KR102448422B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

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KR102448422B1
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모토히로 후지타
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

물품 반송 설비는, 물품이 반송되는 제1 영역에 있어서 물품 반송차를 제어하는 제1 제어 장치와, 물품 반송차의 조정이 행해지는 제2 영역에 있어서 물품 반송차를 제어하는 제2 제어 장치를 구비한다. 제1 제어 장치로부터의 이탈 지령에 기초하여, 조정이 필요한 물품 반송차의 작동 제어부는, 물품 반송차를 제2 영역에 진입시키고, 제1 제어 장치 및 제2 제어 장치와 배타적으로 무선 통신이 가능한 통신 제어부는, 통신 대상처를 제2 제어 장치로 변경한다. 작동 제어부는, 제2 제어 장치로부터의 조정 지령에 응답하여 조정용 장치를 사용하여 조정 작동을 행하는 동시에 프로파일 기억부의 반송용 프로파일 정보를 갱신하고, 갱신 후에, 통신 제어부는, 통신 대상처를 제1 제어 장치로 변경한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 지상 측에 설치된 복수의 탑재대와, 천정에 설치된 주행 레일에 현수(懸垂) 지지되어 주행하고, 반송원(搬送元)으로 되는 탑재대로부터 반송처(搬送處)로 되는 탑재대로 물품을 반송하는 물품 반송차(article transport vehicle)를 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.
천정에 설치된 레일에 현수된 물품 반송차를 이용하여, 물품을 자동적으로 운반하는 물품 반송 설비가 실용화되어 있다. 물품을 높은 정밀도로 이송탑재(transfer)하므로, 구체적으로는, 반송원에 있어서 물품을 양호한 정밀도로 유지하고, 반송하여, 반송처의 소정의 위치에 양호한 정밀도로 탑재하기 위해서는, 물품 반송차의 정지(停止) 위치나 물품을 지지하는 지지부가 지지 동작을 하는 위치가 양호한 정밀도로 조정되어 있는 것이 바람직하다. 일본 공개특허 제2005-170544호 공보(특허 문헌 1)에는, 그와 같은 정지 위치나 동작 위치를 보정하는 기술이 개시되어 있다.
특허 문헌 1에서는, 반송 대상의 물품과 같은 형상으로 내부에 카메라 및 화상 처리 장치를 구비한 위치 보정기와, 물품이 탑재되는 탑재대에 탑재되는 보정 시트가 사용된다. 위치 보정기를 유지한 물품 반송차가, 보정 시트가 탑재된 탑재대에 대하여, 상기 위치 보정기를 이송탑재할 때, 위치 보정기에 구비된 카메라에 의해 보정 시트가 촬영된다. 촬영 결과는, 화상 처리 장치에 의한 처리를 거쳐, 물품 반송차에 부여된다. 물품 반송차는, 기준으로 되는 화상 정보를 기억하고 있고, 위치 보정기로부터 부여된 보정 시트의 촬영 정보와 기준으로 되는 화상 정보와의 차이를, 위치어긋남량으로서 검출한다. 검출된 위치어긋남량은 보정 데이터로서 기억된다. 이후의 반송 시에는, 이 보정 데이터를 사용하여, 정지 위치가 보정되고, 양호한 정밀도로 물품을 반송하고, 이송탑재하는 것이 가능해진다(특허 문헌 1: [0022]∼[0045] 등).
특허 문헌 1에는, 작업자가 위치 보정기를 하강시켜, 기준 가대(reference frame)의 정규 위치에 고정시키도록 한 것이 기재되어 있어 작업자가 조정 작업에 종사할 필요가 있다([0039] 등). 일반적으로 사람의 손에 의한 조정 작업은, 리드 타임이 길어지는 경향이 있다. 조정 중에는 조정 대상의 물품 반송차에 의한 물품의 반송이 가능하지 않으므로, 물품 반송 설비의 가동율(稼動率)은 저하된다. 또한, 단순하게 조정을 자동화하면, 예를 들면, 특허 문헌 1에 있어서 시스템 전체를 제어하는 시스템 컨트롤러(특허 문헌 1: [0027], 도 4 등 참조)가 조정 대상의 물품 반송차도 제어하게 되어, 시스템 컨트롤러의 부하가 증대하여 가동율의 저하로 연결될 우려도 있다.
일본 공개특허 제2005-170544호 공보
상기 문제점을 해결하기 위해, 물품 반송 설비 전체의 가동율의 저하를 억제하면서, 효율적으로 물품 반송차의 조정이 가능한 기술의 제공이 요구된다.
일 태양(態樣)으로서, 전술한 문제를 해결하기 위하여 물품 반송 설비는,
천정에 설치된 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 지상 측에 설치된 복수의 탑재대와, 상기 주행 레일에 현수 지지되어 상기 주행 레일에 의해 형성된 주행 경로를 따라 주행하고, 반송원으로 되는 상기 탑재대로부터 반송처로 되는 상기 탑재대로 물품을 반송하는 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비로서,
상기 물품 반송차에 의해 상기 물품이 반송되는 제1 영역과,
상기 제1 영역과는 다른 영역에 설치되고, 상기 물품 반송차의 조정이 행해지는 제2 영역과,
상기 제2 영역에 설치된 조정용 장치와,
상기 제1 영역에서의 상기 물품 반송차의 작동을 제어하는 제1 제어 장치와,
상기 제2 영역에서의 상기 물품 반송차의 작동을 제어하는 제2 제어 장치
를 포함하고,
상기 주행 경로는, 상기 제1 영역에 설치된 제1 경로와, 상기 제1 경로에 대하여 분기(branch) 및 합류하는 동시에 상기 제2 영역에 설치된 제2 경로를 포함하고,
상기 물품 반송차는, 적어도 상기 제1 제어 장치 및 상기 제2 제어 장치와 배타적(排他的)으로 무선 통신이 가능한 통신 제어부와, 상기 제1 제어 장치 및 상기 제2 제어 장치로부터의 지령에 기초하여 상기 물품 반송차를 자율 제어에 의해 작동시키는 작동 제어부와, 각각의 탑재대에 있어서 상기 물품을 이송탑재하기 위한 위치 정보를 적어도 포함하는 반송용(搬送用) 프로파일 정보를 기억하는 프로파일 기억부를 구비하고,
상기 제1 제어 장치는, 상기 물품 반송차를 작동시키기 위한 작동 지령을 상기 물품 반송차에 부여하고,
상기 작동 지령에는, 상기 물품을 반송시키는 물품 반송 지령과, 상기 물품 반송차를 상기 제1 영역으로부터 상기 제2 영역으로 이탈시키는 이탈 지령을 적어도 포함하고,
상기 이탈 지령에 기초하여, 조정이 필요한 상기 물품 반송차인 조정 대상차의 상기 작동 제어부는, 상기 이탈 지령에 기초하여 상기 물품 반송차를 상기 제2 경로로 진입시켜, 상기 조정 대상차의 상기 통신 제어부는, 통신 대상처를 상기 제1 제어 장치로부터 상기 제2 제어 장치로 변경하고,
상기 조정 대상차의 상기 작동 제어부는, 상기 제2 제어 장치로부터의 조정 지령에 응답하여 상기 조정용 장치를 사용하여 조정 작동을 행하는 동시에 상기 반송용 프로파일 정보를 갱신하고,
상기 조정 대상차의 상기 통신 제어부는, 상기 반송용 프로파일 정보가 갱신된 후, 통신 대상처를 상기 제2 제어 장치로부터 상기 제1 제어 장치로 변경한다.
이 구성에 의하면, 물품이 반송되는 제1 영역과, 물품 반송차의 조정이 행해지는 제2 영역으로 물품 반송 설비의 영역이 분할되고, 또한 각각의 영역에 있어서 물품 반송차를 제어하는 제1 제어 장치와 제2 제어 장치가 독립적으로 설치되어 있다. 이로써, 물품의 반송에 영향을 주지 않고, 독립적으로 효율적으로 물품 반송차의 조정을 행할 수 있다. 또한, 제1 제어 장치와 물품 반송차와의 사이, 및 제2 제어 장치와 물품 반송차와의 사이에서는, 무선 통신이 행해지므로, 통신 배선 등의 접속을 고려하지 않고, 2개의 영역에 있어서 물품 반송차의 작동을 제어할 수 있다. 또한, 물품 반송차는, 제1 제어 장치 및 제2 제어 장치와 배타적으로 무선 통신을 행하므로, 복수의 통신 수단이나 통신 채널을 가지고 있지 않아도, 혼신이 억제된다.
또한, 이탈 지령을 받은 후에, 조정 대상차의 통신 대상처가 제1 제어 장치로부터 제2 제어 장치로 전환되므로, 제1 영역에서의 물품의 반송을 방해하지도 않는다. 그리고, 통신 제어부는, 이탈 지령에만 기초하여 통신 대상처를 전환해도 되고, 작동 제어부가 조정 대상차를 제2 경로로 진입시킨 후에, 통신 대상처를 전환해도 된다. 후자의 경우, 제1 제어 장치에 의한 제어 대상이 아니었던 물품 반송차가 제1 영역에 머물지 않는다. 따라서, 더욱 확실하게 제1 영역에서의 물품의 반송을 방해하는 것이 억제된다. 제2 영역에 있어서, 조정 대상차는, 제2 제어 장치의 조정 지령에 따라 조정 작동을 행하고, 반송용 프로파일 정보를 갱신한다. 작업자가 조정 작업에 종사하지 않기 때문에, 조정의 리드 타임(lead time)이 단축되어, 작업자의 수고도 줄어든다. 조정이 완료된 조정 대상차가, 통신 대상처를 제2 제어 장치로부터 제1 제어 장치로 변경하면, 상기 조정 대상차는 통상의 물품 반송차로서 제1 제어 장치에 의한 제어에 따라 신속히 제1 영역으로 복귀하여, 물품을 반송할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 물품 반송 설비 전체의 가동율의 저하를 억제하면서, 효율적으로 물품 반송차의 조정이 가능해진다.
물품 반송 설비의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은, 물품 반송 설비의 구성을 모식적으로 나타낸 도면이며,
도 2는, 분기부의 확대도이며,
도 3은, 천정 반송차의 측면도이며,
도 4는, 물품 반송 설비 및 천정 반송차의 시스템 구성을 모식적으로 나타낸 블록도이며,
도 5는, 천정 반송차 및 지지대를 나타낸 측면도이며,
도 6은, 천정 반송차 및 지지대를 나타낸 측면도이며,
도 7은, 물품 반송 설비의 시스템 구성을 모식적으로 나타낸 설명도이며,
도 8은, 검사 테이블의 배치예를 나타낸 측면도이며,
도 9는, 검사 테이블에 탑재된 조정용 유닛과 천정 반송차와의 관계를 나타낸 측면도이며,
도 10은, 현수 지지된 조정용 유닛과 지지대와의 관계를 나타낸 측면도이며,
도 11은, 조정 실시 시의 조정용 탑재면과 조정용 유닛과의 위치 관계를 나타낸 확대도이며,
도 12는, 반송용 프로파일의 생성 및 갱신의 모식적인 상태 천이도(遷移圖)이며,
도 13은, 검사 테이블의 다른 예를 나타낸 측면도이다.
이하, 물품 반송 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 반도체 기판에 대하여, 박막 형성, 포토리소그라피, 에칭 등의 각종 처리를 행하는 복수의 반도체 처리 장치[이하, 처리 장치(2)라고 함]의 사이에서, 주행 경로(L)를 따라 물품을 반송하는 물품 반송 설비를 예로서 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 주행 경로(L)는 1개의 연속된 경로만으로 형성되어 있는 것이 아니고, 복수의 경로가 병렬로 접속되어 형성되어 있다. 그러므로, 주행 경로(L)에는, 경로가 분기되는 분기부(J1) 및 경로가 합류하는 합류부(J2)를 가지고 있다. 도 2는, 주행 경로(L)가 분기되는 분기부(J1)의 확대도를 나타내고 있다. 주행 경로(L)는, 천정에 설치된 주행 레일(R)(도 2 및 도 3 참조)에 의해 형성되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(R)에 현수 지지된 천정 반송차(1)를 물품 반송차로서 예시한다. 도 3은, 천정 반송차(1)의 측면도(주행 방향 Y와 직교하는 방향에서 본 도면)를 나타내고 있다. 이하, 천정 반송차(1)가 주행하는 방향을 주행 방향 Y라고 하고, 그 주행 방향 Y에 대하여 평면에서 볼 때 직교하는 방향(수평면 상에서 주행 방향 Y와 직교하는 방향)을 가로 방향 X라고 하여 설명한다.
본 실시형태에서는, 천정 반송차(1)에 의해 반송되는 물품으로서, FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 하는 반도체 기판을 수용하는 용기(W)를 예시한다(도 3 참조). 처리 장치(2)는, 용기(W)에 수용되어 있는 기판(반도체 기판)에 대하여 전술한 바와 같은 각종 처리를 행한다. 용기(W)를 각각의 처리 장치(2)의 사이에서 반송하므로, 각각의 처리 장치(2)에는, 각각의 처리 장치(2)에 인접하는 상태로, 바닥면 상에 지지대(3)(탑재대)가 설치되어 있다. 이들 지지대(3)는, 천정 반송차(1)에 의한 용기(W)의 반송 대상 개소(箇所)(반송원 및 반송처)이다.
즉, 물품 반송 설비는, 천정에 설치된 주행 레일(R)과, 주행 레일(R)[주행 경로(L)]을 따라 지상 측에 설치된 복수의 지지대(3)와, 천정 반송차(1)를 구비하고 있다. 천정 반송차(1)는, 주행 레일(R)에 현수 지지되어, 주행 레일(R)에 의해 형성된 주행 경로(L)를 따라 주행하고, 반송원으로 되는 지지대(3)로부터 반송처로 되는 지지대(3)로 용기(W)를 반송한다. 통상 동작에 있어서는, 천정 반송차(1)는, 주행 경로(L)[후술하는 제1 경로(L1)]를 따라 주행하고, 반송원으로 되는 지지대(3)로부터 반송처로 되는 지지대(3)에 물품[용기(W)]를 반송한다. 그리고, 후술하는 조정 동작에 있어서는, 천정 반송차(1)는, 주행 경로(L)[후술하는 제2 경로(L2)]를 따라 주행하고, 반송원으로 되는 검사 테이블(4)(조정용 탑재대)로부터 반송처로 되는 검사 테이블(4)에 물품[후술하는 조정용 유닛(C)](도 9등 참조)을 반송한다. 그리고, 검사 테이블(4) 및 조정용 유닛(C)은, 지지대(3)에 용기(W)를 탑재하는 형태와 같은 형태로, 검사 테이블(4)에 조정용 유닛(C)을 탑재 가능하도록 구성되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 2개 이상의 상이한 속성의 영역[제1 영역(E1) 및 제2 영역(E2)]이 설치되어 있다. 주행 경로(L)는, 제1 영역(E1)에 설치된 제1 경로(L1)와, 제1 경로(L1)에 대하여 분기 및 합류하는 동시에 제2 영역(E2)에 설치된 제2 경로(L2)를 포함한다. 제1 영역(E1)은, 전술한 처리 장치(2)가 구비되어, 각각의 처리 장치(2)[지지대(3)]의 사이를, 천정 반송차(1)에 의해 용기(W)가 반송되는 영역이다. 제2 영역(E2)은, 제1 영역(E1)은 다른 영역에 설치되고, 후술하는 조정용 유닛(C)을 사용하여 천정 반송차(1)의 조정이 행해지는 영역이다. 제2 영역(E2)에는, 후술하는 피검출체(M)(도 9 참조)가 구비된 검사 대상 개소로서의 검사 테이블(4)(조정용 탑재대)이 바닥면 상에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 4개의 검사 테이블(4)이 제2 영역(E2)에 설치되어 있는 형태를 예시하고 있다(도 1, 도 8 참조).
제1 경로(L1)는, 도 1에 있어서 중앙부에 나타낸, 상대적으로 큰 환형(環形)의 주경로(Lp)와, 주경로(Lp)의 외측에 나타낸, 상대적으로 작은 환형의 부경로(Ls)를 포함한다. 주경로(Lp)로부터 부경로(Ls)에 대한 분기 부분인 분기부(J1)에는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 안내 레일(G)이 설치되어 있다. 분기부(J1)는, 제1 경로(L1)로부터 제2 경로(L2)에 대한 분기 부분에도 존재하고, 마찬가지로 안내 레일(G)이 설치되어 있다. 또한, 도시 및 상세한 설명은 생략하지만, 부경로(Ls)로부터 주경로(Lp)에 대한 합류 부분인 합류부(J2)에도 동일한 안내 레일(G)이 설치되어 있다. 그 외의 분기 부분 및 합류 부분{예를 들면, 도 1의 상부에 있어서 주경로(Lp)에 대하여 접속되어 있는 외부 접속 경로[입장 경로(L3) 및 퇴장 경로(L4)]와 주경로(Lp)와의 분기 부분 및 합류 부분}에 대하여도 마찬가지이다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 주행 경로(L)를 따라 주행하는 주행부(22)와, 주행 레일(R)의 아래쪽에 위치하도록 주행부(22)에 현수 지지된 용기 지지부(23)를 구비하고 있다. 용기 지지부(23)는, 용기(W)를 지지하는 지지 기구(機構)(24)를 구비하고 있다. 주행부(22)에는, 주행 경로(L)를 따라 설치된 주행 레일(R) 상을 주행하는 주행 차륜(22a)과, 그 주행 차륜(22a)을 회전시키는 주행용 모터(22m)가 구비되어 있다. 주행부(22)는, 주행용 모터(22m)의 구동에 의해 주행 차륜(22a)을 회전시킴으로써, 주행 경로(L)를 따라 주행한다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 주행부(22)에는, 주행 경로(L)의 분기부(J1) 및 합류부(J2)에 설치된 안내 레일(G)에 안내되는 안내 롤러(22b)도 구비되어 있다. 안내 롤러(22b)는, 주행부(22)의 주행 방향 Y에 따른 방향에서 볼 때 좌우 방향(가로 방향 X)로 자세 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 안내 롤러(22b)의 자세 변경은, 안내 롤러 솔레노이드(22s)(도 2, 도 4 참조)에 의해 행해진다. 안내 롤러 솔레노이드(22s)는, 안내 롤러(22b)의 위치를, 주행 방향 Y를 향해 우측(우측 방향 XR측)의 제1 위치와 좌측(좌측 방향 XL측)의 제2 위치로 전환하고, 또한 안내 롤러(22b)를 그 위치에 유지한다. 안내 롤러(22b)는, 제1 위치에 위치할 때는, 주행 방향 Y에 따른 방향에서 볼 때 안내 레일(G)의 우측면에 맞닿고, 분기하지 않는 측의 안내 레일[여기서는 상대적으로 주행 방향 Y를 향해 우측으로 연신(延伸)하는 안내 레일[직진측 안내 레일(GR)]을 따라 주행부(22)를 안내한다. 또한, 안내 롤러(22b)는, 제2 위치에 위치할 때는, 주행 방향 Y에 따른 방향에서 볼 때 안내 레일(G)의 좌측면에 맞닿고, 좌측으로 연신되는 안내 레일[분기측 안내 레일(GL)]을 따라 주행부(22)를 안내한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 용기(W)는, 플랜지부(6)와, 수용부(5)를 가지고 있다. 플랜지부(6)는, 용기(W)의 상단부에 형성되어 있고, 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)에 의해 지지되는 부분이다. 수용부(5)는, 플랜지부(6)보다도 아래쪽에 위치하고 있고, 복수 개의 반도체 기판을 수용한다. 그리고, 수용부(5)의 전면(前面)에는, 기판 출입용의 기판 출입구가 형성되어 있다. 용기(W)에는, 이 기판 출입구를 폐쇄하는 것이 가능하며, 착탈 가능한 커버체(도시하지 않음)가 구비되어 있다. 천정 반송차(1)는, 지지 기구(24)에 의해 플랜지부(6)를 현수 지지한 상태로 용기(W)를 반송한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 수용부(5)의 바닥면[용기(W)의 바닥면]에는, 위쪽을 향해 오목한 3개의 홈형의 바닥면 오목부(7)가 형성되어 있다. 이 3개의 바닥면 오목부(7)는, 바닥면 기준 위치를 중심으로 바닥면 오목부(7)의 길이 방향이 방사상으로 연장되도록 형성되어 있다. 또한, 3개의 바닥면 오목부(7)의 각각은, 위쪽으로 갈수록 가늘고 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있고, 바닥면 오목부(7)의 내측면이 경사면으로 되도록 형성되어 있다. 이들 바닥면 오목부(7)의 기능에 대하여는 후술한다. 또한, 도 3에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(6)의 상면[용기(W)의 상면]에는, 아래쪽을 향해 원뿔형상으로 오목한 상면 오목부(8)가 형성되어 있다. 이 상면 오목부(8)는, 아래쪽으로 갈수록 가늘고 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있고, 상면 오목부(8)의 내측면이 경사면으로 되도록 형성되어 있다. 상면 오목부(8)의 기능에 대하여도 후술한다.
천정 반송차(1)의 용기 지지부(23)는, 지지 기구(24)(지지부)와, 승강 구동부(25)와, 슬라이딩 구동부(26)와, 회전 구동부(27)와, 커버체(28)를 구비하고 있다. 지지 기구(24)는, 용기(W)를 현수 지지하는 기구이다. 승강 구동부(25)는, 지지 기구(24)를 주행부(22)에 대하여 승강 이동시키는 구동부이다. 슬라이딩 구동부(26)는, 지지 기구(24)를 주행부(22)에 대하여 가로 방향 X로 슬라이딩시키는 구동부이다. 회전 구동부(27)는, 지지 기구(24)를 주행부(22)에 대하여 도시하지 않은 세로 축심[수직 방향의 축심(軸心)] 주위로 회전시키는 구동부이다. 커버체(28)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 용기(W)를 지지한 지지 기구(24)가, 후술하는 상승 설정 위치까지 상승하고 있는 상태에서, 용기(W)의 상방측 및 경로 전후측을 덮는 부재이다. 그리고, 상승 설정 위치란, 용기(W) 등의 물품을 지지한 상태로 천정 반송차(1)가 주행 레일(R)을 따라 주행할 때, 지지 기구(24)가 위치하는 상하 방향(수직 방향)의 위치로서 미리 규정된 위치이다.
도 4의 블록도는, 물품 반송 설비 및 천정 반송차(1)의 시스템 구성을 모식적으로 나타내고 있다. 제1 제어 장치(H1)는, 물품 반송 설비의 중핵(中核)으로 되는 시스템 컨트롤러이다. 제1 제어 장치(H1)는, 천정 반송차(1)에 대한 상위 컨트롤러이며, 주로 제1 영역(E1)에서의 천정 반송차(1)의 작동을 제어하여, 용기(W)를 반송하기 위한 반송 제어의 중핵으로 되는 제어 장치이다. 제2 제어 장치(H2)는, 천정 반송차(1)의 조정을 행하는 조정 제어의 중핵으로 되는 상위 컨트롤러이며, 제2 영역(E2)에서의 천정 반송차(1)의 작동을 제어하는 제어 장치이다. 천정 반송차(1)는, 제1 제어 장치(H1) 및 제2 제어 장치(H2)와, 배타적으로 무선 통신을 행하고, 어느 하나의 제어 장치로부터의 지령에 기초하여 자율 제어에 의해 작동하고, 물품[용기(W)] 또는 조정용 유닛(C)을 유지하여 반송한다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 통신 제어부(10)와, 작동 제어부(11)와, 프로파일 기억부(12)와, 조정용 통신부(15)를 구비하고 있다. 통신 제어부(10)는, 예를 들면, 무선 LAN 등에 대응한 안테나 및 통신 제어 회로 등에 의해 구성되며, 적어도 제1 제어 장치(H1) 및 제2 제어 장치(H2)와 배타적으로 무선 통신을 행한다. 작동 제어부(11)는, 마이크로 컴퓨터 등에 의해 구성되며, 제1 제어 장치(H1) 및 제2 제어 장치(H2)로부터의 지령에 기초하여 천정 반송차(1)를 자율 제어에 의해 작동시킨다.
프로파일 기억부(12)는, 메모리 등의 기억 매체에 의해 구성되며, 각각의 지지대(3)에 있어서 용기(W)를 이송탑재하기 위한 위치 정보를 적어도 포함하는 반송용 프로파일 정보를 기억한다. 위치 정보에는, 각각의 지지대(3)에 있어서 용기(W)를 반송 및 이송탑재하기 위한 반송용 정지 목표 위치 정보 및 반송용 이동 목표 위치 정보를 포함한다. 자세한 것은 후술하지만, 반송용 정지 목표 위치 정보는, 주행 레일(R)[주행 경로(L), 특히 제1 경로(L1)] 상에서 주행부(22)를 정지시키는 목표 위치(반송용 정지 목표 위치)를 나타내는 정보이다. 또한, 반송용 이동 목표 위치 정보는, 주행 레일(R)[주행 경로(L), 특히 제1 경로(L1)] 상에서 정지하고 있는 상태에서, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 이동(승강, 회전, 슬라이딩;자세한 것은 후술함)시키는 목표 위치(반송용 이동 목표 위치)를 나타내는 정보이다.
조정용 통신부(15)는, 예를 들면, 근거리 무선 통신 규격에 대응한 안테나 및 통신 제어 회로에 의해 구성되어 있다. 자세한 것은 후술하지만, 조정용 통신부(15)는, 조정용 유닛(C)의 유닛 통신부(16)와 무선 통신을 행하고, 갱신된 반송용 프로파일 정보, 또는 갱신용의 프로파일 정보(예를 들면, 차분 정보)를 수신한다.
용기 지지부(23)를 구성하는 지지 기구(24)에는, 한 쌍의 파지 클로우(gripping claw)(24a)(도 3 참조)와, 파지용(把持用) 모터(24m)(도 4 참조)가 구비되어 있다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 파지 클로우(24a)의 각각은, 각각의 파지 클로우(24a)의 하단부에 의해 플랜지부(6)를 아래쪽으로부터 지지하도록, 측면에서 볼 때(X방향에서 볼 때) L자형으로 형성되어 있다. 한 쌍의 파지 클로우(24a)는, 수평 방향을 따라 서로 접근 및 이격되도록 구성되어 있다. 파지용 모터(24m)는, 그 구동력에 의해, 한 쌍의 파지 클로우(24a)를 서로 접근 또는 이격시킨다. 파지용 모터(24m)는, 각각의 파지 클로우(24a)에 대하여 각각 설치되어 있어도 되고, 한 쌍의 파지 클로우(24a)를 연동(連動)시키는 연동 기구가 구비되어 있는 경우에는, 상기 연동 기구를 구동시키는 파지용 모터(24m)가 1개 설치되어 있어도 된다.
여기서는, 1개의 파지용 모터(24m)에 의해 한 쌍의 파지 클로우(24a)가 연동하는 것으로 한다. 예를 들면, 파지용 모터(24m)에 의해, 한 쌍의 파지 클로우(24a)를 서로 근접시킴으로써 한 쌍의 파지 클로우(24a)에 용기(W)의 플랜지부(6)를 지지하게 할 수 있다. 또는, 파지 클로우(24a)가 공통의 지지축(도시하지 않음)에 의해 축지지되어 있고, 파지용 모터(24m)에 의해, 한 쌍의 파지 클로우(24a)의 선단부가 요동하여 접근함으로써 플랜지부(6)를 지지하게 하는 구조라도 된다. 이 때, 지지 기구(24)는, 지지 상태로 된다. 또한, 파지용 모터(24m)에 의해, 한 쌍의 파지 클로우(24a)를 서로 이격시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(24a)에 의한 용기(W)의 플랜지부(6)에 대한 지지를 해제할 수 있다. 이 때, 지지 기구(24)는, 지지 해제 상태로 된다. 즉, 지지 기구(24)는, 지지 상태와 지지 해제 상태로 전환할 수 있도록 구성되어 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 용기(W)를 현수 지지하는 지지 기구(24)는, 지지 기구(24)와 같이 용기 지지부(23)를 구성하는 승강 구동부(25)에 의해 주행부(22)에 대하여 승강 가능하게 지지되어 있다. 승강 구동부(25)에는, 권취체(25a)와, 권취 벨트(25b)와, 승강용 모터(25m)(도 4 참조)가 구비되어 있다. 권취체(25a)는, 후술하는 회전부(27a)에 지지되어 있다. 권취 벨트(25b)는, 권취체(25a)에 권취되어 있고, 선단부에는 지지 기구(24)가 연결 지지되어 있다. 승강용 모터(25m)는, 권취체(25a)를 회전시키기 위한 동력을 부여한다. 승강 구동부(25)는, 승강용 모터(25m)에 의해 권취체(25a)를 플러스 방향 또는 역방향으로 회전시킴으로써, 권취 벨트(25b)를 권취하거나, 또는 송출한다. 이로써, 지지 기구(24) 및 지지 기구(24)에 지지된 용기(W)가 승강 이동된다. 그리고, 승강 구동부(25)에는, 권취체(25a)의 송출량을 펄스수에 의해 계측하는 인코더(도시하지 않음)도 가지고 있다. 작동 제어부(11)는, 이 펄스수에 기초하여 지지 기구(24)의 승강 높이를 제어한다.
동일하게 용기 지지부(23)를 구성하는 슬라이딩 구동부(26)에는, 중계부(26a)(도 3 참조)와, 슬라이딩용 모터(26m)(도 4 참조)가 구비되어 있다. 중계부(26a)는, 주행부(22)에 대하여 가로 방향 X를 따라 슬라이딩할 수 있도록, 주행부(22)에 지지되어 있다. 슬라이딩용 모터(26m)는, 중계부(26a)를 가로 방향 X를 따라 슬라이딩시키기 위한 동력을 부여한다. 슬라이딩 구동부(26)는, 슬라이딩용 모터(26m)의 구동에 의해 중계부(26a)를 가로 방향 X를 따라 슬라이딩시킴으로써, 지지 기구(24) 및 승강 구동부(25)를 가로 방향 X를 따라 이동시킨다.
동일하게 용기 지지부(23)를 구성하는 회전 구동부(27)에는, 회전부(27a)(도 3 참조)와, 회전용 모터(27m)(도 4 참조)가 구비되어 있다. 회전부(27a)는, 세로 축심 주위로 회전 가능하게, 중계부(26a)에 대하여 지지되어 있다. 회전용 모터(27m)는, 회전부(27a)를 세로 축심 주위로 회전시키기 위한 동력을 부여한다. 회전 구동부(27)는, 회전용 모터(27m)의 구동에 의해 회전부(27a)를 회전시킴으로써, 지지 기구(24) 및 승강 구동부(25)를 세로 축심 주위를 따라 회전시킨다.
전술한 바와 같이, 프로파일 기억부(12)에는, 각각의 탑재대[지지대(3)]에 있어서 물품[용기(W)를 이송탑재하기 위한 위치 정보(반송용 정지 목표 위치 정보, 반송용 이동 목표 위치 정보)가 기억되어 있다. 반송용 정지 목표 위치는, 복수의 지지대(3)의 각각과의 사이에서, 천정 반송차(1)가 용기(W)를 이송탑재하는 경우[용기(W)]를 수취하거나 또는 받아건네는 경우]에, 주행 레일(R)[주행 경로(L)] 상에서 천정 반송차(1)[주행부(22)]를 정지시키는 목표 위치이다. 반송용 정지 목표 위치 정보는, 이 반송용 정지 목표 위치를 나타내는 정보이다. 반송용 이동 목표 위치는, 반송용 정지 목표 위치에서 정지한 천정 반송차(1)가, 용기 지지부(23)와 지지대(3)와의 사이에서 용기(W)를 이송탑재하는 경우[용기(W)를 수취하거나 또는 받아건네는 경우]에, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 이동(승강, 회전, 슬라이딩)시키는 목표 위치이다. 반송용 이동 목표 위치 정보는, 반송용 이동 목표 위치를 나타내는 정보이다.
예를 들면, 반송용 이동 목표 위치는, 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 세로 축심 주위의 회전 위치를 규정하는 회전 설정 위치, 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 가로 방향 X에서의 위치를 규정하는 가로 설치 정위치(定位置), 및 주행부(22)에 대한 지지 기구(24)의 상하 방향에서의 위치를 규정하는 하강 설정 위치에 따라 정해져 있다. 이 경우, 주행부(22)가 주행 레일(R)을 주행할 때의 지지 기구(24)의 세로 축심 주위의 위치를 회전 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 가로 방향 X에서의 위치를 가로 기준 위치로 하고, 주행부(22)가 주행할 때의 지지 기구(24)의 상하 방향에서의 위치를 상승 설정 위치로 하는 것이 바람직하다. 즉, 지지 기구(24)가 세로 축심 주위에서 회전 기준 위치에 위치하고, 또한 가로 방향 X에서 가로 기준 위치에 위치하고, 또한 상하 방향에서 상승 설정 위치에 위치하는 위치가 지지 기구(24)의 주행용 위치이다. 천정 반송차(1)는, 지지 기구(24)가 주행용 위치에 위치하는 상태로 주행 레일(R)을 따라 주행한다.
그런데, 도 1을 참조하여 전술한 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 2개 이상의 상이한 속성의 영역[제1 영역(E1) 및 제2 영역(E2)]이 설치되어 있다. 천정 반송차(1)는, 제1 영역(E1)에 있어서, 복수의 지지대(3)의 사이에서 용기(W)를 반송한다. 제2 영역(E2)은, 천정 반송차(1)의 조정이 행해지는 영역이며, 검사 대상 개소로서의 검사 테이블(4)(조정용 탑재대)이 바닥면 상에 설치되어 있다. 프로파일 기억부(12)에 기억되어 있는 위치 정보에는, 각각의 지지대(3)에 있어서 용기(W)를 반송 및 이송탑재하기 위한 반송용 정지 목표 위치 정보 및 반송용 이동 목표 위치 정보에 더하여, 후술하는 조정용 정지 목표 위치 정보 및 조정용 이동 목표 위치 정보도 포함된다. 즉, 위치 정보에는, 검사 테이블(4)[검사 테이블(4)이 복수 있는 경우에는 각각의 검사 테이블(4)]에 대하여, 물품으로서의 조정용 유닛(C)을 반송 및 이송탑재하기 위한 조정용 정지 목표 위치 정보 및 조정용 이동 목표 위치 정보도 포함된다. 즉, 프로파일 기억부(12)에는, 조정용 탑재대를 포함하는 각각의 탑재대[지지대(3)], 검사 테이블(4)에 있어서 물품[용기(W)], 조정용 유닛(C)을 이송탑재하기 위한 위치 정보를 적어도 포함하는 반송용 프로파일 정보가 기억되어 있다.
자세한 것은 후술하지만, 조정용 정지 목표 위치 정보는, 주행 레일(R)[주행 경로(L), 특히 제2 경로(L2)] 상에서 주행부(22)를 정지시키는 목표 위치(조정용 정지 목표 위치)를 나타내는 정보이다. 후술하는 바와 같이, 천정 반송차(1)의 조정은, 천정 반송차(1)가 지지한 조정용 유닛(C)에 내장된 위치 검출 센서(29)에 의해, 검사 테이블(4)에 배치된 피검출체(M)[도 9, 도 10 참조]를 검출함으로써 행해진다. 조정용 유닛(C)은, 검사 테이블(4) 상에 탑재되어 있고, 조정용 정지 목표 위치는, 적어도 조정용 유닛(C)을 검사 테이블(4)로부터 수취하기 위해, 상기 검사 테이블(4)에 대하여 주행부(22)를 정지시키기 위한 목표 위치이다. 또한, 조정용 이동 목표 위치 정보는, 주행 레일(R)[주행 경로(L), 특히 제2 경로(L2)] 상에서 천정 반송차(1)가 정지하고 있는 상태에서, 주행부(22)에 대하여 지지 기구(24)를 이동(승강, 회전, 슬라이딩)시키는 목표 위치(조정용 이동 목표 위치)를 나타내는 정보이다.
작동 제어부(11)는, 상위 컨트롤러인 제1 제어 장치(H1) 및 제2 제어 장치(H2)로부터의 반송 지령에 기초하여, 반송 제어 및 조정 제어를 실행한다. 작동 제어부(11)는, 반송 제어 및 조정 제어의 실행에 있어서, 천정 반송차(1)에 설치되어 있는 각종 액추에이터를 구동 제어한다. 먼저, 반송 제어에 대하여 설명한다. 반송 제어는, 반송원의 지지대(3)로부터 용기(W)를 수취하고, 반송처의 지지대(3)에 그 용기(W)를 받아건넴으로써, 반송원의 지지대(3)로부터 반송처의 지지대(3)로 용기(W)를 반송하는 제어이다. 반송원의 지지대(3)로부터 반송처의 지지대(3)에 용기(W)를 반송하는 반송 지령에 응답하여, 수취 반송 처리, 수취 승강 처리, 받아건넴 주행 처리, 받아건넴 승강 처리의 순으로 처리가 실행된다.
수취 반송 처리에서는, 작동 제어부(11)는, 반송원으로서 지정된 지지대(3)에 대한 반송용 정지 목표 위치 정보에 기초하여, 주행부(22)를 반송원의 지지대(3)의 반송용 정지 목표 위치까지 주행시켜, 주행부(22)를 상기 반송용 정지 목표 위치에 정지시킨다. 작동 제어부(11)는, 주행용 모터(22m)를 제어하고, 주행부(22)를 상기 반송용 정지 목표 위치에 정지시킨다.
수취 승강 처리에서는, 작동 제어부(11)는, 반송원의 지지대(3)에 대한 반송용 이동 목표 위치 정보에 기초하여, 지지 기구(24)를 상기 반송용 이동 목표 위치로 이동시킨 후, 파지 클로우(24a)를 근접 위치로 이동시키고, 그 후, 지지 기구(24)를 주행용 위치로 이동시킨다. 작동 제어부(11)는, 승강용 모터(25m), 슬라이딩용 모터(26m), 회전용 모터(27m) 등을 제어한다. 이로써, 반송원의 지지대(3)에 지지되어 있었던 용기(W)는, 주행용 위치에 위치하는 지지 기구(24)에 지지된다.
받아건넴 주행 처리에서는, 작동 제어부(11)는, 반송처로서 지정된 지지대(3)에 대한 반송용 정지 목표 위치 정보에 기초하여, 주행부(22)를 상기 반송용 정지 목표 위치까지 주행시킨다. 작동 제어부(11)는, 주행용 모터(22m)를 제어하고, 용기(W)를 현수 상태로 주행부(22)를 주행시키고, 상기 반송용 정지 목표 위치에서 정지시킨다.
받아건넴 승강 처리에서는, 작동 제어부(11)는, 반송처의 지지대(3)에 대한 반송용 이동 목표 위치 정보에 기초하여, 지지 기구(24)를 상기 반송용 이동 목표 위치로 이동시킨 후, 파지 클로우(24a)를 이격 위치로 이동시킨다. 작동 제어부(11)는, 승강용 모터(25m), 슬라이딩용 모터(26m), 회전용 모터(27m) 등을 제어한다. 이로써, 지지 기구(24)에 지지되어 있었던 용기(W)는, 반송처의 지지대(3)에 탑재된다. 그 후, 작동 제어부(11)는, 승강용 모터(25m), 슬라이딩용 모터(26m), 회전용 모터(27m) 등을 제어하여, 지지 기구(24)를 주행용 위치로 이동시킨다.
그런데, 플랜지부(6)의 상면[용기(W)의 상면]에는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 상면 오목부(8)가 형성되어 있다. 상면 오목부(8)는, 지지 기구(24)를 도 5에 나타낸 바와 같이, 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(24)에 구비되어 있는 압압부(押壓部)(24c)가 위쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 예를 들면, 수취 승강 처리에 있어서, 천정 반송차(1)가 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 지지대(3)에 탑재 지지되어 있는 용기(W)에 대하여 지지 기구(24)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우가 있다. 이 경우에도, 압압부(24c)가 상면 오목부(8)의 내면에 접촉하여 안내됨으로써, 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가, 용기(W)에 대하여 적합한 위치에 안내된다.
또한, 용기(W)의 바닥면에는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 3개의 홈형의 바닥면 오목부(7)가 구비되어 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 바닥면 오목부(7)는, 용기(W)가 반송처의 지지대(3)에 탑재될 때, 지지대(3)에 구비되어 있는 위치 결정 부재(9)가 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 위치에 구비되어 있다. 예를 들면, 받아건넴 승강 처리에 있어서, 지지 기구(24)가 하강 이동하여 용기(W)가 지지대(3)에 이송탑재될 때, 용기(W)가 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있는 경우가 있다. 이 경우에도, 위치 결정 부재(9)가 바닥면 오목부(7)의 내측면에 접촉하여 용기(W)가 수평 방향으로 이동됨으로써, 용기(W)의 수평 방향에서의 위치가 지지대(3)의 적정 지지 위치로 수정된다.
이와 같이, 수취 승강 처리나 받아건넴 승강 처리에서의 다소의 오차는, 지지 기구(24)나 지지대(3)의 기계적인 구조에 의해 저감시킬 수 있다. 그러나, 천정 반송차(1)의 시간 경과에 따른 변화나 소모 등에 의해, 오차가 커지면, 그와 같은 기계적인 구조에 의한 대응에서는 오차를 완화할 수 없어, 용기(W) 등의 물품을 적절하게 이송탑재(移載; transfer)할 수 없게 되는 경우가 있다. 예를 들면, 주행 차륜(22a)의 마모 등에 의해, 반송용 정지 목표 위치 정보가 나타내는 반송용 정지 목표 위치가, 이상적(理想的)인 반송용 정지 목표 위치로부터 어긋나는 경우가 있다. 또한, 승강 구동부(25)의 시간 경과에 따른 열화나 소모에 수반하여 반송용 이동 목표 위치 정보가 나타내는 반송용 이동 목표 위치와 이상적인 반송용 이동 목표 위치와의 어긋남이 서서히 커지게 되는 경우도 있다. 일반적으로는, 기간을 정해 정기 점검 등이 행해지고, 이 때 조정이 실시된다. 그러나, 각각의 천정 반송차(1)의 가동율의 차이나, 개체차(個體差) 등에 의해, 정기 점검보다도 빨리 오차가 커지는 경우도 있다. 따라서, 각각의 천정 반송차(1)에 따른 적절한 시기에 적절한 조정이 행해지는 것이 바람직하다.
대부분의 경우, 이와 같은 조정은, 예를 들면, 제1 영역(E1)으로부터 제2 영역(E2)으로 퇴피시킨 천정 반송차(1)에 대하여, 제2 영역(E2)에 있어서 작업자에 의한 수작업에 의해 실시되고 있다. 그러므로, 조정에 시간을 필요로 하고, 천정 반송차(1)의 가동율을 저하시키는 요인의 하나로도 되고 있다. 본 실시형태에서는, 조정을 자동화함으로써 조정에 필요로 하는 시간을 단축한다. 또한, 물품 반송 설비에 대하여, 신규의 천정 반송차(1)를 추가하는 경우(증차하는 경우)에도, 조정 시간이 단축 가능하므로, 신속히 설비의 반송 능력을 향상시킬 수도 있다.
도 7은, 물품 반송 설비의 시스템 구성을 모식적으로 나타낸 설명도이다. 도 7은, 각각의 천정 반송차(1)의 가동(稼動) 상황을 모니터링하기 위한 시스템 구성을 나타내고 있다. 전술한 바와 같이, 제1 제어 장치(H1)는, 천정 반송차(1)를 작동시키기 위한 작동 지령[용기(W)](물품)를 반송시키는 용기 반송 지령(물품 반송 지령)을, 천정 반송차(1)를 지정하여 무선 통신에 의해 부여한다. 천정 반송차(1)는, 주어진 작동 지령에 대하여, 제1 제어 장치(H1)에 확인 응답(acknowledgement)을 되돌려, 작동 지령에 기초하여 반송 제어를 개시한다.
반송 제어를 개시한 천정 반송차(1)는, 작동 정보(주행 중/정지 중, 이송탑재의 성공/실패, 이송탑재 성공까지의 시행 횟수, 에러 정보 등)를, 각각의 천정 반송차(1)를 특정하는 정보(속성 정보)와 함께, 수신처를 특정하지 않고 송신한다. 즉, 작동 정보는, 천정 반송차(1) 측으로부터의 일방적인 송신(이른바 수직 흐름)으로 된다. 물품 반송 설비에 있어서는, 복수의 천정 반송차(1)가 각각 자율 제어에 의해 동시에 반송 제어를 행하고 있다. 제1 제어 장치(H1)는, 복수의 천정 반송차(1)로부터 송신되는 작동 정보를 폴링 처리 등에 의해 순차 취득한다.
천정 반송차(1)로부터 송신되는 작동 정보가 이와 같이, 일방적인 송신이면, 제1 제어 장치(H1) 이외의 장치도, 상기 정보를 수신하고, 축적할 수 있다. 본 실시형태에서는, 설비 감시 장치(FS)가 구비되어 있고, 이 설비 감시 장치(FS)가 작동 정보를 취득하여 축적한다. 작동 정보에는, 각각의 천정 반송차(1)를 특정하는 속성도 포함되어 있다. 따라서, 설비 감시 장치(FS)는, 작동 정보를 축적함으로써, 천정 반송차(1)마다의 과거의 작동 상황을 가동 정보로서 축적할 수 있다.
각각의 작동 정보에 포함되는 정보, 및 같은 천정 반송차(1)에 관한 복수의 작동 정보를 취득함으로써, 설비 감시 장치(FS)는, 적어도 각각의 천정 반송차(1)의 반송 횟수 및 주행 시간을 포함하는 작동 상황의 정보를 순차 취득하게 된다. 설비 감시 장치(FS)는, 순차 취득한 작동 상황의 정보를 가동 정보로서 축적한다. 또한, 설비 감시 장치(FS)는, 그 가동 정보에 기초하여, 조정이 필요한 천정 반송차(1)를 조정 대상차로서 선정한다. 설비 감시 장치(FS)는, 예를 들면, 천정 반송차(1)의 가동 시간이나, 전회의 조정으로부터의 경과 시간, 미리 정해진 바로 옆의 조정 요부(要否) 판정 기간에서의 이송탑재의 리트라이율 등에 기초하여 조정이 필요한 천정 반송차(1)를 선정한다. 그리고, 리트라이율이란, 1회의 이송탑재의 기회에 있어서 이송탑재를 실패한 후에 다시 해 성공시킨 횟수를 분자로 하고, 조정 요부 판정 기간에서의 이송탑재의 모든 기회의 횟수를 분모로 한 비율이다.
설비 감시 장치(FS)는, 이 선정 결과를 제1 제어 장치(H1)에 통지한다. 설비 감시 장치(FS) 및 제1 제어 장치(H1)는, 지상 측에 설치된 고정 장치이므로, 도 7에서는, 설비 감시 장치(FS)로부터 제1 제어 장치(H1)에 유선 배선에 의해 정보가 전달되는 형태를 예시하고 있다. 그러나, 상기 정보의 전달이 무선 통신에 의해 행해지는 것을 방해하는 것은 아니다.
설비 감시 장치(FS)로부터 조정 대상차의 선정 결과를 제공받은 제1 제어 장치(H1)는, 상기 선정 결과에 기초하여 천정 반송차(1)(조정 대상차)에 이탈 지령을 부여한다. 이탈 지령은, 천정 반송차(1)(조정 대상차)를 제1 영역(E1)으로부터 제2 영역(E2)으로 이탈시키는 지령이다. 즉, 제1 제어 장치(H1)에 의한 작동 지령에는, 적어도 반송 지령(물품 반송 지령)과 이탈 지령이 포함된다.
조정 대상차에 지정된 천정 반송차(1)의 작동 제어부(11)는, 제1 제어 장치(H1)로부터의 이탈 지령에 기초하여, 상기 천정 반송차(1)를 제1 영역(E1)으로부터 제2 영역(E2)으로 이탈시킨다. 즉, 조정 대상차의 작동 제어부(11)는, 이탈 지령에 기초하여 천정 반송차(1)(조정 대상차)를 제2 경로(L2)에 진입시킨다. 구체적으로는, 분기부(J1)에 있어서 안내 롤러 솔레노이드(22s)를 구동하여, 안내 롤러(22b)를 자세 변경시킨다(본 실시형태에서는 좌측의 제2 위치로의 변경). 이로써, 천정 반송차(1)(조정 대상차)는, 제1 경로(L1)를 이탈하여, 제2 경로(L2)로 진입한다.
주행 경로(L) 상의 천정 반송차(1)의 위치는, 자율 주행하는 천정 반송차(1)가 파악하고 있다. 또한, 전술한 바와 같이 작동 정보로서 제1 제어 장치(H1)에도 전달되고 있다. 천정 반송차(1)(조정 대상차)의 작동 제어부(11)는, 자차(自車)가 제2 경로(L2)에 진입했는지의 여부를 판정한다. 예를 들면, 주행 경로(L)에 좌표 마커가 배치되어 있고, 천정 반송차(1)에 좌표 마커를 검출하는 센서가 탑재되어 있는 것과 같은 경우에는, 분기부(J1)보다도 제2 경로(L2) 측의 좌표 마커의 검출 결과에 기초하여 제2 경로(L2)에 진입한 것으로 판정할 수 있다. 작동 제어부(11)는, 제2 경로(L2)에 대한 진입이 완료된 것으로 판정하면, 통신 제어부(10)에 대하여 상기 판정 결과를 전달한다. 통신 제어부(10)는, 이 판정 결과에 기초하여, 통신 대상처를 제1 제어 장치(H1)로부터 제2 제어 장치(H2)로 변경한다.
제2 제어 장치(H2)는, 천정 반송차(1)(조정 대상차)와의 통신이 확립되면, 상기 천정 반송차(1)(조정 대상차)에 대하여, 조정 지령을 송신한다. 상기 천정 반송차(1)(조정 대상차)의 작동 제어부(11)는, 프로파일 기억부(12)에 기억된 검사 테이블(4)(조정용 탑재대)에 대한 조정용 정지 목표 위치 정보에 기초하여, 천정 반송차(1)를 조정용 정지 목표 위치까지 주행시켜 정지시킨다.
천정 반송차(1)(조정 대상차)의 작동 제어부(11)는, 제2 제어 장치(H2)로부터의 조정 지령에 응답하여, 후술하는 바와 같이, 조정용 유닛(C)(조정용 장치)을 사용한 조정 작동을 행한다. 작동 제어부(11)는, 또한 이 조정 작동에 의해 얻어진 결과에 기초하여, 프로파일 기억부(12)에 기억되어 있는 반송용 프로파일 정보를 갱신한다. 천정 반송차(1)(조정 대상차)의 통신 제어부(10)는, 반송용 프로파일 정보가 갱신된 후, 통신 대상처를 제2 제어 장치(H2)로부터 제1 제어 장치(H1)로 변경한다.
제1 제어 장치(H1)는, 생산 관리 장치 등의 더 상위의 컨트롤러로부터의 반송 요구에 따라 천정 반송차(1)(조정 대상차)를 파견하는 지지대(3)(탑재대)를 지정하여, 상기 천정 반송차(1)에 반송 지령을 송신한다. 천정 반송차(1)의 작동 제어부(11)는, 천정 반송차(1)(조정 대상차)를 제2 영역(E2)으로부터 제1 영역(E1)에 합류시켜, 반송 지령에 기초하여 용기(W)의 반송을 행한다.
이하, 구체적인 조정 제어에 대하여 예시한다. 본 실시형태에서는, 천정 반송차(1)가, 용기(W) 대신에 조정용 유닛(C)(조정용 장치)을 검사 테이블(4)(조정용 탑재대)로부터 수취하고, 다른 검사 테이블(4)에 받아건네는 것에 의해 조정이 행해진다. 즉, 천정 반송차(1)는, 제2 영역(E2)에서는, 지지 기구(24)에 의해 조정용 유닛(C)을 현수 지지한다. 조정용 유닛(C)(조정용 장치)은, 천정 반송차(1)(조정 대상차)의 승강 구동부(25)에 의해 승강될 때 조정용 데이터를 취득하고, 조정 대상차에 대응하는 반송용 프로파일 정보(갱신용의 프로파일 정보)를 연산하고, 상기 반송용 프로파일 정보를 갱신용 데이터로서 조정 대상차에 전달한다. 그리고, 갱신용 데이터는, 반송용 프로파일 정보에 한정되지 않고, 원래의 반송용 프로파일 정보와의 차분 정보라도 된다.
제2 영역(E2)에는, 지지대(3)에 용기(W)를 탑재하는 형태와 같은 형태로 조정용 유닛(C)을 탑재 가능한 조정용 탑재면(P)을 가지는 검사 테이블(4)(조정용 탑재대)이 구비되어 있다. 제1 영역(E1)에 배치된 지지대(3)에는, 지상으로부터의 높이가 상이한 것도 있다. 따라서, 제2 영역에 있어서 실시되는 조정 제어에서는, 조정용 유닛(C)은, 2개 이상의 상이한 높이의 조정용 탑재면(P)[P1, P2, … ]에 탑재되고, 상기 조정용 탑재면(P)[P1, P2, …]의 각각으로부터 승강될 때 조정용 데이터를 취득하는 것이 바람직하다. 본 실시형태에서는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 각각 상이한 높이의 조정용 탑재면(P)[P1, P2, P3, P4]을 가지는 4개의 탑재대[검사 테이블(4)]가 설치되어 있다. 조정용 탑재면(P)의 지상으로부터의 높이는, 지지대(3)의 지상으로부터의 높이에 대응하는 높이인 것이 바람직하다. 조정용 탑재면의 지상으로부터의 높이가, 실제로 물품이 탑재되는 탑재대의 지상으로부터의 높이에 대응하고 있으면, 실제의 사용 형태에 준한 형태로 조정을 행할 수 있다. 그 결과, 실제의 운용에 적합한 적절한 조정이 가능해진다.
조정용 유닛(C)은, 상이한 높이에 탑재된 상태로부터, 승강 구동부(25)에 의해 승강되고, 각각의 높이로부터의 승강 시에 취득한 조정용 데이터에 기초하여 반송용 프로파일 정보를 연산한다. 도 1 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 조정용 유닛(C)을 상이한 높이의 조정용 탑재면(P)을 각각 구비한 4개의 검사 테이블(4)이, 제2 경로(L2)를 따라 배치되고, 조정 대상차는, 제2 경로(L2)를 따라 이동하는 동시에, 상이한 검사 테이블(4)의 사이에서 조정용 유닛(C)을 이송탑재한다. 조정용 유닛(C)은, 복수의 검사 테이블(4)마다 조정용 데이터를 취득한다.
도 8에는, 지상으로부터의 높이가 높은 순서로, 제1 검사 테이블(4a), 제2 검사 테이블(4b), 제3 검사 테이블(4c), 제4 검사 테이블(4d)의 4대의 검사 테이블(4)이 배치되어 있는 형태를 예시하고 있다. 제1 검사 테이블(4a)은 제1 조정용 탑재면(P1)을 가지고, 제2 검사 테이블(4b)은 제2 조정용 탑재면(P2)을 가지고, 제3 검사 테이블(4c)은 제3 조정용 탑재면(P3)을 가지고, 제4 검사 테이블(4d)은 제4 조정용 탑재면(P4)을 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 조정용 유닛(C)은, 제1 검사 테이블(4a)을 보관 장소로서, 제1 검사 테이블(4a)에 탑재되어 있다. 조정 대상차로서의 천정 반송차(1)는, 먼저, 제1 검사 테이블(4a)에 탑재되어 있는 조정용 유닛(C)에 대한 수취 반송 처리 및 수취 승강 처리를 행하고, 제2 검사 테이블(4b)에 대하여 받아건넴 주행 처리 및 받아건넴 승강 처리를 행한다. 조정용 유닛(C)은, 각각의 처리 시마다, 조정용 데이터를 취득하고, 조정 대상차에 대응하는 반송용 프로파일 정보를 연산한다.
다음에, 제2 검사 테이블(4b)에 탑재되어 있는 조정용 유닛(C)에 대한 수취 승강 처리를 행하고, 제3 검사 테이블(4c)에 대하여 받아건넴 주행 처리 및 받아건넴 승강 처리를 행한다. 조정용 유닛(C)은, 마찬가지로, 각각의 처리 시마다, 조정용 데이터를 취득하고, 조정 대상차에 대응하는 반송용 프로파일 정보를 연산한다. 다음에, 제3 검사 테이블(4c)에 탑재되어 있는 조정용 유닛(C)에 대한 수취 승강 처리를 행하고, 제4 검사 테이블(4d)에 대하여 받아건넴 주행 처리 및 받아건넴 승강 처리를 행한다. 조정용 유닛(C)은, 마찬가지로, 각각의 처리 시마다, 조정용 데이터를 취득하고, 조정 대상차에 대응하는 반송용 프로파일 정보를 연산한다. 마지막으로, 제4 검사 테이블(4d)에 탑재되어 있는 조정용 유닛(C)에 대한 수취 승강 처리를 행하고, 제2 영역(E2) 중에 설치된 학습용 경로(Lt)(도 1 참조)를 경유하여, 제1 검사 테이블(4a)에 대하여 받아건넴 주행 처리 및 받아건넴 승강 처리를 행한다. 조정용 유닛(C)은, 마찬가지로, 각각의 처리 시마다, 조정용 데이터를 취득하고, 조정 대상차에 대응하는 반송용 프로파일 정보를 연산한다.
이 일련의 이송탑재 처리 및 연산을 1루프로 하여, 동일한 이송탑재 처리 및 연산이 복수 회 반복된다. 예를 들면, 측정 오차 등을 고려하여 상기 이송탑재 처리 및 연산을 3루프 반복하여, 평균이나 표준 편차를 사용하여 갱신용의 반송용 프로파일 정보가 결정된다. 당연히, 충분한 정밀도를 얻을 수 있다면, 1루프로 수속시켜도 된다.
도 9 및 도 10은, 천정 반송차(1)가, 용기(W) 대신에 조정용 유닛(C)을 검사 테이블(4)로부터 수취할 때의 거동(擧動)을 예시하고 있다. 전술한 바와 같이, 천정 반송차(1)는, 용기(W) 대신에 조정용 유닛(C)을 지지하고, 용기(W)를 반송하는 것과 마찬가지로, 조정용 유닛(C)을 반송할 수 있다. 용기(W)와 마찬가지로, 조정용 유닛(C)의 상단부에도 유닛 플랜지부(13)가 형성되어 있고, 이 유닛 플랜지부(13)가 천정 반송차(1)의 지지 기구(24)에 의해 현수 지지된다. 유닛 플랜지부(13)보다도 아래쪽, 용기(W)의 수용부(5)에 대응하는 장소에는, 유닛 본체부(14)가 설치되어 있다. 유닛 본체부(14)에는, 거리 센서(18) 및 이미지 센서(19)가 지지되어 있다.
유닛 본체부(14)의 바닥면[조정용 유닛(C)의 바닥면]에는, 용기(W)와 마찬가지로, 위쪽에 오목한 3개의 홈형의 바닥면 오목부[유닛 바닥면 오목부(7b)]가 구비되어 있다(도 10 참조). 또한, 검사 테이블(4)의 상면에는, 지지대(3)와 마찬가지로, 조정용 유닛(C)의 아래쪽으로부터 걸어맞추어지는 위치에 위치 결정 부재(9)가 구비되어 있다. 그러므로, 조정용 유닛(C)이 검사 테이블(4)에 이송탑재될 때, 조정용 유닛(C)이 지지대(3)의 적정 지지 위치에 대하여 수평 방향으로 어긋나 있어도, 위치 결정 부재(9)가 유닛 바닥면 오목부(7b)의 내측면에 접촉하여 조정용 유닛(C)이 수평 방향으로 이동됨으로써, 조정용 유닛(C)의 수평 방향에서의 위치가 적정 지지 위치로 수정된다. 이로써, 임의의 검사 테이블(4)에 대한 조정용 유닛(C)의 받아건넴 주행 처리 및 받아건넴 승강 처리에 있어서 오차가 있어도, 항상 조정용 유닛(C)을 규정의 위치에 탑재시키는 것이 가능하다. 따라서, 상기 검사 테이블(4)에 대한 다음의 수취 반송 처리 및 수취 승강 처리를 적절히 행할 수 있다.
또한, 유닛 플랜지부(13)의 상면[조정용 유닛(C)의 상면]에는, 용기(W)와 마찬가지로, 아래쪽에 오목한 원뿔형상의 유닛 상면 오목부(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 유닛 상면 오목부는, 지지 기구(24)를 도 9에 나타낸 바와 같이, 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(24)에 구비되어 있는 압압부(24c)가 위쪽으로부터 걸어맞추어지도록 구성되어 있다. 예를 들면, 수취 승강 처리에 있어서, 천정 반송차(1)가 지지 기구(24)를 하강 이동시켰을 때, 검사 테이블(4)에 탑재 지지되어 있는 조정용 유닛(C)에 대하여 지지 기구(24)가 수평 방향으로 어긋나 있는 경우가 있다. 이 경우에도, 압압부(24c)가 유닛 상면 오목부의 내면에 접촉하여 안내됨으로써, 지지 기구(24)의 수평 방향에서의 위치가, 조정용 유닛(C)에 대하여 적합한 위치로 안내된다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(1)에는, 조정용 유닛(C)의 유닛 통신부(16)와의 사이에서 무선 통신에 의해 각종 정보를 송수신하기 위한 조정용 통신부(15)가 구비되어 있다. 또한, 조정용 유닛(C)에는, 거리 센서(18)와, 이미지 센서(19)와, 유닛 통신부(16)와, 유닛 제어부(17)가 구비되어 있다. 거리 센서(18)는, 예를 들면, 레이저 거리계이며, 도 11을 참조하여 후술하는 바와 같이, 조정용 탑재면(P)과 조정용 유닛(C)의 바닥부와의 거리를 계측한다. 이미지 센서(19)는, 예를 들면, 2차원 이미지 센서이며, 검사 테이블(4)[바람직하게는 조정용 탑재면(P)]에 구비된 피검출체(M)를 촬영하기 위한 센서이다. 유닛 통신부(16)는, 안테나 및 통신 제어 회로를 구비하고, 천정 반송차(1)와의 사이에서 근거리 무선 통신에 의해 각종 정보를 송수신한다. 유닛 제어부(17)는, 마이크로 컴퓨터 등을 중핵으로서 구성되며, 거리 센서(18)나 이미지 센서(19)나 유닛 통신부(16)의 작동을 제어하는 동시에, 이미지 센서(19)에 의한 피검출체(M)의 촬영 화상을 화상 인식하고, 그 결과에 기초하여 갱신용의 반송용 프로파일 정보 등의 갱신용 데이터를 연산한다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 조정용 탑재면(P)을 향해 조정용 유닛(C)을 하강시키는 경우, 먼저, 조정용 탑재면(P)에 조정용 유닛(C)이 착석할 때까지(탑재될 때까지), 천정 반송차(1)는, 승강용 모터(25m)를 구동하여 권취 벨트(25b)를 송출한다. 전술한 바와 같이, 권취 벨트(25b)의 송출량은, 인코더에 의해 펄스수로서 계수되고 있다. 조정용 탑재면(P)에 조정용 유닛(C)이 착석했는지의 여부는, 예를 들면, 권취 벨트(25b)에 관한 장력의 변화에 의해 승강 구동부(25) 또는 작동 제어부(11)가 판정한다. 조정용 탑재면(P)에 조정용 유닛(C)이 착석한 것으로 판정된 후, 천정 반송차(1)는, 승강용 모터(25m)를 구동하여 권취 벨트(25b)의 권취를 저속으로 개시한다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 권취 벨트(25b)의 권취에 의해, 조정용 유닛(C)은, 조정용 탑재면(P)으로부터 부상한다. 거리 센서(18)에 의해, 조정용 탑재면(P)과 조정용 유닛(C)의 바닥부와의 거리가 계측되고, 그 계측 결과가 천정 반송차(1)에 전달된다. 상기 거리가 미리 규정된 조정용 이격 거리(D)에 대한 허용 범위 내에 들어가면, 권취 벨트(25b)의 권취가 정지된다. 이로써, 조정용 유닛(C)은, 조정용 탑재면(P)에 대하여, 조정용 이격 거리(D)만큼 이격된 상태에서, 지지 기구(24)에 의해 현수 지지된 상태로 된다. 권취 벨트(25b)에 장력이 걸린 상태에서의 펄스수가, 권취 벨트(25b)의 송출량으로서 취득되고, 조정용 유닛(C)에 전달된다. 그리고, 조정용 이격 거리(D)는, 예를 들면, 5∼10[㎜] 정도이며, 플러스 마이너스 양 방향으로 2.5∼3[㎜] 정도의 오차가 허용된다. 예를 들면, 조정용 이격 거리(D)가 5[㎜]이며 허용 오차가 ±2.5[㎜]인 경우, 조정용 탑재면(P)과 조정용 유닛(C)의 바닥부와의 거리가 2.5∼7.5[㎜]의 범위 내에 있는 상태에서, 조정용 유닛(C)은, 지지 기구(24)에 의해 현수 지지된 상태로 된다. 이 상태에서, 이미지 센서(19)는, 피검출체(M)를 촬영한다.
예를 들면, 피검출체(M)는, 2차원 코드를 구비하여 구성되어 있다. 조정용 유닛(C)[유닛 제어부(17)]는, 이미지 센서(19)에 의해 촬상(撮像)된 피검출체(M)의 크기, 각도, 위치 등에 기초하여, 이미지 센서(19)에 대한 피검출체(M)의 주행 방향, 폭 방향 및 세로 축심 주위에서의 어긋남량을 판별한다. 이미지 센서(19)의 위치는, 조정용 유닛(C) 중에서 고정되어 있으므로, 조정용 유닛(C)에 대한 피검출체(M)의 주행 방향, 폭 방향 및 상하 축심 주위에서의 어긋남량이 판별된다. 그리고, 거리 센서(18)를 구비하지 않고, 이미지 센서(19)에 의해 촬상된 피검출체(M)의 크기로부터, 유닛 제어부(17)가, 조정용 탑재면(P)과 조정용 유닛(C)의 바닥부와의 거리를 연산해도 된다. 또한, 거리 센서(18)를 구비하는 경우라도, 상기 거리에는 전술한 바와 같이 오차가 허용되고 있으므로, 이미지 센서(19)에 의해 촬상된 피검출체(M)의 크기에 기초하여 상기 거리를 보정하고, 또한 권취 벨트(25b)의 송출량을 보정해도 된다.
도 12는, 반송용 프로파일의 생성 및 갱신의 모식적인 상태 천이도를 나타내고 있다. 물품 반송 설비가 새롭게 구축되는 경우, 상기 물품 반송 설비의 모든 천정 반송차(1) 중에서 기준으로 되는 천정 반송차(1)[기준 반송차(1R)]에 대하여, 반송용 프로파일 정보가 정비된다. 이 반송용 프로파일 정보는, 상기 물품 반송 설비의 다른 모든 천정 반송차(1)에 대하여 기준으로 되는 프로파일 정보이며, 기준 프로파일 정보라고 한다. 기준 프로파일 정보는, 조정용 탑재대를 포함하는 모든 탑재대, 즉 제1 영역(E1)의 모든 지지대(3), 및 제2 영역(E2)의 모든 검사 테이블(4)에 대하여 실제로 물품[용기(W)] 및 조정용 유닛(C), 또는 이들에 대신하는 기준 물품)을 반송 및 이송탑재함으로써 생성된다[기준 프로파일 정비 국면(reference profile preparation phase ) #1].
상기 물품 반송 설비에, 기준 반송차(1R) 이외의 천정 반송차(1)를 추가하는 경우, 추가 대상의 천정 반송차(1)의 프로파일 기억부(12)에, 기준 프로파일 정보가 기입된다. 다음에, 상기 천정 반송차(1)를 제2 영역(E2)에 보내고, 전술한 바와 같은 조정을 행한다. 조정 시의 수취 반송 처리, 수취 승강 처리, 받아건넴 주행 처리, 받아건넴 승강 처리는, 기준 프로파일 정보에 기초하여 실행되므로, 기준 반송차(1R)와 추가 대상의 천정 반송차(1)와의 개체차가 차분 데이터로서 추출된다. 기준 프로파일 정보와 차분 데이터에 기초하여, 상기 천정 반송차(1)에 고유의 반송용 프로파일 정보가 생성되고, 프로파일 기억부(12)에 기입된다(반송용 프로파일 초기 설정 국면 #3). 고유의 반송용 프로파일 정보가 설정된 천정 반송차(1)는, 제1 영역(E1)에 투입된다.
물품 반송 설비가 가동한 후, 전술한 바와 같이, 설비 감시 장치(FS)로부터의 정보에 기초하여, 조정이 필요한 천정 반송차(1)가 조정 대상차로서 선정된다. 조정 대상차는, 제1 영역(E1)으로부터 제2 영역(E2)으로 이탈하고, 전술한 바와 같이 조정이 행해진다. 조정이 완료되면, 새로운 반송용 프로파일 정보가, 조정 대상차의 프로파일 기억부(12)에 기억된다(반송용 프로파일 조정 국면 #5). 조정이 완료된 천정 반송차(1)는, 재차 제1 영역(E1)에 투입된다.
[그 외의 실시형태]
이하, 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. 그리고, 이하에 설명하는 각각의 실시형태의 구성은, 각각 단독으로 적용되는 것에 한정되지 않고, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태의 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다.
(1) 상기에 있어서는, 각각 상이한 높이의 4개의 조정용 탑재대[검사 테이블(4)]이 설치되어 있는 형태를 예시하였다. 그러나, 검사 테이블(4)의 수는 4개로 한정되는 것은 아니다. 일 태양으로서, 상이한 높이의 2개 이상의 검사 테이블(4)이 설치되어 있으면, 4개 미만이라도 5개 이상이라도 된다. 즉, 제2 영역(E2)에 있어서, 조정용 유닛(C)(조정용 장치)은, 2개 이상의 상이한 높이의 조정용 탑재면(P)에 탑재되고, 조정용 탑재면(P)의 각각으로부터 승강될 때 취득한 조정용 데이터에 기초하여 반송용 프로파일 정보를 연산하는 것이면 된다. 바람직하게는, 조정용 유닛(C)(조정용 장치)을 상이한 높이에 탑재 가능한 2개 이상의 조정용 탑재대[검사 테이블(4)]이, 제2 경로(L2)를 따라 배치되고, 조정 대상차는, 제2 경로(L2)를 따라 이동하는 동시에, 상이한 조정용 탑재대[검사 테이블(4)]에, 조정용 유닛(C)(조정용 장치)을 이송탑재한다.
그런데, 상기에 있어서는, 복수의 검사 테이블(4)의 사이에서의 조정용 유닛(C)의 이송탑재 처리 및 연산을 1루프로 하여, 동일한 처리 및 연산이 복수 회 반복되는 것을 설명하였다. 상기에 있어서는, 4개의 검사 테이블(4)이 설치되어 있는 형태를 예시하였으나, 검사 테이블(4)의 수가 4개 이외의 경우, 예를 들면, n을 자연수로 하여 n개의 검사 테이블(4)이 설치되고, 제2 경로(L2)에 따른 최후의 검사 테이블(4)이 제n 검사 테이블(4n)(도 8 참조)였던 경우에는, 1개의 루프에 대하여 n번째의 검사 테이블(4)까지 동일한 이송탑재 처리 및 연산이 실시된다.
(2) 상기에 있어서는, 예를 들면, 4개의 조정용 탑재대[검사 테이블(4)]이, 지상으로부터의 높이가 높은 순서 또는 낮은 순서로, 제2 경로(L2)를 따라 배치되어 있는 형태를 예시하였다. 그러나, 지상으로부터의 높이의 순서에 관계없이, 상이한 높이의 검사 테이블(4)이 배치되어 있는 구성을 방해하는 것은 아니다. 예를 들면, 상이한 높이의 3개 이상의 검사 테이블(4)이 구비되어 있는 경우에, 지상으로부터의 높이의 순서에 관계없이, 검사 테이블(4)이 배치되어 있어도 된다.
(3) 상기에 있어서는, 상이한 높이의 2개 이상의 검사 테이블(4)이 설치되어 있는 형태를 예시하였다. 즉, 상기에 있어서는, 천정 반송차(1)가, 용기(W) 대신에 조정용 유닛(C)을 복수의 검사 테이블(4) 중의 1개로부터 수취하고, 다른 검사 테이블(4)에 받아건네는 것에 의해 조정이 행해지는 형태를 예시하였다. 즉, 조정용 유닛(C)을 상이한 높이에 탑재 가능한 2개 이상의 검사 테이블(4)을 포함하고, 조정용 유닛(C)이, 2개 이상 이상의 상이한 높이의 검사 테이블(4)로부터, 승강 구동부(25)에 의해 승강되어 2개 이상의 높이로부터의 승강 시에 취득한 조정용 데이터에 기초하여 반송용 프로파일 정보를 연산하는 형태를 예시하였다. 그러나, 도 13에 나타낸 바와 같이, 1대의 검사 테이블(4)을 이용하여, 조정이 행해져도 된다. 즉, 지지대(3)에 용기(W)를 탑재하는 형태와 같은 형태로 조정용 유닛(C)을 탑재 가능한 조정용 탑재면(P)을 가지는 동시에, 조정용 유닛(C)을 2개 이상의 상이한 높이의 조정용 탑재면(P)에 탑재할 수 있는 검사 테이블(4)이며, 조정용 유닛(C)이, 조정용 탑재면(P)의 각각으로부터 승강될 때 조정용 데이터를 취득할 수 있으면, 검사 테이블(4)은 1개라도 된다.
일 태양으로서, 조정용 탑재면(P)이 있는 높이로 설정된 검사 테이블(4)[예를 들면, 제1 조정용 탑재면(P1)이 설정된 검사 테이블(4)]로부터 천정 반송차(1)가 조정용 유닛(C)을 수취하고, 조정용 탑재면(P)이 상이한 높이로 재설정된 같은 검사 테이블(4)[예를 들면, 제2 조정용 탑재면(P2) 또는 제3 조정용 탑재면(P3)이 설정된 같은 검사 테이블(4)]에 천정 반송차(1)가 조정용 유닛(C)을 재차 받아건네는 것에 의해 조정이 행해지는 형태라도 된다. 즉, 도 13에 나타낸 바와 같이, 검사 테이블(4)에서의 조정용 탑재면(P)의 지상으로부터의 높이가 가변(可變)이면, 1개의 검사 테이블(4)에 의해, 복수의 높이에 대한 이송탑재를 따라 천정 반송차(1)를 조정할 수 있다.
즉, 물품 반송 설비는, 조정용 유닛(C)을 2개 이상의 상이한 높이의 조정용 탑재면(P)에 탑재하는 것이 가능하도록, 조정용 유닛(C)을 탑재하는 탑재부(S)의 높이를 변경 가능한 검사 테이블(4)을 포함하고, 조정용 유닛(C)이, 2개 이상의 상이한 높이로 설정된 탑재부(S)의 각각으로부터 승강될 때 조정용 데이터를 취득하는 형태라도 된다. 예를 들면, 빔부(beam portion)(BG)에 걸쳐놓은 탑재부(S)는, 도시하지 않은 액추에이터에 의한 요동(搖動)에 의해, 조정용 탑재면(P)이 수직 방향(상하 방향)을 따르는 상태와, 조정용 탑재면(P)이 수평 방향을 따른 상태와의 사이에서 자세 변경할 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 이 액추에이터는, 제2 제어 장치(H2)에 의해 제어되는 것이 바람직하다.
(4) 상기에 있어서는, 조정이 필요한 천정 반송차(1)를, 설비 감시 장치(FS)가 조정 대상차로서 선정되고, 상기 선정 결과가 통지된 제1 제어 장치(H1)가 상기 조정 대상차에 대하여 이탈 지령을 부여하는 형태를 예시하였다. 그러나, 설비 감시 장치(FS)를 구비하지 않고, 제1 제어 장치(H1)가 조정 대상차를 선정해도 된다. 이 경우, 제1 제어 장치(H1)가, 가동 정보를 축적하여 그 가동 정보에 기초하여 선정해도 되고, 단순한 가동 시간이나, 전회의 조정으로부터의 경과 시간에 따라 선정해도 된다. 또한, 바로 옆의 리트라이율 등에 기초하여 선정해도 된다.
(5) 상기에 있어서는, 조정 대상차가 이탈 지령을 수신한 후, 또한 상기 조정 대상차가 제2 경로(L2)에 진입한 후에, 통신 대상처가 제1 제어 장치(H1)로부터 제2 제어 장치(H2)로 전환되는 형태를 예시하였다. 이 형태에서는, 제1 제어 장치(H1)에 의한 제어 대상이 아니었던 천정 반송차(1)가 제1 영역(E1)에 머무는 것은 아니므로, 거의 확실하게 제1 영역(E1)에서의 용기(W)의 반송을 방해하는 것을 억제할 수 있다. 그러나, 천정 반송차(1)의 주행 위치 등은, 작동 정보로서 천정 반송차(1)로부터 송신되고 있으므로, 제1 제어 장치(H1)는, 조정 대상차로 지정한 천정 반송차(1)의 주행 위치를 알 수 있다. 따라서, 제2 경로(L2)로 분기하기 전에 제1 경로(L1)를 조정 대상차가 주행하고 있는 것을 파악한 데 더하여, 다른 천정 반송차(1)에 반송 지령을 송신하는 것도 가능하다. 따라서, 조정 대상차의 통신 제어부(10)는, 상기 조정 대상차가 제2 경로(L2)로 진입하기 전에, 통신 대상처를 전환해도 된다. 예를 들면, 통신 제어부(10)는, 이탈 지령을 수신한 것을 조건으로 하여 통신 대상처를 전환해도 되고, 작동 제어부(11)가 제2 경로(L2)에 대한 진로 변경을 개시한 것을 조건으로 하여 통신 대상처를 전환해도 된다.
(6) 상기에 있어서는, 조정용 유닛(C)이 단체(單體)로 조정용 장치를 구성하고, 조정용 유닛(C)의 유닛 제어부(17)가 반송용 프로파일을 연산하는 형태를 예시하였다. 그러나, 제2 영역(E2)에 배치되는 조정용 장치는, 조정용 유닛(C)과, 지상 측에 고정적으로 설치된 조정용 제어 장치(도시하지 않음)를 조합시켜 구성되어 있어도 된다. 그리고, 이 경우, 조정용 유닛(C)과 조정용 제어 장치는 무선 통신하는 것이 바람직하다.
(7) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시된 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變)을 행할 수 있다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
일 태양으로서, 전술한 문제를 해결하기 위하여 물품 반송 설비는,
천정에 설치된 주행 레일과, 상기 주행 레일을 따라 지상 측에 설치된 복수의 탑재대와, 상기 주행 레일에 현수 지지되어 상기 주행 레일에 의해 형성된 주행 경로를 따라 주행하고, 반송원으로 되는 상기 탑재대로부터 반송처로 되는 상기 탑재대로 물품을 반송하는 물품 반송차를 구비한 물품 반송 설비로서,
상기 물품 반송차에 의해 상기 물품이 반송되는 제1 영역과,
상기 제1 영역과는 다른 영역에 설치되고, 상기 물품 반송차의 조정이 행해지는 제2 영역과,
상기 제2 영역에 설치된 조정용 장치와,
상기 제1 영역에서의 상기 물품 반송차의 작동을 제어하는 제1 제어 장치와,
상기 제2 영역에서의 상기 물품 반송차의 작동을 제어하는 제2 제어 장치
를 포함하고,
상기 주행 경로는, 상기 제1 영역에 설치된 제1 경로와, 상기 제1 경로에 대하여 분기 및 합류하는 동시에 상기 제2 영역에 설치된 제2 경로를 포함하고,
상기 물품 반송차는, 적어도 상기 제1 제어 장치 및 상기 제2 제어 장치와 배타적으로 무선 통신이 가능한 통신 제어부와, 상기 제1 제어 장치 및 상기 제2 제어 장치로부터의 지령에 기초하여 상기 물품 반송차를 자율 제어에 의해 작동시키는 작동 제어부와, 각각의 탑재대에 있어서 상기 물품을 이송탑재하기 위한 위치 정보를 적어도 포함하는 반송용 프로파일 정보를 기억하는 프로파일 기억부를 구비하고,
상기 제1 제어 장치는, 상기 물품 반송차를 작동시키기 위한 작동 지령을 상기 물품 반송차에 부여하고,
상기 작동 지령에는, 상기 물품을 반송시키는 물품 반송 지령과, 상기 물품 반송차를 상기 제1 영역으로부터 상기 제2 영역으로 이탈시키는 이탈 지령을 적어도 포함하고,
상기 이탈 지령에 기초하여, 조정이 필요한 상기 물품 반송차인 조정 대상차의 상기 작동 제어부는, 상기 이탈 지령에 기초하여 상기 물품 반송차를 상기 제2 경로로 진입시켜, 상기 조정 대상차의 상기 통신 제어부는, 통신 대상처를 상기 제1 제어 장치로부터 상기 제2 제어 장치로 변경하고,
상기 조정 대상차의 상기 작동 제어부는, 상기 제2 제어 장치로부터의 조정 지령에 응답하여 상기 조정용 장치를 사용하여 조정 작동을 행하는 동시에 상기 반송용 프로파일 정보를 갱신하고,
상기 조정 대상차의 상기 통신 제어부는, 상기 반송용 프로파일 정보가 갱신된 후, 통신 대상처를 상기 제2 제어 장치로부터 상기 제1 제어 장치로 변경한다.
이 구성에 의하면, 물품이 반송되는 제1 영역과, 물품 반송차의 조정이 행해지는 제2 영역으로 물품 반송 설비의 영역이 분할되고, 또한 각각의 영역에 있어서 물품 반송차를 제어하는 제1 제어 장치와 제2 제어 장치가 독립적으로 설치되어 있다. 이로써, 물품의 반송에 영향을 주지 않고, 독립적으로 효율적으로 물품 반송차의 조정을 행할 수 있다. 또한, 제1 제어 장치와 물품 반송차와의 사이, 및 제2 제어 장치와 물품 반송차와의 사이에서는, 무선 통신이 행해지므로, 통신 배선 등의 접속을 고려하지 않고, 2개의 영역에 있어서 물품 반송차의 작동을 제어할 수 있다. 또한, 물품 반송차는, 제1 제어 장치 및 제2 제어 장치와 배타적으로 무선 통신을 행하므로, 복수의 통신 수단이나 통신 채널을 가지고 있지 않아도, 혼신이 억제된다.
또한, 이탈 지령을 받은 후에, 조정 대상차의 통신 대상처가 제1 제어 장치로부터 제2 제어 장치로 전환되므로, 제1 영역에서의 물품의 반송을 방해하지도 않는다. 그리고, 통신 제어부는, 이탈 지령에만 기초하여 통신 대상처를 전환해도 되고, 작동 제어부가 조정 대상차를 제2 경로로 진입시킨 후에, 통신 대상처를 전환해도 된다. 후자의 경우, 제1 제어 장치에 의한 제어 대상이 아니었던 물품 반송차가 제1 영역에 머물지 않는다. 따라서, 더욱 확실하게 제1 영역에서의 물품의 반송을 방해하는 것이 억제된다. 제2 영역에 있어서, 조정 대상차는, 제2 제어 장치의 조정 지령에 따라 조정 작동을 행하고, 반송용 프로파일 정보를 갱신한다. 작업자가 조정 작업에 종사하지 않기 때문에, 조정의 리드 타임이 단축되어, 작업자의 수고도 삭감된다. 조정이 완료된 조정 대상차가, 통신 대상처를 제2 제어 장치로부터 제1 제어 장치로 변경하면, 상기 조정 대상차는 통상의 물품 반송차로서 제1 제어 장치에 의한 제어에 따라 신속히 제1 영역으로 복귀하여, 물품을 반송할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에 의하면, 물품 반송 설비 전체의 가동율의 저하를 억제하면서, 효율적으로 물품 반송차의 조정이 가능해진다.
여기서, 일 태양으로서, 물품 반송 설비가, 각각의 물품 반송차의 과거의 작동 상황을 가동 정보로서 축적하는 설비 감시 장치를 더 포함하고, 상기 설비 감시 장치가, 각각의 물품 반송차의 반송 횟수 및 주행 시간을 적어도 포함하는 작동 상황의 정보를 순차 취득하고, 상기 가동 정보에 기초하여 조정이 필요한 상기 물품 반송차를 상기 조정 대상차로서 선정하는 동시에, 이 선정 결과를 상기 제1 제어 장치에 부여하고, 상기 제1 제어 장치가, 상기 선정 결과에 기초하여, 상기 조정 대상차에 상기 이탈 지령을 부여하는 것이 바람직하다.
물품 반송차의 조정은, 예를 들면, 기간을 정해 실시되는 정기 점검 등의 시에 실시할 수도 있다. 그러나, 각각의 물품 반송차의 가동율의 차이나, 개체차 등에 의해, 정기 점검보다도 빨리 조정을 필요로 하는 경우도 있다. 그러나, 정기 점검의 주기를 짧게 하면, 물품 반송 설비의 가동율이 저하된다. 상기 구성에 의하면, 적절한 시기에 적절한 물품 반송차에 대하여 조정을 실시할 수 있다.
일 태양으로서, 상기 물품 반송차는, 상기 주행 경로를 따라 주행하는 주행부와, 상기 주행부에 지지되고 또한 상기 물품을 현수 지지하는 지지부와, 상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강 시키는 승강 구동부를 구비하고, 상기 지지부는, 상기 제2 영역에 있어서, 상기 물품 대신에 상기 조정용 장치를 현수 지지하고, 상기 조정용 장치는, 상기 승강 구동부에 의해 승강될 때 조정용 데이터를 취득하고, 상기 조정 대상차에 대응하는 상기 반송용 프로파일 정보를 연산하고, 상기 반송용 프로파일 정보를 상기 조정 대상차에 전달하는 것이 바람직하다.
물품 반송차가 반송 대상의 물품과 마찬가지로, 지지부에 의해 조정용 장치를 지지하고, 승강 구동부에 의해 조정용 장치를 지지한 지지부를 승강 시킴으로써, 실제로 물품을 이송탑재할 때와 마찬가지의 상황을 재현할 수 있다. 조정용 장치가, 실제의 운용에 맞은 조정용 데이터를 취득함으로써, 정밀도가 양호한 반송용 프로파일 정보를 연산할 수 있다.
여기서, 또한 상기 제2 영역은, 상기 탑재대에 상기 물품을 탑재하는 형태와 같은 형태로 상기 조정용 장치를 탑재 가능한 조정용 탑재면을 가지는 조정용 탑재대를 구비하고, 상기 제2 영역에 있어서, 상기 조정용 장치는, 2개 이상의 상이한 높이의 상기 조정용 탑재면에 탑재되고, 상기 조정용 탑재면의 각각으로부터 승강될 때 상기 조정용 데이터를 취득하는 것이 바람직하다.
물품 반송차의 주행 경로 상의 정지 위치에 한정되지 않고, 지지부의 상하 방향의 위치도 물품 반송차마다 개체차나 시간 경과에 따른 변화가 생기는 경우가 있다. 물품이 탑재되는 탑재대의 지상으로부터의 높이는, 일정한 것에는 한정되지 않는다. 상이한 높이의 조정용 탑재면에 조정용 장치가 탑재되는 것에 의해, 조정용 장치는, 복수의 높이에 대하여 지지부가 승강할 때의 조정용 데이터를 취득할 수 있다. 따라서, 또한 실제의 운용에 적합한 조정이 가능해진다.
또한, 상이한 높이의 상기 조정용 탑재면을 각각 구비한 2개 이상의 상기 조정용 탑재대가, 상기 제2 경로를 따라 배치되고, 상기 조정 대상차는, 상기 제2 경로를 따라 이동하는 동시에, 상이한 상기 조정용 탑재대의 사이에서 상기 조정용 장치를 이송탑재하고, 상기 조정용 장치는, 복수의 상기 조정용 탑재대마다 상기 조정용 데이터를 취득하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 물품에 대신하는 조정용 장치를 이송탑재하는 동작을, 주행 경로를 이동하면서 순차적으로 행함으로써, 효율적으로, 상이한 조건의 이송탑재, 및 반송 조건을 만족시키면서, 조정용 장치가 조정용 데이터를 취득할 수 있다. 즉, 이 구성에 의하면, 복수의 조건에 대응한 조정을 효율적으로 실시할 수 있다.
또한, 상기 조정용 탑재대가, 지상으로부터의 높이가 높은 순서로, 또는 낮은 순서로, 상기 제2 경로를 따라 배치되어 되어 있는 것이 바람직하다.
일반적으로는, 1개의 조정용 탑재대에 대한 조정용 장치의 이송탑재가 완료되면, 승강 구동부에 의해 승강되는 지지부는, 일반적으로 기준 위치로 복귀한다. 그러나, 지지부를 기준 위치로 복귀시키지 않고, 연속하여 상이한 조정용 탑재대로의 이송탑재를 행하는 것도 가능하다. 이와 같은 경우, 조정용 탑재대가 지상으로부터의 높이의 순으로 정렬되어 있으면, 승강 구동부에 의해 승강되는 지지부가 상하 방향으로 이동하는 이동량을 억제할 수 있어, 조정 시간을 단축할 수 있다. 즉, 이 구성에 의하면, 또한 효율적으로, 상이한 조건의 이송탑재, 및 반송 조건을 만족시키면서, 조정용 장치가 조정용 데이터를 취득할 수 있다.
또한, 상기 조정용 탑재면의 지상으로부터의 높이는, 상기 탑재대의 지상으로부터의 높이에 대응하는 높이인 것이 바람직하다.
조정용 탑재면의 지상으로부터의 높이가, 실제로 물품이 탑재되는 탑재대의 지상으로부터의 높이에 대응하고 있으면, 실제의 사용 형태에 준한 형태로 조정을 행할 수 있다. 그 결과, 실제의 운용에 적합한 적절한 조정이 가능해진다.
1 : 천정 반송차(물품 반송차)
2 : 처리 장치
3 : 지지대(탑재대)
4 : 검사 테이블(조정용 탑재대)
4a : 제1 검사 테이블(조정용 탑재대)
4b : 제2 검사 테이블(조정용 탑재대)
4c : 제3 검사 테이블(조정용 탑재대)
4d : 제4 검사 테이블(조정용 탑재대)
4 n : 제n 검사 테이블(조정용 탑재대)
10 : 통신 제어부
11 : 작동 제어부
12 : 프로파일 기억부
22 : 주행부
24 : 지지 기구(지지부)
25 : 승강 구동부
C : 조정용 유닛(조정용 장치)
E1 : 제1 영역
E2 : 제2 영역
FS : 설비 감시 장치
H1 : 제1 제어 장치
H2 : 제2 제어 장치
L : 주행 경로
L1 : 제1 경로
L2 : 제2 경로
P : 조정용 탑재면
P1 : 제1 조정용 탑재면(조정용 탑재면)
P2 : 제2 조정용 탑재면(조정용 탑재면)
P3 : 제3 조정용 탑재면(조정용 탑재면)
P4 : 제4 조정용 탑재면(조정용 탑재면)
R : 주행 레일
W : 용기(물품)

Claims (7)

  1. 천정에 설치된 주행 레일;
    상기 주행 레일을 따라 지상 측에 설치된 복수의 탑재대;
    상기 주행 레일에 현수(懸垂) 지지되어 상기 주행 레일에 의해 형성된 주행 경로를 따라 주행하고, 반송원(搬送元)으로 되는 상기 탑재대로부터 반송처(搬送處)로 되는 상기 탑재대로 물품을 반송하는 물품 반송차(article transport vehicle);
    상기 물품 반송차에 의해 상기 물품이 반송되는 제1 영역;
    상기 제1 영역과는 다른 영역에 설치되고, 상기 물품 반송차의 조정이 행해지는 제2 영역;
    상기 제2 영역에 설치된 조정용 장치;
    상기 제1 영역에서의 상기 물품 반송차의 작동을 제어하는 제1 제어 장치; 및
    상기 제2 영역에서의 상기 물품 반송차의 작동을 제어하는 제2 제어 장치;
    를 포함하고,
    상기 주행 경로는,
    상기 제1 영역에 설치된 제1 경로; 및
    상기 제1 경로에 대하여 분기 및 합류하는 동시에 상기 제2 영역에 설치된 제2 경로;를 포함하고,
    상기 물품 반송차는,
    적어도 상기 제1 제어 장치 및 상기 제2 제어 장치와 배타적(排他的)으로 무선 통신이 가능한 통신 제어부;
    상기 제1 제어 장치 및 상기 제2 제어 장치로부터의 지령에 기초하여 상기 물품 반송차를 자율 제어에 의해 작동시키는 작동 제어부; 및
    각각의 상기 탑재대에 있어서 상기 물품을 이송탑재(transfer)하기 위한 위치 정보를 적어도 포함하는 반송용 프로파일 정보를 기억하는 프로파일 기억부;를 포함하고,
    상기 제1 제어 장치는, 상기 물품 반송차를 작동시키기 위한 작동 지령을 상기 물품 반송차에 부여하고,
    상기 작동 지령에는, 상기 물품을 반송시키는 물품 반송 지령과, 상기 물품 반송차를 상기 제1 영역으로부터 상기 제2 영역으로 이탈시키는 이탈 지령을 적어도 포함하고,
    조정이 필요한 상기 물품 반송차인 조정 대상차의 상기 작동 제어부는, 상기 이탈 지령에 기초하여 상기 물품 반송차를 상기 제2 경로로 진입시키고,
    상기 조정 대상차의 상기 통신 제어부는, 상기 이탈 지령에 기초하여, 통신 대상처를 상기 제1 제어 장치로부터 상기 제2 제어 장치로 변경하고,
    상기 조정 대상차의 상기 작동 제어부는, 상기 제2 제어 장치로부터의 조정 지령에 응답하여 상기 조정용 장치를 사용하여 조정 작동을 행하는 동시에 상기 반송용 프로파일 정보를 갱신하고,
    상기 조정 대상차의 상기 통신 제어부는, 상기 반송용 프로파일 정보가 갱신된 후, 통신 대상처를 상기 제2 제어 장치로부터 상기 제1 제어 장치로 변경하는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    각각의 상기 물품 반송차의 과거의 작동 상황을 가동(稼動) 정보로서 축적하는 설비 감시 장치를 더 포함하고,
    상기 설비 감시 장치는, 적어도 각각의 상기 물품 반송차의 반송 횟수 및 주행 시간을 포함하는 작동 상황의 정보를 순차 취득하고, 상기 가동 정보에 기초하여 조정이 필요한 상기 물품 반송차를 상기 조정 대상차로서 선정하는 동시에, 상기 선정 결과를 상기 제1 제어 장치에 부여하고,
    상기 제1 제어 장치는, 상기 선정 결과에 기초하여, 상기 조정 대상차에 상기 이탈 지령을 부여하는, 물품 반송 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 물품 반송차는,
    상기 주행 경로를 따라 주행하는 주행부;
    상기 주행부에 지지되고 또한 상기 물품을 현수 지지하는 지지부; 및
    상기 주행부가 정지한 상태에서 상기 지지부를 상기 주행부에 대하여 승강 시키는 승강 구동부;를 포함하고,
    상기 지지부는, 상기 제2 영역에 있어서, 상기 물품 대신에 상기 조정용 장치를 현수 지지하고,
    상기 조정용 장치는, 상기 승강 구동부에 의해 승강될 때 조정용 데이터를 취득하고, 상기 조정 대상차에 대응하는 상기 반송용 프로파일 정보를 연산하고, 상기 반송용 프로파일 정보를 상기 조정 대상차에 전달하는, 물품 반송 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 영역은, 상기 탑재대에 상기 물품을 탑재하는 형태와 같은 형태로 상기 조정용 장치를 탑재 가능한 조정용 탑재면을 가지는 조정용 탑재대를 구비하고,
    상기 제2 영역에 있어서, 상기 조정용 장치는, 2개 이상의 상이한 높이의 상기 조정용 탑재면에 탑재되고, 상기 조정용 탑재면의 각각으로부터 승강될 때 상기 조정용 데이터를 취득하는, 물품 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상이한 높이의 상기 조정용 탑재면을 각각 구비한 2개 이상의 상기 조정용 탑재대가, 상기 제2 경로를 따라 배치되고, 상기 조정 대상차는, 상기 제2 경로를 따라 이동하는 동시에, 상이한 상기 조정용 탑재대의 사이에서 상기 조정용 장치를 이송탑재하고,
    상기 조정용 장치는, 복수의 상기 조정용 탑재대마다 상기 조정용 데이터를 취득하는, 물품 반송 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 조정용 탑재대는, 지상으로부터의 높이가 높은 순서로, 또는 낮은 순서로, 상기 제2 경로를 따라 배치되어 있는, 물품 반송 설비.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 조정용 탑재면의 지상으로부터의 높이는, 상기 탑재대의 지상으로부터의 높이에 대응하는 높이인, 물품 반송 설비.
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11515186B2 (en) * 2017-11-02 2022-11-29 Murata Machinery, Ltd. Ceiling conveyance vehicle system and temporary storage method for articles in ceiling conveyance vehicle system
KR102203374B1 (ko) * 2018-05-28 2021-01-18 세메스 주식회사 이송 장치와 이송 장치의 위치 인식 방법
CN110550053A (zh) * 2018-05-30 2019-12-10 上海地捷科技有限公司 分合式车辆的一种分合、存取的系统与方法
JP7052611B2 (ja) * 2018-07-13 2022-04-12 株式会社ダイフク 物品仕分け設備
JP7305258B2 (ja) * 2018-07-18 2023-07-10 株式会社ディスコ 搬送システム
KR102590124B1 (ko) * 2018-09-27 2023-10-17 무라다기카이가부시끼가이샤 제어 방법, 반송 시스템, 및 통신 디바이스
US20220144557A1 (en) * 2019-03-22 2022-05-12 Murata Machinery, Ltd. Transfer vehicle system
US11819965B2 (en) * 2019-05-17 2023-11-21 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Device maintenance in semiconductor manufacturing environment
JP7192732B2 (ja) * 2019-09-27 2022-12-20 株式会社ダイフク 位置関係検出システム
CN112644984A (zh) * 2019-10-10 2021-04-13 松下知识产权经营株式会社 控制方法、控制系统、输送装置及部件安装系统
JP7059999B2 (ja) * 2019-11-06 2022-04-26 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7408234B2 (ja) * 2019-11-20 2024-01-05 株式会社ディスコ 搬送車及び搬送システム
CN111285048B (zh) * 2020-02-28 2022-03-18 歌尔股份有限公司 一种线性传送系统及其控制方法
JP7294224B2 (ja) * 2020-04-22 2023-06-20 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN113353794B (zh) * 2021-06-04 2022-06-24 中交二航局第二工程有限公司 一种可水平弯折的无缝连接轨道
KR102525355B1 (ko) * 2022-10-11 2023-04-26 주식회사 택트레이서 이송 장치
CN118248608B (zh) * 2024-05-28 2024-07-23 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 自动化物料搬送系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010087358A (ja) * 2008-10-01 2010-04-15 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びズレ検出用治具

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59180610A (ja) * 1983-03-30 1984-10-13 Daifuku Co Ltd 自走搬送台車の制御方法
JP4296914B2 (ja) 2003-12-08 2009-07-15 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
JP2007041687A (ja) * 2005-08-01 2007-02-15 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
JP5266683B2 (ja) * 2007-08-03 2013-08-21 村田機械株式会社 搬送システム、及び該搬送システムにおける教示方法
JP5110405B2 (ja) * 2010-04-07 2012-12-26 村田機械株式会社 走行台車システム
AT514710B1 (de) * 2013-08-27 2015-06-15 Tgw Logistics Group Gmbh Automatisches Regallagersystem mit unabhängig voneinander verfahrbaren Förderfahrzeugen, sowie Verfahren hierzu
JP6332147B2 (ja) * 2015-05-28 2018-05-30 株式会社ダイフク 物品取扱設備
JP6478878B2 (ja) * 2015-09-01 2019-03-06 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板搬送方法並びに基板搬送プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010087358A (ja) * 2008-10-01 2010-04-15 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びズレ検出用治具

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Publication number Publication date
KR20170068395A (ko) 2017-06-19
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