KR20160140426A - 물품 취급 설비 - Google Patents

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Abstract

제어부는, 상태 정보에 기초하여 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 나타내는 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보, 또는 상태 정보에 기초하여 생성되는 정상시 정보와 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보를 관리 장치로 송신한다. 제어부는, 상태 정보에 기초하여 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 나타내는 이상 판별 정보와, 상태 정보에 기초하여 생성되고, 데이터량 및 데이터 항목 중 적어도 한쪽이 정상시 정보보다도 많은 이상시 정보로 이루어지는 이상 통지 정보를 관리 장치로 송신한다.

Description

물품 취급 설비{ARTICLE HANDLING FACILITY}
본 발명은, 물품을 반송(搬送) 또는 보관하는 물품 취급 장치와, 상기 물품 취급 장치의 작동을 제어하는 제어부를 구비한 물품 취급 설비에 관한 것이다.
일본 공개특허 제2001―325994호 공보에는, 물품 취급 장치가 정상(正常)으로 가동하고 있는지의 여부를 관리 장치에 의해 관리하는 것이 개시되어 있다. 이와 같은 물품 취급 설비에서는, 물품 취급 장치에 이상(異常; abnormal)이 일어난 것을 검지함으로써, 관리 장치로부터 물품 취급 장치에 대하여 이상시용 작동을 지령하는 등, 상기 물품 취급 장치를 구비한 설비를 정상 가동시키기 위해 필요한 조치를 취하는 것이 가능하게 되어 있다.
관리 장치에 의해 물품 취급 장치의 상태를 수시 파악하기 위해, 통지 정보가, 물품 취급 장치로부터 관리 장치로 송신되어 축적된다. 통지 정보는, 예를 들면, 물품 취급 장치의 작동에 관한 상세한 정보이며, 예를 들면, 일정 시간 간격으로 취득된 물품 취급 장치의 상태에 관한 상태 정보에 기초하여 생성된 정보이다. 그리고, 관리 장치는, 축적된 통지 정보를 해석함으로써, 물품 취급 장치에 이상이 생기고 있는지의 여부를 판별한다. 축적된 통지 정보를 이용함으로써, 관리 장치는, 물품 취급 장치에 이상이 발생한 사실만이 아니고, 이상 발생시의 물품 취급 장치의 상태를 알수 있다. 따라서, 관리 장치는, 어떠한 상황 하에 있어서 물품 취급 장치에 이상이 발생했는지 등을 분석함으로써, 이상 내용을 파악할 수 있다. 한편, 축적된 통지 정보를 해석함으로써 이상 발생의 유무를 검출하여 이상 내용을 파악하는 경우에는, 실제로 물품 취급 장치에 이상이 발생하고 나서 그 이상 내용을 관리 장치가 파악할 때까지 타임랙(time lag)이 발생할 우려가 있다.
또한, 물품 취급 장치의 이상이 언제 발생할 것인지는 불명하기 때문에, 물품 취급 장치는, 물품 반송 장치가 가동(稼動)하고 있는 동안, 계속하여 통지 정보를 관리 장치에 보내지 않으면 안된다. 그러므로, 물품 취급 장치와 관리 장치와의 사이의 통신 트래픽이 커져서 통신 회선에 폭주(congestion)가 생길 우려가 있다. 이와 같은 상황은, 물품 취급 장치를 복수 구비하는 설비에서는 더욱 현저해진다. 물품 취급 장치로부터 관리 장치에 통지 정보를 송신하는 시간 간격을 길게 하여 통신의 빈도를 적게 하면, 통신 트래픽이 저감되지만, 이상이 발생한 사실이나 이상 내용의 파악까지의 타임랙이 더욱 길어질 우려가 있다.
일본 공개특허 제2001―325994호 공보
그래서, 물품 취급 장치와 관리 장치와의 사이의 통신 트래픽의 증가를 억제하면서, 관리 장치가 물품 취급 장치의 이상 내용을 최대한 빨리 파악 가능한 물품 취급 설비가 요구된다.
일 태양(態樣)으로서, 물품 취급 설비는, 물품을 반송 또는 보관하는 물품 취급 장치와, 상기 물품 취급 장치의 작동을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 물품 취급 장치의 작동 상태에 관한 정보인 상태 정보를 수집하고, 상기 상태 정보에 기초한 통지 정보를, 상기 물품 취급 장치의 작동 상태를 관리하는 관리 장치로 송신하도록 구성되며,
여기서, 상기 제어부는,
상기 상태 정보에 기초하여 상기 물품 취급 장치가 정상 상태인지 이상 상태인지를 판별하는 동시에
상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 상기 통지 정보로서, 상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 나타내는 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보, 또는 상기 상태 정보에 기초하여 생성되는 정상시 정보와 상기 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보를 상기 관리 장치로 송신하고,
상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 상기 통지 정보로서, 상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 나타내는 이상 판별 정보와, 상기 상태 정보에 기초하여 생성되고, 데이터량 및 데이터 항목 중 적어도 한쪽이 상기 정상시 정보보다도 많은 이상시 정보로 이루어지는 이상 통지 정보를 상기 관리 장치로 송신하도록 구성되어 있다.
이 구성에 의하면, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 관리 장치는, 정상 통지 정보에 포함되는 정상 판별 정보에 기초하여, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 파악할 수 있다. 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 관리 장치는, 이상 통지 정보에 포함되는 이상 판별 정보에 기초하여, 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 파악할 수 있다.
또한, 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 이상 판별 정보에 더하여, 물품 취급 장치의 작동에 관한 상세한 정보인 이상시 정보도 관리 장치로 송신된다. 관리 장치는, 이 이상시 정보에 기초하여, 예를 들면, 물품 취급 장치의 상태의 시간적인 천이(遷移)를 분석하는 등하여, 발생한 이상 상태의 내용을 파악할 수 있다. 또한, 이상시 정보만이 아니고 이상 판별 정보도 관리 장치로 송신되므로, 관리 장치는, 이상시 정보만에 기초하여 물품 취급 장치의 이상 상태인지의 여부를 판정하는 경우와 비교하여, 조기에 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 판정할 수 있다.
한편, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 이상 통지 정보보다도 데이터의 총용량이 적은 정상 통지 정보가 관리 장치로 송신된다. 정상 통지 정보는, 정상 판별 정보만으로 이루어지는 정보, 또는 이상시 정보보다도 작은 정상시 정보와, 정상 판별 정보로 이루어지는 정보이므로, 이상 통지 정보보다도 데이터의 총용량이 적다. 따라서, 트래픽의 증가를 억제하면서도, 관리 장치는, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 정확하게 파악할 수 있다.
이와 같이, 본 구성에 의하면, 물품 취급 장치와 관리 장치와의 사이의 통신 트래픽의 증가를 억제하면서, 관리 장치가 물품 취급 장치의 이상 내용을 최대한 빨리 파악 가능한 물품 처리 설비를 실현할 수 있다.
물품 취급 장치의 새로운 특징과 장점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확해진다.
도 1은 반도체 처리 설비의 평면도
도 2는 천정 반송차(搬送車)의 일부 절결(切缺) 측면도
도 3은 천정 반송차의 제어 블록도
도 4는 제어부가 실행하는 제어의 플로우차트
도 5는 용기 보관 장치의 종단 측면도
도 6은 용기 보관 장치의 제어 블록도
[제1 실시형태]
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 물품 취급 설비를 반도체 처리 설비에 적용한 실시형태를 설명한다. 본 실시형태의 반도체 처리 설비에는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 반도체 기판을 수용하는 FOUP 등의 용기(B)(도 2 참조)를 보관하는 복수의 용기 보관 장치(20)와, 용기(B)로부터 인출한 반도체 기판에 대하여 포토리소그라피나 세정, 검사 등의 처리를 행하는 복수의 반도체 처리 장치(50)와, 이들 복수의 용기 보관 장치(20) 및 복수의 반도체 처리 장치(50)와의 사이에서 용기(B)를 반송하는 천정 반송차(10)가 설치되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(10)는, 반도체 공장의 천정(C)으로부터 현수(懸垂)되어 지지된 한 쌍의 주행 레일(T)을 따라 주행 가능하게 구성되어 있다.
천정 반송차(10)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 레일(T) 상을 주행하는 주행 차륜(W1)을 구비한 주행부(11)와, 주행부(11)에 현수되어 지지된 본체부(12)를 구비하고 있다. 주행부(11)는, 또한 주행 레일(T)의 분기 부분에서 상기 주행부(11)의 진행 방향을 전환하는 조향 안내륜(W2)을 구비하고 있다. 조향 안내륜(W2)은, 주행 레일(T)을 따라 설치되는 도시하지 않은 안내 레일의 한 쌍의 측면 중 한쪽과 맞닿는다. 주행 레일(T)이 복수의 경로로 분기되는 분기 부분에서는, 맞닿는 측면을 전환함으로써, 주행부(11)의 진행 방향을 전환한다. 또한, 주행부(11)는, 주행 차륜(W1)을 회전 구동시키는 주행 구동부(M1)와, 조향 안내륜(W2)의 위치를 전환하는 조향 구동부(M2)를 구비하고 있다.
본체부(12)는, 주행부(11)에 현수된 커버부(12C)와, 커버부(12C)에 지지된 승강 구동부(M3)에 의해 승강 이동하는 승강부(13)를 구비하고 있다. 승강부(13)는, 도시는 생략하지만, 용기(B)의 상단(上端)에 설치된 플랜지에 걸어맞추어지는 파지(把持) 상태와 파지 해제 상태로 전환 가능한 파지부(把持部)를 구비하고 있다. 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)는, 전력에 의해 구동하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에 있어서는, 천정 반송차(10)가 물품 반송용(搬送用)의 이동체에 상당한다. 즉, 물품 취급 장치가, 물품 반송용의 천정 반송차(10)이며, 천정 반송차(10)는, 물품을 지지할 수 있고, 이동 경로[주행 레일(T)]를 따라 이동하도록 구성되어 있다. 그리고, 상기 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)를 구동시키기 위한 전력은, 주행 레일(T)에 지지되고, 주행 레일(T)을 따라 설치되는 급전선(도시하지 않음)으로부터 공급되도록 되어 있다.
다음에, 도 3에 기초하여, 천정 반송차(10)의 제어 구성을 설명한다. 천정 반송차(10)는, 전술한 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3) 외에, 작동에 있어서 전력을 필요로 하는 각 부에 대하여 적절한 전력을 공급하기 위한 전원 장치(10B)를 구비하고 있다. 전원 장치(10B)는, 급전선으로부터 공급된 전력을 승압(昇壓) 또는 강압(降壓)하여 원하는 전압값으로 하거나 급전선으로부터 공급된 전력을 원하는 전류값으로 하거나 하는 등의 조정을 행하여, 전력의 공급 대상에 적절한 전압값 또는 전류값의 전력을 출력한다.
또한, 천정 반송차(10)는, 주행 레일(T)에서의 자체의 위치를 검출하는 위치 검출부(10S)를 구비하고 있다. 위치 검출부(10S)는, 예를 들면, 주행 차륜(W1)의 회전량을 검출하는 로터리 인코더와, 주행 레일(T)에 이산적(離散的)으로 설치된 위치 기준 마크를 판독하는 판독부를 구비하여 구성되어 있다. 위치 검출부(10S)는, 위치 기준 마크의 판독 위치와, 로터리 인코더에 의해 검출한 주행부(11)의 주행량에 기초하여, 주행 레일(T)에서의 천정 반송차(10)의 위치를 검출한다. 또한, 위치 검출부(10S)는, 검출한 위치를 천정 반송차 제어부(10H)에 출력한다.
천정 반송차 제어부(10H)는, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)와 서로 통신 가능하게 접속되고, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)에 대하여, 작동 지령을 출력함으로써, 이들의 작동을 제어한다. 또한, 천정 반송차 제어부(10H)는, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)의 작동 상태를 감시하고, 구동부 정보 수집용의 시간 간격(예를 들면, 10밀리초 등)으로 그 작동 상태에 관한 정보를 취득한다. 천정 반송차 제어부(10H)는, 상기 정보에 기초하여, 주행 구동부(M1), 조향 구동부(M2), 및 승강 구동부(M3)의 작동 상태를 파악할 수 있다.
또한, 천정 반송차(10)에는, 전원 장치(10B) 상태를 감시하는 전원 감시부(10D)를 구비하고 있다. 전원 감시부(10D)는, 전원 장치(10B)가 출력하는 전류값, 전원 장치(10B)가 출력하는 전압값, 및 전원 장치(10B)의 온도의 각각을 전원 정보 수집용의 시간 간격(예를 들면, 1밀리초)으로 검출하고, 그 계측값을, 자기(自己)가 구비하는 메모리에 축적하도록 구성되어 있다. 메모리에는, 전류값, 전압값, 및 온도의 계측값을, 예를 들면, 각각 1000 밀리초분, 즉 1000회의 계측분 축적하고 있다. 또한, 상기 메모리는 링 버퍼(ring buffer)이며, 계측 데이터는 오래된 것으로부터 소거되어 항상 최신의 1000개분의 데이터가 유지되도록 되어 있다. 본 실시형태에서는, 상기 1초분의 계측값이 기간 상태 정보에 상당한다.
천정 반송차 제어부(10H)는, 1초 주기로 전원 감시부(10D)에 서머리 정보 송신 요구를 행한다. 전원 감시부(10D)는, 서머리 정보 송신 요구에 대응하여, 축적하고 있는 전류값, 전압값, 및 온도 각각에 대하여, 하기 표 1에 나타낸 바와 같이, 1000개의 계측값 중 최대값, 최소값, 및 1000개의 계측값의 평균값을 산출하여, 천정 반송차 제어부(10H)에 송신한다.
표 1: 서머리 정보
Figure pat00001
또한, 반도체 처리 설비에는, 상기 설비에서의 각각의 장치의 작동 상태를 통합적으로 관리하는 관리 장치(K)가 구비되어 있다. 관리 장치(K)는, 천정 반송차(10)에 의한 용기(B)의 반송 스케줄을 관리하고, 각각의 천정 반송차(10)에 대하여 용기(B)의 반송을 지령한다. 천정 반송차(10)에는, 이 관리 장치(K)와의 사이에서 정보의 송수신을 행하는 통신부(10T)가 설치되어 있다. 통신부(10T)는, 반도체 처리 설비에 설치되는 무선 기지국과의 사이에서 데이터를 통신 가능하게 구성되어 있다. 또한, 무선 기지국은, LAN 등의 구내 네트워크를 통하여 관리 장치(K)에 접속되어 있다.
본 실시형태에 있어서는, 천정 반송차(10)가 물품 취급 장치에 상당하고, 천정 반송차 제어부(10H) 및 전원 감시부(10D)가 제어부에 상당한다. 또한, 상기 전원 감시부(10D)가 검출하는 전류값, 전압값, 및 온도의 정보[이하, 계측 미가공 데이터(raw data)라고 함]가 상태 정보에 상당하고, 계측값 중 최대값, 최소값, 및 1000개의 계측값의 평균값이 서머리 정보에 상당한다. 즉, 물품을 반송하는 천정 반송차(10)와, 천정 반송차(10)의 작동을 제어하는 천정 반송차 제어부(10H)가 설치되고, 전원 감시부(10D)는, 천정 반송차(10)의 작동 상태에 관한 정보인 상태 정보를 수집하도록 구성되어 있다.
천정 반송차 제어부(10H)는, 상기 전류값, 전압값, 및 온도의 계측값에 기초한 통지 정보를, 천정 반송차(10)의 작동 상태를 관리하는 관리 장치(K)에 송신하도록 구성되어 있다. 이와 같은 반도체 처리 설비에 있어서, 천정 반송차(10)의 전원 장치(10B)에 이상이 생긴 경우, 상기 천정 반송차(10)가 작동하지 않거나, 또는 작동을 계속시키는 것이 바람직하지 않은 상태로 된다. 그래서, 관리 장치(K)는, 이상이 생긴 천정 반송차(10)를 반송 지령의 지령 대상으로부터 제외하는 등의 처치를 행하게 된다. 본 실시형태에서는, 천정 반송차(10)에 이상이 생긴 경우에는, 그 이상 상태를 관리 장치(K)에 통지하기 위해, 천정 반송차 제어부(10H)가, 관리 장치(K)에 자체의 상태 정보에 기초한 정상 통지 정보 또는 이상 통지 정보의 송신을 행한다.
이하, 도 4의 플로우차트에 기초하여, 천정 반송차 제어부(10H)가 실행하는 제어를 설명한다. 천정 반송차 제어부(10H)는, 전원 감시부(10D)가 수집한 전류값, 전압값, 및 온도 각각의 계측값에 기초하여 서머리 정보를 생성하는 서머리 정보 생성 처리를 실행한다(#1). 천정 반송차 제어부(10H)는, 전류값, 전압값, 및 온도의 각각에 대하여, 이상 판별용의 허용 범위를 기억하고 있다. 그리고, 전류값의 최대값 또는 최소값이 전류값의 허용 범위를 일탈하고 있는 상태, 전압값의 최대값 또는 최소값이 전압값의 허용 범위를 일탈하고 있는 상태, 또는 온도의 최대값 또는 최소값이 온도의 허용 범위를 일탈하고 있는 상태 중 어느 하나가 발생하고 있는 경우에, 천정 반송차 제어부(10H)는 전원 장치(10B)가 이상 상태인 것으로 판별한다(#2). 즉, 천정 반송차 제어부(10H)는, 전원 장치(10B)의 출력 전압, 출력 전류, 및 온도 중 하나 이상이 이상 판별용의 허용 범위를 일탈한 경우에, 이상 상태인 것으로 판별하도록 구성되어 있다.
스텝 #2에 있어서, 이상 상태가 발생하고 있지 않은 것으로 판별된 경우(#2: No), 천정 반송차 제어부(10H)는, 천정 반송차(10)가 정상적인 것을 나타내는 1바이트의 정상 플래그(flag)를 생성한다. 그리고, 천정 반송차 제어부(10H)는, 정상 플래그와 서머리 정보와 전원 감시부(10D)에 의한 계측 미가공 데이터 중, 예를 들면, 100밀리초 간격으로 샘플링 한 10계측분의 계측 미가공 데이터를 일괄로 한 정상 통지 정보를 생성하고(#3), 그 정상 통지 정보를 관리 장치(K)에 송신한다(#4). 천정 반송차 제어부(10H)는, #1의 개시로부터, 정상시용 설정 시간 간격으로서 설정되어 있는 1초 후에, #1의 처리로 복귀한다. 즉, 천정 반송차 제어부(10H)는, 정상시 설정 타이밍에서#1의 처리로 복귀한다(#5). 본 실시형태에서는, 정상시용 설정 시간 간격이 제1 설정 시간 간격에 상당한다.
또한, 스텝 #2에 있어서, 이상 상태가 발생하고 있으므로, 판별된 경우(#2: Yes), 천정 반송차 제어부(10H)는, 천정 반송차(10)가 이상인 것을 나타내는 1바이트의 이상 플래그를 생성한다. 그리고, 천정 반송차 제어부(10H)는, 이상 플래그와 서머리 정보와, 위치 검출부(10S)가 계측한 천정 반송차(10)의 위치 정보와, 파지부가 물품을 유지하고 있는지의 여부의 정보와, 전원 감시부(10D)에 의한 1초간의 계측 미가공 데이터 중 새로운 쪽으로부터, 예를 들면, 500계측분(0.5초분)의 계측 미가공 데이터를 일괄로 한 이상 통지 정보를 생성하고(#6), 그 이상 통지 정보를 관리 장치(K)에 송신한다(#7). 즉, 천정 반송차 제어부(10H)는, 이상시 정보로서, 이상시 정보를 생성하는 기초가 되는 상태 정보를 수집했을 때의 천정 반송차(10)의 위치를 나타내는 위치 정보와, 천정 반송차(10)가 물품을 지지하고 있었는지의 여부를 나타내는 정보를, 관리 장치로 송신하도록 구성되어 있다.
이어서, 천정 반송차 제어부(10H)는, 천정 반송차(10)에 대한 전력의 공급을 정지시키는 정지 처리를 실행시키는 정지 지령이 관리 장치(K)로부터 지령되고 있는지의 여부를 판별하고(#8), 정지 지령이 지령되어 있는 것으로 판별하면(#8: Yes), 정지 처리를 실행한다(#10). 여기서, 정지 처리란, 관리 장치(K)로부터 천정 반송차(10)의 전원 장치(10B)의 릴레이를 전환하여 천정 반송차(10)에 대한 전력의 공급을 정지시키는 처리이다. 또한, 천정 반송차 제어부(10H)는, 정지 지령이 지령되어 있지 않은 것으로 판별하면(#8: No), #1의 개시로부터, 이상시용 설정 시간 간격으로서 설정되어 있는, 예를 들면, 0.5초 후에, 스텝 #1의 처리로 복귀한다. 즉, 천정 반송차 제어부(10H)는, 이상시 설정 타이밍에서 #1의 처리로 복귀한다(#9). 본 실시형태에서는, 이상시용 설정 시간 간격이 제2 설정 시간 간격에 상당한다.
본 실시형태에 있어서, 정상 플래그가 정상 판별 정보에 상당하고, 이상 플래그가 이상 판별 정보에 상당한다. 또한, 정상시 정보는, 서머리 정보와 10계측분의 계측 미가공 데이터로 이루어지고, 이상시 정보는, 위치 검출부(10S)가 계측한 천정 반송차(10)의 위치 정보와 파지부가 물품을 유지하고 있는지의 여부의 정보와 전원 감시부(10D)에 의한 500계측분의 계측 미가공 데이터로 이루어진다. 즉, 천정 반송차 제어부(10H)는, 상태 정보에 기초하여 천정 반송차(10)가 정상 상태인지 이상 상태인지를 판별하는 동시에 천정 반송차(10)가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에, 통지 정보로서, 상태 정보에 기초하여 생성되는 정상시 정보와, 천정 반송차(10)가 정상 상태인 것을 나타내는 정상 플래그로 이루어지는 정상 통지 정보를 관리 장치(K)에 송신하고, 천정 반송차(10)가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에, 통지 정보로서, 천정 반송차(10)가 이상 상태인 것을 나타내는 이상 판별 정보와, 상태 정보에 기초하여 생성되는 이상 통지 정보를 관리 장치(K)에 송신하도록 구성되어 있다.
정상 통지 정보와 이상 통지 정보의 각각의 데이터의 크기는, 하기 표 2에 나타낸 바와 같이, 이상 통지 정보 쪽이 정상 통지 정보보다도 커진다. 그리고, 하기 표 2에서의 각 데이터 사이즈는, 동 표에 예시한 사이즈에 한정되는 것이 아니고, 필요한 데이터의 종별이나 관리 장치에 있어서의 데이터의 표현 형식[실수형(實數型)이나 배정도(倍精度) 실수형이나 등(i.e. expressed by a single precision type real number or double precision type real number, etc.)]에 따라 변경될 수 있는 것이다.
표 2: 데이터 사이즈
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또한, 본 실시형태에서는, 전원 감시부(10D)가 1초간의 사이에 수집하는 계측 미가공 데이터가 기간 상태 정보에 상당한다. 즉, 이상시 정보는, 데이터량 및 데이터 항목이 정상시 정보보다도 많은 것이며 또한 천정 반송차 제어부(10H)는, 일정 시간(1회의 정상시용 설정 시간 간격이 경과하는 시간) 내에 수집한 상태 정보인 기간 상태 정보에 기초하여, 데이터량이 상기 기간 상태 정보보다도 적은 서머리 정보를 생성하는 서머리 정보 생성 처리를 일정 시간 간격마다 반복하여 실행하고, 정상 통지 정보로서, 정상 판별 정보 및 서머리 정보를 관리 장치(K)에 송신하고, 이상 통지 정보로서, 이상 판별 정보 및 기간 상태 정보를 관리 장치(K)에 송신하도록 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차 제어부(10H)는, 천정 반송차(10)가 정상 상태인 것으로 판별하고 있는 동안, 정상 통지 정보를, 관리 장치(K)에 대하여 제1 설정 시간 간격(1초)마다 반복하여 송신하도록 구성되며, 천정 반송차(10)가 이상 상태인 것으로 판별하고 있는 동안, 이상 통지 정보를, 관리 장치(K)에 대하여 제1 설정 시간 간격(1초)보다 짧은 제2 설정 시간 간격(0.5초)마다 반복하여 송신하도록 구성되어 있다.
[제2 실시형태]
이하, 제2 실시형태를 설명한다. 전술한 제1 실시형태에서는, 천정 반송차(10)가 물품 취급 장치에 상당하는 경우에 대하여 설명하였다. 제2 실시형태에서는, 용기 보관 장치(20)가 물품 취급 장치에 상당하는 경우에 대하여 설명한다. 제2 실시형태는, 물품 취급 장치를 용기 보관 장치(20)로 한 점만이 제1 실시형태와 상위한 것이므로, 중복되는 점의 설명은 생략하고, 이하 상위한 점에 대하여만 설명을 추가한다. 제1 실시형태와 마찬가지로, 천정 반송차(10)는, 도 2 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 반도체 공장의 천정(C)으로부터 현수되어 지지된 한 쌍의 주행 레일(T)을 따라 주행 가능하게 구성되어 있다.
용기 보관 장치(20)는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 상하 방향을 따르는 벽체(21)로 포위된 내부 공간(Y)의 내부에, 용기(B)를 지지하는 복수의 지지부(21Q)를 가로 방향 및 상하 방향으로 복수 배열하여 이루어지고, 지지부(21Q)에서의 출입 방향 전면측에, 지지부(21Q)와의 사이에서 용기(B)를 수수(授受) 가능한 이송탑재 장치(transfer device)(35)를 구비한 스태커 크레인(stacker crane)(30)을 구비하고 있다. 스태커 크레인(30)은, 상기 가로 방향을 따라 바닥면에 설치된 주행 레일(R) 상을 주행하는 주행 대차(travel carriage)(31)와, 주행 대차(31)에 세워 설치된 승강 마스트(vertical movement mast)(32)와, 승강 마스트(32)를 따라 승강하는 승강체(33)를 구비하고 있다. 이송탑재 장치(35)는 승강체(33)에 지지되어 있다. 이송탑재 장치(35)는, 복수의 지지부(21Q)의 각각, 및 후술하는 컨베이어(20C)의 내부 공간(Y) 측의 단부의 전면(前面)으로 이동하여, 지지부(21Q)와 이송탑재 장치(35)와의 사이, 또는 컨베이어(20C)와 이송탑재 장치(35)와의 사이에서 용기(B)를 이송탑재(transfer)한다.
벽체(21)의 일부에는 개구가 형성되어 있다. 또한, 그 개구에는, 상기 개구를 개폐하는 오토 도어(20A)가 설치되어 있다. 또한, 용기(B)를, 개구를 통하여 용기 보관 장치(20)의 내부 공간(Y)과 외부 공간(G)에 걸쳐 반송하는 컨베이어(20C)가 설치되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 컨베이어(20C)로서, 천정 반송차(10)와의 사이에서 용기(B)를 수수하는 상방측 컨베이어(V2)와, 작업자가 반송하는 용기(B)를 수수하는 하방측 컨베이어(V1)가 설치되어 있다. 또한, 용기 보관 장치(20)에는, 내부 공간(Y)에서의 불순물 입자의 부유(浮遊)를 억제하기 위해, 내부 공간(Y)의 위쪽으로부터 아래쪽을 향하는 공기류를 형성하기 위한 팬 유닛(fan unit)(20F)[상방측 팬 유닛(20F1) 및 하방측 팬 유닛(20F2)]이 설치되어 있다. 또한, 용기 보관 장치(20)에는, 내부 공간(Y)의 온도를 검출하는 창고 내 온도 센서(20S)가 장착되어 있다(도 5에서는 도시하지 않음, 도 6 참조).
다음에, 도 6에 기초하여, 용기 보관 장치(20)의 제어 구성을 설명한다. 용기 보관 장치(20)에 있어서, 스태커 크레인(30), 컨베이어(20C), 오토 도어(20A), 팬 유닛(20F), 및 창고 내 온도 센서(20S) 등은, 전력에 의해 작동하도록 구성되며, 용기 보관 장치(20)는, 이들에 대하여 적절한 전압으로 전력을 공급하기 위한 전원 장치(20B)를 구비하고 있다. 또한, 본 용기 보관 장치(20)에는, 전원 장치(20B)에 의한 전력의 공급 상태를 감시하는 전원 감시부(20D)가 설치되어 있다. 전원 감시부(20D)는, 전원 장치(20B)가 출력하는 전압, 및 전원 장치(20B)의 온도를 검출하고, 보관 장치 제어부(20H)의 정보 송신 요구에 따라, 그 검출 결과를 보관 장치 제어부(20H)에 출력한다.
보관 장치 제어부(20H)는, 스태커 크레인(30), 컨베이어(20C), 오토 도어(20A), 팬 유닛(20F), 및 창고 내 온도 센서(20S)와 서로 통신 가능하게 접속되어 있다. 보관 장치 제어부(20H)는, 스태커 크레인(30), 컨베이어(20C), 오토 도어(20A), 및 팬 유닛(20F)에 대하여, 작동 지령을 출력함으로써, 이들의 작동을 제어한다. 또한, 보관 장치 제어부(20H)는, 스태커 크레인(30), 컨베이어(20C), 오토 도어(20A), 및 팬 유닛(20F)의 작동 상태를 감시하고, 구동부 정보 수집용의 시간 간격(예를 들면, 10밀리초 등)으로 그 작동 상태에 관한 정보를 취득한다. 보관 장치 제어부(20H)는, 상기 정보에 기초하여, 스태커 크레인(30), 컨베이어(20C), 오토 도어(20A), 및 팬 유닛(20F)의 작동 상태를 파악할 수 있다.
또한, 용기 보관 장치(20)에는, 관리 장치(K)와의 사이에서 정보의 송수신을 행하는 통신부(20T)가 설치되어 있다. 관리 장치(K)는, 용기 보관 장치(20)에서의 용기(B)의 입출고(入出庫) 스케줄을 관리하고, 용기 보관 장치(20)에 대하여 용기(B)의 입출고를 지령하도록 구성되어 있다. 통신부(20T)는 LAN 등의 구내 네트워크를 통하여 관리 장치(K)와 통신 가능하게 구성되어 있다. 용기 보관 장치(20)가 물품 취급 장치에 상당하는 본 실시형태에 있어서는, 보관 장치 제어부(20H) 및 전원 감시부(20D)가 제어부에 상당한다. 또한, 상기 전원 감시부(20D)가 검출하는 전류값, 전압값, 및 온도의 정보(이하, 계측 미가공 데이터라고 함)가 상태 정보에 상당하고, 계측값 중 최대값, 최소값, 및 1000개의 계측값의 평균값이 서머리 정보에 상당한다.
보관 장치 제어부(20H)는, 상기 전류값, 전압값, 및 온도의 계측값에 기초한 통지 정보를, 용기 보관 장치(20)의 작동 상태를 관리하는 관리 장치(K)에 송신하도록 구성되어 있다. 이와 같은 반도체 처리 설비에 있어서, 용기 보관 장치(20)의 전원 장치(20B)에 이상이 생긴 경우, 상기 용기 보관 장치(20)가 작동하지 않는 상태, 또는 작동을 계속시키는 것이 바람직하지 않은 상태로 된다. 그래서, 관리 장치(K)는, 이상이 생긴 용기 보관 장치(20)를 입고(入庫) 대상으로서의 반송처(搬送處)로부터 제외하는 등의 처치를 행하게 된다. 본 실시형태에서는, 용기 보관 장치(20)에 이상이 생긴 경우에는, 그 이상 상태를 관리 장치(K)에 통지하기 위해, 보관 장치 제어부(20H)가, 관리 장치(K)에 자체의 상태 정보에 기초한 정상 통지 정보 또는 이상 통지 정보의 송신을 행하고 있다. 보관 장치 제어부(20H)가 실행하는 제어는, 제1 실시형태에 있어서 도 4의 플로우차트에 기초하여 설명한 것과 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서는, 제1 설정 시간을 1초 간격으로 관리 장치(K)에 송신하고, 또한 이상 통지 정보를 0.5초 간격으로 관리 장치(K)에 송신하도록 구성하는 형태를 예시했다. 그러나, 정상 통지 정보의 송신 시간 간격 및 이상 통지 정보의 송신 시간 간격은, 상기한 시간에 한정되는 것은 아니다. 정상 통지 정보의 송신 시간 간격이 이상 통지 정보의 송신 시간 간격보다 길면 시간 간격은 임의로 설정 가능하다. 또한, 정상 통지 정보의 송신 시간 간격과 이상 통지 정보의 송신 시간 간격을 같은 것으로 해도 된다. 이 경우, 정상 통지 정보는 장치가 정상으로 작동하고 있는 것을 나타내는 정보만으로 하고, 이상 통지 정보는, 장치의 작동이 이상인 것을 나타내는 정보에 더하여, 이상 발생시의 장치의 상태를 나타내는 각종 정보를 부가한 정보라도 된다. 이와 같이 함으로써, 물품 취급 장치가 정상으로 작동하고 있는 상태에 있어서는, 관리 장치(K)에 송신하는 정보의 트래픽을 최대한 삭감하는 동시에, 물품 취급 장치에 이상이 생기고 있는 상태에 있어서는, 관리 장치(K)에 대하여 필요한 정보를 송신할 수 있다.
(2) 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서는, 정상 통지 정보로서 정상 플래그(정상 판별 정보)와 정상시 정보(서머리 정보)를 관리 장치(K)에 송신하는 구성을 예시했다. 그러나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 정상 통지 정보로서 정상 플래그(정상 판별 정보)만을 관리 장치(K)에 송신하는 구성으로 해도 된다.
(3) 물품을 반송 또는 보관하는 물품 취급 장치로서, 상기 제1 실시형태에서는 천정 반송차(10)를 예시하고, 상기 제2 실시형태에서는 용기 보관 장치(20)를 예시했다. 그러나, 물품 취급 장치는, 천정 반송차(10) 및 용기 보관 장치(20)에 한정되지 않는다. 예를 들면, 롤러 컨베이어 등의 고정 설치형 반송 장치나, 포토리소그라피 장치, 세정 장치, 검사 장치 등의 반도체 처리 장치를 물품 취급 장치라도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 물품 취급 장치로서, 반도체 처리 설비에 있어서 물품[용기(B)]를 취급하는 장치를 나타냈으나, 관리 장치에 의해 물품 취급 장치의 작동을 관리하는 설비이면, 반도체 처리 설비 이외의 설비에 적용해도 된다.
(4) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 상태 정보를, 전원 감시부(10D, 20D)가 출력하는 전원 장치(10B, 20B)에 관한 작동 상태 정보로 하는 예를 나타냈다. 그러나, 상태 정보로서, 전원 장치(10B, 20B)에 관한 작동 상태 정보 이외의 정보를 포함해도 된다. 예를 들면, 천정 반송차(10)에 관하여는, 주행 구동부(M1)에 구비되는 네가티브 브레이크의 작동 상태, 조향 구동부(M2)의 전환 위치, 승강 구동부(M3)의 네가티브 브레이크의 작동 상태 등을 나타내는 정보를 포함해도 된다. 또한, 용기 보관 장치(20)에 있어서는, 스태커 크레인(30)의 이송탑재 장치의 작동 상태나 오토 도어(20A)의 개폐 상태를 나타내는 정보를 포함해도 된다.
(5) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 전원 정보 수집용의 시간 간격을 1밀리초로 하는 예를 나타냈으나, 전원 정보 수집용의 시간 간격은 상기한 1밀리초로 한정되는 것이 아니고, 1밀리초보다 긴 시간 간격으로 해도 짧은 시간 간격으로 해도 된다. 또한, 메모리에는, 전류값, 전압값, 및 온도의 계측값을, 각각 1000회의 계측분 축적하는 예를 나타냈으나, 메모리에 축적하는 계측값의 개수는 임의로 변경 가능하다. 또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 메모리에 축적하는 계측값을 오래된 것으로부터 소거하도록 구성하였지만, 예를 들면, 오래된 계측값을 물품 취급 장치에 구비하는 하드디스크 등에 보존하는 구성으로 해도 된다.
(6) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 제1 설정 시간 간격을 1초로 하고, 제2 설정 시간 간격을 0.5초로 하는 예를 나타냈으나, 제1 설정 시간 간격 및 제2 설정 시간 간격은 상기한 시간 간격에 한정되는 것은 아니다. 또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 1000회분(즉 1초분)의 계측값에 기초하여 서머리 정보를 생성하고, 제1 설정 시간 간격으로서 1초마다 정상 통지 정보를 생성하여 관리 장치(K)에 송신하는 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성에 한정되는 것도 아니다. 예를 들면, 1초보다 짧은 시간만큼의 계측값에 기초하여 서머리 정보를 생성하고, 제1 설정 시간 간격마다, 복수의 서머리 정보를 포함하는 정상 통지 정보를 관리 장치(K)에 송신하는 구성으로 해도 된다.
(6) 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 서머리 정보로서, 전류값, 전압값, 및 온도 각각에 대하여, 최대값, 최소값 및 평균값을 산출하도록 구성하였지만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 평균값을 산출하지 않는 구성이나, 평균값으로 바꾸어 중앙값을 산출하는 구성 등, 서머리 정보로서는 각종 변경이 가능하다.
[실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 취급 설비의 개요에 대하여 간단하게 설명한다.
1개의 태양으로서, 물품 취급 설비는, 물품을 반송 또는 보관하는 물품 취급 장치와, 상기 물품 취급 장치의 작동을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 물품 취급 장치의 작동 상태에 관한 정보인 상태 정보를 수집하고, 상기 상태 정보에 기초한 통지 정보를, 상기 물품 취급 장치의 작동 상태를 관리하는 관리 장치로 송신하도록 구성되며,
여기서, 상기 제어부는,
상기 상태 정보에 기초하여 상기 물품 취급 장치가 정상 상태인지 이상 상태인지를 판별하는 동시에
상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 상기 통지 정보로서, 상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 나타내는 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보, 또는 상기 상태 정보에 기초하여 생성되는 정상시 정보와 상기 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보를 상기 관리 장치로 송신하고,
상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 상기 통지 정보로서, 상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 나타내는 이상 판별 정보와, 상기 상태 정보에 기초하여 생성되고, 데이터량 및 데이터 항목 중 적어도 한쪽이 상기 정상시 정보보다도 많은 이상시 정보로 이루어지는 이상 통지 정보를 상기 관리 장치로 송신하도록 구성되어 있다.
이 구성에 의하면, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 관리 장치는, 정상 통지 정보에 포함되는 정상 판별 정보에 기초하여, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 파악할 수 있다. 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 관리 장치는, 이상 통지 정보에 포함되는 이상 판별 정보에 기초하여, 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 파악할 수 있다.
또한, 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 이상 판별 정보에 더하여, 물품 취급 장치의 작동에 관한 상세한 정보인 이상시 정보도 관리 장치로 송신된다. 관리 장치는, 이 이상시 정보에 기초하여, 예를 들면, 물품 취급 장치의 상태의 시간적인 천이를 분석하는 등하여, 발생한 이상 상태의 내용을 파악할 수 있다. 또한, 이상시 정보만이 아니고 이상 판별 정보도 관리 장치로 송신되므로, 관리 장치는, 이상시 정보만에 기초하여 물품 취급 장치의 이상 상태인지의 여부를 판정하는 경우와 비교하여, 조기에 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 판정할 수 있다.
한편, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 이상 통지 정보보다도 데이터의 총용량이 적은 정상 통지 정보가 관리 장치로 송신된다. 정상 통지 정보는, 정상 판별 정보만으로 이루어지는 정보, 또는 이상시 정보보다도 작은 정상시 정보와, 정상 판별 정보로 이루어지는 정보이므로, 이상 통지 정보보다도 데이터의 총용량이 적다. 따라서, 트래픽의 증가를 억제하면서도, 관리 장치는, 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 정확하게 파악할 수 있다.
이와 같이, 본 구성에 의하면, 물품 취급 장치와 관리 장치와의 사이의 통신 트래픽의 증가를 억제하면서, 관리 장치가 물품 취급 장치의 이상 내용을 최대한 빨리 파악 가능한 물품 처리 설비를 실현할 수 있다.
또한, 1개의 태양으로서, 물품 취급 설비는, 상기 제어부가, 일정 시간 내에 수집한 상기 상태 정보인 기간 상태 정보에 기초하여, 상기 데이터량 및 데이터 항목 중 적어도 한쪽이 상기 기간 상태 정보보다도 적은 서머리 정보를 생성하는 서머리 정보 생성 처리를 상기 일정 시간 간격마다 반복하여 실행하고, 상기 정상 통지 정보로서, 상기 정상 판별 정보 및 상기 서머리 정보를 상기 관리 장치로 송신하고, 상기 이상 통지 정보로서, 상기 이상시 정보 및 상기 기간 상태 정보를 상기 관리 장치로 송신하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 이상 통지 정보는, 이상 판별 정보와 기간 상태 정보로 이루어지는 정보이며, 정상시 통지 정보는, 정상 판별 정보와 서머리 정보로 이루어지는 정보이다. 서머리 정보는, 기간 상태 정보보다도 데이터량 및 데이터 항목 중 적어도 한쪽이 적은 정보이므로, 정상 통지 정보는, 이상 통지 정보보다도 데이터의 총용량이 적은 정보로 된다. 따라서, 물품 취급 장치와 관리 장치와의 사이의 통신 트래픽의 증가를 억제하면서, 관리 장치가 물품 취급 장치의 이상 내용을 최대한 빨리 파악 가능한 물품 처리 설비를 실현할 수 있다. 여기서, 기간 상태 정보는, 관리 장치가 이상 상태의 발생 상황을 해석하거나 이상 상태 발생시의 물품 취급 장치의 상태를 파악하거나 하기 위해 충분한 양의 정보인 것이 바람직하다. 관리 장치는, 물품 취급 장치가 이상 상태로 된 경우에, 제어부로부터 송신된 이상 통지 정보에 기초하여 물품 취급 장치의 이상 상태의 파악 등을 정확하게 행할 수 있다. 또한, 서머리 정보는, 그와 같은 해석 등은 필요하지 않으므로, 관리 장치가 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 파악할 수 있는 정도의 정보로 충분하다. 따라서, 물품 취급 장치가 정상 상태인 경우에는, 서머리 정보에 기초하여 관리 장치가 그 정상 상태를 적절히 파악할 수 있는 동시에, 물품 취급 장치와 관리 장치와의 사이의 통신 트래픽의 증가를 억제할 수 있다.
또한, 1개의 태양으로서, 물품 취급 설비는, 상기 제어부가, 상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별하고 있는 동안, 상기 정상 통지 정보를, 상기 관리 장치에 대하여 제1 설정 시간 간격마다 반복하여 송신하도록 구성되며, 상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별하고 있는 동안, 상기 이상 통지 정보를, 상기 관리 장치에 대하여 제1 설정 시간 간격보다 짧은 제2 설정 시간 간격마다 반복하여 송신하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 물품 취급 장치가 정상 상태인 경우(제1 설정 시간 간격)에 비하여, 물품 취급 장치가 이상일 경우(제2 설정 시간 간격) 쪽이, 통지 정보가 높은 빈도로 송신된다. 따라서, 관리 장치는, 물품 취급 장치가 이상일 경우에는, 정상적인 경우와 비교하여, 그 이상 내용을 시계열로, 더욱 상세하게 파악할 수 있다.
여기서, 상기 상태 정보가, 상기 물품 취급 장치가 구비하는 전원 장치의 출력 전압, 상기 전원 장치의 출력 전류, 및 상기 전원 장치의 온도 중 어느 하나 이상에 관한 정보이며, 상기 제어부는, 상기 출력 전압, 상기 출력 전류, 및 상기 온도 중 하나 이상이 이상 판별용의 허용 범위를 일탈한 경우에, 상기 이상 상태인 것으로 판별하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
대부분의 경우, 물품 취급 장치의 전원 장치에 이상이 생긴 경우에는, 그 물품 취급 장치의 작동을 계속시키는 것은 바람직하지 않다. 전원 장치의 상태를 나타내는 상태 정보로서는, 예를 들면, 전원 장치의 출력 전압, 전원 장치의 출력 전류, 및 전원 장치의 온도 등이 있다. 본 구성에 의하면, 출력 전압, 출력 전류, 및 온도 중 하나 이상이 이상 판별용의 허용 범위를 일탈한 경우에 이상 상태라고 판별함으로써, 전원 장치에 이상이 생긴 것을 적절히 검출할 수 있다.
1개의 태양으로서, 상기 물품 취급 장치가 물품 반송용의 이동체이며, 상기 이동체가, 물품을 지지할 수 있고, 이동 경로를 따라 이동하는 경우, 상기 제어부는, 상기 이상시 정보로서, 상기 이상시 정보를 생성하는 기초가 되는 상기 상태 정보를 수집했을 때의 상기 이동체의 위치를 나타내는 위치 정보를, 상기 관리 장치로 송신하는 것이 바람직하다.
물품 취급 장치로서의 이동체에 이상이 생긴 경우, 상기 이동체가 이동 경로 상에서 정지할 우려가 있다. 제어부가, 이상시 정보에, 이동체의 위치를 나타내는 위치 정보가 포함됨으로써, 관리 장치는, 이동체가 정지하고 있는 이동 경로 상의 위치를 파악할 수 있다.
1개의 태양으로서, 상기 물품 취급 장치가 물품 반송용의 이동체이며, 상기 이동체가, 물품을 지지할 수 있고, 이동 경로를 따라 이동하는 경우, 상기 제어부는, 상기 이상시 정보로서, 상기 이상시 정보를 생성하는 기초가 되는 상기 상태 정보를 수집했을 때 상기 이동체가 물품을 지지하고 있었는지의 여부를 나타내는 정보를, 상기 관리 장치로 송신하는 것이 바람직하다.
물품 취급 장치로서의 물품 반송용의 이동체에 이상이 생긴 경우, 상기 이동체가 물품을 지지한 채 정지해 버릴 우려가 있다. 제어부가, 이상시 정보에, 이동체가 물품을 지지하고 있었는지의 여부를 나타내는 정보가 포함됨으로써, 관리 장치는, 이동체가 물품을 지지하고 있는지의 여부를 파악할 수 있다. 이로써, 예를 들면, 작업자는, 상기 물품을 이동체로부터 인출하는 등의 대처를 행할 수 있고, 물품을 반송할 수 없는 것에 의해, 상기 물품을 출하할 수 없거나 가공할 수 없거나 하는 것에 의한 수율의 저하를 억제할 수 있다.
10: 천정 반송차(물품 취급 장치)
20: 용기 보관 장치(물품 취급 장치)
10B: 전원 장치
10H(H): 천정 반송차 제어부(제어부)
20B: 전원 장치
20H(H): 보관 장치 제어부(제어부)
B: 용기(물품)
K: 관리 장치
T: 주행 레일(이동 경로)

Claims (9)

  1. 물품을 반송(搬送) 또는 보관하는 물품 취급 장치; 및
    상기 물품 취급 장치의 작동을 제어하는 제어부;
    를 포함하는 물품 취급 설비로서,
    상기 제어부는, 상기 물품 취급 장치의 작동 상태에 관한 정보인 상태 정보를 수집하고, 상기 상태 정보에 기초한 통지 정보를, 상기 물품 취급 장치의 작동 상태를 관리하는 관리 장치로 송신하도록 구성되며,
    상기 제어부는,
    상기 상태 정보에 기초하여 상기 물품 취급 장치가 정상(正常) 상태인지 이상(異常; abnormal) 상태인지를 판별하는 동시에,
    상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 상기 통지 정보로서, 상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것을 나타내는 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보, 또는 상기 상태 정보에 기초하여 생성되는 정상시 정보와 상기 정상 판별 정보로 이루어지는 정상 통지 정보를 상기 관리 장치로 송신하고,
    상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별된 경우에는, 상기 통지 정보로서, 상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것을 나타내는 이상 판별 정보와, 상기 상태 정보에 기초하여 생성되고, 데이터량 및 데이터 항목 중 적어도 한쪽이 상기 정상시 정보보다도 많은 이상시 정보로 이루어지는 이상 통지 정보를 상기 관리 장치로 송신하도록 구성되어 있는,
    물품 취급 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 일정 시간 내에 수집한 상기 상태 정보인 기간 상태 정보에 기초하여, 상기 데이터량 및 상기 데이터 항목 중 적어도 한쪽이 상기 기간 상태 정보보다도 적은 서머리 정보를 생성하는 서머리 정보 생성 처리를 상기 일정 시간 간격마다 반복하여 실행하고, 상기 정상 통지 정보로서, 상기 정상 판별 정보 및 상기 서머리 정보를 상기 관리 장치로 송신하고, 상기 이상 통지 정보로서, 상기 이상시 정보 및 상기 기간 상태 정보를 상기 관리 장치로 송신하도록 구성되어 있는, 물품 취급 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 물품 취급 장치가 정상 상태인 것으로 판별하고 있는 동안, 상기 정상 통지 정보를, 상기 관리 장치에 대하여 제1 설정 시간 간격마다 반복하여 송신하도록 구성되며, 상기 물품 취급 장치가 이상 상태인 것으로 판별하고 있는 동안, 상기 이상 통지 정보를, 상기 관리 장치에 대하여 제1 설정 시간 간격보다 짧은 제2 설정 시간 간격마다 반복하여 송신하도록 구성되어 있는, 물품 취급 설비.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 상태 정보가, 상기 물품 취급 장치가 구비하는 전원 장치의 출력 전압, 상기 전원 장치의 출력 전류, 및 상기 전원 장치의 온도 중 어느 하나 이상에 관한 정보이며,
    상기 제어부는, 상기 출력 전압, 상기 출력 전류, 및 상기 온도 중 하나 이상이 이상 판별용의 허용 범위를 일탈한 경우에, 상기 이상 상태인 것으로 판별하도록 구성되어 있는, 물품 취급 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 물품 취급 장치가, 물품 반송용(搬送用)의 이동체이며,
    상기 이동체는, 물품을 지지할 수 있고, 이동 경로를 따라 이동하고,
    상기 제어부는, 상기 이상시 정보로서, 상기 이상시 정보를 생성하는 기초가 되는 상기 상태 정보를 수집했을 때의 상기 이동체의 위치를 나타내는 위치 정보를 상기 관리 장치로 송신하는, 물품 취급 설비.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 물품 취급 장치가 물품 반송용의 이동체이며,
    상기 이동체는, 물품을 지지할 수 있고, 이동 경로를 따라 이동하고,
    상기 제어부는, 상기 이상시 정보로서, 상기 이상시 정보를 생성하는 기초가 되는 상기 상태 정보를 수집했을 때 상기 이동체가 물품을 지지하고 있었는지의 여부를 나타내는 정보를 상기 관리 장치로 송신하는, 물품 취급 설비.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 상태 정보가, 상기 물품 취급 장치가 구비하는 전원 장치의 출력 전압, 상기 전원 장치의 출력 전류, 및 상기 전원 장치의 온도 중 어느 하나 이상에 관한 정보이며,
    상기 제어부는, 상기 출력 전압, 상기 출력 전류, 및 상기 온도 중 하나 이상이 이상 판별용의 허용 범위를 일탈한 경우에, 상기 이상 상태인 것으로 판별하도록 구성되어 있는, 물품 취급 설비.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 물품 취급 장치가, 물품 반송용의 이동체이며,
    상기 이동체는, 물품을 지지할 수 있고, 이동 경로를 따라 이동하고,
    상기 제어부는, 상기 이상시 정보로서, 상기 이상시 정보를 생성하는 기초가 되는 상기 상태 정보를 수집했을 때의 상기 이동체의 위치를 나타내는 위치 정보를 상기 관리 장치로 송신하는, 물품 취급 설비.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 물품 취급 장치가 물품 반송용의 이동체이며,
    상기 이동체는, 물품을 지지할 수 있고, 이동 경로를 따라 이동하고,
    상기 제어부는, 상기 이상시 정보로서, 상기 이상시 정보를 생성하는 기초가 되는 상기 상태 정보를 수집했을 때 상기 이동체가 물품을 지지하고 있었는지의 여부를 나타내는 정보를 상기 관리 장치로 송신하는, 물품 취급 설비.
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