述の特許文献２では、ＣＣＤカメラにより出力された画像では、ポートまでの距離が考慮されないために、検出される補正マークの位置に誤差が生じてしまうという技術的問題点がある。

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、比較的簡単な手法によりポートとの位置ズレを検出可能な搬送システム、及び搬送システムにおいて、そのような位置ズレを検出するのに用いられるズレ検出用治具を提供することを課題とする。

本発明の第１搬送システムは上記課題を解決するために、被搬送物が所定位置に載置されるポートとの間で、前記被搬送物を移載可能であると共に、前記被搬送物を保持可能である搬送本体部と、該搬送本体部が搭載されており、天井に敷設された軌道に沿って走行可能であると共に停止可能な走行部と、該走行部が前記ポートに対応する停止位置に停止した際に、前記所定位置に対面するように前記被搬送物の代わりに前記搬送本体部に保持され、前記ポートを撮像し、前記ポートに係る距離画像を出力する距離画像手段と、前記出力された距離画像に基づいて、前記走行部が前記停止位置に停止した際における前記所定位置に対する前記搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するズレ量検出手段とを備える。

本発明の第１搬送システムの一態様では、前記搬送本体部は、前記被搬送物を保持可能であると共に、前記保持している被搬送物を巻き下げ又は巻き上げる形で上下方向に移動するホイスト機構を備え、前記ズレ量検出手段は、前記出力された距離画像に加えて、前記ホイスト機構により保持された前記距離画像手段の巻き出し量に基づいて、前記ズレ量を検出する。

本発明の第１搬送システムによれば、その動作時には、例えば走行部は、例えば半導体素子製造用の製造装置やストッカ等の搬送先のポートまで、被搬送物を搬送する。具体的には、走行部は、例えばリニアモータにより駆動され、天井に敷設された、例えば走行レール等の軌道に沿って、複数のポート間を走行可能であり、且つ搬送先であるポートに対応する停止位置に停止可能である。搬送本体部は、ホイスト機構により被搬送物を保持可能であり、保持している被搬送物をポートに移載したり、ポートに載置されている被搬送物をポートから移載し保持する。ホイスト機構は、例えば本体部と、ベルトと、グリッパとを備えている。この場合、本体部は、典型的にベルトを介してグリッパと接続されている。搬送本体部は、この本体部を駆動して、ベルトを巻き下げ又は巻き上げることで、グリッパにより把持される被搬送物を、ポートとの間で上下方向に移動する。このようなホイスト機構は、被搬送物の代わりに、例えば後述する距離画像手段を上下方向に移動可能である。

各搬送先が備える出入庫用のポートは、典型的には、搬送車の軌道の下方に又は斜め下方に若しくは側方に配置される。ここで特に、走行部が、ポートに対応する停止位置に停止した際に、搬送本体部は、被搬送物をポートにおける所定位置に移載する。ここにポートにおける「所定位置」は、例えばポートの上面に取り付けられた位置決め手段と、被搬送物の底面に形成された凹部とが嵌合する位置である。このため、搬送本体部の移載用位置を、ポートの所定位置に正確に対応させるように、次のようにズレ量が検出される。

即ち本発明では特に、ズレ量の検出時には、搬送本体部（実際には、ホイスト機構）は、被搬送物の代わりに、距離画像手段を保持する。このような検出は、例えば予めティーチングを実行する際に又は実際の搬送作業の合間や最中に行われる。この保持された状態にある距離画像手段は、搬送本体部が搭載されている走行部が停止位置に停止した際に、ポートにおける所定位置に対面する。このような距離画像手段は、この対面した状態で、ポートを撮像し、ポートに係る距離画像を出力する。この距離画像は、典型的には、画素単位毎に、撮像対象とするポートの２次元的な画像情報に加えて、該ポートまでの距離情報を有する。ポートまでの距離情報は、距離画像に基づいて取得される他、例えば走行部が停止位置に停止された際に、ホイスト機構のベルトが巻き出された巻き出し量に基づいて取得される。この巻き出し量は、具体的には、例えばベルトを巻き取る巻き取り軸に取り付けられたエンコーダ等の、巻き出し量検出手段により検出される。

ズレ量検出手段は、例えば距離画像手段により出力された距離画像、及び巻き出し量検出手段により検出された巻き出し量に基づいて、ポートにおける所定位置に対する、搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出する。ここに「移載用位置」とは、例えばポートの載置面内におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び回転方向の３方向についての位置を示す。即ち「移載用位置」とは、例えばポートの載置面に対する搬送本体部の相対的な位置或いは姿勢を示す。このような移載用位置は、ポートの所定位置に正確に移載するという目的からすると、搬送本体部において被搬送物を直接保持する部位、即ち、保持される被搬送物との位置関係が固定されている部位（例えばグリッパ部分）の位置であることが望ましい。言い換えれば、「移載用位置」は、搬送本体部により保持されることが想定されている被搬送物が移載される際の、ポートの所定位置に対する相対的な位置或いは姿勢と呼ぶことができる。

ズレ量検出手段は、具体的には、例えば基準画像と、走行部が停止位置で停止した際に撮像され出力された距離画像から抽出された画像部分とを比較する。ここで「基準画像」とは、例えば予め正規の位置で撮像された画像である。これら「基準画像」及び「画像部分」は、ポートにおける基準となる箇所の画像、典型的には、ポートにおける所定位置を規定するピンなどの位置決め手段の画像（具体的には、例えば二点を結ぶ線分の傾きや、その中心位置を示す）を示す。ズレ量検出手段は、基準画像中の基準となる位置に対して、画像部分中のポートの位置のズレ量を検出する。該ズレ量は、例えば撮像された画像の平面内におけるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及び回転方向の３方向について検出される。或いは、これら３方向に加えて、撮像された画像の奥行き方向について、即ち距離画像における距離について検出されてもよい。また、ズレ量検出手段は、例えば走行部が停止位置に停止された場合に、予め設定された基準巻き出し量に対して、ホイスト機構における距離画像手段の巻き出し量のズレ量を検出してもよい。このように検出されたズレ量は、ティーチング又はティーチングレスにおける、走行部が停止位置に停止した際の搬送本体部の移載用位置或いは姿勢を、調整又は補正するのに用いられる。

以上のように、距離画像を１回出力することにより容易且つ正確に、移載位置とポートとの位置ズレを検出することができ、比較的簡単な手法によりポートとの位置ズレを検出可能となる。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記距離画像手段は、前記被搬送物に対応する外形を有し、前記搬送本体部に保持される函体と、前記函体における前記所定位置に対面する箇所に取り付けられ、前記距離画像を出力する距離画像センサとを有する。

この態様によれば、距離画像手段は、函体と、距離画像センサとを備える。函体は、被搬送物と同様に、例えば鍔部を有しており、この鍔部が把持されることにより、搬送本体部に保持される。距離画像センサは、ポートに係る距離画像を出力可能な位置に、取り付けられる。この距離画像センサは、具体的に、ポートにおける所定位置に対面するように、函体における、例えば下面が開けられた内部の天壁に取り付けられる。このように、距離画像手段の外形が被搬送物の外形と対応するので、搬送本体部に保持されるための機構を特別に備える必要が無く、当該搬送システムを容易に構成することができる。

この態様では、前記距離画像センサからの前記出力された距離画像を配信する通信手段を更に備え、前記ズレ量検出手段は、前記配信された距離画像に基づいて、前記ズレ量を検出してもよい。

このように構成すれば、通信手段は、例えば無線通信機器であり、距離画像センサによる距離画像を、ズレ量検出手段に配信する。この配信された距離画像に基づいて、ズレ量検出手段はズレ量を検出する。このように、距離画像センサからの距離画像をズレ量検出手段に配信するので、例えば搬送システムで一括して、各ポートに対応する移載用位置のズレ量を管理することができる。この際、距離画像手段を、ＦＯＵＰ等の被搬送物を搬送する場合とまったく同様に搬送でき、余分な配信用ケーブル等を引きずることもない。これらにより、例えば搬送システム内の全てのポートにおいて、比較的容易にして、移載用位置をズレ量に対応して調整又は補正することができる。

本発明の第２搬送システムは上記課題を解決するために、被搬送物が所定位置に載置されるポートとの間で、前記被搬送物を移載可能であると共に、前記被搬送物を保持可能である搬送本体部と、該搬送本体部が搭載されており、天井に敷設された軌道に沿って走行可能であると共に停止可能な走行部と、該走行部が前記ポートに対応する停止位置に停止した際に、前記所定位置に対面するように前記搬送本体部又は前記被搬送物に取り付けられ、前記ポートを撮像し、前記ポートに係る距離画像を出力する距離画像手段と、前記出力された距離画像に基づいて、前記走行部が前記停止位置に停止した際における前記所定位置に対する前記搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するズレ量検出手段とを備える。

本発明の第２搬送システムの一態様では、前記搬送本体部は、前記被搬送物を保持可能であると共に、前記保持している被搬送物を巻き下げ又は巻き上げる形で上下方向に移動するホイスト機構を備え、前記ズレ量検出手段は、前記出力された距離画像に加えて、前記ホイスト機構に取り付けられており且つ前記上下方向に移動された前記距離画像手段の巻き出し量、又は前記距離画像手段が取り付けられており且つ前記ホイスト機構により保持された前記被搬送物の巻き出し量に基づいて、前記ズレ量を検出する。

本発明の第２搬送システムは、例えばティーチングレスで停止位置における搬送本体部の移載用位置或いは姿勢を調整するのに適している。

本発明の第２搬送システムによれば特に、距離画像手段は、搬送本体部において、例えば上下方向に移動されるグリッパ部分（即ち、ホイスト機構）や、搬送本体部に固定されており移動されることがないホイスト本体部（即ち、ホイスト機構）等に取り付けられており、走行部が停止位置に停止した際に、ポートにおける所定位置に対面した状態で、ポートを撮像し、ポートに係る距離画像を出力する。

この後、ズレ量検出手段は、距離画像手段により出力された距離画像に基づいて、ポートにおける所定位置に対する搬送本体部の移載用位置或いは姿勢のズレ量を検出する。このズレ量検出手段は、例えば基準画像と、停止位置で撮像し出力された距離画像から生成された画像部分とを比較して、ズレ量を検出する。また、ズレ量検出手段は、例えばグリッパ部分に距離画像手段が取り付けられている場合には、距離画像に基づいてズレ量が検出されることに併行して、基準巻き出し量に対して、ホイスト機構における距離画像手段の巻き出し量のズレ量を検出してもよい。

尚、ポートにおけるズレ量を検出する際の基準となる箇所（即ち、位置決めピン等）は、被搬送物が保持状態で保持されていても、距離画像手段から見えることが好ましい。このようにすれば、被搬送物を搬送したままズレ量を検出することも可能となる。但し、被搬送物がない、即ち空荷の状態でズレ量を検出してもよい。いずれの場合にも、検出されたズレ量は、例えば移載の直前に、移載用位置を補正するのに用いられる。

以上のように、走行部が停止位置に停止した際に、距離画像手段により出力された距離画像に基づいて、ポートにおける所定位置に対する、搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するので、距離画像を１回出力することにより容易且つ正確に、移載位置とポートとの位置ズレを検出することができる。

本発明の第２搬送システムの他の態様では、前記搬送本体部及び前記走行部の少なくとも一方に設けられた前記移載用位置を調整可能な位置調整機構を有する位置調整手段に対して、前記検出されたズレ量を教示する教示手段を更に備える。

この態様によれば、位置調整手段は、例えば、移載用位置の一要素としての走行方向の位置を調整可能である、走行部の走行及び停止、特に停止位置を制御する走行制御手段を含む。更に、これに加えて又は代えて、移載用位置の他の一要素としての走行方向に交わる方向の位置を調整可能であるスライド機構及びその駆動を制御するスライド制御手段を含む。更に、これらに加えて又は代えて、移載用位置の更に他の一要素としての回転方向の位置を調整可能である回転機構及びその駆動を制御する回転制御手段を含む。このような位置調整手段に対して、例えばコントローラ、メモリ等を備えてなる教示手段は、ズレ量検出手段により検出されたズレ量を教示する、即ちティーチングする。ここで「教示」或いは「ティーチング」とは、個々のポートに関して別個に行われるものであり、走行部が一のポートに対応する停止位置に停止した際における、ポートの所定位置に対する搬送本体部の移載用位置のズレ量を、予め較正しておくことを意味する。或いは、ズレ量が低減されるように位置調整手段による位置調整機構の調整が、事前実行可能な範囲内において実行されることまでも意味してよい。更に、このような事前実行可能な調整に加えて又は代えて、後で実際に被搬送物を搬送する際に一のポートに対応する停止位置にて、該一のポートに最適な位置調整（或いは姿勢調整）を位置調整機構において即時実行可能なように、予めズレ量を位置調整手段に教えておくことまでも意味してもよい。

このように、教示或いはティーチング時に、移載用位置と、正しく移載可能である基準位置（即ち、正しく移載可能である理想的な搬送本体部の移載用位置或いは姿勢）とのズレ量を、距離画像手段を用いて事前に調べておき、実際の作業で被搬送物を移載する際に、移載用位置と基準位置とを、予め或いは即時に一致させることが可能となる。

尚、このティーチングが実行される時期は、例えば、工場内での当該搬送システムの組み立て時、半導体素子製造工程における初期設定時、ポートの増設や変更時、或いは当該第１搬送システムの各部のメンテナンス時に行われる。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記搬送本体部及び前記走行部の少なくとも一方に設けられた前記移載用位置を調整可能な位置調整機構を、前記検出されたズレ量に応じて前記移載用位置を調整するように制御する位置調整手段を更に備える。

この態様によれば、例えば走行部、スライド機構、回転機構等を含む位置調整機構を、例えばコントローラ、メモリ等を備えてなる、走行制御手段、スライド制御手段、回転制御手段等を含む位置調整手段は、ズレ量検出手段により検出されたズレ量に応じて制御する。従って、距離画像手段を用いて実際の搬送作業中にズレ量を調べることで、位置調整手段による制御下で、位置調整機構によりティーチングレスにて、移載の直前に移載用位置と基準位置とを一致させることが可能となる。このように、事前にティーチングすることによってのみならず、ティーチングレスにて実際の移載動作を短時間且つ効率的に行うことも可能となる。

本発明の搬送システムの他の態様では、前記距離画像手段は、前記搬送本体部から下方を撮像するように前記搬送本体部に取り付けられ若しくは保持されている又は前記被搬送物に取り付けられている。

この態様によれば、距離画像手段は、搬送本体部において、例えば一外面に取り付けられてもいいし、被搬送物の代わりに搬送本体部（実際には、ホイスト機構）に保持されてもよい。但し、このような距離画像手段は、搬送本体部から下方を撮像可能である。特に、ティーチングレス方式で移載の直前にズレ量の検出を行う場合には、距離画像手段が搬送本体部の一外面に取り付けられている場合に、被搬送物を保持している状態でも下方を撮像可能であることが望ましい。

本発明の第２搬送システムの他の態様では、前記ポートは、前記所定位置を規定する位置決め手段を有し、前記距離画像手段は、前記位置決め手段を撮像し、前記距離画像として前記位置決め手段に係る距離画像を出力する。

この態様によれば、ポートは、被搬送物が載置される所定位置を規定する位置決め手段を有する。ここに位置決め手段は、例えば、ポートの移載面に設けられた複数のピンである。距離画像手段は、この位置決め手段を撮像し、位置決め手段に係る距離画像を出力する。この場合、ズレ量検出手段は、例えば位置決め手段に係る距離画像から抽出された画像部分と、この画像部分に対応する基準画像とを比較して、基準画像が記録する位置決め手段に対する、画像部分が記録する位置決め手段のズレ量を検出する。このように、位置決め手段に係る距離画像を１回出力することにより容易且つ正確に、移載位置とポートとの位置ズレを検出することができる。

この態様では、前記位置決め手段は、前記被搬送物の底面に形成された複数の凹部に係合する複数の位置決めピンを有し、前記距離画像手段は、前記距離画像を構成する複数の画素のうち、前記複数の位置決めピンのうち少なくとも二つについての最も距離が近いとされる二つの画素を抽出し、前記ズレ量検出手段は、前記出力された距離画像のうち、前記抽出された二つの画素における画像部分に基づいて、前記ズレ量を検出してもよい。

この態様によれば、複数の位置決めピンは、例えば先鋭な先端部を有し、被搬送物の底面に形成された複数の凹部に係合する。この係合により、被搬送物がポートにおける所定位置に載置される。距離画像手段は、各位置決め手段に係る距離画像を構成する複数の画素のうち、例えば二つの位置決めピンについての画素を抽出する。更に、この抽出された画素のうち最も距離が近いとされる二つの画素を抽出する。ここで「最も距離が近い」とは、例えば二つの画素を結ぶ直線の長さが最も短くなることを意味する。具体的には、抽出された二つの画素は、例えば各位置決めピンにおける先鋭な先端部の中央の画素に一致してもよい。ズレ量検出手段は、抽出された二つの画素を含む画像部分に基づいて、搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出する。この場合に、例えば搬送本体部が上下方向に傾いた状態であっても、距離画像手段による画像部分の誤差が最小限に抑えられる。尚、二つの画素を含む画像部分は、例えば位置決め手段が三つの位置決めピンからなる場合に、これら位置決めピンの三点を結んで形成された三角形のうちの所定の一辺を示してもよい。このように、位置決め手段が位置決めピンの場合、比較対象とされる二つの画素を容易且つ正確に特定し、位置決め手段の位置を検出すると共に、搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出することができる。

前記位置決め手段が前記複数の位置決めピンを有する態様では、前記ズレ量検出手段は、前記複数の位置決めピンに対応して予め設定される基準画像と、前記画像部分とを比較して、前記ズレ量を検出してもよい。

この態様によれば、ズレ量検出手段は、基準画像と、画像部分とを比較して、ズレ量を検出する。ここで「基準画像」は、複数の位置決めピンに対応して予め設定されており、具体的には、例えば複数の位置決めピンの中央に対応する複数の画素間を結ぶ複数の線分を示してもよい。この場合に、基準画像のうち、画像部分に示される線分に対応する基準画像部分と、該画像部分とが比較される。詳細には、基準画像部分及び画像部分における二つの線分について、典型的には、２次元位置及び方位、又は２次元位置、方位及び長さが相互比較され、ポートにおける所定位置に対する、搬送本体部の移載用位置のズレ量が検出される。このように、画像部分と、該画像部分に対応する基準画像部分とを比較することで、容易且つ正確に、位置決めピンの位置を検出すると共に、搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出することができる。

本発明のズレ検知用治具は上記課題を解決するために、被搬送物が所定位置に載置されるポートとの間で、前記被搬送物を移載可能であると共に、前記被搬送物を保持可能である搬送本体部と、該搬送本体部が搭載されており、天井に敷設された軌道に沿って走行可能であると共に停止可能な走行部とを備える搬送車において、前記走行部が前記ポートに対応する停止位置に停止した際における前記所定位置に対する前記搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するズレ検出用治具であって、前記走行部が前記停止位置に停止した際に、前記所定位置に対面するように前記被搬送物の代わりに前記搬送本体部に保持され、前記ポートを撮像し、前記ポートに係る距離画像を出力する距離画像手段と、前記出力された距離画像に基づいて、前記ズレ量を検出するズレ量検出手段とを備える。

本発明のズレ検出用治具によれば、当該ズレ検出用治具を搬送本体部に保持させれば、上述した本発明に係る第１搬送システムの場合と同様に、比較的簡単にして、被搬送物をポートに移載するのに先立って、搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出可能である。これにより、ティーチングやティーチングレスでの補正が可能となる。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。
＜第１実施形態＞

先ず、第１実施形態に係る搬送システムの構成について図１から図４を参照して説明する。ここに図１は、第１実施形態に係る搬送システムの外観を示し、図２は、図１に示した距離画像手段の構成を示し、図３は、第１実施形態に係る位置決めピン部分及び距離画像センサの位置関係を拡大して示し、図４は、第１実施形態に係る基準画像及び画像部分である。

図１において、搬送システム１００は、走行部１９と、搬送本体部２０と、距離画像出力部１０とを備えており、これらの各部が、有線或いは無線の制御ラインにより、相互に接続されている。搬送システム１００は、半導体素子製造工程を実行する際に、ポートＰ１との間で、不図示のＦＯＵＰを移載可能である。ＦＯＵＰは、距離画像出力部１０と類似した外観形状を有し、搬送本体部２０により保持される。

ポートＰ１は、搬送システム１００に敷設されたレール２の下方に配置されており、ＦＯＵＰを、搬送先とされる製造装置３０に対して出入庫するための棚である。ポートＰ１の上面には、３つの位置決めピン３２が取り付けられている。各位置決めピン３２は、その先端部が尖るように形成されており、ＦＯＵＰが載置される所定位置を既定する。

ＦＯＵＰは、本発明に係る「被搬送物」の一例として、レール２に沿って搬送されると共に、ポートＰ１に載置される。ＦＯＵＰの底面には、複数の位置決めピン３２に対応する３つの凹部が形成されている。ＦＯＵＰについて、ポートＰ１における所定位置で、これら３つの凹部が３つの位置決めピン３２に夫々嵌合される。

走行部１９は、本発明に係る「位置調整機構」の一部として機能し、走行コントローラ１９ａを備えており、底面に、搬送本体部２０を搭載している。走行コントローラ１９ａは、本発明に係る「位置調整手段」の一部として機能し、不図示の搬送指示部からの搬送指示に応じて、走行部１９をレール２に沿って走行させると共に、ポートＰ１に対応する停止位置に停止させる。本実施形態では特に、走行コントローラ１９ａは、後述する移載コントローラ２０１から送信されるズレ量の情報に応じて、走行部１９本体の停止位置を調整することで、レール２に沿った方向における移載用位置を補正する。

搬送本体部２０は、ホイスト機構２１、移載位置補正機構１８、受信部２０４、及び移載コントローラ２０１を備える。搬送本体部２０は、内部に設けられたホイスト機構２１によりＦＯＵＰを上下方向に移動することで、ポートＰ１との間でＦＯＵＰを移載する。搬送本体部２０は、本実施形態では特に、半導体素子製造工程における初期設定を行うティーチング処理の際に、ＦＯＵＰの代わりに、後述の距離画像出力部１０を保持する。

ホイスト機構２１は、ホイスト本体部２２と、ベルト２３と、グリッパ２４とを備える。ベルト２３において、一端がホイスト本体部２２の不図示の巻き軸に、他端がグリッパ２３に、夫々固定されている。ホイスト本体部２２は、モータの駆動により、ベルト２３を巻き下げ又は巻き上げる。ホイスト本体部２２は、本実施形態では、不図示のエンコーダを有する。エンコーダは、巻き軸の周囲に取り付けられており、ベルト２３の巻き量（即ち、本発明に係る「巻き出し量」の一例）を検出する。グリッパ２４は、ＦＯＵＰ又は距離画像出力部１０を保持する保持状態と、ＦＯＵＰ又は距離画像出力部１０を解放する解放状態とに変位可能である。搬送本体部２０は、ＦＯＵＰを移載する際に、ホイスト本体部２２によりベルト２３を巻き下げていき、保持状態にあるグリッパ２４により保持されているＦＯＵＰを、ポートＰ１における所定位置に移載する。この際、ＦＯＵＰの凹部が、ポートＰ１の位置決めピン３２に嵌合する。ホイスト機構２１は、本実施形態では特に、後述の距離画像出力部１０が距離画像を出力する際に、グリッパ２４に保持されている距離画像出力部１０の底面からポートＰ１までの距離が所定距離Ｌ０となるようにベルト２３を巻き下げる。この際に、ホイスト機構２１は、移載コントローラ２０１の制御下で、エンコーダにより、所定距離Ｌ０に対応した基準巻き量に対する、現行のベルト２３の巻き量（即ち、本発明における「巻き出し量」の一例）のズレ量を検出する。

移載位置補正機構１８は、本発明に係る「位置調整機構」及び「位置調整手段」の一部として機能し、アクチュエータ或いはモータを備えており、その駆動軸には、ホイスト本体部２２が固定されている。移載位置補正機構１８は、移載コントローラ２０１の制御下で、アクチュエータ或いはモータを駆動して、ホイスト本体部２２を変位させる。本実施形態では、移載位置補正機構１８は、移載コントローラ２０１から送信されるズレ量の情報に応じて、ホイスト本体部２２の姿勢を調整することで、レール２に交差する方向及び回転方向における移載用位置を補正する。

図１では便宜上、移載位置補正機構１８は、ホイスト本体部２２側に設けられているが、このような移載位置補正機構１８は、少なくともその一部が、グリッパ２４側に設けられてもよい。更に、このような移載位置補正機構１８は、少なくともその一部が、走行部１９側に設けられてよい。例えばレール２に交差する方向への位置補正機構は、走行部１９に設けられ、回動可能な位置補正機構は、グリッパ２４に設けられてもよい。

図２において、距離画像出力部１０は、本発明に係る「距離画像手段」の一例として、搬送本体部２０に保持されると共に、この保持された状態で、ポートＰ１に係る距離画像を出力する。距離画像出力部１０は、函体１０ａと、モニタ１４と、距離画像センサ１５と、画像処理部１６と、配信部１７とを有する。

函体１０ａは、上面に、ＦＯＵＰと同様に、不図示の鍔部を有しており、この鍔部が、保持状態にあるグリッパ２３により保持される。

モニタ１４は、距離画像センサ１５と接続されており、搬送システム１００の管理者が目視可能に函体１０ａの側面（即ち、図２における右側面）に組み付けられている。モニタ１４は、距離画像センサ１５により出力された距離画像を表示する。

距離画像センサ１５は、照射部と、受光部とを備える光照射型のセンサである。距離画像センサ１５は、函体１０ａの内部の天壁に取り付けられており、走行部１９が停止位置に停止した際に、ポートＰ１の位置決めピン３２に対面する。距離画像センサ１５は、対面している位置決めピン３２を、所定距離から撮像し、位置決めピン３２に係る距離画像を出力する。図２に示すように、距離画像センサ１５は、少なくとも撮像範囲Ａ１の距離画像を出力する。尚、距離画像センサ１５は、函体１０ａの下面に取り付けられてもよい。

画像処理部１６は、距離画像センサ１５と接続されており、距離画像センサ１５により出力された距離画像を構成する複数の画素を解析する。画像処理部１６は、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を検出する際に、ズレ量の検出対象となる画像部分を生成するための２つの画素を抽出する。この抽出について、具体的には、３つの位置決めピン３２ａ，３２ｂ，３２ｃの３点を結んで三角形が形成される。３つの位置決めピン３２ａ，３２ｂ，３２ｃのうち、三角形の所定の一辺に対応する、即ち一辺の両端に位置する２つの位置決めピンを示す２つの画素が抽出される。

次に、２つの画素の抽出について詳細に説明する。図３は、距離画像センサ１５から、左側の位置決めピン３２ａまでの鉛直方向の距離Ｌ１、中央の位置決めピン３２ｂまでの鉛直方向の距離Ｌ２、右側の位置決めピン３２ｃまでの鉛直方向の距離Ｌ３を示す。図３において、距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３が全て等しい値となる（即ち、Ｌ１＝Ｌ２＝Ｌ３）場合に、３つの位置決めピン３２ａ，３２ｂ，３２ｃに係る距離画像のうち、鉛直方向の距離Ｌ１、Ｌ２，Ｌ３をとる画像部分について解析が行われる。該画像部分では、３つの位置決めピン３２ａ，３２ｂ，３２ｃにおいて、各々の中央に位置する３つの画素が示される。本実施形態では、該三角形の所定の一辺は、位置決めピン３２ａ及び３２ｂを結んだ一辺として設定されている。この場合に、位置決めピン３２ａ及び３２ｂの各々の中央に位置する２つの画素が抽出される。

配信部１７は、本発明に係る「通信手段」の一例として、無線により、距離画像センサ１５により出力された距離画像と、画像処理部１６により抽出された三角形の一辺に係る２つの画素情報とを、搬送本体部２０に配信する。この際、配信部１７により配信される配信データ量を減らすためには、上述したように、ズレ量の検出対象となる２つの画素情報を抽出した後に、配信部１７により配信するのが望ましい。しかし、撮像された距離画像の全てを、先ず配信部１７により配信して、抽出以降の処理を移載コントローラ２０１側に任せることも可能である。

受信部２０４は、配信部１７から配信された距離画像、及び三角形の一辺に係る２つの画素情報を、ズレ量検出部２５に送る。

移載コントローラ２０１は、ズレ量検出部２５、及び不図示のメモリを備え、ＦＯＵＰの移載に係る搬送システム１００の各部を統括的に制御する。

ズレ量検出部２５は、本発明に係る「ズレ量検出手段」の一例として、距離画像出力部センサ１０からの距離画像と、２つの画素情報とに基づいて、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を、Ｘ軸及びＹ軸、並びに回転方向について検出する。Ｘ軸方向は、レール２に沿った方向であり、Ｙ軸方向は、レール２に交差する方向であり、回転方向は、Ｘ軸及びＹ軸方向のズレ量を零とした場合の回転方向である。ズレ量検出部２５は、具体的には、距離画像から、２つの画素を結んだ線分を含む画像部分を生成する。この生成された画像部分と、予め設定された基準画像部分とを比較して、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量が検出される。ズレ量検出部２５は、検出されたズレ量を、ポートＰ１の識別番号に紐付けてメモリに記録する。

次に、ズレ量の検出について詳細に説明する。図４（ａ）は、ズレ量が零である場合の距離画像から生成された基準画像部分Ｄ０であり、図４（ｂ）は、ズレ量が零でない場合の距離画像から出力された画像部分Ｄ１である。基準画像部分Ｄ０及び画像部分Ｄ１は共に、画像処理部１６により抽出された三角形の一辺として、２つの位置決めピン３２ａ，３２ｂの中央を結んだ線分Ｃ０，Ｃ１を示す。これら線分Ｃ０，Ｃ１の長さ及び方向が比較され、Ｘ軸及びＹ軸、並びに原点（０，０）を基点とする回転方向におけるズレ量が検出される。図４（ｂ）において、線分Ｃ１では、線分Ｃ０に対して、Ｘ軸方向におけるズレ量Δｅ１、Ｙ軸方向におけるズレ量Δｅ２、及び回転方向におけるズレ量Δｅ３が検出される。

移載コントローラ２０１は、本発明に係る「位置調整手段」の一部として機能し、搬送指示部からの搬送指示に応じて、搬送本体部２０を制御して、ポートＰ１間でＦＯＵＰを移載する。本実施形態では特に、移載コントローラ２０１は、本発明に係る「教示手段」の一例として、ズレ量検出部２５により検出されたズレ量の情報を、有線により、走行コントローラ１９ａ又は移載位置補正機構１８に送信する。具体的には、Ｘ軸方向におけるズレ量が走行コントローラ１９ａに送られ、Ｙ軸及び回転方向におけるズレ量が移載位置補正機構１８に送られる。尚、本実施形態では、移載コントローラ２０１は、距離画像に基づくズレ量だけでなく、エンコーダにより検出されたベルト２３の巻き量のズレ量に応じて、ベルト２３の巻き量を調整することで、移載用位置を補正してもよい。

搬送指示部により搬送指示される各ポートに対する停止位置（即ち、停止位置における搬送本体部２０の移載用位置）は、ティーチングにより予め較正されているので、各ポートに対して、走行方向及びこれに交差する方向並びに回転方向について正確な位置とされる。或いは、該停止位置は、ティーチングレスで、リアルタイム的に補正されるので、やはり走行方向及びこれに交差する方向並びに回転方向について正確な位置とされる。
（ティーチング処理）

次に、本実施形態に係る搬送システムのティーチング処理について図５及び図６を参照して説明する。ここで図５は、本実施形態に係る搬送システムのティーチング処理を示すフローチャートであり、図６は、図５のティーチング処理におけるズレ量検出処理を示すフローチャートである。

図５において、先ず、走行コントローラ１９ａの制御により、搬送本体部２０がＦＯＵＰに代えて距離画像出力部１０を保持した状態で、走行部１９が走行され（ステップＳ５１）、走行部１９から最も近い第ｉポートまで移動され、第ｉポートに対応する停止位置に停止されたか否かが判定される（ステップＳ５２）。走行部１９が該停止位置に到達しない場合に（ステップＳ５２：ＮＯ）、到達するまで移動される。

一方、走行部１９が該停止位置に停止された場合に（ステップＳ５２：ＹＥＳ）、ホイスト機構２１により、距離画像出力部１０が下方向に移動される。続いて、距離画像センサ１５により、位置決めピン３２に係る距離画像が出力され、出力された距離画像が移載コントローラ２０１に送信される（ステップＳ５３）。距離画像の出力に伴って、画像処理部１６により、３つの位置決めピン３２のうち、三角形の所定の一辺に対応する２つの位置決めピン３２における２つの画素が抽出される。距離画像、及び抽出された２つの画素情報が移載コントローラ２０１に受信されると、ズレ量検出処理が実行される（ステップＳ５４）。

図６において、ズレ量検出処理では、ズレ量検出部２５により、送信された距離画像、及び２つの画素に基づいて、距離画像のうち、２つの画素に係る画像部分が生成される（ステップＳ６１）。続いて、予め設定された基準画像と、生成された画像部分とが比較され、２つの画素を結ぶ線分の長さ及び方向から、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量、即ち、移載位置のズレ量が検出され（ステップＳ６２）、移載用位置の較正用データ或いは教示用データとして、即ち上述したティーチング用のデータとして、移載コントローラ２０１の内蔵メモリに記録される（ステップＳ６３）。これにより、ズレ量検出処理が終了される。

再び図５において、移載コントローラ２０１により、全てのポートに対して、ズレ量の検出及び記録が行われたか否かが判定される（ステップＳ５５）。未だ全てのポートについて終了していない場合に（ステップＳ５５：ＮＯ）、ポートの通し番号「ｉ」に「１」が加算され（ステップＳ５６）、走行部１９の走行方向において第ｉポートよりも下流の第ｉ＋１ポートに対するズレ量の検出が行われる（ステップＳ５１からＳ５４）。一方、全てのポートについて終了した場合に（ステップＳ５５：ＹＥＳ）、一連のティーチング処理が終了される。

このように、第１実施形態によれば、走行部１９が停止位置に停止した際に、距離画像出力部２０により距離画像を出力し、出力された距離画像に基づいて、ポートにおける所定位置に対する、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を検出する。このように、距離画像を１回出力することにより容易且つ正確に、移載位置とポートＰ１との位置ズレを検出することができる。
＜第２実施形態＞

次に、第２実施形態に係る搬送システムの構成について図７を参照して説明する。ここに図７は、第２実施形態に係る搬送システムの外観を示す。第２実施形態に係る搬送システムでは、距離画像手段を、搬送本体部に取り付けており、半導体素子製造工程における移載動作の直前に、移載位置のズレ量を検出するという点が、第１実施形態のものと異なる。尚、第２実施形態に係る搬送システムについて、第１実施形態と同様に構成される要素には、第１実施形態の要素と同一の符号を付し、該要素について詳細な説明を省略する。

図７において、搬送システム２００は、走行部１９と、搬送本体部１２０と、距離画像出力部１１０とを備える。搬送システム２００は、ポートＰ１との間でＦＯＵＰを移載する不図示の走行部に先行して、ティーチング用の走行部１９を走行させる。このティーチング用の走行部１９における移載用位置のズレ量を検出し、検出されたズレ量に対応して、移載動作を行う後行の走行部及び搬送本体部における移載用位置の補正を行う。

距離画像出力部１１０ａは、グリッパ２４の側面（即ち、図７における正面）に取り付けられている。不図示の距離画像センサは、走行部１９が停止位置に停止した際に、位置決めピン３２に対面し、位置決めピン３２に係る距離画像を出力する。不図示の画像処理部は、距離画像から、画像部分を生成するための２つの画素を抽出する。これら距離画像及び２つの画素情報は、有線により、移載コントローラ２０１に送信される。移載コントローラ２０１は、ズレ量検出部２５により、配信された距離画像及び２つの画素情報に基づいて、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を検出する。

次に第２実施形態の変形例について図８を参照して説明する。図８は、変形形態に係る図７と同趣旨の正面図である。

図８に示すように、変形例における距離画像出力部１１０ｂは、搬送本体部１２０の函体１２０ａに取り付けられている。距離画像出力部１１０ｂは、位置決めピン３２に係る距離画像を出力するが、位置決めピン３２に係る距離画像の代わりに、位置決めピン３２に並列したポート基準に係る距離画像を出力する。該ポート基準の一例として、図８は、基準ピン１３２を有するポートＰ２を示す。基準ピン１３２は、ポートＰ２において、距離画像出力部１１０ｂの下方に対応する位置に取り付けられている。距離画像出力部１１０ｂの距離画像センサは、走行部１９が停止位置に停止した際に、ポートＰ２の基準ピン１３２に対面する。この場合、例えばグリッパ２４及び／又はＦＯＵＰ９が撮像範囲に配置され、位置決めピン３２の撮像の障害となっていても、距離画像出力部１１０ｂは、対面している基準ピン１３２に係る距離画像を出力し、この距離画像に基づいて搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を検出する。このように、基準ピン１３２を有するポート２との間でＦＯＵＰ９を移載する場合に、該移載動作と並行して、ズレ量を検出することができる。
＜第３実施形態＞

次に、第３実施形態に係る搬送システムの構成について図９を参照して説明する。ここに図９は、第３実施形態に係る搬送システムの外観を示す正面図である。第３実施形態に係る搬送システムでは、距離画像手段を、移載される被搬送物に取り付けているという点が、第２実施形態のものと異なる。尚、第３実施形態に係る搬送システムについて、第１及び第２実施形態と同様に構成される要素には、第１及び第２実施形態の要素と夫々同一の符号を付し、該要素について詳細な説明を省略する。

図９において、搬送システム３００は、走行部１９と、搬送本体部２０と、距離画像出力部２１０とを備える。搬送システム３００は、ポートＰ１との間でＦＯＵＰ９を移載する直前に、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を検出し、検出されたズレ量に対応して、移載用位置の補正を行う。

搬送本体部２０は、ホイスト機構２１により、ポートＰ１との間でＦＯＵＰ９を移載する。該移載動作と並行して、距離画像出力部２１０により距離画像が出力され、出力された距離画像に基づいてズレ量が検出される。更に、検出されたズレ量に対応して移載用位置が補正されると、ＦＯＵＰ９がポートＰ１に移載される。

距離画像出力部２１０は、ＦＯＵＰ９の側面（即ち、図９における正面）に取り付けられている。不図示の距離画像センサは、走行部１９が停止位置に停止した際に、位置決めピン３２に対面し、位置決めピン３２に係る距離画像を出力する。この際、距離画像出力部２１０の底面からポートＰ１までの距離が所定距離となる。不図示の画像処理部は、距離画像から、画像部分を生成するための２つの画素を抽出する。移載コントローラ２０１は、ズレ量検出部２５により、配信された距離画像及び２つの画素情報に基づいて、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を検出する。
（ティーチングレス処理）

次に、第３実施形態に係る搬送システムのティーチングレス処理について図１０を参照して説明する。ここで図１０は、本実施形態に係る搬送システムのティーチングレス処理を示すフローチャートである。

図１０において、図６に示すティーチング処理と同様に、先ず、走行コントローラ１９ａの制御により、走行部１９が走行され（ステップＳ５１）、走行部１９から最も近い第ｉポートまで移動され、第ｉポートに対応する停止位置に停止されたか否かが判定される（ステップＳ５２）。走行部１９が該停止位置に到達しない場合に（ステップＳ５２：ＮＯ）、到達するまで移動される。

一方、走行部１９が該停止位置に停止された場合に（ステップＳ５２：ＹＥＳ）、ホイスト機構２１により、ＦＯＵＰ９と共に距離画像出力部２１０が下方向に移動される。続いて、距離画像センサにより、位置決めピン３２に係る距離画像が出力され、移載コントローラ２０１に送信される（ステップＳ５３）。距離画像の出力に伴って、画像処理部により、３つの位置決めピン３２のうち、三角形の所定の一辺に対応する２つの位置決めピン３２における２つの画素が抽出される。距離画像、及び抽出された２つの画素情報が移載コントローラ２０１に受信されると、ズレ量検出処理が実行される（ステップＳ５４）。

続いて、移載コントローラ２０１により、検出された移載位置のズレ量が、所定ズレ量Δｅ０以下であるか否かが判定され（ステップＳ７１）、検出されたズレ量が所定ズレ量Δｅ０よりも大きい場合に（ステップＳ７１：ＮＯ）、内蔵メモリに記録された移載用位置のズレ量が、走行コントローラ１９ａ及び／又は移載位置補正機構１８に送信される。すると、走行コントローラ１９ａにより、検出されたズレ量に対応して、レール２に沿ったＸ方向、レール２に交差するＹ方向、及び所定原点を基点とする回転方向について、走行部１９及び／又はホイスト本体部２２の位置或いは姿勢が調整され、搬送本体部１２０の移載用位置（Ｘ，Ｙ，Θ）が補正される（ステップＳ７２）。本実施形態では、この後、ステップＳ５３からステップＳ７１の処理が再度或いは繰り返し行われ、補正後のズレ量が検出され、検出されたズレ量が所定ズレ量Δｅ０以下となるまで、ステップＳ７２の処理が繰り返される。

一方、検出されたズレ量が所定ズレ量Δｅ０以下である場合に（ステップＳ７１：ＹＥＳ）、ホイスト機構２１により、保持しているＦＯＵＰ９がポートＰ１に載置される（ステップＳ７３）。この後、ポートの通し番号「ｉ」に「１」が加算され（ステップＳ７４）、第ｉポートに対する一連のティーチングレス処理が終了される。この後、走行部１９が次の移載を行う第ｉ＋１ポートに対するティーチングレス処理が実行される。

このように、第３実施形態によれば、ＦＯＵＰ９を保持している搬送本体部２０が搭載された走行部１９が停止位置に停止した際に、距離画像出力部２１０により距離画像を出力し、出力された距離画像に基づいて、ポートにおける所定位置に対する、搬送本体部２０の移載用位置のズレ量を検出する。このように、距離画像を１回出力することにより容易且つ正確に、移載用位置とポートＰ１との位置ズレを検出することができる。また、実際の移載動作に並行して、移載コントローラ２０１によりズレ量を提示し、走行コントローラ１９ａにより移載用位置を補正するので、ティーチングレスを実行する搬送システムであっても、移載動作を効率的に行うことができる。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うズレ検出用治具もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

第１実施形態に係る搬送システムの外観を図式的に示す正面図である。 第１実施形態に係る距離画像手段の構成を示すブロック図である。 第１実施形態に係る二つの画素を抽出する方法を説明するための説明図である。 第１実施形態に係る基準画像及び画像部分の一例を示す平面図である。 第１実施形態に係る搬送システムのティーチング処理を示すフローチャートである。 図５のティーチング処理におけるズレ量検出処理を示すフローチャートである。 第２実施形態に係る搬送システムの外観を示す図１と同趣旨の正面図である。 図７の変形例を示す図１と同趣旨の正面図である。 第３実施形態に係る搬送システムの外観を示す図１と同趣旨の正面図である。 第３実施形態に係る搬送システムのティーチングレス処理を示すフローチャートである。

符号の説明

９…ＦＯＵＰ，１０…距離画像出力部，１９…走行部，２０…搬送本体部，２５…ズレ量検出部，１００…搬送システム

Claims (13)

1. 被搬送物が所定位置に載置されるポートとの間で、前記被搬送物を移載可能であると共に、前記被搬送物を保持可能である搬送本体部と、
   該搬送本体部が搭載されており、天井に敷設された軌道に沿って走行可能であると共に停止可能な走行部と、
   該走行部が前記ポートに対応する停止位置に停止した際に、前記所定位置に対面するように前記被搬送物の代わりに前記搬送本体部に保持され、前記ポートを撮像し、前記ポートに係る距離画像を出力する距離画像手段と、
   前記出力された距離画像に基づいて、前記走行部が前記停止位置に停止した際における前記所定位置に対する前記搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するズレ量検出手段と
   を備えることを特徴とする搬送システム。
2. 前記搬送本体部は、前記被搬送物を保持可能であると共に、前記保持している被搬送物を巻き下げ又は巻き上げる形で上下方向に移動するホイスト機構を備え、
   前記ズレ量検出手段は、前記出力された距離画像に加えて、前記ホイスト機構により保持された前記距離画像手段の巻き出し量に基づいて、前記ズレ量を検出する
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
3. 前記距離画像手段は、
   前記被搬送物に対応する外形を有し、前記搬送本体部に保持される函体と、
   前記函体における前記所定位置に対面する箇所に取り付けられ、前記距離画像を出力する距離画像センサと
   を有することを特徴とする請求項１又２に記載の搬送システム。
4. 前記距離画像センサからの前記出力された距離画像を配信する通信手段を更に備え、
   前記ズレ量検出手段は、前記配信された距離画像に基づいて、前記ズレ量を検出する
   ことを特徴とする請求項３に記載の搬送システム。
5. 被搬送物が所定位置に載置されるポートとの間で、前記被搬送物を移載可能であると共に、前記被搬送物を保持可能である搬送本体部と、
   該搬送本体部が搭載されており、天井に敷設された軌道に沿って走行可能であると共に停止可能な走行部と、
   該走行部が前記ポートに対応する停止位置に停止した際に、前記所定位置に対面するように前記搬送本体部又は前記被搬送物に取り付けられ、前記ポートを撮像し、前記ポートに係る距離画像を出力する距離画像手段と、
   前記出力された距離画像に基づいて、前記走行部が前記停止位置に停止した際における前記所定位置に対する前記搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するズレ量検出手段と
   を備えることを特徴とする搬送システム。
6. 前記搬送本体部は、前記被搬送物を保持可能であると共に、前記保持している被搬送物を巻き下げ又は巻き上げる形で上下方向に移動するホイスト機構を備え、
   前記ズレ量検出手段は、前記出力された距離画像に加えて、前記ホイスト機構に取り付けられており且つ前記上下方向に移動された前記距離画像手段の巻き出し量、又は前記距離画像手段が取り付けられており且つ前記ホイスト機構により保持された前記被搬送物の巻き出し量に基づいて、前記ズレ量を検出する
   ことを特徴とする請求項５に記載の搬送システム。
7. 前記搬送本体部及び前記走行部の少なくとも一方に設けられた前記移載用位置を調整可能な位置調整機構を有する位置調整手段に対して、前記検出されたズレ量を教示する教示手段を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の搬送システム。
8. 前記搬送本体部及び前記走行部の少なくとも一方に設けられた前記移載用位置を調整可能な位置調整機構を、前記検出されたズレ量に応じて前記移載用位置を調整するように制御する位置調整手段を更に備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の搬送システム。
9. 前記距離画像手段は、前記搬送本体部から下方を撮像するように前記搬送本体部に取り付けられ若しくは保持されている又は前記被搬送物に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の搬送システム。
10. 前記ポートは、前記所定位置を規定する位置決め手段を有し、
    前記距離画像手段は、前記位置決め手段を撮像し、前記距離画像として前記位置決め手段に係る距離画像を出力する
    ことを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の搬送システム。
11. 前記位置決め手段は、前記被搬送物の底面に形成された複数の凹部に係合する複数の位置決めピンを有し、
    前記距離画像手段は、前記距離画像を構成する複数の画素のうち、前記複数の位置決めピンのうち少なくとも二つについての最も距離が近いとされる二つの画素を抽出し、
    前記ズレ量検出手段は、前記出力された距離画像のうち、前記抽出された二つの画素における画像部分に基づいて、前記ズレ量を検出する
    ことを特徴とする請求項１０に記載の搬送システム。
12. 前記ズレ量検出手段は、前記複数の位置決めピンに対応して予め設定される基準画像と、前記画像部分とを比較して、前記ズレ量を検出することを特徴とする請求項１１に記載の搬送システム。
13. 被搬送物が所定位置に載置されるポートとの間で、前記被搬送物を移載可能であると共に、前記被搬送物を保持可能である搬送本体部と、該搬送本体部が搭載されており、天井に敷設された軌道に沿って走行可能であると共に停止可能な走行部とを備える搬送車において、前記走行部が前記ポートに対応する停止位置に停止した際における前記所定位置に対する前記搬送本体部の移載用位置のズレ量を検出するズレ検出用治具であって、
    前記走行部が前記停止位置に停止した際に、前記所定位置に対面するように前記被搬送物の代わりに前記搬送本体部に保持され、前記ポートを撮像し、前記ポートに係る距離画像を出力する距離画像手段と、
    前記出力された距離画像に基づいて、前記ズレ量を検出するズレ量検出手段と
    を備えることを特徴とするズレ検出用治具。

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