TWI666157B - 物品搬送設備及物品搬送設備之維護作業方法 - Google Patents
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Abstract
物品搬送裝置之支撐部支撐用以檢測被檢測體之位置的位置檢測裝置。控制裝置會在比設定期間更長之間隔所進行的維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令而實行進行目標位置資訊之更新的更新控制,且,以指示更新指令後之經過時間已達比設定期間更短之時間的自動更新用時間為條件實行更新控制。
Description
本發明是有關於一種物品搬送設備及物品搬送設備之維護作業方法。
作為物品搬送設備之一例,所採用之設備具備:將物品搬送至搬送對象地點之物品搬送裝置、及控制物品搬送裝置之作動的控制裝置,其中,物品搬送裝置具備:沿行走路徑行走之行走部、被行走部所支撐且吊掛支撐物品的支撐部、在行走部停止之狀態下使支撐部相對於行走部升降的升降驅動部、及記憶用以使行走部停止之位置資訊的記憶部。
所述物品搬送設備及其維護作業方法之往例,記載於日本專利特開2005-170544號公報。在此物品搬送設備中,會將表示物品搬送裝置將物品移載至搬送對象地點時使行走部停止之搬送用目標位置的搬送用目標位置資訊
記憶在記憶部中。並且,進行物品搬送裝置之控制的控制裝置,在搬送指令被發出時,會依據搬送用目標位置資訊使行走部停止於搬送用目標位置,而將物品移載至搬送對象地點。
在上述物品搬送設備中,會將具備被檢測體之補正板設置於搬送對象地點,而在依據搬送用目標位置資訊使行走部停止於搬送用目標位置的狀態下,以被支撐部所支撐之位置檢測裝置檢測被裝設於搬送對象地點之被檢測部的位置。並且,控制裝置是構成為依據位置檢測裝置之檢測資訊,而更新記憶部所記憶之搬送用目標位置資訊。
像這種進行搬送用目標位置資訊之更新的作業,是在定期性進行之維護作業中所實施的,且與在維護作業中由作業者所進行之作業(位置檢測裝置之方向的調節或裝設在行走部之行走車輪的更換等之人為作業)一同被進行。
然而,即便是在進行維護作業前,還是會由於行走輪之摩耗等,而有搬送用目標位置資訊所表示之搬送用目標位置偏離理想之搬送用目標位置的情況。並且,伴隨著物品搬送裝置的經年劣化,搬送用目標位置資訊所表示之搬送用目標位置與理想之搬送用目標位置間的偏移會逐漸增大,而有產生物品搬送裝置無法適當地將物品移載至搬送對象地點之情況的疑慮。
為此,即便是在進行維護作業前,也仍舊進行搬送用目標位置資訊之更新是較為理想的。然而,在上述之
以往的物品搬送設備上,在進行搬送用目標位置資訊之更新時,有在該搬送對象地點設置補正板之必要。因此,在進行搬送用目標位置資訊之更新的作業的期間,無法將物品搬送至該搬送對象地點,使物品搬送設備中的物品的搬送効率降低。又,若縮短維護作業之間隔,該維護作業變得會頻繁地進行,使作業者之負擔增大。
因此,會需要一種能夠避免作業者之作業負擔的增加並可在適當之時期進行搬送用目標位置資訊的更新,且能夠抑制物品之搬送効率降低之物品搬送設備及物品搬送設備之維護作業方法。
物品搬送設備具備將物品搬送至搬送對象地點之物品搬送裝置、及控制前述物品搬送裝置之作動的控制裝置。
前述物品搬送裝置具備:沿行走路徑走行之行走部、被前述行走部所支撐且吊掛支撐物品之支撐部、在前述行走部停止之狀態下使前述支撐部相對於前述行走部升降的升降驅動部、及記憶用以使前述行走部停止之位置資訊的記憶部。
前述物品搬送設備還具備用以檢測裝設於位置更新用地點之被檢測體的位置之位置檢測裝置。
前述支撐部是構成為能夠支撐前述位置檢測裝置。
前述記憶部記憶有搬送用目標位置資訊及更新用目標位置資訊作為前述位置資訊,該搬送用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置將物品移載至前述搬送對象地點時作為使前述行走部停止之目標位置的搬送用目標位置,該更新用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體時作為使前述行走部停止之目標位置的更新用目標位置。
前述控制裝置是構成為用以實行搬送控制與更新控制。
前述搬送控制是如下之控制:在指示往前述搬送對象地點搬送物品之搬送指令被發出時,依據前述搬送用目標位置資訊使前述行走部停止於前述搬送用目標位置,並在該停止狀態下使前述支撐部升降而將物品移載至前述搬送對象地點。
前述更新控制是如下之控制:在依據前述更新用目標位置資訊使前述行走部停止於前述更新用目標位置之狀態下,透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體之位置,並依據該檢測資訊,進行前述記憶部所記憶之前述更新用目標位置資訊及前述搬送用目標位置資訊的更新。
前述控制裝置是構成為在比預先設定之期間的設定期間更長之間隔所進行的維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行前述更新控制,且,以指示前述更新指令後之經過時間已達比前述設定期間更短之時間的自動更新用時間為條件而實行前述更新控制。
物品搬送設備之維護作業方法是用以進行物品搬送設備之維護作業的方法,該物品搬送設備具備:將物品搬送至搬送對象地點之物品搬送裝置、及控制前述物品搬送裝置之作動的控制裝置。
前述物品搬送裝置具備:沿行走路徑走行之行走部、被前述行走部所支撐且吊掛支撐物品之支撐部、在前述行走部停止之狀態下使前述支撐部相對於前述行走部升降之升降驅動部、及記憶用以使前述行走部停止之位置資訊的記憶部。
前述物品搬送設備還具備用以檢測裝設於位置更新用地點之被檢測體的位置之位置檢測裝置。
前述支撐部是構成為能夠支撐前述位置檢測裝置。
前述記憶部記憶有搬送用目標位置資訊及更新用目標位置資訊作為前述位置資訊,該搬送用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置將物品移載至前述搬送對象地點時作為使前述行走部停止之目標位置的搬送用目標位置,該更新用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體時作為使前述行走部停止之目標位置的更新用目標位置。
前述控制裝置是構成為用以實行搬送控制與更新控制。
前述搬送控制是如下之控制:在指示往前述搬送對象地點搬送物品之搬送指令被發出時,依據前述搬送用目標位置資訊使前述行走部停止於前述搬送用目標位置,並在
該停止狀態下使前述支撐部升降而將物品移載至前述搬送對象地點。
前述更新控制是如下之控制:在依據前述更新用目標位置資訊使前述行走部停止於前述更新用目標位置之狀態下,透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體之位置,並依據該檢測資訊,進行前述記憶部所記憶之前述更新用目標位置資訊及前述搬送用目標位置資訊的更新。
前述控制裝置會在比預先設定之期間的設定期間更長之間隔所進行的維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行前述更新控制,且,以指示前述更新指令後之經過時間已達比前述設定期間更短之時間的自動更新用時間為條件而實行前述更新控制。
依據這些構成,能夠避免作業者之作業負擔的增加並在適當之時期進行搬送用目標位置資訊的更新,且抑制物品之搬送効率的降低。
本發明更進一步之特徵與優點,透過參照圖式所記述之以下的例示性且非限定的實施形態之說明應可變得更加明確。
1‧‧‧天花板搬送車(物品搬送裝置)
11‧‧‧搬送控制部(控制裝置)
11a‧‧‧記憶部
12‧‧‧被檢測體
13‧‧‧單元凸緣部
14‧‧‧單元本體部
16‧‧‧單元通訊部
17‧‧‧單元控制部
18‧‧‧輸入部
2‧‧‧處理裝置
21‧‧‧行走軌道
22‧‧‧行走部
22a‧‧‧行走車輪
22b‧‧‧行走用馬達
23‧‧‧容器支撐部
24‧‧‧支撐機構(支撐部)
24a‧‧‧把持爪
24b‧‧‧把持用馬達
24c‧‧‧推壓部
25‧‧‧升降驅動部
25a‧‧‧捲繞體
25b‧‧‧捲取帶
25c‧‧‧升降用馬達
26‧‧‧滑行驅動部
26a‧‧‧中繼部
26b‧‧‧滑行用馬達
27‧‧‧旋轉驅動部
27a‧‧‧旋轉部
27b‧‧‧旋轉用馬達
28‧‧‧蓋體
29‧‧‧位置檢測感測器(位置檢測裝置)
3‧‧‧支撐台(搬送對象地點)
4‧‧‧檢查台(位置更新用地點、保管用地點)
5‧‧‧收容部
6‧‧‧凸緣部
7‧‧‧底面凹部
8‧‧‧上表面凹部
9‧‧‧定位構件
H‧‧‧上位控制器
J‧‧‧檢查單元(位置檢測裝置)
L‧‧‧行走路徑
W‧‧‧容器(物品)
圖1是顯示第1實施形態之物品搬送設備的行走路徑之圖。
圖2是顯示第1實施形態之天花板搬送車及支撐台的側面圖。
圖3是顯示第1實施形態之天花板搬送車及支撐台的側
面圖。
圖4是顯示第1實施形態之天花板搬送車及檢查台的側面圖。
圖5是第1實施形態之天花板搬送車的側面圖。
圖6是第1實施形態之控制方塊圖。
圖7是顯示第1實施形態之搬送控制部的控制動作之流程圖。
圖8是第1實施形態之搬送控制的流程圖。
圖9是第1實施形態之自動更新控制的流程圖。
圖10是顯示第2實施形態之天花板搬送車與檢查台的側面圖。
圖11是顯示第2實施形態之天花板搬送車與檢查台的側面圖
圖12是第2實施形態之控制方塊圖。
圖13是第2實施形態之自動更新控制的流程圖。
[第1實施形態]
以下,依據圖式來說明物品搬送設備之第1實施形態。
如圖1~圖4所示,物品搬送設備具備:在天花板附近沿行走路徑L行走且搬送容器W之天花板搬送車1、對於收容在容器W之基板進行處理之處理裝置2、以相鄰於該處理裝置2之狀態被設置於地面上之支撐台3、與具有被檢測體12之檢查台4。本實施形態之物品搬送設備具備:複數個天
花板搬送車1、複數個(多於天花板搬送車1之個數)處理裝置2、複數個(與處理裝置2相同之個數)支撐台3、與至少1個(少於天花板搬送車1之個數,例如在每個預定區域1個)檢查台4。
另外,支撐台3相當於搬送對象地點,檢查台4相當於位置更新用地點。又,天花板搬送車1相當於將容器W搬送至作為搬送對象地點之支撐台3的物品搬送裝置。在本實施形態中,是將收容半導體基板之FOUP(Front Opening Unified Pod)作為容器W(物品之一例)。又,將天花板搬送車1行走之方向稱為行走方向,將相對於該行走方向以平面視之垂直相交的方向稱為橫方向來加以說明。
[容器]
如圖5所示,容器W具備有:裝設於容器W之上端部且被天花板搬送車1之支撐機構24所支撐的凸緣部6、位於比凸緣部6更下方處且收容複數片之半導體基板的收容部5、及將形成於收容部5之前面的基板進出用之基板出入口關閉的裝卸自如之蓋體(圖未示)。天花板搬送車1是構成為以吊掛支撐凸緣部6之狀態搬送容器W。
如圖5所示,在收容部5之底面(容器W之底面),形成有朝上方凹入之3個溝狀的底面凹部7。此3個底面凹部7是形成為以底面基準位置為中心使底面凹部7之長邊方向成為放射狀。又,3個底面凹部7的每一個皆是形成為往上方收窄之尖端細窄形狀。並且,底面凹部7之內側面是形成為傾斜面。
底面凹部7是設置於,在如圖2所示地將容器W移載至支撐台3時,使裝設於支撐台3之定位構件9從下方卡合的位置。並且,在支撐凸緣部6之支撐機構24下降移動而使容器W被移載至支撐台3時,若容器W相對於支撐台3之適當支撐位置在水平方向上有所偏移的話,定位構件9會接觸底面凹部7之內側面而使容器W在水平方向上移動。如此一來,可將容器W在水平方向上之位置修正成支撐台3的適當支撐位置。
如圖5所示,在凸緣部6之上表面(容器W之上表面),形成有朝下方凹入之圓錐形狀的上表面凹部8。此上表面凹部8是形成為往下方收窄之尖端細窄形狀。並且,上表面凹部8之內側面是形成為傾斜面。
上表面凹部8是構成為在如圖3所示地使支撐機構24下降移動時,可使支撐機構24之推壓部24c從上方卡合。並且,在天花板搬送車1使支撐機構24下降移動時,若支撐構件24相對於被載置支撐在支撐台3之容器W在水平方向上有所偏移的話,推壓部24c會接觸上表面凹部8之內面而被引導。如此一來,可將支撐機構24在水平方向上之位置引導至相對於容器W適當之位置。
[天花板搬送車]
如圖5所示,天花板搬送車1具備有:沿設定於比支撐台3更上方處之行走路徑L行走自如的行走部22、及以位於行走軌道21之下方的形式被行走部22吊掛支撐且具備有支撐容器W之支撐機構24的容器支撐部23。
行走部22具備有:於沿著行走路徑L而設置之行走軌道21上轉動的行走車輪22a、及旋轉驅動該行走車輪22a之行走用馬達22b。行走部22是構成為透過行走用馬達22b之驅動而旋轉驅動行走車輪22a,藉此沿行走路徑L行走。
容器支撐部23具備有:吊掛支撐容器W之支撐機構24、相對於行走部22使支撐機構24升降移動之升降驅動部25、相對於行走部22使支撐機構24在横方向上滑行移動之滑行驅動部26、相對於行走部22使支撐機構24繞縱軸心旋轉之旋轉驅動部27、及覆蓋上升到上升設定位置(圖2等所示之位置)之支撐機構24所支撐的容器W之上方側及路徑前後側之蓋體28。
滑行驅動部26具備有相對於行走部22可沿横方向滑行移動自如地被支撐的中繼部26a、及使中繼部26a沿横方向滑行移動之滑行用馬達26b(參照圖6)。滑行驅動部26是構成為以透過滑行用馬達26b之驅動使中繼部26a沿横方向滑行移動,而使支撐機構24及升降驅動部25沿横方向移動。
旋轉驅動部27包括:相對於中繼部26a繞縱軸心旋轉自如地被支撐的旋轉部27a、及使旋轉部27a繞縱軸心旋轉之旋轉用馬達27b(參照圖6)。旋轉驅動部27是構成為以透過旋轉用馬達27b之驅動使旋轉部27a旋轉,而使支撐機構24及升降驅動部25沿著縱軸心周圍旋轉。
升降驅動部25具備有:被旋轉部27a所支撐之捲
繞體25a、被捲繞在捲繞體25a上且前端部連結支撐著支撐機構24之捲取帶25b、及旋轉驅動捲繞體25a之升降用馬達25c(參照圖6)。升降驅動部25是構成為以升降用馬達25c使捲繞體25a朝正向或逆向旋轉驅動,以藉由使捲取帶25b進行捲繞操作及送出操作,而使支撐機構24及被其所支撐之容器W升降移動。如此,升降驅動部25是構成為使支撐機構24相對於行走部22升降。
支撐機構24具備有一對把持爪24a、及使一對把持爪24a各自沿水平方向相互進行接近移動及遠離移動之把持用馬達24b(參照圖6)。並且,支撐機構24透過以把持用馬達24b使一對把持爪24a相互接近移動,而實現一對把持爪24a支撐容器W之凸緣部6的支撐狀態。又,支撐機構24透過以把持用馬達24b使一對把持爪24a相互遠離移動,而實現解除透過一對把持爪24a對容器W之凸緣部6進行之支撐的支撐解除狀態。如此,將支撐機構24構成為可在支撐狀態與支撐解除狀態間切換自如。
一對把持爪24a各自形成為側面視之為L字形以藉由其下端部從下方支撐凸緣部6。一對把持爪24a相當於從下方支撐容器W的下方支撐具。如此,支撐機構24是構成為升降自如地被行走部22所支撐且吊掛支撐容器W。支撐機構24相當於被行走部22所支撐且吊掛支撐容器W之支撐部。
如圖6所示,天花板搬送車1具備有控制裝設於該天花板搬送車1之各驅動部的作動來控制天花板搬送車1之作動的搬送控制部11。搬送控制部11相當於控制裝置。
又,如圖5所示,物品搬送設備具備有用以檢測裝設於檢查台4之被檢測體12的位置之位置檢測感測器29。在本實施形態中,位置檢測感測器29相當於位置檢測裝置。天花板搬送車1之支撐機構24是構成為能夠支撐位置檢測感測器29。位置檢測感測器29是在不與被支撐機構24所支撐之容器W干涉的狀態下,被支撐機構24所支撐。位置檢測感測器29是在位於比形成支撐機構24所吊掛支撐之容器W的上端部之凸緣部6更上方的狀態下,被支撐機構24所支撐。因此,形成為即便在透過天花板搬送車1搬送容器W時,也能夠使位置檢測感測器29支撐於支撐機構24,且能夠使位置檢測感測器29隨時支撐於支撐機構24上。
被檢測體12具備有二維條碼。位置檢測感測器29具備有二維影像感測器。搬送控制部11會依據以位置檢測感測器29所拍攝之被檢測體12的大小、角度、位置等,判別相對於位置檢測感測器29之被檢測體12的上下方向之距離的偏移量、或是在行走方向、寬度方向上、及繞上下軸心時的偏移量。
對於複數個支撐台3的每一個,預先設定有搬送用目標位置與搬送用移動位置。搬送用目標位置是天花板搬送車1在與支撐台3之間移載容器W時使行走部22停止的目標位置。搬送用移動位置是天花板搬送車1在與支撐台3之間移載容器W時相對於行走部22使支撐機構24移動(升降、旋轉、滑行)的目標位置。
又,對於檢查台4,預先設定有更新用目標位置與更新
用移動位置。更新用目標位置是天花板搬送車1透過位置檢測感測器29檢測檢查台4之被檢測體12時使行走部22停止的目標位置。更新用移動位置是天花板搬送車1透過位置檢測感測器29檢測檢查台4之被檢測體12時相對於行走部22使支撐機構24移動(升降、旋轉、滑行)的目標位置。
天花板搬送車1在搬送控制部11上具備有記憶部11a。在記憶部11a中記憶有用以使行走部22停止之位置資訊。在記憶部11a中記憶有表示搬送用目標位置之搬送用目標位置資訊、表示搬送用移動位置之搬送用移動位置資訊、表示更新用目標位置之更新用目標位置資訊、及表示更新用移動位置之更新用移動位置資訊,來作為此類的位置資訊。
另外,搬送用移動位置與更新用移動位置,是依據下列而決定:規定相對於行走部22之支撐機構24的繞縱軸心之旋轉位置的旋轉設定位置、規定相對於行走部22之支撐機構24在横方向上之位置的横設定位置、及規定相對於行走部22之支撐機構24在上下方向上之位置的下降設定位置。
以行走部22在行走時之支撐機構24的繞縱軸心之位置作為旋轉基準位置,以行走部22在行走時之支撐機構24在横方向上之位置作為横基準位置,以行走部22在行走時之支撐機構24在上下方向上之位置作為上升設定位置。
並且,將支撐機構24以繞縱軸心的方式位於旋轉基準
位置、且在横方向上位於横基準位置、且在上下方向上位於上升設定位置之位置,作為支撐機構24之行走用位置。行走部22是在支撐機構24位於行走用位置之狀態下行走。
如圖7所示,搬送控制部11是構成為依據來自設置於地上側之上位控制器H的退避指令,控制行走用馬達22b之作動以實行退避控制。
退避控制是如下之控制:依據針對檢查台4之更新用目標位置資訊,控制行走用馬達22b之作動,以使行走部22行走至更新用目標位置,且使該行走部22停止於更新用目標位置。透過搬送控制部11實行退避控制,行走部22會停止於針對檢查台4之更新用目標位置。
更新用目標位置如圖1所示,是設定在偏離搬送路徑中的天花板搬送車1搬送容器W時行走的路徑之地點。更新用目標位置是設定在即便天花板搬送車1停止於更新用目標位置,也不會對其他天花板搬送車1所進行之容器W的搬送造成妨礙之位置。
例如在維護作業等中,透過作業者對於輸入部18之輸入操作而進行對於作業對象之天花板搬送車1的退避指令操作,就會對作業對象之天花板搬送車1指示退避指令。維護作業是以物品搬送設備之維護為目的,而以比預先設定之期間的設定期間(例如10個月)更長之間隔(例如1年)定期地進行的作業(定期檢查作業)。此維護作業中,包含位置檢測感測器29之方向調整或行走車輪22a之更換等之由作業者人為進行之作業。
上位控制器H是構成為,對於被指定為作業對象之天花板搬送車1,在從作業對象中被排除前(在指示後述之回復指令前),不指示搬送指令。又,上位控制器H也可以做成,在透過作業者對於輸入部18之輸入操作而對作業對象之天花板搬送車1指示退避指令時,因應該指令內容,使天花板搬送車1除了移動至針對檢查台4之更新用目標位置以外,還移動至針對為了將天花板搬送車1從行走軌道21降下而設置之升降機(圖未示)的更新用目標位置。
搬送控制部11是構成為依據來自設置於地上側之上位控制器H之維護更新指令,控制行走用馬達22b之作動以實行維護更新控制。維護更新指令相當於更新指令。
維護更新控制是如下之控制:依據針對檢查台4之更新用移動位置資訊,使支撐機構24移動至針對檢查台4之更新用移動位置後,使位置檢測感測器29作動而拍攝被檢測體12,之後,控制裝設於天花板搬送車1之滑行用馬達26b等的馬達類或位置檢測感測器29之作動,以使支撐機構24移動至行走用位置。透過搬送控制部11實行量測處理,而在以位置檢測感測器29拍攝被檢測體12後,使支撐機構24移動至行走用位置。
又,在維護更新控制中,會依據以如上所述之位置檢測感測器29拍攝被檢測體12所得的撮像資訊,而測量相對於被檢測體12之適當的支撐機構24在行走方向、寬度方向、旋轉方向、及上下方向上的偏移量。並且,依據此偏移量,更新搬送用目標位置資訊、搬送用移動位置資訊、
更新用目標位置資訊、及更新用移動位置資訊,以令該偏移量變小(較理想的是消失)。在如本實施形態般令物品搬送設備具備複數個天花板搬送車1時,是按各個天花板搬送車1更新搬送用目標位置資訊、搬送用移動位置資訊、更新用目標位置資訊、及更新用移動位置資訊。
另外,相對於各支撐台3及檢查台4的每一個,在行走方向的前方側,停止用之預備標記(圖未示)以能夠從設置於天花板搬送車1之標記檢測件讀取的狀態被設置。針對支撐台3之搬送用目標位置、及針對檢查台4之更新用目標位置,是設定成距離各自對應之預備標記的相對位置是相互等同。因此,透過依據檢查台4之偏移量量測而更新更新用目標位置資訊,且使其對應該更新用目標位置資訊之更新內容而更新搬送用目標位置資訊,就能夠使各支撐台3之搬送用目標位置接近(較理想的是使其一致)適當位置。
在對作業對象之天花板搬送車1的維護作業結束時,透過作業者以輸入部18進行表示對於作業對象之天花板搬送車1已結束維護作業的輸入操作,上位控制器H將對於原為作業對象之天花板搬送車1解除作為作業對象之設定。此時,上位控制器H會指示用以使原為作業對象之天花板搬送車1回復搬送控制的回復指令。當指示回復指令後,自動更新時間即被重置。
搬送控制部11是構成為依據上位控制器H所發出之搬送指令,控制設置於天花板搬送車1之馬達類的作動,以實行搬送控制。搬送指令是要旨如下之指令:將容器W
從搬送起點之支撐台3搬送至搬送目的地的支撐台3。
如圖8所示,搬送控制是如下之控制:在搬送指令被發出時,透過從搬送起點之支撐台3接收容器W,並將該容器W以將容器W移交至搬送目的地之支撐台3的作法,來將容器W從搬送起點之支撐台3搬送至搬送目的地之支撐台3。在搬送控制中,是將接收行走處理、接收升降處理、移交行走處理、及移交升降處理依記載之順序實行。
接收行走處理是如下之處理:依據針對在搬送指令中被指定作為搬送起點之搬送起點的支撐台3之搬送用目標位置資訊,控制行走用馬達22b之作動,以使行走部22行走至搬送起點之支撐台3的搬送用目標位置,且使該行走部22停止於搬送用目標位置。透過搬送控制部11實行接收行走處理,行走部22會停止於針對搬送起點之支撐台3的搬送用目標位置。
接收升降處理是如下之處理:依據針對搬送起點之支撐台3的搬送用移動位置資訊,使支撐機構24移動至搬送起點之支撐台3的搬送用移動位置後,使把持爪24a移動至接近位置,之後,控制裝設於天花板搬送車1之滑行用馬達26b等之馬達類的作動,以使支撐機構24移動至行走用位置。透過搬送控制部11實行接收升降處理,被搬送起點之支撐台3所支撐的容器W,會被支撐機構24支撐而移動至行走用位置。
移交行走處理是如下之處理:依據針對在搬送指令中被指定為搬送目的地之搬送目的地的支撐台3之搬送
用目標位置資訊,控制行走用馬達22b之作動,以使行走部22行走至搬送目的地之支撐台3的搬送用目標位置,且使該行走部22停止於搬送用目標位置。透過搬送控制部11實行移交行走處理,行走部22會停止於針對搬送目的地之支撐台3的搬送用目標位置。
移交升降處理是如下之處理:依據針對搬送目的地之支撐台3的搬送用移動位置資訊,使支撐機構24移動至搬送目的地之支撐台3的搬送用移動位置後,使把持爪24a移動至遠離位置,之後,控制裝設於天花板搬送車1之滑行用馬達26b等之馬達類的作動,以使支撐機構24移動至行走用位置。透過搬送控制部11實行移交升降處理,被位於行走用位置之支撐機構24所支撐的容器W,會被移載至搬送目的地之支撐台3。
上位控制器H不論天花板搬送車1為實行搬送控制中與否,會適當地指示對該天花板搬送車1之搬送指令。搬送控制部11在搬送控制結束前已指示下一個搬送指令時,是使在該時間點實行中之搬送控制結束後,才實行依據下一個搬送指令之搬送控制。
本實施形態之搬送控制部11是構成為不同於伴隨著以比設定期間更長之間隔定期地進行之手動的維護作業之維護更新控制,而以比該維護更新控制更短之周期來實行自動更新控制。此自動更新控制是以指示維護更新指令後之經過時間已達到為比上述之設定期間(例如10個月)更短之時間的自動更新用時間(例如3個月)作為開始條件而
實行。如圖7所示,搬送控制部11在搬送控制結束後,在未指示下一個搬送指令,且,指示最近一次之回復指令後的經過時間已達自動更新用時間時,會開始自動更新控制。如此,搬送控制部11是構成為在完成搬送控制後,至下一個搬送指令被發出前,開始自動更新控制。
如圖9所示,在自動更新控制中,會實行更新行走處理與量測處理。在更新行走處理中,會進行與在作業對象之天花板搬送車1中所實行的退避控制同樣之處理。亦即,在更新行走處理中,會依據針對檢查台4之更新用目標位置資訊,控制行走用馬達22b之作動,以使行走部22行走至更新用目標位置,且使該行走部22停止於更新用目標位置。透過搬送控制部11實行更新行走處理,行走部22會停止於針對檢查台4之更新用目標位置。
在量測處理中,會進行與在作業對象之天花板搬送車1中所實行的維護更新控制同樣之處理。亦即,在量測處理中,會依據針對檢查台4之更新用移動位置資訊,使支撐機構24移動至針對檢查台4之更新用移動位置後,作動位置檢測感測器29且拍攝被檢測體12,之後,控制裝設於天花板搬送車1之滑行用馬達26b等之馬達類或位置檢測感測器29的作動,以使支撐機構24移動至行走用位置。透過搬送控制部11實行量測處理,以被支撐機構24所支撐之位置檢測感測器29拍攝裝設於檢查台4之被檢測體12,而更新搬送用目標位置資訊、搬送用移動位置資訊、更新用目標位置資訊、及更新用移動位置資訊。
包含移交行走處理與移交升降處理之搬送控制,相當於在已指示搬送指令時,依據搬送用目標位置資訊使行走部22停止於搬送用目標位置,並在該停止狀態下使支撐部升降而將容器W移載至搬送對象地點之控制。
又,在維護更新控制、及自動更新控制中之量測處理,各自相當於在依據更新用目標位置資訊使行走部22停止於更新用目標位置之狀態下,透過位置檢測感測器29檢測被檢測體12之位置,並依據該檢測資訊進行已記憶於記憶部11a之更新用目標位置資訊及搬送用目標位置資訊的更新之更新控制。
並且,搬送控制部11是構成為依據在維護作業中透過作業者之人為操作所指示的更新指令(退避指令及維護更新指令)實行更新控制(退避控制及維護更新控制),且,以將在維護作業中透過作業者之人為操作所指示之更新指令(回復指令)指示後經過了自動更新時間為條件而實行更新控制(自動更新控制)。
[第2實施形態]
接著,依據圖式來說明物品搬送設備之第2實施形態。
另外,在說明第2實施形態時,主要針對與第1實施形態相異之構成進行說明,關於與第1實施形態同樣之構成則省略說明。
如圖10及圖11所示,天花板搬送車1之支撐機構24是構成為而可支撐檢查單元J,而取代容器W。
檢查單元J具備有:裝設於檢查單元J之上端部且被天花
板搬送車1之支撐機構24所支撐的單元凸緣部13、及位於比單元凸緣部13更下方處且支撐位置檢測感測器29的單元本體部14。天花板搬送車1是構成為在吊掛支撐單元凸緣部13之狀態下搬送檢查單元J。
檢查單元J載置於檢查台4,並以可取出之狀態被檢查台4所支撐著。如此,在本實施形態中,作為位置更新用地點之檢查台4也被兼用作保管用地點。又,針對保管用地點之為目標位置的保管用目標位置,是設定為與更新用目標位置相同之位置。
如圖11所示,天花板搬送車1是構成為透過在行走部22停止於更新用目標位置之狀態下使支撐機構24升降,以藉由支撐機構24將檢查單元J從保管用地點取出(舉起)。
與容器W同樣地,單元本體部14之底面(檢查單元J之底面)形成有朝上方凹入之3個溝狀的底面凹部(圖未示)。因此,檢查單元J被移載至支撐台3時,若檢查單元J相對於檢查台4之適當支撐位置在水平方向上有所偏移的話,定位構件9會接觸上述底面凹部之內側面而使檢查單元J在水平方向上移動。如此一來,檢查單元J在水平方向上之位置將被修正成適當支撐位置。
又,在單元凸緣部13之上表面(檢查單元J之上表面),形成有朝下方凹入之圓錐形狀的上表面凹部(圖未示)。因此,在天花板搬送車1使支撐機構24下降移動時,若支撐機構24相對於被檢查台4所載置支撐之檢查單元J在水平方向上有所偏移的話,推壓部24c會接觸上述上表面凹部之內面而被
引導。如此一來,支撐機構24在水平方向上之位置將被引導至相對於檢查單元J適當之位置。
如圖12所示,天花板搬送車1具備用以在與檢查單元J之單元通訊部16之間透過無線通訊收發各種資訊的搬送通訊部15。又,檢查單元J具備有:用以檢測裝設於檢查台4之被檢測體12的位置之位置檢測感測器29、用以在與天花板搬送車1之間透過無線通訊收發各種資訊的單元通訊部16、與控制位置檢測感測器29或單元通訊部16之作動的單元控制部17。在本實施形態中,具備位置檢測感測器29之檢查單元J相當於位置檢測裝置。
在搬送控制結束後,若指示回復指令後之經過時間已達到自動更新用時間,且,下一個搬送指令為尚未指示的狀態時,就會實行自動更新控制。
如圖13所示,在第2實施形態中,是在自動更新控制中實行量測準備處理與量測結束處理,取代在第1實施形態中所說明過之自動更新控制的量測處理。
量測準備處理是如下之處理:依據針對檢查台4之更新用移動位置資訊,使支撐機構24移動至針對檢查台4之更新用移動位置後,使把持爪24a移動至接近位置,之後,控制裝設於天花板搬送車1之滑行用馬達26b等的馬達類之作動,以使支撐機構24移動至量測用位置。透過搬送控制部11實行量測準備處理,被檢查台4所支撐之檢查單元J會被支撐機構24上舉至設定高度。
在量測準備處理完成且如上所述地已將檢查單元J以支
撐機構24上舉支撐的狀態下,實行傳送處理,以從天花板搬送車1向檢查單元J傳送準備完成資訊。
量測結束處理會在搬送控制部11接收來自檢查單元J之量測資訊後實行。此量測結束處理是如下之處理:在使支撐機構24移動至更新用移動位置後,使把持爪24a移動至遠離位置,之後,控制裝設於天花板搬送車1之滑行用馬達26b等的馬達類之作動,以使支撐機構24移動至行走用位置。透過搬送控制部11實行量測結束處理,檢查單元J會被移載至檢查台4上,且支撐機構24會移動至行走用位置。
又,在量測結束處理中,會依據從檢查單元J所傳送之偏移量資訊,更新搬送用目標位置資訊、搬送用移動位置資訊、更新用目標位置資訊、及更新用移動位置資訊。
量測準備處理相當於依據保管用目標位置資訊使行走部22停止於更新用目標位置(保管用目標位置),並藉由支撐機構24使其取出檢查單元J之檢測裝置取出控制。又,在量測準備處理之實行後所實行的傳送處理及量測結束處理,相當於更新控制。
[其他實施形態]
(1)在上述各實施形態中,已構成為搬送控制部11在搬送控制結束後,在未指示下一個搬送指令,且,指示最近一次之更新指令後的經過時間已達自動更新用時間時,開始更新控制。然而,並非受限於如此構成,開始自動更新控制之時機也可以適當地變更。
具體來說,例如,在指示更新指令後之經過時間已達
自動更新用時間時,亦可比下一個搬送指令更優先地實行更新控制。又,亦可構成為將更新用行走距離設定為使物品搬送裝置在自動更新時間經過的期間內行走之假設距離,並在指示更新指令後的物品搬送裝置之行走距離已達更新用行走距離時,開始更新控制。
只要維護作業之間隔比設定期間更長,自動更新用時間比設定期間更短即可,該等設定期間、維護作業之間隔、及自動更新用時間也可以適當地變更。
(2)在上述各實施形態中,對於退避指令與維護更新指令等之各種的指令,也可以透過遙控器等直接指示天花板搬送車1,並將該資訊傳送至上位控制器H。
(3)在上述各實施形態中,會透過更新控制,更新搬送用目標位置資訊、搬送用移動位置資訊、更新用目標位置資訊、及更新用移動位置資訊。然而,只要透過更新控制至少更新搬送用目標位置資訊及更新用目標位置資訊即可。例如,在搬送用移動位置資訊及更新用移動位置資訊的每一個中的表示旋轉設定位置、横設定位置、及下降設定位置的資訊中,亦可僅更新一部分。又,不更新搬送用移動位置資訊及更新用移動位置資訊的至少其中一方亦可。
(4)在上述第2實施形態中,是將位置更新用地點兼用為保管用地點。然而,並非受限於如此構成,也可將位置更新用地點設定在與保管用地點不同之地點。
(5)上述各實施形態(包含上述實施形態及其他實
施形態;以下相同)所揭示之構成,只要不產生矛盾,與在其他實施形態所揭示之構成加以組合而應用也是可行的。關於其他之構成,本說明書中所揭示之實施形態在各方面僅為例示,在不脫離本揭示內容之要旨的範圍內適當地改變是可行的。
[實施形態的概要]
本實施形態之物品搬送設備具備:將物品搬送至搬送對象地點之物品搬送裝置、及控制前述物品搬送裝置之作動的控制裝置,前述物品搬送裝置具備:沿行走路徑行走之行走部、被前述行走部所支撐且吊掛支撐物品之支撐部、在前述行走部停止之狀態下使前述支撐部相對於前述行走部升降的升降驅動部、及記憶用以使前述行走部停止之位置資訊的記憶部,前述物品搬送設備還具備用以檢測裝設於位置更新用地點之被檢測體的位置之位置檢測裝置,前述支撐部是構成為能夠支撐前述位置檢測裝置,前述記憶部記憶有搬送用目標位置資訊及更新用目標位置資訊作為前述位置資訊,該搬送用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置將物品移載至前述搬送對象地點時作為使前述行走部停止之目標位置的搬送用目標位置,該更新用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體時作為使前述行走部停止之目標位置的更新用目標位置,
前述控制裝置是構成為用以實行搬送控制與更新控制,前述搬送控制是如下之控制:在指示往前述搬送對象地點搬送物品之搬送指令被發出時,依據前述搬送用目標位置資訊使前述行走部停止於前述搬送用目標位置,並在該停止狀態下使前述支撐部升降而將物品移載至前述搬送對象地點,前述更新控制是如下之控制:在依據前述更新用目標位置資訊使前述行走部停止於前述更新用目標位置之狀態下,透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體之位置,並依據該檢測資訊,進行前述記憶部所記憶之前述更新用目標位置資訊及前述搬送用目標位置資訊的更新,前述控制裝置是構成為在比預先設定之期間的設定期間更長之間隔所進行之維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行前述更新控制,且,以指示前述更新指令後之經過時間已達比前述設定期間更短之時間的自動更新用時間為條件而實行前述更新控制。
依據此構成,可藉由控制裝置進行下列的更新控制:在依據更新用目標位置資訊使行走部停止於更新用目標位置之狀態下,藉由位置檢測裝置檢測被檢測體之位置,並依據該檢測資訊,進行記憶部所記憶之更新用目標位置資訊及搬送用目標位置資訊的更新。
如此,透過利用有別於搬送對象地點另外設定之位置更新用地點而更新搬送用目標位置資訊,便不需為了更新
控制之實行而在搬送對象地點設置被檢測體。因此,由於就算在更新控制之實行中也能夠將物品搬送到搬送對象地點,所以能夠抑制物品之搬送効率的降低。
又,更新控制除了在比設定期間更長之間隔所進行之維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行以外,還能以指示更新指令後之經過時間已達比設定期間更短的自動更新用時間為條件來實行。在伴隨維護作業之更新控制被實行後到下一次伴隨維護作業之更新控制被實行之期間,也可在每次經過自動更新用時間時進行更新控制。如此,藉由在進行維護作業後到進行下一次的維護作業之期間也實行更新處理,便能夠在不縮短維護作業之間隔的情形下,在直到物品搬送裝置變得無法將物品移載至搬送對象地點前之適當的時期進行搬送用目標位置資訊之更新。
因此,能夠避免作業者之作業負擔的增加並在適當之時期進行搬送用目標位置資訊的更新,且抑制物品之搬送効率的降低。
在一態樣中,較為理想的是,前述位置檢測裝置是在不與被前述支撐部所支撐之物品干涉的狀態下被前述支撐部所支撐。
依據此構成,不僅在支撐部未支撐物品時,就算是在支撐部支撐有物品之狀態下使物品搬送裝置搬送物品時,也能夠將位置檢測裝置支撐於支撐部。因此,能夠使支撐部隨時支撐位置檢測裝置。在控制裝置實行更新控制
之前後,由於對支撐部裝卸位置檢測裝置之作業變得不需要,所以能夠有效率地進行搬送用目標位置資訊之更新。
在一態様中,較為理想的是,前述位置檢測裝置是以取出自如之狀態被支撐在保管用地點,前述物品搬送裝置是構成為利用在前述行走部停止於針對前述保管用地點之為目標位置的保管用目標位置之狀態下使前述支撐部升降之作法,而藉由前述支撐部將前述位置檢測裝置從前述保管用地點取出,前述記憶部會記憶表示前述保管用目標位置之保管用目標位置資訊,前述控制裝置在前述更新控制之實行前,會依據前述保管用目標位置資訊來實行使前述行走部停止於前述保管用目標位置,並透過前述支撐部取出前述位置檢測裝置之檢測裝置取出控制。
依據此構成,由於位置檢測裝置是以取出自如之狀態被支撐在保管用地點,所以即便是設置有複數個物品搬送裝置時,該等複數個物品搬送裝置也能夠共用被支撐在保管用地點之位置檢測裝置。因此,就算設置複數個物品搬送裝置時,由於位置檢測裝置僅1個即足夠,所以能夠抑制物品搬送設備整體之成本。
在一態様中,較為理想的是,前述位置更新用地點兼用為前述保管用地點。
依據此構成,由於位置更新用地點與保管用地點是兼用的,所以不需要有別於位置更新用地點而另外確保保管用地點。因此,能夠謀求物品搬送設備之省空間化。又,由於位置檢測裝置是被支撐在裝設有被檢測體之位置
更新用地點,所以在以該位置檢測裝置檢測被檢測體之位置時,能夠縮小位置檢測裝置之移動量。因此,能夠有效率地以位置檢測裝置檢測被檢測體之位置。
在一態様中,較為理想的是,前述控制裝置在完成前述搬送控制後,是在下一個前述搬送指令被發出前開始前述更新控制。
依據此構成,控制裝置在搬送控制完成後,能夠利用在依據下一個搬送指令實行搬送控制前的空閒時間實行更新控制。因此,能夠有效率地實行更新控制。
本實施形態之物品搬送設備的維護作業方法中,該物品搬送設備具備:將物品搬送至搬送對象地點之物品搬送裝置、及控制前述物品搬送裝置之作動的控制裝置,前述物品搬送裝置具備:沿行走路徑行走之行走部、被前述行走部所支撐且吊掛支撐物品之支撐部、在前述行走部停止之狀態下使前述支撐部相對於前述行走部升降的升降驅動部、及記憶用以使前述行走部停止之位置資訊的記憶部,前述物品搬送設備還具備用以檢測裝設於位置更新用地點之被檢測體的位置之位置檢測裝置,前述支撐部是構成為能夠支撐前述位置檢測裝置,前述記憶部記憶有搬送用目標位置資訊及更新用目標位置資訊作為前述位置資訊,該搬送用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置將物品移載至前述搬送對象地點時
作為使前述行走部停止之目標位置的搬送用目標位置,該更新用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體時作為使前述行走部停止之目標位置的更新用目標位置,前述控制裝置是構成為用以實行搬送控制與更新控制,前述搬送控制是如下之控制:在指示往前述搬送對象地點搬送物品之搬送指令被發出時,依據前述搬送用目標位置資訊使前述行走部停止於前述搬送用目標位置,並在該停止狀態下使前述支撐部升降而將物品移載至前述搬送對象地點,前述更新控制是如下之控制:在依據前述更新用目標位置資訊使前述行走部停止於前述更新用目標位置之狀態下,透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體之位置,並依據該檢測資訊,進行前述記憶部所記憶之前述更新用目標位置資訊及前述搬送用目標位置資訊的更新,前述控制裝置會在比預先設定之期間的設定期間更長之間隔所進行的維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行前述更新控制,且,以指示前述更新指令後之經過時間已達比前述設定期間更短之時間的自動更新用時間為條件實行前述更新控制。
依據此構成,可藉由控制裝置進行下列的更新控制:在依據更新用目標位置資訊使行走部停止於更新用目標位置之狀態下,藉由位置檢測裝置檢測被檢測體之位置,
並依據該檢測資訊,進行記憶部所記憶之更新用目標位置資訊及搬送用目標位置資訊的更新。
如此,透過利用有別於搬送對象地點另外設定之位置更新用地點而更新搬送用目標位置資訊,便不需為了更新控制之實行而在搬送對象地點設置被檢測體。因此,由於就算在更新控制之實行中也能夠將物品搬送至搬送對象地點,所以能夠抑制物品之搬送効率的降低。
又,更新控制除了在比設定期間更長之間隔所進行之維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行以外,還能以指示更新指令後之經過時間已達比設定期間更短的自動更新用時間為條件而實行。在伴隨維護作業之更新控制被實行後到下一次伴隨維護作業之更新控制被實行之期間,也可在每次經過自動更新用時間時進行更新控制。如此,藉由在進行維護作業後到進行下一次的維護作業之期間也實行更新處理,便能夠在不縮短維護作業之間隔的情形下,在直到物品搬送裝置變得無法將物品移載至搬送對象地點前之適當的時期進行搬送用目標位置資訊之更新。
因此,能夠避免作業者之作業負擔的增加並在適當之時期進行搬送用目標位置資訊的更新,且抑制物品之搬送效率的降低。
另外,關於物品搬送設備之維護作業方法,也可將關於物品搬送設備而於上所述之適合的構成適當地納入。
Claims (6)
- 一種物品搬送設備,具備將物品搬送至搬送對象地點之物品搬送裝置、及控制前述物品搬送裝置之作動的控制裝置,前述物品搬送裝置具備:沿行走路徑行走之行走部、被前述行走部所支撐且吊掛支撐物品之支撐部、在前述行走部停止之狀態下使前述支撐部相對於前述行走部升降的升降驅動部、及記憶用以使前述行走部停止之位置資訊的記憶部,該物品搬送設備具有以下之特徵:前述物品搬送設備還具備用以檢測裝設於位置更新用地點之被檢測體的位置之位置檢測裝置,前述支撐部是構成為能夠支撐前述位置檢測裝置,前述記憶部記憶搬送用目標位置資訊及更新用目標位置資訊作為前述位置資訊,前述搬送用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置將物品移載至前述搬送對象地點時作為使前述行走部停止之目標位置的搬送用目標位置;前述更新用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體時作為使前述行走部停止之目標位置的更新用目標位置,前述控制裝置是構成為用以實行搬送控制與更新控制,前述搬送控制是如下之控制:在指示往前述搬送對象地點搬送物品之搬送指令被發出時,依據前述搬送用目標位置資訊使前述行走部停止於前述搬送用目標位置,在該停止狀態下使前述支撐部升降而將物品移載至前述搬送對象地點,前述更新控制是如下之控制:在依據前述更新用目標位置資訊使前述行走部停止於前述更新用目標位置之狀態下,透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體之位置,並依據該檢測資訊,進行被前述記憶部所記憶之前述更新用目標位置資訊及前述搬送用目標位置資訊的更新,前述控制裝置是構成為在比預先設定之期間的設定期間更長之間隔所進行的維護作業中依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行前述更新控制,且,以指示前述更新指令後之經過時間已達比前述設定期間更短之時間的自動更新用時間為條件而實行前述更新控制。
- 如請求項1之物品搬送設備,其中前述位置檢測裝置是在不與被前述支撐部所支撐之物品干涉的狀態下被前述支撐部所支撐。
- 如請求項1之物品搬送設備,其中前述位置檢測裝置是以取出自如之狀態被支撐在保管用地點,前述物品搬送裝置是構成為在前述行走部停止於針對前述保管用地點之目標位置的保管用目標位置之狀態下藉由使前述支撐部升降而透過前述支撐部將前述位置檢測裝置從前述保管用地點取出,前述記憶部會記憶表示前述保管用目標位置之保管用目標位置資訊,前述控制裝置在前述更新控制之實行前,會實行依據前述保管用目標位置資訊使前述行走部停止於前述保管用目標位置,並透過前述支撐部取出前述位置檢測裝置之檢測裝置取出控制。
- 如請求項3之物品搬送設備,其中前述位置更新用地點兼用為前述保管用地點。
- 如請求項1~4中任一項之物品搬送設備,其中前述控制裝置在完成前述搬送控制後,在下一個前述搬送指令被發出前開始前述更新控制。
- 一種物品搬送設備之維護作業方法,前述物品搬送設備具備將物品搬送至搬送對象地點之物品搬送裝置,前述物品搬送裝置具備:沿行走路徑行走之行走部、被前述行走部所支撐且吊掛支撐物品之支撐部、在前述行走部停止之狀態下使前述支撐部相對於前述行走部升降之升降驅動部、記憶用以使前述行走部停止之位置資訊的記憶部、及用以檢測裝設於位置更新用地點之被檢測體的位置之位置檢測裝置,前述支撐部是構成為能夠支撐前述位置檢測裝置,前述物品搬送設備之維護作業方法具有以下之特徵:包含有下述步驟:在前述記憶部記憶搬送用目標位置資訊及更新用目標位置資訊作為前述位置資訊的步驟,前述搬送用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置將物品移載至前述搬送對象地點時,作為使前述行走部停止之目標位置的搬送用目標位置;前述更新用目標位置資訊是表示在前述物品搬送裝置透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體時,作為使前述行走部停止之目標位置的更新用目標位置;實行搬送控制的步驟,在指示往前述搬送對象地點搬送物品之搬送指令被發出時,依據前述搬送用目標位置資訊使前述行走部停止於前述搬送用目標位置,在該停止狀態下使前述支撐部升降而將物品移載至前述搬送對象地點;及實行更新控制的步驟,在依據前述更新用目標位置資訊使前述行走部停止於前述更新用目標位置之狀態下,透過前述位置檢測裝置檢測前述被檢測體之位置,並依據該檢測資訊,進行被前述記憶部所記憶之前述更新用目標位置資訊及前述搬送用目標位置資訊的更新,前述實行更新控制的步驟中,在比預先設定之期間的設定期間更長之間隔所進行的維護作業中,依據透過作業者之人為操作所指示之更新指令實行前述更新控制,且,以指示前述更新指令後之經過時間已達比前述設定期間更短之時間的自動更新用時間為條件而實行前述更新控制。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015080135A JP6330714B2 (ja) | 2015-04-09 | 2015-04-09 | 物品搬送設備及び物品搬送設備の保守作業方法 |
JP2015-080135 | 2015-04-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201641392A TW201641392A (zh) | 2016-12-01 |
TWI666157B true TWI666157B (zh) | 2019-07-21 |
Family
ID=57112485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW105109024A TWI666157B (zh) | 2015-04-09 | 2016-03-23 | 物品搬送設備及物品搬送設備之維護作業方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9589821B2 (zh) |
JP (1) | JP6330714B2 (zh) |
KR (1) | KR102418303B1 (zh) |
CN (1) | CN106044040B (zh) |
TW (1) | TWI666157B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2016
- 2016-03-23 TW TW105109024A patent/TWI666157B/zh active
- 2016-04-05 KR KR1020160041661A patent/KR102418303B1/ko active IP Right Grant
- 2016-04-05 US US15/090,813 patent/US9589821B2/en active Active
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JP2016199348A (ja) | 2016-12-01 |
CN106044040B (zh) | 2019-08-23 |
CN106044040A (zh) | 2016-10-26 |
TW201641392A (zh) | 2016-12-01 |
KR102418303B1 (ko) | 2022-07-06 |
JP6330714B2 (ja) | 2018-05-30 |
US9589821B2 (en) | 2017-03-07 |
KR20160121421A (ko) | 2016-10-19 |
US20160297613A1 (en) | 2016-10-13 |
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