KR101947178B1 - 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법 - Google Patents

기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로, 기판 반송 로봇의 핸드에 변위 센서를 설치하여 그 변위 센서를 통해 측정된 객관적인 데이터를 기초로 핸드의 성능을 자동으로 분석함으로써, 핸드의 성능 테스트를 보다 용이하고 정확하게 수행할 수 있으며, 핸드의 정확한 성능 테스트를 통해 반송 성능이 저하된 핸드에 의해 발생할 수 있는 글래스 기판의 파손을 미연에 방지할 수 있다.

Description

기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법{PERFORMANCE TEST APPARATUS AND METHOD FOR HAND OF SUBSTRATE TRANSFER ROBOT}
본 발명은 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 자세하게는 기판 반송 로봇의 핸드에 변위 센서를 설치하여 그 변위 센서를 통해 측정된 객관적인 데이터를 기초로 핸드의 성능을 자동으로 분석할 수 있는 핸드의 성능 테스트 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 들어 평판 표시 장치(Flat Panel Display device : FPD)의 활용도가 높아지면서 소형의 가전 제품에서부터 초대형의 광고판에 이르기까지 여러 가지 다양한 용도로 사용되고 있다.
일반적으로 평판 표시 장치는 메인 기판이 되는 글래스 기판에 다수의 트랜지스터를 집적하여 제조하며, 글래스 기판은 핸드가 구비된 기판 반송 로봇에 의해 자동적으로 다음 공정으로 이송된다.
도 1a는 기판 반송 로봇을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 1b는 기판 반송 로봇의 핸드에서 발생하는 진동 및 처짐 현상을 설명하기 위한 도면이다.
도 1a를 참조하면, 기판 반송 로봇(10)은 바디부(10a)와, 상기 바디부(10a)의 상단에 설치되어 회전 운동을 수행하는 스윙암(10b)과, 상기 스윙암(10b)에 연결되어 글래스 기판(1)이 실질적으로 올려져 반송이 이루어지는 핸드(10c)를 포함하여 구성된다.
이와 같이 구성된 기판 반송 로봇(10)은 상기 핸드(10c) 위에 글래스 기판(1)이 로딩(Loading)된 상태에서 상기 스윙암(10b)에 의해 상기 핸드(10c)가 이동 및 회전되어 글래스 기판(1)을 소정의 위치로 반송한다.
하지만, 이러한 기판 반송 로봇(10)의 이동 및 회전에 있어서, 도 1b에 도시된 바와 같이 글래스 기판(1)이 로딩되는 상기 핸드(10c)에는 많은 진동이 발생하게 되는데, 특히 글래스 기판(1)의 크기가 더욱 커지게 된다면 상기 핸드(10c)로부터 발생하는 진동량이 더욱 커지게 되어 글래스 기판(1)의 안정적인 반송이 어려워지게 된다.
또한, 상기 핸드(10c)위에 글래스 기판(1)을 로딩하였을 때, 글래스 기판(1)의 무게로 인하여 수평을 이루지 못하고 처짐 현상이 발생할 수 있으며(도 1b 참조), 이로 인해 직진 궤적 성능이 저하되어 원활한 기판 로딩(Loading) 및 언로딩(Unloading) 작업이 불가능하게 될 수 있다.
게다가, 종래에는 핸드(10c)의 성능 테스트가 일련의 절차나 규격 없이 작업자에 의해 수동으로 수행되고 있기 때문에, 핸드(10c)의 성능을 객관적으로 평가할 수가 없었으며, 더욱이 테스트에서 불충분하거나 불완전한 부분이 발견될 수 있다는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 기판 반송 로봇의 핸드에 변위 센서를 설치하여 그 변위 센서를 통해 측정된 객관적인 데이터를 기초로 핸드의 성능을 자동으로 분석할 수 있도록 하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치는, 기판 반송 로봇의 핸드 끝단에 설치된 변위 센서; 상기 변위 센서의 변위 측정을 위한 기준 위치를 제공하는 기준바; 미리 설정된 동작 순서에 따라 상기 핸드의 동작을 제어하는 로봇 제어부; 및 상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 성능을 분석하여 분석 결과를 디스플레이하는 테스트 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 변위 센서는, 상기 로봇 제어부의 제어에 의해 상기 핸드가 동작하는 중에, 상기 기준바의 기준 위치를 기준으로 하여 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 소정 시간 단위로 측정하여 출력하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 테스트 유닛은, 상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위를 계산하고, 상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위 내에 있는지 확인하여, 허용 오차 범위 내에 있으면, 상기 핸드가 정상 상태인 것으로 판단하여 분석 결과를 디스플레이하고, 상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위를 벗어나면, 상기 핸드가 불량 상태인 것으로 판단하여 불량 상태를 알리기 위한 알람을 발생하면서 분석 결과를 디스플레이하는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 방법은, (a) 로봇 제어부에서 기판 반송 로봇의 핸드가 미리 설정된 순서의 동작을 소정 횟수 이상 반복하도록 제어하는 단계; (b) 상기 핸드의 동작 중에, 상기 핸드 끝단에 설치된 변위 센서에서 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 측정하여 출력하는 단계; 및 (c) 테스트 유닛에서 상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 성능을 분석하여 분석 결과를 디스플레이하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 (b) 단계에서, 상기 핸드의 동작 중에, 상기 변위 센서에서 기준바의 기준 위치를 기준으로 하여 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 소정 시간 단위로 측정하여 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 (c) 단계에서, 상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위를 계산하는 단계; 상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위 내에 있는지를 확인하여, 허용 오차 범위 내에 있으면, 상기 핸드가 정상 상태인 것으로 판단하고 분석 결과를 디스플레이하는 단계; 및 상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위를 벗어나면, 상기 핸드가 불량 상태인 것으로 판단하고, 불량 상태를 알리기 위한 알람을 발생하면서 분석 결과를 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 기판 반송 로봇의 핸드에 변위 센서를 설치하여 그 변위 센서를 통해 측정된 객관적인 데이터를 기초로 핸드의 성능을 자동으로 분석함으로써, 핸드의 성능 테스트를 보다 용이하고 정확하게 수행할 수 있으며, 핸드의 정확한 성능 테스트를 통해 반송 성능이 저하된 핸드에 의해 발생할 수 있는 글래스 기판의 파손을 미연에 방지할 수 있다.
도 1a는 기판 반송 로봇을 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 1b는 기판 반송 로봇의 핸드에서 발생하는 진동 및 처짐 현상을 설명하기 위한 도면이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치를 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치에 있어서 변위 센서의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치에 있어서 테스트 유닛의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명하기로 한다.
본 발명의 바람직한 실시예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하거나 간략하게 설명한다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치를 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치는, 기판 반송 로봇(100)과, 상기 기판 반송 로봇(100)의 핸드(100c)에 설치된 변위 센서(200)와, 상기 변위 센서(200)의 변위 측정을 위한 기준 위치를 제공하는 기준바(300)와, 상기 기판 반송 로봇(100)의 동작을 제어하는 로봇 제어부(400)와, 상기 로봇 제어부(400)로부터 입력되는 핸드(100c)의 동작 정보와 상기 변위 센서(200)로부터 입력되는 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드(100c)의 성능을 분석하는 테스트 유닛(500)으로 구성된다.
상기 기판 반송 로봇(100)은 바디부(100a)와, 상기 바디부(100a)에 연결되어 전후진 및 회전 운동을 수행하는 스윙암(100b)과, 상기 스윙암(100b)에 연결되어 글래스 기판을 로딩하여 반송하는 핸드(100c)를 포함하여 구성된다.
상기 변위 센서(200)는 상기 핸드(100c)의 끝단에 설치되어 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 측정하여 출력하며, 이에 대하여 더 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치에 있어서 변위 센서(200)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 상기 변위 센서(200)는 상기 기준바(300)의 기준 위치를 기준으로 하여 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 측정하여 출력한다.
여기에서, 상기 변위 센서(200)로는 레이저 센서 또는 초음파 센서를 이용할 수 있으며, 필요에 따라 다수개 설치하는 것도 가능하다. 그리고, 상기 기준바(300)는 도 2에 도시된 바와 같이 삼각대(310)에 의해 상기 핸드(100c)의 직진 이동 방향에 대하여 수평하게 고정되는 것이 바람직하다.
다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 로봇 제어부(400)는 상기 핸드(100c)의 성능 테스트를 위해 상기 핸드(100c)가 일정 순서의 동작을 수십 회 이상 반복하도록 제어한다.
좀 더 자세히 설명하면, 상기 스윙암(100b)을 제어하여 소정 시간 동안 상기 핸드(100c)가 수평 이동되도록 한 후, 소정 각도로 회전되도록 하고, 다시 원래 위치로 이동시키는 동작을 수십 회 이상 반복하도록 한다.
상기와 같은 일련의 동작은 상기 로봇 제어부(400)에 미리 설정되어 자동으로 수행되는 것이 바람직하다.
상기 핸드(100c)의 동작 중에, 상기 핸드(100c)에 설치된 변위 센서(200)가 상기 기준바(300)의 기준 위치를 기준으로 하여 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 소정 시간 단위로 측정하여 상기 테스트 유닛(500)으로 출력한다.
이때, 상기 변위 센서(200)를 통해 측정된 데이터는 도 3에 도시된 바와 같이 케이블(320)을 통해 상기 테스트 유닛(500)으로 입력되며, 상기 케이블(320)은 상기 핸드(100c)의 이동 및 회전에 방해가 되지 않도록 케이블 지지대(330)에 지지 및 고정되는 것이 바람직하다.
상기 테스트 유닛(500)은 상기 로봇 제어부(400)로부터 입력되는 핸드(100c)의 동작 정보와 상기 변위 센서(200)로부터 입력되는 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드(100c)의 성능을 분석하여 분석 결과를 디스플레이하며, 이에 대하여 더 자세히 설명하면 다음과 같다.
도 6a 및 도 6b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치에 있어서 테스트 유닛(500)의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 상기 테스트 유닛(500)은 상기 로봇 제어부(400)로부터 입력되는 핸드(100c)의 동작 정보와 상기 변위 센서(200)로부터 입력되는 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 기초로, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이 핸드(100c)의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위를 계산한다.
그리고, 상기 테스트 유닛(500)은 상기 계산된 핸드(100c)의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위 내에 있는지를 확인하여, 허용 오차 범위 내에 있으면 상기 핸드(100c)가 정상 상태인 것으로 판단하여 분석 결과를 디스플레이한다.
만약 상기 계산된 핸드(100c)의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위를 벗어나면, 상기 테스트 유닛(500)은 상기 핸드(100c)가 불량 상태인 것으로 판단하여 불량 상태를 알리기 위한 알람을 발생하면서 분석 결과를 디스플레이한다.
즉, 본 발명에 의하면, 기판 반송 로봇(100)의 핸드(100c)에 설치된 변위 센서(200)로부터 입력되는 객관적인 데이터를 기초로 핸드(100c)의 성능을 자동으로 분석함으로써, 핸드(100c)의 성능 테스트를 보다 용이하고 정확하게 수행할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 핸드의 정확한 성능 테스트를 통해 반송 성능이 저하된 핸드에 의해 발생할 수 있는 글래스 기판의 파손을 미연에 방지할 수 있다.
이하, 본 발명에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 방법에 대하여 설명한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 7을 참조하면, 먼저 상기 로봇 제어부(400)에서 상기 핸드(100c)의 성능 테스트를 위해 상기 핸드(100c)가 일정 순서의 동작을 수십 회 이상 반복하도록 제어한다(S710).
예를 들어, 상기 핸드(100c)가 소정 시간 동안 수평 이동되도록 한 후, 소정 각도로 회전되도록 하고, 다시 원래 위치로 이동시키며, 이와 같은 일련의 동작은 상기 로봇 제어부(400)에 미리 설정되어 자동으로 수행된다.
이때, 상기 핸드(100c)의 동작 중에, 상기 핸드(100c)에 설치된 변위 센서(200)가 상기 기준바(300)의 기준 위치를 기준으로 하여 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 소정 시간 단위로 측정하여 상기 테스트 유닛(500)으로 출력한다(S720).
다음으로, 상기 테스트 유닛(500)에서는 상기 로봇 제어부(400)로부터 입력되는 핸드(100c)의 동작 정보와 상기 변위 센서(200)로부터 입력되는 핸드(100c)의 수직 및 수평 변위를 기초로, 핸드(100c)의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위를 계산한다(S730).
그 다음, 상기 계산된 핸드(100c)의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위 내에 있는지를 확인하여(S740), 허용 오차 범위 내에 있으면, 상기 핸드(100c)가 정상 상태인 것으로 판단하고(S750), 분석 결과를 디스플레이한다(S760).
만약 상기 계산된 핸드(100c)의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위를 벗어나면, 상기 핸드(100c)가 불량 상태인 것으로 판단하고(S770), 불량 상태를 알리기 위한 알람을 발생하면서 분석 결과를 디스플레이한다(S780).
이와 같은 핸드(100c)의 성능 분석 과정(S710~S780)은 핸드(100c)의 성능 테스트가 종료될 때까지 계속된다(S790).
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 설명하였다. 그러나, 본 발명의 실시예는 당업계에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위하여 제공 되어지는 것으로, 본 발명의 범위가 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 여러 가지 다른 형태로 변형이 가능함은 물론이다.
100 : 기판 반송 로봇 100a : 바디부
100b : 스윙암 100c : 핸드
200 : 변위 센서 300 : 기준바
310 : 삼각대 320 : 케이블
330 : 케이블 지지대 400 : 로봇 제어부
500 : 테스트 유닛

Claims (6)

  1. 기판 반송 로봇의 핸드 끝단에 설치된 변위 센서;
    삼각대에 의해 상기 핸드의 직진 이동 방향에 대하여 수평하게 고정되면서, 상기 변위 센서의 변위 측정을 위한 기준 위치를 제공하는 기준바;
    미리 설정된 동작 순서에 따라 상기 핸드의 동작을 제어하는 로봇 제어부; 및
    상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 성능을 분석하여 분석 결과를 디스플레이하는 테스트 유닛을 포함하며,
    상기 변위 센서는,
    상기 로봇 제어부의 제어에 의해 상기 핸드가 동작하는 중에, 상기 기준바의 기준 위치를 기준으로 하여 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 소정 시간 단위로 측정하여 출력하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 테스트 유닛은,
    상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위를 계산하고,
    상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위 내에 있는지 확인하여, 허용 오차 범위 내에 있으면, 상기 핸드가 정상 상태인 것으로 판단하여 분석 결과를 디스플레이하고,
    상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위를 벗어나면, 상기 핸드가 불량 상태인 것으로 판단하여 불량 상태를 알리기 위한 알람을 발생하면서 분석 결과를 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 장치.
  4. (a) 로봇 제어부에서 기판 반송 로봇의 핸드가 미리 설정된 순서의 동작을 소정 횟수 이상 반복하도록 제어하는 단계;
    (b) 상기 핸드의 동작 중에, 상기 핸드 끝단에 설치된 변위 센서에서 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 측정하여 출력하는 단계; 및
    (c) 테스트 유닛에서 상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 성능을 분석하여 분석 결과를 디스플레이하는 단계를 포함하며,
    상기 (b) 단계는,
    상기 핸드의 동작 중에, 상기 변위 센서에서, 상기 핸드의 직진 이동 방향에 대하여 수평하게 고정된 기준바의 기준 위치를 기준으로 하여, 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 소정 시간 단위로 측정하여 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 방법.
  5. 삭제
  6. 제4항에 있어서, 상기 (c) 단계에서,
    상기 로봇 제어부로부터 입력되는 상기 핸드의 동작 정보와 상기 변위 센서로부터 입력되는 상기 핸드의 수직 및 수평 변위를 기초로 상기 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위를 계산하는 단계;
    상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위 내에 있는지를 확인하여, 허용 오차 범위 내에 있으면, 상기 핸드가 정상 상태인 것으로 판단하고 분석 결과를 디스플레이하는 단계; 및
    상기 계산된 핸드의 단위시간당 또는 단위이동거리당 수직 및 수평 변위가 허용 오차 범위를 벗어나면, 상기 핸드가 불량 상태인 것으로 판단하고, 불량 상태를 알리기 위한 알람을 발생하면서 분석 결과를 디스플레이하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 로봇 핸드의 성능 테스트 방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6670713B2 (ja) * 2016-09-20 2020-03-25 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板搬送方法
CN110421595B (zh) * 2019-08-13 2020-09-04 福建省特种设备检验研究院 一种特种作业机器人末端执行器通用性能综合测试系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009233788A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Daihen Corp 搬送用ロボットの制御方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07146711A (ja) * 1993-11-22 1995-06-06 Toyota Motor Corp ロボットハンドの位置決め方法およびその基準体
KR20050055804A (ko) * 2003-12-09 2005-06-14 엘지.필립스 엘시디 주식회사 로봇의 신뢰성 테스트 시스템 및 이를 이용한 신뢰성테스트 방법
KR101091265B1 (ko) * 2008-12-03 2011-12-07 현대중공업 주식회사 다관절 로봇의 핸드 위치 점검 장치 및 방법

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009233788A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Daihen Corp 搬送用ロボットの制御方法

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