TWI735741B - 搬運系統及搬運方法 - Google Patents

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TWI735741B TW107104071A TW107104071A TWI735741B TW I735741 B TWI735741 B TW I735741B TW 107104071 A TW107104071 A TW 107104071A TW 107104071 A TW107104071 A TW 107104071A TW I735741 B TWI735741 B TW I735741B
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Abstract

即使搬運車的台數增大的情況，也可縮短在搬運車的教導作業所需要的時間。

藉由第1搬運車(基準搬運車(V1))，求得：將物品(2)載置在第1移載終點(第1基準台(MST1))時的第1-1誤差、及將物品(2)載置在第2移載終點(第2基準台(MST2))時的第1-2誤差，的差也就是偏離量，取得將物品(2)載置在第1移載終點及前述第2移載終點以外的第n(n≧3且整數)移載終點(LPn)時的第1-n誤差，對於第1搬運車以外的第m(m≧2且整數)搬運車，將第m行走體(Mm)的停止位置，從將物品2載置在第1基準台(MST1)時的第m-1誤差，依據前述第1-n誤差及前述第m-1誤差修正，從將物品(2)載置在第2基準台(MST2)時的第m-2誤差，依據第1-n誤差及第m-2誤差，進一步偏離量修正。

Description

搬運系統及搬運方法
本發明，是有關於搬運系統及搬運方法。
例如，在半導體生產工場中，為了達成設備內的空間效率的提高，是利用：藉由沿著被舖設在頂棚附近的軌道行走的搬運車，將物品搬運，且，將物品移載至移載終點的搬運系統。此搬運車，是具備：行走於軌道的行走體、及將物品朝移載終點交付的移載裝置，對應各移載終點將行走體停止，藉由移送裝置對於移載終點進行物品的交付。為了使複數搬運車朝各移載終點正確地移載物品，各搬運車是朝各移載終點實際移載物品，進行移載終點的教導也可以，但是搬運車的數量或是移載終點的數量變多的話，教導作業的勞力是成為很大。因此，在這種搬運系統中，藉由成為基準的搬運車來決定各移載終點的移載位置，其他的搬運車，是將物品載置在移載終點的1個，並求得與事先決定的移載位置的誤差，藉由將各移載終點的移載位置修正作為對於成為基準的搬運車的誤差，來達成對於複數搬運車中的移載終點的教導作業勞力減少(例如專利文獻1參照)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2009-035403號公報
在上述的搬運系統中，教導各移載終點時使用1個移載終點進行各搬運車中的各移載終點的修正。但是，在這種手法中，例如，搬運車的台數若伴隨設備的巨大化而增加的話，在各搬運車的教導作業上花費時間，而具有直到將搬運系統運轉為止需要長時間的問題。且也考慮，將搬運車的搬運路徑分割成複數區域，在各區域設置基準台，但是搬運車朝別的區域移動的情況時，有必要重新由該區域的基準台進行教導，具有使搬運系統的運轉效率下降的可能性。且，在上述的搬運系統中，將停止指標安裝在各移載終點，搬運車若檢出此停止指標將行走體停止的話，有在可以設定成朝移載終點的被決定的位置移載物品的情況。這種情況，成為基準的搬運車以外的搬運車，也有必要使用1個移載終點修正各移載終點的移載位置的教導作業，如上述搬運車的台數若增加的話，成為需要長的教導作業的時間。
本發明，是鑑於上述狀況，其目的是提供一種搬運系統及搬運方法，即使搬運車的台數增大的情況， 也可縮短搬運車的教導作業所需要的時間。
本發明的搬運系統，是具備：橫跨複數移載終點地設置的軌道；及複數搬運車，具備：行走於前述軌道的行走體、及設於前述行走體將物品保持且朝前述移載終點將物品交付的移載裝置；及停止指標，是為了可藉由前述移載裝置朝前述移載終點的被決定的位置交付物品而被安裝在各前述移載終點，且用於顯示前述行走體的停止位置；及將前述搬運車控制的控制器；且在前述行走體依據前述停止指標而停止的狀態下，藉由前述移載裝置對於前述移載終點進行物品的交付，前述控制器，是依據：第1搬運車的第1行走體是依據第1移載終點的第1停止指標停止時的，藉由第1移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置的第1-1誤差；及求得前述第1-1誤差用的前述第1搬運車的前述第1行走體是依據第2移載終點的第2停止指標停止時的，藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第2移載終點的位置、及前述第2移載終點的被決定的位置之間的第1-2誤差；求得前述第1-1誤差及前述第1-2誤差的差也就是偏離量，取得：前述第1搬運車的前述第1行走體是依據第n(n≧3且整數)移載終點的第n停止指標，對於前述第1移載終點及前述第2移載終點以外的至少1個移載終點停止時的，藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第n移載終點的位置、及 前述第n移載終點的被決定的位置之間的第1-n誤差，對於前述第1搬運車以外的第m(m≧2且整數)搬運車，是使用：前述第m搬運車的第m行走體是依據前述第1移載終點的前述第1停止指標停止時的，藉由第m移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置之間的第m-1誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置依據前述第1-n誤差及前述第m-1誤差進行修正，或者是使用：前述第m搬運車的第m行走體是依據前述第2移載終點的前述第2停止指標停止時的，藉由第m移載裝置將物品載置在前述第2移載終點的位置、及前述第2移載終點的被決定的位置的第m-2誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置，依據前述第1-n誤差及前述第m-2誤差、進一步前述偏離量進行修正。
且第1-1誤差及第1-2誤差，是依據1個座標系中的座標值被求得，偏離量，是依據座標系中的座標值被求得也可以。且，控制器，是將使用複數搬運車求得的複數偏離量統計處理，將所獲得的值作為偏離量使用也可以。
且本發明的搬運方法，是具備：橫跨複數移載終點地設置的軌道；及複數搬運車，具備：行走於前述軌道的行走體、及設於前述行走體將物品保持且朝前述移載終點將物品交付的移載裝置；及停止指標，是為了可藉由前述移載裝置朝前述移載終點的被決定的位置交付物品而被安裝在各前述移載終點，且用於顯示前述行走體的停 止位置；在前述行走體是依據前述停止指標而停止的狀態下，藉由前述移載裝置對於前述移載終點進行物品的交付的搬運系統中的搬運方法，使第1搬運車的第1行走體依據第1移載終點的第1停止指標停止，求得：藉由第1移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置之間的第1-1誤差，使求得前述第1-1誤差用的前述第1搬運車的前述第1行走體依據第2移載終點的第2停止指標停止，求得：藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第2移載終點的位置、及前述第2移載終點的被決定的位置之間的第1-2誤差，求得前述第1-1誤差及前述第1-2誤差的差也就是偏離量，使前述第1搬運車的前述第1行走體依據第n(n≧3且整數)移載終點的第n停止指標對於前述第1移載終點及前述第2移載終點以外的至少1個移載終點停止，求得：藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第n移載終點的位置、及前述第n移載終點的被決定的位置之間的第1-n誤差，對於前述第1搬運車以外的第m(m≧2且整數)搬運車，是使前述第m搬運車的第m行走體依據前述第1移載終點的前述第1停止指標停止，求得：藉由第m移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置之間的第m-1誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置，依據前述第1-n誤差及前述第m-1誤差修正，或者是使前述第m搬運車的第m行走體依據前述第2移載終點的前述第2停止指標停止，求得：藉由第m移載裝置將物品載置在前述第 2移載終點的位置、及前述第2移載終點的被決定的位置之間的第m-2誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置，依據前述第1-n誤差及前述第m-2誤差、進一步前述偏離量進行修正。
依據本發明的搬運系統及搬運方法的話，因為從藉由第1搬運車由第1移載終點及第2移載終點檢出的第1-1誤差及第1-2誤差，求得兩者的差也就是偏離量、及第n移載終點的第1-n誤差，藉由對於第1搬運車以外的其他的第m搬運車，在第1移載終點或是第2移載終點將第m-1或m-2誤差檢出，使用第1-n誤差及第m-1誤差，或是使用第1-n誤差及第m-2誤差，或是使用兩者及偏離量修正行走體的停止位置，所以第m搬運車是可以使用複數移載終點進行行走體的停止位置的修正。藉由此構成，即使將多數的搬運車運轉的情況，或是在既有的設備追加搬運車地投入的情況等，仍可以縮短對於搬運車教導作業所需要的時間，可以將搬運系統早期地運轉。
且使用1個座標系中的座標值作為偏離量的情況，偏離量的管理是成為容易，各搬運車可以容易地使用偏離量。且，控制器，是將藉由複數搬運車求得的複數偏離量統計處理，將所獲得的值作為偏離量使用的情況，可以提高偏離量的精度。
2:物品
2a:本體部
2c:蓋
2d:溝部
2g:凸緣部
3:本體部
7:行走輪
9:支撐軸
11:橫出機構
11CU:誤差收訊部
12CU:偏離量算出部
13:物品保持部
13a:爪部
13b:吊下構件
13CU:偏離量送訊部
14:昇降驅動部
14CU:誤差取得部
15CU:地圖生成部
16CU:地圖送訊部
17CU:資料存儲部
21C1:誤差取得部
21C4:誤差取得部
22C1:偏離量收訊部
22C4:偏離量收訊部
23C1:地圖收訊部
23C4:地圖收訊部
24C1:修正部
24C4:修正部
25:資料存儲部
25C1:資料存儲部
25C4:資料存儲部
26C1:基準台判別部
26C4:基準台判別部
27C1:誤差發訊部
100:搬運系統
C1~Cm:台車控制器(控制器)
CU:上位控制器(控制器)
LP3~LPn:第3~第n移載終點
M:行走體
MST1:第1基準台(第1移載終點LP1)
MST2:第2基準台(第2移載終點LP2)
T:軌道
U:移載裝置
V1~V3:基準搬運車(第1~第3搬運車)
V4~Vm:第4~第m搬運車
[第1圖]顯示實施例的搬運系統的一例的圖。
[第2圖]顯示搬運車的一例的圖。
[第3圖]顯示停止指標的一例的圖。
[第4圖]移載終點、停止指標、及搬運車的關係的示意圖。
[第5圖]顯示上位控制器的功能塊體構成的一例的圖。
[第6圖]顯示被存儲在上位控制器的資料存儲部的搬運車的誤差的資訊的一例的圖。
[第7圖]顯示搬運車的台車控制器的功能塊體構成的一例的圖。
[第8圖]顯示搬運系統的動作次序的一例的圖。
[第9圖]顯示上位控制器的動作流程的一例的圖。
[第10圖]顯示搬運車的台車控制器的動作流程的一例的圖。
[第11圖]顯示搬運系統的動作次序的其他例的圖。
以下，利用發明的實施例說明本發明，但是以下的實施例並不限定申請專利範圍的發明，且，在實施例中所說明的特徵的組合的全部，不一定是發明的解決手段所必須。且，在圖面中為了說明中實施例，加大一部分 或是強調地記載等而適宜地將縮尺變更地表現。且，在第2圖中，使用XYZ座標系說明圖中的方向。在此XYZ座標系中，將與水平面平行的平面設成XY平面。且，與XY平面垂直的方向是表記為Z方向。X方向、Y方向及Z方向，皆是圖中的箭頭的方向是+方向，與箭頭的方向相反的方向是-方向。
第1圖，是顯示實施例的搬運系統100的一例。搬運系統100，是將物品2搬運的系統。在此，物品2，是例如，將半導體生產所使用的晶圓和光罩等的物體收容，將內部可由規定氣體淨化的FOUP(前開口式通用容器)、SMIF Pod(晶舟自動化傳送盒)、光罩莢(Pod)等。搬運系統100，是具備：第1~第m(m≧2且整數)搬運車V1~Vm(以下，有總稱為搬運車V的情況)、及作為第1移載終點LP1的第1基準台MST1、及作為第2移載終點LP2的第2基準台MST2、及第n(n≧3且整數)移載終點LP3~LPn(以下，有將第1基準台MST1及第2基準台MST2總稱為基準台MST的情況，有包含此基準台MST將第3~第n移載終點LP3~LPn總稱為移載終點LP的情況)、及搬運系統100的控制器的1個也就是上位控制器CU。
搬運車V，是沿著軌道T行走，在被配置於軌道T的下方(包含下方且側方)的第1基準台MST1、第2基準台MST2、或是第3~第n移載終點LP3~LPn之間進行物品2的交付。又，在圖示中雖顯示第1基準台MST1、第2基準台MST2、及第3~第n移載終點LP3~LPn是被配置於軌道 T的下方且側方的例，但是也有移載終點LP是被配置於軌道T的下方(正下方)的情況。軌道T，是例如，藉由懸吊配件(金屬件)等而在從清淨室等的設備的頂棚被吊下的狀態下被設置。搬運車V，是沿著此軌道T行走的高架搬運車。第3~第n移載終點LP3~LPn，是例如，設於處理裝置或是保管裝置等的一部分。且，第3~第n移載終點LP3~LPn的設置數是任意。
第1基準台MST1及第2基準台MST2，是搬運車V將物品2載置時，為了檢出：將物品2載置在第1基準台MST1的位置、及第1基準台MST的被決定的位置的誤差而設置。在本說明書中，誤差，是包含：後述的停止指標N的安裝誤差、及各搬運車V各別具有的特有的設備誤差的意思。第1基準台MST1及第2基準台MST2，是被配置於軌道T的下方(包含下方且側方)。第1基準台MST1及第2基準台MST2，是彼此附近地設置也可以，彼此遠離地設置也可以。且，第1基準台MST1及第2基準台MST2，雖是設於被固定於設備側的地面等的位置，但是例如，設有車輪等，可移動也可以。且，基準台MST不限定於2台，設置3台以上也可以。
上位控制器CU，是將搬運車V控制。在第1~第m搬運車V1~Vm中，各別搭載有台車控制器C1~Cm(以下，有總稱為台車控制器C的情況)。台車控制器C，是搬運系統100的控制器的1個。上位控制器CU，是透過複數台車控制器C與規定的通訊手段可通訊連接。在此，規定 的通訊手段，是例如，由沿著軌道T被設置的給料線所進行的通訊，或是無線LAN(網路)網路等。
在搬運系統100中，利用第1基準台MST1及第2基準台MST2的其中任一，檢出搬運車V將物品2載置在第1基準台MST1或是第2基準台MST2時的第1-1誤差及第1-2誤差(又，有將藉由基準搬運車檢出的第1-1~第1-n誤差、及藉由基準搬運車以外的搬運車V檢出的誤差，只總稱為誤差的情況)。第1基準台MST1及第2基準台MST2，不一定必要限定於同一的設置條件。因此，由搬運車V檢出的誤差，其利用第1基準台MST1被檢出的情況、及利用第2基準台MST2被檢出的情況，是成為不同的值。
搬運系統100，是將複數第1~第m搬運車V1~Vm之中的其中任一作為基準搬運車利用，求得：由第1基準台MST1(第1移載終點LP1)被檢出的基準搬運車的第1-1誤差、及由第2基準台MST2(第2移載終點LP2)被檢出的基準搬運車的第1-2誤差，將第1-1誤差及第1-2誤差的差分也就是偏離量算出，由第2基準台MST2將基準搬運車以外的搬運車V的誤差檢出的情況，使用此誤差及偏離量修正後述的行走體M的停止位置(移載終點LP的載置位置)。在本實施例中，有將第1搬運車V1、第2搬運車V2、第3搬運車V3作為基準搬運車，各別稱為基準搬運車V1、基準搬運車V2、基準搬運車V3的情況。又，基準搬運車的數量是任意，使用1台的基準搬運車V1也可以。且，在基準搬運車V1以外的第m搬運車Vm中，由第1基準台MST1被檢 出的誤差，是表記為第m-1誤差，由第2基準台MST2被檢出的誤差，是表記為第m-2誤差。
上位控制器CU，是如第1圖所示，具有：偏離量算出部12CU、及偏離量送訊部13CU、及地圖生成部15CU、及地圖送訊部16CU。偏離量算出部12CU，是算出：由第1基準台MST1檢出的基準搬運車V1等的第1-1誤差、及由第2基準台MST2檢出的基準搬運車V1等的第1-2誤差，的差分也就是偏離量。又，為了算出偏離量，使用相同1台的搬運車V。偏離量送訊部13CU，是將顯示偏離量算出部12CU所算出的偏離量的偏離量，各別朝除了基準搬運車以外的複數搬運車V送訊。又，對於地圖生成部15CU及地圖送訊部16CU是如後述。
且搬運車V的台車控制器C，是例如，以第1搬運車V1的台車控制器C1作為代表說明的話，具有：偏離量收訊部22C1、及地圖收訊部23C1、及基準台判別部26C1、及修正部24C1。又，對於其他的第2~第m搬運車V2~Vm的台車控制器C2~Cm，也具有與台車控制器C1同樣的構成要素。
偏離量收訊部22C1，是將上位控制器CU所送訊的偏離量收訊。基準台判別部26C1，是檢出誤差時判別第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一是否被使用。又，基準台判別部26C1，是可取代設在台車控制器C1，而設在上位控制器CU也可以。此情況，上位控制器CU，是管理由那一基準台MST對於各搬運車V將誤差檢 出，且對於各搬運車V，提供將誤差檢出的基準台MST的資訊也可以。修正部24C1，是基準台判別部26C1判別為第1基準台MST1被使用的情況時，以依據誤差修正將移載終點LP3~LPn函數化了的地圖，修正行走體M對於規定的移載終點LP的停止位置。且，修正部24C1，是基準台判別部26C1判別為第2基準台MST2被使用的情況時，將地圖，藉由誤差及由偏離量被顯示的偏離量修正(或是將地圖，依據後述的修正誤差(第6圖參照)修正)，修正行走體M對於規定的移載終點LP的停止位置。又，修正部24C1，是在修正各搬運車V的行走體M的停止位置的同時，進一步，對於：由移載裝置U所產生的物品2的移載位置即後述的橫出機構11的橫出位置、及昇降驅動部14的昇降位置，進行修正也可以。
第2圖，是顯示搬運車V的一例的圖。在第2圖中，物品2是顯示FOUP(前開口式通用容器)的例。物品2，是具備：本體部2a、及蓋2c、及凸緣部2g。晶圓等，是被收容於本體部2a的內部。蓋2c，是可裝卸地設於本體部2a的側面。本體部2a，是在底面具備定位用的放射狀的複數溝部2d。
搬運車V，是具備：行走體M(將第1~第m搬運車的行走體M1~Mm總稱為行走體M)、及本體部3。行走體M，是藉由未圖示的行走驅動部的驅動力而沿著軌道T行走。行走驅動部，是使用例如，步進馬達等的電動馬達或是線性馬達。行走體M的行走輪7，是與軌道T接觸地 配置，且，與未圖示的編碼器連接。編碼器，是檢出行走輪7的旋轉數等。台車控制器C，是例如，依據供給至步進馬達的脈衝數，或是上述的編碼器的檢出結果進行搬運車V的速度和停止位置的控制。且，搬運車V，是在行走體M的下方，透過支撐軸9具備本體部3。
本體部3，是具有移載裝置U(將第1~第m搬運車的第1~第m移載裝置U1~Um總稱為移載裝置U)，其具備：將物品2保持的物品保持部13、及將物品保持部13朝垂直方向昇降的昇降驅動部14、及將昇降驅動部14移動的橫出機構11。物品保持部13，是藉由將物品2的凸緣部2g把持，將物品2吊下地保持。物品保持部13，是例如，具有朝水平方向可移動的爪部13a的挾盤，藉由將爪部13a進入物品2的凸緣部2g的下方，將物品2吊下地保持。物品保持部13，是與導線或是皮帶等的吊下構件13b連接。昇降驅動部14，是例如，吊車，藉由將吊下構件13b吐出而將物品保持部13降下，藉由將吊下構件13b捲取而使物品保持部13上昇。
橫出機構11，是將昇降驅動部14在突出位置P2及存儲位置P1之間朝Y方向移動。橫出機構11，是具有複數可動板。可動板，是藉由未圖示的驅動部而朝Y方向移動，將昇降驅動部14在突出位置P2及存儲位置P1之間移動。突出位置P2，是昇降驅動部14從本體部3朝軌道T的側方突出的位置。存儲位置P1，是昇降驅動部14被存儲在本體部3內的位置。又，包含橫出機構11、物品保持部13、 及昇降驅動部14的移載裝置U，是藉由台車控制器C被控制。具備移載裝置U的本體部3，是與行走體M成為一體並在軌道T朝X方向移動。
對於移載終點LP移載物品2的情況，是藉由搬運車V的橫出機構11將昇降驅動部14突出至突出位置P2為止，藉由將物品保持部13下降，就可對於基準台MST或是移載終點LP移載物品2。又，移載終點LP是被配置於軌道T的下方(正下方)的情況時，不將昇降驅動部14朝軌道T的側方突出藉由使物品保持部13下降使可對於移載終點LP移載物品2。第2圖，是物品2的移載終點雖顯示第1基準台MST1或是第2基準台MST2，但是其他的第3~第n移載終點LP3~LPn也同樣。又，在第3~第n移載終點LP3~LPn中，設有未圖示的複數(例如3根)銷。各銷，是藉由嵌入物品2的溝部2d而將物品2定位在第3~第n移載終點LP3~LPn上。
且如第1圖所示，行走體M，是藉由沿著軌道T被配置的停止指標N1~Nn而停止於對應各移載終點LP的各位置。停止指標N1~Nn(又，有將停止指標N1~Nn總稱為停止指標N的情況)，是以藉由各搬運車V的移載裝置U可由第1~第n移載終點LP1~LPn的被決定的位置將物品2的交付的方式，例如，被安裝於軌道T或是軌道T的附近。 第3圖，是顯示第1停止指標N1的一例的圖。又，在第3圖中，雖顯示第1停止指標N1，但是對於其他的停止指標N2~Nn也同樣。且，基準搬運車V1，是具備檢出停止指標 N1~Nn用的感測器S1。又，對於其他的第2~第m搬運車V2~Vm也同樣具備檢出停止指標N1~Nn用的感測器S2~Sm(又，有將感測器S1~Sm總稱為感測器S的情況)。
感測器S，是使用光學式或是磁性式等的非接觸型的感測器也可以，使用接觸型的感測器也可以。又，停止指標N，因為在X方向(沿著軌道T的方向)具有長度，所以有必要將X方向的其中任一設定成基準。以下所示的基準的設定方法只是一例，不限定於此方法。首先，第1行走體M1是由步進馬達行走的情況，可藉由供給至步進馬達的脈衝數設定停止位置。因此，如第3圖所示，藉由感測器S1而在第1行走體M1的行走中檢出第1停止指標N1的端部，從將端部檢出的位置，將預先被設定的脈衝數供給至步進馬達等將停止的位置設定成基準位置也可以。各搬運車V，是設定成對於各停止指標N1~Nn停止於上述的基準位置。且，各搬運車V，是從上位控制器CU被指示移載終點PL的話，行走於軌道T，由對應被指示的移載終點LP的停止指標N的基準位置停止。
本實施例中的搬運系統100，若行走體M是對於停止指標N停止的話，就設定成各搬運車V的台車控制器C是將移載裝置U驅動對於移載終點LP進行物品2的交付。但是，在搬運系統100中，是否如此設定是任意。 且，在各移載終點LP中，由移載裝置U的橫出機構11所產生的橫出位置(或是橫出量)、及由昇降驅動部14所產生的昇降位置(或是昇降量)，是在後述的地圖中預先被設定在 各移載終點LP。
停止指標N1~Nn，雖是對應各移載終點LP地安裝，但是其安裝位置是有從原本安裝的位置偏離的情況。第4圖，是移載終點LP、停止指標N、及搬運車V的關係的示意圖。如第4圖所示，各別對應第1基準台MST1(第1移載終點LP1)、第2基準台MST2(第2移載終點LP2)、及第3~第n移載終點LP3~LPn，在軌道T或是軌道T的附近安裝有停止指標N1~Nn。停止指標N1~Nn，是指標R1~Rn(又，指標R1~Rn是有總稱為指標R的情況)，對應各移載終點L中的基準B1~Bn(又，基準B1~Bn是有總稱為基準B的情況)的理想的指標的安裝位置。又，基準B，是成為將物品2載置在各移載終點LP的被決定的位置時的基準的位置。
停止指標N1~Nn，是朝行走體M的行走方向無誤差地被安裝在指標R1~Rn的位置較佳，但是有在各停止指標N1~Nn，如第4圖所示，只有各別偏離安裝誤差b1~bn地被安裝。又，對於此基準B沒有偏離地安裝有停止指標N的情況(指標R的情況)，行走體M是藉由停止在此停止指標N，而成為可藉由移載裝置U將物品2交付於移載終點LP的被決定的位置。
且如第4圖所示，基準搬運車V1，是使用作為物品的教學單元TU，將教學單元TU載置在各移載終點LP(包含第1基準台MST1及第2基準台MST2)，在各移載終點LP中，檢出：此教學單元TU的載置的位置、及移載終 點LP的被決定的位置的誤差。誤差的檢出，是藉由被搭載於教學單元TU的感測器來進行也可以，藉由教學單元TU以外的感測器來進行也可以。使用教學單元TU檢出的第1~第n移載終點LP1~LPn的第1-1~第1-n誤差，是如上述朝上位控制器CU被送出。又，教學單元TU，是對於上位控制器CU藉由無線通訊等將誤差發訊也可以。
如第4圖所示，基準搬運車(第1搬運車)V1，是例如藉由教學單元TU來檢出：依據第1基準台MST1的第1停止指標N1將基準搬運車V1的第1行走體M1(第1圖參照)停止時的，由第1移載裝置U1(第1圖參照)將教學單元TU載置在第1基準台MST1的位置、及第1基準台MST1的被決定的位置的第1-1誤差。此第1-1誤差，是成為配合具有基準搬運車V1的特有的設備誤差a1、及上述的第1停止指標N1的安裝誤差b1的值。此值，是如後述由座標值表示。
且基準搬運車V1，是例如藉由教學單元TU來檢出：依據第2基準台MST2的第2停止指標N2將基準搬運車V1的第1行走體M1停止時的，由第1移載裝置U1將教學單元TU載置在第2基準台MST2的位置、及第2基準台MST2的被決定的位置的第1-2誤差。此第1-2誤差，是成為配合：具有基準搬運車V1的特有的設備誤差a1、及上述的第2停止指標N2的安裝誤差b2的值。且，在基準搬運車V2、V3，使配合基準搬運車V2、3所具有的特有的設備誤差a2、a3及安裝誤差b1的第1-1誤差的值被檢出，使配合設備誤差a2、a3及安裝誤差b2的第1-2誤差的值被檢出。 且，基準搬運車以外的第m搬運車Vm，是將依據第1基準台MST1的第1停止指標N1將第m行走體Mm(第1圖參照)停止時的，由第m移載裝置Um(第1圖參照)將教學單元TU載置在第1基準台MST1的位置、及第1基準台MST1的被決定的位置的誤差表記為第m-1誤差，同樣地對於第2基準台MST2是表記為第m-2誤差。對於第m-1誤差及第m-2誤差，也與上述同樣地，成為配合第m搬運車Vm所具有的特有的設備誤差am、及上述的安裝誤差b1或是安裝誤差b2的值。
上位控制器CU，是求得上述的第1-1誤差及第1-2誤差的差也就是偏離量。由基準搬運車V1所產生的偏離量，是(a1+b1)-(a1+b2)=b1-b2，即不用基準搬運車V1的設備誤差a1，可依據第1停止指標N1的安裝誤差b1、及第2停止指標N2的安裝誤差b2的差(例如座標值)求得。
且基準搬運車V1，是對於第1基準台MST1及第2基準台MST2以外的第3~第n移載終點LP3~LPn，依據第3~第n停止指標N3~Nn將基準搬運車V1的第1行走體M1停止，將藉由第1移載裝置U1將教學單元TU載置在第3~第n移載終點LP3~LPn的位置、及第3~第n移載終點LP3~LPn的被決定的位置的第1-3~第1-n誤差，例如藉由教學單元TU而被檢出，將其檢出結果朝上位控制器CU發訊。上位控制器CU，是將此第1-3~第1-n誤差作為地圖與各移載終點LP相關連地記憶也可以。在本說明書中，地 圖，是各移載終點LP中的第1-3~第1-n誤差的資料，包含由基準搬運車V1所產生的第1-1誤差及第1-2誤差也可以。
且如第4圖所示，基準搬運車V2、V3，是與基準搬運車V1同樣地，依據第1~第n停止指標N1~Nn將基準搬運車V2、V3的第2、第3行走體M2、M3(第1圖參照)停止，藉由第2、第3移載裝置U2、U3(第1圖參照)將教學單元TU載置在第1基準台MST1及第2基準台MST2，與上述同樣地將第2-1誤差及第2-2誤差、以及第3-1誤差及第3-2誤差各別檢出也可以。上位控制器CU，是使用藉由基準搬運車V2、V3檢出的誤差，算出：由基準搬運車V2所產生的第2-1誤差及第2-2誤差的差也就是偏離量，(a2+b1)-(a2+b2)=b1-b2、及由基準搬運車V3所產生的第3-1誤差及第3-2誤差的差也就是偏離量，(a3+b1)-(a3+b2)=b1-b2
其中任一的情況，皆沒有基準搬運車V2的設備誤差a2、基準搬運車V3的設備誤差a3，且作為包含第1停止指標N1的安裝誤差b1、及第2停止指標N2的安裝誤差b2的差的值(例如座標值)被求得。
且雖無圖示，對於基準搬運車V2、V3以外的第4~第m搬運車V4~Vm，是依據第1停止指標N1或是第2停止指標N2將第m搬運車Vm的第m行走體Mm(第1圖參照)停止，藉由第m移載裝置Um(第1圖參照)將教學單元TU載置在第1基準台MST1或是第2基準台MST2，將第m-1誤差 或是第m-2誤差檢出。又，第m-1誤差或是第m-2誤差，是包含各別具有第4~第m搬運車V4~Vm的設備誤差a4~am的值。
第5圖，是顯示上位控制器CU的功能塊體構成的一例。上位控制器CU，是除了偏離量算出部12CU、偏離量送訊部13CU以外，具有：誤差收訊部11CU、及誤差取得部14CU、及地圖生成部15CU、及地圖送訊部16CU、及資料存儲部17CU。誤差收訊部11CU，是從基準搬運車V1~V3的台車控制器C1~C3，收訊將教學單元TU載置在第1基準台MST1時被檢出的基準搬運車V1~V3的第1-1誤差(包含第2-1誤差及第3-1誤差)。且，誤差收訊部11CU，是將包含將教學單元TU載置在第2基準台MST2時被檢出的基準搬運車V1~V3的第1-1誤差(第2-1誤差及第3-1誤差)，從基準搬運車V1~V3的台車控制器C1~C3收訊。
誤差取得部14CU，是例如，基準搬運車V1是取得將教學單元TU載置在第1-3~第1-n移載終點LP3~LPn時的第1-3~第1-n誤差。又，第1-3~第1-n誤差，是藉由誤差收訊部11CU取得也可以，此情況，沒有誤差取得部14CU也可以。地圖生成部15CU，是例如，生成將藉由基準搬運車V1將教學單元TU各別載置在第1-3~第1-n移載終點LP3~LPn時的第1-3~第1-n誤差集約的地圖。地圖送訊部16CU，是將地圖朝第m搬運車Vm的各台車控制器Cm送訊。各種資料是被存儲在資料存儲部17CU中。例如，在資料存儲部17CU中，被存儲：誤差收訊部11CU所收訊 到的基準搬運車V1~V3的第1-1誤差及第1-2誤差、第2-1誤差、第2-2誤差、第3-1誤差、第3-2誤差、偏離量算出部12CU所算出的偏離量、地圖生成部15CU所生成的地圖等。
第6圖，是將被存儲在資料存儲部17CU的搬運車V的誤差的一例由表格形式顯示。在資料存儲部17CU中，被存儲有各搬運車V是由第1基準台MST1及第2基準台MST2的一方或是雙方檢出的誤差。第6圖所示的「第1基準台MST1」的欄，是顯示將由第1基準台MST1檢出的搬運車V的第1-1誤差、第m-1誤差，或是由第2基準台MST2檢出的搬運車V的第m-2誤差，依據偏離量修正的修正誤差的資訊。同樣地，「第2基準台MST2」的欄，是顯示將由第2基準台MST2檢出的搬運車V的第1-2誤差、第m-2誤差，或是由第1基準台MST1檢出的搬運車V的第m-1誤差，依據偏離量修正的修正誤差的資訊。在第6圖中，將修正誤差由四角框顯示。修正誤差，是顯示將實際誤差檢出的與基準台MST相異的基準台MST中的誤差，從實際檢出的誤差，將由偏離量算出部12CU算出的偏離量減去的值。 在本實施例中，有使用第6圖所示的修正誤差修正行走體Mm對於移載終點LP的停止位置(或是物品2的載置位置)的情況。
在第6圖所示的例中，存儲有：基準搬運車V1~V3中的，由第1基準台MST1檢出的第1-1誤差、第2-1誤差、第3-1誤差、及由第2基準台MST2檢出的第1-2誤差、 第2-2誤差、第3-2誤差。且，在第6圖所示的例中，存儲有：第4搬運車V4、第5搬運車V5中的，由第1基準台MST1檢出的第4-1誤差、第5-1誤差；及依據由第1基準台MST1檢出的第4-1誤差、第5-1誤差各別依據偏離量修正的修正誤差。且，在第6圖所示的例中，存儲有：第6搬運車V6、第7搬運車V7中的，由第2基準台MST2檢出的第6-2誤差、第7-2誤差；及依據由第2基準台MST2檢出的第6-2誤差、第7-2誤差各別依據偏離量修正的修正誤差。
在第6圖中，對於搬運車V的誤差，由使用XYZ座標系(X方向的誤差、Y方向的誤差、Z方向的誤差)的座標值表現。又，在第6圖中，各座標值的單位，是例如mm。例如，基準搬運車V1的第1-1誤差(+2、+3、0)，是顯示第1-1誤差是在X方向為+2mm、在Y方向為+3mm、在Z方向為±0mm。又，有關於第1-1誤差之中X方向的值，是有關於行走體M的停止位置的誤差。且，有關於第1-1誤差之中Y方向的值，是有關於由橫出機構11所產生的物品2的橫出位置的誤差。且，有關於第1-1誤差之中Z方向的值，是有關於由昇降驅動部14所產生的物品2的昇降位置的誤差。
第7圖，是顯示搬運車V的台車控制器C的功能塊體構成的一例。在第7圖中，以基準搬運車V1的台車控制器C1為例說明。台車控制器C1，是除了偏離量收訊部22C1、基準台判別部26C1、修正部24C1以外，具有：誤差取得部21C1、及地圖收訊部23C1、及誤差發訊部 27C1、及資料存儲部25C1。又，對於其他的台車控制器C2~Cm也具有與台車控制器C1同樣的構成。
誤差取得部21C1，是取得有關於將教學單元TU載置在基準台MST時被檢出的第1-1誤差及第1-2誤差的一方或是雙方的誤差。地圖收訊部23C1，是將從上位控制器CU被送訊的地圖收訊。誤差發訊部27C1，是將誤差取得部21C1所取得的誤差，朝上位控制器CU發訊。又，教學單元TU是可朝上位控制器CU將誤差發訊的情況，沒有誤差取得部21C1及誤差發訊部27C1也可以。在資料存儲部25C1中，被存儲各種資料。例如，在資料存儲部25C1中，被存儲：偏離量收訊部22C1所收訊到的偏離量、地圖收訊部23C1所收訊到的地圖、誤差取得部21C1所取得的誤差等。
第8圖，是顯示基準搬運車V1的台車控制器C1、及上位控制器CU的動作次序的一例的圖。參照第8圖所示的動作流程，使用第1基準台MST1及第2基準台MST2，說明藉由基準搬運車V1檢出第1-1誤差及第1-2誤差所伴隨的上位控制器CU的動作。在此動作流程的說明中，適宜參照第1圖~第7圖。
首先，為了由第1基準台MST1檢出基準搬運車V1的第1-1誤差，將基準搬運車V1的第1行走體M1停止在第1停止指標N1，將第1移載裝置U1驅動將教學單元TU載置在第1基準台MST1。基準搬運車V1的動作，例如，操作者是由手動操作進行也可以，由台車控制器C1將第1基 準台MST1的位置從上位控制器CU取得並自動進行也可以。
藉由基準搬運車V1使教學單元TU被載置在第1基準台MST1的話，台車控制器C1的誤差取得部21C1(第7圖參照)或是教學單元TU(第4圖參照)，是檢出第1基準台MST1的被決定的位置、及實際載置了教學單元TU的位置的第1-1誤差，將第1-1誤差取得(步驟S101)。又，第1基準台MST1的被決定的位置，是例如，藉由設於第1基準台MST1的指標而被設定也可以，從上位控制器CU預先取得座標值也可以。
且將教學單元TU載置在第1基準台MST1的位置，是藉由在教學單元TU具備的感測器檢出也可以，從外部將教學單元TU由照相機等攝像，從此畫像取得也可以。藉由畫像進行的情況，在第1基準台MST1中，預先設置指標記號，從此指標記號及教學單元TU的相對位置將第1-1誤差檢出也可以。且，教學單元TU的載置位置，是例如，使用距離感測器等取得也可以。
在步驟S101中，誤差取得部21C1或是教學單元TU，是比較：第1基準台MST1的被決定的位置、及實際載置了教學單元TU的位置，將兩者的誤差也就是第1-1誤差取得。
誤差取得部21C1或是教學單元TU，是對於第1-1誤差，將XYZ座標系中的X方向、Y方向、Z方向的差分各別算出，作為第1-1誤差取得。例如，對於第1基準台 MST1的被決定的位置的教學單元TU的載置位置的差分，是X方向為+2mm、Y方向為+3mm、Z方向為0mm的話，誤差取得部21C1，是將第1-1誤差(+2、+3、0)取得。接著，誤差取得部21C1，是將所取得的第1-1誤差，存儲在資料存儲部25C1(第7圖參照)。
第1-1誤差是被存儲在資料存儲部25C1的話，誤差發訊部27C1(第7圖參照)，是將被存儲在資料存儲部25C1的第1-1誤差讀出，朝上位控制器CU發訊(步驟S102)。又，在步驟S102中，教學單元TU是將第1-1誤差朝上位控制器CU發訊也可以。上位控制器CU的誤差收訊部11CU(第5圖參照)，是將從台車控制器C1被發訊的第1-1誤差收訊的話，將其第1-1誤差，存儲在資料存儲部17CU(第3圖參照)。在資料存儲部17CU中，例如，如第6圖所示，被存儲基準搬運車V1的第1-1誤差(+2、+3、0)。
接著，為了由第2基準台MST2檢出基準搬運車V1的第1-2誤差，而藉由基準搬運車V1將教學單元TU載置在第2基準台MST2。基準搬運車V1，是與為了求得第1-1誤差而使用的搬運車相同的搬運車。與上述同樣地，基準搬運車V1的動作，是例如，操作者由手動操作進行也可以，台車控制器C1將第2基準台MST2的位置從上位控制器CU等取得並自動地進行也可以。
藉由基準搬運車V1使教學單元TU被載置在第2基準台MST2的話，台車控制器C1的誤差取得部21C1或是教學單元TU，是與將第1-1誤差取得時同樣地，取得：第2 基準台MST2的被決定的位置、及載置了教學單元TU的位置的誤差也就是第1-2誤差(步驟S103)。誤差取得部21C1，是將所取得的第1-2誤差，存儲在資料存儲部25C1。
第1-2誤差被存儲在資料存儲部25C1的話，台車控制器C1的誤差發訊部27C1，是將被存儲在資料存儲部25C1的第1-2誤差讀出，朝上位控制器CU發訊(步驟S104)。又，在步驟S104中，教學單元TU是將第1-2誤差朝上位控制器CU發訊也可以。上位控制器CU的誤差收訊部11CU，是將從基準搬運車V1的台車控制器C1被發訊的第1-2誤差收訊的話，將該第1-2誤差，存儲在資料存儲部17CU。如此，在資料存儲部17CU中，例如，如第6圖所示，被存儲基準搬運車V1的第1-2誤差(+3、+2、-2)。
在本實施例中，將第1搬運車V1、及第2搬運車V2、及第3搬運車V3作為基準搬運車利用。因此，在上位控制器CU的資料存儲部17CU中，對於基準搬運車V2的第2-1誤差及第2-2誤差、基準搬運車V3的第3-1誤差及第3-2誤差，也與基準搬運車V1同樣地取得並被存儲。
在資料存儲部17CU被存儲第1-1誤差及第1-2誤差(包含第2-1誤差及第2-2誤差、及第3-1誤差及第3-2誤差)的話，上位控制器CU的偏離量算出部12CU(第5圖參照)，是算出第1-1誤差及第1-2誤差的差也就是偏離量(步驟S105)。偏離量算出部12CU，是各別算出XYZ座標系中的X方向、Y方向、Z方向的差分作為2個第1-1誤差及第1-2 誤差的差。
例如，如第6圖所示，第1-1誤差是(+2、+3、0)，第1-2誤差是(+3、+2、-2)的情況，偏離量算出部12CU，是求得(+2、+3、0)-(+3、+2、-2)，將(-1、+1、+2)的偏離量(座標值)算出，將此偏離量存儲在資料存儲部17CU。
在本實施例中，使用複數基準搬運車V1~V3。因此，偏離量算出部12CU，是在各基準搬運車V1、V2、V3從第1-1誤差及第1-2誤差的差、第2-1誤差及第2-2誤差的差、第3-1誤差及第3-2誤差的差，各別將3個偏離量算出，將其中任一的偏離量作為代表值也可以，使用將3個偏離量統計處理了的值也可以。例如，偏離量算出部12CU，其偏離量是參差不一的情況，將3個偏離量的平均值作為偏離量也可以，將其中央值作為偏離量也可以。 且，將3個偏離量的參差不一的最頻值作為偏離量也可以。偏離量被存儲在資料存儲部17CU的話，上位控制器CU的偏離量送訊部13CU(第5圖參照)，是將被存儲在資料存儲部17CU的偏離量讀出，將該偏離量，各別朝複數搬運車V送訊(步驟S106)。又，在步驟S106中，偏離量送訊部13CU，是例如，朝除了基準搬運車V1以外的搬運車V將偏離量送訊也可以。
第9圖，是顯示上位控制器CU的動作流程的一例的圖。參照第9圖所示的動作流程，說明基準搬運車V1等是將教學單元TU載置在複數移載終點LP所伴隨的上位 控制器CU的動作。在此動作流程的說明中，適宜參照第1圖~第8圖。
由基準台MST所進行的基準搬運車V1等的第1-1誤差等的檢出終了之後，例如，藉由基準搬運車V1將教學單元TU各別載置在第3~第n移載終點LP3~LPn。 又，在本實施例中，為了將教學單元TU載置在複數移載終點LP3等而利用基準搬運車V1，但是如本實施例是有複數基準搬運車V1~V3的情況，利用其中任一的基準搬運車也可以。且，基準搬運車V1的動作，是例如，操作者由手動操作進行也可以，由台車控制器C從上位控制器CU等取得有關於第n移載終點LPn的停止位置並自動進行也可以。
藉由基準搬運車V1將教學單元TU載置在第3~第n移載終點LP3~LPn的話，上位控制器CU的誤差取得部14CU或是誤差收訊部11CU(第5圖參照)，是取得基準搬運車V1將教學單元TU載置在第3~第n移載終點LP3~LPn時的第1-n誤差(第1-3~第1-n誤差)(步驟S201)。誤差取得部14CU或是誤差收訊部11CU，是例如，取得：第3~第n移載終點LP3~LPn的被決定的位置、及實際載置了教學單元TU的位置，的差分也就是第1-3~第1-n誤差。此第1-n誤差資料，是顯示在第3~第n移載終點LP3~LPn中，XYZ座標系中的X方向、Y方向、Z方向的值也可以。又，在第3~第n移載終點LP3~LPn中，各被決定的位置，是預先被設定在各移載終點。
例如，實際載置了教學單元TU的位置，是對於第n移載終點LPn的被決定的位置，在X方向為4(mm)，在Y方向為6(mm)，在Z方向為1(mm)偏離的情況，誤差取得部14CU或是誤差收訊部11CU，是將如(+4、+6、+1)座標值取得作為第n移載終點LPn的第1-n誤差。又，誤差取得部14CU或是誤差收訊部11CU，是將這種誤差，例如，從教學單元TU被發訊而取得也可以，藉由手動操作的操作末端或鍵盤等的操作而將基準搬運車V1取得也可以。 且，藉由設於基準搬運車V1或是第n移載終點LPn的各種感測器而從檢出的結果將誤差取得也可以。誤差取得部14CU或是誤差收訊部11CU，是將所取得的誤差存儲在資料存儲部17CU。
第1-n誤差被存儲在資料存儲部17CU的話，上位控制器CU的地圖生成部15CU(第5圖參照)，是生成將藉由基準搬運車V1檢出的第3~第n移載終點LP3~LPn中的第1-3~第1-n誤差函數化後的地圖(步驟S202)。
地圖生成部15CU，是將如此生成的地圖，存儲在資料存儲部17CU。地圖被存儲在資料存儲部17CU的話，上位控制器CU的地圖送訊部16CU(第5圖參照)，是將被存儲在資料存儲部17CU的地圖讀出，各別朝除了基準搬運車V1以外的各搬運車V的各台車控制器C送訊(步驟S203)。
第10圖，是顯示搬運車V的台車控制器C的動作流程的一例的圖。參照第10圖所示的動作流程，說明藉 由搬運車V將物品2朝移載終點LP載置時的台車控制器C的動作。在此動作流程中，適宜參照第1圖~第9圖說明基準搬運車V1~V3以外的第4~第m搬運車V4~Vm(第1圖及第6圖參照)。以下，雖以第4搬運車V4為例，但是對於第5~第m搬運車V5~Vm也同樣。
首先，第4搬運車V4的台車控制器C4的偏離量收訊部22C4(第7圖的符號22C1參照)，是將由第8圖的步驟S106被送訊的偏離量收訊(步驟S301)。收訊到的偏離量，是被存儲在資料存儲部25C4。且，第4搬運車V4的台車控制器C4的地圖收訊部23C4(第7圖的符號23C1參照)，是將由第9圖的步驟S203被送訊的地圖收訊(步驟S302)。收訊到的地圖，是被存儲在資料存儲部25C4。
且操作者，是為了由第1基準台MST1或是第2基準台MST2檢出第4搬運車V4的誤差，將第4搬運車V4藉由例如手動等操作，藉由第4搬運車V4將教學單元TU載置在第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一。教學單元TU被載置在第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一的話，台車控制器C4的誤差取得部21C4(第7圖的符號21C1參照)或是教學單元TU，是與第8圖的步驟S101同樣地，取得由第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一被檢出的第4-1誤差或是第4-2誤差(步驟S303)。又，第5~第m搬運車V5~Vm的情況，由第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一被檢出的誤差，是由第5-1~第m-1誤差或是第5-2~第m-2誤差被顯示。誤差取得部 21C4，是將所取得的第4-1誤差或是第4-2誤差，存儲在資料存儲部25C4。
接著，台車控制器C4的基準台判別部26C4(第7圖的符號26C1參照)，是檢出誤差時判別第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一是否被使用(步驟S304)。 例如，第4-1誤差或是第4-2誤差中的資料的標題資訊，是被記載在誤差的檢出所使用的基準台MST的識別資訊，基準台判別部26C4，是藉由參照此標題資訊，在誤差的檢出判別第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一是否被使用也可以。且，基準台判別部26C4，是從第4搬運車V4的第4行走體M4(第2圖參照)藉由第1停止指標N1或是第2停止指標N2而停止的位置，判別第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一是否被使用也可以。基準台判別部26C4，是將其判別結果，朝修正部24C4(第7圖的符號24C1參照)送出。
依據基準台判別部26C4的判別結果，使用第1基準台MST1的情況(步驟S304；YES)，修正部24C4，是在各移載終點LP，將第4行走體M4的停止位置依據被存儲在資料存儲部25C4的地圖(第1-n誤差)及第4-1誤差進行修正。(步驟S305)。修正部24C4，是例如，從地圖的第1-n誤差，將第4-1誤差減去地修正第4行走體M4的停止位置。 將第4行走體M4停止在此己修正的停止位置，藉由將第4移載裝置U4驅動，第4搬運車V4，就可以對於移載終點LP正確地進行物品2的交付。又，在步驟S305中，修正第4行 走體M4的停止位置以外，修正各移載終點LP中的橫出機構11的橫出位置、及昇降驅動部14的昇降位置也可以。
且依據基準台判別部26C4的判別結果，使用第2基準台MST2的情況(步驟S305；NO)，修正部24C4，是在各移載終點LP，將第4行走體M4的停止位置依據被存儲在資料存儲部25C4的地圖(第1-n誤差)及第4-2誤差，進一步依據被存儲在資料存儲部25C4的偏離量進行修正(步驟S306)。又，步驟S306，是將第4行走體M4的停止位置依據地圖(第1-n誤差)及第4搬運車V4中的修正誤差(第6圖參照)修正也可以。修正部24C4，是例如，從地圖的第1-n誤差，將第4-2誤差及偏離量減去地修正第4行走體M4的停止位置。將第4行走體M4停止在此己修正的停止位置，藉由將第4移載裝置U4驅動，即使第4搬運車V4是由第2基準台MST2將第4-2誤差檢出的情況，也可以對於移載終點LP正確地進行物品2的交付。
且在上述中雖說明了不是基準搬運車的第4~第m搬運車V4~Vm，但是對於未檢出第1-n誤差(地圖)的基準搬運車V2、V3，是藉由各別用依據第1-n誤差(地圖)及第1基準台MST1檢出的第2-1誤差、第3-1誤差將第2行走體M2、第3行走體M3的停止位置修正，就可以對於移載終點LP正確地進行物品2的交付。
如此，依據本實施例，即使由第2基準台MST2將誤差檢出的情況，藉由使用第1基準台MST1及第2基準台MST2的差也就是偏離量將行走體M的停止位置修 正，就可以對於各移載終點LP正確地將物品2交付。藉由此構成，即使將多數的搬運車V運轉的情況，或是在既有的設備將新的搬運車V投入的情況等，也可以縮短在搬運車V的教導所需要的時間。
又，上述的上位控制器CU的誤差收訊部11CU、偏離量算出部12CU、偏離量送訊部13CU、誤差取得部14CU、地圖生成部15CU、地圖送訊部16CU、及資料存儲部17CU，是藉由將程式讀入電腦，由軟體及硬體資源協動的具體手段被實現也可以。同樣地，搬運車V的台車控制器C的誤差取得部21、偏離量收訊部22、地圖收訊部23、修正部24、資料存儲部25、基準台判別部26、及誤差發訊部27，是藉由將程式讀入電腦，由軟體及硬體資源協動的具體手段被實現也可以。
以上，雖說明了實施例，但是本發明的技術的範圍，不限定於上述的記載。且，本行業者明顯可在上述的實施例中，加上多樣的變更或是改良。如此的加上變更或是改良的形態也被包含於本發明的技術的範圍。例如，上位控制器CU，是包含在其中任一的搬運車V的台車控制器C也可以。
第11圖，是顯示基準搬運車V1的台車控制器C1是包含上位控制器CU的情況的動作次序的例。台車控制器C1是包含上位控制器CU的情況時，台車控制器C1，是具有第5圖所示的上位控制器CU的各構成要素。又，對於第8圖所示的動作次序及重複的內容省略說明或是簡略 化。首先，藉由基準搬運車V1將教學單元TU載置在第1基準台MST1並檢出第1-1誤差。藉由此檢出，台車控制器C1的誤差取得部21C1，是將第1基準台MST1中的第1-1誤差取得(步驟S401)。
接著，藉由基準搬運車V1將教學單元TU載置在第2基準台MST2並檢出第1-2誤差。藉由此檢出，台車控制器C1的誤差取得部21C1，是將第2基準台MST2中的第1-2誤差取得(步驟S402)。由誤差取得部21C1所取得的第1-1誤差及第1-2誤差，是被存儲在資料存儲部25C1。接著，台車控制器C1(上位控制器CU)的偏離量算出部12CU，是算出第1-1誤差及第1-2誤差的差也就是偏離量(步驟S403)。被算出的偏離量(座標值)，是被存儲在資料存儲部17CU。
被存儲在資料存儲部17CU的偏離量，是藉由台車控制器C1(上位控制器CU)的偏離量送訊部13CU，各別朝其他的搬運車V2~Vm被送訊(步驟S403)。其他的搬運車V2~Vm，是藉由使用各別從基準搬運車V1的台車控制器C1被送訊的偏離量，即使由第1基準台MST1或是第2基準台MST2的其中任一將誤差檢出的情況，也可以將物品2正確地載置在移載終點LP。如此，即使台車控制器C1是包含上位控制器CU的情況，也可以縮短在搬運車V的教導所需要的時間。進一步，因為搬運車V的台車控制器C是作為上位控制器CU的功能，所以可以減少成本。
且在申請專利範圍、說明書及圖面中顯示的 系統、方法、裝置、程式及記錄媒體中的動作、步驟等的各處理的實行順序，只要不是將前處理的輸出由後處理使用的構成，可由任意的順序實現。且，有關上述的實施例中的動作，為了方便而使用「首先」、「下一個」、「接著」等說明，但此順序實施不是必須。且，只要法令容許，援用日本專利申請也就是日本特願2017-020227、及本說明書所引用的全部的文獻的內容作為本文的記載的一部分。
a2、a3:設備誤差
b1~b5:安裝誤差
B1~Bn:基準
C1~Cm:台車控制器(控制器)
CU:上位控制器(控制器)
LP1~LPn:第1~第n移載終點
MST1:第1基準台(第1移載終點LP1)
MST2:第2基準台(第2移載終點LP2)
N1~Nn:停止指標
R1~Rn:指標
S1、S2、S3:感測器
T:軌道
TU:教學單元
V1~V3:基準搬運車(第1~第3搬運車)
V4~Vm:第4~第m搬運車

Claims (4)

  1. 一種搬運系統，具備：橫跨複數移載終點地設置的軌道；及複數搬運車，具備：行走於前述軌道的行走體、及設於前述行走體將物品保持且朝前述移載終點將物品交付的移載裝置；及停止指標，是為了可藉由前述移載裝置朝前述移載終點的被決定的位置交付物品而被安裝在各前述移載終點，且用於顯示前述行走體的停止位置；及將前述搬運車控制的控制器；且在前述行走體依據前述停止指標而停止的狀態下，藉由前述移載裝置對於前述移載終點進行物品的交付，前述控制器，是依據：第1搬運車的第1行走體是依據第1移載終點的第1停止指標停止時的，藉由第1移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置的第1-1誤差；及求得前述第1-1誤差用的前述第1搬運車的前述第1行走體是依據第2移載終點的第2停止指標停止時的，藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第2移載終點的位置、及前述第2移載終點的被決定的位置之間的第1-2誤差；求得前述第1-1誤差及前述第1-2誤差之間的差也就是偏離量， 取得：前述第1搬運車的前述第1行走體是依據第n(n≧3且整數)移載終點的第n停止指標，對於前述第1移載終點及前述第2移載終點以外的至少1個移載終點停止時的，藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第n移載終點的位置、及前述第n移載終點的被決定的位置之間的第1-n誤差，對於前述第1搬運車以外的第m(m≧2且整數)搬運車，使用：前述第m搬運車的第m行走體是依據前述第1移載終點的前述第1停止指標停止時的，藉由第m移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置之間的第m-1誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置，依據前述第1-n誤差及前述第m-1誤差進行修正，或者是使用：前述第m搬運車的第m行走體是依據前述第2移載終點的前述第2停止指標停止時的，藉由第m移載裝置將物品載置在前述第2移載終點的位置、及前述第2移載終點的被決定的位置的第m-2誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置，依據前述第1-n誤差及前述第m-2誤差、進一步前述偏離量進行修正。
  2. 如申請專利範圍第1項的搬運系統，其中，前述第1-1誤差及前述第1-2誤差，是依據1個座標系中的座標值被求得，前述偏離量，是依據前述座標系中的座標值被求得。
  3. 如申請專利範圍第1或2項的搬運系統，其中，前述控制器，是將使用複數前述搬運車求得的複數前述偏離量進行統計處理，將所獲得的值作為前述偏離量使用。
  4. 一種搬運方法，具備：橫跨複數移載終點地設置的軌道；及複數搬運車，具備：行走於前述軌道的行走體、及設於前述行走體將物品保持且朝前述移載終點將物品交付的移載裝置；及停止指標，是為了可藉由前述移載裝置朝前述移載終點的被決定的位置交付物品而被安裝在各前述移載終點，且用於顯示前述行走體的停止位置；在前述行走體是依據前述停止指標而停止的狀態下，藉由前述移載裝置對於前述移載終點進行物品的交付的搬運系統中的搬運方法，使第1搬運車的第1行走體依據第1移載終點的第1停止指標停止，求得：藉由第1移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置之間的第1-1誤差，使求得前述第1-1誤差用的前述第1搬運車的前述第1行走體依據第2移載終點的第2停止指標停止，求得：藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第2移載終點的位置、 及前述第2移載終點的被決定的位置之間的第1-2誤差，求得前述第1-1誤差及前述第1-2誤差的差也就是偏離量，使前述第1搬運車的前述第1行走體依據第n(n≧3且整數)移載終點的第n停止指標對於前述第1移載終點及前述第2移載終點以外的至少1個移載終點停止，求得：藉由前述第1移載裝置將物品載置在前述第n移載終點的位置、及前述第n移載終點的被決定的位置之間的第1-n誤差，對於前述第1搬運車以外的第m(m≧2且整數)搬運車，是使前述第m搬運車的第m行走體依據前述第1移載終點的前述第1停止指標停止，求得：藉由第m移載裝置將物品載置在前述第1移載終點的位置、及前述第1移載終點的被決定的位置之間的第m-1誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置，依據前述第1-n誤差及前述第m-1誤差進行修正，或者是使前述第m搬運車的第m行走體依據前述第2移載終點的前述第2停止指標停止，求得：藉由第m移載裝置將物品載置在前述第2移載終點的位置、及前述第2移載終點的被決定的位置之間的第m-2誤差，將前述第m行走體對於前述第n移載終點的停止位置，依據前述第1-n誤差及前述第m-2誤差、進一步前述偏離量進行修正。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3896006A4 (en) * 2018-12-14 2022-08-10 Murata Machinery, Ltd. HANDLING VEHICLE
CN113625713B (zh) * 2021-08-11 2024-04-16 北京京东振世信息技术有限公司 自动引导运输车的控制方法和装置
CN113658890B (zh) * 2021-08-17 2023-09-29 长鑫存储技术有限公司 提高半导体设备产能的方法和系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1412103A (zh) * 2001-10-19 2003-04-23 株式会社大福 悬吊运送设备及其学习装置
JP2006219297A (ja) * 2005-01-13 2006-08-24 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
TW200821241A (en) * 2006-09-01 2008-05-16 Asyst Technologies Japan Inc Transported object storage system
TW200918420A (en) * 2007-08-03 2009-05-01 Asyst Technologies Japan Inc Transporting system, and teaching method in the transporting system
TW201016584A (en) * 2008-07-23 2010-05-01 Daifuku Kk Learning device and learning method for article transport facility
CN103964154A (zh) * 2012-10-08 2014-08-06 南京工程学院 一种组合定位控制系统的控制方法
TWM534739U (zh) * 2016-06-08 2017-01-01 E-Con Automation Co Ltd 由無人搬運車所讀取之二維條碼系統

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4296914B2 (ja) * 2003-12-08 2009-07-15 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 位置教示装置及びそれを備えた搬送システム
JP2007041687A (ja) 2005-08-01 2007-02-15 Murata Mach Ltd 搬送台車システム
JP2007323478A (ja) * 2006-06-02 2007-12-13 Murata Mach Ltd 台車
JP5256810B2 (ja) * 2008-03-24 2013-08-07 村田機械株式会社 保管庫装置及び保管庫付き搬送システム
JP5636849B2 (ja) * 2010-09-30 2014-12-10 村田機械株式会社 移載システム
GB201321423D0 (en) * 2013-12-04 2014-01-15 Metryx Ltd Semiconductor wafer processing methods and apparatus
EP3159923B1 (en) * 2014-06-19 2021-06-16 Murata Machinery, Ltd. Carrier buffering device and buffering method
JP6384195B2 (ja) * 2014-08-20 2018-09-05 株式会社安川電機 ロボットシステムおよびロボット教示方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1412103A (zh) * 2001-10-19 2003-04-23 株式会社大福 悬吊运送设备及其学习装置
JP2006219297A (ja) * 2005-01-13 2006-08-24 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
TW200821241A (en) * 2006-09-01 2008-05-16 Asyst Technologies Japan Inc Transported object storage system
TW200918420A (en) * 2007-08-03 2009-05-01 Asyst Technologies Japan Inc Transporting system, and teaching method in the transporting system
TW201016584A (en) * 2008-07-23 2010-05-01 Daifuku Kk Learning device and learning method for article transport facility
CN103964154A (zh) * 2012-10-08 2014-08-06 南京工程学院 一种组合定位控制系统的控制方法
TWM534739U (zh) * 2016-06-08 2017-01-01 E-Con Automation Co Ltd 由無人搬運車所讀取之二維條碼系統

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