KR102062548B1 - 반송 시스템 및 반송 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 반송 시스템은, 궤도와, 복수의 천정 반송차와, 천정 반송차에 대한 FOUP의 반송 명령을 출력하는 반송 컨트롤러를 구비한다. 반송 컨트롤러는, 하류 측 포트에 재치된 제1 FOUP가 회수 대기의 상태이며, 또한, 상류 측 포트에 FOUP가 재치되어 있지 않은 경우에, 제1 FOUP가 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지는, 상류 측 포트에 제2 FOUP를 반송할 천정 반송차가 파악될 때까지 제1 FOUP의 회수를 지시하는 반송 명령의 출력을 대기하며, 제1 FOUP가 회수 대기의 상태가 된 시점으로부터 대기 시간이 경과한 경우에는, 제1 FOUP의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력한다.

Description

반송 시스템 및 반송 방법
[0001] 본 개시는, 반송(搬送) 시스템 및 반송 방법에 관한 것이다.
[0002] 예컨대 반도체 제조공장에 적용되는 반송 시스템으로서, 처리 장치로의 피(被)반송물의 공급과 처리 장치로부터 처리가 완료된 피반송물의 회수를 천정 반송차가 실행하게 하는 시스템이 알려져 있다. 이러한 반송 시스템에 있어서, 예컨대, 천정 반송차의 주행 방향에 있어서의 장치 포트보다 상류 측에 임시 재치대(載置台)를 설치하는 구성이 알려져 있다(특허문헌 1 참조).
[0003] 이러한 구성에 의하면, 임시 재치대에 피반송물을 재치한 천정 반송차가 하류 측의 장치 포트에 재치되어 있는 처리 완료된 피반송물을 회수하는 것(재치·수거 동작)이 가능해진다. 이러한 재치·수거 동작이 성립한 경우, 처리 장치에 대한 피반송물의 공급 및 회수를 1대의 천정 반송차가 실행하게 할 수 있기 때문에, 천정 반송차의 운용 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0004] 일본 특허공개공보 제2014-57111호
[0005] 그러나, 종래, 상술한 재치·수거 동작은, 어디까지나, 장치 포트 상에 회수를 대기하는 피반송물이 있을 때에 임시 재치대를 향해 피반송물을 반송하는 천정 주행차가 나타났을 경우에 우연히 성립하는 것에 불과하였다. 이 때문에, 재치·수거 동작이 성립할 가능성은 낮았다.
[0006] 따라서, 본 개시의 일 형태는, 반송 효율의 악화를 억제하면서 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높임으로써, 반송차의 운용 효율을 향상시킬 수 있는 반송 시스템 및 반송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[0007] 본 개시의 일 형태와 관련된 반송 시스템은, 궤도와, 궤도를 따라 주행하고, 피반송물을 반송하는 복수의 반송차와, 반송차에 대한 피반송물의 반송 명령을 출력하는 컨트롤러를 구비하며, 컨트롤러는, 피반송물을 재치할 수 있는 장소인 하류 측 포트에 재치된 제1 피반송물이 회수 대기의 상태이고, 또한, 반송차의 주행 방향에 있어서 하류 측 포트보다 상류 측에 배치되며, 피반송물을 재치할 수 있는 장소인 상류 측 포트에 피반송물이 재치되어 있지 않은 경우에, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지는, 상류 측 포트에 제2 피반송물을 반송하는 반송차가 파악될 때까지 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령의 출력을 대기하며, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점으로부터 대기 시간이 경과한 경우에는, 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력한다.
[0008] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 미리 정해진 대기 시간 내에서, 상류 측 포트에 제2 피반송물을 반송하는 반송차가 파악될 때까지, 하류 측 포트 상에서 회수 대기의 상태로 되어 있는 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령(회수 명령)의 출력을 대기한다. 이와 같이, 상류 측 포트에 제2 피반송물을 반송하는 반송차가 파악된 후에 제1 피반송물의 회수 명령을 출력함으로써, 제2 피반송물을 반송하는 반송차에 제1 피반송물의 회수 명령이 할당될 가능성을 높일 수가 있다. 그 결과, 제2 피반송물을 상류 측 포트에 재치한 반송차에 의해 제1 피반송물이 회수되는 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높일 수가 있다. 또, 회수 명령의 출력을 대기할 수 있는 대기 시간이 미리 정해져 있음에 따라, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인해 반송 효율이 악화되는 것을 억제할 수가 있다. 따라서, 상기 반송 시스템에 의하면, 반송 효율의 악화를 억제하면서 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높임으로써, 반송차의 운용 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0009] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 상위 컨트롤러로부터 접수한 피반송물의 반송 요구에 근거하여 피반송물의 반송 명령을 출력하도록 구성되어 있으며, 컨트롤러는, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 제1 대기 시간이 경과할 때까지, 상류 측 포트로의 제2 피반송물의 반송을 지시하는 반송 요구를 상위 컨트롤러로부터 접수하지 않은 경우에, 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력해도 된다. 상위 컨트롤러로부터 제2 피반송물의 반송 요구를 접수할 때까지의 시간이 장기화되었을 경우, 그만큼, 재치·수거 동작을 실행할 수 있는 반송차가 제1 피반송물을 회수하는 시간도 지연되게 된다. 따라서, 상기 반송 시스템에서는, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되고 나서 상류 측 포트로의 제2 피반송물의 반송을 지시하는 반송 요구를 접수할 때까지의 시간이 제1 대기 시간을 초과한 경우에 회수 명령을 출력한다. 이로써, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인한 반송 효율의 악화를 적절히 억제할 수가 있다.
[0010] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 상류 측 포트로의 제2 피반송물의 반송을 지시하는 반송 요구를 상위 컨트롤러로부터 접수하고 나서 미리 정해진 제2 대기 시간이 경과할 때까지, 제2 피반송물이 반송차에 의해 반송되는 반송 상태가 되지 않았을 경우에, 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력해도 된다. 상위 컨트롤러로부터 상류 측 포트로의 제2 피반송물의 반송을 지시하는 반송 요구를 접수하고 나서 해당 제2 피반송물이 반송 상태가 될 때까지의 시간이 장기화되었을 경우, 그 만큼, 재치·수거 동작을 실행할 수 있는 반송차가 제1 피반송물을 회수하는 시간도 지연되게 된다.
따라서, 상기 반송 시스템에서는, 상류 측 포트로의 제2 피반송물의 반송을 지시하는 반송 요구를 상위 컨트롤러로부터 접수하고 나서 제2 피반송물이 반송 상태가 될 때까지의 시간이 제2 대기 시간을 초과한 경우에 회수 명령을 출력한다. 이로써, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인한 반송 효율의 악화를 적절히 억제할 수가 있다.
[0011] 상기 반송 시스템은, 반송차가 피반송물을 주고받을 수 있는 보관부, 및 반송차가 피반송물을 주고받을 수 있는 장치 포트와 보관부의 사이에서 피반송물을 이재할 수 있는 이재 기구를 가지는 보관 장치를 더 구비하며, 보관부는, 반송차의 주행 방향에 있어서 장치 포트보다 상류 측에 설치되는 제1 보관부와, 반송차의 주행 방향에 있어서 장치 포트보다 하류 측에 설치되는 제2 보관부를 포함하고, 하류 측 포트는, 장치 포트 또는 제2 보관부이며, 상류 측 포트는, 하류 측 포트가 장치 포트인 경우에는, 제1 보관부이고, 하류 측 포트가 제2 보관부인 경우에는, 제1 보관부 또는 장치 포트이며, 컨트롤러는, 이재 기구에 대한 피반송물의 반송 명령을 추가로 출력하도록 구성되고, 하류 측 포트가 비어 있으며 또한 상류 측 포트에 제1 피반송물이 재치되어 있는 경우, 제1 피반송물의 하류 측 포트로의 이재를 지시하는 반송 명령을 이재 기구에 대해 출력해도 된다. 상기 구성에 의하면, 이재 기구에 의해 상류 측 포트(제1 보관부 또는 장치 포트)로부터 하류 측 포트(장치 포트 또는 제2 보관부)로의 피반송물의 이재를 행함으로써, 재치·수거 동작을 실행할 수 있는 상황을 의도적으로 생성할 수가 있다.
[0012] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 제1 피반송물의 반송에 관한 우선도가 미리 정해진 기준보다 높은 경우, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력해도 된다. 상기 반송 시스템에 의하면, 반송에 관한 우선도가 높은 피반송물을, 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높이기 위해 회수 명령의 출력을 대기하는 제어(재치·수거 제어)의 실행 대상으로부터 제외하여, 신속하게 반송할 수가 있다. 이로써, 제1 피반송물에 대해 요구되는 요건을 충족시키고서, 재치·수거 제어를 적절히 실행할 수가 있다.
[0013] 상기 반송 시스템에서는, 컨트롤러는, 제1 피반송물의 다음 반송처가 미리 정해진 특정한 반송처인 경우, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력해도 된다. 상기 반송 시스템에 의하면, 예컨대 반송을 서두를 필요가 있는 반송처를 미리 특정한 반송처로서 정해 둠으로써, 이러한 특정한 반송처를 다음 반송처로 하는 피반송물을, 재치·수거 제어의 실행 대상으로부터 제외하여, 신속하게 반송할 수가 있다. 이로써, 제1 피반송물에 요구되는 요건을 충족시키고서, 재치·수거 제어를 적절히 실행할 수가 있다.
[0014] 본 개시의 일 형태와 관련된 반송 방법은, 상기 반송 시스템에 있어서, 상기 컨트롤러에 의해 실시되는 반송 방법으로서, 하류 측 포트에 재치된 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되었음을 검지하는 제1 단계와, 제1 단계에 있어서 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되었음이 검지되었을 경우에, 상류 측 포트에 피반송물이 재치되어 있는지 여부를 판정하는 제2 단계와, 제2 단계에 있어서, 상류 측 포트에 피반송물이 재치되어 있지 않은 것으로 판정되었을 경우에, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지는, 상류 측 포트에 제2 피반송물을 반송하는 반송차가 파악될 때까지 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령의 출력을 대기하며, 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점으로부터 대기 시간이 경과한 경우에는, 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력하는 제3 단계를 포함한다.
[0015] 상기 반송 방법에서는, 컨트롤러는, 하류 측 포트 상의 제1 피반송물이 회수 대기의 상태이고, 또한, 상류 측 포트에 피반송물이 재치되어 있지 않은 경우에, 미리 정해진 대기 시간 내에서, 상류 측 포트에 제2 피반송물을 반송하는 반송차가 파악될 때까지, 하류 측 포트 상에서 회수 대기의 상태로 되어 있는 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령(회수 명령)의 출력을 대기한다. 이로써, 제2 피반송물을 반송하는 반송차에 제1 피반송물의 회수 명령이 할당될 가능성을 높일 수가 있다. 그 결과, 제2 피반송물을 상류 측 포트에 재치한 반송차에 의해 제1 피반송물이 회수되는 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높일 수가 있다. 또, 회수 명령의 출력을 대기할 수 있는 대기 시간이 미리 정해져 있음에 따라, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인해 반송 효율이 악화되는 것을 억제할 수가 있다. 따라서, 상기 반송 방법에 의하면, 반송 효율의 악화를 억제하면서 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높임으로써, 반송차의 운용 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0016] 본 개시의 일 형태에 의하면, 반송 효율의 악화를 억제하면서 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높임으로써, 반송차의 운용 효율을 향상시킬 수 있는 반송 시스템을 제공할 수 있게 된다.
[0017] 도 1은, 본 개시의 일 실시형태의 반송 시스템의 주요부를 나타낸 도면이다.
도 2는, 도 1의 보관 장치 및 반도체 처리 장치의 평면도이다.
도 3은, 반송 시스템의 제어 구성을 나타낸 블록도이다.
도 4는, 재치·수거 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는, 재치·수거 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은, 재치·수거 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 7은, 재치·수거 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은, 재치·수거 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 9는, 재치·수거 동작의 일례를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은, 반송 시스템의 동작을 나타낸 플로우 차트이다.
[0018] 이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 개시의 일 실시형태를 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일 또는 동등한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략하도록 한다.
[0019] 도 1 및 도 2를 이용하여, 본 실시형태의 반송 시스템(1)에 대해 설명한다. 반송 시스템(1)은, 복수의 반도체 처리장치(100)를 구비하는 반도체 제조공장 내에서, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 반송하기 위한 시스템이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 시스템(1)은, 궤도(10)와, 복수의 천정 반송차(20)와, 각 반도체 처리장치(100)에 대응하도록 설치된 보관장치(30)를 구비한다. 도 1은, 반도체 제조공장 내에 존재하는 복수의 반도체 처리장치(100) 중 1개의 반도체 처리장치(100)에 대응하는 보관장치(30)를 도시하고 있다.
[0020] 궤도(10)는, 반도체 제조공장의 천정 부근에 부설(敷設)되어 있다. 천정 반송차(20)는, OHT(Overhead Hoist Transfer)이다. 천정 반송차(20)는, 궤도(10)에 매달린 상태로 궤도(10)를 따라 일 방향으로 주행한다. 이하, 천정 반송차(20)의 주행 방향(A)에 있어서의 상류 측 및 하류 측을 「상류 측」 및 「하류 측」이라고 한다.
[0021] 천정 반송차(20)는, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(90)를 각 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 또는 후술하는 보관부(31)에 반송(공급)한다. 본 실시형태에서는 일례로서, 1개의 반도체 처리장치(100)에 대해서 2개의 장치 포트(101)가, 천정 반송차(20)의 주행 방향(A)을 따라 나란히 설치되어 있다. 반도체 처리장치(100)는, 장치 포트(101)에 재치된 FOUP(90)에 수용된 반도체 웨이퍼 등에 대해 소정의 가공 처리를 실행한다. 이후의 설명에 있어서는, FOUP(90)에 수용된 반도체 웨이퍼 등에 대한 처리를 가리켜, 단순히 FOUP(90)에 대한 처리라고 표현한다. 예컨대, 수용하는 반도체 웨이퍼 등에 대한 가공 처리가 실행된 후의 FOUP(90)를 가리켜, 처리 완료 FOUP(90) 등으로 표현한다. 처리 완료 FOUP(90)는, 천정 반송차(20)에 의해 회수되며, 예컨대 다음 공정의 처리를 행할 반도체 처리장치(100)의 장치 포트 등으로 반송된다. 처리 완료 FOUP(90)는, 장치 포트(101)에 있어서 천정 반송차(20)에 회수되는 경우도 있고, 일단 보관부(31)에 퇴피된 후에 천정 반송차(20)에 회수되는 경우도 있다.
[0022] 천정 반송차(20)는, FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지(把持)할 수 있는 파지 기구(21)와, 파지 기구(21)가 접속된 벨트(22)를 감거나 풀어냄으로써 파지 기구(21)를 승강시킬 수 있는 승강 기구(23)를 갖는다. 천정 반송차(20)는, 파지 기구(21)를 승강 기구(23)에 의해 승강시킴으로써, 후술하는 보관부(31) 및 장치 포트(101)의 각각과의 사이에서, FOUP(90)를 주고받을 수 있게 되어 있다.
[0023] 보관장치(30)는, 일례로서 2개의 보관부(31)와, 로컬 대차(台車)(이재(移載) 기구; 32)와, 보관부(31) 및 로컬 대차(32)를 지지하는 지지 부재(33)를 구비한다. 지지 부재(33)는, 주면끼리 궤도(10)의 연신(延伸) 방향으로 대향하도록 지면(地面)에 세워 설치된 한 쌍의 측벽부(33a, 33a)와, 궤도(10)의 하방에 있어서 궤도(10)의 연신 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)를 갖는다. 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)끼리는, 동일한 높이 위치에 있어서 궤도(10)의 연신 방향과 직교하는 방향으로 대향하고 있다. 각 레일 부재(33b)의 양단부는 각각, 한 쌍의 측벽부(33a, 33a)의 상면 단부(端部)에 지지되어 있다. 또한, 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)끼리의 간격은, 천정 반송차(20)에 의해 승강되는 FOUP(90)가 레일 부재(33b)와 간섭하지 않는 사이즈로 되어 있다.
[0024] 보관부(31)는, FOUP(90)를 재치할 수 있도록 수평방향으로 연장되는 판형상 부재이다. 2개의 보관부(31) 중 상류 측의 제1 보관부(31A)는, 2개의 장치 포트(101)보다 상류 측에 위치하도록, 상류 측의 측벽부(33a)의 하류 측 측면에 고정되어 있다. 한편, 2개의 보관부(31) 중 하류 측의 제2 보관부(31B)는, 2개의 장치 포트(101)보다 하류 측에 위치하도록, 하류 측의 측벽부(33a)의 상류 측 측면에 고정되어 있다.
[0025] 상류 측의 제1 보관부(31A)는, 장치 포트(101)에 빈 곳이 없는 경우(도 1의 예에서는, 2개의 장치 포트(101)에 FOUP(90)가 재치되어 있는 경우)에, 처리 대기 FOUP(90)를 대기시키는 대기 장소로서 기능한다. 제1 보관부(31A)에 처리 대기 FOUP(90)를 대기시켜 둠으로써, 장치 포트(101)에 빈 곳이 생겼을 경우에, 제1 보관부(31A)로부터 해당 장치 포트(101)로 처리 대기 FOUP(90)를 즉시 공급할 수가 있다.
[0026] 하류 측의 제2 보관부(31B)는, 반도체 처리장치(100)에 의한 처리가 완료된 처리 완료 FOUP(90)를 장치 포트(101)로부터 퇴피시키는 퇴피 장소로서 기능한다. 제2 보관부(31B)에 처리 완료 FOUP(90)를 퇴피시킴으로써, 처리 완료 FOUP(90)가 천정 반송차(20)에 의해 회수되지 않고 장치 포트(101) 상에 재치된 채가 되어, 해당 장치 포트(101)를 이용할 수 없는 상태가 되는 것을 해소할 수가 있다.
[0027] 로컬 대차(32)는, 차륜(車輪; W)이 부착된 대차부(台車部, 32a)를 갖는다. 또, 로컬 대차(32)는, 천정 반송차(20)와 마찬가지로, FOUP(90)의 플랜지부(91)를 파지할 수 있는 파지 기구(32b)와, 파지 기구(32b)가 접속된 벨트(32c)를 감거나 풀어냄으로써 파지 기구(32b)를 승강시킬 수 있는 승강 기구(도시생략)를 갖는다. 로컬 대차(32)는, 대차부(32a)의 차륜(W)이 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b) 상을 주행함으로써, 한 쌍의 레일 부재(33b, 33b)를 따라 이동할 수 있게 되어 있다. 또, 로컬 대차(32)는, 파지 기구(32b)를 승강 기구에 의해 승강시킴으로써, 보관부(31)와 장치 포트(101)의 사이에서, FOUP(90)를 이재할 수 있게 되어 있다.
[0028] 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송 시스템(1)은, 제어 계통을 맡는 기능 요소로서, 반송 컨트롤러(41)와, 복수의 천정 반송차(20)에 공통되는 천정 반송차 컨트롤러(42)와, 보관장치(30)마다 설치된 보관 장치 컨트롤러(43)를 구비한다. 반송 컨트롤러(41), 천정 반송차 컨트롤러(42), 및 보관 장치 컨트롤러(43)의 각각은, 예컨대, 프로세서, 메모리, 스토리지, 및 통신 디바이스 등을 포함하는 컴퓨터 장치로서 구성된다. 각 컨트롤러에 있어서, 프로세서가, 메모리 등에 읽어들여진 소정의 소프트웨어(프로그램)를 실행하고, 메모리 및 스토리지에 있어서의 데이터의 판독 및 기입, 그리고 통신 디바이스에 의한 컨트롤러 사이에서의 통신을 제어함으로써, 후술하는 각 컨트롤러의 기능이 실현된다.
[0029] 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차(20) 및 로컬 대차(32)의 동작을 제어하는 컨트롤러이다. 천정 반송차(20)의 동작을 제어할 경우, 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차 컨트롤러(42)에 대해서, FOUP(90)의 반송 명령을 출력한다. 즉, 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차 컨트롤러(42)를 통해, 천정 반송차(20)에 대한 FOUP(90)의 반송 명령을 출력한다. 또, 로컬 대차(32)의 동작을 제어하는 경우, 반송 컨트롤러(41)는, 해당 로컬 대차(32)를 포함한 보관장치(30)를 제어하는 보관 장치 컨트롤러(43)에 대해서, FOUP(90)의 반송 명령을 출력한다. 즉, 반송 컨트롤러(41)는, 보관 장치 컨트롤러(43)를 통해, 해당 보관 장치 컨트롤러(43)에 의해 제어되는 로컬 대차(32)에 대한 FOUP(90)의 반송 명령을 출력한다.
[0030] 반송 명령이란, 반송 대상인 FOUP(90)를 어느 출발지(반송원(搬送元))로부터 어느 목적지(반송처)까지 반송할 것을 지시하는 정보이다. 구체적으로는, 반송 명령은, 반송 대상인 FOUP(90)를 식별하는 정보(ID)와, 반송 대상인 FOUP(90)를 싣는 지점(장치 포트 및 보관부 등)을 특정하는 정보(From 지점)와, 반송 대상인 FOUP(90)를 내리는 지점(장치 포트 및 보관부 등)을 특정하는 정보(To 지점)를 서로 관련지은 정보이다.
[0031] 반송 컨트롤러(41)는, 반송 명령의 From 지점과 To 지점의 조합에 근거하여, 적절한 컨트롤러에 반송 명령을 출력한다. 구체적으로는, From 지점과 To 지점의 조합이 동일한 보관장치(30) 내의 로컬 대차(32)에 의해 이재 가능한 조합인 경우, 반송 컨트롤러(41)는, 해당 보관장치(30)에 대응하는 보관 장치 컨트롤러(43)에 반송 명령을 출력한다. 한편, From 지점과 To 지점의 조합이 동일한 보관장치(30) 내의 로컬 대차(32)에 의해 이재 가능한 조합이 아닌 경우(예컨대 다른 반도체 처리장치(100) 간의 반송인 경우), 반송 컨트롤러(41)는, 천정 반송차 컨트롤러(42)에 반송 명령을 출력한다.
[0032] 반송 컨트롤러(41)에 의해 출력되는 반송 명령은, 상위 컨트롤러(40)로부터의 반송 요구에 근거하여 생성된다. 상위 컨트롤러(40)는, 반도체 제조공장 전체의 상황을 감시함으로써, 각 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 및 보관부(31)가 비어있는 상황을 파악하고 있다. 또, 상위 컨트롤러(40)는, 각 FOUP(90)의 처리 상황도 파악하고 있다. 상위 컨트롤러(40)는, 반송 컨트롤러(41), 천정 반송차 컨트롤러(42), 및 보관 장치 컨트롤러(43)와 마찬가지로, 예컨대, 프로세서, 메모리, 스토리지, 및 통신 디바이스 등을 포함하는 컴퓨터 장치로서 구성된다.
[0033] 상위 컨트롤러(40)는, 예컨대 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 또는 제1 보관부(31A)에 빈 곳이 생겼음을 검지하면, 새로운 FOUP(90)를 내릴 것(공급)을 지시하는 반송 요구를 반송 컨트롤러(41)에 출력한다.
[0034] 또, 상위 컨트롤러(40)는, 예컨대 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101) 상에 처리 완료 FOUP(90)가 생겼음(즉, 장치 포트(101) 상에 재치된 FOUP(90)에 대한 반도체 처리장치(100)의 처리가 완료되었음)을 검지하면, 해당 처리 완료 FOUP(90)를 실을 것(회수)을 지시하는 반송 요구를 반송 컨트롤러(41)에 출력한다.
[0035] 반송 컨트롤러(41)는, 상기 예시한 것과 같은 상위 컨트롤러(40)로부터의 반송 요구를 수신하면, 해당 반송 요구에 근거하여, 어느 FOUP(90)를 어디에서 어디로 반송할지를 결정하여, 상술한 반송 명령을 생성한다. 예컨대, 반송 컨트롤러(41)는, 미리 프로그램된 룰에 근거하여, 상위 컨트롤러(40)로부터 수신한 공급 요구(공급을 요구하는 반송 요구) 및 회수 요구(회수를 요구하는 반송 요구)의 매칭(matching)을 도모함으로써, From 지점 및 To 지점이 지정된 반송 명령을 생성한다. 반송 컨트롤러(41)는, 이와 같이 하여 생성된 반송 명령을 천정 반송차 컨트롤러(42) 또는 보관 장치 컨트롤러(43)에 출력한다.
[0036] 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 복수의 천정 반송차(20)의 주행 동작을 제어하는 단일의 컨트롤러이며, 반송 컨트롤러(41)로부터의 반송 명령(ID, From 지점, To 지점)을 수신하면, 해당 반송 명령을 특정한 천정 반송차(20)에 할당한다. 구체적으로는, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 반송 명령으로 나타내어지는 FOUP(90)의 반송 처리를 실행시킬 천정 반송차(20)를 미리 정해진 할당 룰에 근거하여 결정한다. 그리고, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 결정된 천정 반송차(20)에 대해서, FOUP(90)의 반송 처리를 실행하도록 제어 신호를 송신한다. 예컨대, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 현 시점에서 반송 명령이 할당되어 있지 않은 천정 반송차(20) 중 할당 대상인 반송 명령의 From 지점에 가장 가까운 위치에 존재하는 천정 반송차(20)에, 해당 할당 대상인 반송 명령을 할당한다. 또, 천정 반송차 컨트롤러(42)는, 다른 반송 명령을 실행하는 중인 천정 반송차(20)라 하더라도, 할당 대상인 반송 명령의 From 지점으로부터 소정 범위 내의 지점을 To 지점으로 하여 FOUP(90)를 반송하는 중인 천정 반송차(20)에 대해서, 「할당 대상인 반송 명령을 현재 실행 중인 반송 명령 후에 실행할 것」을 지시하는 반송 명령(반송 명령 예약)으로서 할당할 수도 있다.
[0037] 반송 명령이 할당된 천정 반송차(20)는, 해당 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 행하도록 주행 동작을 개시한다. 단, 상술한 반송 명령 예약이 할당된 천정 반송차(20)는, 현재 실행중인 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 완료한 후에, 반송 명령 예약에 근거하는 반송 처리를 행하도록 주행 동작을 개시한다. 구체적으로는, 천정 반송차(20)는, From 지점을 향해 주행을 개시하여, From 지점에 도착하면, 반송 명령의 ID에 의해 특정되는 FOUP(90)를 싣는다. 그 후, 천정 반송차(20)는, To 지점으로 나타내어지는 위치를 향해 주행을 개시하고, To지점으로 나타내어지는 위치에 도착하면, 싣고 있는 FOUP(90)를 내린다. 이러한 일련의 동작에 의해, 반송 명령의 ID에 의해 특정되는 FOUP(90)가, From 지점으로부터 To 지점까지 반송된다.
[0038] 보관 장치 컨트롤러(43)는, 반송 컨트롤러(41)로부터의 반송 명령(ID, From 지점, To 지점)을 수신하면, 제어 대상인 보관장치(30)의 로컬 대차(32)에 대해서, 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 실행하도록 제어 신호를 송신한다. 이로써, 로컬 대차(32)는, 상술한 반송 명령이 할당된 천정 반송차(20)와 마찬가지로, 반송 명령에 근거하는 반송 처리를 행하도록 주행 동작을 개시한다. 구체적으로는, 로컬 대차(32)는, From 지점을 향해 주행을 개시하고, From 지점에 도착하면, 반송 명령의 ID에 의해 특정되는 FOUP(90)를 싣는다. 그 후, 로컬 대차(32)는, To 지점으로 나타내어지는 위치를 향해 주행을 개시하고, To 지점으로 나타내어지는 위치에 도착하면, 싣고 있는 FOUP(90)를 내린다.
[0039] 또한, 보관 장치 컨트롤러(43)는, 도시되지 않은 센서 등에 의해 제어 대상인 보관장치(30)의 보관부(31)가 비어있는 상황을 감시하여, 감시 결과를 순차적으로 반송 컨트롤러(41)에 송신한다. 이로써, 반송 컨트롤러(41)는, 각 보관장치(30)의 보관부(31)가 비어있는 상황을 파악할 수가 있다.
[0040] 다음으로, 반송 컨트롤러(41)에 의한 재치·수거 제어에 대해 설명한다. 반송 컨트롤러(41)는, FOUP(90)를 재치할 수 있는 장소인 하류 측 포트(상술한 장치 포트(101) 또는 제2 보관부(31B))에 재치된 FOUP(90)가 회수 대기의 상태가 되었을 때에, 하류 측 포트보다 상류 측에 배치되며, FOUP(90)를 재치할 수 있는 장소인 상류 측 포트에 FOUP(90)가 재치되어 있지 않은 경우에, 천정 반송차(20)의 운용 효율을 높이기 위한 재치·수거 제어를 실행한다. 도 1에 나타내는 구성예에 있어서는, 상류 측 포트는, 하류 측 포트가 장치 포트(101)인 경우에는 제1 보관부(31A)이고, 하류 측 포트가 제2 보관부(31B)인 경우에는 제1 보관부(31A) 또는 장치 포트(101)이다.
[0041] 재치·수거 제어란, 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높이기 위한 제어이다. 또, 재치·수거 동작이란, 새롭게 반도체 처리장치(100)에 공급되는 FOUP(90; 제2 피반송물)를 상류 측 포트에 재치한 천정 반송차(20)에 의해, 회수 대기 FOUP(90; 제1 피반송물)가 회수되는 동작을 의미한다. 즉, 재치·수거 동작이란, 반도체 처리장치(100)에 대한 FOUP(90)의 공급 및 회수를 1대의 천정 반송차(20)에 의해 행하는 동작이다. 따라서, 재치·수거 동작을 성립시킴으로써, 재치·수거 동작이 성립하지 않는 경우(즉, FOUP(90)의 공급 및 회수에 2대의 천정 반송차(20)가 필요하게 되는 경우)에 비해, 천정 반송차(20)의 운용 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0042] 반송 컨트롤러(41)는, 재치·수거 제어로서, 이하의 동작을 실행한다. 반송 컨트롤러(41)는, 하류 측 포트의 FOUP(90)가 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지는, 상류 측 포트에 다른 FOUP(90)를 반송하는 천정 반송차(20)가 파악될 때까지 하류 측 포트의 FOUP(90)의 회수를 지시하는 반송 명령(회수 명령)의 출력(천정 반송차 컨트롤러(42)로의 출력)을 대기한다. 즉, 반송 컨트롤러(41)는, 회수 대기 FOUP(90)의 회수 명령을 출력하는 타이밍을 상류 측 포트에 다른 FOUP(90)를 반송하는 천정 반송차(20)가 파악될 때까지 늦추도록 제어한다. 이로써, 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높인다. 이와 같이 회수 명령의 출력 타이밍을 제어함으로써, 천정 반송차 컨트롤러(42)에 의한 회수 명령의 할당 처리에 있어서, 상류 측 포트에 FOUP(90)를 반송하는 천정 반송차(20)에 해당 회수 명령이 할당될 가능성을 높일 수가 있다. 구체적으로는, 하류 측 포트의 FOUP(90)의 회수 명령이, 상류 측 포트에 FOUP(90)를 반송하는 천정 반송차(20)에 대해서, 상술한 반송 명령 예약으로서 할당될 가능성이 높아진다. 이러한 재치·수거 제어에 의하면, 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높여, 천정 반송차(20)의 운용 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0043] 한편, 회수 명령의 출력을 대기하는 시간이 장기화되었을 경우, 재치·수거 동작이 성립함으로써 천정 반송차(20)의 운용 효율이 향상되었다 하더라도, 반송 시스템(1) 전체에 있어서의 FOUP(90)의 반송 효율이 악화될 우려가 있다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)는, 하류 측 포트의 FOUP(90)가 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간이 경과한 경우에는, 해당 FOUP(90)의 회수 명령을 천정 반송차 컨트롤러(42)에 출력한다. 즉, 반송 컨트롤러(41)는, 회수 대기 FOUP(90)가 발생하고 나서 일정 시간 대기하여도 상류 측 포트에 FOUP(90)를 반송하는 천정 반송차(20)가 파악되지 않은 경우에는, 회수 명령의 출력의 대기를 해제하고, 회수 명령을 출력한다. 이와 같이 회수 명령의 출력 타이밍을 늦출 수 있는 대기 시간을 미리 정해 두고, 대기 시간이 경과한 경우에는 신속하게 회수 명령을 출력함으로써, FOUP(90)의 반송 효율의 악화를 억제할 수가 있다.
[0044] 도 4~도 9를 이용해, 재치·수거 제어의 구체적인 예에 대해 설명한다. 도 4는, 해당 예에 있어서의 초기 상태를 나타내고 있다. 초기 상태에 있어서, 반도체 처리장치(100)의 2개의 장치 포트(101) 중 하류 측의 장치 포트(101B)에는, FOUP(90A; 제1 피반송물)가 재치되어 있다. 한편, 상류 측의 장치 포트(101A)에는, FOUP(90B)가 재치되어 있다. 여기서, FOUP(90A)에 대한 반도체 처리장치(100)의 처리가 완료되면, 반송 컨트롤러(41)는, 상술한 상위 컨트롤러(40)로부터, FOUP(90A)의 회수 요구를 접수한다.
[0045] 여기서, 반송 컨트롤러(41)는, 보관 장치 컨트롤러(43)와의 통신에 의해 제2 보관부(31B)가 비어있음을 파악하고 있다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)는, 이와 같이 하류 측 포트(본 예에서는 제2 보관부(31B))가 비어 있으며 또한 상류 측 포트(본 예에서는 장치 포트(101B))에 회수 대상인 FOUP(90A)가 재치되어 있는 경우, FOUP(90A)를 하류 측 포트로 이재시킨다. 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, 제2 보관부(31B)로의 FOUP(90A)의 이재를 지시하는 반송 명령을, 보관 장치 컨트롤러(43)를 통해 로컬 대차(32)에 대해 출력한다. 이로써, 도 5에 나타낸 바와 같이, FOUP(90A)는, 로컬 대차(32)에 의해 제2 보관부(31B)로 이재되고, 제2 보관부(31B) 상에 있어서 회수 대기의 상태가 된다. 또, 이러한 이재 동작에 의해, 장치 포트(101B)는 비어 있게 되며, 하류 측 포트인 제2 보관부(31B)보다 상류 측인 제1 보관부(31A) 및 장치 포트(101B)에 FOUP(90)가 재치되어 있지 않은 상태가 된다. 즉, 상술한 재치·수거 동작을 실행할 수 있는 상태가 된다.
[0046] 이 경우, 반송 컨트롤러(41)는, 회수 대기 FOUP(90A)가 재치되어 있는 제2 보관부(31B)보다 상류 측인 장치 포트(101B)에 FOUP(90A)가 재치되어 있지 않음을 검지하고, 상술한 재치·수거 제어를 실행한다. 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, FOUP(90A)가 제2 보관부(31B)에 재치되고 나서(즉, FOUP(90A)가 회수 대기의 상태가 되고 나서) 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지는, 상류 측 포트(도 5의 예에서는, 제1 보관부(31A) 또는 장치 포트(101B))에 새로운 FOUP(90)를 반송하는 천정 반송차(20)가 파악될 때까지, FOUP(90A)의 회수를 지시하는 회수 명령의 출력을 대기한다. 이하, 상술한 대기 시간의 일례에 대해 설명한다.
[0047] 반송 컨트롤러(41)는, FOUP(90A)가 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간(T1)(제1 대기 시간)이 경과할 때까지, 상류 측 포트로의 FOUP(90; 제2 피반송물)의 반송(공급)을 지시하는 반송 요구(이하 「상류 측 반송 요구」라고 한다.)를 상위 컨트롤러(40)로부터 접수하지 않은 경우에, FOUP(90A)의 회수 명령을 출력한다. 예컨대, 반송 컨트롤러(41)는, FOUP(90A)가 회수 대기의 상태가 되었을 때에 제1 타이머를 기동하고, 제1 타이머를 기동하고 나서 대기 시간(T1)이 경과될 때까지 상류 측 반송 요구를 접수하지 않은 경우, FOUP(90A)의 회수 명령을 출력한다.
[0048] 대기 시간(T1)은, 이하의 생각에 근거하고 있다. 즉, 반송 컨트롤러(41)가 상위 컨트롤러(40)로부터 상류 측 반송 요구를 접수할 때까지의 시간이 장기화되었을 경우, 그만큼, 재치·수거 동작을 실행할 수 있는 천정 반송차(20)가 FOUP(90A)를 회수하는 시간도 지연되게 된다. 따라서, FOUP(90A)가 회수 대기의 상태가 되고 나서 상류 측 반송 요구를 접수할 때까지의 시간을 지표로 하여, 상술한 제어를 행함으로써, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인한 반송 효율의 악화를 적절히 억제할 수가 있다.
[0049] 한편, 반송 컨트롤러(41)는, FOUP(90A)가 회수 대기의 상태가 되고 나서 대기 시간(T1)이 경과할 때까지 상류 측 반송 요구를 접수한 경우, 이하의 제어를 실행한다. 여기에서는 일례로서, 상류 측 반송 요구에 근거하여, 장치 포트(101B)로의 FOUP(90C)의 반송이 실행되는 경우에 대해 생각한다. 반송 컨트롤러(41)는, 상류 측 반송 요구를 상위 컨트롤러(40)로부터 접수하고 나서 미리 정해진 대기 시간(T2; 제2 대기 시간)이 경과할 때까지, FOUP(90C)가 천정 반송차(20)에 의해 반송되는 반송 상태가 되지 않은 경우, FOUP(90A)의 회수 명령을 출력한다. 예컨대, 반송 컨트롤러(41)는, 상류 측 반송 요구를 접수했을 때에 제2 타이머를 기동하고, 제2 타이머가 기동하고 나서 대기 시간(T2)이 경과할 때까지 해당 상류 측 반송 요구에 근거하여 생성된 반송 명령의 반송 대상인 FOUP(90C)가 반송 상태가 되지 않은 경우, FOUP(90A)의 회수 명령을 출력한다. 또한, FOUP(90C)가 반송 상태가 되었는지 여부(즉, FOUP(90C)를 반송하는 천정 반송차(20)가 파악되었는지 여부)에 대해서는, 예컨대 천정 반송차(20)의 주행 동작을 제어하는 천정 반송차 컨트롤러(42)에 의해 파악된다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)는, 예컨대 천정 반송차 컨트롤러(42)로부터의 통지를 수취함으로써, FOUP(90C)가 반송 상태가 되었는지 여부를 파악할 수가 있다.
[0050] 또한, 반송 컨트롤러(41)가 상류 측 반송 요구를 접수한 후, FOUP(90C)가 천정 반송차(20)에 의해 반송되는 반송 상태가 될 때까지의 사이에는, 예컨대 이하와 같은 처리가 실행된다. 즉, 반송 컨트롤러(41)는, 상위 컨트롤러(40)로부터 상류 측 반송 요구를 접수하면, 해당 상류 측 반송 요구에 근거하는 반송 명령(상기 예에서는, FOUP(90C)를 장치 포트(101B)로 반송할 것을 지시하는 반송 명령)을 생성하고, 천정 반송차 컨트롤러(42)에 출력한다. 계속해서, 천정 반송차 컨트롤러(42)가, 해당 반송 명령을 특정한 천정 반송차(20)에 할당한다. 그 후, 반송 명령이 할당된 천정 반송차(20)는, 반송 대상인 FOUP(90C)를 싣는 위치(반송 명령의 From 지점)를 향해 주행을 개시한다. 해당 천정 반송차(20)가 FOUP(90C)를 싣는 위치에 도착하고, FOUP(90C)의 싣기가 완료된 단계에서, FOUP(90C)를 반송할 수 있는 상태(즉 반송 상태)가 된다.
[0051] 대기 시간(T2)은, 이하의 생각에 근거하고 있다. 즉, 반송 컨트롤러(41)가 상위 컨트롤러(40)로부터 상류 측 반송 요구를 접수하고 나서 FOUP(90C)가 반송 상태가 될 때까지의 시간이 장기화되었을 경우, 그만큼, 재치·수거 동작을 실행할 수 있는 천정 반송차(20)가 FOUP(90A)를 회수하는 시간도 지연되게 된다. 따라서, 상류 측 반송 요구를 상위 컨트롤러(40)로부터 접수하고 나서 FOUP(90C)가 반송 상태가 될 때까지의 시간을 지표로 하여, 상술한 제어를 행함으로써, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인한 반송 효율의 악화를 적절히 억제할 수가 있다.
[0052] 한편, 반송 컨트롤러(41)는, 상류 측 반송 요구를 접수하고 나서 대기 시간(T2)이 경과할 때까지, FOUP(90C)가 천정 반송차(20)에 의해 반송되는 반송 상태가 되었을 경우, 새로운 FOUP(90C)를 반송할 천정 반송차(20)가 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지 파악된 것으로 하고, FOUP(90A)의 회수 명령을 출력한다. 이로써, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, FOUP(90C)를 장치 포트(101B)에 재치한 천정 반송차(도 6 및 도 7의 천정 반송차(20A))에 의해 제2 보관부(31B) 상의 FOUP(90A)가 회수되는 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높일 수가 있다.
[0053] 또한, 상기 예에서는, 상류 측 반송 요구에 근거하여 장치 포트(101B)로의 FOUP(90C)의 반송이 실행되는 경우에 대해 설명했지만, 상류 측 반송 요구에 근거하여 제1 보관부(31A)로의 FOUP(90C)의 반송이 실행되는 경우에도, 상술한 바와 같은 재치·수거 제어가 가능해진다. 이 경우에는, 새로운 FOUP(90C)를 제1 보관부(31A)에 재치한 천정 반송차(20)에 의해 제2 보관부(31B) 상의 FOUP(90A)가 회수되는 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높일 수가 있다.
[0054] 또, 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 장치 포트(101A)에 재치된 FOUP(90B)를 천정 반송차(20)가 직접 회수하게 하는 경우(즉, FOUP(90B)를 일단 제 2 보관부(31B)에 이재하지 않는 경우)에도, 상술한 바와 같은 재치·수거 제어를 행할 수가 있다. 이 경우에는, 반송 컨트롤러(41)가 상위 컨트롤러(40)로부터 FOUP(90B)의 회수 요구를 접수한 시점을, FOUP(90B)가 회수 대기의 상태가 된 시점으로 하고, 상술한 바와 같은 재치·수거 제어를 실행할 수가 있다. 이러한 재치·수거 제어에 의해, 새로운 FOUP(90D)를 제1 보관부(31A)에 재치한 천정 반송차(20B)에 의해 장치 포트(101A) 상의 FOUP(90B)가 회수되는 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높일 수가 있다.
[0055] 상술한 재치·수거 제어를 실행함으로써, 회수 대기 FOUP(90)의 회수 타이밍의 지연에 기인하는 반송 효율의 악화를 억제하면서, 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높임으로써 천정 반송차(20)의 운용 효율을 높일 수가 있다. 그러나, 예컨대 회수 대기 FOUP(90)의 종류에 따라서는, 상술한 재치·수거 제어(회수 명령의 출력의 대기)를 실행하지 않고 곧바로 회수 명령을 출력해야 하는 경우도 있을 수 있다. 따라서, 반송 컨트롤러(41)는, 이하에 기술하는 바와 같은 소정의 제외 조건을 만족하는 FOUP(90)가 회수 대상인 경우에, 상술한 재치·수거 제어를 실행하지 않도록 할 수가 있다.
[0056] 예컨대, 반송 컨트롤러(41)는, FOUP(90; 도 4~도 9의 예에서는, FOUP(90A) 또는 FOUP(90B))의 반송에 관한 우선도가 미리 정해진 기준보다 높은 경우, FOUP(90)가 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 해당 FOUP(90)의 회수 명령을 출력해도 된다. 예컨대, 상위 컨트롤러(40)로부터의 반송 요구에 상기 우선도의 정보를 포함하도록 함으로써, 반송 컨트롤러(41)는, 회수 대상인 FOUP(90)의 우선도를 파악할 수가 있다. 또, 이러한 우선도로서는, 예컨대 「1：우선도 낮음」, 「2：우선도 중간」, 「3：우선도 높음」 등의 미리 정해진 단계치를 이용할 수가 있다. 그리고, 반송 컨트롤러(41)는, 회수 대상인 FOUP(90)의 우선도가 미리 정해진 기준(예컨대 「2」와 「3」의 사이)보다 높은 경우(이 경우, 우선도가 「3」인 경우), 해당 FOUP(90)가 회수 대기의 상태가 된 시점에서 곧바로 해당 FOUP(90)의 회수 명령을 출력한다.
[0057] 예컨대, 각 반도체 처리장치(100)에 의한 일련의 가공 처리가 정상적으로 실행되는지 여부를 검증하기 위한 시험제작품(試作品)으로서의 반도체 웨이퍼를 격납(格納)한 FOUP(90)(이하 「시험제작품 FOUP」)에 대해서는, 재빨리 검증 결과를 파악하기 위해, 다른 FOUP(90)보다 우선시켜 공정간 반송을 행하는 것이 바람직하다. 따라서, 이러한 시험제작품 FOUP의 우선도를 상술한 「3」으로 설정함으로써, 시험제작품 FOUP를 재치·수거 제어의 실행 대상 외(外)로 할 수가 있다. 이로써, 재치·수거 제어에 의해 시험제작품 FOUP의 회수 타이밍이 늦어지는 것을 막을 수가 있다.
[0058] 또, 반송 컨트롤러(41)는, FOUP(90; 도 4~도 9의 예에서는, FOUP(90A) 또는 FOUP(90B))의 다음 반송처가 미리 정해진 특정한 반송처인 경우, FOUP(90)가 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 해당 FOUP(90)의 회수 명령을 출력해도 된다. 예컨대, 다음 반송처가 FOUP(90)를 일시적으로 보관하기 위한 스토커(stocker) 등인 경우, 해당 FOUP(90)의 반송을 그다지 서두를 필요는 없다. 한편, 다음 반송처가 반도체 처리장치(100; 해당 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101))인 경우, FOUP(90)의 반송을 서두르는 편이 좋은 경우가 있다. 예컨대, 하나의 반도체 처리장치(100)에서의 가공 처리에 의한 반도체 웨이퍼의 화학적 변화가 빠른 경우 등에는, 상기 하나의 반도체 처리장치(100)에서의 가공 처리 후 일정 기간 이내에, 다음 공정의 가공 처리를 실행할 필요가 있다. 따라서, 상술한 특정한 반송처로서, 가공 처리의 착수를 서두를 필요가 있는 반도체 처리장치(100)의 장치 포트(101)를 설정함으로써, 해당 장치 포트(101)에 반송되는 FOUP(90)를 재치·수거 제어의 실행 대상 외로 하여, 해당 FOUP(90)를 신속하게 다음 반송처로 반송할 수가 있다.
[0059] 이상과 같이 구성된 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)에 의해, 일례로서 도 10에 나타내는 것과 같은 반송 방법이 실시된다. 또한, 도 10에 나타내는 반송 방법의 설명에 있어서는, 회수 대상인 FOUP를 「제1 FOUP」로 나타내며, 새롭게 공급되는 FOUP를 「제2 FOUP」로 나타낸다. 도 4~도 7의 예에서는, FOUP(90A)가 제1 FOUP에 해당하고, FOUP(90C)가 제2 FOUP에 해당한다. 또, 도 8 및 도 9의 예에서는, FOUP(90B)가 제1 FOUP에 해당하고, FOUP(90D)가 제2 FOUP에 해당한다.
[0060] 우선, 반송 컨트롤러(41)는, 하류 측 포트(도 4~도 7의 예에서는 제2 보관부(31B)이며, 도 8 및 도 9의 예에서는 장치 포트(101A))에 재치된 제1 FOUP가 회수 대기의 상태가 되었음을 검지한다(단계 S1, 제1 단계). 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, 상위 컨트롤러(40)로부터 제1 FOUP에 대한 회수 요구를 접수했는지 여부에 따라, 제1 FOUP가 회수 대기의 상태인지 여부를 검지할 수가 있다.
[0061] 계속해서, 반송 컨트롤러(41)는, 제1 FOUP가 재치·수거 제어의 제외 대상인지 여부를 판정한다(단계 S2). 구체적으로는, 반송 컨트롤러(41)는, 상술한 바와 같이, 제1 FOUP의 반송에 관한 우선도 또는 반송처에 근거하여, 제1 FOUP를 재치·수거 제어의 실행 대상 외로 할지 여부를 판정할 수가 있다. 제1 FOUP가 재치·수거 제어의 제외 대상이라고 판정되었을 경우(단계 S2：YES), 반송 컨트롤러(41)는, 재치·수거 제어(단계 S4~S9)를 실행하는 일 없이, 제1 FOUP의 회수 명령을 출력한다(단계 S10).
[0062] 한편, 제1 FOUP가 재치·수거 제어의 제외 대상이 아닌 것으로 판정되었을 경우(단계 S2：NO), 반송 컨트롤러(41)는, 상류 측 포트(도 4~도 7의 예에서는 제1 보관부(31A) 또는 장치 포트(101B)이며, 도 8 및 도 9의 예에서는 제1 보관부(31A))가 비어 있는지 여부(즉, FOUP(90)가 재치되어 있는지 여부)를 판정한다(단계 S3, 제2 단계). 상류 측 포트가 비어 있지 않은 것으로 판정되었을 경우(단계 S3：NO), 재치·수거 동작이 성립할 수 있는 상황이 아니기 때문에, 반송 컨트롤러(41)는, 재치·수거 제어(단계 S4~S9)를 실행하는 일 없이, 제1 FOUP의 회수 명령을 출력한다(단계 S10).
[0063] 한편, 상류 측 포트가 비어 있다고 판정되었을 경우(단계 S3：YES), 재치·수거 동작이 성립할 수 있는 상황이기 때문에, 반송 컨트롤러(41)는, 재치·수거 제어(단계 S4~S9, 제3 단계)를 실행한다. 우선, 반송 컨트롤러(41)는, 제1 타이머를 기동한다(단계 S4). 그리고, 반송 컨트롤러(41)는, 제1 타이머를 기동하고 나서 대기 시간(T1)이 경과할 때까지, 상류 측 포트로의 제2 FOUP의 반송을 지시하는 반송 요구(상류 측 반송 요구)를 상위 컨트롤러(40)로부터 접수했는지 여부를 감시한다(단계 S5, S6). 제1 타이머를 기동하고 나서 대기 시간(T1)이 경과할 때까지 상류 측 반송 요구를 접수하지 않은 경우(단계 S6：YES), 반송 컨트롤러(41)는, 제1 FOUP의 회수 타이밍의 지연에 기인하는 반송 효율의 악화를 억제하기 위하여, 제1 FOUP의 회수 명령을 출력한다(단계 S10).
[0064] 한편, 제1 타이머를 기동하고 나서 대기 시간(T1)이 경과할 때까지 상류 측 반송 요구를 접수한 경우(단계 S5：YES), 반송 컨트롤러(41)는, 제2 타이머를 기동한다(단계 S7). 또한, 반송 컨트롤러(41)가 상류 측 반송 요구를 수취한 시점에서는, 제2 FOUP는 구체적으로 특정되어 있지 않다. 제2 FOUP는, 반송 컨트롤러(41)가 상류 측 반송 요구에 근거하여 반송 명령을 생성한 시점에서, 구체적으로 특정된다. 상술한 바와 같이, 도 4~도 7의 예에서는 FOUP(90C)가 제2 FOUP가 되고, 도 8 및 도 9의 예에서는 FOUP(90D)가 제2 FOUP가 된다. 그리고, 반송 컨트롤러(41)는, 제2 타이머를 기동하고 나서 대기 시간(T2)이 경과할 때까지, 상류 측 반송 요구에 근거하여 생성된 반송 명령의 반송 대상인 제2 FOUP가 반송 상태가 되었는지 여부를 감시한다(단계 S8, S9). 제2 타이머를 기동하고 나서 대기 시간(T2)이 경과할 때까지 제2 FOUP가 반송 상태가 되지 않은 경우(단계 S9：YES), 반송 컨트롤러(41)는, 제1 FOUP의 회수 타이밍의 지연에 기인하는 반송 효율의 악화를 억제하기 위하여, 제1 FOUP의 회수 명령을 출력한다(단계 S10).
[0065] 한편, 제2 타이머를 기동하고 나서 대기 시간(T2)이 경과할 때까지 제2 FOUP가 반송 상태가 되었을 경우(단계 S8：YES), 반송 컨트롤러(41)는, 제2 FOUP를 반송하는 천정 반송차(20)가 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지 파악된 것으로 하고, 제1 FOUP의 회수 명령을 출력한다(단계 S10).
[0066] 이상 설명한 바와 같이, 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)는, 미리 정해진 대기 시간 내에서, 상류 측 포트에 제2 FOUP를 반송하는 천정 반송차(20)가 파악될 때까지, 하류 측 포트 상에서 회수 대기의 상태로 되어 있는 제1 FOUP의 회수를 지시하는 반송 명령(회수 명령)의 출력을 대기한다. 이와 같이, 상류 측 포트에 제2 FOUP를 반송하는 천정 반송차(20)가 파악된 후에 제1 FOUP의 회수 명령을 출력함으로써, 제2 FOUP를 반송하는 천정 반송차(20)에 제1 FOUP의 회수 명령이 할당될 가능성을 높일 수가 있다. 그 결과, 제2 FOUP를 상류 측 포트에 재치한 천정 반송차(20)에 의해 제1 FOUP가 회수되는 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높일 수가 있다. 또, 회수 명령의 출력을 대기할 수 있는 대기 시간이 미리 정해져 있음에 따라, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인해 반송 효율이 악화되는 것을 억제할 수가 있다. 따라서, 반송 시스템(1)에 의하면, 반송 효율의 악화를 억제하면서 재치·수거 동작이 성립할 가능성을 높임으로써, 천정 반송차(20)의 운용 효율을 향상시킬 수가 있다.
[0067] 반송 시스템(1)에서는, 제1 FOUP가 회수 대기의 상태가 되고 나서 상류 측 포트로의 제2 FOUP의 반송을 지시하는 반송 요구를 접수할 때까지의 시간이 대기 시간(T1)을 초과한 경우에 회수 명령을 출력한다. 이로써, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인한 반송 효율의 악화를 적절히 억제할 수가 있다.
[0068] 반송 시스템(1)에서는, 상류 측 포트로의 제2 FOUP의 반송을 지시하는 반송 요구를 상위 컨트롤러(40)로부터 접수하고 나서 제2 FOUP가 반송 상태가 될 때까지의 시간이 대기 시간(T2)을 초과했을 경우에 회수 명령을 출력한다. 이로써, 회수 명령의 출력을 계속해서 대기함으로 인한 반송 효율의 악화를 적절히 억제할 수가 있다.
[0069] 반송 시스템(1)에 의하면, 로컬 대차(32)에 의해 상류 측 포트(제1 보관부(31A) 또는 장치 포트(101))로부터 하류 측 포트(장치 포트(101) 또는 제2 보관부(31B))로의 FOUP(90)의 이재를 행함으로써, 재치·수거 동작을 실행할 수 있는 상황을 의도적으로 생성할 수가 있다.
[0070] 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)는, 제1 FOUP의 반송에 관한 우선도가 미리 정해진 기준보다 높은 경우, 제1 FOUP가 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 제1 FOUP의 회수 명령을 출력한다. 이로써, 반송에 관한 우선도가 높은 FOUP(90)를, 재치·수거 제어의 실행 대상으로부터 제외하여, 신속하게 반송할 수가 있다. 이로써, 제1 FOUP에 대해 요구되는 요건을 충족하고서, 재치·수거 제어를 적절히 실행할 수가 있다.
[0071] 반송 시스템(1)에서는, 반송 컨트롤러(41)는, 제1 FOUP의 다음 반송처가 미리 정해진 특정한 반송처인 경우, 제1 FOUP가 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 제1 FOUP의 회수 명령을 출력한다. 이로써, 특정한 반도체 처리 장치의 장치 포트 등의 가공 처리의 착수를 서두를 필요가 있는 반송처를 미리 특정한 반송처로서 정해 둠으로써, 이러한 특정한 반송처를 다음 반송처로 하는 피반송물을, 재치·수거 제어의 실행 대상으로부터 제외하여, 신속하게 반송할 수가 있다. 이로써, 제1 FOUP에 요구되는 요건을 충족하고서, 재치·수거 제어를 적절히 실행할 수가 있다.
[0072] 이상, 본 개시의 일 형태에 대해 설명하였으나, 본 개시는, 상기 형태로 한정되지 않는다. 예컨대, 도 1 및 도 2에 나타낸 보관장치(30)의 구성은 일례에 지나지 않으며, 보관부(31) 및 로컬 대차(32)의 배치 및 구성은 임의로 설계할 수가 있다. 또, 1개의 반도체 처리장치(100)에 설치되는 장치 포트(101)의 개수는 상기 실시형태에서 예시한 2개로 한정되지 않으며, 1개인 경우나 3개 이상인 경우도 있다. 또, 1개의 보관장치(30)에 설치되는 보관부(31)의 개수도 2개로 한정되지 않으며, 1개인 경우나 3개 이상인 경우도 있다.
[0073] 또, 도 3에 나타낸 제어 구성은 일례이며, 각 컨트롤러의 제어 계통은, 반드시 도 3에 나타내는 계층 구조와 일치하고 있지 않아도 된다. 예컨대, 보관장치(30)마다의 보관 장치 컨트롤러(43)는, 복수의 보관장치(30)에 공통된 단일의 컨트롤러로서 구성되어도 된다. 마찬가지로, 반송 컨트롤러(41), 천정 반송차 컨트롤러(42), 및 보관 장치 컨트롤러(43)는, 단일의 컨트롤러로서 구성되어도 된다.
[0074] 또, 본 개시의 일 형태와 관련되는 반송 시스템이 반송하는 피반송물은, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP로 한정되지 않고, 유리 웨이퍼, 레티클 등이 수용된 그 밖의 용기여도 된다. 또, 본 개시의 일 형태와 관련되는 반송 시스템은, 반도체 제조공장으로 한정되지 않고, 그 밖의 시설에도 적용 가능하다. 또한, 본 개시의 일 형태와 관련되는 반송 시스템에서 피반송물을 반송하는 반송차는, 천정 반송차로 한정되지 않으며, 예컨대, FOUP를 재치한 상태로 궤도를 주행함으로써 FOUP를 반송하는 반송차, 혹은 바닥면 상에 설치된 유도선을 따라 FOUP를 반송하는 무인 주행차 등이어도 된다.
[0075] 1; 반송 시스템
10; 궤도
20; 천정 반송차
30; 보관 장치
31; 보관부
31A; 제1 보관부
31B; 제2 보관부
32; 로컬 대차(이재 기구)
41; 반송 컨트롤러
90; FOUP(피반송물)
90A, 90B; FOUP(제1 피반송물)
90C, 90D; FOUP(제2 피반송물)
101, 101A, 101B; 장치 포트

Claims (7)

  1. 궤도와,
    상기 궤도를 따라 주행하고, 피(被)반송물을 반송(搬送)하는 복수의 반송차와,
    상기 반송차에 대한 상기 피반송물의 반송 명령을 출력하는 컨트롤러를 구비하며,
    상기 컨트롤러는, 상기 피반송물을 재치(載置)할 수 있는 장소인 하류 측 포트(port)에 재치된 제1 피반송물이 회수 대기의 상태이고, 또한, 상기 반송차의 주행 방향에 있어서 상기 하류 측 포트보다 상류 측에 배치되며, 상기 피반송물을 재치할 수 있는 장소인 상류 측 포트에 상기 피반송물이 재치되어 있지 않은 경우에,
    상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지는, 상기 상류 측 포트에 제2 피반송물을 반송하는 상기 반송차가 파악될 때까지 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령의 출력을 대기하며,
    상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점으로부터 상기 대기 시간이 경과한 경우에는, 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력하는,
    반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상위 컨트롤러로부터 접수한 상기 피반송물의 반송 요구에 근거하여 상기 피반송물의 반송 명령을 출력하도록 구성되어 있으며,
    상기 컨트롤러는, 상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 제1 대기 시간이 경과할 때까지, 상기 상류 측 포트로의 상기 제2 피반송물의 반송을 지시하는 반송 요구를 상기 상위 컨트롤러로부터 접수하지 않은 경우에, 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력하는,
    반송 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 상류 측 포트로의 상기 제2 피반송물의 반송을 지시하는 반송 요구를 상기 상위 컨트롤러로부터 접수하고 나서 미리 정해진 제2 대기 시간이 경과할 때까지, 상기 제2 피반송물이 상기 반송차에 의해 반송되는 반송 상태가 되지 않은 경우에, 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력하는,
    반송 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 반송차가 상기 피반송물을 주고받을 수 있는 보관부, 및 상기 반송차가 상기 피반송물을 주고받을 수 있는 장치 포트와 상기 보관부의 사이에서 상기 피반송물을 이재(移載)할 수 있는 이재 기구를 가지는 보관 장치를 더 구비하며,
    상기 보관부는, 상기 반송차의 주행 방향에 있어서 상기 장치 포트보다 상류 측에 설치되는 제1 보관부와, 상기 반송차의 주행 방향에 있어서 상기 장치 포트보다 하류 측에 설치되는 제2 보관부를 포함하고,
    상기 하류 측 포트는, 상기 장치 포트 또는 상기 제2 보관부이며,
    상기 상류 측 포트는, 상기 하류 측 포트가 상기 장치 포트인 경우에는, 상기 제1 보관부이고, 상기 하류 측 포트가 상기 제2 보관부인 경우에는, 상기 제1 보관부 또는 상기 장치 포트이며,
    상기 컨트롤러는, 상기 이재 기구에 대한 상기 피반송물의 반송 명령을 더 출력하도록 구성되고, 상기 하류 측 포트가 비어 있고 또한 상기 상류 측 포트에 상기 제1 피반송물이 재치되어 있는 경우, 상기 제1 피반송물의 상기 하류 측 포트로의 이재를 지시하는 반송 명령을 상기 이재 기구에 대해 출력하는,
    반송 시스템.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 제1 피반송물의 반송에 관한 우선도가 미리 정해진 기준보다 높은 경우, 상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력하는,
    반송 시스템.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 컨트롤러는, 상기 제1 피반송물의 다음 반송처가 미리 정해진 특정한 반송처인 경우, 상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점에서, 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력하는,
    반송 시스템.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 반송 시스템의 상기 컨트롤러에 의해 실시되는 반송 방법으로서,
    상기 하류 측 포트에 재치된 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되었음을 검지(檢知)하는 제1 단계와,
    상기 제1 단계에 있어서 상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되었음이 검지되었을 경우에, 상기 상류 측 포트에 상기 피반송물이 재치되어 있는지 여부를 판정하는 제2 단계와,
    상기 제2 단계에 있어서, 상기 상류 측 포트에 상기 피반송물이 재치되어 있지 않은 것으로 판정되었을 경우에, 상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 되고 나서 미리 정해진 대기 시간이 경과할 때까지는, 상기 상류 측 포트에 제2 피반송물을 반송하는 상기 반송차가 파악될 때까지 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령의 출력을 대기하며, 상기 제1 피반송물이 회수 대기의 상태가 된 시점으로부터 상기 대기 시간이 경과한 경우에는, 상기 제1 피반송물의 회수를 지시하는 반송 명령을 출력하는 제3 단계
    를 포함하는 반송 방법.
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