TWI684928B - 物品處理設備 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種物品處理設備。控制部在根據狀態資訊判別出物品處理裝置為正常狀態的情況下，會將下列傳送至管理裝置：表示物品處理裝置為正常狀態之正常判別資訊所構成的正常通知資訊、或由根據狀態資訊而生成的正常時資訊與正常判別資訊所構成的正常通知資訊。控制部在根據狀態資訊判別出物品處理裝置為異常狀態的情況下，會將下列傳送至管理裝置：由表示物品處理裝置為異常狀態之異常判別資訊、以及根據狀態資訊而生成且資料量及資料項目的至少其中一者比正常時資訊還多的異常時資訊所構成的異常通知資訊。

Description

物品處理設備 發明領域
本發明是關於一種物品處理設備，其具備有搬送或保管物品之物品處理裝置、以及控制上述物品處理裝置之作動的控制部。
發明背景
於日本專利特開2001-325994號公報中已公開有以管理裝置來管理物品處理裝置是否正常運轉之內容。在此種物品處理設備中，藉由檢測物品處理裝置上已發生異常之情形，而變得可採取必要的處理，以從管理裝置對物品處理裝置指示異常時用作動指令等，使具備該物品處理裝置的設備正常運轉。
為了藉由管理裝置隨時掌握物品處理裝置的狀態，可將通知資訊從物品處理裝置傳送到管理裝置並儲存。通知資訊可為例如與物品處理裝置的作動有關的詳細資訊，可為例如根據與以一定的時間間隔取得的物品處理裝置之狀態有關的狀態資訊而生成的資訊。並且，管理裝置是藉由解析所儲存的通知資訊，來判別物品處理裝置中是否發 生異常。藉由利用已儲存的通知資訊，管理裝置不僅能得知物品處理裝置上已發生異常的事實，也能得知異常發生時的物品處理裝置的狀態。因此，管理裝置可以藉由分析在何種狀況下於物品處理裝置上發生異常，而掌握異常內容。另一方面，在藉由解析已儲存的通知資訊以檢測有無異常發生而掌握異常內容的情況下，實際上，恐有在物品處理裝置上發生異常後到管理裝置可掌握該異常內容為止會產生時間延遲的疑慮。
又，由於物品處理裝置的異常何時會發生並不確定，故物品處理裝置在物品搬送裝置運轉期間，必須持續將通知資訊發送給管理裝置。因此，會有使物品處理裝置與管理裝置之間的通訊流量增大而在通訊線路上發生擁塞(congestion)的疑慮。這種狀況在具備複數個物品處理裝置的設備中會變得更顯著。若將從物品處理裝置向管理裝置傳送通知資訊的時間間隔加長而減少通訊的頻率，雖能減少通訊流量，但會有直至掌握異常已發生之事實或異常內容為止的時間延遲變得更長之疑慮。
發明概要
因此，所期望的是一種既可抑制物品處理裝置與管理裝置之間的通訊流量增加，並且使管理裝置可儘早掌握到物品處理裝置的異常內容的物品處理設備。
作為1個態樣，物品處理設備具備搬送或保管物 品之物品處理裝置、以及控制前述物品處理裝置的作動的控制部，前述控制部是構成為收集狀態資訊，並將根據該狀態資訊的通知資訊傳送至管理前述物品處理裝置的作動狀態之管理裝置，前述狀態資訊是與前述物品處理裝置的作動狀態相關之資訊，其中，前述控制部是構成為：根據前述狀態資訊判別前述物品處理裝置為正常狀態或異常狀態，並且，當判別出前述物品處理裝置為正常狀態時，作為前述通知資訊而將下列傳送至前述管理裝置：由表示前述物品處理裝置為正常狀態之正常判別資訊所構成的正常通知資訊、或者由根據前述狀態資訊生成的正常時資訊與前述正常判別資訊所構成的正常通知資訊，當判別出前述物品處理裝置為異常狀態時，作為前述通知資訊而將下列傳送至前述管理裝置：由表示前述物品處理裝置為異常狀態之異常判別資訊、與根據前述狀態資訊生成且資料量及資料項目的至少其中一者比前述正常時資訊還多的異常時資訊所構成的異常通知資訊。
根據此構成，可以做到當判別出物品處理裝置為正常狀態時，管理裝置即根據包含於正常通知資訊中的正常判別資訊，而掌握物品處理裝置為正常狀態之事實。當判別出物品處理裝置為異常狀態時，管理裝置可以根據包含於異常通知資訊中的異常判別資訊，而掌握物品處理裝置為異常狀態之事實。
又，當判別出物品處理裝置為異常狀態時，除了異常判別資訊之外，與物品處理裝置之作動相關之詳細資訊的異常時資訊也會被傳送至管理裝置。管理裝置可以根據此異常時資訊，而例如分析物品處理裝置的狀態之時間的推移等，以掌握已發生的異常狀態之內容。另外，由於不僅將異常時資訊，也將異常判別資訊傳送到管理裝置，因此和管理裝置僅根據異常時資訊判定物品處理裝置是否為異常狀態的情況相較之下，能更快地判定物品處理裝置為異常狀態。
另一方面，當判別物品處理裝置為正常狀態時，會將資料總容量比異常通知資訊還小的正常通知資訊傳送至管理裝置。由於正常通知資訊是僅由正常判別資訊所構成的資訊、或是由比異常時資訊還小的正常時資訊與正常判別資訊所構成的資訊，故資料總容量比異常通知資訊還小。因此，不但抑制流量的增加，管理裝置還能夠準確地掌握物品處理裝置為正常狀態之事實。
像這樣，根據本構成，可以實現下列的物品處理設備：不但在抑制物品處理裝置與管理裝置之間的通訊流量的增加，還使管理裝置可儘早掌握到物品處理裝置的異常內容。
物品處理裝置的更進一步之特徵與優點，藉由參照圖式說明之實施形態的以下記載，而變得更為明確。
10‧‧‧天花板搬送車(物品處理裝置)
10B‧‧‧電源裝置
10D、20D‧‧‧電源監視部
10H‧‧‧天花板搬送車控制部(控制部)
10S‧‧‧位置檢測部
11‧‧‧行走部
12‧‧‧本體部
12C‧‧‧蓋部
13‧‧‧升降部
20‧‧‧容器保管裝置(物品處理裝置)
20A‧‧‧自動門
20B‧‧‧電源裝置
20C‧‧‧輸送帶
20F‧‧‧風扇單元
20F1‧‧‧上方側風扇單元
20F2‧‧‧下方側風扇單元
20H‧‧‧保管裝置控制部(控制部)
20S‧‧‧室內溫度感測器
20T‧‧‧通訊部
21‧‧‧壁體
21Q‧‧‧支持部
30‧‧‧堆高式起重機
31‧‧‧行走台車
32‧‧‧升降桿
33‧‧‧升降體
35‧‧‧移載裝置
50‧‧‧半導體處理裝置
B‧‧‧容器(物品)
C‧‧‧天花板
G‧‧‧外部空間
K‧‧‧管理裝置
M1‧‧‧行走驅動部
M2‧‧‧轉向驅動部
M3‧‧‧升降驅動部
T‧‧‧行走軌道(移動路徑)
R‧‧‧行走軌道
V1‧‧‧下方側輸送帶
V2‧‧‧上方側輸送帶
W1‧‧‧行走車輪
W2‧‧‧轉向導引輪
Y‧‧‧內部空間
圖1是半導體處理設備的平面圖。
圖2是天花板搬送車的局部切除側面圖。
圖3是天花板搬送車的控制方塊圖。
圖4是控制部執行的控制流程圖。
圖5是容器保管裝置的縱剖側視圖。
圖6是容器保管裝置的控制方塊圖。
用以實施發明之形態
[第1實施形態]
以下，根據圖式說明將本發明之物品處理設備應用在半導體處理設備的實施形態。在本實施形態之半導體處理設備中，如圖1所示，設置有：複數個容器保管裝置20，用以保管收容複數個半導體基板的FOUP等容器B(參照圖2)；複數個半導體處理裝置50，對從容器B取出的半導體基板進行光刻(photolithography)、洗淨及檢查等處理；天花板搬送車10，在該等複數個容器保管裝置20及複數個半導體處理裝置50之間搬送容器B。如圖2所示，天花板搬送車10是構成為可沿著從半導體工廠的天花板C懸吊而被支持的一對行走軌道T行走。
天花板搬送車10，如圖2所示，包括有：行走部11，具備有行走在行走軌道T上的行走車輪W1；及本體部12，懸吊於行走部11而受到支持。行走部11更包括有轉向導引輪W2，該轉向導引輪W2可在行走軌道T的分歧部分切換該行走部11的行進方向。轉向導引輪W2是抵接於沿著行走軌道T設置之圖中未示的導引軌道的一對側面的其中一 邊。在行走軌道T分歧為複數個路徑的分歧部分上，可藉由切換抵接的側面，而切換行走部11的行進方向。又，行走部11包括有：行走驅動部M1，驅動行走車輪W1旋轉；及轉向驅動部M2，切換轉向導引輪W2的位置。
本體部12包括有：蓋部12C，懸吊於行走部11；升降部13，藉由受蓋部12C支持之升降驅動部M3而升降移動。升降部13，雖於圖示中省略，但包括有把持部，該把持部可切換為與設置在容器B之上端的凸緣卡合之把持狀態、以及把持解除狀態。行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3是構成為以電力來驅動。
在本實施形態中，天花板搬送車10相當於物品搬送用之移動體。也就是說，物品處理裝置為物品搬送用之天花板搬送車10，且天花板搬送車10構成為能將物品支持自如並沿著移動路徑(行走軌道T)移動。又，用來驅動上述行走驅動部M1、轉向驅動部M2以及升降驅動部M3的電力，是形成為由受行走軌道T所支持且沿著行走軌道T設置的供電線(圖示省略)所供給。
接著，根據圖3，說明天花板搬送車10的控制構成。天花板搬送車10，除了上述之行走驅動部M1、轉向驅動部M2以及升降驅動部M3之外，還包括有對作動時需要電力的各個部分供給適當的電力的電源裝置10B。電源裝置10B會進行下列的調整：將從供電線供給的電力升壓或降壓以達到所期望的電壓值、或將從供電線所供給的電力設成所期望的電流值等，以對電力的供給對象輸出適當的電壓 值或電流值之電力。
此外，天花板搬送車10包括有檢測本身在行走軌道T中的位置之位置檢測部10S。位置檢測部10S是具備有例如旋轉編碼器與讀取部而構成，該旋轉編碼器可檢測行走車輪W1的旋轉量，該讀取部可讀取離散地設置在行走軌道T上的位置基準標記。位置檢測部10S是根據位置基準標記的讀取位置、以及藉由旋轉編碼器所檢測出的行走部11之行走量，來檢測天花板搬送車10在行走軌道T中的位置。又，位置檢測部10S會將所檢測出的位置輸出到天花板搬送車控制部10H。
天花板搬送車控制部10H與行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3為可相互通訊地連接，且藉由對行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3輸出作動指令，來控制其等的作動。又，天花板搬送車控制部10H會監視行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3的作動狀態，而在驅動部資訊收集用的時間間隔(例如10毫秒等)取得與該作動狀態相關的資訊。天花板搬送車控制部10H可以根據該資訊，掌握行走驅動部M1、轉向驅動部M2及升降驅動部M3的作動狀態。
又，於天花板搬送車10上包括有電源監視部10D，用以監視電源裝置10B的狀態。電源監視部10D是構成為在電源資訊收集用的時間間隔(例如1毫秒)分別檢測電源裝置10B輸出的電流值、電源裝置10B輸出的電壓值、及電源裝置10B的溫度，並將該測量值儲存於本身具備的記憶體中。 在記憶體中，儲存有例如各自1000毫秒之量(亦即1000次的測量之量)的電流值、電壓值及溫度的測量值。又，該記憶體是環緩衝區(ring buffer)，並形成為將測量資料從舊的部分開始消除，而隨時保持最新的1000筆量的資料。在本實施形態中，上述1秒量的測量值相當於期間狀態資訊。
天花板搬送車控制部10H是以1秒週期對電源監視部10D進行摘要資訊傳輸請求。電源監視部10D會對應摘要資訊傳輸請求，而針對所儲存之電流值、電壓值及溫度的每一個，如下列表1所示地計算出1000個測量值當中的最大值、最小值以及1000個測量值的平均值，並傳送至天花板搬送車控制部10H。
Figure 105115223-A0202-12-0008-1
此外，半導體處理設備上具備有管理裝置K，該管理裝置K是整合地管理該設備中的各個裝置的作動狀態。管理裝置K會管理天花板搬送車10之容器B的搬送調度，並對各天花板搬送車10指示容器B的搬送。天花板搬送車10上設置有通訊部10T，以進行與此管理裝置K之間的資訊的收發。通訊部10T是構成為可在與設置於半導體處理設備上 的無線電基地台之間進行資料通訊。又，無線電基地台是透過LAN等區域網路而連接至管理裝置K。
在本實施形態中，天花板搬送車10相當於物品處理裝置，天花板搬送車控制部10H及電源監視部10D相當於控制部。又，上述電源監視部10D檢測的電流值、電壓值及溫度之資訊(以下稱為測量原始資料)相當於狀態資訊，測量值當中的最大值、最小值及1000個測量值的平均值相當於摘要資訊。也就是說，其是構成為設置有搬送物品的天花板搬送車10、以及控制天花板搬送車10的作動之天花板搬送車控制部10H，且電源監視部10D會收集為與天花板搬送車10的作動狀態有關之資訊的狀態資訊。
天花板搬送車控制部10H是構成為將根據上述電流值、電壓值及溫度的測量值之通知資訊，傳送到管理天花板搬送車10的作動狀態之管理裝置K。在此種半導體處理設備中，當天花板搬送車10的電源裝置10B發生異常時，即成為該天花板搬送車10不作動、或者不宜使其繼續作動之狀態。於是，管理裝置K會進行將已發生異常之天花板搬送車10從搬送指令的指令對象中排除等的處置。在本實施形態中，當天花板搬送車10已發生異常時，為了向管理裝置K通知該異常狀態，會使天花板搬送車控制部10H向管理裝置K進行根據本身的狀態資訊之正常通知資訊或異常通知資訊的傳送。
以下，根據圖4之流程圖，說明天花板搬送車控制部10H執行的控制。天花板搬送車控制部10H會執行摘要 資訊生成處理，該摘要資訊生成處理是根據電源監視部10D已收集的電流值、電壓值及溫度各自的測量值，而生成摘要資訊(# 1)。天花板搬送車控制部10H分別針對電流值、電壓值及溫度，會儲存有異常判別用的容許範圍。然後，在發生了電流值的最大值或最小值為脫離電流值之容許範圍的狀態、電壓值的最大值或最小值為脫離電壓值之容許範圍的狀態、或溫度的最大值或最小值為脫離溫度之容許範圍的狀態當中的任一種的情況下，天花板搬送車控制部10H即判定電源裝置10B處於異常狀態(# 2)。也就是說，天花板搬送車控制部10H會構成為在電源裝置10B的輸出電壓、輸出電流及溫度中的至少1個已脫離異常判別用的容許範圍時，即判定為異常狀態。
在步驟# 2中，當判別為異常狀態未發生時(# 2：否)，天花板搬送車控制部10H會生成表示天花板搬送車10為正常之情形的1個位元組的正常標誌(flag)。並且，天花板搬送車控制部10H會生成將下列集合在一起的正常通知資訊：正常標誌、摘要資訊、以及電源監視部10D的測量原始資料當中以例如100毫秒的時間間隔採樣而得的10次測量之量的測量原始資料(# 3)，並將該正常通知資訊傳送至管理裝置K(# 4)。天花板搬送車控制部10H會從# 1開始，在作為正常時用設定時間間隔而設定之1秒後，返回到# 1之處理。也就是說，天花板搬送車控制部10H會在正常時設定定時返回到# 1之處理(# 5)。在本實施形態中，正常時用設定時間間隔相當於第1設定時間間隔。
又，在步驟# 2中，若判別為異常狀態發生時(# 2：是)，天花板搬送車控制部10H即生成表示天花板搬送車10為異常之情形的1個位元組的異常標誌。並且，天花板搬送車控制部10H會生成將下列集合在一起的異常通知資訊：異常標誌與摘要資訊、位置檢測部10S已測量到之天花板搬送車10的位置資訊、把持部是否保持有物品之資訊、及來自電源監視部10D之1秒期間的測量原始資料當中新的部分之例如500次測量之量(0.5秒的量)之測量原始資料(# 6)，並將該異常通知資訊傳送至管理裝置K(# 7)。也就是說，天花板搬送車控制部10H會構成為將收集形成為生成異常時資訊的基礎之狀態資訊時的表示天花板搬送車10的位置之位置資訊、以及表示天花板搬送車10是否支持有物品之資訊，作為異常時資訊，而傳送至管理裝置。
接著，天花板搬送車控制部10H會判別是否有從管理裝置K指示使其執行停止對天花板搬送車10之電力的供給之停止處理的停止指令(#8)，當判別為有指示停止指令時(# 8：是)，即執行停止處理(# 10)。在此，停止處理是指從管理裝置K切換天花板搬送車10的電源裝置10B之繼電器而使其停止對天花板搬送車10之電力的供給的處理。又，當天花板搬送車控制部10H判別為沒有指示停止指令時(# 8：否)，即從# 1之開始到作為異常時用設定時間間隔而設定之例如0.5秒後，返回步驟# 1的處理。也就是說，天花板搬送車控制部10H會在異常時設定定時返回到# 1的處理(# 9)。在本實施形態中，異常時用設定時間間隔相當於 第2設定時間間隔。
在本實施形態中，正常標誌相當於正常判別資訊，異常標誌相當於異常判別資訊。又，正常時資訊是由摘要資訊及10次測量之量的測量原始資料所構成，異常時資訊是由位置檢測部10S所測量到的天花板搬送車10之位置資訊、把持部是否保持有物品之資訊、以及電源監視部10D之500次測量之量的測量原始資料所構成。也就是說，天花板搬送車控制部10H是構成為根據狀態資訊判別天花板搬送車10為正常狀態或異常狀態，並且，當判別出天花板搬送車10為正常狀態時，作為通知資訊而將由根據狀態資訊生成的正常時資訊、及表示天花板搬送車10為正常狀態之正常標誌所構成的正常通知資訊傳送至管理裝置K，當判別出天花板搬送車10為異常狀態時，作為通知資訊而將表示天花板搬送車10為異常狀態之異常判別資訊、以及根據狀態資訊生成的異常通知資訊傳送至管理裝置K。
正常通知資訊與異常通知資訊各自的資料的大小，如下列表2所示，為異常通知資訊比正常通知資訊還大。再者，在下列表2中的每個資料的大小，並不限定於在此表中所例示的大小，而是可依據必要的資料之種類或管理裝置中的資料的表現形式(實數型或雙倍精度實數型等)來作變更而得到的。
Figure 105115223-A0202-12-0013-2
又，在本實施形態中，電源監視部10D在1秒期間之間收集的測量原始資料相當於期間狀態資訊。也就是說，異常時資訊在資料量和資料項目上會比正常時資訊還大，而且，天花板搬送車控制部10H是構成為根據在一定時間(1次的正常時用設定時間間隔經過的時間)內收集到的狀態資訊(即期間狀態資訊)，每隔一定時間間隔反覆執行可生成資料量比前述期間狀態資訊還小的摘要資訊之摘要資訊生成處理，且作為正常通知資訊而將正常判別資訊及摘要資訊傳送至管理裝置K，作為異常通知資訊而將異常判別資訊及期間狀態資訊傳送至管理裝置K。此外，天花板搬送車 控制部10H是構成為在判別天花板搬送車10為正常狀態之期間，每隔第1設定時間間隔(1秒)對管理裝置K反覆傳送正常通知資訊，而在判別天花板搬送車10為異常狀態之期間，每隔比第1設定時間間隔(1秒)更短的第2設定時間間隔(0.5秒)，對管理裝置K反覆傳送異常通知資訊。
[第2實施形態]
以下，說明第2實施形態。在上述之第1實施形態中，已經說明了天花板搬送車10相當於物品處理裝置的情況。在第2實施形態中，針對容器保管裝置20相當於物品處理裝置的情況進行說明。第2實施形態，由於僅有將物品處理裝置設為容器保管裝置20這一點與第1實施形態不同，故省略重複之部分的說明，僅針對以下不同點進行說明。與第1實施形態相同地，天花板搬送車10，如圖2及圖5所示，是構成為可沿著從半導體工廠的天花板C懸吊而被支持的一對行走軌道T行走。
如圖5所示，容器保管裝置20是在沿著上下方向的壁體21所包圍的內部空間Y的內部將複數個可支持容器B的支持部21Q在橫向方向及上下方向上排列複數個而設置，並具備有設置了移載裝置35的堆高式起重機30，該移載裝置35在支持部21Q中的進出方向前面側，可在與支持部21Q之間交接容器B。堆高式起重機30具備有行走台車31、升降桿32與升降體33，該行走台車31行走於沿著上述橫向方向而設置在地面的行走軌道R上，該升降桿32豎立設置於行走台車31上，該升降體33沿著升降桿32而升降。移載裝 置35受到升降體33支撐。移載裝置35會移動至複數個支持部21Q的每一個、及後述之輸送帶20C之內部空間Y側的端部前面，而在支持部21Q與移載裝置35之間、或輸送帶20C與移載裝置35之間移載容器B。
壁體21的一部分上設有開口。又，於該開口上設置有開關該開口的自動門20A。又，設置有透過開口而橫跨於容器保管裝置20的內部空間Y與外部空間G來搬送容器B的輸送帶20C。再者，在本實施形態中，作為輸送帶20C而設置有在與天花板搬送車10之間交接容器B之上方側輸送帶V2、以及交接作業者搬送的容器B之下方側輸送帶V1。又，在容器保管裝置20中，為了抑制內部空間Y的雜質粒子的懸浮，設置有用於形成從內部空間Y的上方朝向下方的空氣流的風扇單元20F(上方側風扇單元20F1及下方側風扇單元20F2)。此外，在容器保管裝置20中，安裝有室內溫度感測器20S，以檢測內部空間Y的溫度(圖5並未示出，請參照圖6)。
接著，根據圖6說明容器保管裝置20的控制構成。在容器保管裝置20中，堆高式起重機30、輸送帶20C、自動門20A、風扇單元20F及室內溫度感測器20S等，是構成為藉由電力而作動，且容器保管裝置20具備有用於以適當的電壓來對其等供給電力的電源裝置20B。又，在本容器保管裝置20中設置有監視電源裝置20B之電力的供給狀態的電源監視部20D。電源監視部20D是檢測電源裝置20B輸出的電壓、及電源裝置20B的溫度，並因應保管裝置控制部20H 的資訊傳輸請求，將其檢測結果輸出至保管裝置控制部20H。
保管裝置控制部20H與堆高式起重機30、輸送帶20C、自動門20A、風扇單元20F、及室內溫度感測器20S為可相互通訊地連接。保管裝置控制部20H是藉由對堆高式起重機30、輸送帶20C、自動門20A及風扇單元20F輸出作動指令，而控制其等的作動。又，保管裝置控制部20H會監視堆高式起重機30、輸送帶20C、自動門20A及風扇單元20F的作動狀態，而在驅動部資訊收集用的時間間隔(例如10毫秒等)取得與該作動狀態相關的資訊。保管裝置控制部20H可以根據該資訊，掌握堆高式起重機30、輸送帶20C、自動門20A及風扇單元20F的作動狀態。
又，容器保管裝置20上設置有通訊部20T，以進行與管理裝置K之間的資訊的收發。管理裝置K是構成為管理容器保管裝置20中的容器B之搬進搬出調度，並對容器保管裝置20指示容器B之搬進搬出。通訊部20T是構成為能透過LAN等區域網路與管理裝置K通訊。在容器保管裝置20相當於物品處理裝置的本實施形態中，保管裝置控制部20H及電源監視部20D相當於控制部。又，上述電源監視部20D檢測的電流值、電壓值及溫度的資訊(以下，稱為測量原始資料)相當於狀態資訊，測量值中的最大值、最小值及1000個測量值的平均值相當於摘要資訊。
保管裝置控制部20H是構成為將根據上述電流值、電壓值及溫度的測量值之通知資訊，傳送到管理容器 保管裝置20的作動狀態之管理裝置K。在此種半導體處理設備中，當容器保管裝置20的電源裝置20B發生異常時，會形成該容器保管裝置20不作動的狀態、或者不宜使其繼續作動之狀態。於是，管理裝置K會進行將已發生異常之容器保管裝置20從作為搬入對象的搬送目的地中排除等的處置。在本實施形態中，當已於容器保管裝置20發生異常時，為了對管理裝置K通知該異常狀態，會使保管裝置控制部20H向管理裝置K進行根據本身的狀態資訊之正常通知資訊或異常通知資訊的傳送。由於保管裝置控制部20H執行的控制，與在第1實施形態中根據圖4之流程圖所說明的相同，故省略詳細的說明。
[其他實施形態]
(1)在上述第1及第2實施形態中，例示了構成為以第1設定時間為1秒之間隔對管理裝置K進行傳送，並且將異常通知資訊以0.5秒間隔對管理裝置K傳送之形態。然而，正常通知資訊的傳送時間間隔及異常通知資訊的傳送時間間隔，並不限定於上述時間。只要使正常通知資訊的傳送時間間隔比異常通知資訊的傳送時間間隔還長，即可將時間間隔任意地設定。又，將正常通知資訊的傳送時間間隔與異常通知資訊的傳送時間間隔設成相同亦可。在這種情況下，正常通知資訊亦可僅是表示裝置正常作動的資訊，而異常通知資訊除了為表示裝置的作動為異常的資訊外，還可設成附加有表示異常發生時的裝置之狀態的各種資訊的資訊。藉由如此進行，即能在物品處理裝置正常地作動的 狀態下，儘可能地減少傳送到管理裝置K的資訊之流量，並且可在物品處理裝置上發生異常的狀態下，對管理裝置K傳送必要的資訊。
(2)在第1和第2實施形態中，例示了作為正常通知資訊而將正常標誌(正常判別資訊)及正常時資訊(摘要資訊)傳送至管理裝置K之構成。然而，並不限定於此種構成，亦可設成作為正常通知資訊僅將正常標誌(正常判別資訊)傳送至管理裝置K之構成。
(3)作為搬送或保管物品的物品處理裝置，在上述第1實施形態中例示了天花板搬送車10，而在上述第2實施形態中例示了容器保管裝置20。但是，物品處理裝置並不限於天花板搬送車10及容器保管裝置20。例如，將滾筒輸送帶等固定設置型搬送裝置、或光刻裝置、洗淨裝置、檢查裝置等的半導體處理裝置作為物品處理裝置亦可。另外，在上述實施形態中，作為物品處理裝置，雖然顯示了在半導體處理設備中處理物品(容器B)的裝置，但只要是可藉由管理裝置管理物品處理裝置的作動之設備，即使是半導體處理設備以外的設備亦可適用。
(4)在上述第1和第2實施形態中，所顯示的是將狀態資訊設為電源監視部10D、20D輸出之與電源裝置10B、20B有關的作動狀態資訊的例子。然而，作為狀態資訊而包含與電源裝置10B、20B有關之作動狀態資訊以外的資訊亦可。例如，關於天花板搬送車10，亦可包含表示行走驅動部M1所具備的負剎車之作動狀態、轉向驅動部M2的切換位 置、升降驅動部M3的負剎車之作動狀態等的資訊。又，在容器保管裝置20中，亦可包含表示堆高式起重機30的移載裝置之作動狀態、或自動門20A的開關狀態之資訊。
(5)在上述第1及第2實施形態中，雖然顯示了將電源資訊收集用的時間間隔設為1毫秒的例子，但電源資訊收集用的時間間隔並不限定於上述的1毫秒，相較於1毫秒而設成更長的時間間隔亦可，設成更短的時間間隔亦可。又，雖然顯示了於記憶體中將電流值、電壓值及溫度的測量值，各自儲存1000次的測量之量的例子，但是儲存在記憶體中的測量值之數量是可任意變更的。又，在上述第1及第2實施形態中，雖然構成為將儲存在記憶體中的測量值從舊的部分開始消除，但亦可做成例如將舊的測量值保存在物品處理裝置所具備的硬碟等中之構成。
(6)在上述第1及第2實施形態中，雖然顯示了將第1設定時間間隔設為1秒，將第2設定時間間隔設為0.5秒的例子，但第1設定時間間隔及第2設定時間間隔並不限定於上述時間間隔。此外，在上述第1和第2實施形態中，雖然例示了根據1000次之量(即1秒的量)的測量值來生成摘要資訊，且作為第1設定時間間隔而每隔1秒地生成正常通知資訊並傳送至管理裝置K之構成，但並不限定於此種構成。例如亦可做成根據比1秒還短的時間量之測量值來生成摘要資訊，且每隔第1設定時間間隔地將包含複數個摘要資訊的正常通知資訊傳送到管理裝置K之構成。
(6)在上述第1和第2實施形態中，雖然構成為針 對電流值、電壓值和溫度的每一個計算出最大值、最小值及平均值以作為摘要資訊，但並不限定於此種構成，亦可例如，不計算出平均值之構成、或換掉平均值而計算出中央值之構成等，來作為摘要資訊而可作各種變更。
[實施形態的概要]
以下，針對上述已說明的物品處理設備的概要進行簡單說明。
作為1個態樣，物品處理設備具備搬送或保管物品之物品處理裝置、以及控制前述物品處理裝置之作動的控制部，前述控制部是構成為收集為與前述物品處理裝置的作動狀態相關之資訊的狀態資訊，並將根據該狀態資訊的通知資訊，傳送至管理前述物品處理裝置之作動狀態的管理裝置，在此，前述控制部，根據前述狀態資訊判斷前述物品處理裝置為正常狀態或異常狀態，並且，當判別出前述物品處理裝置為正常狀態時，作為前述通知資訊而將下列傳送至前述管理裝置：表示前述物品處理裝置為正常狀態之正常判別資訊所構成的正常通知資訊、或者由根據前述狀態資訊生成的正常時資訊與前述正常判別資訊所構成的正常通知資訊，當判別出前述物品處理裝置為異常狀態時，作為前述通知資訊而將下列傳送至前述管理裝置：由表示前述物品處理裝置為異常狀態之異常判別資訊、以及根據前述狀態 資訊生成且資料量及資料項目的至少其中一者比前述正常時資訊還多的異常時資訊所構成的異常通知資訊。
根據此構成，當判別出物品處理裝置為正常狀態時，管理裝置即能根據包含於正常通知資訊中的正常判別資訊，掌握物品處理裝置為正常狀態之事實。當判別出物品處理裝置為異常狀態時，管理裝置即能根據包含於異常通知資訊中的異常判別資訊，掌握物品處理裝置為異常狀態之事實。
又，當判別出物品處理裝置為異常狀態時，除了異常判別資訊之外，與物品處理裝置的作動相關之詳細資訊的異常時資訊也會被傳送至管理裝置。管理裝置可以根據此異常時資訊，而例如分析物品處理裝置的狀態之時間的推移等，以掌握已發生的異常狀態之內容。又，由於不僅將異常時資訊，也將異常判別資訊傳送到管理裝置，因此和管理裝置僅根據異常時資訊判定物品處理裝置是否為異常狀態的情況相較之下，能更快地判定物品處理裝置為異常狀態。
另一方面，當判別出物品處理裝置為正常狀態時，會將資料總容量比異常通知資訊還小的正常通知資訊傳送至管理裝置。由於正常通知資訊是僅由正常判別資訊所構成的資訊、或是由比異常時資訊還小的正常時資訊與正常判別資訊所構成的資訊，故資料總容量比異常通知資訊還小。因此，不但抑制流量的增加，管理裝置還能夠準確地掌握物品處理裝置為正常狀態之事實。
藉此，根據本構成，可以實現下列的物品處理設備：不但抑制物品處理裝置與管理裝置之間的通訊流量的增加，並且使管理裝置可儘早掌握到物品處理裝置的異常內容。
又，作為1個態樣，較理想的是，物品處理設備將前述控制部構成為：根據在一定時間內收集的前述狀態資訊之期間狀態資訊，每隔前述一定時間間隔反覆執行摘要資訊生成處理，該摘要資訊生成處理是生成前述資料量及資料項目之至少一者比前述期間狀態資訊還少的摘要資訊，且作為前述正常通知資訊而將前述正常判別資訊及前述摘要資訊傳送至前述管理裝置，作為前述異常通知資訊而將前述異常時資訊及前述期間狀態資訊傳送至前述管理裝置。
根據此構成，異常通知資訊是由異常判別資訊與期間狀態資訊構成的資訊，正常時通知資訊是由正常判別資訊和摘要資訊構成的資訊。由於摘要資訊是資料量及資料項目的至少其中一者比期間狀態資訊還少的資訊，故正常通知資訊會成為資料總容量比異常通知資訊還小的資訊。因此，可以實現下列的物品處理設備：不但抑制物品處理裝置與管理裝置之間的通訊流量的增加，並且使管理裝置可儘早掌握到物品處理裝置的異常內容。在此，較理想的是，期間狀態資訊是量充分的資訊，以足以使管理裝置分析異常狀態的發生狀況、或掌握異常狀態發生時之物品處理裝置的狀態。當物品處理裝置成為異常狀態時，管理裝 置可以根據從控制部傳送來的異常通知資訊，準確地進行物品處理裝置的異常狀態之掌握等。又，摘要資訊由於不需要像那樣的分析等，在管理裝置可以掌握到物品處理裝置為正常狀態之程度的資訊上就足夠了。因此，當物品處理裝置為正常狀態時，管理裝置能根據摘要資訊適當地掌握其正常狀態，並且能抑制物品處理裝置與管理裝置之間的通訊流量的增加。
又，作為1個態樣，較理想的是，物品處理設備將前述控制部構成為在判別前述物品處理裝置為正常狀態之期間，每隔第1設定時間間隔對前述管理裝置反覆傳送前述正常通知資訊，並構成為在判別前述物品處理裝置為異常狀態之期間，每隔比第1設定時間間隔還短的第2設定時間間隔，對前述管理裝置反覆傳送前述異常通知資訊。
根據此構成，與物品處理裝置為正常狀態的情況(第1設定時間間隔)相較之下，在物品處理裝置為異常時(第2設定時間間隔)的情況下，會以較高的頻率傳送通知資訊。因此，與正常的情況相較之下，管理裝置在物品處理裝置為異常的情況下，可以在時間序列下更詳細地掌握其異常內容。
在此，較理想的是，前述狀態資訊是前述物品處理裝置具備的電源裝置之輸出電壓、前述電源裝置之輸出電流、及前述電源裝置之溫度的任1者以上的相關之資訊，且前述控制部是構成為當前述輸出電壓、前述輸出電流及前述溫度之中的至少1者脫離異常判別用的容許範圍時，即 判別為前述異常狀態。
大多數的情況下，當物品處理裝置的電源裝置發生異常時，不宜使該物品處理裝置的作動繼續。作為表示電源裝置的狀態之狀態資訊，有例如電源裝置的輸出電壓、電源裝置的輸出電流、及電源裝置的溫度等。根據本構成，藉由在輸出電壓、輸出電流及溫度之中的至少1者脫離異常判別用的容許範圍時即判別為異常狀態之作法，可以適當地檢測電源裝置上已發生異常之情形。
作為1個態樣，較理想的是，前述物品處理裝置為物品搬送用的移動體，且前述移動體在將物品支持自如並沿著移動路徑移動的情況下，前述控制部會將收集形成為生成前述異常時資訊的基礎之前述狀態資訊時的表示前述移動體的位置之位置資訊，作為前述異常時資訊，而傳送至前述管理裝置。
當作為物品處理裝置的移動體上發生異常時，會有該移動體在移動路徑上停止之疑慮。使控制部於異常時資訊中包含表示移動體的位置之位置資訊，藉此管理裝置能掌握到移動體停止的移動路徑上的位置。
作為1個態樣，較理想的是，前述物品處理裝置為物品搬送用的移動體，且前述移動體在將物品支持自如並沿著移動路徑移動的情況下，前述控制部會將於收集形成為生成前述異常時資訊的基礎之前述狀態資訊時表示前述移動體是否支持有物品的資訊，作為前述異常時資訊，而傳送至前述管理裝置。
當作為物品處理裝置的物品搬送用之移動體上發生異常時，會有該移動體在支持著物品的狀態下停止之疑慮。使控制部於異常時資訊中包含表示移動體是否支持有物品之資訊，藉此管理裝置能掌握到移動體是否支持有物品之情形。藉此，例如，作業員可進行從移動體取出該物品等應對處理，而可以抑制因無法搬送物品而無法將該物品出貨、或因無法加工該物品等造成的成品率的下降。
#1~#10‧‧‧步驟

Claims (9)

  1. 一種物品處理設備，具備有搬送或保管物品之物品處理裝置、以及控制前述物品處理裝置之作動的控制部，前述控制部是構成為收集狀態資訊，並將根據該狀態資訊的通知資訊傳送至管理前述物品處理裝置之作動狀態的管理裝置，前述狀態資訊是與前述物品處理裝置的作動狀態相關之資訊，其具備以下之特徵：前述控制部是構成為：根據前述狀態資訊判別前述物品處理裝置為正常狀態或異常狀態，並且，當判別出前述物品處理裝置為正常狀態時，作為前述通知資訊而將下列傳送至前述管理裝置：由表示前述物品處理裝置為正常狀態之正常判別資訊所構成的正常通知資訊、或者由根據前述狀態資訊生成的正常時資訊與前述正常判別資訊所構成的正常通知資訊，當判別出前述物品處理裝置為異常狀態時，作為前述通知資訊而將下列傳送至前述管理裝置：由表示前述物品處理裝置為異常狀態之異常判別資訊、與根據前述狀態資訊而生成且資料量及資料項目的至少其中一者比前述正常時資訊還多的異常時資訊所構成的異常通知資訊。
  2. 如請求項1之物品處理設備，其中，前述控制部是構成為：根據在一定時間內收集的前述狀態資訊之期間狀態資訊，而每隔前述一定時間間隔反覆執行摘要資訊生成處理，該摘要資訊生成處理是生成前述資料量及資料項目之至少一者比前述期間狀態資訊還少的摘要資訊，且作為前述正常通知資訊而將前述正常判別資訊及前述摘要資訊傳送至前述管理裝置，作為前述異常通知資訊而將前述異常時資訊及前述期間狀態資訊傳送至前述管理裝置。
  3. 如請求項1或2之物品處理設備，其中，前述控制部是構成為：在判別前述物品處理裝置為正常狀態之期間，每隔第1設定時間間隔對前述管理裝置反覆傳送前述正常通知資訊，並構成為在判別前述物品處理裝置為異常狀態之期間，每隔比第1設定時間間隔更短的第2設定時間間隔，對前述管理裝置反覆傳送前述異常通知資訊。
  4. 如請求項1或2之物品處理設備，其中，前述狀態資訊是與前述物品處理裝置具備的電源裝置之輸出電壓、前述電源裝置之輸出電流、及前述電源裝置之溫度的任1者以上相關之資訊，前述控制部是構成為在前述輸出電壓、前述輸出電流及前述溫度之中的至少1者脫離異常判別用的容許範圍時，即判別為前述異常狀態。
  5. 如請求項1或2之物品處理設備，其中， 前述物品處理裝置是物品搬送用的移動體，前述移動體是將物品支持自如並沿著移動路徑移動，前述控制部會將收集形成為生成前述異常時資訊的基礎之前述狀態資訊時的表示前述移動體的位置之位置資訊，作為前述異常時資訊，而傳送至前述管理裝置。
  6. 如請求項1或2之物品處理設備，其中，前述物品處理裝置是物品搬送用的移動體，前述移動體是將物品支持自如並沿著移動路徑移動，前述控制部會將收集形成為生成前述異常時資訊的基礎之前述狀態資訊時的表示前述移動體是否支持有物品的資訊，作為前述異常時資訊，而傳送至前述管理裝置。
  7. 如請求項3之物品處理設備，其中，前述狀態資訊是與前述物品處理裝置具備的電源裝置之輸出電壓、前述電源裝置之輸出電流、及前述電源裝置之溫度的任1者以上相關之資訊，前述控制部是構成為在前述輸出電壓、前述輸出電流及前述溫度之中的至少1者脫離異常判別用的容許範圍時，即判別為前述異常狀態。
  8. 如請求項7之物品處理設備，其中，前述物品處理裝置是物品搬送用的移動體， 前述移動體是將物品支持自如並沿著移動路徑移動，前述控制部會將收集形成為生成前述異常時資訊的基礎之前述狀態資訊時的表示前述移動體的位置之位置資訊，作為前述異常時資訊，而傳送至前述管理裝置。
  9. 如請求項8之物品處理設備，其中，前述物品處理裝置是物品搬送用的移動體，前述移動體是將物品支持自如並沿著移動路徑移動，前述控制部會將於收集形成為生成前述異常時資訊的基礎之前述狀態資訊時表示前述移動體是否支持有物品的資訊，作為前述異常時資訊，而傳送至前述管理裝置。
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