WO2022158098A1 - 搬送台車システム - Google Patents

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WO2022158098A1
WO2022158098A1 PCT/JP2021/042111 JP2021042111W WO2022158098A1 WO 2022158098 A1 WO2022158098 A1 WO 2022158098A1 JP 2021042111 W JP2021042111 W JP 2021042111W WO 2022158098 A1 WO2022158098 A1 WO 2022158098A1
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power supply
supply device
control device
carriage
temperature
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PCT/JP2021/042111
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章人 下村
徹 濱口
直樹 眞鍋
寛昭 泉
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村田機械株式会社
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Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a carriage system.
  • one aspect of the present invention aims to provide a carriage system that can prevent system failure.
  • a carriage system includes a carriage that travels along a track, a control device that controls the carriage, and a power supply device that is provided for each of a plurality of sections in which the track is divided.
  • Each of the plurality of power supply devices has a monitoring device that monitors the state of the power supply device, and a communication device that transmits the monitoring result of the monitoring device to the control device, and the control device receives the monitoring result. Control the carriage accordingly.
  • a power supply device is provided for each of a plurality of sections, the state of each power supply device is monitored by a monitoring device, and the carriage is controlled by a control device according to the monitoring results.
  • the control device determines whether or not the states of the plurality of power supply devices are in an abnormal state based on the monitoring results, and responds to the power supply device determined to be in an abnormal state.
  • the carriage existing in the section may be evacuated from the section. As a result, it is possible to effectively prevent the entire system from being adversely affected by the failure of the power supply device.
  • control device is a device that further controls the power supply device, and may stop the power supply device determined to be in an abnormal state. As a result, it is possible to effectively prevent the entire system from being adversely affected by the failure of the power supply device.
  • the control device determines whether or not the states of the plurality of power supply devices are in a warning state with a lower degree of abnormality than the abnormal state, based on the monitoring results. Acceleration of the carriage existing in the section corresponding to the power supply device determined to be may be limited. As a result, it is possible to effectively prevent the entire system from being adversely affected by the failure of the power supply device.
  • the control device determines that the power supply device is in an abnormal state and the abnormal state is a temperature abnormality
  • the abnormal state is determined.
  • Information about the temperature distribution in the power supply device may be transmitted from the communication device to the control device. This enables the user to easily grasp the temperature distribution that causes the temperature abnormality in the power supply device in the control device.
  • the monitoring result includes first information including at least one of temperature data and power data of the power supply device, and second information regarding whether the state of the power supply device is abnormal.
  • first information is transmitted from the communication device to the control device in a first cycle
  • second information is controlled from the communication device in a second cycle shorter than the first cycle when the power supply device is normal It may be directed to the device.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a carriage system according to one embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic front view of the carriage of FIG. 1 as seen from the running direction.
  • FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the power supply device of FIG. 1.
  • FIG. 4 is a diagram showing a display example to be displayed on the display section of the control device in FIG.
  • FIG. 5(a) is a flow chart showing a periodical monitoring process of the carriage system of FIG.
  • FIG. 5(b) is a flow chart illustrating the manual image acquisition process of the carrier system of FIG.
  • FIG. 6 is a flow chart showing an abnormality monitoring process of the carriage system of FIG.
  • the carriage system 1 is a system that transports articles 10 between a plurality of placement units 9 using a carriage 6, for example, in a factory or the like.
  • the carriage system 1 includes a carriage 6 that travels along a track 4, a plurality of placement units 9 on which articles 10 are placed, a controller 5 that controls the carriage 6, and supplies power to the carriage 6. and a power supply device 8 for
  • the article 10 includes, for example, a FOUP (Front Opening Unified Pod) for storing a plurality of semiconductor wafers, a container such as a reticle pod for storing a glass substrate, general parts, and the like.
  • FOUP Front Opening Unified Pod
  • the track 4 is, for example, a track laid near the ceiling, which is the overhead space of the worker.
  • the track 4 is suspended from the ceiling.
  • the track 4 is a predetermined running path for running the carriage 6 .
  • the track 4 is divided into a plurality of sections. In the illustrated example, the track 4 is divided into a first section 4X and a second section 4Y.
  • the track 4 is supported by the struts 40A.
  • the track 4 has a rail body 40 having a C-shaped cross section, which includes a pair of lower surface portions 40B, a pair of side surface portions 40C, and a top surface portion 40D, a power supply portion 40E, and a magnetic plate 40F.
  • the lower surface portion 40 ⁇ /b>B extends in the running direction of the carriage 6 and constitutes the lower surface of the rail body 40 .
  • the lower surface portion 40B is a plate-like member on which the traveling rollers 51 of the carriage 6 roll and travel.
  • the side surface portion 40 ⁇ /b>C extends in the running direction of the carriage 6 and constitutes the side surface of the rail body 40 .
  • the top surface portion 40 ⁇ /b>D extends in the traveling direction of the carriage 6 and constitutes the top surface of the rail body 40 .
  • the power supply unit 40E is a part that supplies power to the power receiving core 57 of the carrier 6 and transmits and receives signals to and from the carrier 6.
  • the power supply portion 40E is a power supply line fixed to each of the pair of side surface portions 40C and extending along the extending direction of the track 4 .
  • the power supply unit 40E supplies power to the power receiving core 57 in a non-contact manner.
  • a power supply unit 40E is provided for each of a plurality of sections of the track 4 .
  • the power supply unit 40E includes a first power supply unit 40EX extending along the track 4 in the first section 4X and a second power supply unit 40EY extending along the track 4 in the second section 4Y.
  • the magnetic plate 40F causes the LDM (Linear DC Motor) 59 of the carriage 6 to generate magnetic force for running or stopping.
  • the magnetic plate 40F is fixed to the top surface portion 40D and extends along the running direction.
  • the length, shape and layout of the track 4 are not limited to the illustrated example, and various lengths, shapes and layouts may be used.
  • the transport carriage 6 travels along the track 4 and transports the article 10.
  • the carriage 6 is configured to transfer the article 10 thereon.
  • the carriage 6 is an overhead traveling unmanned vehicle.
  • the number of carriages 6 included in the carriage system 1 is not particularly limited, and is one or more.
  • the transport vehicle 6 is also called, for example, a transport vehicle, an overhead transport vehicle, an overhead transport vehicle, or a running vehicle.
  • the carriage 6 has a main body portion 7 , a traveling portion 50 and a traveling vehicle controller 35 .
  • the body portion 7 has a body frame 22 , a lateral feed portion 24 , a ⁇ drive 26 , an elevation drive portion 28 , an elevation table 30 , and front and rear frames 33 .
  • the traverse section 24 collectively traverses the ⁇ drive 26 , the elevation drive section 28 and the elevation platform 30 in a direction perpendicular to the running direction of the track 4 .
  • the ⁇ drive 26 rotates at least one of the elevation drive unit 28 and the elevation table 30 within a predetermined angle range in the horizontal plane.
  • the lift drive unit 28 lifts and lowers the lift table 30 by winding up or drawing out a suspension material such as a belt, wire, or rope.
  • the lifting table 30 is provided with a chuck so that the article 10 can be freely grasped or released.
  • a pair of front and rear frames 33 are provided, for example, in front and rear in the traveling direction of the carriage 6 . The front and rear frames 33 prevent the article 10 from falling during transportation by making claws (not shown) appear and disappear.
  • the traveling unit 50 causes the carriage 6 to travel along the track 4.
  • the running section 50 has a running roller 51 , a side roller 52 , a power receiving core 57 and an LDM 59 .
  • the running rollers 51 are arranged at both the front and rear left and right ends of the running portion 50 .
  • the running rollers 51 roll on the pair of lower surface portions 40B of the track 4 .
  • the side rollers 52 are arranged so as to sandwich the running roller 51 in the front-rear direction.
  • the side roller 52 is provided so as to be able to contact the side surface portion 40C of the track 4 .
  • the power receiving cores 57 are arranged in front of and behind the running portion 50 so as to sandwich the LDM 59 in the left-right direction.
  • the power receiving core 57 performs non-contact power reception from the power supply unit 40 ⁇ /b>E arranged on the track 4 and non-contact transmission/reception of various signals to/from the traveling vehicle controller 35 .
  • the LDM 59 is provided before and after the traveling portion 50 .
  • the LDM 59 generates magnetic force for running or stopping.
  • the traveling vehicle controller 35 is an electronic control unit consisting of a CPU (Central Processing Unit), ROM (Read Only Memory), RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the traveling vehicle controller 35 controls various operations in the carriage 6 . Specifically, the traveling vehicle controller 35 controls the traveling section 50 , the lateral feeding section 24 , the ⁇ drive 26 , the elevation driving section 28 , and the platform 30 .
  • the traveling vehicle controller 35 can be configured as software in which, for example, a program stored in a ROM is loaded onto a RAM and executed by a CPU.
  • the traveling vehicle controller 35 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the traveling vehicle controller 35 communicates with the control device 5 using the power supply unit 40E and the like.
  • the placement section 9 is arranged along the track 4 .
  • the placement section 9 is provided at a position where the article 10 can be delivered by the carrier 6 .
  • the placement unit 9 includes a buffer on which the article 10 is temporarily placed, and a load port for delivering the article 10 to a processing device (not shown).
  • the control device 5 is an electronic control unit consisting of a CPU, ROM, RAM, and the like.
  • the control device 5 can be configured as software in which, for example, a program stored in a ROM is loaded onto a RAM and executed by a CPU.
  • the control device 5 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the control device 5 controls various operations in the carriage system 1 .
  • the control device 5 controls the carriage 6 and the power supply device 8 .
  • the control device 5 includes a display unit 5A such as a monitor for displaying various information, an input unit 5B such as a keyboard and a mouse for receiving various operation inputs from the user, and a storage unit 5C for storing various information. include.
  • the control device 5 is connected to the communication device 3.
  • the communication device 3 is a device that communicates with the power supply device 8 .
  • the communication device 3 outputs various information received from the power supply device 8 to the control device 5 .
  • the communication device 3 transmits various kinds of information input from the control device 5 to the power supply device 8 .
  • the communication device 3 is not particularly limited, and for example, a known communication converter can be used.
  • the control device 5 requests, via the communication device 3 , transmission of temperature power information (first information) relating to the temperature data and power data of the power supply devices 8 to the plurality of power supply devices 8 .
  • the control device 5 acquires the temperature power information transmitted from the power supply device 8 in response to the request via the communication device 3 .
  • the control device 5 requests, via the communication device 3, transmission of device status information (second information) regarding whether the state of the power supply device 8 is abnormal, warning, or normal, to the plurality of power supply devices 8. do.
  • the control device 5 acquires the device status information transmitted from the power supply device 8 in response to the request via the communication device 3 .
  • the control device 5 stores the acquired temperature power information and device state information in the storage unit 5C.
  • the power supply device 8 is provided for each of a plurality of sections of the track 4.
  • the power supply device 8 includes a power supply device 8X installed corresponding to the first section 4X of the track 4 and a power supply device 8Y installed corresponding to the second section 4Y of the track 4.
  • the power supply device 8X is connected to the first power supply section 40EX of the first section 4X.
  • the power supply device 8Y is connected to the second power supply portion 49EY of the second section 4Y.
  • the power supply device 8 has multiple non-contact temperature sensors 81 , current sensors 82 , power supply device control section 83 , and communication device 84 .
  • the non-contact temperature sensor 81 is a sensor that monitors the temperature of the power supply device 8 .
  • a thermopile array sensor for example, is used as the non-contact temperature sensor 81 .
  • Each of the plurality of non-contact temperature sensors 81 measures the temperature of each of the plurality of areas in the power supply device 8 in a non-contact manner.
  • Each non-contact temperature sensor 81 detects the temperature distribution of the area and outputs information about the temperature distribution to the power supply device control section 83 as temperature data.
  • a temperature distribution is associated with each identification number of the non-contact temperature sensor 81 .
  • the current sensor 82 is a sensor that monitors current at a predetermined measurement point within the power supply device 8 .
  • Current sensor 82 detects current at a predetermined measurement point, and outputs information about the current to power supply device control section 83 as current data.
  • the power supply device control section 83 is an electronic control unit consisting of a CPU, a ROM, a RAM, and the like.
  • the power supply device control unit 83 controls various operations in the power supply device 8 .
  • the power supply device control unit 83 can be configured as software in which, for example, a program stored in the ROM is loaded onto the RAM and executed by the CPU.
  • the power supply device control unit 83 may be configured as hardware such as an electronic circuit.
  • the power supply device control unit 83 determines whether the power supply device 8 is in an abnormal state, a warning state, or a normal state based on the temperature data and the power data.
  • the warning state is a state with a lower degree of abnormality than the abnormal state. For example, when the power data is greater than or equal to the first power threshold, the power supply device control unit 83 sets the state of the power supply device 8 to a warning state. For example, the power supply device control unit 83 sets the state of the power supply device 8 to an abnormal state when the power data is greater than or equal to a second power threshold that is larger than the first power threshold.
  • the power supply device control unit 83 sets the state of the power supply device 8 to a warning state when any of the highest temperatures in each temperature distribution of the temperature data is equal to or higher than the first temperature threshold. For example, the power supply device control unit 83 sets the state of the power supply device 8 to an abnormal state (abnormal temperature) when any of the highest temperatures in each temperature distribution of the temperature data is equal to or higher than a second temperature threshold that is larger than the first temperature threshold. do. In other cases, the power supply device control unit 83 sets the state of the power supply device 8 to the normal state.
  • an abnormal state abnormal temperature
  • the power supply device control unit 83 In response to a request from the control device 5, the power supply device control unit 83 outputs the result of determining whether the power supply device 8 is in an abnormal state, a warning state, or a normal state as device state information to the communication device 84. .
  • the data size of the device status information is, for example, 20 to 80 bytes. Device status information may consist of an error log.
  • the power supply device control section 83 In response to a request from the control device 5 , the power supply device control section 83 outputs temperature data and power data to the communication device 84 as temperature power information.
  • the data size of temperature power information is, for example, 80 to 204 bytes.
  • the non-contact temperature sensor 81 and the current sensor 82 constitute a monitoring device that monitors the state of the power supply device 8. Further, the temperature/power information and the device state information constitute the monitoring result of the state of the power supply device 8 monitored by the monitoring device (hereinafter also simply referred to as "monitoring result of the power supply device 8").
  • the communication device 84 is a device that communicates with the control device 5 via the communication device 3 .
  • the communication device 84 outputs various received information to the power supply device control section 83 .
  • the communication device 84 transmits various types of information input from the power supply device control section 83 to the control device 5 .
  • the communication device 84 transmits the monitoring result of the power supply device 8 to the control device 5 (details will be described later).
  • the communication device 84 is not particularly limited, and for example, a known communication converter can be used.
  • the control device 5 controls the carriage 6 according to the monitoring results of the power supply device 8 .
  • the control device 5 determines whether or not the states of the plurality of power supply devices 8 are abnormal based on the monitoring results of the power supply devices 8 .
  • the control device 5 prevents the carriage 6 from entering the section corresponding to the power supply device 8 determined to be in an abnormal state on the track 4. In addition to prohibiting, the carriage 6 existing in the section is withdrawn from the section.
  • the control device 5 stops the power feeding device 8 determined to be in an abnormal state. Stopping the power supply device 8 includes at least stopping power supply to the power supply unit 40 ⁇ /b>E connected to the power supply device 8 .
  • the control device 5 determines whether or not the states of the plurality of power supply devices 8 are in a warning state based on the monitoring results of the power supply devices 8 . When determining that at least one of the plurality of power supply devices 8 is in the warning state, the control device 5 adjusts the acceleration of the carriage 6 existing in the section corresponding to the power supply device 8 determined to be in the warning state on the track 4. Restrict.
  • the control device 5 When determining that at least one of the plurality of power supply devices 8 is in an abnormal state, the control device 5 further determines whether the abnormal state is a temperature abnormality. When the control device 5 determines that the abnormal state is temperature abnormality, the temperature data of the power supply device 8 determined to be in the abnormal state is transmitted from the communication device 84 of the power supply device 8 to the control device 5 . As a result, the controller 5 generates an image of the temperature distribution in which the temperature is abnormal based on the transmitted temperature data, and displays the temperature distribution image on the display section 5A. Details of various processes accompanying the processing of the control device 5 will be described later.
  • FIG. 4 is a diagram showing a display example displayed on the display unit 5A of the control device 5.
  • FIG. The display example shown in FIG. 4 is an example in which temperature abnormality has occurred in the power supply device 8 of PSP2 among the power supply device 8 of number PSP1 and the power supply device 8 of number PSP2.
  • the display unit 5A displays a temperature distribution image G1 relating to the temperature distribution of abnormal temperature in the power supply device 8 of the PSP 2 and its acquisition time.
  • various information about the power supply device 8 of the PSP 2 in which the temperature abnormality has occurred is displayed on the display section 5A.
  • Various information displayed on the display unit 5A includes, for example, the number of the power supply device 8, the state, whether it is in operation, power data, and the maximum temperature of each temperature distribution detected by each non-contact temperature sensor 81. .
  • the display of the display unit 5A for example, when the user clicks the "PSP1" button by operating the input unit 5B, the display can be switched to various information of the power supply device 8 of the PSP1. Further, when the user clicks an "image” button on the display unit 5A by operating the input unit 5B, the display can be switched to the corresponding image data of the temperature distribution of the non-contact temperature sensor 81. can. Further, in such a display on the display section 5A, for example, a "temperature bar" of the temperature distribution image G1 can be set by the user by operating the input section 5B.
  • step S1 the control device 5 confirms the temperature and power of all the power supply devices 8 (step S1). Specifically, in step S ⁇ b>1 , temperature power information is requested from the control device 5 to all the power supply devices 8 via the communication device 3 .
  • Each power supply device 8 receives the request via the communication device 84 and transmits the temperature power information to the communication device 3 in response to the request.
  • the control device 5 acquires temperature power information via the communication device 3 and stores the acquired temperature power information in the storage unit 5C.
  • the control device 5 updates the display of the display unit 5A so that the acquired temperature power information is displayed (step S2).
  • the display mode and display format of the display section 5A are not particularly limited, and may be various modes and formats (same below).
  • the process proceeds to step S1 in the next cycle, and the temperatures and powers of all the power supply devices 8 are checked again. That is, the temperature power information is transmitted from the communication device 84 to the control device 5 in the first cycle.
  • step S11 temperature power information is requested from the control device 5 to the target power supply device 8 via the communication device 3 in accordance with the operation received by the input unit 5B.
  • the target power supply device 8 receives the request via the communication device 84 and transmits the temperature power information to the communication device 3 in response to the request.
  • the control device 5 acquires the temperature power information via the communication device 3, acquires the target temperature distribution from the temperature data of the temperature power information, and generates a temperature distribution image based on the acquired temperature distribution using, for example, a known method. to obtain.
  • the control device 5 updates the display on the display unit 5A so that the acquired temperature distribution image is displayed.
  • the acquired temperature distribution image is stored in the storage unit 5C (step S12). This completes the manual image acquisition process.
  • the manual image acquisition process is set to have a lower priority than the above-described regular monitoring process. Therefore, when each process of the regular monitoring process is being executed, each process of the manual image acquisition process is not executed. .
  • the carriage system 1 periodically and repeatedly executes an abnormality monitoring process described below.
  • the control device 5 confirms the device status of all the power supply devices 8 (step S21). Specifically, in step S21, the control device 5 requests all the power supply devices 8 via the communication device 3 for the device status information.
  • Each power supply device 8 receives the request via the communication device 84 and transmits device status information to the communication device 3 in response to the request.
  • the control device 5 acquires device status information via the communication device 3 and stores the acquired device status information in the storage unit 5C.
  • control device 5 performs control determination for determining the device state of each power supply device 8 based on the acquired device state information (step S22).
  • the control device 5 refers to the device status information and determines whether each power supply device 8 is in an abnormal state, a warning state, or a normal state.
  • step S23 and NO in step S24 If none of the power supply devices 8 are in an abnormal state and are not in a warning state (NO in step S23 and NO in step S24), the series of processes in the current period ends, and the process proceeds to step S21 in the next period. Transition occurs in a second period (for example, 1 second) shorter than the first period. That is, the device status information is transmitted from the communication device 84 to the control device 5 in the second cycle shorter than the first cycle when the power supply device 8 is normal.
  • a second period for example, 1 second
  • step S23 the temperature and power of the power supply device 8 in the abnormal state are checked (step S25). Specifically, in step S25, the temperature power information is requested from the control device 5 to the power supply device 8 in the abnormal state via the communication device 3 .
  • the power supply device 8 in the abnormal state receives the request via the communication device 84 and transmits temperature power information to the communication device 3 in response to the request.
  • the control device 5 acquires temperature power information via the communication device 3 and stores the acquired temperature power information in the storage unit 5C.
  • step S26 the control device 5 updates the display of the display unit 5A so that the acquired temperature power information is displayed, and an abnormal section corresponding to the power supply device 8 determined to be in an abnormal state on the track 4.
  • route is closed (step S26).
  • the carriage 6 is prohibited from entering the abnormal section of the track 4, and the carriage 6 existing in the abnormal section is evacuated from the abnormal section.
  • some command for example, a travel command or a transport command
  • a command that does not pass through the abnormal section is assigned.
  • a command to travel outside the abnormal section is assigned to the carriage 6 existing in the abnormal section.
  • step S26 the control device 5 stops the power feeding device 8 determined to be in an abnormal state.
  • the control device 5 determines whether the abnormal state of the power supply device 8 is abnormal temperature based on the device status information of the power supply device 8 in the abnormal state (step S27). If the abnormal state of the power supply device 8 is temperature abnormality (YES in step S27), the control device 5 acquires a temperature distribution image related to the temperature distribution causing the temperature abnormality (step S28).
  • step S28 the temperature power information is requested from the control device 5 to the power supply device 8 in an abnormal state via the communication device 3.
  • the power supply device 8 in the abnormal state receives the request via the communication device 84 and transmits temperature power information to the communication device 3 in response to the request.
  • the control device 5 acquires the temperature power information via the communication device 3, and acquires the temperature distribution causing the temperature abnormality from the temperature data of the temperature power information. Based on the obtained temperature distribution, the control device 5 generates and obtains a temperature distribution image using, for example, a known method.
  • step S28 when the state of the power supply device 8 is determined to be abnormal by the control device 5 and the abnormal state is the temperature abnormality, the power supply device 8 determined to be in the abnormal state
  • the communication device 84 transmits information (temperature power information) on the temperature distribution inside.
  • the controller 5 updates the display of the display unit 5A so that the acquired temperature distribution image is displayed, and stores the acquired temperature distribution image in the storage unit 5C (step S29).
  • step S30 the temperature power information is requested from the control device 5 to the power supply device 8 in the warning state via the communication device 3 .
  • the power supply device 8 in the warning state receives the request via the communication device 84 and transmits temperature power information to the communication device 3 in response to the request.
  • the control device 5 acquires temperature power information via the communication device 3 and stores the acquired temperature power information in the storage unit 5C.
  • the control device 5 updates the display of the display unit 5A so that the acquired temperature power information is displayed, and the warning section that is the section corresponding to the power supply device 8 determined to be in the warning state on the track 4. limit the acceleration of the carriage 6 existing at (step S31).
  • the maximum acceleration of the command to be assigned to the carriage 6 existing in the warning section is set to a preset acceleration or less.
  • step S27 If NO in step S27, after step S29 or after step S31, the series of processes in the current period ends, and the process proceeds to step S21 in the next period.
  • the abnormality monitoring process has a lower priority than the regular monitoring process and the manual image acquisition process. , each processing of the abnormality monitoring process is not executed.
  • the power supply device 8 is provided for each of a plurality of sections formed by dividing the track 4, the state of each power supply device 8 is monitored by the non-contact temperature sensor 81 and the current sensor 82, and the power supply device The carriage 6 is controlled by the control device 5 according to the monitoring result of 8 .
  • the control device 5 can execute processing such that only a part of the system is down rather than the entire system is down. Therefore, it is possible to prevent system failure of the carriage system 1 .
  • the control device 5 determines whether the states of the plurality of power supply devices 8 are abnormal based on the monitoring results of the power supply devices 8.
  • the control device 5 prohibits the carriage 6 from entering the abnormal section corresponding to the power supply device 8 determined to be in an abnormal state, and evacuates the carriage 6 existing in the abnormal section from the abnormal section.
  • it is possible to effectively prevent the adverse effect of the failure of the power supply device 8 from affecting the entire system.
  • it is possible to continue the operation with reduced transport capacity.
  • the control device 5 stops the power supply device 8 determined to be in an abnormal state. As a result, it is possible to effectively prevent the adverse effect of the failure of the power supply device 8 from affecting the entire system. It is possible to prevent the problem of the power supply device 8 from progressing. This makes it easier to quickly restore the power supply device 8 from malfunction.
  • the control device 5 determines whether or not the states of the plurality of power supply devices 8 are in a warning state based on the monitoring results of the power supply devices 8, and responds to the power supply device 8 determined to be in a warning state. limit the acceleration of the carriage 6 existing in the warning zone. As a result, it is possible to effectively prevent the adverse effect of the failure of the power supply device 8 from affecting the entire system. In the carriage system 1, it is possible to continue the operation with reduced transport capacity.
  • the control device 5 determines that the state of the power supply device 8 is abnormal and the abnormal state is temperature abnormality
  • Temperature power information regarding the temperature distribution inside is transmitted from the communication device 84 to the control device 5 .
  • the control device 5 it is possible to display the temperature distribution in which the temperature of the power supply device 8 is abnormal on the display section 5A as a temperature distribution image. The user can easily grasp the temperature distribution of the temperature abnormality in the power supply device 8 in the control device 5 .
  • the temperature power information is transmitted from the communication device 84 to the control device 5 in the first cycle.
  • the device status information is transmitted from the communication device 84 to the control device 5 in a second cycle shorter than the first cycle when the power supply device 8 is normal.
  • the desired temperature/power information and device status information can be simply displayed by the display unit 5A. Also, the display on the display section 5A can be easily set and operated. In addition, it is possible to display the temperature distribution image of the temperature distribution related to the temperature abnormality on the display unit 5A by the user's operation or when the power supply device 8 is in an abnormal state.
  • the monitoring device is not limited to the non-contact temperature sensor 81 and the current sensor 82, and may be other sensors capable of monitoring the state of the power supply device 8.
  • the power supply device 8 may include only one of the non-contact temperature sensor 81 and the current sensor 82 .
  • the area where the non-contact temperature sensor 81 measures the temperature in the power supply device 8 is not limited, and may be various areas.
  • the measurement point at which the current sensor 82 in the power supply device 8 measures the current is not limited, and various measurement points may be used.
  • the first cycle when the communication device 84 transmits the temperature power information and the second cycle when the communication device 84 transmits the device state information are not particularly limited, and the second cycle is the second cycle. It should be shorter than one cycle.
  • the first period and the second period may be fixed values, or may be variable values that fluctuate depending on the situation.
  • the control device 5 may issue a notification (for example, a warning on the display unit 5A) to call attention to the power supply device 8. .
  • the above-described embodiment may include a plurality of units each composed of a plurality of power supply devices 8 and a control device 5 .
  • a host control device that supervises the plurality of control devices 5 may be provided.
  • the above embodiments may include a data server that manages data for the entire system.
  • the above embodiments may include an overall control device that controls the entire system.
  • wireless communication may be used for part or all of the communication, or wired communication may be used.
  • the LAN line of the facility where the carriage system 1 is installed may be used for part or all of the communication.
  • the power supply device 8 in an abnormal state is stopped, the carriage 6 is prohibited from entering the abnormal section, the carriage 6 that exists in the abnormal section is withdrawn from the abnormal section, and the warning section exists. At least one of these should be executed.
  • SYMBOLS 1 Carriage system, 4... Track, 4X... 1st section (section), 4Y... 2nd section (section), 5... Control device, 6... Carriage, 8, 8X, 8Y... Power feeding device, 81... Non Contact temperature sensor (monitoring device), 82 current sensor (monitoring device), 84 communication device.

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Abstract

搬送台車システムは、軌道に沿って走行する搬送台車と、搬送台車を制御する制御装置と、軌道が区分けされてなる複数の区間ごとに設けられた給電装置と、を備える。複数の給電装置のそれぞれは、当該給電装置の状態を監視する監視装置と、監視装置による監視結果を制御装置に向けて送信する通信装置と、を有する。制御装置は、監視結果に応じて搬送台車を制御する。

Description

搬送台車システム
　本発明の一側面は、搬送台車システムに関する。
　搬送台車システムとして、軌道に沿って走行する搬送台車と、搬送台車を制御する制御装置と、を備えたシステムが知られている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１３－３５６７０号公報
　上述したような技術では、例えばシステムの給電装置に不具合が発生した場合、システムの全体がダウンする（正常な稼働状態ではなくなる）システムダウンが生じるおそれがある。
　そこで、本発明の一側面は、システムダウンを防止することができる搬送台車システムを提供することを目的とする。
　本発明の一側面に係る搬送台車システムは、軌道に沿って走行する搬送台車と、搬送台車を制御する制御装置と、軌道が区分けされてなる複数の区間ごとに設けられた給電装置と、を備え、複数の給電装置のそれぞれは、当該給電装置の状態を監視する監視装置と、監視装置による監視結果を制御装置に向けて送信する通信装置と、を有し、制御装置は、監視結果に応じて搬送台車を制御する。
　この搬送台車システムでは、複数の区間ごとに給電装置が設けられ、各給電装置の状態が監視装置で監視され、その監視結果に応じて搬送台車が制御装置により制御される。これにより、給電装置に不具合が発生した場合には、システムの全体のダウンではなく一部のダウンに留まるような処理を、制御装置により実行することが可能となる。したがって、搬送台車システムのシステムダウンを防止することが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送台車システムでは、制御装置は、監視結果に基づいて、複数の給電装置の状態が異常状態か否かを判定し、異常状態であると判定した給電装置に対応する区間への搬送台車への進入を禁止すると共に、当該区間に存在する搬送台車を当該区間から退避させてもよい。これにより、給電装置の不具合による悪影響がシステムの全体に及ぶのを効果的に抑えることができる。
　本発明の一側面に係る搬送台車システムでは、制御装置は、給電装置を更に制御する装置であって、異常状態であると判定した給電装置を停止させてもよい。これにより、給電装置の不具合による悪影響がシステムの全体に及ぶのを効果的に抑えることができる。
　本発明の一側面に係る搬送台車システムでは、制御装置は、監視結果に基づいて、複数の給電装置の状態が、異常状態よりも異常の度合いが低い警告状態か否かを判定し、警告状態であると判定した給電装置に対応する区間に存在する搬送台車の加速度を制限してもよい。これにより、給電装置の不具合による悪影響がシステムの全体に及ぶのを効果的に抑えることができる。
　本発明の一側面に係る搬送台車システムでは、制御装置により給電装置の状態が異常状態であると判定された場合であって、当該異常状態が温度異常であるときには、当該異常状態であると判定した給電装置内の温度分布に関する情報が通信装置から制御装置に向けて送信されてもよい。これにより、ユーザは、給電装置における温度異常となる温度分布を、制御装置において容易に把握することが可能となる。
　本発明の一側面に係る搬送台車システムでは、監視結果は、給電装置の温度データ及び電力データの少なくとも何れかを含む第１情報と、給電装置の状態が異常状態か否かに関する第２情報と、を含み、第１情報は、第１周期で通信装置から制御装置に向けて送信され、第２情報は、給電装置が正常な場合に第１周期よりも短い第２周期で通信装置から制御装置に向けて送信されてもよい。これにより、第１情報及び第２情報が給電装置から制御装置に周期的に送信される場合、データ容量が第２情報よりも大きい第１情報の通信周期が、第２情報の通信周期よりも長くなる。したがって、通信装置の通信量を抑えることができる。
　本発明の一側面によれば、システムダウンを防止することができる搬送台車システムを提供することが可能となる。
図１は、一実施形態に係る搬送台車システムを示す概略図である。 図２は、図１の搬送台車を走行方向から見た正面概略図である。 図３は、図１の給電装置の構成を示すブロック図である。 図４は、図１の制御装置の表示部に表示させる表示例を示す図である。 図５（ａ）は、図１の搬送台車システムの定期監視プロセスを示すフローチャートである。図５（ｂ）は、図１の搬送台車システムの手動画像取得プロセスを示すフローチャートである。 図６は、図１の搬送台車システムの異常監視プロセスを示すフローチャートである。
　以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。「上」「下」の語は、鉛直方向に対応し、「前」「後」の語は走行車の進行方向に対応し、「左」「右」の語は上下方向及び前後方向と直交する方向に対応する。
　図１及び図２に示されるように、搬送台車システム１は、例えば工場等において、搬送台車６を用いて物品１０を複数の載置部９の間で搬送するシステムである。搬送台車システム１は、軌道４に沿って走行する搬送台車６と、物品１０が載置される複数の載置部９と、搬送台車６を制御する制御装置５と、搬送台車６に給電するための給電装置８と、を備える。物品１０には、例えば、複数の半導体ウェハを格納するＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）及びガラス基板を格納するレチクルポッド等のような容器、並びに一般部品等が含まれる。
　軌道４は、例えば、作業者の頭上スペースである天井付近に敷設された軌道である。軌道４は、天井から吊り下げられている。軌道４は、搬送台車６を走行させるための予め定められた走行路である。軌道４は、複数の区間に区分けされている。図示する例では、軌道４は、第１区間４Ｘ及び第２区間４Ｙに区分けされている。
　軌道４は、支柱４０Ａにより支持される。軌道４は、一対の下面部４０Ｂと一対の側面部４０Ｃと天面部４０Ｄとからなる断面Ｃ字形状のレール本体４０と、給電部４０Ｅと、磁気プレート４０Ｆと、を有する。下面部４０Ｂは、搬送台車６の走行方向に延在し、レール本体４０の下面を構成する。下面部４０Ｂは、搬送台車６の走行ローラ５１が転動して走行する板状部材である。側面部４０Ｃは、搬送台車６の走行方向に延在し、レール本体４０の側面を構成する。天面部４０Ｄは、搬送台車６の走行方向に延在し、レール本体４０の上面を構成する。
　給電部４０Ｅは、搬送台車６の受電コア５７に電力を供給すると共に、搬送台車６と信号の送受信を行なう部位である。給電部４０Ｅは、一対の側面部４０Ｃのそれぞれに固定され、軌道４の延在方向に沿って延在する給電線である。給電部４０Ｅは、受電コア５７に対して非接触の状態で電力を供給する。給電部４０Ｅは、軌道４の複数の区間ごとに設けられている。給電部４０Ｅは、第１区間４Ｘの軌道４に沿って延在する第１給電部４０ＥＸと、第２区間４Ｙの軌道４に沿って延在する第２給電部４０ＥＹと、を含む。
　磁気プレート４０Ｆは、搬送台車６のＬＤＭ（Linear　DC　Motor）５９に走行又は停止のための磁力を発生させる。磁気プレート４０Ｆは、天面部４０Ｄに固定され、走行方向に沿って延在している。なお、軌道４の長さ、形状及びレイアウトは、図示する例に限定されず、種々の長さ、形状及びレイアウトであってもよい。
　搬送台車６は、軌道４に沿って走行し、物品１０を搬送する。搬送台車６は、物品１０を移載可能に構成されている。搬送台車６は、天井走行式無人走行車である。搬送台車システム１が備える搬送台車６の台数は、特に限定されず、１又は複数である。搬送台車６は、例えば搬送車、天井走行車、天井搬送車（overhead transport vehicle）、又は、走行台車とも称される。搬送台車６は、本体部７と、走行部５０と、走行車コントローラ３５と、を有する。本体部７は、本体フレーム２２と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、前後フレーム３３と、を有する。
　横送り部２４は、θドライブ２６、昇降駆動部２８及び昇降台３０を一括して、軌道４の走行方向と直角な方向に横送りする。θドライブ２６は、昇降駆動部２８及び昇降台３０の少なくとも何れかを水平面内で所定の角度範囲内で回動させる。昇降駆動部２８は、ベルト、ワイヤ及びロープ等の吊持材を巻き取るあるいは繰り出すことによって昇降台３０を昇降させる。昇降台３０には、チャックが設けられており、物品１０の把持又は解放が自在とされている。前後フレーム３３は、例えば搬送台車６の走行方向の前後に一対設けられている。前後フレーム３３は、図示しない爪等を出没させて、搬送中に物品１０が落下することを防止する。
　走行部５０は、搬送台車６を軌道４に沿って走行させる。走行部５０は、走行ローラ５１、サイドローラ５２、受電コア５７及びＬＤＭ５９を有する。走行ローラ５１は、走行部５０の前後の左右両端に配置されている。走行ローラ５１は、軌道４の一対の下面部４０Ｂを転動する。サイドローラ５２は、走行ローラ５１を前後方向に挟むように配置されている。サイドローラ５２は、軌道４の側面部４０Ｃに接触可能に設けられている。受電コア５７は、走行部５０の前後に、左右方向にＬＤＭ５９を挟むように配置されている。受電コア５７は、軌道４に配置された給電部４０Ｅからの非接触による受電と、走行車コントローラ３５との間での非接触による各種信号の送受信と、を行う。ＬＤＭ５９は、走行部５０の前後に設けられている。ＬＤＭ５９は、走行又は停止のための磁力を発生させる。
　走行車コントローラ３５は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ（Random　Access　Memory）等からなる電子制御ユニットである。走行車コントローラ３５は、搬送台車６における各種動作を制御する。具体的には、走行車コントローラ３５は、走行部５０と、横送り部２４と、θドライブ２６と、昇降駆動部２８と、昇降台３０と、を制御する。走行車コントローラ３５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。走行車コントローラ３５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。走行車コントローラ３５は、給電部４０Ｅ等を利用して、制御装置５と通信を行う。
　載置部９は、軌道４に沿って配置されている。載置部９は、搬送台車６によって物品１０の受け渡しが可能な位置に設けられている。載置部９には、物品１０が一時的に載置されるバッファ、及び、処理装置（図示せず）に対して物品１０の受け渡しを行うためのロードポートが含まれる。
　制御装置５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。制御装置５は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。制御装置５は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。制御装置５は、搬送台車システム１における各種動作を制御する。制御装置５は、搬送台車６及び給電装置８を制御する。制御装置５は、各種の情報を表示するモニタ等の表示部５Ａと、ユーザからの各種の操作入力を受け付けるキーボード及びマウス等の入力部５Ｂと、各種の情報を記憶する記憶部５Ｃと、を含む。
　制御装置５は、通信装置３に接続されている。通信装置３は、給電装置８との間で通信を行う装置である。通信装置３は、給電装置８から受信した各種の情報を制御装置５へ出力する。通信装置３は、制御装置５から入力された各種の情報を給電装置８へ送信する。通信装置３としては、特に限定されず、例えば公知の通信コンバータを用いることができる。
　制御装置５は、複数の給電装置８に対して、その給電装置８の温度データ及び電力データに関する温度電力情報（第１情報）の送信の要求を、通信装置３を介して行う。制御装置５は、当該要求に応じて給電装置８から送信された温度電力情報を、通信装置３を介して取得する。制御装置５は、複数の給電装置８に対して、その給電装置８の状態が異常状態か警告状態か正常状態かに関する装置状態情報（第２情報）の送信の要求を、通信装置３を介して行う。制御装置５は、当該要求に応じて給電装置８から送信された装置状態情報を、通信装置３を介して取得する。制御装置５は、取得した温度電力情報及び装置状態情報を記憶部５Ｃに記憶する。
　給電装置８は、軌道４の複数の区間ごとに設けられている。ここでは、給電装置８は、軌道４の第１区間４Ｘに対応して設置された給電装置８Ｘと、軌道４の第２区間４Ｙに対応して設置された給電装置８Ｙと、を含む。給電装置８Ｘは、第１区間４Ｘの第１給電部４０ＥＸに接続されている。給電装置８Ｙは、第２区間４Ｙの第２給電部４９ＥＹに接続されている。
　図３に示されるように、給電装置８は、複数の非接触温度センサ８１と、電流センサ８２と、給電装置制御部８３と、通信装置８４と、を有する。非接触温度センサ８１は、給電装置８の温度を監視するセンサである。非接触温度センサ８１としては、例えばサーモパイルアレイセンサが用いられている。複数の非接触温度センサ８１のそれぞれは、給電装置８内における互いに異なる複数のエリアのそれぞれの温度を、非接触で測定する。各非接触温度センサ８１は、そのエリアの温度分布を検出し、当該温度分布に関する情報を温度データとして給電装置制御部８３へ出力する。例えば温度データでは、温度分布が非接触温度センサ８１の各識別番号と関連付けられている。電流センサ８２は、給電装置８内における所定の測定ポイントの電流を監視するセンサである。電流センサ８２は、所定の測定ポイントの電流を検出し、当該電流に関する情報を電流データとして給電装置制御部８３へ出力する。
　給電装置制御部８３は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなる電子制御ユニットである。給電装置制御部８３は、給電装置８における各種動作を制御する。給電装置制御部８３は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。給電装置制御部８３は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。
　給電装置制御部８３は、温度データ及び電力データに基づいて、給電装置８が異常状態、警告状態及び正常状態のいずれであるかを判別する。警告状態は、異常状態よりも異常の度合いが低い状態である。例えば給電装置制御部８３は、電力データが第１電力閾値以上の場合、給電装置８の状態を警告状態とする。例えば給電装置制御部８３は、電力データが、第１電力閾値よりも大きい第２電力閾値以上の場合、給電装置８の状態を異常状態とする。例えば給電装置制御部８３は、温度データの各温度分布の最高温度の何れかが第１温度閾値以上の場合、給電装置８の状態を警告状態とする。例えば給電装置制御部８３は、温度データの各温度分布の最高温度の何れかが、第１温度閾値よりも大きい第２温度閾値以上の場合、給電装置８の状態を異常状態（温度異常）とする。これら以外の場合、給電装置制御部８３は、給電装置８の状態を正常状態とする。
　給電装置制御部８３は、制御装置５からの要求に応じて、給電装置８が異常状態、警告状態及び正常状態のいずれであるかを判別した結果を、装置状態情報として通信装置８４へ出力する。装置状態情報のデータサイズは、例えば２０～８０ｂｙｔｅである。装置状態情報は、エラーログにより構成されてもよい。給電装置制御部８３は、制御装置５からの要求に応じて、温度データ及び電力データを温度電力情報として通信装置８４へ出力する。温度電力情報のデータサイズは、例えば８０～２０４ｂｙｔｅである。
　なお、非接触温度センサ８１及び電流センサ８２は、給電装置８の状態を監視する監視装置を構成する。また、温度電力情報及び装置状態情報は、監視装置により監視した給電装置８の状態の監視結果（以下、単に「給電装置８の監視結果」とも称する）を構成する。
　通信装置８４は、制御装置５との間で通信装置３を介して通信を行う装置である。通信装置８４は、受信した各種の情報を給電装置制御部８３へ出力する。通信装置８４は、給電装置制御部８３から入力された各種の情報を制御装置５に向けて送信する。通信装置８４は、給電装置８の監視結果を制御装置５に向けて送信する（詳しくは、後述する）。通信装置８４としては、特に限定されず、例えば公知の通信コンバータを用いることができる。
　本実施形態では、制御装置５は、給電装置８の監視結果に応じて搬送台車６を制御する。制御装置５は、給電装置８の監視結果に基づいて、複数の給電装置８の状態が異常状態か否かを判定する。制御装置５は、複数の給電装置８の少なくとも何れかが異常状態であると判定した場合、軌道４において異常状態であると判定した給電装置８に対応する区間への搬送台車６への進入を禁止すると共に、当該区間に存在する搬送台車６を当該区間から退避させる。制御装置５は、異常状態であると判定した給電装置８を停止させる。給電装置８の停止は、当該給電装置８と接続された給電部４０Ｅへの給電の停止を少なくとも含む。
　制御装置５は、給電装置８の監視結果に基づいて、複数の給電装置８の状態が警告状態か否かを判定する。制御装置５は、複数の給電装置８の少なくとも何れかが警告状態であると判定した場合、軌道４において警告状態であると判定した給電装置８に対応する区間に存在する搬送台車６の加速度を制限する。
　制御装置５は、複数の給電装置８の少なくとも何れかが異常状態であると判定した場合、その異常状態が温度異常であるかどうかを更に判定する。制御装置５により異常状態が温度異常であると判定された場合、当該異常状態であると判定した給電装置８の温度データを、給電装置８の通信装置８４から制御装置５へ送信する。これにより、制御装置５では、送信された温度データに基づいて温度異常となる温度分布の画像を生成し、当該温度分布画像を表示部５Ａに表示する。制御装置５の処理を伴う各種のプロセスの詳細については後述する。
　図４は、制御装置５の表示部５Ａに表示させる表示例を示す図である。図４に示される表示例は、番号がＰＳＰ１の給電装置８と番号がＰＳＰ２の給電装置８とのうち、ＰＳＰ２の給電装置８に温度異常が発生している場合の例である。表示部５Ａには、ＰＳＰ２の給電装置８における温度異常の温度分布に係る温度分布画像Ｇ１とその取得時刻とが表示されている。これに併せて、表示部５Ａには、温度異常が発生したＰＳＰ２の給電装置８の各種情報が表示されている。表示部５Ａに表示される各種情報としては、例えば、給電装置８の番号、状態、運用中か否か、電力データ、各非接触温度センサ８１で検出された温度分布それぞれの最高温度が含まれる。
　なお、このような表示部５Ａの表示において、例えばユーザが「ＰＳＰ１」のボタンを入力部５Ｂの操作によりクリックすると、ＰＳＰ１の給電装置８の各種情報へ表示を切り替えることができる。また、このような表示部５Ａの表示において、例えばユーザが「画像」のボタンを入力部５Ｂの操作によりクリックすると、それに対応する非接触温度センサ８１の温度分布の画像データへ表示を切り替えることができる。また、このような表示部５Ａの表示において、例えば温度分布画像Ｇ１の「温度バー」を、ユーザが入力部５Ｂの操作により設定することができる。
　次に、本実施形態の搬送台車システム１で実行される各種のプロセスを説明する。
［定期監視プロセス］
　搬送台車システム１では、次の定期監視プロセスを第１周期（例えば１０秒）で周期的に繰り返し実行する。定期監視プロセスでは、図５（ａ）に示されるように、まず、制御装置５により全ての給電装置８の温度及び電力を確認する（ステップＳ１）。ステップＳ１では、具体的には、制御装置５から全ての給電装置８へ通信装置３を介して温度電力情報の要求を行う。各給電装置８は、通信装置８４を介して、当該要求を受信すると共に当該要求に応じて温度電力情報を通信装置３へ送信する。制御装置５は、通信装置３を介して温度電力情報を取得し、取得した温度電力情報を記憶部５Ｃに保存する。
　続いて、制御装置５により、取得した温度電力情報が表示されるように表示部５Ａの表示を更新する（ステップＳ２）。表示部５Ａの表示態様及び表示形式は特に限定されず、様々な態様及び形式であってもよい（以下、同じ）。その後、次周期の上記ステップＳ１の処理へ移行し、全ての給電装置８の温度及び電力を再び確認する。すなわち、温度電力情報は、第１周期で通信装置８４から制御装置５へ送信される。
［手動画像取得プロセス］
　搬送台車システム１では、入力部５Ｂにおいて、ある給電装置８の非接触温度センサ８１で検出された温度分布の温度分布画像を表示部５Ａに表示させる操作がユーザによりなされると、次の手動画像取得プロセスを実行する。手動画像取得プロセスでは、図５（ｂ）に示されるように、まず、制御装置５により、表示させる対象の温度分布画像を取得する（ステップＳ１１）。
　ステップＳ１１では、具体的には、入力部５Ｂで受け付けた操作に応じて、制御装置５から対象の給電装置８へ、通信装置３を介して温度電力情報の要求を行う。対象の給電装置８は、通信装置８４を介して、当該要求を受信すると共に当該要求に応じて温度電力情報を通信装置３へ送信する。制御装置５は、通信装置３を介して温度電力情報を取得し、温度電力情報の温度データから対象の温度分布を取得し、取得した温度分布に基づき例えば公知手法を用いて温度分布画像を生成して取得する。
　続いて、取得した温度分布画像が表示されるように、制御装置５により表示部５Ａの表示を更新する。これと共に、取得した温度分布画像を記憶部５Ｃに保存する（ステップＳ１２）。以上により、手動画像取得プロセスが終了する。なお、手動画像取得プロセスは、上述の定期監視プロセスよりも優先度が低く設定されており、そのため、定期監視プロセスの各処理が実行中の場合には、手動画像取得プロセスの各処理は実行されない。
［異常監視プロセス］
　搬送台車システム１では、次に説明する異常監視プロセスを周期的に繰り返し実行する。異常監視プロセスでは、図６に示されるように、まず、制御装置５により全ての給電装置８の装置状態を確認する（ステップＳ２１）。ステップＳ２１では、具体的には、制御装置５から全ての給電装置８へ通信装置３を介して装置状態情報の要求を行う。各給電装置８は、通信装置８４を介して、当該要求を受信すると共に当該要求に応じて装置状態情報を通信装置３へ送信する。制御装置５は、通信装置３を介して装置状態情報を取得し、取得した装置状態情報を記憶部５Ｃに保存する。
　続いて、制御装置５により、取得した装置状態情報に基づいて、各給電装置８の装置状態を判定する制御判定を行う（ステップＳ２２）。ステップＳ２２では、制御装置５は、装置状態情報を参照して、各給電装置８が異常状態であるか、警告状態であるか、正常状態であるかを判定する。
　全ての給電装置８が異常状態ではなく且つ警告状態でも無い場合（ステップＳ２３でＮＯ及びステップＳ２４でＮＯの場合）、現周期の一連の処理は終了し、次周期の上記ステップＳ２１の処理へ、第１周期よりも短い第２周期（例えば１秒）で移行する。すなわち、装置状態情報は、給電装置８が正常な場合に第１周期よりも短い第２周期で通信装置８４から制御装置５へ送信される。
　一方、少なくとも１つの給電装置８が異常状態である場合（ステップＳ２３でＹＥＳの場合）、その異常状態の給電装置８の温度及び電力を確認する（ステップＳ２５）。ステップＳ２５では、具体的には、制御装置５から異常状態の給電装置８へ通信装置３を介して温度電力情報の要求を行う。異常状態の給電装置８は、通信装置８４を介して、当該要求を受信すると共に当該要求に応じて温度電力情報を通信装置３へ送信する。制御装置５は、通信装置３を介して温度電力情報を取得し、取得した温度電力情報を記憶部５Ｃに保存する。
　続いて、制御装置５により、取得した温度電力情報が表示されるように表示部５Ａの表示を更新すると共に、軌道４において異常状態であると判定した給電装置８に対応する区間である異常区間をルート閉鎖する（ステップＳ２６）。ステップＳ２６のルート閉鎖では、軌道４の異常区間への搬送台車６への進入を禁止すると共に、異常区間に存在する搬送台車６を異常区間から退避させる。例えばステップＳ２６のルート閉鎖では、搬送台車６に何らかの指令（例えば走行指令又は搬送指令）を割り付ける場合、異常区間を通らない指令を割り付ける。例えばステップＳ２６のルート閉鎖では、異常区間に存在する搬送台車６に対して、異常区間外へ走行させる指令を割り付ける。また、ステップＳ２６では、制御装置５により、異常状態であると判定した給電装置８を停止させる。
　続いて、制御装置５により、異常状態の給電装置８の装置状態情報に基づいて、給電装置８の異常状態が温度異常であるか否かを判定する（ステップＳ２７）。給電装置８の異常状態が温度異常である場合（ステップＳ２７でＹＥＳの場合）、制御装置５により、当該温度異常となる温度分布に係る温度分布画像を取得する（ステップＳ２８）。
　ステップＳ２８では、具体的には、制御装置５から異常状態の給電装置８へ、通信装置３を介して温度電力情報の要求を行う。異常状態の給電装置８は、通信装置８４を介して、当該要求を受信すると共に当該要求に応じて温度電力情報を通信装置３へ送信する。制御装置５は、通信装置３を介して温度電力情報を取得し、温度電力情報の温度データから温度異常となる温度分布を取得する。制御装置５は、取得した温度分布に基づき、例えば公知手法を用いて温度分布画像を生成して取得する。すなわち、ステップＳ２８では、制御装置５により給電装置８の状態が異常状態であると判定された場合であって、当該異常状態が温度異常であるときには、当該異常状態であると判定した給電装置８内の温度分布に関する情報（温度電力情報）が通信装置８４から送信される。続いて、取得した温度分布画像が表示されるように、制御装置５により表示部５Ａの表示を更新すると共に、取得した温度分布画像を記憶部５Ｃに保存する（ステップＳ２９）。
　他方、全ての給電装置８が異常状態ではなく、且つ、少なくとも１つの給電装置８が警告状態である場合（ステップＳ２３でＮＯ及びステップＳ２４でＹＥＳの場合）、その警告状態の給電装置８の温度及び電力を確認する（ステップＳ３０）。ステップＳ３０では、具体的には、制御装置５から警告状態の給電装置８へ通信装置３を介して温度電力情報の要求を行う。警告状態の給電装置８は、通信装置８４を介して、当該要求を受信すると共に当該要求に応じて温度電力情報を通信装置３へ送信する。制御装置５は、通信装置３を介して温度電力情報を取得し、取得した温度電力情報を記憶部５Ｃに保存する。
　続いて、制御装置５により、取得した温度電力情報が表示されるように表示部５Ａの表示を更新すると共に、軌道４において警告状態であると判定した給電装置８に対応する区間である警告区間に存在する搬送台車６の加速度を制限する（ステップＳ３１）。一例として、ステップＳ３１の加速度の制限では、警告区間に存在する搬送台車６に割り付ける指令の最高加速度を、予め設定された設定加速度以下とする。
　ステップＳ２７でＮＯの場合、ステップＳ２９の後、又は、ステップＳ３１の後、現周期の一連の処理は終了し、次周期の上記ステップＳ２１の処理へ移行する。なお、異常監視プロセスは、上述の定期監視プロセス及び手動画像取得プロセスよりも優先度が低く設定されており、そのため、定期監視プロセス及び手動画像取得プロセスの何れかの各処理が実行中の場合には、異常監視プロセスの各処理は実行されない。
　以上、搬送台車システム１では、軌道４が区分けされてなる複数の区間ごとに給電装置８が設けられ、各給電装置８の状態が非接触温度センサ８１及び電流センサ８２で監視され、その給電装置８の監視結果に応じて搬送台車６が制御装置５により制御される。これにより、給電装置８に不具合が発生した場合には、システムの全体のダウンではなく一部のダウンに留まるような処理を、制御装置５によって実行することが可能となる。したがって、搬送台車システム１のシステムダウンを防止することが可能となる。
　搬送台車システム１では、制御装置５は、給電装置８の監視結果に基づいて、複数の給電装置８の状態が異常状態か否かを判定する。制御装置５は、異常状態であると判定した給電装置８に対応する異常区間への搬送台車６への進入を禁止すると共に、異常区間に存在する搬送台車６を異常区間から退避させる。これにより、給電装置８の不具合による悪影響がシステムの全体に及ぶのを効果的に抑えることができる。搬送台車システム１において、搬送能力を下げた稼働の継続が可能なる。
　搬送台車システム１では、制御装置５は、異常状態であると判定した給電装置８を停止させる。これにより、給電装置８の不具合による悪影響がシステムの全体に及ぶのを効果的に抑えることができる。給電装置８の不具合が進展することを抑止できる。給電装置８を不具合から早期復旧をさせ易くなる。
　搬送台車システム１では、制御装置５は、給電装置８の監視結果に基づいて、複数の給電装置８の状態が警告状態か否かを判定し、警告状態であると判定した給電装置８に対応する警告区間に存在する搬送台車６の加速度を制限する。これにより、給電装置８の不具合による悪影響がシステムの全体に及ぶのを効果的に抑えることができる。搬送台車システム１において、搬送能力を下げた稼働の継続が可能なる。
　搬送台車システム１では、制御装置５により給電装置８の状態が異常状態であると判定された場合であって、当該異常状態が温度異常であるときには、当該異常状態であると判定した給電装置８内の温度分布に関する温度電力情報が、通信装置８４から制御装置５に向けて送信される。これにより、制御装置５においては、給電装置８の温度異常となる温度分布を表示部５Ａに温度分布画像として表示させることが可能となる。ユーザは、給電装置８における温度異常となる温度分布を、制御装置５において容易に把握することが可能となる。
　搬送台車システム１では、温度電力情報は、第１周期で通信装置８４から制御装置５に向けて送信される。装置状態情報は、給電装置８が正常な場合に第１周期よりも短い第２周期で通信装置８４から制御装置５に向けて送信される。これにより、温度電力情報及び装置状態情報が給電装置８から制御装置５に向けて周期的に送信される場合、データ容量が装置状態情報よりも大きい温度電力情報の通信周期が、装置状態情報の通信周期よりも長くなる。したがって、通信装置８４の通信量を抑えることができる。また、通信負荷を抑制することが可能となる。
　搬送台車システム１では、表示部５Ａにより、所望な温度電力情報及び装置状態情報を簡易的に表示することが可能である。また、表示部５Ａの当該表示を容易に設定及び操作することができる。また、ユーザの操作により又は給電装置８が異常状態の場合に、温度異常に係る温度分布の温度分布画像を表示部５Ａに表示させることが可能となる。
　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一態様は上記実施形態に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態では、監視装置は非接触温度センサ８１及び電流センサ８２に限定されず、給電装置８の状態を監視することができる他のセンサ等であってもよい。上記実施形態では、給電装置８は非接触温度センサ８１及び電流センサ８２の何れか一方のみを備えていてもよい。上記実施形態では、給電装置８内における非接触温度センサ８１が温度を測定するエリアは限定されず、様々なエリアであってもよい。上記実施形態では、給電装置８内における電流センサ８２が電流を測定する測定ポイントは限定されず、様々な測定ポイントであってもよい。
　上記実施形態では、通信装置８４が温度電力情報を送信する際の第１周期、及び、通信装置８４が装置状態情報を送信する際の第２周期は、特に限定されず、第２周期が第１周期よりも短ければよい。第１周期及び第２周期は、固定値であってもよいし、状況に応じて変動する変動値であってもよい。上記実施形態では、制御装置５は、給電装置８が異常状態又は警告状態であると判定した場合、その給電装置８を注意喚起させる報知（例えば表示部５Ａ上の注意喚起）を行ってもよい。
　上記実施形態では、２つの給電装置８を備えた一例を図示して説明したが、給電装置８の数は限定されず、複数であればよい。上記実施形態は、複数の給電装置８と制御装置５とからなるユニットを、複数備えていてもよい。この場合、複数の制御装置５を統括する上位制御装置を備えていてもよい。上記実施形態は、システム全体のデータを管理するデータサーバを備えていてもよい。上記実施形態は、システム全体を制御する全体制御装置を備えていてもよい。上記実施形態では、通信の一部又は全部に無線通信を利用してもよいし、有線通信を利用してもよい。上記実施形態では、通信の一部又は全部に、例えば搬送台車システム１が設置される施設のＬＡＮ回線を利用してもよい。
　上記実施形態では、異常状態の給電装置８の停止と、異常区間への搬送台車６への進入の禁止と、異常区間に存在する搬送台車６の異常区間からの退避と、警告区間に存在する搬送台車６の加速度の制限と、を実行しているが、これらの少なくとも何れかを実行すればよい。
　上記実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。
　１…搬送台車システム、４…軌道、４Ｘ…第１区間（区間）、４Ｙ…第２区間（区間）、５…制御装置、６…搬送台車、８，８Ｘ，８Ｙ…給電装置、８１…非接触温度センサ（監視装置）、８２…電流センサ（監視装置）、８４…通信装置。

Claims (6)

  1. 　軌道に沿って走行する搬送台車と、
    　前記搬送台車を制御する制御装置と、
    　前記軌道が区分けされてなる複数の区間ごとに設けられた給電装置と、を備え、
    　複数の前記給電装置のそれぞれは、当該給電装置の状態を監視する監視装置と、前記監視装置による監視結果を前記制御装置に向けて送信する通信装置と、を有し、
    　前記制御装置は、前記監視結果に応じて前記搬送台車を制御する、搬送台車システム。
  2. 　前記制御装置は、
    　　前記監視結果に基づいて、複数の前記給電装置の状態が異常状態か否かを判定し、
    　　前記異常状態であると判定した前記給電装置に対応する前記区間への前記搬送台車への進入を禁止すると共に、当該区間に存在する前記搬送台車を当該区間から退避させる、請求項１に記載の搬送台車システム。
  3. 　前記制御装置は、前記給電装置を更に制御する装置であって、前記異常状態であると判定した前記給電装置を停止させる、請求項２に記載の搬送台車システム。
  4. 　前記制御装置は、
    　　前記監視結果に基づいて、複数の前記給電装置の状態が、前記異常状態よりも異常の度合いが低い警告状態か否かを判定し、
    　　前記警告状態であると判定した前記給電装置に対応する前記区間に存在する前記搬送台車の加速度を低下させる、請求項２又は３に記載の搬送台車システム。
  5. 　前記制御装置により前記給電装置の状態が異常状態であると判定された場合であって、当該異常状態が温度異常であるときには、当該異常状態であると判定した前記給電装置内の温度分布に関する情報が前記通信装置から前記制御装置に向けて送信される、請求項２～４の何れか一項に記載の搬送台車システム。
  6. 　前記監視結果は、前記給電装置の温度データ及び電力データの少なくとも何れかを含む第１情報と、前記給電装置の状態が異常状態か否かに関する第２情報と、を含み、
    　前記第１情報は、第１周期で前記通信装置から前記制御装置に向けて送信され、
    　前記第２情報は、前記給電装置が正常な場合に前記第１周期よりも短い第２周期で前記通信装置から前記制御装置に向けて送信される、請求項１～５の何れか一項に記載の搬送台車システム。
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