KR101150791B1

KR101150791B1 - 정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및, 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 기록매체

Info

Publication number: KR101150791B1
Application number: KR1020107005444A
Authority: KR
Inventors: 카즈히로 가와무라; 츠요시 모리야; 야스토시 우메하라
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Priority date: 2007-09-11
Filing date: 2008-09-09
Publication date: 2012-06-13
Also published as: CN101622688A; TW200929325A; US20100153065A1; KR20100053655A; WO2009034967A1; JPWO2009034967A1

Abstract

(과제) 종래의 정보 처리 장치에 있어서는, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터로부터, 반도체 프로세스의 상태를 정밀도 좋게 검지할 수 없다는 과제가 있었다.
(해결 수단) 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수하는 제1 입력 접수부(101)와, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수하는 제2 입력 접수부(102)와, 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 창함수 처리부(103)와, 창함수 처리부(107)가 취출한 창 취득 정보와, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 상관 산출부(109)와, 상관 산출부(109)의 산출 결과에 따른 정보를 출력하는 출력부(111)를 구비했다.

Description

정보 처리 장치, 정보 처리 방법 및, 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 기록매체{INFORMATION PROCESSOR, INFORMATION PROCESSING METHOD AND COMPUTER-READABLE RECORDING MEDIUM HAVING PROGRAM THEREON}

본 발명은, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터를 처리하는 정보 처리 장치 등에 관한 것이다.

반도체 프로세스에 관한 측정 데이터 등의 가공 방법으로서, 종래, 측정기로부터 보내져오는 데이터를 자동적으로, 그리고 정확하게 가공하는 방법이 알려지고 있었다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 이 측정 데이터 가공 방법은, 측정 데이터를 가공하는 계산식을 미리 등록해 두고, 측정 데이터를 수신했을 때, 이 측정 데이터를 측정 데이터 수신 버퍼에 격납함과 함께, 측정 데이터가 갖는 레시피 명칭에 기초하여, 등록된 계산식 중에서 측정 데이터를 가공하는데에 적합한 적어도 하나의 동일한 레시피 명칭을 갖는 계산식을 선택하여 계산식 격납 버퍼에 격납하고, 격납된 상기 측정 데이터를 상기 선택된 계산식에 적용하여 계산하고, 계산 결과를 가공이 끝난 데이터 격납 버퍼에 기억하는 것이다.

한편, 통상, 측정 데이터 등의 시계열 데이터, 예를 들면 파형(波形) 등을 육안 등으로 감시함으로써, 반도체 제조 프로세스에 있어서의 이상(異常)을 검지하는 것이 가능하다.

[특허문헌 1] 일본공개특허공보 평11-354395호(제1페이지, 제1도 등)

그러나, 이러한 시계열 데이터에 있어서의 이상의 검출을, 정보 처리 장치 등으로 자동화시켜, 반도체 제조 장치의 상태를 정밀도 좋게 검지하는 것은 매우 곤란하다는 과제가 있었다. 예를 들면, 파형 데이터 등의 측정 데이터에는 노이즈 등이 들어가거나, 프로세스의 제어의 불균일이나 외적인 환경의 변동 등에 의한 파형의 불균일이 발생하는 일이 많다. 이러한 노이즈나 파형의 불균일 등이 파형 등에 포함됨으로써, 미리 준비된 정상인 경우나 이상인 경우의 반도체 프로세스 실행시의 측정 데이터인 참조 데이터의 전체와, 판단 대상이 되는 실제의 반도체 프로세스 실행시의 측정 데이터인 대상 데이터의 전체를, 단순하게 나란히 비교해도, 양자가 일치하고 있는지 아닌지를 정밀도 좋게 검지하는 것은 곤란하다. 따라서, 참조 데이터와 대상 데이터가 일치하는지 아닌지를 판단하여, 반도체 프로세스가 정상이었는지 아닌지를 판단하는 것은 곤란하다.

본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수하는 제1 입력 접수부와, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수하는 제2 입력 접수부와, 상기 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수(window function)를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 창함수 처리부와, 상기 창함수 처리부가 취출한 창 취득 정보와, 상기 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 상관 산출부와, 상기 상관 산출부의 산출 결과에 따른 정보를 출력하는 출력부를 구비한 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 사용자가 검지 가능해진다. 예를 들면, 제1 정보의 특징을 나타내는 부분 등을 창함수로 취출하고, 이 취출한 부분과, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출함으로써, 제1 정보의 필요한 부분만의 상관을 구할 수 있어, 반도체 프로세스의 상태를 정밀도 좋게 검지하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제1 정보를 정규화하는 제1 정규화 처리부를 추가로 구비하고, 상기 창함수 처리부는, 상기 제1 정규화 처리부가 처리한 상기 제1 정보로부터 상기 창 취득 정보를 취출하는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 제1 정보와 제2 정보와의 상관이 적절하게 구해지게 되어, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제2 정보를 정규화하는 제2 정규화 처리부를 추가로 구비하고, 상기 상관 산출부는, 상기 창 취득 정보와, 상기 제2 정규화 처리부가 처리한 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 정보 처리 장치이다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제1 정보에 대하여 필터 처리를 행하는 제1 필터부를 추가로 구비하고, 상기 창함수 처리부는, 상기 제1 필터부가 처리한 상기 제1 정보로부터 상기 창 취득 정보를 취출하는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 필터 처리로 제1 정보와 제2 정보와의 신호 변화의 차이를 흡수할 수 있어, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다. 예를 들면, 필터 처리로 전송 경로의 차이에 의한 제1 정보와 제2 정보와의 신호 변화를 흡수할 수 있어, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제1 필터부는, 상기 제1 정보에 대하여, 신축 필터 처리를 행하는 신축 필터 수단, 또는 ARX 필터 처리를 행하는 ARX 필터 수단, 또는 엔벌로프(envelope) 필터 수단, 또는 제로크로스(zerocross) 필터 수단의 적어도 하나를 구비하고 있는 정보 처리 장치이다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제2 정보에 대하여 필터 처리를 행하는 제2 필터부를 추가로 구비하고, 상기 상관 산출부는, 상기 창 취득 정보와, 상기 제2 필터부가 처리한 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 정보 처리 장치이다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제2 필터부는, 상기 제2 정보에 대하여, 신축 필터 처리를 행하는 신축 필터 수단, 또는 ARX 필터 처리를 행하는 ARX 필터 수단, 또는 엔벌로프 필터 수단, 또는 제로크로스 필터 수단의 적어도 하나를 구비하고 있는 정보 처리 장치이다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 상관 산출부의 산출 결과를 이용하여, 상기 제2 정보에, 상기 창 취득 정보와 상관이 높은 정보가 포함되는지 아닌지를 판단하여, 상기 제2 정보가 정상인지 아닌지를 판단하는 판단부를 추가로 구비하고, 상기 출력부는, 상기 판단부의 판단 결과를 출력하는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 반도체 프로세스의 상태에 대한 판단 결과를 알 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제1 입력 접수부 및 제2 입력 접수부는, 전달 경로마다 출력되는 상기 제1 정보 및 제2 정보를, 상이한 복수의 전달 경로에 대해서 각각 접수하고, 상기 창함수 처리부는, 상기 제1 입력 접수부가 접수한 상기 각 전달 경로로부터 출력된 상기 제1 정보로부터, 상기 각 전달 경로마다 상기 창 취득 정보를 취득하고, 상기 상관 산출부는, 하나의 전달 경로로부터 출력된 제1 정보로부터 취득된 창 취득 정보와, 동일한 전달 경로로부터 출력된 제2 정보와의 상호 상관 함수를, 상기 복수의 전달 경로마다 각각 산출하고, 상기 상관 산출부가 각 전달 경로에 대해서 산출한 상호 상관 함수를 이용하여, 각 전달 경로마다, 제2 정보와 창 취득 정보와의 상관이 높은 부분을 검출하는 상관 검출부와, 상기 상관 검출부가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리가 관련하는지 아닌지를 판단하는 관련 판단부를 추가로 구비하고, 상기 출력부는, 상기 관련 판단부의 판단 결과에 따른 출력을 행하는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 전달 경로가 상이한 신호의 관련성을 평가할 수 있다. 예를 들면, 전달 경로가 상이한 신호의 특징 부분, 예를 들면 이상을 나타내고 있는 부분이, 동일한 원인으로부터 파생된 신호인지 아닌지를 인지하는 것이 가능해진다. 이 결과, 예를 들면, 전달 경로가 상이한 신호로부터, 관련성이 있는 신호의 특징 부분을 검출하여, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제1 입력 접수부 및 제2 입력 접수부는, 동일 또는 상이한 전달 경로로부터 출력되는 상기 제1 정보 및 제2 정보를 각각 접수하고, 상기 제1 정보 및 제2 정보가 출력되는 전달 경로와는 상이한 하나 이상의 전달 경로로부터 출력되는 시계열 데이터인 하나 이상의 제3 정보를 접수하는 제3 입력 접수부와, 상기 상관 산출부가 산출한 상호 상관 함수를 이용하여, 제2 정보와 창 취득 정보와의 상관이 높은 부분을 검출하는 상관 검출부와, 상기 상관 검출부가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 상기 제3 정보의 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 검출되었는지 아닌지를 판단하는 정보 판단부를 추가로 구비하고, 상기 출력부는, 상기 정보 판단부의 판단 결과에 따른 출력을 행하는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 상이한 전달 경로에 의해 출력되는 데이터의 관련성을 평가할 수 있다. 이에 따라, 예를 들면, 반도체 제조 프로세스 등에 있어서 하나의 원인에 의해 발생된 이상을 적절하게 검출하는 것이 가능해진다. 예를 들면, 각 전달 경로의 관련이 없는 기간에 검출된 이상을 나타내는 정보에 대해서는, 개별의 전달 경로에 있어서 발생된 노이즈 등의 정보일 가능성이 높기 때문에, 이들의 정보가 검출되어도 이상이라고 판단하지 않도록 하여, 이상의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다. 이 결과, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제3 정보에 대하여, 필터 처리를 행하는 제3 필터부를 추가로 구비하고, 상기 정보 판단부는, 상기 제3 필터부가 처리한 제3 정보의, 상기 상관 검출부가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 검출되었는지 아닌지를 판단하는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 필터 처리로 제1 정보와 제2 정보와의 신호 변화의 차이를 흡수할 수 있어, 다른 전달 경로에 의해 출력되는 데이터의 관련성을 정밀도 좋게 평가할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제3 필터부는, 상기 제3 정보에 대하여, 신축 필터 처리를 행하는 신축 필터 수단, 또는 ARX 필터 처리를 행하는 ARX 필터 수단, 또는 엔벌로프 필터 수단, 또는 제로크로스 필터 수단의 적어도 하나를 구비하고 있는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 필터 처리로 제1 정보와 제2 정보와의 신호 변화의 차이를 흡수할 수 있어, 상이한 전달 경로에 의해 출력되는 데이터의 관련성을 정밀도 좋게 평가할 수 있다.

또한, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 상기 정보 처리 장치에 있어서, 상기 제1 정보의, 상기 소정의 기간의 지정(指定)을 접수하는 지정 접수부를 추가로 구비하고, 상기 창함수 처리부는, 상기 제1 정보의, 상기 지정 접수부가 접수한 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 정보 처리 장치이다.

이러한 구성에 의해, 제1 정보의, 사용자가 지정한 부분, 예를 들면 제1 정보의 특징을 나타내는 부분 등을 창함수로 취출하고, 이 추출한 부분과, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출함으로써, 제1 정보의 필요한 부분만의 상관을 구할 수 있어, 반도체 프로세스의 상태를 정밀도 좋게 검지하는 것이 가능해진다.

본 발명에 의한 정보 처리 장치에 따르면, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터로부터, 반도체 프로세스의 상태를 정밀도 좋게 검지하는 것이 가능해진다.

도 1은 실시 형태 1에 있어서의 정보 처리 장치의 블록도이다.
도 2는 동(同) 정보 처리 장치를 구비한 반도체 제조 장치 관리 시스템의 개념도이다.
도 3은 동 반도체 제조 장치 관리 시스템에 있어서의, 제조 장치의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 4는 동 정보 처리 장치의 필터 처리를 설명하는 도면이다.
도 5는 동 정보 처리 장치의 필터 처리를 설명하는 도면이다.
도 6은 동 정보 처리 장치의 필터 처리를 설명하는 도면이다.
도 7은 동 정보 처리 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 8은 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 9는 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 10은 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 11은 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 12는 동 정보 처리 장치의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 13은 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 14는 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 15는 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 16은 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 17은 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 18은 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 19는 동 정보 처리 장치에 있어서의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 20은 본 발명의 정보 처리 장치를 실현하는 컴퓨터 시스템의 외관 일 예를 나타내는 모식도(schematic view)이다.
도 21은 본 발명의 정보 처리 장치를 실현하는 컴퓨터 시스템의 구성의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 22는 실시 형태 2에 있어서의 정보 처리 장치의 블록도이다.
도 23은 동 정보 처리 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 24는 동 정보 처리 장치의 구성의 개략을 나타내는 도면이다.
도 25는 동 정보 처리 장치의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 26은 동 정보 처리 장치의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 27은 동 정보 처리 장치의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 28은 동 정보 처리 장치의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 29는 실시 형태 3에 있어서의 정보 처리 장치의 블록도이다.
도 30은 동 정보 처리 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 31은 동 정보 처리 장치의 동작에 대해서 설명하는 플로우 차트이다.
도 32는 동 정보 처리 장치의 동작을 설명하기 위한 기간 지정 정보의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 33은 동 정보 처리 장치의 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 34는 동 정보 처리 장치의 표시예를 나타내는 도면이다.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

이하, 정보 처리 장치 등의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 실시 형태에 있어서 동일한 부호를 붙인 구성 요소는 동일한 동작을 행하기 때문에, 재차의 설명을 생략하는 경우가 있다.

(실시 형태 1)

도 1은, 본 실시 형태에 있어서의 정보 처리 장치의 블록도이다.

또한, 도 2는, 본 실시 형태에 있어서의 정보 처리 장치를 구비한 반도체 제조 장치 관리 시스템의 개념도이다.

정보 처리 장치(10)는, 제조 장치(11)와, 통신 회선 등을 통하여, 정보의 송수신이 가능해지도록, 직접 또는 간접적으로 접속되어 있다. 정보 처리 장치(10)와, 제조 장치(11)는, 예를 들면, 인터넷이나, 무선이나 유선의 LAN 등의 네트워크로 접속되어 있어도 좋고, 블루투스(등록 상표) 등의 근거리 무선 통신에 의해 접속되어 있어도 좋다. 또한, 신호선으로 직접 접속되어 있어도 좋다.

제조 장치(11)는, 피(被)처리 기판, 예를 들면, 반도체 웨이퍼나 액정 패널 기판 등에 대한 소정의 반도체 프로세스를 행하는 장치이다. 제조 장치(11)는, 예를 들면, 성막 처리, 에칭 처리, 열산화 처리 등의 피처리 기판에 대한 각종 처리를 행한다. 제조 장치(11)는, 예를 들면, 반도체 웨이퍼 제조 장치 등의 반도체 제조 장치나, 액정 패널 제조 장치, 플라즈마 디스플레이용 패널 제조 장치 등이다.

도 3은, 제조 장치(11)의 일 예인 반도체 웨이퍼 제조 장치를 나타내는 도면이다. 도 3의 반도체 웨이퍼 제조 장치는, 반도체 웨이퍼에 대하여 각종의 처리, 예를 들면, 성막 처리나 에칭 처리나 열산화 처리 등을 행하는 복수, 예를 들면, 3개의 프로세스 챔버(1, 2, 3)와, 다수매, 예를 들면, 50장의 웨이퍼(W)를 수납할 수 있는 카세트(C1, C2)를 수용하는 카세트 챔버(4, 5)와, 프로세스 챔버(1, 2, 3)와 카세트 챔버(4, 5)와의 사이에서 웨이퍼(W)의 인수인도를 행하는 반송 챔버(6)를 구비하여 구성된다. 각 챔버간은, 게이트 밸브(G)를 통하여 개폐가 자유롭게 연결되어 있다. 반송 챔버(6) 내에는, 굴신(屈伸) 동작 및 회전 동작이 가능한 예를 들면 다관절식의 반송 아암(7)이 형성되어 있어, 이 반송 아암(7)에 의해 챔버간에서의 웨이퍼(W)의 반송이 행해진다. 카세트(C1, C2)는, 카세트 챔버(4, 5) 내에 취입될 때에 90도 반전됨과 함께, 그 카세트(C1, C2)의 웨이퍼 삽탈구가 반송 챔버(6) 내의 중심을 향하도록 회전되고, 반송 아암(7)에 의해 웨이퍼(W)의 출납이 가능한 자세로 설치된다.

제조 장치(11)는, 예를 들면, 웨이퍼에 대한 소정의 프로세스에 관한 정보인 레시피를 격납하고 있어, 당해 레시피를 이용하여 제조 프로세스의 제어를 행한다. 레시피란, 통상, 장치에 대한 프로세스 조건치나 명령, 장치의 레이아웃에 대한 정보 등의 집합이다.

또한, 제조 장치(11)는, 자(自)장치의 상황에 관한 시계열의 데이터(이하 시계열 데이터라고 칭함)를 1 이상 취득하여, 정보 처리 장치(10)에 출력, 예를 들면 송신한다. 여기에서 서술하는 각 시계열 데이터는, 예를 들면, 시간에 대응한 복수의 데이터에 의해 구성되는 데이터이며, 구체예로서는 파형 데이터이다. 상황에 관한 시계열의 데이터란, 구체적으로는, 센서나 마이크, 계측기 등에 의해 시계열을 따라서 취득된 제조 장치의 이용 상황에 관련된 데이터나, 동작 상황에 관련된 데이터이다. 이용 상황에 관련된 데이터란, 예를 들면, 제조 장치(11)가 어떠한 처리나 제어를 개시했는지, 실행중인지 등을 나타내는 데이터나, 제조 장치(11)를 제어할 때의 제어치의 변동을 나타내는 데이터 등이다. 제조 장치(11)의 동작 상황에 관련된 데이터란, 예를 들면, 하나의 반도체 프로세스 실행시에 있어서, 제조 장치(11) 내의 온도나 압력, 제조 장치에 공급되는 전력량, 재료 가스의 유량 등의 제조 장치의 동작시 등에 실측된 측정 데이터 등이다. 이 측정 데이터는, 1 이상의 온도 센서나, 1 이상의 진동 센서나, 1 이상의 유량 센서 등을 이용하여 취득된다. 제조 장치(11)는, 통상, 시계열 데이터에, 당해 시계열 데이터가 구성된 시각이나, 당해 시계열 데이터를 구성하는 측정 정보나 이용 상황을 나타내는 데이터가 취득된 시각 등을 나타내는 정보인 시각 데이터를, 측정 데이터나 이용 상황을 나타내는 데이터와 대응지어 부가하여 출력한다. 단, 시계열 데이터를 수신한 정보 처리 장치(10)가 시계열 데이터를 수신한 시간에 대응하는 시각 데이터를, 상황 데이터에 대응지어 부가하도록 해도 좋다. 또한, 시계열 데이터에 「온도」,「압력」 등의 측정 데이터의 종류를 나타내는 정보를 부가하여 출력해도 좋다. 통상은, 하나의 제조 장치(11)는, 상이한 종류의 복수의 시계열 데이터를 송신한다. 단, 복수의 제조 장치(11)가, 하나 이상의 시계열 데이터를 송신해도 좋다. 또한, 제조 장치(11)가 복수 존재할 경우, 각 제조 장치(11)로부터 출력되는 시계열 데이터를 식별할 수 있도록, 시계열 데이터에 각 제조 장치(11)를 식별하기 위한 식별 정보를 부가하여 송신해도 좋다.

또한, 제조 장치(11)가, 웨이퍼 등의 피처리 기판에 대한 소정의 반도체 프로세스에 관한 처리를 실행하는 구성이나, 상황 데이터를 취득하여 송신하는 구성 등에 대해서는 공지 기술이기 때문에, 상세한 설명은 생략한다.

정보 처리 장치(10)는, 제1 입력 접수부(101), 제2 입력 접수부(102), 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106), 창함수 처리부(107), 지정 접수부(108), 상관 산출부(109), 판단부(110), 출력부(111)를 구비한다.

제1 필터부(105)는, 제1 신축 필터 수단(1051), 제1 ARX(autoregressive model with exogenous input) 필터 수단(1052), 제1 엔벌로프 필터 수단(1053) 및, 제1 제로크로스 필터 수단(1054)을 구비한다.

제2 필터부(106)는, 제2 신축 필터 수단(1061), 제2 ARX 필터 수단(1062), 제2 엔벌로프 필터 수단(1063) 및, 제2 제로크로스 필터 수단(1064)을 구비한다.

제1 입력 접수부(101)는, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수한다. 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터란, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터라면, 어떠한 데이터라도 좋고, 예를 들면, 반도체 프로세스의 처리시(실행시)의 상태를 나타내는 시계열의 데이터이며, 구체적으로는, 하나의 프로세스 실행시 등에, 제조 장치(11) 등의 반도체 관련의 제조 장치 내외 등에 형성된 센서나 마이크 등이 출력하는 복수의 데이터에 의해 구성되는 파형 데이터 등이다. 예를 들면, 이들의 데이터를 제1 입력 접수부(101)가 제조 장치(11) 등으로부터 직접 또는 간접적으로 접수해도 좋다. 또한, 이들의 데이터를 가공하여 얻어진 데이터, 예를 들면 통계 처리한 데이터 등이어도 좋다. 또한, 미리 시뮬레이션 등에 의해 작성된, 반도체 프로세스의 실행시에 얻어진다고 생각되는 시계열 데이터라도 좋다. 또한, 여기에서는, 특히, 제1 정보가, 후술하는 제2 정보에 대한 어떠한 판단, 예를 들면, 제2 정보가 정상인 정보인지 아닌지 등의 판단을 행할 때에 참조되는 정보(이하 참조 정보라고 칭함)인 경우에 대해서 설명한다. 이 참조 정보는, 비교 대상의 기준이 되는 데이터라고 생각해도 좋다. 여기에서 서술하는 접수란, 외부로부터 네트워크 등을 통하여 송신되는 정보의 수신이나, 신호선 등을 통한 정보의 입력이나, 제1 정보가 기록되어 있는 기록 매체 등으로부터의 정보의 판독 등이다. 제1 입력 접수부(101)는, 유선 또는 무선의 통신 수단이나, 신호 입력을 위한 입력 인터페이스 및 그 드라이버나, 기록 매체로부터 정보를 판독하는 디바이스 등의 디바이스 드라이버 등에 의해 실현된다.

제2 입력 접수부(102)는, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수한다. 제2 정보는, 제1 정보와 동일한 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터이다. 예를 들면, 이들의 데이터를 제2 입력 접수부(102)가 제조 장치(11) 등으로부터 직접 또는 간접적으로 접수해도 좋다. 여기에서는, 특히, 제2 정보가, 반도체 프로세스 실행시에 측정된 실측 데이터 등의, 반도체 프로세스의 상태를 검지하기 위한 대상이 되는 정보(이하 대상 정보라고 칭함)인 경우에 대해서 설명한다. 대상 정보는, 검사 대상의 정보라고 생각해도 좋다. 단, 제1 정보와 제2 정보는, 특히, 후술하는 제1 필터부(105)를 이용하는 경우, 전달 경로, 구체적으로는 정보가 전달하는 경로나 측정 항목이나 측정 위치나 측정 수단이나 측정 단위 등이 동일한 정보라도, 상이한 정보라도 좋다. 예를 들면, 제1 정보가 제조 장치(11)의 온도 센서의 측정치의 정보이고, 제2 정보가 제조 장치(11)의 내부의 음을 마이크로 집음(集音)한 파형 정보라도 좋다. 제2 입력 접수부(102)의 구성은, 제1 입력 접수부(101)의 구성과 동일하기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.

제1 정규화 처리부(103)는, 제1 정보를 정규화하는 정규화 처리를 행한다. 정규화 처리란, 비교나 연산 등의 조작을 위해 바람직한 성질을 가진 일정한 형태를 갖지 않는 제1 정보나 제2 정보, 즉 정규형을 갖지 않는 제1 정보나 제2 정보를 정규형으로 변형하는 처리이다. 구체예로서는, 평균이 0, 분산이 1이 되도록 제1 정보의 보정을 행하는 평균치 분산치 정규화를 행하는 처리를 들 수 있다. 후술하는 창함수 처리부(107)는, 제1 정규화 처리부(103)가 처리한 제1 정보로부터, 후술하는 창 취득 정보를 취출한다. 단, 제1 정규화 처리부(103)에서 정규화 처리된 제1 정보가, 그대로 직접, 창함수 처리부(107)에 입력되어도 좋고, 다른 처리부 등을 통하여 간접적으로 입력되어도 좋다. 제1 정규화 처리부(103)는, 통상, MPU나 메모리 등으로부터 실현될 수 있다. 제1 정규화 처리부(103)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 제1 정보를 정규화할 필요가 없는 경우, 제1 정규화 처리부(103)는 생략 가능하다.

제2 정규화 처리부(104)는, 제2 정보를 정규화하는 정규화 처리를 행한다. 후술하는 상관 산출부(109)는, 후술하는 창 취득 정보와, 제2 정규화 처리부(104)가 처리한 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출한다. 상호 상관 함수란, 2개의 신호의 유사성 등을 나타내는데에 이용하는 함수이다. 단, 제2 정규화 처리부(104)가 처리한 제2 정보가, 그대로 직접, 상관 산출부(109)에 입력되어도 좋고, 다른 처리부 등을 통하여 간접적으로 입력되어도 좋다. 제2 정규화 처리부(104)의 구성에 대해서는, 제1 정규화 처리부(103)와 동일하기 때문에 설명은 생략한다. 또한, 제2 정보를 정규화할 필요가 없는 경우, 제2 정규화 처리부(104)는 생략 가능하다.

제1 필터부(105)는, 제1 정보에 대하여 필터 처리를 행한다. 예를 들면, 제1 정보에 대하여, 제2 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호 변화를 흡수하는 필터 처리를 행한다. 단, 그 외의 목적을 위해 필터 처리를 행해도 좋다. 예를 들면, 동일한 전달 경로로부터 출력되는 정보라도, 반드시, 정보가, 비교나 연산 등의 처리를 위해 바람직한 성질을 가진 일정한 형태, 예를 들면 파형을 갖고 있지 않는 경우가 있다. 이러한 경우에, 처리를 위한 바람직한 성질을 가진 일정한 형태의 정보를 얻기 위해, 필터 처리 등을 행하도록 해도 좋다. 이러한 목적의 필터 처리로서는, 예를 들면, 노이즈 제거나 파형의 불균일의 제거 등의 처리가 효과적이다. 후술하는 창함수 처리부(107)는, 제1 필터부(105)가 처리한 제1 정보로부터 후술하는 창 취득 정보를 취출한다. 또한, 제1 필터부(105)가 처리한 제1 정보는, 그대로 직접, 창함수 처리부(107)에 입력되어도 좋고, 다른 처리부 등을 통하여 간접적으로 입력되어도 좋다. 또한, 여기에서는, 제1 정규화 처리부(103)가 처리한 제1 정보에 대하여 필터 처리를 행하는 경우를 예로 들어서 나타내고 있지만, 제1 입력 접수부(101)가 접수한 제1 정보를 직접, 필터 처리하도록 해도 좋다. 또한, 이 필터 처리된 제1 정보를, 제1 정규화 처리부(103) 등에서 정규화 처리하도록 해도 좋다. 즉, 제1 정규화 처리부(103)와 제1 필터부(105)와의 처리의 순번은 묻지 않는다. 제1 필터부(105)가 필터 처리를 행하는 타이밍이나 트리거 등은 묻지 않는다. 또한, 제1 정보에 어떠한 필터 처리를 행할지에 대해서는, 예를 들면, 필터 처리의 적용 대상이 되는 제1 정보나, 제2 정보와의 관계에 따라서, 미리, 정보의 특성이나, 과거의 실험 결과 등에 기초하여 결정해 두도록 해도 좋고, 적절히 사용자가 선택하거나 전환하여 적용할 수 있도록 해도 좋다. 또한, 각 필터 처리에 있어서의 파라미터 등은, 예를 들면, 미리 정보의 특성이나, 과거의 실험 결과나, 시뮬레이션 결과 등에 따라서 미리 설정해 두도록 하면 좋다.

전달 경로란, 제조 장치(11) 혹은 제조 프로세스에 있어서의, 어떤 요인에 관한 정보가 어떻게 전달하는지를 나타내는 경로로써, 예를 들면 어떤 요인에 대해서 측정한 동일한 측정 항목의 복수의 정보가 각각 정보 처리 장치(10)에 전해지는 경로라도 좋고, 어떤 요인에 관한 정보를 상이한 형태로 측정한 정보가 전달하는 것이라고 생각해도 좋다. 예를 들면, 어떤 요인에 관하여 상이한 측정 항목, 예를 들면 음과 진동 등으로 측정한 정보가 전달하는 것이라고 생각해도 좋다. 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하는 필터 처리란, 제1 정보와 제2 정보가 상이한 전달 경로에서 취득된 정보인 경우 등에 있어서, 제1 정보와 제2 정보와의 전달 경로의 차이에 의해 발생되는 두 개의 정보의 신호의 차이, 예를 들면, 전달 경로의 차이에 의한 지연이나 시간의 신장, 신호를 전하는 주파수대의 차이 등을 보정하고 흡수하기 위한 처리이다. 이러한 신호의 변화를 흡수하는 필터 처리로서는, 예를 들면, 신축 필터 처리나 ARX 필터 처리 등이 있다. 예를 들면, 제1 필터부(105)는, 전달 경로의 차이에 의한 파형의 차이를 수정하기 위한 필터 처리로서, 신축 필터 처리, ARX 필터 처리, 엔벌로프 필터 처리, 또는 제로크로스 필터 처리의 적어도 하나를 실행하도록 해도 좋다. 신축 필터 처리나 ARX 필터 처리, 엔벌로프 필터 처리 및, 제로크로스 필터 처리에 대해서는 후술한다. 여기에서는, 제1 필터부(105)가, 전달 경로의 차이에 의한 파형의 차이를 흡수하기 위한 필터 처리를 행하는 수단으로서, 신축 필터 처리를 행하는 제1 신축 필터 수단(1051)과, ARX 필터 처리를 행하는 제1 ARX 필터 수단(1052)과, 엔벌로프 필터 처리를 행하는 제1 엔벌로프 필터 수단(1053)과, 제로크로스 필터 처리를 행하는 제1 제로크로스 필터 수단(1054)을 구비하고 있는 경우에 대해서 설명한다. 단, 제1 필터부(105)는, 제1 신축 필터 수단(1051)과, 제1 ARX 필터 수단(1052)과, 제1 엔벌로프 필터 수단(1053)과, 제1 제로크로스 필터 수단(1054) 중의 적어도 하나 이상을 구비하고 있도록 해도 좋다. 또한, 제1 필터부(105)는, 제1 신축 필터 수단(1051)과, 제1 ARX 필터 수단(1052)과, 제1 엔벌로프 필터 수단(1053)과, 제1 제로크로스 필터 수단(1054)과의 처리 순번은 필요에 따라서 변경 가능하다. 또한, 이들의 수단 중, 제1 정보에 대하여 적용할 필요가 없는 수단에 대해서는, 처리를 행하지 않도록 해도 좋다. 제1 필터부(105)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 제1 필터부(105)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 제1 필터부(105)는, 제1 정보와 제2 정보가 동일한 요인으로부터 발생된 전달 경로가 상이한 정보인 경우에 특히 유효한 것이며, 제1 정보와 제2 정보가 동일한 전달 경로에서 얻어지는 정보인 경우와 같이, 제1 정보에 대하여, 전달 경로의 차이를 흡수하기 위한 필터 처리가 불필요한 경우, 제1 필터부(105)는 생략 가능하다.

제1 신축 필터 수단(1051)은, 제1 정보에 대하여 제2 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 신축 필터 처리를 행한다. 신축 필터는 비(非)선형 필터이며, 전달 경로에 따라 신호가 늦어지는 경우에, 제1 정보를 시간축 방향으로 변형시킴으로써, 전달 경로마다의 신호 변화를 흡수하는 처리이다. 구체적으로는, 제1 신축 필터 수단(1051)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 신호를 보간(補間)하여 늘리거나, 솎아내어 줄임으로써, 시간적으로 신축시킨 신호를 작성한다. 신축 필터의 구성에 대해서는, 공지 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

제1 ARX 필터 수단(1052)은, 제1 정보에 대하여 제2 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 ARX 필터 처리를 행한다. 제1 ARX 필터 수단(1052)은, 제1 정보와 제2 정보와의 전달 경로의 차분(差分)을 ARX 모델로 표현하여, 제1 정보로부터 제2 정보를 예측함으로써, 전달 경로마다의 신호 변화를 흡수하는 처리이다. ARX 필터는 선형 필터이며, ARX 필터의 계산식은 이하와 같이 나타난다.

[수학식 1]

y(t)=b₀x(t)+b₁x(t-1)+…+b_nx(t-n)

-a₁y(t-1)-a₂y(t-2)…-a_my(t-m)

a₁,…,a_m,b₀,…,b_n은 ARX 모델 계수

ARX 필터에서는, 미리 샘플이 되는 제1 정보와, 제2 정보로부터, ARX 모델 계수를 계산하고, 실제로 사용할 때에는, 제1 정보로부터 제2 신호를 추정하는 처리를 행한다. 또한, ARX 필터의 구성에 대해서는, 공지 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

제1 엔벌로프 필터 수단(1053)은, 제1 정보에 대하여, 제2 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 엔벌로프 필터 처리를 행한다. 엔벌로프 필터는, 비선형 필터이며, 신호를 전하는 주파수대가 상이한 경우에 있어서 신호 전체의 강약 변화에 주목한 상관을 취함으로써, 전달 경로마다의 신호 변화를 흡수하는 것이다. 제1 엔벌로프 필터 수단(1053)은, 구체적으로는, 제1 엔벌로프 필터 수단(1053)은, 도 5에 나타내는 바와 같이, 입력 신호의 절대치의 이동 평균을 취함으로써 의사적(擬似的)으로 신호의 강약을 나타내는 신호를 출력하는 것이다. 또한, 엔벌로프 필터의 구성에 대해서는, 공지 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

제1 제로크로스 필터 수단(1054)은, 제1 정보에 대하여, 제2 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 제로크로스 필터 처리를 행한다. 제로크로스 필터 처리는, 비선형 필터이며, 신호의 강약이 그다지 변화하지 않는 신호에 대하여, 주파수 변화에 주목한 상관을 취함으로써, 전달 경로마다의 신호 변화를 흡수하는 것이다. 제1 제로크로스 필터 수단(1054)은, 구체적으로는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 제1 신호가 단위 시간당 몇 회, 0값과 교차하는지를 카운트하여, 의사적으로 신호의 주파수 변화를 나타내는 신호를 출력하는 것이다. 또한, 엔벌로프 필터의 구성에 대해서는, 공지 기술이기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

제2 필터부(106)는, 제2 정보에 대하여 필터 처리를 행한다. 예를 들면, 제2 정보에 대하여, 제1 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호 변화를 흡수하는 필터 처리를 행한다. 단, 제1 필터부(105)와 동일하게, 그 외의 목적을 위해 필터 처리를 행해도 좋다. 제2 필터부(106)의 구성 등에 대해서는, 제1 필터부(105)와, 처리 대상이 되는 정보 등이 상이한 점을 제외하면 동일하기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다. 또한, 여기에서는, 예로서 제2 필터부(106)가, 제2 신축 필터 수단(1061)과, 제2 ARX 필터 수단(1062)과, 제2 엔벌로프 필터 수단(1063)과, 제2 제로크로스 필터 수단(1064)을 구비하고 있는 것으로 한다. 이들의 처리 순번 등이 변경 가능한 점이나, 제2 필터부(106)가, 이들의 수단을 모두 구비하고 있지 않아도 좋은 점 등은, 제1 필터부(105)와 동일하다. 또한, 제2 정보가 적용하는 필터 처리의 종류나 파라미터 등은, 제1 정보와 동일하게 과거의 실험 결과 등에 기초하여 미리 설정하거나, 적절히 전환하거나 할 수 있도록 하면 좋다.

제2 신축 필터 수단(1061)은, 제2 정보에 대하여 제1 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 신축 필터 처리를 행한다. 또한, 제1 필터부(105)가, 제1 신축 필터 수단(1051)을 구비하고 있는 경우, 이 제2 신축 필터 수단(1061)은 생략해도 좋다. 제2 신축 필터 수단(1061)의 구성은, 제1 신축 필터 수단(1051)의 구성과 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

제2 ARX 필터 수단(1062)은, 제2 정보에 대하여 제1 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 ARX 처리를 행한다. 또한, 제1 필터부(105)가, 제1 ARX 필터 수단(1052)을 구비하고 있는 경우, 이 제2 ARX 필터 수단(1062)은 생략해도 좋다. 제2 ARX 필터 수단(1062)의 구성은, 제1 ARX 필터 수단(1052)의 구성과 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

제2 엔벌로프 필터 수단(1063)은, 제2 정보에 대하여 제1 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 엔벌로프 처리를 행한다. 또한, 통상, 엔벌로프 처리는, 제1 필터부(105)와, 제2 필터부(106)의 양방에 있어서 행해진다. 따라서, 제1 필터부(105)가 제1 엔벌로프 필터 수단(1053)을 구비하고 있는 경우, 제2 필터부(106)에도 제2 엔벌로프 필터 수단(1063)이 형성된다. 제2 엔벌로프 필터 수단(1063)의 구성은, 제1 엔벌로프 필터 수단(1053)의 구성과 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

제2 제로크로스 필터 수단(1064)은, 제2 정보에 대하여 제1 정보와의 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변화를 흡수하기 위한 제로크로스 필터 처리를 행한다. 또한, 통상, 제로크로스 필터 처리는, 제1 필터부(105)와, 제2 필터부(106)의 양방에 있어서 행해진다. 따라서, 제1 필터부(105)가 제1 제로크로스 필터 수단(1054)을 구비하고 있는 경우, 제2 필터부(106)에도 제2 제로크로스 필터 수단(1064)이 형성된다. 제2 제로크로스 필터 수단(1064)의 구성은, 제1 제로크로스 필터 수단(1054)의 구성과 동일하기 때문에 상세한 설명은 생략한다.

창함수 처리부(107)는, 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출한다. 이 취출하여 얻어진 정보가 창 취득 정보이다. 여기에서의 취출하는 대상이 되는 제1 정보는, 제1 필터부(105)가 처리한 제1 정보이다. 단, 제1 필터부(105)가 생략되어 있는 경우, 취출하는 대상이 되는 제1 정보는, 제1 정규화 처리부(103)가 정규화한 제1 정보라도 좋다. 또한, 제1 정규화 처리부(103)도 생략되어 있는 경우, 취출하는 대상은, 제1 입력 접수부(101)가 접수하고, 출력한 제1 정보라도 좋다. 창함수란, 시계열 데이터의 지정된 기간 내의 정보를 취출하기 위한 함수이다. 어떤 데이터에 창함수를 곱하면, 사용자 등에 의해 지정된 기간 외는 값이 0이 되어, 지정된 기간의 데이터만이 남는 결과, 지정된 기간의 데이터를 취출할 수 있다. 이 지정된 기간은, 제1 정보 중의, 소망하는 특징을 나타내고 있다고 생각되는 기간인 것이 바람직하다. 소망하는 특징이란, 예를 들면, 제조 장치(11) 혹은 그 특정의 개소가 이상인 것을 나타내는 특징이나, 제조 장치(11) 혹은 그 특정의 개소가 정상인 것을 나타내는 특징이다. 창함수로서는, 지정된 기간의 데이터를 취출하는 것이나, 기간 내의 위치에 따라서 가중치를 행하여 데이터를 취출하는 것 등이 있다. 창함수의 구체예로서는 해밍창(hamming window) 등이 있다. 여기에서는, 어떠한 창함수를 이용해도 좋다. 단, 지정된 기간의 양단의 데이터의 가중치를 작게 하여, 데이터를 취출할 수 있는 창함수를 이용하는 것이 바람직하다. 지정된 양측의 기간의 양단은, 중요도가 높지 않은 경우가 많기 때문이다. 또한, 창함수는 공지 기술이기 때문에, 설명은 생략한다. 창함수를 이용하여 정보를 취출하는 기간의 지정은, 어떻게 행해져도 좋고, 미리 지정되어 있어도 좋고, 사용자 등으로부터 수시 지정을 접수해도 좋다. 여기에서는, 후술하는 지정 접수부(108)가 접수한 기간을 지정하는 정보를 이용하여, 이 지정된 기간 내의 제1 정보를 미리 설정되어 있는 창함수를 이용하여 취출하는 경우를 예로 들어서 설명한다. 창함수 처리부(107)가 처리를 행하는 타이밍이나 트리거 등은 묻지 않는다. 창함수 처리부(107)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 창함수 처리부(107)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

지정 접수부(108)는, 제1 정보의, 창함수를 이용하여 취출하는 기간인 소정의 기간의 지정을 접수한다. 이 기간의 지정은, 시점과 종점의 지정이나, 시점과 기간의 길이의 지정 등, 어떠한 지정이어도 좋다. 기간의 지정은 수치 등으로 입력되어도 좋고, 마우스 등의 입력 수단을 이용하여, 제1 정보의 소정의 기간을 드래그하는 등에 의해, 그래피컬(graphical)하게 입력되어도 좋다. 기간의 지정에 이용되는 입력 수단은, 텐키(ten key)나 키보드나 마우스나 메뉴 화면에 의한 것 등, 무엇이든지 좋다. 지정 접수부(108)는, 텐키나 키보드 등의 입력 수단의 디바이스 드라이버나, 메뉴 화면의 제어 소프트웨어 등으로 실현될 수 있다.

상관 산출부(109)는, 창함수 처리부(107)가 취출한 정보인 창 취득 정보와, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출한다. 여기에서의 제2 정보는, 제2 필터부(106)가 처리한 제2 정보이다. 단, 제2 필터부(106)가 생략되어 있는 경우, 취출하는 대상이 되는 제2 정보는, 제2 정규화 처리부(104)가 정규화한 제2 정보라도 좋다. 또한, 제2 정규화 처리부(104)도 생략되어 있는 경우, 취출하는 대상은, 제2 입력 접수부(102)가 출력한 제2 정보라도 좋다. 예를 들면, 상관 산출부(109)는, 제2 정보가 나타내는 파형으로 나타내는 것이 가능한 시계열 정보의 각 부분과, 파형으로 나타내는 것이 가능한 창 정보가 출력한 시계열 정보와의 상관을 산출한다. 상호 상관 함수는, 2개의 신호 파형의 유사성, 시간차를 나타내는데에 이용하는 함수이며, 공지 기술이기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다. 상관 산출부(109)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 상관 산출부(109)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

판단부(110)는, 상관 산출부(109)의 산출 결과를 이용하여, 제2 정보에, 창 취득 정보와 상관이 높은 정보가 포함되는지 아닌지를 판단하여, 제2 정보가 정상인지 아닌지를 판단한다. 예를 들면, 상관 산출부(109)가 산출하는 상호 상관 함수에 대하여, 미리 문턱값 등을 설정해 두고, 이 문턱값을 초과한 경우, 이 문턱값을 초과한 부분, 혹은, 제2 정보가, 제1 정보의 창함수 처리부(107)가 취출한 부분과, 충분히 상관이 있다고 판단하여, 제2 정보의 이 부분에 대해서, 미리 지정된 판단 결과를 출력하도록 해도 좋다. 미리 지정된 판단 결과는, 창함수에 의해 취출하는 제1 정보에 따라서 미리 지정해 두도록 하면 좋다. 예를 들면, 창함수 처리부(107)가 창함수를 이용하여 취출하는 부분이, 제조 프로세스에 이상이 발생한 것을 나타내는 특징을 나타내는 기간의 정보인 경우, 상관 산출부(109)가 산출하는 상호 상관 함수가 문턱값을 초과한 경우에는, 이 기간 내에 프로세스 등의 이상이 발생한 것을 나타내는 판단 결과를 출력하도록 해도 좋다. 혹은, 창함수 처리부(107)가 창함수를 이용하여 취출하는 부분이, 제조 프로세스가 정상인 것을 나타내는 특징을 나타내는 기간의 정보인 경우, 상관 산출부(109)가 산출하는 상호 상관 함수가 문턱값을 초과한 경우에는, 프로세스가 정상으로 행해지고 있는 것을 나타내는 판단 결과를 출력하도록 해도 좋다. 판단부(110)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 판단부(110)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다. 또한, 판단이 불필요한 경우는, 판단부(110)는 생략해도 좋다.

출력부(111)는, 상관 산출부(109)의 산출 결과에 따른 정보를 출력한다. 상관 산출부(109)의 산출 결과에 따른 정보는, 통상, 상관 산출부(109)의 산출 결과에 대해서 판단부(110)가 판단한 판단 결과이다. 예를 들면, 출력부(111)는, 판단부(110)의 판단 결과, 예를 들면, 프로세스에 이상이 발생하고 있는 것을 나타내는 정보를 출력한다. 단, 상관 산출부(109)의 산출 결과에 따른 정보는, 상관 산출부(109)의 산출 결과라도 좋다. 예를 들면, 출력부(111)는, 판단부(110)가 생략되어 있는 경우나, 판단을 사용자가 육안 등으로 행하고 싶은 경우 등에는, 상관 산출부(109)가 산출한 상호 상관 함수를, 예를 들면 파형을 나타내는 그래프를 이용하여 표시나 인쇄해도 좋다. 또한, 판단 결과와 함께, 상호 상관 함수를 출력하도록 해도 좋다. 여기에서 서술하는 출력이란, 디스플레이로의 표시, 프린터로의 인자(印字), 이상 발생을 나타내는 음출력, 기록 매체로의 축적, 외부의 해석 장치 등으로의 송신 등을 포함하는 개념이다. 출력부(111)는, 디스플레이나 스피커 등의 출력 디바이스를 포함한다고 생각해도 포함하지 않는다고 생각해도 좋다. 출력부(111)는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트 또는, 출력 디바이스의 드라이버 소프트와 출력 디바이스 등으로 실현될 수 있다.

다음으로, 정보 처리 장치의 동작에 대해서 도 7의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.

(스텝 S701) 제1 입력 접수부(101)가 입력을 접수했는지 아닌지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S702로 진행한다. 접수하지 않은 경우, 스텝 S701로 되돌아간다.

(스텝 S702) 제1 정규화 처리부(103)는, 스텝 S701에 있어서 접수한 제1 정보에 대하여 정규화 처리를 행한다. 정규화 처리가 불필요한 경우, 이 스텝은 생략된다.

(스텝 S703) 제1 필터부(105)는, 스텝 S702에서 정규화된 제1 정보에 대하여 필터 처리를 행한다. 필터 처리는 복수의 필터 처리를 어떠한 순번으로 행하도록 해도 좋다. 필터 처리가 불필요한 경우, 이 스텝은 생략된다.

(스텝 S704) 지정 접수부(108)는, 제1 정보에 대해서, 창함수로 취출하는 기간의 지정을 접수했는지 아닌지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S705로 진행하고, 접수하지 않은 경우, 스텝 S704로 되돌아간다.

(스텝 S705) 창함수 처리부(107)는, 스텝 S703에 있어서 필터 처리를 행한 제1 정보에 대하여, 창함수를 적용하여, 스텝 S704에 있어서 지정된 기간의 제1 정보를 취출한다. 취출한 제1 정보는 예를 들면 메모리 등에 일시 기억해 둔다.

(스텝 S706) 제2 입력 접수부(102)가 입력을 접수했는지 아닌지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S707로 진행한다. 접수하지 않은 경우, 스텝 S706으로 되돌아간다.

(스텝 S707) 제2 정규화 처리부(104)는, 스텝 S706에 있어서 접수한 제2 정보에 대하여 정규화 처리를 행한다. 정규화 처리가 불필요한 경우, 이 스텝은 생략된다.

(스텝 S708) 제2 필터부(106)는, 스텝 S707에서 정규화된 제2 정보에 대하여 필터 처리를 행한다. 필터 처리는 복수의 필터 처리를 어떠한 순번으로 행하도록 해도 좋다. 필터 처리를 행한 제2 정보는, 예를 들면 메모리 등에 일시 기억해 둔다. 필터 처리가 불필요한 경우, 이 스텝은 생략된다.

(스텝 S709) 상관 산출부(109)는, 스텝 S705에서 창함수에 의해 취출된 제1 정보와, 스텝 S708에서 필터 처리된 제2 정보를 이용하여, 상호 상관 함수를 산출한다.

(스텝 S710) 판단부(110)는, 도시하지 않은 메모리 등에 축적되어 있는 문턱값을 판독한다. 또한, 여기에서는, 창함수로 취득한 창 취득 정보가, 제조 프로세스 등이 이상인 것을 나타내는 정보로서, 제조 프로세스가 정상이라고 판단할 수 있는 상호 상관 함수의 값의 범위의 최대치가 문턱값인 경우를 예로 들어서 설명한다.

(스텝 S711) 판단부(110)는, 산출된 상호 상관 함수에 있어서, 문턱값보다도 큰 값이 있는지 없는지를 판단한다. 큰 값이 있는 경우, 스텝 S712로 진행하고, 없는 경우, 스텝 S713으로 진행한다. 또한, 경우에 따라서는, 판단부(110)는, 산출된 상호 상관 함수에 있어서, 문턱값보다도 작은 값이 있는지 없는지를 판단해도 좋다. 예를 들면, 창함수로 취득한 창 취득 정보가, 제조 프로세스 등이 정상인 것을 나타내는 정보로서, 제1 정보가 이상이라고 판단할 수 있는 상호 상관 함수의 값의 범위의 최대치를 문턱값으로 한 경우 등에는, 판단부(110)는, 문턱값보다도 작은 값이 있는지 없는지를 판단해도 좋다.

(스텝 S712) 판단부(110)는, 제조 프로세스에 이상이 발생한 것을 판단한다. 그리고, 스텝 S714로 진행한다.

(스텝 S713) 판단부(110)는, 제조 프로세스가 정상인 것을 판단한다. 그리고, 스텝 S714로 진행한다.

(스텝 S711) 출력부(111)는, 스텝 S712 또는 스텝 S713의 판단 결과를 출력한다. 또한, 스텝 S709에서 산출된 상호 상관 함수도 출력하도록 해도 좋다. 또한, 판단부(110)에 의한 판단이 불필요한 경우, 스텝 S710에서 스텝 S713까지의 처리는 생략해도 좋다. 그리고, 처리는 종료된다.

또한, 도 7의 플로우 차트에 있어서, 전원 오프나 처리 종료의 끼어듦에 의해 처리는 종료된다.

이하, 본 실시 형태에 있어서의 정보 처리 장치의 구체적인 동작에 대해서 설명한다.

(구체예 1)

본 구체예는, 제1 정보 및 제2 정보에 대한 정규화 처리와 필터 처리를 생략한 경우의, 이상 검출을 행하는 처리를 설명하는 것이다.

본 실시 형태에 있어서의 정보 처리 장치를 구비한 반도체 제조 장치 관리 시스템의 개념도는 도 2이다.

여기에서는, 설명을 간단하게 하기 위해, 미리 준비된, 제조 프로세스에 이상이 발생한 경우에 제조 장치(11)의 소정의 항목에 대해서 측정된 시계열 데이터를 참조처의 정보인 제1 정보, 제조 장치(11)에 의한 제조 프로세스 실행시에 측정된, 해석의 대상이 되는 측정 데이터를 제2 정보로 한다. 또한, 여기에서는, 정규화 처리 및 필터 처리는 생략한 경우에 대해서 설명한다. 또한, 이 구체예에 나타나는 제1 정보 및 제2 정보는, 설명의 편의상 준비된 것이며, 반드시 실제의 측정치를 정확하게 나타낸 것은 아니다.

도 8은, 제1 정보를, 시계열의 파형 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 측정치를 나타낸다. 제1 정보는, 시간과 값이 대응지어진 정보, 즉 (x,t)의 집합(단 x는 값, t는 시간)이다. 여기에서는, 도 8에 나타내는 바와 같은 제1 정보가 도시하지 않은 메모리 등에 격납되어 있는 것으로 한다.

우선, 사용자가 제1 정보를 표시하는 지시를 부여했다고 하면, 도 8에 나타내는 바와 같은 제1 정보의 파형의 그래프가, 정보 처리 장치(10)의 도시하지 않은 모니터 화면 등에 표시된다. 다음으로, 사용자가 마우스 등을 조작하여, 모니터 화면에 표시된 제1 정보상의 창함수로 취출하는 부분을, 드래그 등에 의해 선택했다고 한다. 이에 따라, 도 8에 나타내는 바와 같이, 선택된 영역(81)이 다른 영역과는 상이한 색으로 하이라이트 표시된다. 이 창함수에 의해 취출하는 부분은, 제1 정보의 특징을 포함하는 부분이다. 여기에서의 특징이란, 제1 정보 중의, 제조 프로세스가 이상일 때에만 나타나는 특징적인 파장의 부분이라고 한다. 또한, 통상, 제1 정보와 같은 측정 데이터에 있어서는, 단부(端部)는 노이즈 성분이 지배적인 부분이 되기 때문에, 단부 부근을 선택하지 않는 것이 바람직하다.

다음으로, 사용자가 이 선택한 영역(81)을 창함수로 취출하는 지시를 정보 처리 장치에 부여하면, 이 선택된 영역(81)의 기간을 지정하는 지시와, 이 지정된 기간의 제1 정보를 창함수로 취출하는 지시를, 지정 접수부(108)가 접수한다. 또한, 여기에서는, 사용자의 지시에 따라서 지정 접수부(108)가 지시를 접수하도록 했지만, 지정 접수부(108)가 지시를 접수하는 트리거 등은 묻지 않는다. 예를 들면, 사용자에 의한 영역의 지정이 종료된 시점에서, 창함수로 취출하는 지시를 접수해도 좋다.

여기에서는, 정규화 처리나 필터 처리는 생략되어 있기 때문에, 창함수 처리부(107)는, 이들의 지시에 따라서, 제1 정보 중의, 지정 접수부(108)에 의해 지정된 기간의 정보인 창 취득 정보를, 창함수를 이용하여 취출한다.

도 9는, 제1 정보에 대하여, 창함수를 적용하여 얻어진 정보의 파형을 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 창함수 적용 후의 값을 나타낸다.

창함수를 이용함으로써, 제1 정보의 특징적인 부분을 취출할 수 있다. 또한, 여기에서는, 창함수로서, 지정된 영역의 단부(端部)의 중량감이 작아지도록 가중치를 행하여 제1 정보를 취출하는 창함수를 적용한 경우를 예로 들어서 나타내고 있다. 단, 창함수로서, 어떠한 창함수를 이용해도 좋다. 그리고 이 취출한 창 취득 정보를, 도시하지 않은 메모리 등의 기억 매체에 일시 기억한다.

다음으로, 해석의 대상이 되는 측정 데이터인 제2 정보를 접수했다고 한다.

도 10은, 제2 정보를 파형 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 측정치를 나타낸다. 제2 정보는, 시간과 값이 대응지어진 정보, 즉 (x, t)의 집합(단 x는 값, t는 시간)이다. 예를 들면, 제조 장치(11)가 측정 정보인 제2 정보를, 순차 정보 처리 장치(10)에 송신하고, 이 제2 정보를, 제2 입력 접수부(102)가 접수했다고 한다. 여기에서는, 제2 정규화 처리부(104)나 제2 필터부(106)에 의한 정규화 처리나 필터 처리는 생략되어 있기 때문에, 접수된 제2 정보는, 도시하지 않은 메모리 등에 일시 기억한다.

다음으로, 상관 산출부(109)가, 메모리로부터, 창 취득 정보와 제2 정보를 각각 판독하고, 창 취득 정보를 이용하여, 비교 대상이 되는 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출한다. 이 산출되는 상호 상관 정보는, 비교 대상이 되는 제2 정보에, 제1 정보의 특징을 나타내는 부분과 동일한 특징이 포함되어 있는지 없는지를 나타내는 정보이다.

도 11은, 상관 산출부(109)가 산출한 상호 상관 함수를, 파형 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 상관의 값을 나타낸다.

도 11에 있어서는, 시간이 「0.00306」의 부근이 가장 창 취득 정보와 제2 정보와의 상관이 높은 부분인 것을 나타내고 있다.

다음으로, 판단부(110)는, 도 11에 나타낸 상호 상관 함수의 산출 결과에 있어서, 미리 설정한 문턱값보다도 높은 값이 있는지 없는지를 판단한다. 예를 들면, 여기에서는, 「1」을, 제조 프로세스가 정상으로 행해졌는지 아닌지를 판단하기 위한 문턱값으로 미리 메모리 등에 격납되어 있었다고 하면, 도 11에 있어서의 시간이 「0.00306」의 부근에 있어서, 판단부(110)가, 문턱값인 「1」을 초과하는 값을 검출한다. 이에 따라, 판단부(110)는, 제조 프로세스에 이상이 발생한 것을 판단한다.

출력부(111)는, 판단부(110)에 의한 판단 결과를, 모니터 화면 등에 표시한다. 도 12는, 출력부(111)가 모니터 화면(120)에 표시한 판단부(110)에 의한 판단 결과를 나타내는 도면이다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 판단부(110)가, 상호 상관 함수의 산출 결과가 문턱값을 초과한 시간을 검출하여, 이 검출 결과인 시간 등을 출력부(111)가 모니터 화면 등에 표시하도록 해도 좋다. 또한, 출력부(111)는, 도 11에 나타내는 바와 같은 상호 상관 함수를 모니터 화면 등에 표시하도록 해도 좋다.

또한, 예를 들면, 상호 상관 함수의 값이 가장 높은 시점의 시간을, 상관 산출부(109) 등이 검출하여, 출력부(111)가 이 상호 상관 함수의 값이 가장 높은 시점의 시간과, 도 10에 나타낸 바와 같은 제2 정보를 디스플레이 등에 표시하도록 해도 좋다. 이러한 표시를 사용자가 참조함으로써, 이 상호 상관 함수의 값이 가장 높은 시점에서, 제2 정보에 제조 프로세스의 이상이 발생하고 있는지 아닌지를 사용자가 단시간에 판단하는 것이 가능해진다.

이 구체예에 있어서는, 제1 정보로부터 창함수를 이용하여 취출한 창 취득 정보와, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하고, 산출 결과에 따른 정보를 출력하도록 하고 있다. 이에 따라, 상호 상관 함수에서, 창 취득 정보와 제2 정보와의 상관을 볼 수 있어, 정밀도 좋게 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터로부터, 반도체 프로세스의 상태를 사용자가 검지하는 것이 가능해진다.

특히, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 정보로부터 창함수를 이용하여 취출한 창 취득 정보와, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하도록 하고 있다. 예를 들면, 가령, 제1 정보의 전(全) 영역과 제2 정보의 전 영역과의 상호 상관 함수를 산출한 경우, 참조 정보가 되는 제1 정보에 있어서의 제조 프로세스 등의 특징을 나타내는 부분 이외의 부분이나 노이즈 등의 불필요한 부분도 상호 상관 함수의 계산에 포함되기 때문에, 정밀도가 좋은 파형의 비교를 할 수 없는 것이 생각된다.

그러나, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 정보의 특징을 나타내는 부분 등을, 창함수로 취출하고, 이 취출한 부분과, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하도록 했기 때문에, 제1 정보의 불필요한 부분 등에 대해서, 제2 정보와의 상관을 구할 필요가 없어진다. 이 결과, 정밀도 좋게, 필요한 부분만의 상관을 구할 수 있어, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다. 또한, 창함수를 이용함으로써, 비교할 때에 참조하는 정보의 데이터량을 줄일 수 있어, 비교할 때의 처리 시간을 단축하여, 처리 속도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 상기 구체예에 있어서, 제1 입력 접수부(101)나 제2 입력 접수부(102)가 접수한 제1 정보나 제2 정보에 대하여, 정규화 처리를 행하도록 해도 좋은 것은 말할 필요도 없다.

(구체예 2)

이하, 본 실시 형태의 제2 구체예에 대해서 설명한다.

이 구체예는, 상기 구체예에 있어서, 제1 정보 및 제2 정보는 전달 경로가 상이한 정보이며, 정보 처리 장치(10)가 제1 정보 및 제2 정보에 필터 처리를 행하도록 한 것이다.

도 13은, 제1 정보를, 시계열의 파형 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 측정치를 나타낸다. 여기에서는, 도 13에 나타내는 바와 같은 제1 정보가 도시하지 않은 메모리 등에 격납되어 있는 것으로 한다.

우선, 사용자가 제1 정보를 표시하는 지시를 부여했다고 하면, 도 13에 나타내는 바와 같은 제1 정보가, 정보 처리 장치(10)의 도시하지 않은 모니터 화면 등에 표시된다. 다음으로, 사용자가 마우스 등을 조작하여, 모니터 화면에 표시된 제1 정보상의 창함수로 취출하는 부분을, 드래그 등에 의해 선택했다고 한다. 이에 따라, 도 13에 나타내는 바와 같이, 선택된 영역(131)이 다른 영역과는 상이한 색으로 하이라이트 표시된다. 이 창함수에 의해 취출하는 부분은, 제1 정보의 특징을 포함하는 부분이다. 여기에서의 특징이란, 제1 정보 중의, 제조 프로세스가 이상일 때에만 나타나는 특징적인 파장의 부분이라고 한다. 여기에서는, 제1 정보가, 진동적인 신호의 강도가 복수회, 강약을 반복하고 있는 특징을 갖고 있다고 한다.

여기에서, 이 구체예에 있어서는, 제1 정보에 대하여, 제1 정보의 특징을 파악하기 위해, 도 14에 나타내는 바와 같은 제1 정보에 있어서의 신호의 강약을 나타내는 포괄선(141)을 의사적으로 계산하는 엔벌로프 필터 처리를, 제1 필터부(105)가, 제1 정보에 대하여 적용한다. 이 엔벌로프 필터 처리에 의해 얻어진 제1 정보를, 도 15에 나타낸다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 엔벌로프 필터 적용 후의 값을 나타낸다. 또한, 이 필터 처리가 어떠한 트리거 등으로 행해지도록 해도 좋다. 예를 들면, 사용자의 지시에 따라서 필터 처리를 행하여도 좋고, 사용자가 영역(131)을 지정한 시점 등에 자동적으로 필터 처리를 행하도록 해도 좋다.

다음으로, 예를 들면, 사용자가 이 선택한 영역(131)을 창함수로 취출하는 지시를 정보 처리 장치에 부여하면, 이 선택된 영역(131)의 기간을 지정하는 지시와, 이 지정된 기간의 제1 정보를 창함수로 취출하는 지시를, 지정 접수부(108)가 접수한다.

도 16은, 엔벌로프 필터 처리한 제1 정보에 대하여, 창함수를 적용하여 얻어진 정보인 창 취득 정보의 파형을 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 창함수 적용 후의 값을 나타낸다. 그리고 이 취출한 창 취득 정보를, 도시하지 않은 메모리 등의 기억 매체에 일시 기억한다.

도 17은, 제2 정보를 파형 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 측정치를 나타낸다.

다음으로, 이 제2 정보에 대해서도, 제2 필터부(106)가 제1 필터부(105)와 동일한 엔벌로프 필터를 적용한다.

도 18은, 엔벌로프 필터를 적용한 제2 정보의 파형 그래프를 나타내는 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 엔벌로프 필터 적용 후의 값을 나타낸다. 이 제2 정보가, 예를 들면 메모리 등에 일시 기억된다.

다음으로, 상관 산출부(109)가, 메모리로부터, 창 취득 정보와 제2 정보를 각각 판독하고, 창 취득 정보를 이용하여, 비교 대상이 되는 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출한다.

도 19는, 상관 산출부(109)가 산출한 상호 상관 함수를, 파형 그래프로 나타낸 도면이다. 도면에 있어서 횡축은 시간을 나타내고, 종축은 상관의 값을 나타낸다.

도 19에 있어서는, 시간이 「0.00162」의 부근이 가장 창 취득 정보와 제2 정보와의 상관이 높은 부분인 것을 나타내고 있어, 이 부분에, 제1 정보 중의 찾고 싶은 특징과 동일한 신호가 있는 것을 알 수 있다. 또한, 단순하게 제2 정보에 엔벌로프 필터를 적용하여 얻어진 도 18에 나타내는 바와 같은 정보에 있어서, 값이 가장 높은 부분, 예를 들면 시간이 「0.00172」의 부분이어도, 도 16에 나타내는 바와 같은 창함수로 취출된 제1 정보의 패턴과 동일하게 변화하지 않는 경우에는, 상관치는 낮아, 찾고 싶은 특징 부분이라고는 판단되지 않는다.

그 후, 상기 구체예와 동일하게, 상호 상관 정보에 따른 판단이나 출력 등이 행해지지만, 여기에서는 설명을 생략한다.

예를 들면, 동일한 요인으로부터 발생된 신호라도, 전달 경로가 상이한 시계열 데이터에서는 신호의 파형이 크게 다르고, 상호 상관 함수를 계산해도 관련성을 검출할 수 없는 것이 생각된다.

이러한 경우에 있어서는, 동일한 요인으로부터 발생된 전달 경로가 상이한 시계열 신호에 대하여, 적절한 필터 처리를 행함으로써 전달 경로의 차이에 의한 파형의 차이를 수정하고, 바르게 관련성을 검출하는 것이 가능해진다.

또한, 2개의 시계열 신호에 대하여 노이즈가 큰 경우도, 전달 경로가 상이함으로써 상이한 노이즈 요인이 독립인 것을 이용하여, 바르게 관련성을 검출할 수 있다.

한편으로, 제조 프로세스에 있어서, 어떠한 원인으로 트러블이 발생한 경우, 그 트러블에 관련하는 데이터를 직접 측정하여 관찰할 수 없는 경우가 있다. 이러한 경우에 있어서도, 그 트러블의 신호가 어떠한 기계적인 진동이나 전기적 변동의 신호로서 전해져 측정할 수 있는 경우가 있다.

이러한 경우에는, 원래의 신호가 신호의 전달 경로의 차이에 의해 상이한 신호로 변형하거나, 신호의 전달 경로에 특유의 노이즈가 실리는 것이 생각된다. 또한, 전달 경로의 차이에 의한 신호의 변형에 의해 어떤 구간을 파악하고 싶은 현상인지 명확하게 구분하는 것이 곤란하다. 그 때문에, 단일의 신호를 관측한 것 만으로는 본래 파악하고 싶은 현상을 파악하는 것은 어렵고, 상이한 변형이 가해진 신호로 상관을 볼 필요가 있다. 그러나, 본 실시 형태에 나타내는 바와 같이, 제1 정보나 제2 정보에 대하여, 선형 또는 비선형의 필터 처리를 행함으로써, 필터 처리에 의해 전달 경로가 상이한 것에 의한 신호 변형을 흡수하고, 또한 창함수에 의해 신호 변형에 의한 신호 구간의 애매함을 흡수할 수 있어, 제1 정보와 제2 정보와의 데이터의 상관을 구하는 것이 가능해진다.

예를 들면, 회전 기구를 가진 모듈, 예를 들면, 펌프 등에 있어서, 정상시의 진동 데이터를 레퍼런스 데이터, 즉 제1 정보로 하고, 이를 선형/비선형 필터 처리함으로써 진동 데이터와 상이한 신호 특징량을 갖는 정상시의 시계열 패턴을 작성한다. 이를 이용하여, 제조 장치의 리얼 타임한 진동 측정 데이터인 제2 정보에 대하여 동일한 선형/비선형 필터 처리한 데이터와의 리얼 타임한 상관을 계산함으로써, 회전계의 정상/이상의 판정을 행하는 것이 가능해진다. 역으로 이상시의 진동 데이터를 레퍼런스가 되는 제1 정보로 하여, 동일한 정상 이상의 판정을 행하는 것도 가능해진다.

또한, 전기적인 방전을 이용한 제조 장치에 있어서, 방전 생성기의 전류 전압 등의 전기적인 신호와, 방전 생성기 부근의 음향적인 신호를 측정함으로써, 이상 방전의 발생을, 전기적인 신호와, 음향적인 신호와의 상이한 전달 경로를 갖는 복수의 신호로서 검출한다. 그리고, 이들의 신호에 대하여, 전기적 신호와 음향적 신호의 파형의 차이를 수정하기 위해, 선형/비선형의 필터를 사용하여, 상호의 파형의 차이를 흡수한다. 그리고, 한쪽을 제1 정보, 다른 한쪽을 제2 정보로 하여, 제1 정보로부터, 창함수에 의해 단시간적인 현상을 취출하고, 이 취출하여 얻어진 창 취득 정보와 제2 정보와의 상관 함수를 구함으로써, 2개의 신호에 나타나는 특이한 신호를 검출하는 것이 가능해진다. 이에 따라, 예를 들면, 한쪽의 신호를 참조 정보로 하고, 상이한 신호인 다른 한쪽의 신호를 이용하여, 제조 프로세스의 상태를 판단하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 구체예에 있어서는, 엔벌로프 필터 처리를 행하는 경우에 대해서 설명했지만, 본 발명에 있어서는, 다른 필터 처리를 행하도록 해도 좋은 것은 말할 필요도 없다. 또한, 제1 입력 접수부(101)나 제2 입력 접수부(102)가 접수한 제1 정보나 제2 정보에 정규화 처리를 행하도록 해도 좋은 것은 말할 필요도 없다.

이상, 본 실시 형태에 의하면, 제1 정보로부터 창함수를 이용하여 취출한 창 취득 정보와, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하고, 산출 결과에 따른 정보를 출력하도록 함으로써, 상호 상관 함수로, 창 취득 정보와 제2 정보와의 상관을 볼 수 있어, 정밀도 좋게 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터로부터, 반도체 프로세스의 상태를 사용자가 검지하는 것이 가능해진다.

특히, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 정보의 특징을 나타내는 부분 등을 창함수로 취출하고, 이 취출한 부분과, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하도록 했기 때문에, 제1 정보의 필요한 부분만의 상관을 구할 수 있어, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다. 또한, 창함수를 이용함으로써, 비교할 때에 참조하는 정보의 데이터량을 줄일 수 있어, 비교할 때의 처리 시간을 단축하여, 처리 속도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 제1 정보나 제2 정보에 대하여 필터 처리를 행하도록 함으로써, 전달 경로의 차이 등을 필터 처리로 흡수하여, 전달 경로가 다른 시계열 데이터로부터, 정밀도 좋게 반도체 프로세스의 상태를 검지하는 것이 가능해진다.

(실시 형태 2)

본 실시 형태는 상기 실시 형태 1에 있어서 나타낸 정보 처리 장치에 있어서, 제조 장치(11)의 상이한 복수의 전달 경로로부터 각각 출력되는 제1 정보 및 제2 정보의 조(組)를 이용하여, 전달 경로마다 상기 실시 형태 1과 동일하게, 상호 상관 함수를 산출하고, 이들의 상호 상관 함수의 상관이 높다고 판단되는 부분끼리가, 관련이 있는지 없는지를 판단함으로써, 제조 장치(11)의 이상 등의 검출을 행할 수 있도록 한 것이다.

도 22는, 본 실시 형태의 정보 처리 장치의 구성을 나타내는 블록도이다. 또한, 본 실시 형태의 정보 처리 장치(20)는, 도시하고 있지 않지만, 상기 실시 형태의 정보 처리 장치와 동일하게, 예를 들면, 제조 장치(11)와, 통신 회선 등을 통하여, 정보의 송수신이 가능해지도록, 직접 또는 간접적으로 접속된다.

정보 처리 장치(20)는, 제1 입력 접수부(101), 제2 입력 접수부(102), 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106), 창함수 처리부(107), 지정 접수부(108), 상관 산출부(109), 상관 검출부(221), 관련 판단부(222), 판단용 정보 격납부(223) 및, 출력부(224)를 구비한다.

제1 입력 접수부(101), 제2 입력 접수부(102), 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106), 창함수 처리부(107), 지정 접수부(108), 상관 산출부(109)의 구성에 대해서는, 상기 실시 형태 1과 동일하기 때문에, 여기에서는 상세한 설명은 생략한다.

단, 여기에서는, 제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)는, 제조 장치(11) 등의 상이한 복수의 전달 경로마다 각각 출력되는 제1 정보 및 제2 정보의 조를, 상이한 복수의 전달 경로에 대해서 각각 접수하는 것으로 한다. 또한, 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106)는, 복수의 전달 경로로부터 각각 접수한 제1 정보 및 제2 정보에 대해서, 예를 들면, 전달 경로마다 정규화 처리나 필터 처리를 행하는 것으로 한다. 또한, 창함수 처리부(107)는, 제1 입력 접수부(101)가 접수한 각 전달 경로로부터 출력된 제1 정보로부터, 각 전달 경로마다 전술한 바와 같은 창 취득 정보를 취득하는 것으로 한다. 또한, 지정 접수부(108)는, 제1 입력 접수부(101)가 접수한 각 전달 경로로부터 출력된 제1 정보에 대하여, 창함수를 이용하여 취득하기 위한 소정의 기간의 지정을 접수하는 것으로 한다. 특히, 지정 접수부(108)는, 각 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보에 대해서, 제조 장치(11) 등에 발생한 이상을 나타내고 있는 부분, 예를 들면, 이상을 나타내는 파형 부분의 기간을 지정하는 정보를 접수하는 것이 바람직하다. 또한, 상관 산출부(109)는, 하나의 전달 경로로부터 출력된 제1 정보로부터 창함수 처리부(107)에 의해 취득된 창 취득 정보와, 동일한 전달 경로로부터 출력된 제2 정보와의 상호 상관 함수를, 복수의 전달 경로마다 각각 산출하는 것으로 한다. 또한, 제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)가 접수한 전달 경로마다의 제1 정보 및 제2 정보나, 정규화 처리나 필터 처리가 행해진 제1 정보 및 제2 정보나, 전달 경로마다 취득된 창 취득 정보나, 전달 경로마다 산출된 상호 상관 함수 등의 상기의 처리에 의해 얻어지는 정보 등은, 적절히, 도시하지 않은 메모리 등의 기억 매체에 축적하여, 판독할 수 있도록 해도 좋다. 또한, 전달 경로마다의 전술한 바와 같은 제1 정보나 제2 정보를 접수하는 처리나, 정규화 처리나, 필터 처리나, 창 취득 정보를 취득하는 처리나, 상호 상관 함수를 산출하는 처리는, 시분할에 의해 행하도록 해도 좋다. 또한, 제1 입력 접수부(101), 제2 입력 접수부(102), 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106), 창함수 처리부(107), 지정 접수부(108) 및, 상관 산출부(109) 등을, 전달 경로마다 복수도 받도록 하여, 병렬로 처리를 행하도록 해도 좋다.

또한, 정규화 처리나 필터 처리가 불필요한 경우, 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106) 등은 생략 가능하다. 또한, 제1 필터부(105)나 제2 필터부(106)에 포함되는 1 이상의 필터 수단을, 적절히 생략해도 좋다.

상관 검출부(221)는, 상관 산출부(109)가 각 전달 경로에 대해서 산출한 상호 상관 함수를 이용하여, 각 전달 경로마다, 제2 정보와 창 취득 정보와의 상관이 높은 부분을 검출한다. 상관 검출부(221)가, 상관이 높은 부분의 검출을 어떻게 행할지는 묻지 않는다. 예를 들면, 상관 산출부(109)가 산출하는 상호 상관 함수에 대하여, 전달 경로마다, 미리 문턱값 등을 도시하지 않은 격납부 등에 축적해 두고, 이 문턱값을 초과한 경우, 상호 상관 함수 중의 이 문턱값을 초과한 부분을, 제1 정보의 창함수 처리부(107)가 취득한 창 취득 정보와 제2 정보와의 상관이 높은 부분으로서 검출한다. 상관 검출부(221)는, 상호 상관 함수를 문턱값 등을 이용하여 2치화 하여, 2치화 한 데이터의 신호의 상승 위치 등을 검출함으로써 상관이 높은 부분을 검출해도 좋다. 혹은, 소정의 기간 내에 있어서, 가장 값이 높은 부분만을 검출해도 좋다. 상관이 높은 부분이란, 상관이 있는 부분이라고 생각해도 좋다. 그리고, 상관 검출부(221)는, 예를 들면, 상관이 높다고 하여 검출한 부분을 지정하는 정보를 취득한다. 예를 들면, 상관 검출부(221)는, 상관이 높은 부분을 지정하는 시간의 정보를 취득한다. 여기에서 서술하는 상관이 있다고 하여 검출하는 부분은, 일 점이어도 좋고, 기간, 혹은 영역이어도 좋다. 또한, 상관 검출부(221)는, 필요에 따라서, 전달 경로마다, 상호 상관 함수로부터 상관이 높다고 하여 검출한 부분의 정보, 예를 들면 파형만을, 취출한 정보를 구성하도록 해도 좋다. 상관 검출부(221)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 상관 검출부(221)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회선)로 실현해도 좋다.

관련 판단부(222)는, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리가, 관련하고 있는지 아닌지를 판단한다. 여기에서 서술하는 관련하고 있다는 것은, 상관이 높은 부분끼리가, 하나의 원인으로부터 파생된 신호인 것이며, 관련하고 있는지 아닌지의 판단은, 상관이 높은 부분끼리가, 하나의 원인으로부터 파생된 신호인지 아닌지의 판단이라고 생각해도 좋다.

관련 판단부(222)는, 예를 들면, 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리가, 관련하고 있다고 판단한 경우에는, 제조 장치(11) 등에 이상이 발생했다고 판단하고, 관련하고 있지 않다고 판단한 경우에는, 각 전달 경로로부터 출력되는 제2 정보에 포함되는 상관이 높은 부분은, 단순하게 노이즈 등이라고 판단하여, 제조 장치(11) 등에 이상이 발생했다고 판단하지 않도록 해도 좋다. 관련 판단부(222)는, 관련하고 있는지 아닌지의 판단만을 행해도 좋고, 관련하고 있다고 판단한 경우에, 제조 장치(11)나 제조 프로세스 등에 이상이 발생한 것을 판단하도록 해도 좋다.

관련 판단부(222)는, 관련하고 있는지 아닌지의 판단으로서, 예를 들면, 미리 지정된 관계를 충족하는지 아닌지의 판단을 행한다. 미리 지정된 관계란, 상이한 전달 경로로부터 출력된 제2 정보의, 창 취득 정보와의 상관이 높은 부분끼리가, 동일한 원인에 의해 파생한 신호인 경우에 충족하게 되는 관계이다. 구체적으로는, 제조 장치(11) 등에 있어서의 하나의 원인으로부터 발생한 신호가, 각각 복수의 상이한 전달 경로를 거쳐 복수의 파생 신호가 되어 출력되는 경우에 있어서, 복수의 파생 신호에 포함되는 하나의 원인에 기인하는 부분(예를 들면 파형)끼리가 충족하게 된다고 생각되는 관계이다. 즉, 관련 판단부(222)는, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로에 대해서 취득한 상관이 높은 부분이 이 미리 지정된 관계를 충족하는 경우, 각 전달 경로로부터 취득한 제2 정보 중의, 상관이 높은 부분이, 하나의 원인으로부터 발생한 신호를 나타내는 부분이라고 판단한다.

미리 지정된 관계를 충족하는지 아닌지의 판단은, 예를 들면, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리의 시간이나 위치 등의 특징량에 관하여 행해진다. 미리 지정된 관계란, 예를 들면, 각 전달 경로마다 검출된 상관이 높은 부분끼리의, 발생하는 시간이나, 위상차의 변화량이나, 지연량(발생 시각의 시간차), 감쇠량, 파형 형상 등의 관계이다. 예를 들면 관련 판단부(222)는, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리가, 미리 지정된 시간 내에 발생했는지 아닌지를 판단하고, 미리 지정된 시간 내에 발생한 경우에, 미리 지정된 관계를 충족한다고 판단해도 좋다. 또한, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리의 지연량(시간차)이 미리 지정한 범위 내인지 아닌지를 판단하고, 미리 지정한 범위 내인 경우에, 미리 지정된 관계를 충족한다고 판단해도 좋다. 예를 들면, 제1 정달 경로로부터 출력된 제2 정보에, 창 취득 정보와의 상관이 높은 신호가 검출되고나서, 미리 지정된 소정의 기간이 경과하기까지의 사이에, 제2 전달 경로로부터 출력된 제2 정보에, 창 취득 정보와의 상관이 높은 신호가 검출된 경우에, 미리 지정된 관계를 충족한다고 판단해도 좋다. 상관이 높은 부분의 발생 시각 등은, 상관 검출부(221)의 검출 결과로부터 취득 가능하다. 또한, 관련 판단부(222)는, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분의 위상을 검출하고, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리의 위상차가 미리 지정한 범위 내인지 아닌지를 판단하고, 위상차가 미리 지정한 범위 내인 경우에, 미리 지정된 관계를 충족한다고 판단해도 좋다.

미리 지정된 관계를 충족하는지 아닌지를 판단하는 것은, 미리 지정된 조건을 충족하는지 아닌지를 판단하는 것이라고 생각해도 좋다. 미리 지정된 관계(조건)를 정의하는 정보는, 예를 들면, 각 전달 경로의 전달 함수나, 전달 경로의 모델화나 시뮬레이션 등을 이용하여 산출하는 것이 가능하다. 또한, 실제로 제조 장치(11) 등에 대하여 검사용의 신호를 발생시켜, 이 신호를 상이한 전달 경로로부터 취득하는 것 등의 실험에 의해, 동일한 원인에 의해 발생된 신호가 충족하기 위한 관계(조건)를 정의하는 정보를 취득하도록 해도 좋다. 예를 들면, 제조 장치 내에서, 샘플이 되는 음을 발생시켜, 이 음을, 상이한 전달 경로에 각각 부착된 어쿠스틱 이미션 센서 등으로 각각 검출하고, 이 검출 결과를 이용하여, 동일한 원인에 기인하는 신호가 상이한 전달 경로를 전해져 출력된 경우에 있어서의, 출력된 신호끼리가 충족한다고 생각되는 관계를 정의하는 정보를 취득해도 좋다. 또한, 사용자 등의 경험에 의해 얻어진 값을, 미리 지정된 관계를 정의하는 정보로서 이용하도록 해도 좋다. 오차 등의 발생에 의한 값의 변동도 고려한 기간을 나타내는 정보인 것이 바람직하다. 이러한 미리 지정된 관계, 혹은 조건을 충족하는지 아닌지를 판단하기 위해 이용되는 판단 조건을 정의하는 정보를 여기에서는 판단용 정보라고 부른다. 이러한 판단용 정보는, 예를 들면, 후술하는 판단용 정보 격납부(223)에 미리 격납되어 있다. 또한, 이러한 미리 지정된 관계나 조건을, 다른 전달 경로로부터 출력된 제2 정보의 상관이 높은 부분을, 동일한 원인에 의해 발생된 신호라고 판단하기 위한 기대치라고 생각해도 좋다. 또한, 판단용 정보는, 오차 등의 발생에 의한 값의 변동도 고려한 기간을 나타내는 정보인 것이 바람직하다. 또한, 판단용 정보는, 판단 대상이 되는 둘 이상의 전달 경로의 조마다 형성되어 있는 것이 바람직하다. 단, 복수의 판단 대상이 되는 전달 경로의 조에 공통하는 판단용 정보를 준비해 두도록 해도 좋다.

관련 판단부(222)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 관련 판단부(222)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기록 매체에 기록되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

판단용 정보 격납부(223)에는, 전술한 바와 같은 판단용 정보가 격납될 수 있다. 판단용 정보는, 전술한 바와 같이, 전달 함수나 전달 경로의 모델화나, 실험 등에 의해 취득된다. 판단용 정보는, 사용자에 의해 축적되어도 좋고, 공장 출하시 등에 축적되어도 좋다. 판단용 정보는, 예를 들면, 복수의 전달 경로의 조합에 대응지어져 축적된다. 판단용 정보 격납부(223)는, 불(不)휘발성 또는 휘발성의 기억 매체 등에 의해 실현 가능하다.

출력부(224)는, 상관 산출부(109)의 산출 결과에 따른 정보를 출력한다. 여기에서는 특히, 상관 산출부(109)의 산출 결과를 이용하여, 관련 판단부(222)가 판단을 행한 판단 결과에 따른 출력을 행한다. 출력부(224)는, 관련 판단부(222)의 판단 결과를 나타내는 정보를 출력해도 좋다. 또한, 관련 판단부(222)의 판단 결과가, 상관 검출부(221)가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 높은 부분끼리가, 미리 지정된 관계를 충족하는 것을 나타내는 정보인 경우, 제조 장치(11)나 프로세스에 이상이 발생한 것을 나타내는 정보를 출력해도 좋다. 또한, 출력부(224)의 다른 구성에 대해서는, 전술한 출력부(111)와 동일하기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.

다음으로, 본 실시 형태의 정보 처리 장치의 동작의 일 예에 대해서 도 23의 플로우 차트를 이용하여 설명한다. 또한, 여기에서는, 설명을 간단하게 하기 위해, 상이한 전달 경로로부터 얻어진 미리 지정된 기간의 제2 정보를, 순차 제2 입력 접수부(102)에 입력하는 경우에 대해서 설명한다. 또한, 도 23에 있어서, 도 7과 동일 부호는 동일 또는 상당하는 스텝을 나타내고 있다.

(스텝 S2300) 정보 처리 장치(20)는, 카운터 k에 1을 대입한다. 그리고, 스텝 S2301로 진행한다.

(스텝 S2301) 제1 입력 접수부(101)는, k번째의 전달 경로로부터 제1 정보를 접수했는지 아닌지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S701로 진행한다. 접수하지 않은 경우, 스텝 S2301로 되돌아간다.

(스텝 S2302) 제2 입력 접수부(102)는, k번째의 전달 경로로부터 제2 정보를 접수했는지 아닌지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S707로 진행하고, 접수하지 않은 경우, 스텝 S2302로 되돌아간다.

(스텝 S2303) 상관 검출부(221)는, 도시하지 않은 격납부에 축적되어 있는 문턱값을 판독한다.

(스텝 S2304) 상관 검출부(221)는, 스텝 S709에 있어서 취득한 상호 상관 함수에 대해서, 문턱값보다도 큰 값이 있는지 없는지를 판단한다. 큰 값이 있는 경우, 스텝 S2305로 진행하고, 큰 값이 없는 경우, 스텝 S2306으로 진행한다.

(스텝 S2305) 상관 검출부(221)는, 상호 상관 함수의 문턱값보다도 큰 값을 나타내는 부분을 나타내는 정보인 시각을 나타내는 정보를 취득한다. 그리고, 취득한 시각의 정보를 도시하지 않은 격납부 등에 축적한다. 이 시각이, 여기에서는, 제2 정보의, 창 취득 정보에 대하여 상관이 높은 부분을 지정하는 정보이다.

(스텝 S2306) 정보 처리 장치(20)는, 카운터 k를 1 인크리멘트 한다.

(스텝 S2307) 정보 처리 장치(20)는, k번째의 전달 경로가 있는지 없는지를 판단한다. 있는 경우, 스텝 S2301로 되돌아가고, 없는 경우, 스텝 S2308로 진행한다.

(스텝 S2308) 관련 판단부(222)는, 판단용 정보 격납부(223)에 미리 격납되어 있는 판단용 정보를 판독한다.

(스텝 S2309) 관련 판단부(222)는, 스텝 S2305에 의해 복수의 전달 경로로부터 취득한 복수의 시각의 정보끼리가, 판단용 정보가 나타내는 관계를 충족하는지 아닌지를 판단한다. 예를 들면, 스텝 S2308에 의해 취득한 판단용 정보가 지정하는 발생 기간 내에, 스텝 S2305에 있어서 복수의 전달 경로로부터 각각 취득한 시각의 정보가 나타내는 시각이, 하나의 전달 경로당 적어도 1개 포함되어 있는지 아닌지를 판단해도 좋다. 혹은, 판단용 정보 등에 의해 지정된 하나의 전달 경로로부터 취득된 하나의 시각의 정보가 나타내는 시각에 대하여, 판단용 정보가 나타내는 지연 시간이 나타내는 기간 내에, 나머지의 전달 경로로부터 취득된 시각의 정보가 나타내는 시각이, 전달 경로당 적어도 하나 포함되어 있는지 아닌지를 판단해도 좋다. 관계를 충족한다고 판단한 경우, 스텝 S2310으로 진행하고, 관계를 충족하지 않는다고 판단한 경우, 스텝 S2311로 진행한다.

(스텝 S2310) 관련 판단부(222)는, 프로세스 이상이 발생했다고 판단한다.

(스텝 S2311) 관련 판단부(222)는, 프로세스가 정상인 것을 판단한다.

(스텝 S2312) 출력부(224)는, 관련 판단부(222)의 판단 결과를 출력한다. 예를 들면 모니터 등에 표시한다. 그리고, 처리를 종료한다.

또한, 상기 플로우 차트에 있어서, 스텝 S2309에서 관계를 충족하지 않는다고 판단한 시점에서 처리를 종료하도록 해도 좋다.

또한, 상기의 플로우 차트에 있어서, 상이한 전달 경로로부터 출력되는 연속한 제2 정보를, 시분할로 제2 입력 접수부(102)가 접수하도록 하여, 처리를 반복하여 행하도록 해도 좋고, 상이한 전달 경로로부터 출력되는 연속한 제2 정보를, 반복하여 병렬 처리하도록 해도 좋다. 또한, 각 전달 경로로부터 각각 출력되는 제1 정보를 미리 취득하여 창 취득 정보를 취득하는 처리를 행한 후, 각 전달 경로로부터 각각 출력되는 제2 정보에 대해서 상호 상관 함수를 산출하는 처리를 행하도록 해도 좋다.

또한, 상기의 플로우 차트에 있어서, 판단용 정보가 이상의 발생 기간 등의 기간을 지정하는 정보인 경우, 스텝 S2303이나 스텝 S2304의 처리를, 스텝 S2308 등의 처리 후에 실행하도록 하고, 판단용 정보를 취득 후에, 상호 상관 함수의 판단용 정보가 나타내는 기간 내에 대해서만, 문턱값보다도 값이 큰 부분이 존재하는지 아닌지의 판단을 행하여, 문턱값보다도 값이 큰 부분의 시각 정보를 취득하도록 해도 좋다.

다음으로, 본 실시 형태의 구체예에 대해서 설명한다.

도 24는, 본 실시 형태에 의한 정보 처리 장치에 의해, 상이한 전달 경로로부터 출력되는 신호로부터, 이상을 검출하는 구성의 개략을 설명하기 위한 도면이다. 이 도면에 있어서는, 전달 경로를 모델화하여 나타내고 있다.

도 24에 나타내는 바와 같이, 하나의 원인에 기인하는 입력 신호가, 상이한 전달 경로 241 및 242를 거쳐 채널 1(CH1), 채널 2(CH2)로부터 출력된 경우, 각 경로로부터 출력되는 신호끼리는, 전달 경로의 경로 길이나 전달 함수 등의 차이에 따라서, 통상, 상이한 신호가 된다. 그러나, 하나의 입력 신호로부터 파생한 신호끼리는, 통상, 관련성을 갖고 있다. 이 때문에, 하나의 입력 신호에 대응하여 상이한 전달 경로를 거쳐 출력되는 상이한 신호간의 관련성을 나타내는 조건을, 전달 경로마다의 전달 함수나, 전달 경로의 모델을 이용함으로써 예측하거나, 실험 등에 의해 구하는 것이 가능하다. 따라서, 이러한 하나의 입력 신호로부터 상이한 전달 경로를 거쳐 파생한 복수의 신호끼리의 관련성을 판단하기 위한, 신호의 특징량, 예를 들면 시간 영역, 지연량, 위상차, 감쇠량, 모델이 되는 파형 등에 대한 조건을 나타내는 정보, 환언하면 기대치를, 전달 경로마다의 전달 함수나 전달 경로의 모델을 이용하여 산출하거나, 실험 등에 의해 취득함으로써 미리 준비하여 판단용 정보 격납부(223) 등에 격납해 둔다. 그리고, 각 전달 경로로부터 각각 취득되는 이상의 발생 등을 나타내는 부분끼리가, 이러한 미리 지정한 관련성을 판단하는 조건을 충족하는 특징량을 갖는 경우에, 이들의 신호가, 하나의 입력 신호로부터 복수의 전달 경로를 거쳐 파생한 신호라고 판단하는 것이 가능해진다. 이 결과, 상이한 전달 경로 241 및 242로부터 취득한 신호의 이상의 발생 등을 나타내는 부분끼리가, 관련성이 있는 경우에는, 예를 들면, 하나의 원인으로부터 발생한 신호라고 판단할 수 있다. 또한, 관련성이 없는, 혹은 적은 경우에는, 하나의 원인으로부터 발생된 신호가 아닌 신호라고 판단할 수 있다.

이하, 여기에서는, 도시하지 않은 어쿠스틱 이미션 센서를 이용하여, 2개의 상이한 전달 경로(도시하지 않음)로부터, 각각, 제조 장치(11)에 있어서 발생하는 신호파를 취득하도록 하고, 당해 센서가 취득한 신호를, 전달 경로마다 제1 정보 및, 제2 정보로 하여, 제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)에 입력하는 경우를 예로 들어서 설명한다. 또한, 여기에서는, 두개의 상이한 전달 경로를, 제1 전달 경로 및 제2 전달 경로라고 부른다.

우선, 제1 및 제2 전달 경로로부터 각각 출력되는, 제1 정보 및 제2 정보를 접수하고, 사용자로부터 전달 경로마다 입력되는, 제1 정보 중의 창함수를 이용하여 취출하는 기간을 지정하는 정보를 이용하여, 상기 실시 형태 1과 동일하게, 상호 상관 함수를 산출한다. 여기에서는, 예로서, 제1 정보의, 이상이 발생한 개소를 창함수를 이용하여 취출하고, 이 취출한 창 취득 정보와의 상호 상관 함수를 산출했다.

도 25는, 제1 및 제2 전달 경로로부터 각각 취득한 제1 정보 및 제2 정보를 이용하여 산출한 상호 상관 함수를 나타내는 도면이다. 상호 상관 함수(251)는, 제1 전달 경로로부터 취득한 제1 정보 및 제2 정보를 이용하여 산출한 상호 상관 함수를 나타내는 그래프이며, 상호 상관 함수(252)는, 제2 전달 경로로부터 취득한 제1 정보 및 제2 정보를 이용하여 산출한 상호 상관 함수를 나타내는 그래프이다. 횡축은 시간, 종축은 상관도를 나타낸다.

또한, 상관 검출부(221)는, 도시하지 않은 기억 매체 등에 미리 축적되어 있는 상관의 정도를 판단하기 위한 문턱값을 판독하여, 상호 상관 함수(251)와 상호 상관 함수(252)의 각각에 대해서, 제1 정보로부터 취득한 창 취득 정보와의 상관이 높은 부분을 검출한다. 여기에서는, 예를 들면, 우선, 각 상호 상관 함수를 취득 후에, 상호 상관 함수를, 문턱값을 이용하여 2치화하여, 값이 "H"인 부분을 검출한다. 그리고, 검출한 값이 "H"인 부분의 시각의 정보를 취득한다. 이 시각의 정보가, 상호 상관 함수의 상관이 높은 부분을 나타내는 정보이다. 그리고, 취득한 상관이 높은 부분을 나타내는 시간의 정보를, 각 전달 경로에 대응지어서 도시하지 않은 기억 매체 등에 축적한다. 또한, 여기에서는, 상호 상관 함수를 2치화한 정보도, 도시하지 않은 기억 매체에 축적한다.

다음으로, 관련 판단부(222)는, 상호 상관 함수(251)의 상관이 높은 부분과, 상호 상관 함수(252)의 상관이 높은 부분이, 관련성이 있는지 없는지를 판단하기 위한 판단용 정보를 판단용 정보 격납부(223)로부터 판독한다. 여기에서 판독한 판단용 정보는, 전달 경로의 모델을 이용하여 구해진, 하나의 원인에 기초하는 이상이 발생한 경우에, 그 이상을 나타내는 신호 파형이, 제1 및 제2 전달 경로로부터 각각 출력되는 제2 정보에 나타난다고 기대되는 기간을 지정하는 정보라고 한다. 여기에서는 기간의 개시 시각(Ta)과 종료 시각(Tb)을 지정하는 정보라고 한다.

도 26은, 상관 검출부(221)가 취득하여 축적한, 상호 상관 함수(251)를 2치화 한 정보(261)와 상호 상관 함수(252)를 2치화 한 정보(262)와, 판단용 정보가 나타내는, 이상을 나타내는 신호 파형이 검출된다고 기대되는 기간(263)을 나타낸 도면의 일 예이다. 2치화 한 신호 261, 262의, 신호가 "H"인 위치, 즉 신호의 피크가 존재하는 위치가, 상호 상관 함수에 있어서의 상관이 높다고 판단되는 부분이며, 이 위치를 나타내는 시간 정보가, 상관이 높은 부분을 나타내는 정보로서, 도시하지 않은 기억 매체에 축적되어 있다.

관련 판단부(222)는, 판단용 정보가 나타내는 개시 시각(Ta)에서 종료 시각(Tb)까지의 기간 내에, 상호 상관 함수(251) 및 상호 상관 함수(252)로부터 각각 문턱값을 이용하여 취득한, 상관이 높은 부분을 나타내는 정보가 나타내는 시각이, 적어도 하나씩 존재하는지 아닌지를 판단한다. 즉, 도 26에 나타낸 판단용 정보가 나타내는 기간(263) 내에, 상호 상관 함수(251)를 2치화 한 정보(261)와, 상호 상관 함수(252)를 2치화 한 정보(262)와의, 신호가 "H"인 부분이, 각각 적어도 하나씩 포함되어 있는지 아닌지를 판단하는 것이 된다. 여기에서는, 도 26에 나타내는 바와 같이, 판단용 정보가 나타내는 기간(263) 내에, 상호 상관 함수(251)를 2치화 한 정보(261)의, 신호가 "H"인 부분(261a)과, 상호 상관 함수(252)를 2치화 한 정보(262)의, 신호가 "H"인 부분(262a)이 각각 포함되기 때문에, 판단용 정보가 나타내는 기간 내에, 상관이 높은 부분을 나타내는 정보가 나타내는 시각이, 적어도 하나씩 존재한다고 판단된다. 이 때문에, 관련성을 판단하기 위한 판단용 정보가 나타내는 관계를 충족한 것이 되기 때문에, 상호 상관 함수(251)를 2치화 한 정보(261)의, 신호가 "H"인 부분(261a)과, 상호 상관 함수(252)를 2치화 한 정보(262)의, 신호가 "H"인 부분(262a)과는, 관련이 있다고 판단된다. 구체적으로는, 부분(261a)과 부분(262a)은, 동일한 원인에 의해 발생된 이상을 나타내는 신호라고 판단되는 것이 된다. 이 때문에, 관련 판단부(222)는, 제조 장치(11)에 이상이 발생했다고 판단한다. 한편으로, 판단용 정보가 나타내는 기간 내에 포함되어있지 않은, 신호가 "H"인 경우에 대해서는, 결과적으로, 이상의 발생이라고는 판단되지 않는다. 왜냐하면, 제조 장치(11)에 있어서 이상이 발생한 경우, 각 전달 경로로부터, 관련성이 있는 데이터로서 출력되게 될 것이지만, 관련성이 판단되지 않는다는 것은, 상호 상관 함수에 있어서의 관련성이 높은 부분은, 이상에 기인하는 신호가 아니라, 전달 경로 등에 있어서 발생한 노이즈 등일 가능성이 높기 때문이다.

다음으로, 출력부(223)는, 관련 판단부(222)의 판단 결과를 나타내는 정보를 출력한다. 여기에서는, 예를 들면, 제조 장치의 이상이 검출된 것을 나타내는 정보를, 예를 들면, 판단용 정보가 나타내는 기간을 나타내는 정보와 함께, 도 27에 나타내는 바와 같이, 모니터 등에 표시한다.

또한, 출력부(223)는, 도 28에 나타내는 바와 같이, 도 26에 나타낸 상호 상관 함수(251)를 2치화 한 정보(261)와 상호 상관 함수(252)를 2치화 한 정보(262)로부터, 판단용 정보가 나타내는 기간의 정보만을 취출한 정보를, 모니터 등에 표시한다.

또한, 이상의 발생이 판단되지 않았던 경우, 출력부(223)는, 이상이 발생하지 않았던 취지를 출력하도록 해도 좋다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 따르면, 상이한 전달 경로로부터 출력되는, 하나의 원인에 의해 발생한 이상을 나타내는 신호로부터 파생한 신호간의 관계를 나타내는 판단용 정보를 미리 준비해 두고, 다른 복수의 전달 경로로부터 출력되는 정보의, 창 취득 정보와의 상관이 높은 부분끼리의 관계가, 판단용 정보가 나타내는 관계를 충족하는지 아닌지를 판단하도록 했다. 이에 따라, 전달 경로가 상이한 신호의 관련성을 평가할 수 있다. 예를 들면, 전달 경로가 상이한 신호의 특징 부분, 예를 들면, 이상을 나타내고 있는 부분이, 동일한 원인으로부터 파생한 신호인지 아닌지를 인지하는 것이 가능해진다. 이 결과, 예를 들면, 전달 경로가 상이한 신호로부터, 관련성이 있는 신호의 특징 부분을 검출하여, 제조 프로세스 등의 프로세스 이상을 정확하게 판단하는 것이 가능해진다.

(실시 형태 3)

본 실시 형태는, 상기 실시 형태 1에 있어서 나타낸 정보 처리 장치에 있어서, 제조 장치(11)의 동일 또는 상이한 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보 및 제2 정보를 이용하여, 상기 실시 형태 1과 동일하게, 상호 상관 함수를 산출하고, 이 상호 상관 함수의 상관이 높다고 판단되는 부분에 대하여 관련하는 기간에, 다른 전달 경로로부터 출력되는 제3 정보의 이상을 나타내는 정보가 존재하는지 아닌지를 판단하도록 한 것이다.

도 29는, 본 실시 형태의 정보 처리 장치의 구성을 나타내는 블록도이다. 또한, 본 실시 형태의 정보 처리 장치(30)는, 도시하고 있지 않지만, 상기 실시 형태의 정보 처리 장치와 동일하게, 예를 들면, 제조 장치(11)와, 통신 회선 등을 통하여, 정보의 송수신이 가능해지도록, 직접 또는 간접적으로 접속된다.

정보 처리 장치(30)는, 제1 입력 접수부(101), 제2 입력 접수부(102), 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106), 창함수 처리부(107), 지정 접수부(108), 상관 산출부(109), 제3 입력 접수부(301), 제3 정규화 처리부(302), 제3 필터부(303), 상관 검출부(304), 정보 판단부(305), 기간 지정 정보 격납부(306) 및, 출력부(307)를 구비하고 있다.

제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)는, 제조 장치(11) 등의 동일 또는 상이한 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보 및 제2 정보를 접수하는 것으로 한다. 또한, 창함수 처리부(107)는, 제1 입력 접수부(101)가 접수한 하나의 전달 경로로부터 출력된 제1 정보로부터 전술한 바와 같은 창 취득 정보를 취득하는 것으로 한다. 또한, 지정 접수부(108)는, 제1 입력 접수부(101)가 접수한 하나의 전달 경로로부터 출력된 제1 정보에 대하여, 창함수를 이용하여 취득하기 위한 소정의 기간의 지정을 접수하는 것으로 한다. 특히, 지정 접수부(108)는, 하나의 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보에 대해서, 제조 장치(11) 등에 있어서의 이상이 발생하고 있는 부분을 지정하는 정보, 예를 들면 이상이 발생하고 있는 것을 나타내는 파형 부분의 기간을 지정하는 정보를 접수하는 것이 바람직하다. 또한, 상관 산출부(109)는, 하나의 전달 경로로부터 출력된 제1 정보로부터 창함수 처리부(107)에 의해 취득된 창 취득 정보와, 동일 또는 상이한 전달 경로로부터 출력된 제2 정보의 상호 상관 함수를 산출하는 것으로 한다. 또한, 제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)가 접수한 제1 정보 및 제2 정보나, 정규화 처리나 필터 처리가 행해진 제1 정보 및 제2 정보나, 취득된 창 취득 정보나, 산출된 상호 상관 함수 등의, 상기의 처리에 의해 얻어지는 정보 등은, 적절히, 도시하지 않은 메모리 등의 기억 매체에 축적하여, 판독할 수 있도록 해도 좋다. 또한, 이하, 실시 형태에 있어서는, 주로, 제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)가, 제조 장치(11) 등의 동일한 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보 및 제2 정보를 접수하는 경우를 예로 들어서 설명한다. 단, 제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)는, 제조 장치(11) 등의 상이한 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보 및 제2 정보를 접수하도록 해도 좋다.

또한, 정규화 처리나 필터 처리가 불필요한 경우, 제1 정규화 처리부(103), 제2 정규화 처리부(104), 제1 필터부(105), 제2 필터부(106) 등은 생략 가능하다. 또한, 제1 필터부(105)나 제2 필터부(106)에 포함되는 1 이상의 필터 수단을, 적절히 생략해도 좋다. 정규화 처리나 필터 처리가 불필요한 경우는, 예를 들면, 제1 정보 및 제2 정보가, 동일한 전달 경로로부터 출력되는, 동일한 요인에 의해 발생된 정보로서, 비교나 연산 등의 조작을 위해 바람직한 성질을 가진 일정한 형태를 갖는 정보인 경우 등이다.

제3 입력 접수부(301)는, 제1 정보 및 제2 정보가 출력되는 전달 경로와는 상이한 하나 이상의 전달 경로로부터 출력되는 시계열 데이터인 하나 이상의 제3 정보를 접수한다. 제3 입력 접수부(301)가 접수하는 제3 정보는, 전달 경로가 상이한 점을 제외하면, 전술한 제2 입력 접수부(102)가 접수하는 제2 정보와 동일하다. 제3 입력 접수부(301)는, 접수하는 정보가, 제1 정보 및 제2 정보를 출력하는 전달 경로와는, 상이한 전달 경로로부터 출력되는 제3 정보인 점, 또한, 하나 이상의 제3 정보를 접수하는 점을 제외하면, 전술한 제2 입력 접수부(302) 등과 동일한 구성을 갖고 있어, 여기에서는 설명을 생략한다. 또한, 제3 입력 접수부(301)는, 복수의 제3 정보를, 시분할로 접수해도 좋고, 또한, 당해 제2 입력 접수부(301)를, 병렬로 복수 형성하여, 병렬 처리에 의해 접수하도록 해도 좋다.

제3 정규화 처리부(302) 및 제3 필터부(303)는, 제3 입력 접수부(301)가 접수한 하나 이상의 제3 정보에 대하여, 정규화 처리나, 필터 처리를 행하는 점을 제외하면, 상기 실시 형태의 제2 정규화 처리부(104) 및 제2 필터부(106)와 동일한 구성을 갖고 있기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.

또한, 제3 필터부(303)가 갖고 있는 제3 신축 필터 수단(3031), 제3 ARX 필터 수단(3032), 제3 엔벌로프 필터 수단(3033), 제3 제로크로스 필터 수단(3034)에 대해서도, 제3 정규화 처리부(302)가 출력하는 제3 정보에 대하여 필터 처리를 행하는 점을 제외하면, 전술한 제2 신축 필터 수단(1061), 제2 ARX 필터 수단(1062), 제2 엔벌로프 필터 수단(1063) 및, 제2 제로크로스 필터 수단(1064)과 동일한 구성을 갖고 있어, 여기에서는 설명을 생략한다.

또한, 제3 정보에 대하여, 정규화 처리나 필터 처리가 불필요한 경우, 제3 정규화 처리부(302), 제3 필터부(303) 등은 생략 가능하다. 또한, 제3 필터부(303)에 포함되는 1 이상의 필터 수단을, 적절히 생략해도 좋다.

상관 검출부(305)는, 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보와 제2 정보를 이용하여 산출한 상호 상관 함수에 있어서의, 상관이 높은 부분을 검출하는 것이며, 상기 실시 형태의 상관 검출부(221)와 동일하기 때문에, 설명은 생략한다.

정보 판단부(305)는, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 제3 정보의 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 검출되었는지 아닌지를 판단한다. 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 기간은, 제2 정보 내의, 창 취득 정보에 대한 상관이 높은 부분에 대하여 미리 지정된 시간 관계에 있는 기간이라고 생각해도 좋다. 여기에서 서술하는 관련하는 기간이란, 예를 들면, 상관 검출부(304)가 검출한 제2 정보 내의 상관이 높은 부분의 신호와 동일한 원인으로부터 파생한 신호가, 제3 정보 내에 있어서 얻어진다고 예측되는 기간이다. 동일한 원인에 기초하는 이상을 나타내는 신호가, 상이한 전달 경로를 거쳐 출력되는 경우, 제2 정보의 이상이 발생한 것을 나타내는 부분과, 제3 정보의 이상이 발생한 개소는, 소정의 시간의 관계를 갖고 있다고 생각된다. 따라서, 하나의 전달 경로로부터 취득된 제2 정보의 상관이 높은 부분이, 제조 장치(11) 등에 있어서 발생한 이상을 나타내는 부분인 경우, 하나의 전달 경로와는 상이한 전달 경로로부터 얻어지는 제3 정보에 대해서는, 이 제2 정보의 상관이 높은 부분에 대하여, 소정의 시간의 관계를 갖고 있는 기간에도 이상이 발생한 것을 나타내는 신호가 포함될 것이다. 이 때문에, 정보 판단부(305)는, 제3 정보의, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 검출되었는지 아닌지를 판단한다. 이 관련하는 기간은, 예를 들면, 상기 실시 형태 2에 있어서, 전달 경로가 상이한 제2 정보로부터 취득한, 창 취득 정보에 대하여 상관이 높은 부분끼리의 관련성을 판단할 때에 이용한, 1의 원인으로부터 상이한 전달 경로를 거쳐 파생한 신호가 모두 포함되는 것이 되는 기간과 동일한 기간이다.

정보 판단부(305)는, 전술한 관련하는 기간을 어떻게 결정해도 좋다. 예를 들면, 미리, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분을 나타내는 시각에 대한, 관련하는 제3 정보의 기간을 지정하기 위한, 시간차나, 경과 시간이나, 상대적인 시각 등의 정보를 미리 준비해 두고, 이 정보를 이용하여, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분을 나타내는 시각에 대한 관련하는 기간을 취득하도록 해도 좋다. 이러한 관련하는 기간을 지정하는 정보는, 전술한 판단용 정보 중의, 상관이 높은 부분끼리의 지연량 등을 지정하는 정보 등과 동일한 정보라고 생각해도 좋다. 여기에서는 이 기간을 지정하는 정보를 기간 지정 정보라고 부른다. 기간 지정 정보는, 사용자 등에 의해 미리 지정되어 있는 것으로 한다. 기간 지정 정보는, 오차 등의 발생에 의한 값의 변동도 고려한 기간을 나타내는 정보인 것이 바람직하다. 기간 지정 정보는, 전달 경로별로 준비되어 있어도 좋고, 복수의 전달 경로에 공통하여 준비되어 있어도 좋다. 전달 경로별로 기간 지정 정보가 준비되어 있는 경우, 전달 경로별로 관련을 판단할 때에, 판단 대상이 되는 전달 경로에 대응한 기간 지정 정보를 판독하여 이용한다. 또한, 여기에서는, 기간 지정 정보는, 후술하는 기간 지정 정보 격납부(306)에, 미리 격납되어 있는 것으로 한다. 이러한 관련하는 기간을 지정하는 기간 지정 정보는, 상기 실시 형태와 동일하게, 전달 경로 모델화나, 전달 함수 등을 이용하여 취득하는 것이 가능하다. 또한, 실제로 검사 신호 등을 이용하여, 시험적으로 지연 시간 등을 실측하는 것 등에 의해, 실험적으로 취득하는 것이 가능하다.

정보 판단부(305)는, 예를 들면, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 기간을, 상관이 높은 부분의 시간을 나타내는 정보와, 기간 지정 정보를 이용하여 취득한다. 그리고, 제3 정보 내의, 이 관련하는 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 포함되는지 아닌지를 판단한다. 정보 판단부(305)는, 이상을 나타내는 정보를, 제3 정보 내로부터 어떻게 검출해도 좋다. 정보 판단부(305)는, 예를 들면, 제3 정보에 대하여 에지의 검출을 행하고, 에지의 시작이 검출된 경우, 이 에지의 시작이 검출된 부분을, 이상을 나타내는 정보로서 판단한다. 파형 정보로부터 에지 검출을 행하는 처리에 대해서는 공지 기술이기 때문에 설명은 생략한다. 또한, 정보 판단부(305)는, 제3 정보에 미리 지정한 문턱값보다 큰 신호가 검출된 경우, 이 검출된 부분을, 이상을 나타내는 신호로서 판단한다. 그리고, 이상을 나타내는 정보가 포함된다고 판단한 경우, 정보 판단부(305)는, 이상이 발생했다고 판단하도록 해도 좋다. 정보 판단부(305)는, 통상, MPU나 메모리 등으로 실현될 수 있다. 정보 판단부(305)의 처리 수순은, 통상, 소프트웨어로 실현되고, 당해 소프트웨어는 ROM 등의 기억 매체에 기억되어 있다. 단, 하드웨어(전용 회로)로 실현해도 좋다.

기간 정보 격납부(306)에는, 정보 판단부(305)가, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 제3 정보의 기간을 지정할 때에 이용하는 전술한 바와 같은 기간 지정 정보가 격납될 수 있다. 기간 지정 정보는, 제3 정보를 출력하는 전달 경로별로 준비되어 있어도 좋고, 복수의 전달 경로에 공통의 기간 지정 정보가 준비되어 있어도 좋다. 기간 지정 정보는, 사용자 등에 의해 미리 준비된 정보이다. 기간 정보 격납부(306)는, 휘발성 또는 불휘발성의 기억 매체 등에 의해 실현 가능하다.

출력부(307)는, 상관 산출부(109)의 산출 결과에 따른 정보를 출력한다. 여기에서는 특히, 상관 산출부(109)의 산출 결과를 이용하여, 정보 판단부(305)가 판단을 행한 판단 결과에 따른 출력을 행한다. 출력부(307)는, 정보 판단부(307)의 판단 결과를 나타내는 정보를 출력해도 좋다. 또한, 정보 판단부(307)의 판단 결과가, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분에 대하여 관련하는 제3 정보의 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 검출된 것을 나타내는 판단 결과인 경우, 제조 장치(11)나 프로세스에 이상이 발생한 것을 나타내는 정보를 출력해도 좋다. 또한, 출력부(307)의 다른 구성에 대해서는, 전술한 출력부(111)와 동일하기 때문에, 여기에서는 설명을 생략한다.

다음으로, 본 실시 형태의 정보 처리 장치의 동작에 대해서, 도 30의 플로우 차트를 이용하여 설명한다. 또한, 도 30에 있어서, 도 7과 동일 부호는 동일 또는 상당하는 스텝을 나타내고 있어, 여기에서는 설명을 생략한다.

(스텝 S3001) 제1 입력 접수부(101)는, 제1 전달 경로로부터 제1 정보를 접수했는지 안했는지를 판단한다. 여기에서는, 편의상, 제1 정보 및 제2 정보를 출력하는 전달 경로를, 제1 전달 경로라고 부른다. 접수한 경우, 스텝 S702로 진행하고, 접수하지 않은 경우, 스텝 S3001로 되돌아간다.

(스텝 S3002) 제2 입력 접수부(102)는, 제1 전달 경로로부터 제2 정보를 접수했는지 안했는지를 판단한다. 단, 제2 입력 접수부(102)는, 제1 전달 경로와는 상이한 전달 경로로부터 제2 정보를 접수해도 좋다. 접수한 경우, 스텝 S707로 진행하고, 접수하지 않은 경우, 스텝 S3002로 되돌아간다.

(스텝 S3003) 정보 처리 장치(30)는, 카운터 k에 2를 대입한다.

(스텝 S3004) 제3 입력 접수부(301)는, 제k 전달 경로로부터, 제3 정보를 접수했는지 안했는지를 판단한다. 접수한 경우, 스텝 S3005로 진행하고, 접수하지 않은 경우, 스텝 S3004로 되돌아간다.

(스텝 S3005) 제3 정규화 처리부(302)는, 스텝 S3004에 있어서 접수한 제3 정보에 대하여 정규화 처리를 행한다.

(스텝 S3006) 제3 필터부(303)는, 스텝 S3005에서 정규화 처리한 제3 정보에 대하여 필터 처리를 행한다.

(스텝 S3007) 정보 처리 장치(30)는, 스텝 S3006에서 처리한 제3 정보를, 도시하지 않은 기억 매체 등에 축적한다.

(스텝 S3008) 정보 처리 장치(30)는, 카운터 k의 값을 1 인크리멘트 한다.

(스텝 S3009) 정보 처리 장치(30)는, 제k 전달 경로가 있는지 없는지를 판단한다. 이 판단은, 제k 전달 경로로부터의 제3 정보의 입력을 접수했는지 안했는지의 판단이라고 생각해도 좋다. 제k 전달 경로가 존재하는 경우, 스텝 S3004로 되돌아가고, 없는 경우, 스텝 S3010으로 진행한다.

(스텝 S3010) 정보 처리 장치(30)는, 스텝 S709에 있어서 취득한 상호 상관 함수의, 상관이 높은 개소와, 제3 정보와의 관련을 판단하는 처리를 행한다. 이 처리의 상세에 대해서는 후술한다. 그리고, 처리를 종료한다.

다음으로, 도 30의 스텝 S3010에 있어서 나타낸 관련을 판단하는 처리의 상세에 대해서, 도 31의 플로우 차트를 이용하여 설명한다.

(스텝 S3101) 상관 검출부(304)는, 도시하지 않은 격납부 등으로부터, 상호 상관 함수의 상관이 높은 부분을 판단하기 위한 문턱값을 판독한다.

(스텝 S3102) 상관 검출부(304)는, 카운터 n에 1을 대입한다.

(스텝 S3103) 상관 검출부(304)는, 스텝 S3101에서 판독한 문턱값을 이용하여, 도 30의 스텝 S709에서 산출한 상호 상관 함수에, 문턱값보다도 값이 큰 n번째의 값을 갖는 부분이 존재하는지 아닌지를 판단한다. 이 값의 검출은, 상호 상관 함수의 시각이 빠른 측으로부터 행해가는 것이 바람직하다. 존재하는 경우, 문턱값보다도 값이 높은 부분을 나타내는 시간의 정보를 취득하여, 스텝 S3104로 진행하고, 존재하지 않는 경우, 스텝 S3114로 진행한다.

(스텝 S3104) 정보 판단부(305)는, 기간 지정 정보 격납부(305)에 격납되어 있는 기간 지정 정보를 판독한다.

(스텝 S3105) 정보 판단부(305)는, 스텝 S3103에서 검출한 문턱값보다도 값이 큰 n번째의 부분의 시간의 정보와, 스텝 S3104에서 판독한 기간 지정 정보를 이용하여, 관련하는 정보가 존재하는지 아닌지를 판단하는 기간을 설정한다. 예를 들면, 스텝 S3103에서 검출한 문턱값보다도 값이 큰 n번째의 부분의 검출 개시 시간이 Tf이며, 기간 지정 정보가 나타내는 정보가, 관련을 판단하는 기간의, 검출 개시 시간을 기준으로 한 상대적인 개시 시각(Ts) 및 종료 시각(Te)이었을 경우, 관련을 판단하는 기간은, Tf+Ts 내지 Tf+Te로 설정된다.

(스텝 S3106) 정보 판단부(305)는, 카운터 m에 2를 대입한다.

(스텝 S3107) 정보 판단부(305)는, 제m 전달 경로로부터 받은 제3 정보를 판독하고, 이 제3 정보에 대하여, 스텝 S3105에 의해 설정한 기간을 검출의 대상 범위로서, 이상의 발생을 나타내는 정보의 검출을 행한다. 예를 들면, 스텝 S3105에 의해 설정한 기간 내에 있어서, 이상이라고 판단되는 신호의 에지 검출을 행한다.

(스텝 S3108) 정보 판단부(305)는, 스텝 S3107의 검출 처리에 있어서, 이상의 발생을 나타내는 정보가 검출되었는지 아닌지를 판단한다. 검출된 경우, 스텝 S3109로 진행하고, 검출되지 않은 경우, 스텝 S3113으로 진행한다.

(스텝 S3109) 정보 판단부(305)는, 카운터 m을 1 인크리멘트 한다.

(스텝 S3110) 정보 판단부(305)는, 제m 전달 경로로부터 취득한 제3 정보가 있는지 없는지를 판단한다. 있는 경우, 스텝 S3107로 되돌아가고, 없는 경우, 스텝 S3111로 진행한다.

(스텝 S3111) 정보 판단부(305)는, 스텝 S3103에 있어서 판단한, 상호 상관 함수가 나타내는 n번째의 상관이 높은 부분에 대해서는, 프로세스 이상을 나타내는 부분이라고 판단한다.

(스텝 S3112) 정보 판단부(305)는, 프로세스 이상의 판단 결과를, 도시하지 않은 기억 매체 등의 격납부에 축적한다. 축적되는 판단 결과는, 예를 들면, 이상이라고 판단된 n번째의 상관이 높은 부분을 나타낼 수 있는 정보, 예를 들면 시간의 정보를 포함하는 것이 바람직하지만, 단순하게 이상이 있는 것을 나타내는 정보라도 좋다.

(스텝 S3113) 상관 검출부(304)는, 카운터 n의 값을 1 인클리멘트 한다. 그리고, 스텝 S3103으로 되돌아간다.

(스텝 S3114) 정보 판단부(305)는, 스텝 S3112에 의한, 프로세스 이상의 판단 결과가 축적되어 있는지 아닌지를 판단한다. 축적되어 있는 경우, 스텝 S3115로 진행하고, 축적되어 있지 않은 경우, 스텝 S3116으로 진행한다.

(스텝 S3115) 출력부(307)는, 프로세스 이상이 발생한 것을 나타내는 출력을 행한다. 그리고, 상위의 처리로 리턴한다.

(스텝 S3116) 출력부(307)는, 프로세스가 정상인 것을 나타내는 출력을 행한다. 그리고, 상위의 처리로 리턴한다.

또한, 상기의 플로우 차트에 있어서, 제1 전달 경로로부터 출력되는 연속한 제2 정보나 하나 이상의 전달 경로로부터 출력되는 연속한 제3 정보를, 시분할로 접수하도록 하여, 처리를 반복하여 행하도록 해도 좋고, 상이한 전달 경로로부터 출력되는 연속한 제2 정보를, 반복하여 병렬 처리하도록 해도 좋다.

또한, 스텝 S3114에서 프로세스 이상의 판단 결과를 나타내는 정보가 축적되어 있지 않은 경우, 상위의 처리로 리턴하도록 해도 좋다.

또한, 여기에서는, 전달 경로에 공통된 기간 지정 정보를 이용하는 경우에 대해서 설명했지만, 전달 경로마다, 상이한 기간 지정 정보가 준비되어 있는 경우, 스텝 S3104 및 스텝 S3105의 처리를 스텝 S3106과 스텝 S3107의 처리의 사이에 행하도록 하고, 스텝 S3104에 있어서는, 제m 전달 경로에 대응한 기간 지정 정보를 판독하도록 해도 좋다.

또한, 스텝 S3112나 스텝 S3114～스텝 S3116의 처리를 생략하여, 스텝 S3111에 있어서 프로세스 이상을 판단한 경우에, 판단 결과를 출력하여, 스텝 S3113으로 진행하도록 해도 좋다.

다음으로, 본 실시 형태의 구체예에 대하여 설명한다.

본 실시 형태에 있어서도, 도 24에 나타낸 바와 같은 전달 경로의 모델화에 의해, 미리 작성된 기간 지정 정보가, 기간 지정 정보 격납부(306)에 격납되어 있는 것으로 한다.

도 32는, 기간 지정 정보 격납부(306)에 격납되어 있는 기간 지정 정보의 일 예이다. 이 기간 지정 정보는, 상호 상관 함수에 있어서의 상관이 높은 부분을 0초로 한 경우, 관련의 판단을 행하는 기간의 「개시 시각」과 「종료 시각」을 지정하는 정보이다. 또한, ts, te는 시간을 나타내는 값이며, te＞ts라고 한다. 또한, 여기에서는, ts, te는 부(負)의 값이라고 한다.

이하, 여기에서는 일 예로서, 도시하지 않은 어쿠스틱 이미션 센서를 이용하여, 제1 내지 제4 전달 경로(도시하지 않음)로부터, 각각, 제조 장치(11)에 있어서 발생하는 신호파를 취득하는 것으로 한다. 그리고, 제1 전달 경로로부터는, 제1 정보 및 제2 정보를 취득하고, 제2 내지 제4 전달 경로로부터는, 각각, 제3 정보를 취득하는 경우에 대해서 설명한다. 단, 제2 정보를, 제1 전달 경로 이외의 전달 경로로부터 취득해도 좋다.

도 33은, 제1 내지 제4 전달 경로로부터 접수한 제1 정보, 제2 정보, 제3 정보 및, 제1 정보 및 제2 정보를 이용하여 산출한 상호 상관 함수를 나타내는 그래프이다. 그래프에 있어서, 횡축은 시간을 나타내고 있다. 채널(CH)1은, 정보 취득의 개시 시각과 종료 시각을 나타내는 신호이다.

우선, 상기 실시 형태 1에 있어서 설명한 바와 같이, 정보 처리 장치(30)의 제1 입력 접수부(101) 및 제2 입력 접수부(102)가, 제1 전달 경로로부터 각각 출력되는 측정 데이터인 제1 정보 및 제2 정보를 접수한다. 도 33에 있어서 CH2는 제2 정보를 나타낸다. 다음으로, 사용자로부터 입력되는, 제1 정보 중의 창함수를 이용하여 취출하는 기간을 지정하는 정보를 이용하여 창 취득 정보를 취득하고, 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출한다. 여기에서는, 예로서, 제1 정보의, 이상이 발생한 부분, 즉 피크가 존재하는 부분을, 창함수를 이용하여 창 취득 정보로서 취출하고, 이 취출한 창 취득 정보와의 상호 상관 함수를 산출한다.

다음으로, 제2 내지 제4 전달 경로로부터 각각 출력되는 측정 데이터인 제3 정보를 접수한다. 그리고, 각 제3 정보에 대하여 정규화 처리나 필터 처리를 행한다. 제2 내지 제4 전달 경로로부터 각각 접수한 제3 정보는, 도 33의 CH6내지 CH8의 데이터이다.

다음으로, 상관 검출부(304)는, 미리 준비된, 상호 상관 함수 중의 상관이 높은 부분을 검출하기 위한 문턱값을, 도시하지 않은 기억 매체 등으로 판독하여, 상호 상관 함수의 값이, 문턱값보다도 큰 부분을 검출하고, 그 부분을 나타내는 정보, 예를 들면 시간의 정보를 취득한다. 도 33의 CH3은, 상호 상관 함수를, 전술한 상관이 높은 부분을 검출하기 위한 문턱값으로 2치화 한 그래프이다. 이 그래프의 값이 "H"인 부분이, 상관이 높은 부분이다. 또한, 여기에서는 CH2의 각 피크인 이상이 발생한 부분이, CH3의 상관이 높은 부분, 즉 2치화 한 값이 "H"인 부분에 상당한다. 구체적으로는 t21과 t31, t22와 t32, t23과 t33, t24와 t34가 각각 대응하고 있다. 또한, CH2의 각 피크와, 2치화 한 상호 상관 함수의 "H"인 부분과의 불일치는, 상호 상관 함수를 연산에 의해 구할 때의 지연에 의한 것이다.

다음으로, 정보 판단부(305)는, 도 32에 나타낸 기간 지정 정보를 판독한다. 그리고, 상관 검출부(304)가 상호 상관 함수로부터 검출한 상관이 높은 부분의 첫 번째에 대해서, 이 상관이 높은 부분의 시작이 검출된 시각과, 기간 지정 정보를 이용하여, 제3 정보와의 관련성을 판단하기 위한 기간을 나타내는 개시 시각과 종료 시각을 산출한다. 예를 들면, 상관이 높은 부분의 첫 번째가 검출된 시각이 t31이었다고 하면, 관련성을 판단하는 기간의 개시 시각인 t31+ts, 종료 시각인 t31+te를 취득한다.

다음으로, 정보 판단부(305)는, 제2 내지 제4 전달 경로로부터 각각 취득한 제3 정보에 대해서, t31+ts에서 t31+te까지의 기간(즉 도 33의 E1의 기간) 내의 시작의 에지를 검출한다. 그리고, 모든 제3 정보에 대해서 에지의 시작이 검출된 경우, 제1 전달 경로가 이상이라고 생각되는 신호를 출력한 시간에 대하여 관련하고 있는 기간 내에, 제2 내지 제4 전달 경로의 전부가, 이상이 발생한 것을 나타내는 신호를 출력한 것이 된다. 여기에서의 관련하고 있는 기간은, 하나의 원인에 의해 파생된 이상을 나타내는 신호가 포함된다고 예측되는 기간으로 미리 설정되어 있기 때문에, 각 전달 경로로부터 출력되는 이상이 발생한 것을 나타내는 신호가, 관련하고 있는 기간 내에 검출됨으로써, 이들의 이상을 나타내는 신호는, 각 전달 경로에 있어서 개별로 발생한 노이즈 등이 아니라, 하나의 원인에 의해 파생한 신호인 것이 판단된다. 이 결과, 프로세스의 이상이 검출된다. 그리고 프로세스 이상의 검출 결과를 도시하지 않은 기억 매체에 축적한다. 여기에서 축적하는 검출 결과는, 제2 정보 내의, 상관 검출부(304)가 검출한 상관이 높은 부분(시각 t31의 부분)에 대응한 부분의 시각 t21을 나타내는 정보라고 한다.

동일한 처리가, 상관 검출부(304)가 상호 상관 함수로부터 검출한 다른 상관이 높은 부분에 대해서도 실행된다.

예를 들면, 도 33에 있어서의 CH3의 피크 P1～P4가 전술한 바와 같이 상호 상관 함수의 상관이 높은 부분이며, 각 상관이 높은 부분에 대응하는 영역 E1～E4가, 피크 P1～P4에 대응하는 관련을 판단하기 위한 영역이다. 영역 E1 및 영역 E3에 있어서는, 제2 내지 제4 전달 경로로부터 각각 취득한 제3 정보, 즉 CH6 내지CH8의 모든 정보에 있어서, 시작의 에지가 검출되고, 정보 판단부(305)는, 모든 전달 경로로부터 얻어진 신호간의 관련성이 있다고 판단하여, 프로세스 이상의 발생을 검출한다. 또한, 영역 E2 및 영역 E4에 대해서는, CH6 내지 CH8의 정보에 있어서, 시작의 에지가 검출되지 않는 것이 존재하기 때문에, 정보 판단부(305)는, 이상의 발생을 검출하지 않는다. 또한, CH6에서 CH8까지의 정보 중의, 관련성을 판단하기 위한 기간 내에 존재하지 않은 정보에 대해서는, 관련성의 판단이 행해지지 않아, 이상의 발생을 나타내는 정보라고는 판단되지 않는다.

출력부(307)는, 정보 판단부(305)가 축적한 이상의 발생을 나타내는 정보를 도시하지 않은 격납부 등으로부터 판독하여 출력한다.

도 34는, 출력부(307)가 모니터에 표시한 이상의 발생을 나타내는 정보의 표시예를 나타내는 도면이다.

또한, 프로세스 이상이 검출되지 않은 경우, 그 취지를 출력해도 좋고, 출력하지 않아도 좋다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 따르면, 동일 또는 상이한 전달 경로로부터 출력되는 제1 정보 및 제2 정보를 이용하여, 상호 상관 함수를 산출하고, 이 상호 상관 함수의 상관이 높다고 판단되는 부분에 대하여 관련하는 기간에, 다른 전달 경로로부터 출력되는 제3 정보의 이상을 나타내는 정보가 존재하는지 아닌지를 판단하도록 했다. 이에 따라, 상이한 전달 경로에 의해 출력되는 데이터의 관련성을 평가할 수 있어, 예를 들면, 제조 장치 등에 있어서 하나의 원인에 의해 발생한 이상을 적절하게 검출하는 것이 가능해진다. 예를 들면, 각 전달 경로의 관련이 없는 기간에 검출된 이상을 나타내는 정보에 대해서는, 개별의 전달 경로에 있어서 발생한 노이즈 등의 정보일 가능성이 높기 때문에, 이들의 정보가 검출되어도 이상이라고 판단하지 않도록 하여, 이상의 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 상호 상관 함수가 상관이 높은 것을 나타내는 부분과, 제3 정보로부터 검출한 이상이라고 생각되는 개소와의 관련으로부터, 프로세스 이상을 검출하도록 함으로써, 제3 정보에 대해서는 상호 상관 함수를 산출할 필요 등이 없기 때문에, 연산 시간 등을 단축하여 고속의 처리가 가능해진다.

또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 정보 처리 장치와 제조 장치(11)가 네트워크 등으로 접속되어 있는 경우에 대해서 설명했지만, 정보 처리 장치가 제조 장치(11) 내에 형성되어 있도록 해도 좋다.

또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 각 처리(각 기능)는, 단일의 장치(시스템)에 의해 집중 처리됨으로써 실현되어도 좋고, 혹은, 복수의 장치에 의해 분산 처리 됨으로써 실현되어도 좋다.

또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 각 구성 요소는 전용의 하드웨어에 의해 구성되어도 좋고, 혹은, 소프트웨어에 의해 실현 가능한 구성 요소에 대해서는, 프로그램을 실행함으로써 실현되어도 좋다. 예를 들면, 하드디스크나 반도체 메모리 등의 기록 매체에 기록된 소프트웨어?프로그램을 CPU 등의 프로그램 실행부가 판독하여 실행함으로써, 각 구성 요소가 실현될 수 있다.

또한, 상기 각 실시 형태에 있어서의 데이터 표시 장치를 실현하는 소프트웨어는, 이하와 같은 프로그램이다. 즉, 이 프로그램은, 컴퓨터를, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수하는 제1 입력 접수부와, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수하는 제2 입력 접수부와, 상기 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 창함수 처리부와, 상기 창함수 처리부가 취출한 창 취득 정보와, 상기 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 상관 산출부와, 상기 상관 산출부의 산출 결과에 따른 정보를 출력하는 출력부로서 기능시키기 위한 프로그램이다.

또한, 상기 프로그램에 있어서, 상기 프로그램이 실현하는 기능에는, 하드웨어로밖에 실현할 수 없는 기능은 포함되지 않는다. 예를 들면, 정보를 취득하는 취득부나, 정보를 출력하는 출력부 등에 있어서의 모뎀이나 인터페이스 카드 등의 하드웨어로밖에 실현할 수 없는 기능은, 상기 프로그램이 실현하는 기능에는 포함되지 않는다.

또한, 이 프로그램은, 서버 등으로 다운로드됨으로써 실현되어도 좋고, 소정의 기록 매체(예를 들면, CD-ROM 등의 광 디스크나 자기 디스크, 반도체 메모리 등)에 기록된 프로그램이 판독됨으로써 실행되어도 좋다.

또한, 이 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 단수라도 좋고, 복수라도 좋다. 즉, 집중 처리를 행해도 좋고, 혹은 분산 처리를 행해도 좋다.

도 20은, 상기 프로그램을 실행하여, 상기 각 실시 형태에 의한 데이터 표시 장치를 실현하는 컴퓨터의 외관의 일 예를 나타내는 모식도이다. 상기 실시 형태는, 컴퓨터 하드웨어 및 그 위에서 실행되는 컴퓨터 프로그램에 의해 실현된다.

도 20에 있어서, 컴퓨터 시스템(500)은, CD-ROM(Compact Disk Read Only Memory) 드라이브(505), FD(Flexible Disk) 드라이브(506)를 포함하는 컴퓨터(501)와, 키보드(502)와, 마우스(503)와, 모니터(504)를 구비한다.

도 21은, 컴퓨터 시스템을 나타내는 도면이다. 도 21에 있어서, 컴퓨터(501)는, CD-ROM 드라이브(505), FD 드라이브(506)에 더하여, CPU(Central Processing Unit; 511)와, 부트업 프로그램 등의 프로그램을 기억하기 위한 ROM(Read Only Memory; 512)과, CPU(511)에 접속되어, 애플리케이션 프로그램의 명령을 일시적으로 기억함과 함께, 일시 기억 공간을 제공하는 RAM(Random Access Memory; 513)과, 애플리케이션 프로그램, 시스템 프로그램 및, 데이터를 기억하는 하드디스크(514)와, CPU(511), ROM(512) 등을 상호 접속하는 버스(515)를 구비한다. 또한, 컴퓨터(501)는, LAN으로의 접속을 제공하는 도시하지 않은 네트워크 카드를 포함하고 있어도 좋다.

컴퓨터 시스템(500)에, 상기 실시 형태에 의한 데이터 표시 장치의 기능을 실행시키는 프로그램은, CD-ROM(512), 또는 FD(522)에 기억되고, CD-ROM 드라이브(505), 또는 FD 드라이브(506)에 삽입되어, 하드디스크(514)에 전송되어도 좋다. 이를 대신하여, 그 프로그램은, 도시하지 않은 네트워크를 통하여 컴퓨터(501)에 송신되어, 하드디스크(514)에 기억되어도 좋다. 프로그램은 실행할 때에 RAM(513)에 로드된다. 또한, 프로그램은, CD-ROM(521)이나 FD(522), 또는 네트워크로부터 직접 로드되어도 좋다.

프로그램은, 컴퓨터(501)에, 상기 실시 형태에 의한 데이터 표시 장치의 기능을 실행시키는 오퍼레이팅 시스템(OS), 또는 서드파티 프로그램 등을 반드시 포함하고 있지 않아도 좋다. 프로그램은, 제어된 형태로 적절한 기능(모듈)을 불러내어, 소망하는 결과가 얻어지도록 하는 명령의 부분만을 포함하고 있어도 좋다. 컴퓨터 시스템(500)이 어떻게 동작하는지에 대해서는 주지(周知)이며, 상세한 설명은 생략한다.

또한, 상기 각 실시 형태에 있어서, 하나의 장치에 존재하는 2 이상의 통신 수단(요구 정보 송신부나, 데이터 수신부 등)은, 물리적으로 하나의 매체로 실현되어도 좋은 것은 말할 필요도 없다.

본 발명은, 이상의 실시 형태에 한정되는 일 없이, 여러 가지의 변경이 가능하며, 그들도 본 발명의 범위 내에 포함되는 것인 점은 말할 필요도 없다.

[산업상이용가능성]

이상과 같이, 본 발명에 따른 정보 처리 장치는, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터를 처리하는 정보 처리 장치에 적용 가능한 것이며, 특히, 시계열 데이터로부터 제조 프로세스의 상태를 검지하기 위한 정보 처리 장치 등으로서 유용하다.

Claims

반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수하는 제1 입력 접수부와,
반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수하는 제2 입력 접수부로서, 상기 제2 정보는, 상기 제1 정보를 참조하여, 정상인 정보인지의 여부가 판단될 대상 정보인, 제2 입력 접수부와,
상기 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 창함수 처리부와,
상기 창함수 처리부가 취출한 창 취득 정보와, 상기 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 상관 산출부와,
상기 상관 산출부의 산출 결과에 따른 정보를 출력하는 출력부
를 구비한 정보 처리 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 정보를 정규화하는 제1 정규화 처리부를 추가로 구비하고,
상기 창함수 처리부는, 상기 제1 정규화 처리부가 처리한 상기 제1 정보로부터 상기 창 취득 정보를 취출하는 정보 처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 정보를 정규화하는 제2 정규화 처리부를 추가로 구비하고,
상기 상관 산출부는, 상기 창 취득 정보와, 상기 제2 정규화 처리부가 처리한 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 정보 처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 정보에 대하여, 필터 처리를 행하는 제1 필터부를 추가로 구비하고,
상기 창함수 처리부는, 상기 제1 필터부가 처리한 상기 제1 정보로부터 상기 창 취득 정보를 취출하는 정보 처리 장치.
제4항에 있어서,
상기 제1 필터부는, 상기 제1 정보에 대하여, 신축 필터 처리를 행하는 신축 필터 수단, 또는 ARX 필터 처리를 행하는 ARX 필터 수단, 또는 엔벌로프(envelope) 필터 수단, 또는 제로크로스(zerocross) 필터 수단의 적어도 하나를 구비하고 있는 정보 처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제2 정보에 대하여, 필터 처리를 행하는 제2 필터부를 추가로 구비하고,
상기 상관 산출부는, 상기 창 취득 정보와, 상기 제2 필터부가 처리한 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 정보 처리 장치.
제6항에 있어서,
상기 제2 필터부는, 상기 제2 정보에 대하여, 신축 필터 처리를 행하는 신축 필터 수단, 또는 ARX 필터 처리를 행하는 ARX 필터 수단, 또는 엔벌로프 필터 수단, 또는 제로크로스 필터 수단의 적어도 하나를 구비하고 있는 정보 처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 상관 산출부의 산출 결과를 이용하여, 상기 제2 정보에, 상기 창 취득 정보와 상관이 소정의 문턱값보다도 높은 정보가 포함되는지 아닌지를 판단하여, 상기 제2 정보가 정상인지 아닌지를 판단하는 판단부를 추가로 구비하고,
상기 출력부는, 상기 판단부의 판단 결과를 출력하는 정보 처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 입력 접수부 및 제2 입력 접수부는, 전달 경로마다 출력되는 상기 제1 정보 및 제2 정보를, 서로 상이한 복수의 전달 경로에 대해서 각각 접수하고,
상기 창함수 처리부는, 상기 제1 입력 접수부가 접수한 상기 각 전달 경로로부터 출력된 상기 제1 정보로부터, 상기 각 전달 경로마다 상기 창 취득 정보를 취득하고,
상기 상관 산출부는, 하나의 전달 경로로부터 출력된 제1 정보로부터 취득된 창 취득 정보와, 동일한 전달 경로로부터 출력된 제2 정보와의 상호 상관 함수를, 상기 복수의 전달 경로마다 각각 산출하고,
상기 상관 산출부가 각 전달 경로에 대해서 산출한 상호 상관 함수를 이용하여, 각 전달 경로마다, 제2 정보와 창 취득 정보와의 상관이 소정의 문턱값보다도 높은 부분을 검출하는 상관 검출부와,
상기 상관 검출부가 각 전달 경로마다 검출한 상관이 상기 소정의 문턱값보다도 높은 부분끼리가, 관련하는지 아닌지를 판단하는 관련 판단부를 추가로 구비하고,
상기 출력부는, 상기 관련 판단부의 판단 결과에 따른 출력을 행하는 정보 처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 입력 접수부 및 제2 입력 접수부는, 서로 동일 또는 서로 상이한 전달 경로로부터 출력되는 상기 제1 정보 및 제2 정보를 각각 접수하고,
상기 제1 정보 및 제2 정보가 출력되는 전달 경로와는 상이한 하나 이상의 전달 경로로부터 출력되는 시계열 데이터인 하나 이상의 제3 정보를 접수하는 제3 입력 접수부로서, 상기 제3 정보는, 상기 제1 정보의 창 취득 정보와 상기 제2 정보와의 상관 관계를 참조하여, 정상인 정보인지의 여부가 판단될 대상 정보인, 제3 입력 접수부와,
상기 상관 산출부가 산출한 상호 상관 함수를 이용하여, 제2 정보와 창 취득 정보와의, 상관이 소정의 문턱값보다도 높은 부분을 검출하는 상관 검출부와,
상기 상관 검출부가 검출한 상관이 상기 소정의 문턱값보다도 높은 부분에 대하여 관련하는 상기 제3 정보의 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 검출되었는지 아닌지를 판단하는 정보 판단부를 추가로 구비하고,
상기 출력부는, 상기 정보 판단부의 판단 결과에 따른 출력을 행하는 정보 처리 장치.
제10항에 있어서,
상기 제3 정보에 대하여, 필터 처리를 행하는 제3 필터부를 추가로 구비하고,
상기 정보 판단부는, 상기 제3 필터부가 처리한 제3 정보의, 상기 상관 검출부가 검출한 상관이 소정의 문턱값보다도 높은 부분에 대하여 관련하는 기간 내에, 이상을 나타내는 정보가 검출되었는지 아닌지를 판단하는 정보 처리 장치.
제11항에 있어서,
상기 제3 필터부는, 상기 제3 정보에 대하여, 신축 필터 처리를 행하는 신축 필터 수단, 또는 ARX 필터 처리를 행하는 ARX 필터 수단, 또는 엔벌로프 필터 수단, 또는 제로크로스 필터 수단의 적어도 하나를 구비하고 있는 정보 처리 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 정보의, 상기 소정의 기간의 지정을 접수하는 지정 접수부를 추가로 구비하고,
상기 창함수 처리부는, 상기 제1 정보의, 상기 지정 접수부가 접수한 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 정보 처리 장치.
제1 입력 접수부와, 제2 입력 접수부와, 창함수 처리부와, 상관 산출부와, 출력부에 의해 처리되는 정보 처리 방법으로서,
상기 제1 입력 접수부가, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수하는 제1 입력 접수 스텝과,
상기 제2 입력 접수부가, 반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수하는 제2 입력 접수 스텝으로서, 상기 제2 정보는, 상기 제1 정보를 참조하여, 정상인 정보인지의 여부가 판단될 대상 정보인, 제2 입력 접수 스텝과,
상기 창함수 처리부가, 상기 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 창함수 처리 스텝과,
상기 상관 산출부가, 상기 창함수 처리 스텝에서 취출한 창 취득 정보와, 상기 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 상관 산출 스텝과,
상기 출력부가, 상기 상관 산출 스텝의 산출 결과에 따른 정보를 출력하는 출력 스텝
을 구비한 정보 처리 방법.
컴퓨터를,
반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제1 정보를 접수하는 제1 입력 접수부와,
반도체 프로세스에 관한 시계열 데이터인 제2 정보를 접수하는 제2 입력 접수부로서, 상기 제2 정보는, 상기 제1 정보를 참조하여, 정상인 정보인지의 여부가 판단될 대상 정보인, 제2 입력 접수부와,
상기 제1 정보의 소정의 기간 내의 정보를, 창함수를 이용하여 취출하여, 창 취득 정보를 얻는 창함수 처리부와,
상기 창함수 처리부가 취출한 창 취득 정보와, 상기 제2 정보와의 상호 상관 함수를 산출하는 상관 산출부와,
상기 상관 산출부의 산출 결과에 따른 정보를 출력하는 출력부
로서 기능시키기 위한 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독가능 기록매체.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 정보 및 제2 정보는 파형 데이터를 포함하는 정보 처리 장치.
제10항에 있어서,
상기 제3 정보는 파형 데이터를 포함하는 정보 처리 장치.