JP6332147B2 - 物品取扱設備 - Google Patents

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Description

本発明は、物品を搬送又は保管する物品取扱装置と、前記物品取扱装置の作動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記物品取扱装置の作動状態に係る情報である状態情報を収集し、当該状態情報に基づく通知情報を、前記物品取扱装置の作動状態を管理する管理装置に送信するように構成された物品取扱設備に関する。
従来、特開２００１−３２５９９４号公報（特許文献１）に示されるように、物品取扱装置が正常に稼動しているか否かを管理装置で管理する物品取扱設備がある。このような物品取扱設備では、物品取扱装置に異常が起こったことを検知することで、物品取扱装置に対して異常時用作動を指令する等、当該物品取扱装置を備える設備を正常稼動させるために必要な処置をとることが可能となっている。
特開２００１−３２５９９４号公報
特許文献１の物品取扱設備は、物品取扱装置と管理装置とが通信可能に構成され、物品取扱装置は、自己の状態を管理するとともに、当該物品取扱装置に異常（例えば自己が搭載するバッテリの容量低下等）が発生したときに、異常が生じたことを示す情報を管理装置に送信するように構成されている。
そして、管理装置は、物品取扱装置から受け取った情報に基づいて、物品取扱装置に対して異常時用作動を指令する等の処置を行うようになっている。
ところで、各種の設備において、管理装置によって物品取扱装置の状態を随時把握するために、一定の時間間隔で取得した物品取扱装置の状態に係る状態情報に基づいて生成した通知情報を管理装置に送信して蓄積するように構成したものがある。特許文献１の物品取扱設備では、通知情報を、物品取扱装置の作動に係る詳細な情報としている。このような物品取扱設備では、管理装置は、蓄積した通知情報を解析することによって、物品取扱装置に異常が生じているか否かを判別する。そして、このような物品取扱設備では、物品取扱装置に異常が発生した事実のみではなく、異常発生時の物品取扱装置の状態を知ることができるので、どのような状況の下において物品取扱装置に異常が発生したか等を分析することによって、異常内容を把握することができる。一方、このような物品取扱設備では、管理装置に蓄積した通知情報を解析することで異常発生の有無を検出し、異常内容を把握するため、実際に物品取扱装置に異常が発生してからその異常内容が管理装置で把握されるまでにタイムラグが発生する虞がある。
また、物品取扱装置の異常がいつ発生するかは不明であるため、上記のような状態情報は、物品取扱装置が稼働している間継続して管理装置に送らなければならない。このため、物品取扱装置と管理装置との間の通信トラヒックが大きくなって通信回線に輻輳が生じる虞がある。このような状況は、物品取扱装置を複数備える設備である場合においては更に顕著となる。通信トラヒックを低減するために、物品取扱装置から管理装置に状態情報を送信する時間間隔を長く設定することによって、通信の頻度を少なくすることも考えられるが、このような構成とすると、異常が発生した事実や異常内容の把握までのタイムラグがさらに長くなる虞がある。
そこで、物品取扱装置と管理装置との間の通信トラヒックの増加を抑制しながら、管理装置が物品取扱装置の異常内容を極力早く把握可能な物品取扱設備が望まれる。
本発明に係る物品取扱設備は、物品を搬送又は保管する物品取扱装置と、前記物品取扱装置の作動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記物品取扱装置の作動状態に係る情報である状態情報を収集し、当該状態情報に基づく通知情報を、前記物品取扱装置の作動状態を管理する管理装置に送信するように構成されたものであって、
前記制御部は、前記状態情報に基づいて前記物品取扱装置が正常状態であるか異常状態であるかを判別するとともに、前記物品取扱装置が正常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が正常状態であることを示す正常判別情報からなる、又は、前記状態情報に基づいて生成される正常時情報と前記正常判別情報とからなる正常通知情報を前記管理装置に送信し、前記物品取扱装置が異常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が異常状態であることを示す異常判別情報と、前記状態情報に基づいて生成され、データ量及びデータ項目の少なくとも一方が前記正常時情報よりも多い異常時情報とからなる異常通知情報を前記管理装置に送信するように構成されている点を特徴とする。
制御部は、物品取扱装置が正常状態であると判別した場合に、物品取扱装置が正常状態であることを示す正常判別情報を含む正常通知情報を物品取扱装置の作動状態を管理する管理装置に送信するから、管理装置は、正常通知情報に含まれる正常判別情報に基づいて、物品取扱装置が正常状態であることを把握することができる。
また、制御部は、物品取扱装置が異常状態であると判別した場合に、物品取扱装置が異常状態であることを示す異常判別情報を含む異常通知情報を物品取扱装置の作動状態を管理する管理装置に送信するから、管理装置は、異常通知情報に含まれる異常判別情報に基づいて、物品取扱装置が異常状態であることを把握することができる。
物品取扱装置が異常状態となった場合、当該物品取扱装置が異常状態であることを示す異常判別情報に加えて、物品取扱装置の作動に係る詳細な情報である異常時情報を管理装置に送信する。管理装置は、制御部から送信された異常時情報に基づいて、例えば物品取扱装置の状態の時間的な遷移を分析する等して、発生した異常状態の内容を把握することが可能となる。
また、本特徴構成によれば、制御部が、異常時情報のみでなく異常判別情報を管理装置に送信するから、異常時情報に基づいて管理装置が物品取扱装置の異常状態であるか否かを判別するような構成に比べて、早期に物品取扱装置が異常状態であることを把握することができる。
一方、物品取扱装置が正常状態である場合は、例えば、正常通知情報として、正常判別情報のみを送信したり、正常通知情報として、異常時情報よりも小さい正常時情報と正常判別情報とからなるものを送信したりとすることで、トラヒックの増加を抑制しながらも管理装置は、物品取扱装置が正常状態であることを的確に把握することができる。
このように、本特徴構成によれば、物品取扱装置と管理装置との間の通信トラヒックの増加を抑制しながら、管理装置が物品取扱装置の異常内容を極力早く把握可能な物品処理設備を実現できる。
本発明に係る物品取扱設備においては、前記制御部は、一定時間内に収集した前記状態情報である期間状態情報に基づいて、前記データ量及びデータ項目の少なくとも一方が前記期間状態情報よりも少ないサマリー情報を生成するサマリー情報生成処理を前記一定時間間隔ごとに繰り返し実行し、 前記正常通知情報として、前記正常判別情報及び前記サマリー情報を前記管理装置に送信し、前記異常通知情報として、前記異常判別情報及び前記期間状態情報を前記管理装置に送信するように構成されていることが好ましい。
すなわち、期間状態情報を管理装置が当該異常状態の発生状況を解析したり異常状態発生時の物品取扱装置の状態を把握したりするために十分な量の情報とし、異常通知情報を、異常判別情報と期間状態情報からなる情報とすることで、管理装置は、物品取扱装置が異常状態となった場合に、制御部から送信された異常通知情報に基づいて物品取扱装置の異常状態の把握等を的確に行えるものとなる。
また、正常通知情報を、正常判別情報とデータ量及びデータ項目の少なくとも一方が期間状態情報よりも少ないサマリー情報とからなる情報とすることで、物品取扱装置が正常状態である場合に管理装置がその正常状態を把握できると同時に、物品取扱装置と管理装置との間の通信トラヒックの増加を的確に抑制することができる。
このように、物品取扱装置と管理装置との間の通信トラヒックの増加を抑制しながら、管理装置が物品取扱装置の異常内容を極力早く把握可能な物品処理設備を実現できる。
本発明に係る物品取扱設備においては、前記制御部は、前記物品取扱装置が正常状態であると判別している間、前記正常通知情報を、前記管理装置に対して第１設定時間間隔ごとに繰り返し送信するように構成され、前記物品取扱装置が異常状態であると判別している間、前記異常通知情報を、前記管理装置に対して第１設定時間間隔よりも短い第２設定時間間隔ごとに繰り返し送信するように構成されていることが好ましい。
すなわち、制御部は、物品取扱装置が正常状態である場合に正常通知情報を管理装置に繰り返し送信する第１設定時間間隔よりも、物品取扱装置が異常である場合に異常通知情報を管理装置に繰り返し送信する第２設定時間間隔を短くすることによって、管理装置は、物品取扱装置が異常である場合に、その異常内容を時系列的に詳細に把握することができる。
本発明に係る物品取扱設備においては、前記状態情報が、前記物品取扱装置が備える電源装置の出力電圧、前記電源装置の出力電流、及び前記電源装置の温度のいずれか１つ以上に係る情報であり、前記制御部は、前記出力電圧、前記出力電流、及び前記温度のうち少なくとも１つが異常判別用の設定範囲を逸脱した場合に、前記異常状態と判別するように構成されていることが好ましい。
すなわち、物品取扱装置の電源装置に異常が生じた場合、その物品取扱装置の作動を継続させることが好ましくない場合がある。電源装置の状態を示す状態情報としては、主に、電源装置の出力電圧、電源装置の出力電流、及び電源装置の温度が考えられる。本特徴構成によれば、出力電圧、出力電流、及び温度のうち少なくとも１つが異常判別用の設定範囲を逸脱した場合に異常状態と判別することで、電源装置に異常が生じたことを適切に検出することができる。
本発明に係る物品取扱設備においては、前記物品取扱装置が、物品搬送用の移動体であり、前記移動体は、物品を支持自在であって移動経路に沿って移動し、前記制御部は、前記異常時情報として、前記異常時情報を生成する基礎となる前記状態情報を収集した時の前記移動体の位置を示す位置情報を、前記管理装置に送信することが好ましい。
すなわち、物品取扱装置が物品搬送用の移動体であり、当該移動体に異常が生じた場合、移動体が移動経路上で停止する虞がある。そこで、制御部が、異常時情報として、異常時情報を生成する基礎となる状態情報を収集した時の移動体の位置を示す位置情報を管理装置に送信することで、管理装置は、移動体が停止している移動経路上の位置を把握することができるものとなる。
本発明に係る物品取扱設備においては、前記物品取扱装置が物品搬送用の移動体であり、前記移動体は、物品を支持自在であって移動経路に沿って移動し、前記制御部は、前記異常時情報として、前記異常時情報を生成する基礎となる前記状態情報を収集した時に前記移動体が物品を支持していたか否かを示す情報を、前記管理装置に送信することが好ましい。
すなわち、物品取扱装置が、物品を支持して移動経路に沿って移動する物品搬送用の移動体である場合、当該移動体に異常が生じると、移動体が物品を支持したまま停止してしまう虞がる。そこで、制御部が、異常時情報として、異常時情報を生成する基礎となる状態情報を収集した時に移動体が物品を支持していたか否かを示す情報を管理装置に送信することで、管理装置は、移動体が物品を指示しているか否かを把握することができるものとなる。このため、作業者が当該物品を移動体から取り出す等の対処を行うことができ、物品を搬送できないことにより当該物品を出荷できなかったり加工できなかったりすることによる歩留まりの低下を抑制することができる。
半導体処理設備の平面図 天井搬送車の一部切欠側面図 天井搬送車の制御ブロック図 容器保管装置の縦断側面図 容器保管装置の制御ブロック図 制御部が実行する制御のフローチャート
〔第１実施形態〕
以下、図面に基づいて、本発明の物品取扱設備を半導体処理設備に適用した実施形態を説明する。
本実施形態の半導体処理設備には、図１に示すように、複数の半導体基板を収容するＦＯＵＰ等の容器Ｂ（図２参照）を保管する複数の容器保管装置２０と、容器Ｂから取り出した半導体基板に対してフォトリソグラフィーや洗浄、検査等の処理を行う複数の半導体処理装置５０と、それら複数の容器保管装置２０及び複数の半導体処理装置５０との間で容器Ｂを搬送する天井搬送車１０と、が設けられている。図２及び図４に示すように、天井搬送車１０は、半導体工場の天井Ｃから吊り下げて支持された走行レールＴに沿って走行可能に構成されている。
天井搬送車１０は、図２に示すように、走行レールＴ上を走行する走行車輪Ｗ１を備えた走行部１１と、走行部１１に吊り下げて支持された本体部１２とを備えている。
走行部１１は、さらに、走行レールＴの分岐部分において当該走行部１１の進行方向を切換える操向案内輪Ｗ２を備えている。操向案内輪Ｗ２は、図示はしないが、走行レールＴに沿って設けられる案内レールの一対の側面のうち一方に当接し、走行レールＴの分岐部分では、当接する側面を切換えることによって、走行部１１の進行方向を切換えることになる。
また、走行部１１は、走行車輪Ｗ１を回転駆動する走行駆動部Ｍ１と、操向案内輪Ｗ２の位置を切換える操向駆動部Ｍ２とを備えている。
本体部１２は、走行部１１に吊り下げられたカバー部１２Ｃと、カバー部１２Ｃに支持された昇降駆動部Ｍ３によって昇降移動する昇降部１３とを備えている。昇降部１３は、図示は省略するが、容器Ｂの上端に設けられたフランジに係合する把持状態と把持解除状態とに切換え可能な把持部を備えている。走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３は、電力によって駆動するように構成されている。
本実施形態において、天井搬送車１０が物品搬送用の移動体に相当する。すなわち、物品取扱装置が、物品搬送用の天井搬送車１０であり、天井搬送車１０は、物品を支持自在であって移動経路（走行レールＴ）に沿って移動するように構成されている。
なお、上記走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３を駆動させるための電力は、走行レールＴに支持され、走行レールＴに沿って設けられる給電線（図示省略）から供給されるようになっている。
次に、図３に基づいて、天井搬送車１０の制御構成を説明する。
天井搬送車１０は、上述の走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び昇降駆動部Ｍ３のほか、作動に際して電力を必要とする各部に対し適切な電力を供給するための電源装置１０Ｂを備えている。電源装置１０Ｂは、給電線から供給された電力を昇圧又は降圧して所望の電圧値にしたり、給電線から供給された電力を所望の電流値にする等して、電力の供給対象に適切な電圧値又は電流値の電力を出力するようになっている。
また、天井搬送車１０は、走行レールＴにおける自己の位置を検出する位置検出部１０Ｓを備えている。位置検出部１０Ｓは、例えば、走行車輪Ｗ１の回転量を検出するロータリーエンコーダと、走行レールＴに離散的に設けられた位置基準マークを読み取る読み取り部とを備えて構成され、位置基準マークの読み取り位置にロータリーエンコーダにより検出した走行部１１の走行量を加算することで、走行レールＴにおける天井搬送車１０の位置を検出するようになっている。また、位置検出部１０Ｓは、検出した位置を天井搬送車制御部１０Ｈに出力するようになっている。
天井搬送車制御部１０Ｈは、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び、昇降駆動部Ｍ３と相互に通信可能に接続され、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び、昇降駆動部Ｍ３に対し、作動指令を出力することで、それらの作動を制御する。また、天井搬送車制御部１０Ｈは、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び、昇降駆動部Ｍ３の作動状態を監視し、駆動部情報収集用の時間間隔（例えば１０ミリ秒等）でその作動状態に係る情報を取得するようになっている。天井搬送車制御部１０Ｈは、当該情報に基づいて、走行駆動部Ｍ１、操向駆動部Ｍ２、及び、昇降駆動部Ｍ３の作動状態を把握することができる。
また、天井搬送車１０には、電源装置１０Ｂの状態を監視する電源監視部１０Ｄを備えている。電源監視部１０Ｄは、電源装置１０Ｂが出力する電流値、電源装置１０Ｂが出力する電圧値、及び、電源装置１０Ｂの温度の夫々を電源情報収集用の時間間隔（１ミリ秒）で検出し、その計測値を、自己が備えるメモリに蓄積するように構成されている。メモリには、電流値、電圧値、及び温度の計測値を、夫々１０００ミリ秒分、すなわち、１０００回の計測分蓄積している。また、当該メモリにおいては、計測データは古いものから消去され、常に最新の１０００個分のデータが保持されるようになっている。
本実施形態では、上記１秒分の計測値が期間状態情報に相当する。
天井搬送車制御部１０Ｈは、１秒周期で電源監視部１０Ｄにサマリー情報送信要求を行う。電源監視部１０Ｄは、サマリー情報送信要求に対応して、蓄積している電流値、電圧値、及び温度夫々について、下記表１に示すように、１０００個の計測値のうちの最大値、最小値、及び１０００個の計測値の平均値を算出して、天井搬送車制御部１０Ｈに送信する。
Figure 0006332147
また、半導体処理設備には、当該設備における各装置の作動状態を統合的に管理する管理装置Ｋが備えられている。管理装置Ｋは、天井搬送車１０による容器Ｂの搬送スケジュールを管理し、各天井搬送車１０に対し容器Ｂの搬送を指令するように構成されている。
天井搬送車１０には、この管理装置Ｋとの間で情報の送受を行う通信部１０Ｔが設けられている。通信部１０Ｔは、半導体処理設備に設けられる無線基地局との間でデータを通信可能に構成されている。また、無線基地局は、ＬＡＮ等の構内ネットワークを介して管理装置Ｋに接続されている。
本実施形態においては、天井搬送車１０が物品取扱装置に相当し、天井搬送車制御部１０Ｈ及び電源監視部１０Ｄが制御部に相当する。また、上記電源監視部１０Ｄが検出する電流値、電圧値、及び温度の情報（以下、計測生データと称する）が状態情報に相当し、計測値のうちの最大値、最小値、及び１０００個の計測値の平均値がサマリー情報に相当する。
すなわち、物品を搬送する天井搬送車１０と、天井搬送車１０の作動を制御する天井搬送車制御部１０Ｈと、が設けられ、電源監視部１０Ｄは、天井搬送車１０の作動状態に係る情報である状態情報を収集するように構成されている。
天井搬送車制御部１０Ｈは、上記電流値、電圧値、及び温度の計測値に基づく通知情報を、天井搬送車１０の作動状態を管理する管理装置Ｋに送信するように構成されている。
このような半導体処理設備において、天井搬送車１０の電源装置１０Ｂに異常が生じた場合、当該天井搬送車１０が作動しない、又は、作動を継続させることが好ましくない状態となる。そこで、管理装置Ｋは、異常が生じた天井搬送車１０を搬送指令の指令対象から除外する等の処置を行うことになる。
本実施形態では、天井搬送車１０に異常が生じた場合には、その異常状態を管理装置Ｋに通知するために、天井搬送車制御部１０Ｈが、管理装置Ｋに自己の状態情報に基づく正常通知情報又は異常通知情報の送信を行っている。
以下、図６のフローチャートに基づいて、天井搬送車制御部１０Ｈが実行する制御を説明する。
天井搬送車制御部１０Ｈは、電源監視部１０Ｄが収集した電流値、電圧値、及び温度夫々の計測値に基づいてサマリー情報を生成するサマリー情報生成処理を実行する（＃１）。
天井搬送車制御部１０Ｈは、電流値、電圧値、及び温度の夫々について、異常判別用の許容範囲を記憶している。そして、電流値の最大値又は最小値が電流値の許容範囲を逸脱している状態、電圧値の最大値又は最小値が電圧値の許容範囲を逸脱している状態、又は、温度の最大値又は最小値が温度の許容範囲を逸脱している状態のうちの何れかが発生している場合に、電源装置１０Ｂが異常状態であると判別するように構成されている（＃２）。
すなわち、天井搬送車制御部１０Ｈは、電源装置１０Ｂの出力電圧、出力電流、及び温度のうち少なくとも１つが異常判別用の許容範囲を逸脱した場合に、異常状態と判別するように構成されている。
＃２において、異常状態が発生していないと判別した場合（＃２：Ｎｏ）、天井搬送車制御部１０Ｈは、天井搬送車１０が正常であることを示す１バイトの正常フラグを生成する。そして、正常フラグとサマリー情報と電源監視部１０Ｄによる計測生データのうち１００ミリ秒間隔でサンプリングした１０計測分の計測生データを一纏めにした正常通知情報を生成し（＃３）、その正常通知情報を管理装置Ｋに送信する（＃４）。
天井搬送車制御部１０Ｈは、正常時用設定時間間隔として設定されている１秒後に、＃１の処理に復帰する（＃５）。本実施形態では、正常時用設定時間間隔が第１設定時間間隔に相当する。
また、＃２において、異常状態が発生していると判別した場合（＃２：Ｙｅｓ）、天井搬送車制御部１０Ｈは、天井搬送車１０が異常であることを示す１バイトの異常フラグを生成する。そして、異常フラグとサマリー情報と、位置検出部１０Ｓが計測した天井搬送車１０の位置情報と、把持部が物品を保持しているか否かの情報と、電源監視部１０Ｄによる１秒間の計測生データのうち新しい方から５００計測分（０．５秒分）の計測生データと、を一纏めにした異常通知情報を生成し（＃６）、その異常通知情報を管理装置Ｋに送信する（＃７）。
すなわち、天井搬送車制御部１０Ｈは、異常時情報として、異常時情報を生成する基礎となる状態情報を収集した時の天井搬送車１０の位置を示す位置情報と、天井搬送車１０が物品を支持していたか否かを示す情報とを、管理装置に送信するように構成されている。
引き続き、天井搬送車制御部１０Ｈは、管理装置Ｋから天井搬送車１０の電源装置１０Ｂのリレーを切換えて天井搬送車１０への電力の供給を停止させる停止処理を実行させる停止指令が管理装置Ｋから指令されているか否かを判別し（＃８）、停止指令が指令されていると判別すると（＃８：Ｙｅｓ）、当該リレーを切換えて停止処理を実行する（＃１０）。また、停止指令が指令されていないと判別すると（＃８：Ｎｏ）、異常時用設定時間間隔として設定されている０．５秒後に、＃１の処理に復帰する（＃９）。本実施形態では、異常時用設定時間間隔が第２設定時間間隔に相当する。
本実施形態において、正常フラグが正常判別情報に相当し、異常フラグが異常判別情報に相当する。また、正常時情報は、サマリー情報と１０計測分の計測生データとからなり、異常時情報は、位置検出部１０Ｓが計測した天井搬送車１０の位置情報と把持部が物品を保持しているか否かの情報と電源監視部１０Ｄによる５００計測分の計測生データとからなる。
すなわち、天井搬送車制御部１０Ｈは、状態情報に基づいて天井搬送車１０が正常状態であるか異常状態であるかを判別するとともに、天井搬送車１０が正常状態であると判別した場合に、通知情報として、状態情報に基づいて生成される正常時情報と、天井搬送車１０が正常状態であることを示す正常フラグと、からなる正常通知情報を管理装置Ｋに送信し、天井搬送車１０が異常状態であると判別した場合に、通知情報として、天井搬送車１０が異常状態であることを示す異常判別情報と、状態情報に基づいて生成される異常通知情報を管理装置Ｋに送信するように構成されている。
正常通知情報と異常通知情報との夫々のデータの大きさは、下記表２に示すように、異常通知情報の方が正常通知情報よりも大きくなる。なお、下記表２における各データサイズは、同表に例示したサイズに限定されるものではなく、必要なデータの種別や管理装置におけるデータの表現形式（実数型か倍精度実数型か等）によって変更され得るものである。
Figure 0006332147
また、本実施形態では、電源監視部１０Ｄが１秒間の間に収集する計測生データが期間状態情報に相当する。
すなわち、異常時情報は、データ量及びデータ項目が正常時情報よりも多いものであり、さらに、天井搬送車制御部１０Ｈは、一定時間（１回の正常時用設定時間間隔が経過する時間）内に収集した状態情報である期間状態情報に基づいて、データ量が前記期間状態情報よりも少ないサマリー情報を生成するサマリー情報生成処理を一定時間間隔ごとに繰り返し実行し、正常通知情報として、正常判別情報及びサマリー情報を管理装置Ｋに送信し、異常通知情報として、異常判別情報及び期間状態情報を管理装置Ｋに送信するように構成されている。
また、天井搬送車制御部１０Ｈは、天井搬送車１０が正常状態であると判別している間、正常通知情報を、管理装置Ｋに対して第１設定時間間隔（１秒）ごとに繰り返し送信するように構成され、天井搬送車１０が異常状態であると判別している間、異常通知情報を、管理装置Ｋに対して第１設定時間間隔（１秒）よりも短い第２設定時間間隔（０．５秒）ごとに繰り返し送信するように構成されている。
〔第２実施形態〕
以下、第２実施形態を説明するが、第２実施形態は、第１実施形態において物品取扱装置を容器保管装置２０とした点のみが相違するものであるので、重複する点の説明は省略し、以下相違する点のみについて説明を加える。
容器保管装置２０は、図４に示すように、上下方向に沿う壁体２１で包囲された内部空間Ｙの内部に、容器Ｂを支持する複数の支持部２１Ｑを横方向及び上下方向に複数並べて供え、支持部２１Ｑにおける出し入れ方向前面側に、支持部２１Ｑとの間で容器Ｂを授受可能な移載装置３５を備えたスタッカークレーン３０を備えている。
スタッカークレーン３０は、上記横方向に沿って床面に設置された走行レールＲ上を走行する走行台車３１と、走行台車３１に立設された昇降マスト３２と、昇降マスト３２に沿って昇降する昇降体３３と、を備え、移載装置３５は昇降体３３に支持されており、複数の支持部２１Ｑの夫々、又は、後述するコンベヤ２０Ｃの内部空間Ｙ側端部の前面に移動して、支持部２１Ｑ又はコンベヤ２０Ｃとの間で容器Ｂを移載するように構成されている。
壁体２１の一部には開口が設けられ、かつ、当該開口を開閉するオートドア２０Ａが設けられている。そして、容器Ｂを、開口を介して容器保管装置２０の内部空間Ｙと外部空間Ｇとに亘って搬送するコンベヤ２０Ｃが設けられている。なお、本実施形態では、コンベヤ２０Ｃとして、天井搬送車１０との間で容器Ｂを授受する上方側コンベヤＶ２と、作業者が搬送する容器Ｂを授受する下方側コンベヤＶ１とが設けられている。
また、容器保管装置２０には、内部空間Ｙでの不純物粒子の浮遊を抑制するため、内部空間Ｙの上方から下方に向かう空気流を形成するためのファンユニット２０Ｆ（上方側ファンユニット２０Ｆ１及び下方側ファンユニット２０Ｆ２）が設けられている。さらに、容器保管装置２０には、内部空間Ｙの温度を検出する庫内温度センサ２０Ｓが取り付けられている。
次に、図５に基づいて、容器保管装置２０の制御構成を説明する。
容器保管装置２０において、スタッカークレーン３０、コンベヤ２０Ｃ、オートドア２０Ａ、ファンユニット２０Ｆ、及び庫内温度センサ２０Ｓ等は、電力によって作動するように構成され、容器保管装置２０は、これらに対し適切な電圧で電力を供給するための電源装置２０Ｂを備えている。
また、本容器保管装置２０には、電源装置２０Ｂによる電力の供給状態を監視する電源監視部２０Ｄが設けられている。電源監視部２０Ｄは、電源装置２０Ｂが出力する電圧、及び、電源装置２０Ｂの温度を検出し、保管装置制御部２０Ｈの情報送信要求に応じて、その検出結果を保管装置制御部２０Ｈに出力するようになっている。
保管装置制御部２０Ｈは、スタッカークレーン３０、コンベヤ２０Ｃ、オートドア２０Ａ、ファンユニット２０Ｆ、及び庫内温度センサ２０Ｓと相互に通信可能に接続、スタッカークレーン３０、コンベヤ２０Ｃ、オートドア２０Ａ、及びファンユニット２０Ｆに対し、作動指令を出力することで、それらの作動を制御する。また、保管装置制御部２０Ｈは、スタッカークレーン３０、コンベヤ２０Ｃ、オートドア２０Ａ、及びファンユニット２０Ｆの作動状態を監視し、駆動部情報収集用の時間間隔（例えば１０ミリ秒等）でその作動状態に係る情報を取得するようになっている。保管装置制御部２０Ｈは、当該情報に基づいて、スタッカークレーン３０、コンベヤ２０Ｃ、オートドア２０Ａ、及びファンユニット２０Ｆの作動状態を把握することができる。
また、容器保管装置２０には、管理装置Ｋとの間で情報の送受を行う通信部２０Ｔが設けられている。管理装置Ｋは、容器保管装置２０における容器Ｂの入出庫スケジュールを管理し、容器保管装置２０に対し容器Ｂの入出庫を指令するように構成されている。通信部２０ＴはＬＡＮ等の構内ネットワークを介して管理装置Ｋと通信可能に構成されている。
本実施形態においては、容器保管装置２０が物品取扱装置に相当し、保管装置制御部２０Ｈ及び電源監視部２０Ｄが制御部に相当する。また、上記電源監視部２０Ｄが検出する電流値、電圧値、及び温度の情報（以下、計測生データと称する）が状態情報に相当し、計測値のうちの最大値、最小値、及び１０００個の計測値の平均値がサマリー情報に相当する。
保管装置制御部２０Ｈは、上記電流値、電圧値、及び温度の計測値に基づく通知情報を、容器保管装置２０の作動状態を管理する管理装置Ｋに送信するように構成されている。
このような半導体処理設備において、容器保管装置２０の電源装置２０Ｂに異常が生じた場合、当該容器保管装置２０が作動しない、又は、作動を継続させることが好ましくない状態となる。そこで、管理装置Ｋは、異常が生じた容器保管装置２０を入庫対象としての搬送先から除外する等の処置を行うことになる。
本実施形態では、容器保管装置２０に異常が生じた場合には、その異常状態を管理装置Ｋに通知するために、保管装置制御部２０Ｈが、管理装置Ｋに自己の状態情報に基づく正常通知情報又は異常通知情報の送信を行っている。保管装置制御部２０Ｈが実行する制御は、第１実施形態において図６のフローチャートに基づいて説明したものと同一である。
〔別実施形態〕
（１）上記第１及び第２実施形態においては、第１設定時間を１秒間隔で管理装置Ｋに送信し、かつ、異常通知情報を０．５秒間隔で管理装置Ｋに送信するように構成したが、正常通知情報の送信時間間隔及び異常通知情報の送信時間間隔は、上記の時間に限定されるものではなく、正常通知情報の送信時間間隔が異常通知情報の送信時間間隔よりも長ければ時間間隔は任意に設定可能である。
また、正常通知情報の送信時間間隔と異常通知情報の送信時間間隔とを同じとしてもよい。この場合、正常通知情報は装置が正常に作動していることを示す情報のみとし、異常通知情報は、装置の作動が異常であることを示す情報に加えて、異常発生時の装置の状態を示す各種の情報を付加した情報としてもよい。このようにすることで、物品取扱装置が正常に作動している状態においては、管理装置Ｋに送信する情報のトラヒックを極力削減するとともに、物品取扱装置に異常が生じている状態においては、管理装置Ｋに対して必要な情報を送信することができる。
（２）上記第１及び第２実施形態においては、正常通知情報として正常フラグ（正常判別情報）と正常時情報（サマリー情報）とを管理装置Ｋに送信する構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、正常通知情報として正常フラグ（正常判別情報）のみを管理装置Ｋに送信する構成としてもよい。
（３）物品を搬送又は保管する物品取扱装置として、上記第１実施形態では天井搬送車１０を例示し、上記第２実施形態では容器保管装置２０を例示したが、物品取扱装置は、天井搬送車１０及び容器保管装置２０に限定されない。例えば、ローラーコンベヤ等の固定設置型搬送装置や、フォトリソグラフィー装置、洗浄装置、検査装置等の半導体処理装置を物品取扱装置としてもよい。
さらに、上記実施形態では、物品取扱装置として、半導体処理設備において物品（容器Ｂ）を取り扱う装置を示したが、管理装置によって物品取扱装置の作動を管理する設備であれば、半導体処理設備以外の設備に適用してもよい。
（４）上記第１及び第２実施形態では、状態情報を、電源監視部１０Ｄ、２０Ｄが出力する電源装置１０Ｂ、２０Ｂにかかる作動状態情報とする例を示したが、状態情報として、電源装置１０Ｂ、２０Ｂにかかる作動状態情報以外の情報を含んでもよい。例えば、天井搬送車１０に関しては、走行駆動部Ｍ１に備えられるネガティブブレーキの作動状態、操向駆動部Ｍ２の切換位置、昇降駆動部Ｍ３のネガティブブレーキの作動状態等を示す情報を含んでもよい。また、容器保管装置２０においては、スタッカークレーン３０の移載装置の作動状態やオートドア２０Ａの開閉状態を示す情報を含んでもよい。
（５）上記第１及び第２実施形態では、電源情報収集用の時間間隔を１ミリ秒とする例を示したが、電源情報収集用の時間間隔は上記の１ミリ秒に限定されるものではなく、１ミリ秒よりも長い時間間隔としても短い時間間隔としてもよい。また、メモリには、電流値、電圧値、及び温度の計測値を、夫々１０００回の計測分蓄積する例を示したが、メモリに蓄積する計測値の個数は任意に変更可能である。また、上記第１及び第２実施形態では、メモリに蓄積する計測値を古いものから消去するように構成したが、例えば古い計測値を物品取扱装置に備えるハードディスク等に保存する構成としてもよい。
（６）上記第１及び第２実施形態では、第１設定時間間隔を１秒とし、第２設定時間間隔を０．５秒とする例を示したが、第１設定時間間隔及び第２設定時間間隔は上記の時間間隔に限定されるものではない。また、上記第１及び第２実施形態では、１０００回分（すなわち１秒分）の計測値に基づいてサマリー情報を生成し、第１設定時間間隔として１秒ごとに正常通知情報を生成して管理装置Ｋに送信する構成を例示したが、このような構成に限定されるものではなく、例えば１秒よりも短い時間分の計測値に基づいてサマリー情報を生成し、第１設定時間間隔ごとに、複数のサマリー情報を含む正常通知情報を管理装置Ｋに送信する構成としてもよい。
（６）上記第１及び第２実施形態では、サマリー情報として、電流値、電圧値、及び温度夫々について、最大値、最小値及び平均値を算出するように構成したが、このような構成に限定されるものではなく、たとえば、平均値を算出しない構成としたり、平均値に変えて中央値を算出する構成とするなど、サマリー情報としては各種の変更が可能である。
１０ 天井搬送車（物品取扱装置）
２０ 容器保管装置（物品取扱装置）
１０Ｂ 電源装置
１０Ｈ（Ｈ） 天井搬送車制御部（制御部）
２０Ｂ 電源装置
２０Ｈ（Ｈ） 保管装置制御部（制御部）
Ｂ 容器（物品）
Ｋ 管理装置
Ｔ 走行レール（移動経路）

Claims (6)

  1. 物品を搬送又は保管する物品取扱装置と、
    前記物品取扱装置の作動を制御する制御部と、を備え、
    前記制御部は、前記物品取扱装置の作動状態に係る情報である状態情報を収集し、当該状態情報に基づく通知情報を、前記物品取扱装置の作動状態を管理する管理装置に送信するように構成された物品取扱設備であって、
    前記制御部は、
    前記状態情報に基づいて前記物品取扱装置が正常状態であるか異常状態であるかを判別するとともに、
    前記物品取扱装置が正常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が正常状態であることを示す正常判別情報からなる、又は、前記状態情報に基づいて生成される正常時情報と前記正常判別情報とからなる正常通知情報を前記管理装置に送信し、
    前記物品取扱装置が異常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が異常状態であることを示す異常判別情報と、前記状態情報に基づいて生成され、データ量及びデータ項目の少なくとも一方が前記正常時情報よりも多い異常時情報とからなる異常通知情報を前記管理装置に送信するように構成されている物品取扱設備。
  2. 前記制御部は、一定時間内に収集した前記状態情報である期間状態情報に基づいて、前記データ量及びデータ項目の少なくとも一方が前記期間状態情報よりも少ないサマリー情報を生成するサマリー情報生成処理を前記一定時間間隔ごとに繰り返し実行し、 前記正常通知情報として、前記正常判別情報及び前記サマリー情報を前記管理装置に送信し、前記異常通知情報として、前記異常判別情報及び前記期間状態情報を前記管理装置に送信するように構成されている請求項１に記載の物品取扱設備。
  3. 前記制御部は、前記物品取扱装置が正常状態であると判別している間、前記正常通知情報を、前記管理装置に対して第１設定時間間隔ごとに繰り返し送信するように構成され、前記物品取扱装置が異常状態であると判別している間、前記異常通知情報を、前記管理装置に対して第１設定時間間隔よりも短い第２設定時間間隔ごとに繰り返し送信するように構成されている請求項１又は２に記載の物品取扱設備。
  4. 前記状態情報が、前記物品取扱装置が備える電源装置の出力電圧、前記電源装置の出力電流、及び前記電源装置の温度のいずれか１つ以上に係る情報であり、
    前記制御部は、前記出力電圧、前記出力電流、及び前記温度のうち少なくとも１つが異常判別用の許容範囲を逸脱した場合に、前記異常状態と判別するように構成されている請求項１から３の何れか１項に記載の物品取扱設備。
  5. 前記物品取扱装置が、物品搬送用の移動体であり、
    前記移動体は、物品を支持自在であって移動経路に沿って移動し、
    前記制御部は、前記異常時情報として、前記異常時情報を生成する基礎となる前記状態情報を収集した時の前記移動体の位置を示す位置情報を、前記管理装置に送信する請求項１から４の何れか１項に記載の物品取扱設備。
  6. 前記物品取扱装置が物品搬送用の移動体であり、
    前記移動体は、物品を支持自在であって移動経路に沿って移動し、
    前記制御部は、前記異常時情報として、前記異常時情報を生成する基礎となる前記状態情報を収集した時に前記移動体が物品を支持していたか否かを示す情報を、前記管理装置に送信する請求項１から５の何れか１項に記載の物品取扱設備。
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