JP2016222388A - 物品取扱設備 - Google Patents
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- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 claims abstract description 75
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract description 69
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 18
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 13
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 44
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 22
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 10
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
- G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
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- Quality & Reliability (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
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Abstract
Description
そして、管理装置は、物品取扱装置から受け取った情報に基づいて、物品取扱装置に対して異常時用作動を指令する等の処置を行うようになっている。
前記制御部は、前記状態情報に基づいて前記物品取扱装置が正常状態であるか異常状態であるかを判別するとともに、前記物品取扱装置が正常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が正常状態であることを示す正常判別情報からなる、又は、前記状態情報に基づいて生成される正常時情報と前記正常判別情報とからなる正常通知情報を前記管理装置に送信し、前記物品取扱装置が異常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が異常状態であることを示す異常判別情報と、前記状態情報に基づいて生成され、データ量及びデータ項目の少なくとも一方が前記正常時情報よりも多い異常時情報とからなる異常通知情報を前記管理装置に送信するように構成されている点を特徴とする。
また、制御部は、物品取扱装置が異常状態であると判別した場合に、物品取扱装置が異常状態であることを示す異常判別情報を含む異常通知情報を物品取扱装置の作動状態を管理する管理装置に送信するから、管理装置は、異常通知情報に含まれる異常判別情報に基づいて、物品取扱装置が異常状態であることを把握することができる。
また、本特徴構成によれば、制御部が、異常時情報のみでなく異常判別情報を管理装置に送信するから、異常時情報に基づいて管理装置が物品取扱装置の異常状態であるか否かを判別するような構成に比べて、早期に物品取扱装置が異常状態であることを把握することができる。
また、正常通知情報を、正常判別情報とデータ量及びデータ項目の少なくとも一方が期間状態情報よりも少ないサマリー情報とからなる情報とすることで、物品取扱装置が正常状態である場合に管理装置がその正常状態を把握できると同時に、物品取扱装置と管理装置との間の通信トラヒックの増加を的確に抑制することができる。
このように、物品取扱装置と管理装置との間の通信トラヒックの増加を抑制しながら、管理装置が物品取扱装置の異常内容を極力早く把握可能な物品処理設備を実現できる。
以下、図面に基づいて、本発明の物品取扱設備を半導体処理設備に適用した実施形態を説明する。
本実施形態の半導体処理設備には、図1に示すように、複数の半導体基板を収容するFOUP等の容器B(図2参照)を保管する複数の容器保管装置20と、容器Bから取り出した半導体基板に対してフォトリソグラフィーや洗浄、検査等の処理を行う複数の半導体処理装置50と、それら複数の容器保管装置20及び複数の半導体処理装置50との間で容器Bを搬送する天井搬送車10と、が設けられている。図2及び図4に示すように、天井搬送車10は、半導体工場の天井Cから吊り下げて支持された走行レールTに沿って走行可能に構成されている。
走行部11は、さらに、走行レールTの分岐部分において当該走行部11の進行方向を切換える操向案内輪W2を備えている。操向案内輪W2は、図示はしないが、走行レールTに沿って設けられる案内レールの一対の側面のうち一方に当接し、走行レールTの分岐部分では、当接する側面を切換えることによって、走行部11の進行方向を切換えることになる。
また、走行部11は、走行車輪W1を回転駆動する走行駆動部M1と、操向案内輪W2の位置を切換える操向駆動部M2とを備えている。
本実施形態において、天井搬送車10が物品搬送用の移動体に相当する。すなわち、物品取扱装置が、物品搬送用の天井搬送車10であり、天井搬送車10は、物品を支持自在であって移動経路(走行レールT)に沿って移動するように構成されている。
なお、上記走行駆動部M1、操向駆動部M2、及び昇降駆動部M3を駆動させるための電力は、走行レールTに支持され、走行レールTに沿って設けられる給電線(図示省略)から供給されるようになっている。
天井搬送車10は、上述の走行駆動部M1、操向駆動部M2、及び昇降駆動部M3のほか、作動に際して電力を必要とする各部に対し適切な電力を供給するための電源装置10Bを備えている。電源装置10Bは、給電線から供給された電力を昇圧又は降圧して所望の電圧値にしたり、給電線から供給された電力を所望の電流値にする等して、電力の供給対象に適切な電圧値又は電流値の電力を出力するようになっている。
本実施形態では、上記1秒分の計測値が期間状態情報に相当する。
天井搬送車10には、この管理装置Kとの間で情報の送受を行う通信部10Tが設けられている。通信部10Tは、半導体処理設備に設けられる無線基地局との間でデータを通信可能に構成されている。また、無線基地局は、LAN等の構内ネットワークを介して管理装置Kに接続されている。
すなわち、物品を搬送する天井搬送車10と、天井搬送車10の作動を制御する天井搬送車制御部10Hと、が設けられ、電源監視部10Dは、天井搬送車10の作動状態に係る情報である状態情報を収集するように構成されている。
このような半導体処理設備において、天井搬送車10の電源装置10Bに異常が生じた場合、当該天井搬送車10が作動しない、又は、作動を継続させることが好ましくない状態となる。そこで、管理装置Kは、異常が生じた天井搬送車10を搬送指令の指令対象から除外する等の処置を行うことになる。
本実施形態では、天井搬送車10に異常が生じた場合には、その異常状態を管理装置Kに通知するために、天井搬送車制御部10Hが、管理装置Kに自己の状態情報に基づく正常通知情報又は異常通知情報の送信を行っている。
天井搬送車制御部10Hは、電源監視部10Dが収集した電流値、電圧値、及び温度夫々の計測値に基づいてサマリー情報を生成するサマリー情報生成処理を実行する(#1)。
天井搬送車制御部10Hは、電流値、電圧値、及び温度の夫々について、異常判別用の許容範囲を記憶している。そして、電流値の最大値又は最小値が電流値の許容範囲を逸脱している状態、電圧値の最大値又は最小値が電圧値の許容範囲を逸脱している状態、又は、温度の最大値又は最小値が温度の許容範囲を逸脱している状態のうちの何れかが発生している場合に、電源装置10Bが異常状態であると判別するように構成されている(#2)。
すなわち、天井搬送車制御部10Hは、電源装置10Bの出力電圧、出力電流、及び温度のうち少なくとも1つが異常判別用の許容範囲を逸脱した場合に、異常状態と判別するように構成されている。
天井搬送車制御部10Hは、正常時用設定時間間隔として設定されている1秒後に、#1の処理に復帰する(#5)。本実施形態では、正常時用設定時間間隔が第1設定時間間隔に相当する。
すなわち、天井搬送車制御部10Hは、異常時情報として、異常時情報を生成する基礎となる状態情報を収集した時の天井搬送車10の位置を示す位置情報と、天井搬送車10が物品を支持していたか否かを示す情報とを、管理装置に送信するように構成されている。
すなわち、天井搬送車制御部10Hは、状態情報に基づいて天井搬送車10が正常状態であるか異常状態であるかを判別するとともに、天井搬送車10が正常状態であると判別した場合に、通知情報として、状態情報に基づいて生成される正常時情報と、天井搬送車10が正常状態であることを示す正常フラグと、からなる正常通知情報を管理装置Kに送信し、天井搬送車10が異常状態であると判別した場合に、通知情報として、天井搬送車10が異常状態であることを示す異常判別情報と、状態情報に基づいて生成される異常通知情報を管理装置Kに送信するように構成されている。
正常通知情報と異常通知情報との夫々のデータの大きさは、下記表2に示すように、異常通知情報の方が正常通知情報よりも大きくなる。なお、下記表2における各データサイズは、同表に例示したサイズに限定されるものではなく、必要なデータの種別や管理装置におけるデータの表現形式(実数型か倍精度実数型か等)によって変更され得るものである。
すなわち、異常時情報は、データ量及びデータ項目が正常時情報よりも多いものであり、さらに、天井搬送車制御部10Hは、一定時間(1回の正常時用設定時間間隔が経過する時間)内に収集した状態情報である期間状態情報に基づいて、データ量が前記期間状態情報よりも少ないサマリー情報を生成するサマリー情報生成処理を一定時間間隔ごとに繰り返し実行し、正常通知情報として、正常判別情報及びサマリー情報を管理装置Kに送信し、異常通知情報として、異常判別情報及び期間状態情報を管理装置Kに送信するように構成されている。
また、天井搬送車制御部10Hは、天井搬送車10が正常状態であると判別している間、正常通知情報を、管理装置Kに対して第1設定時間間隔(1秒)ごとに繰り返し送信するように構成され、天井搬送車10が異常状態であると判別している間、異常通知情報を、管理装置Kに対して第1設定時間間隔(1秒)よりも短い第2設定時間間隔(0.5秒)ごとに繰り返し送信するように構成されている。
以下、第2実施形態を説明するが、第2実施形態は、第1実施形態において物品取扱装置を容器保管装置20とした点のみが相違するものであるので、重複する点の説明は省略し、以下相違する点のみについて説明を加える。
容器保管装置20は、図4に示すように、上下方向に沿う壁体21で包囲された内部空間Yの内部に、容器Bを支持する複数の支持部21Qを横方向及び上下方向に複数並べて供え、支持部21Qにおける出し入れ方向前面側に、支持部21Qとの間で容器Bを授受可能な移載装置35を備えたスタッカークレーン30を備えている。
スタッカークレーン30は、上記横方向に沿って床面に設置された走行レールR上を走行する走行台車31と、走行台車31に立設された昇降マスト32と、昇降マスト32に沿って昇降する昇降体33と、を備え、移載装置35は昇降体33に支持されており、複数の支持部21Qの夫々、又は、後述するコンベヤ20Cの内部空間Y側端部の前面に移動して、支持部21Q又はコンベヤ20Cとの間で容器Bを移載するように構成されている。
また、容器保管装置20には、内部空間Yでの不純物粒子の浮遊を抑制するため、内部空間Yの上方から下方に向かう空気流を形成するためのファンユニット20F(上方側ファンユニット20F1及び下方側ファンユニット20F2)が設けられている。さらに、容器保管装置20には、内部空間Yの温度を検出する庫内温度センサ20Sが取り付けられている。
容器保管装置20において、スタッカークレーン30、コンベヤ20C、オートドア20A、ファンユニット20F、及び庫内温度センサ20S等は、電力によって作動するように構成され、容器保管装置20は、これらに対し適切な電圧で電力を供給するための電源装置20Bを備えている。
また、本容器保管装置20には、電源装置20Bによる電力の供給状態を監視する電源監視部20Dが設けられている。電源監視部20Dは、電源装置20Bが出力する電圧、及び、電源装置20Bの温度を検出し、保管装置制御部20Hの情報送信要求に応じて、その検出結果を保管装置制御部20Hに出力するようになっている。
本実施形態においては、容器保管装置20が物品取扱装置に相当し、保管装置制御部20H及び電源監視部20Dが制御部に相当する。また、上記電源監視部20Dが検出する電流値、電圧値、及び温度の情報(以下、計測生データと称する)が状態情報に相当し、計測値のうちの最大値、最小値、及び1000個の計測値の平均値がサマリー情報に相当する。
このような半導体処理設備において、容器保管装置20の電源装置20Bに異常が生じた場合、当該容器保管装置20が作動しない、又は、作動を継続させることが好ましくない状態となる。そこで、管理装置Kは、異常が生じた容器保管装置20を入庫対象としての搬送先から除外する等の処置を行うことになる。
本実施形態では、容器保管装置20に異常が生じた場合には、その異常状態を管理装置Kに通知するために、保管装置制御部20Hが、管理装置Kに自己の状態情報に基づく正常通知情報又は異常通知情報の送信を行っている。保管装置制御部20Hが実行する制御は、第1実施形態において図6のフローチャートに基づいて説明したものと同一である。
(1)上記第1及び第2実施形態においては、第1設定時間を1秒間隔で管理装置Kに送信し、かつ、異常通知情報を0.5秒間隔で管理装置Kに送信するように構成したが、正常通知情報の送信時間間隔及び異常通知情報の送信時間間隔は、上記の時間に限定されるものではなく、正常通知情報の送信時間間隔が異常通知情報の送信時間間隔よりも長ければ時間間隔は任意に設定可能である。
また、正常通知情報の送信時間間隔と異常通知情報の送信時間間隔とを同じとしてもよい。この場合、正常通知情報は装置が正常に作動していることを示す情報のみとし、異常通知情報は、装置の作動が異常であることを示す情報に加えて、異常発生時の装置の状態を示す各種の情報を付加した情報としてもよい。このようにすることで、物品取扱装置が正常に作動している状態においては、管理装置Kに送信する情報のトラヒックを極力削減するとともに、物品取扱装置に異常が生じている状態においては、管理装置Kに対して必要な情報を送信することができる。
さらに、上記実施形態では、物品取扱装置として、半導体処理設備において物品(容器B)を取り扱う装置を示したが、管理装置によって物品取扱装置の作動を管理する設備であれば、半導体処理設備以外の設備に適用してもよい。
20 容器保管装置(物品取扱装置)
10B 電源装置
10H(H) 天井搬送車制御部(制御部)
20B 電源装置
20H(H) 保管装置制御部(制御部)
B 容器(物品)
K 管理装置
T 走行レール(移動経路)
Claims (6)
- 物品を搬送又は保管する物品取扱装置と、
前記物品取扱装置の作動を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記物品取扱装置の作動状態に係る情報である状態情報を収集し、当該状態情報に基づく通知情報を、前記物品取扱装置の作動状態を管理する管理装置に送信するように構成された物品取扱設備であって、
前記制御部は、
前記状態情報に基づいて前記物品取扱装置が正常状態であるか異常状態であるかを判別するとともに、
前記物品取扱装置が正常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が正常状態であることを示す正常判別情報からなる、又は、前記状態情報に基づいて生成される正常時情報と前記正常判別情報とからなる正常通知情報を前記管理装置に送信し、
前記物品取扱装置が異常状態であると判別した場合に、前記通知情報として、前記物品取扱装置が異常状態であることを示す異常判別情報と、前記状態情報に基づいて生成され、データ量及びデータ項目の少なくとも一方が前記正常時情報よりも多い異常時情報とからなる異常通知情報を前記管理装置に送信するように構成されている物品取扱設備。 - 前記制御部は、一定時間内 に収集した前記状態情報である期間状態情報に基づいて、前記データ量及びデータ項目の少なくとも一方が前記期間状態情報よりも少ないサマリー情報を生成するサマリー情報生成処理を前記一定時間間隔ごとに繰り返し実行し、 前記正常通知情報として、前記正常判別情報及び前記サマリー情報を前記管理装置に送信し、前記異常通知情報として、前記異常情報及び前記期間状態情報を前記管理装置に送信するように構成されている請求項1に記載の物品取扱設備。
- 前記制御部は、前記物品取扱装置が正常状態であると判別している間、前記正常通知情報を、前記管理装置に対して第1設定時間間隔ごとに繰り返し送信するように構成され、前記物品取扱装置が異常状態であると判別している間、前記異常通知情報を、前記管理装置に対して第1設定時間間隔よりも短い第2設定時間間隔ごとに繰り返し送信するように構成されている請求項1又は2に記載の物品取扱設備。
- 前記状態情報が、前記物品取扱装置が備える電源装置の出力電圧、前記電源装置の出力電流、及び前記電源装置の温度のいずれか1つ以上に係る情報であり、
前記制御部は、前記出力電圧、前記出力電流、及び前記温度のうち少なくとも1つが異常判別用の許容範囲を逸脱した場合に、前記異常状態と判別するように構成されている請求項1から3の何れか1項に記載の物品取扱設備。 - 前記物品取扱装置が、物品搬送用の移動体であり、
前記移動体は、物品を支持自在であって移動経路に沿って移動し、
前記制御部は、前記異常時情報として、前記異常時情報を生成する基礎となる前記状態情報を収集した時の前記移動体の位置を示す位置情報を、前記管理装置に送信する請求項1から4の何れか1項に記載の物品取扱設備。 - 前記物品取扱装置が物品搬送用の移動体であり、
前記移動体は、物品を支持自在であって移動経路に沿って移動し、
前記制御部は、前記異常時情報として、前記異常時情報を生成する基礎となる前記状態情報を収集した時に前記移動体が物品を支持していたか否かを示す情報を、前記管理装置に送信する請求項1から5の何れか1項に記載の物品取扱設備。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015109089A JP6332147B2 (ja) | 2015-05-28 | 2015-05-28 | 物品取扱設備 |
TW105115223A TWI684928B (zh) | 2015-05-28 | 2016-05-17 | 物品處理設備 |
SG10201604126XA SG10201604126XA (en) | 2015-05-28 | 2016-05-23 | Article handling facility |
US15/162,940 US9573768B2 (en) | 2015-05-28 | 2016-05-24 | Article handling facility |
KR1020160063436A KR102422566B1 (ko) | 2015-05-28 | 2016-05-24 | 물품 취급 설비 |
CN201610359359.7A CN106200570B (zh) | 2015-05-28 | 2016-05-27 | 物品处置设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015109089A JP6332147B2 (ja) | 2015-05-28 | 2015-05-28 | 物品取扱設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016222388A true JP2016222388A (ja) | 2016-12-28 |
JP6332147B2 JP6332147B2 (ja) | 2018-05-30 |
Family
ID=57399450
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015109089A Active JP6332147B2 (ja) | 2015-05-28 | 2015-05-28 | 物品取扱設備 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9573768B2 (ja) |
JP (1) | JP6332147B2 (ja) |
KR (1) | KR102422566B1 (ja) |
CN (1) | CN106200570B (ja) |
SG (1) | SG10201604126XA (ja) |
TW (1) | TWI684928B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6531638B2 (ja) * | 2015-12-09 | 2019-06-19 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
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JP7081567B2 (ja) * | 2019-05-20 | 2022-06-07 | 株式会社ダイフク | 物品搬送装置 |
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CN104298194B (zh) * | 2014-09-12 | 2017-07-21 | 快意电梯股份有限公司 | 电梯远程监控系统中采集及传输数据的数据量压缩方法 |
-
2015
- 2015-05-28 JP JP2015109089A patent/JP6332147B2/ja active Active
-
2016
- 2016-05-17 TW TW105115223A patent/TWI684928B/zh active
- 2016-05-23 SG SG10201604126XA patent/SG10201604126XA/en unknown
- 2016-05-24 US US15/162,940 patent/US9573768B2/en active Active
- 2016-05-24 KR KR1020160063436A patent/KR102422566B1/ko active IP Right Grant
- 2016-05-27 CN CN201610359359.7A patent/CN106200570B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106200570A (zh) | 2016-12-07 |
US9573768B2 (en) | 2017-02-21 |
CN106200570B (zh) | 2020-04-24 |
SG10201604126XA (en) | 2016-12-29 |
TWI684928B (zh) | 2020-02-11 |
KR20160140426A (ko) | 2016-12-07 |
TW201705053A (zh) | 2017-02-01 |
US20160347551A1 (en) | 2016-12-01 |
KR102422566B1 (ko) | 2022-07-18 |
JP6332147B2 (ja) | 2018-05-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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