CN107922117B - 示教装置，输送系统，以及定位销的测定方法 - Google Patents

示教装置，输送系统，以及定位销的测定方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种示教装置(100)，即便在定位销的上端的高度不同的情况下，也能高精度地测定各个定位销的位置。该示教装置(100)由能够输送物品的输送车(101)进行输送并对设置于物品的载置位置(R)的多个定位销(P)的位置进行测定，具备：装置主体(10)；和多个触摸面板(20)，它们能够与多个定位销(P)分别接触且能够相对于装置主体(10)独立地升降。

Description

示教装置，输送系统，以及定位销的测定方法
技术领域
本发明涉及示教装置、输送系统以及定位销的测定方法。
背景技术
在通过输送车输送收纳半导体晶圆、中间掩膜等的容器(物品)的输送系统中，公知为了相对于各种基板处理装置或储存器等的出入库口的搁板部准确地载置容器而相对于输送车进行与容器的载置位置相关的示教。在出入库口设置有用于进行容器的定位的多个定位销，在载置容器时，需要示教使定位销插入至容器背面的槽部。例如，也能够通过取得定位销的图像来进行示教，但会因周围的发光物、光反射物导致检测精度的降低。为了应对这种情况，提出使用应用触摸面板等接触传感器的示教装置来测量定位销的位置(参照专利文献1)。
专利文献1：专利第3479969号公报
然而，多个定位销存在上端的高度不同的情况，在上述专利文献1所记载的示教装置中，与上述定位销抵接并倾斜，由此存在无法准确地测量各定位销的位置的情况。另外，在供定位销设置的搁板部倾斜的情况下定位销的上端的高度也同样不同，但在上述专利文献1的示教装置中，无法测量搁板部的倾斜度。
发明内容
鉴于以上的情况，本发明的目的在于提供即便在定位销的上端的高度不同的情况下也能够高精度地测定各个定位销的位置的示教装置、输送系统以及定位销的测定方法。
本发明是一种由能够输送物品的输送车进行输送并对设置于上述物品的载置位置的多个定位销的位置进行测定的示教装置，具备：装置主体；和多个触摸面板，它们能够与多个定位销分别接触且能够相对于装置主体独立地升降。
另外，也可以构成为具备升降量检测部，该升降量检测部对触摸面板相对于装置主体的升降量进行测量。另外，也可以构成为具备水平仪，该水平仪对装置主体相对于水平面的倾斜度进行检测。另外，也可以构成为触摸面板以利用自重而从装置主体悬吊的状态配置，能够通过与定位销抵接而相对于装置主体上升。另外，也可以构成为触摸面板与多个定位销中的两个对应地配置，装置主体具备触摸板，该触摸板能够与其他定位销接触且能够相对于装置主体升降。另外，也可以构成为装置主体具有能够供输送车支承的被支承部。
另外，本发明提供一种输送系统，具备：输送车，其支承物品并能够移动，使物品相对于设置有多个定位销的载置位置从上方下降来进行移载；和上述示教装置，其能够利用输送车进行输送，并测定多个定位销的位置。
另外，本发明是一种对设置在基于输送车的物品的载置位置的多个定位销的位置进行测定的方法，包括如下步骤：利用输送车使设置为能够相对于装置主体独立升降的多个触摸面板从载置位置的上方下降并与多个定位销分别独立地接触；和根据触摸面板的检测结果来计算多个定位销的位置。
另外，也可以构成为包括如下步骤：根据多个触摸面板的上升量来对平面的倾斜度进行计算，该平面包含多个定位销的上端。
根据本发明的示教装置，使各定位销与能够独立升降的多个触摸面板接触，因而即便在定位销的上端的高度不同的情况下，触摸面板也分别升降，由此能够抑制装置主体倾斜，高精度地测定定位销的位置。
另外，在具备对触摸面板相对于装置主体的升降量进行测量的升降量检测部的示教装置中，能够通过检测触摸面板的升降量来测定定位销的上端的高度。另外，在具备检测装置主体相对于水平面的倾斜度的水平仪的示教装置中，能够通过进行装置主体的倾斜度检测而根据触摸面板的升降量来测定定位销的上端相对于水平面的高度。另外，在触摸面板以利用自重而从装置主体悬吊的状态配置、并能够通过与定位销抵接而相对于装置主体上升的示教装置中，不使用使触摸面板升降的驱动部等，能够减少装置成本。另外，触摸面板与多个定位销中的两个对应地配置，装置主体在具备能够与其他定位销接触并能够相对于装置主体升降的触摸板的情况下，能够使触摸面板的使用数减少，从而削减装置成本。另外，由于具备能够升降的触摸板，所以能够抑制在定位销与触摸板抵接时装置主体倾斜。另外，装置主体在具有能够供输送车支承的被支承部的情况下，输送车支承被支承部，由此能够稳定地进行示教。
另外，根据本发明的输送系统，具备能够高精度地测定定位销的位置的示教装置，因而能够相对于规定的载置位置稳定地载置物品。
另外，根据本发明的定位销的测定方法，利用输送车使多个触摸面板从载置位置的上方下降并与多个定位销接触，由此能够容易且高精度地测定定位销的位置。
另外，在根据多个触摸面板的上升量来对包含多个定位销的上端的平面的倾斜度进行计算的测定方法中，能够容易且可靠地计算形成有定位销的搁板部等的倾斜度。
附图说明
图1是表示实施方式所涉及的示教装置的一个例子的立体图。
图2是从斜下方观察图1所示的示教装置的立体图。
图3是图1所示的示教装置的仰视图。
图4是表示升降量检测部的一个例子的剖视图。
图5是表示示教装置的使用方式的一个例子的图。
图6是表示实施方式所涉及的测定定位销的顺序的流程图。
图7中的(A)以及(B)是表示测定定位销的顺序的工序图。
图8是表示实施方式所涉及的输送系统的一个例子的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。但是，本发明并不限定于以下的说明。另外，在附图中，为了说明实施方式，通过将部分放大或强调地记载等适当变更比例尺的方式来表达。在以下的各图中，使用XYZ坐标系对图中的方向进行说明。在该XYZ坐标系中，与水平面平行的平面为XY平面。将与该XY平面平行的任意的方向记载为X方向，将与X方向正交的方向记载为Y方向。另外，与XY平面垂直的方向记载为Z方向。X方向、Y方向以及Z方向分别以图中的箭头的方向为正方向、与箭头的方向相反的方向为负方向进行说明。
＜示教装置＞
参照附图对实施方式所涉及的示教装置进行说明。图1以及图2是表示本实施方式所涉及的示教装置100的一个例子的立体图。图2是从斜下方观察图1所示的示教装置100的立体图。图3是表示从－Z侧观察示教装置100时的图。
图1～图4所示的示教装置100例如在无尘室内由输送容器等物品的输送车101(参照图5等)输送。示教装置100对设置于由输送车101输送的物品的载置位置R的定位销P的位置进行测定。在本实施方式中，定位销P在载置一个容器的位置设置有3根。3根定位销P例如在与等腰三角形或等边三角形的顶点对应的位置各配置有1根。另外，在输送对象的容器的底面形成有能够供3根定位销P插入的放射状的3条槽部。本实施方式所涉及的示教装置100测量3根定位销P的位置，并相对于后述的输送系统SYS示教容器的载置位置R。
如图1以及图2所示，示教装置100具备装置主体10、触摸面板20、升降量检测部30、水平仪40以及凸缘部(被支承部)50。另外，示教装置100具备统一控制上述各部的未图示的控制部。此外，控制部可以设置于示教装置100的装置主体10，也可以设置于外部。在控制部设置于装置主体10的外部的情况下，在装置主体10可以具备能够通过有线或者无线与控制部进行通信的通信装置。
如图1所示，装置主体10具有底板11、侧板12、13、背板14以及顶板15。底板11例如形成为矩形基板中相邻的两个角部被倒角的六边形状，但并不局限于此，也可以形成为矩形、圆形、三角形等其他形状。底板11由金属制或树脂制、木制等材质形成。此外，底板11的外形形状例如可以应用与成为输送对象的容器的底面形状大致相同的形状。
侧板12、13以在X方向上分离的状态设置于底板11上。侧板12、13以从底板11立起的状态配置为彼此的板面对置。侧板12、13由金属制或树脂制、木制等材质形成。侧板12、13大致形成为相同形状，例如形成为Y方向的尺寸从底板11侧至顶板15侧变窄，但并不限定于该形状。另外，侧板12、13并不限定于呈板状，也可以应用组合棒状部件的框形状。
背板14与侧板12、13同样以立起的状态设置于底板11上，配置于侧板12、13的+Y侧。背板14配置为从+Y侧覆盖被侧板12与侧板13夹着的空间。顶板15支承于侧板12、13。顶板15例如形成为矩形，但并不局限于此，也可以为其他形状。顶板15配置为与底板11平行。背板14由金属制或树脂制、木制等材质形成。此外，在背板14可以设置有能够与各种基板或外部电源、外部电连接的连接器等。
另外，如图2以及图3所示，在底板11形成有面板用开口部11a、板用开口部11b以及检测用开口部11c。面板用开口部11a在底板11中，在侧板12的－X侧以及侧板13的+X侧各设置有一个。板用开口部11b设置于底板11的+Y侧端部。检测用开口部11c隔着侧板12、13形成于面板用开口部11a的相反侧。检测用开口部11c形成为与后述的升降量检测部30的下方对应。
触摸面板20在底板11的－Z侧设置有多个。触摸面板20配置为与定位销P的位置对应。在本实施方式中，如图2以及图3所示，触摸面板20配置为与3根定位销中的配置于－Y侧的两个定位销P对应。因此，触摸面板20配置于底板11中的－X侧以及－Y侧的角部与+X侧以及－Y侧的角部两个位置。
各触摸面板20配置为与底板11平行，并配置为相对于底板11的－Z侧的面在Z方向上空开间隔。多个触摸面板20例如具有形成为矩形的检测区域20a。检测区域20a使用各种接触传感器。检测区域20a设置于触摸面板20的－Z侧的面，朝向－Z方向。多个触摸面板20以检测区域20a的高度(Z方向的位置)一致的状态配置。触摸面板20的检测区域20a例如设置为能够与朝向上方的多个定位销P的上端接触。触摸面板20将与检测区域20a接触的定位销P的接触位置例如检测为X方向以及Y方向上的坐标。此外，由检测区域20a检测出的信号输出至未图示的控制部。
各触摸面板20设置为能够通过升降机构21沿上下方向(Z方向)移动。各触摸面板20能够通过升降机构21相对于装置主体10的底板11独立地沿上下方向(Z方向)移动。因此，即便一个触摸面板20升降，其他触摸面板20也不受其影响。升降机构21使触摸面板20维持相对于底板11平行的状态不变地沿上下方向滑动。
升降机构21具有撑条21a以及导轨21b。撑条21a安装于触摸面板20的+Z侧的面。撑条21a例如形成为矩形的棒状，配置为沿Z方向延伸。撑条21a配置为插入至底板11的面板用开口部11a，贯通底板11并沿着侧板12的－X侧或侧板13的+X侧。
撑条21a与各触摸面板20一体且沿Z方向移动。导轨21b与撑条21a连接。导轨21b引导撑条21a在Z方向上的移动。导轨21b分别固定于侧板12的－X侧以及侧板13的+X侧。此外，在图1中，侧板12的导轨21b因被侧板12隐藏而未显示。
撑条21a当未在触摸面板20作用有朝向上方(+Z方向)的力的情况下，在导轨21b的下端以悬吊于导轨21b的状态被支承。这样，触摸面板20以利用自重而从装置主体10悬吊的状态配置。因此，各触摸面板20在被施加向上方的力时能够沿导轨21b分别向上方移动。因此，不使用用于使各触摸面板20升降的驱动部等，因而能够削减装置成本。此外，可以构成为在各触摸面板20与底板11之间配置螺旋弹簧等弹性部件，对于各触摸面板20朝向下方(－Z方向)施加弹力。
另外，如图2以及图3所示，在本实施方式中，在底板11的－Z侧设置有触摸板22。触摸板22配置在与3根定位销中上述触摸面板20所不对应的剩余的1根定位销P对应的位置。因此，触摸板22配置于底板11中X方向的中央且+Y侧的端部。
触摸板22配置为与底板11平行，并配置为相对于底板11的－Z侧的面在Z方向上空开间隔。触摸板22的下表面例如设置为能够与朝向上方的定位销P的上端接触。此外，触摸板22的－Z侧的面22a配置为高度(Z方向的位置)与各触摸面板20的检测区域20a一致。
触摸板22设置为能够借助升降机构23沿Z方向移动。触摸板22能够借助升降机构23而与各触摸面板20独立地相对于装置主体10的底板11沿上下方向(Z方向)移动。触摸板22能够相对于各触摸面板20独立地沿上下方向移动。因此，即便各触摸面板20升降，触摸板22也不受其影响。升降机构23使触摸板22维持与底板11平行的状态不变地沿Z方向滑动。升降机构23具有与升降机构21大致同样的结构，具有未图示的撑条以及导轨。例如，触摸板22的撑条可以配置为沿着装置主体10的背板14，并被形成于背板14的导轨引导而能够沿上下方向移动。
这样，示教装置100能够通过两个触摸面板20和一个触摸板22与配置于物品的载置位置R的3根定位销P接触。此外，在触摸面板20中，对定位销P的接触进行检测，但在触摸板22中，不对定位销P的接触进行检测。但是，在预先知晓3个定位销P的配置关系的情况下，能够通过利用两个触摸面板检测2根定位销P的位置来检测全部3根定位销P的位置。这样，通过使用两个触摸面板20能够使触摸面板20的使用数减少，从而减少装置成本。
如图1所示，装置主体10具备升降量检测部30。升降量检测部30测量触摸面板20的升降量。图4是表示升降量检测部30的一个例子的图。如图4所示，升降量检测部30安装于侧板12的+X侧的面以及侧板13的－X侧的面(参照图1)。升降量检测部30使用反射型的激光测距仪。升降量检测部30具备光射出部30a以及受光部30b。光射出部30a向下方(－Z方向)射出激光等检测光L。检测光L经由检测用开口部11c在触摸面板20的+Z侧的面20b反射，入射至受光部30b。受光部30b通过接收检测光L来测量距触摸面板20的距离。
未图示的控制部根据来自升降量检测部30的输出来计算触摸面板20的升降量。触摸面板20升降，由此光射出部30a与面20b之间的距离变化，因而能够通过借助升降量检测部30测量距触摸面板20的距离来计算触摸面板20的升降量。能够通过检测触摸面板20的升降量来测定定位销P的上端的高度。另外，控制部可以根据各定位销P的上端的高度来计算载置位置R的倾斜度。
此外，升降量检测部30并不限定于使用激光测距仪，可以使用能够测量触摸面板20的升降量的各种测量设备。例如，可以使用能够以接触或非接触测量触摸面板20或撑条21a的移动量的线性编码器等测量设备。
另外，如图1所示，装置主体10具备水平仪40。水平仪40配置于底板11上。水平仪40例如配置于底板11中X方向以及Y方向的中央部或其附近，但并不局限于此，可以配置于其他位置。水平仪40对装置主体10(底板11)相对于水平面(XY平面)的倾斜度进行检测。利用水平仪40检测装置主体10的倾斜度，且以该倾斜度为基准测量触摸面板20的升降量，由此能够对定位销P的上端相对于水平面的高度进行测定。
如图1所示，装置主体10具备凸缘部(被支承部)50。凸缘部50设置于顶板15的上部。凸缘部50被后述的输送车101支承。凸缘部50具有固定部51以及板状部52。固定部51固定于顶板15中X方向以及Y方向的大致中央部分。板状部52固定于固定部51的上部。板状部52形成为X方向以及Y方向的尺寸大于固定部51。
图5是表示示教装置100的使用状态的一个例子的图。如图5所示，输送车101沿铺设于顶棚部CL的导轨103行驶。另外，输送车101具备能够升降的抓手102。上述凸缘部50形成为能够把持于该抓手102的形状。抓手102通过把持凸缘部50的板状部52能够可靠地支承装置主体10。另外，该凸缘部50的形状应用与输送对象的容器所具备的凸缘部大致相同的形状。由此，能够兼作为容器输送时的抓手。
如图5所示，本实施方式所涉及的示教装置100根据控制部60的指示利用输送车101的抓手102把持凸缘部50并以悬吊的状态被输送。通过在该状态使抓手102下降来使示教装置100下降，能够使触摸面板20以及触摸板22与载置位置R的定位销P接触。此外，控制部60进行对示教装置100的控制，但并不限定于此。示教装置100可以被与控制部60不同的控制部控制。
＜定位销的测定方法＞
接下来，使用如上述那样构成的示教装置100对测定定位销P的位置的方法进行说明。图6是表示测定定位销P的位置的顺序的流程图。图7是表示测定定位销P的顺序的工序图。以下，适当地参照图7并使用图6所示的流程图进行说明。此外，示教装置100使用上述图1所示的示教装置100。
此外，示教装置100保管于规定的保管位置(例如储存器内等)，需要时使用。定位销P的位置测定例如在导入新的基板处理装置或储存器等的情况、或者在导入新的输送车101或输送系统SYS的情况等时机进行。另外，可以在经过规定期间后以测量容器的出入库口的老化变化等的目的进行定位销P的位置测定。另外，示教装置100在使用时对各触摸面板20进行校准等。
首先，如图6所示，控制部60使输送车101移动至保管示教装置100的保管位置，利用抓手102把持示教装置100(步骤S01)。在步骤S01中，在使输送车101配置于示教装置100的上方(+Z侧)之后，使抓手102下降并把持凸缘部50。在该状态下，使抓手102上升，提起示教装置100。此外，输送车101的停止位置以及抓手102的下降位置可以利用控制部60控制为预先设定的位置，另外，也可以通过作业者的手动操作进行。
接下来，如图6所示，控制部60驱动输送车101使示教装置100输送至载置位置R的上方(步骤S02)。此外，输送车101的载置位置R的上方的停止位置可以利用控制部60控制为预先设定的位置，另外，也可以通过作业者的手动操作进行。
接下来，如图6所示，控制部60使抓手102下降并使触摸面板20以及触摸板22与定位销P接触(步骤S03)。在步骤S03中，控制部60在使抓手102下降时，如图7中的(A)所示，在触摸面板20以及触摸板22相对于定位销P接近为规定距离之前使抓手102高速下降。接着，在触摸面板20等相对于定位销P接近为规定距离之后，切换抓手102的下降速度并设置为低速，使触摸面板20等以缓慢接近定位销P的方式下降。
由此，通过缩短示教装置100的下降时间能够缩短定位销P的位置的测定所需要的时间，另外，能够抑制对触摸面板20以及触摸板22施加较强的冲击从而防止示教装置100损伤。通过使触摸面板20等缓慢下降，如图7中的(B)所示，成为触摸面板20以及触摸板22分别与定位销P接触的状态。
控制部60在由触摸面板20检测到定位销P的情况下，使抓手102的下降停止。触摸面板20将定位销P接触过的检测区域20a(参照图2以及图3)的位置输出至控制部60。此外，控制部60在使抓手102下降规定量的情况下触摸面板20未检测到定位销P时，可以视为错误而使抓手102的下降停止。
这里，对多个定位销P的上端的高度不同的情况进行说明。若使示教装置100下降，则首先上端的高度最高的定位销P与触摸面板20(或触摸板22)抵接。由此，由触摸面板20检测到该定位销P。若在该状态下使示教装置100下降，则触摸面板20被该定位销P向上方按压，触摸面板20沿导轨21b上升。由此，能够抑制装置主体10的姿势倾斜。
并且，若示教装置100继续下降，则上端的高度第二高的定位销P与触摸面板20(或触摸板22)抵接。由此，该定位销P被触摸面板20检测到。这样，在多个定位销P的上端的高度不同的情况下，按照上端的高度较高的顺序与触摸面板20(或触摸板22)抵接而被检测到。在本实施方式中，触摸面板20以及触摸板22设置为能够独立升降，因而在接触到各定位销P时，即便在定位销P的上端的高度不同的情况下，触摸面板20以及触摸板22也分别升降。因此，能够抑制装置主体10倾斜，能够高精度地检测定位销P的位置。
接下来，如图6所示，控制部60根据触摸面板20的检测结果来计算多个定位销P的位置(步骤S04)。在步骤S04中，根据触摸面板20的检测区域20a中定位销P接触过的X方向以及Y方向的坐标来测定定位销P的X方向以及Y方向的位置。另外，根据两个触摸面板20的测定结果，计算示教装置100在X方向、Y方向以及绕Z轴的方向上的偏移量。此外，与触摸板22接触过的定位销P的位置能够根据两个定位销P的位置求出。
在该步骤S04中，测量各定位销P的位置。通过使用该测量结果能够示教利用输送车101输送物品时的准确的载置位置R。此外，在步骤S04中，在装置主体10本身相对于水平面倾斜的情况下，控制部60可以使用水平仪40的检测结果来修正各定位销P的位置。
另外，根据各触摸面板20以及触摸板22的上升量来对包含定位销P的上端的平面的倾斜度进行计算(步骤S05)。在各定位销P的上端的高度一致的情况下，各触摸面板20以及触摸板22的上升量相等。另一方面，在定位销P的上端的高度不同的情况下，即在包含上端的平面倾斜的情况下，各触摸面板20的上升量不同。因此，在步骤S05中，根据触摸面板20的上升量的不同来对包含多个定位销P的上端的平面的倾斜度进行计算。由此，能够预测在载置位置R载置有物品的情况下物品的倾斜度等。其中，是否进行步骤S05是任意的，也可以不执行步骤S05。
另外，控制部60可以多次进行上述步骤S01～步骤S05，也可以使用测定值的平均值等求出定位销P的位置。
如上所述，根据本实施方式所涉及的示教装置100以及定位销P的测定方法，使各定位销P与能够独立升降的多个触摸面板20接触，因而即便在定位销P的上端的高度不同的情况下，触摸面板20也分别升降，由此能够抑制装置主体10倾斜，高精度地测定定位销P的位置。
＜输送系统＞
接下来，对本实施方式所涉及的输送系统SYS进行说明。图8是表示输送系统SYS的一个例子的图。如图8所示，输送系统SYS具备输送车101与上述示教装置100。输送系统SYS在建筑物内例如将收纳有半导体晶圆或中间掩膜等的容器(物品)C在未图示的各种基板处理装置与储存器104之间进行输送。在图8中，示出向储存器104的出入库口亦即载置位置R输送示教装置100的状态。
输送车101沿导轨103行驶，该导轨103沿Y方向铺设于无尘室等建筑物的顶棚部CL。输送车101沿导轨103移动，由此输送容器C或示教装置100。如上所述，输送车101具备抓手102，并具备使该抓手102升降的吊车等升降装置(未图示)。
抓手102能够把持容器C的凸缘部Ca。在由抓手102保持容器C的状态下驱动升降装置，由此能够使容器C升降。输送车101通过使用抓手102以及升降装置在与储存器104或各种基板处理装置的装载口之间进行容器C的交接。此外，能够利用抓手102把持示教装置100的凸缘部50这点与上述相同。另外，在由抓手102保持示教装置100的状态下驱动升降装置，由此能够使示教装置100升降。
储存器104能够通过形成于壁部110内的多个搁板部120保管多个容器C。在多个搁板部120中，上端左侧的搁板部120作为用于在与输送车101之间进行容器C的交接的载置位置R使用。作为该载置位置R的搁板部120与其他搁板部120之间的容器C的输送通过移载装置130进行。此外，在各搁板部120设置有定位销P，该定位销P插入于形成在容器C的背面的槽部，在各搁板部120上对容器C进行定位。
另外，在输送系统SYS中，使用输送车101使示教装置100载置于载置位置R，并测定定位销P的位置。示教装置100例如形成为与容器C同样的尺寸等，由此能够在接近输送车101输送容器C的形态的条件下输送示教装置100，能够高效地测定定位销P的位置。
这样，根据本实施方式所涉及的输送系统SYS，具备上述示教装置100，因而能够容易且高精度地对载置容器C的载置位置R的定位销P的位置进行测定。由此，能够简易且高精度地进行容器C的载置所涉及的示教，能够相对于规定的载置位置R稳定地载置容器C。另外，在输送系统SYS中，也可以具备多个示教装置100。在该情况下，可以将一个以外的其他示教装置作为故障等时的更换用进行保管，也可以使用多个示教装置100分别测量定位销P的位置。
以上，对实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述说明，在不脱离本发明的要旨的范围能够进行各种变更。例如，在上述实施方式中，以示教装置100的尺寸等形成为与容器C同样的情况为例进行了说明，但并不局限于此，例如也可以为小于容器C的尺寸等与容器C不同的尺寸。另外，在上述实施方式中，在示教装置100中，与3根定位销P对应地具备两个触摸面板20以及一个触摸板22，但并不限定于此。例如也可以构成为具备三个触摸面板20。由此，能够更高精度地测定各定位销P的位置。
另外，在上述实施方式中，在底板11的－X侧且－Y侧的角部与+X侧且－Y侧的角部配置触摸面板20，在底板11的X方向的中央部且+Y侧的端部配置触摸板22，但并不限定于此。例如，两个触摸面板20与一个触摸板22也可以是与上述实施方式不同的配置。
另外，在上述实施方式中，作为针对输送车101形成的示教装置100的被支承部而具备凸缘部50，但并不限定于此。例如，作为示教装置100的被支承部，可以是从侧板12、13分别沿水平方向延伸的突出片。在该情况下，输送车101通过在突出片的下方夹持侧板12、13来保持装置主体10。
另外，在上述实施方式中，作为构成输送系统SYS的输送车101，以在顶棚部CL行驶的结构为例进行了说明，但并不限定于此。例如，也可以是具备在地上行驶的RGV(RailGuided Vehicle)等输送车的输送系统。另外，在法令允许的范围内，援引作为日本专利申请的特愿2015-168970以及上述实施方式等中引用的全部文献的内容作为正文的记载的一部分。
附图标记说明：
P…销；L…检测光；SYS…输送系统；CL…顶棚部；R…载置位置；10…装置主体；20…触摸面板；21…升降机构；22…触摸板；23…升降机构；30…升降量检测部；40…水平仪；50…凸缘部(被支承部)；100…示教装置；101…输送车。

Claims (10)

1.一种示教装置，其由能够输送物品的输送车进行输送并对设置于所述物品的载置位置的多个定位销的位置进行测定，其中，具备：
装置主体；和
多个触摸面板，它们能够与多个所述定位销分别接触且能够相对于所述装置主体独立地升降，
所述触摸面板与多个所述定位销中的两个对应地配置，
所述装置主体具备触摸板，该触摸板能够与其他所述定位销接触且能够相对于所述装置主体升降。
2.根据权利要求1所述的示教装置，其中，
具备升降量检测部，该升降量检测部对所述触摸面板相对于所述装置主体的升降量进行测量。
3.根据权利要求1所述的示教装置，其中，
具备水平仪，该水平仪对所述装置主体相对于水平面的倾斜度进行检测。
4.根据权利要求2所述的示教装置，其中，
具备水平仪，该水平仪对所述装置主体相对于水平面的倾斜度进行检测。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的示教装置，其中，
所述触摸面板以利用自重而从所述装置主体悬吊的状态配置，能够通过与所述定位销抵接而相对于所述装置主体上升。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的示教装置，其中，
所述装置主体具有能够供所述输送车支承的被支承部。
7.根据权利要求5所述的示教装置，其中，
所述装置主体具有能够供所述输送车支承的被支承部。
8.一种输送系统，其中，具备：
输送车，其支承物品并能够移动，使所述物品相对于设置有多个定位销的载置位置从上方下降来进行移载；和
权利要求1～7中任一项所述的示教装置，其能够由所述输送车进行输送，并测定多个所述定位销的位置。
9.一种定位销的测定方法，对设置在输送车的对于物品的载置位置的多个定位销的位置进行测定，其中，包括如下步骤：
利用所述输送车使设置为能够相对于装置主体独立地升降的多个触摸面板从所述载置位置的上方下降并与多个所述定位销分别独立地接触；和
根据所述触摸面板的检测结果来计算多个所述定位销的位置，
所述触摸面板与多个所述定位销中的两个对应地配置，
所述装置主体具备触摸板，该触摸板能够与其他所述定位销接触且能够相对于所述装置主体升降。
10.根据权利要求9所述的定位销的测定方法，其中，
包括如下步骤：根据多个所述触摸面板的上升量来对平面的倾斜度进行计算，所述平面包含多个所述定位销的上端。
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