CN108352348B - 输送系统和输送方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供输送系统和输送方法。输送系统具备轨道、多台高架输送车以及输出针对高架输送车的输送FOUP的输送指令的输送控制器。在载置于下游侧端口的第一FOUP处于待回收状态且在上游侧端口未载置有FOUP的情况下，在第一FOUP已变为待回收状态之后到经过预定的待机时间之前，输送控制器使指示回收第一FOUP的输送指令的输出待机，直至向上游侧端口输送第二FOUP的高架输送车被掌握为止，在从第一FOUP已变为待回收状态的时间点起经过了待机时间的情况下，输送控制器输出指示回收第一FOUP的输送指令。

Description

输送系统和输送方法
技术领域
本发明涉及输送系统和输送方法。
背景技术
例如，作为用于半导体制造工厂的输送系统，已知有使高架输送车执行向处理装置供给被输送物和从处理装置回收处理完毕的被输送物的系统。在这样的输送系统中，例如，已知有在高架输送车的行走方向上的比装置端口靠上游侧的位置设置临时存放台的结构(参见专利文献1)。
采用这样的结构，将被输送物载置于临时存放台上之后的高架输送车能够对在下游侧的装置端口载置的处理完毕的被输送物进行回收(取放动作)。在这样的取放动作已达成的情况下，能够由一台高架输送车进行针对处理装置供给和回收被输送物的工作，因此能够提高高架输送车的运用效率。
专利文献1：日本特开2014-57111号公报
然而，以往，上述取放动作归根结底不过是在装置端口上存在待回收的被输送物时出现了向临时存放台输送被输送物的高架行走车的情况下偶然达成。因此，取放动作达成的可能性较小。
发明内容
因此，本发明的一个方式的目的在于，提供能够通过抑制输送效率的恶化并提高取放动作达成的可能性来提高输送车的运用效率的输送系统和输送方法。
本发明的一个方式所涉及的输送系统具备：轨道；多台输送车，多台输送车沿轨道行走，输送被输送物；以及控制器，其输出针对输送车的输送被输送物的输送指令，在载置于能够载置被输送物的场所即下游侧端口的第一被输送物处于待回收状态且在输送车的行走方向上配置得比下游侧端口靠上游侧的、能够载置被输送物的场所即上游侧端口处未载置有被输送物的情况下，在第一被输送物变为了待回收状态之后到经过预定的待机时间之前，控制器使指示回收第一被输送物的输送指令的输出待机，直至向上游侧端口输送第二被输送物的输送车被掌握，在从第一被输送物已变为待回收状态的时间点起经过了待机时间的情况下，控制器输出指示回收第一被输送物的输送指令。
在上述输送系统中，控制器在预定的待机时间内，使指示回收在下游侧端口上处于待回收状态的第一被输送物的输送指令(回收指令)的输出待机，直至向上游侧端口输送第二被输送物的输送车被掌握。这样，通过在向上游侧端口输送第二被输送物的输送车被掌握之后输出第一被输送物的回收指令，由此能够提高向输送第二被输送物的输送车分配第一被输送物的回收指令的可能性。其结果是，能够提高利用已将第二被输送物载置于上游侧端口的输送车来回收第一被输送物的取放动作达成的可能性。另外，通过预先设定能够使回收指令的输出待机的待机时间，由此能够抑制因使回收指令的输出持续待机导致输送效率恶化这种情况出现。因此，采用上述输送系统，抑制输送效率的恶化并提高取放动作达成的可能性，由此能够提高输送车的运用效率。
在上述输送系统中，可以是，控制器构成为基于从上级控制器受理到的被输送物的输送要求，输出输送被输送物的输送指令，在第一被输送物已变为待回收状态之后到经过预定的第一待机时间之前，未从上级控制器受理到指示向上游侧端口输送第二被输送物的输送要求的情况下，控制器输出指示回收第一被输送物的输送指令。在截至从上级控制器接收到第二被输送物的输送要求之前的时间变长了的情况下，能够执行取放动作的输送车回收第一被输送物的时间也相应地延迟。因此，在上述输送系统中，在第一被输送物已变为待回收状态之后到受理到指示向上游侧端口输送第二被输送物的输送要求之前的时间超过了第一待机时间的情况下，输出回收指令。由此，能够恰当地抑制因使回收指令的输出持续待机所致的输送效率的恶化。
在上述输送系统中，可以是，在从上级控制器受理到指示向上游侧端口输送第二被输送物的输送要求之后到经过预定的第二待机时间之前，第二被输送物未变为由输送车输送的输送状态的情况下，控制器输出指示回收第一被输送物的输送指令。在从上级控制器受理到指示向上游侧端口输送第二被输送物的输送要求之后到该第二被输送物变为输送状态之前的时间变长了的情况下，能够执行取放动作的输送车回收第一被输送物的时间也相应地延迟，因此，在上述输送系统中，在从上级控制器受理到指示向上游侧端口输送第二被输送物的输送要求之后到第二被输送物变为输送状态之前的时间超过了第二待机时间的情况下，输出回收指令。由此，能够恰当地抑制因使回收指令的输出持续待机所致的输送效率的恶化。
上述输送系统可以是，还具备保管装置，保管装置具有：保管部，其能供输送车交接被输送物；和移载机构，其能够在能供输送车交接被输送物的装置端口和保管部之间，移载被输送物，保管部包括：第一保管部，其在输送车的行走方向上设置得比装置端口靠上游侧；和第二保管部，其在输送车的行走方向上设置得比装置端口靠下游侧，下游侧端口是装置端口或者第二保管部，在下游侧端口是装置端口的情况下，上游侧端口是第一保管部，在下游侧端口是第二保管部的情况下，上游侧端口是第一保管部或者装置端口，控制器构成为还输出针对移载机构的输送被输送物的输送指令，在下游侧端口空出且在上游侧端口载置有第一被输送物的情况下，控制器对移载机构输出指示将第一被输送物向下游侧端口移载的输送指令。采用上述结构，通过利用移载机构从上游侧端口(第一保管部或者装置端口)向下游侧端口(装置端口或者第二保管部)移载被输送物，能够有目的地生成能够执行取放动作的状况。
在上述输送系统中，可以是，在与第一被输送物的输送相关的优先度比预定的基准高的情况下，控制器在第一被输送物变为了待回收状态的时间点，输出指示回收第一被输送物的输送指令。采用上述输送系统，为了提高取放动作达成的可能性，将与输送相关的优先度高的被输送物从使回收指令的输出待机的控制(取放控制)的执行对象中排除，而能够迅速地进行输送。由此，能够在满足对第一被输送物要求的要件的基础上，恰当地执行取放控制。
在上述输送系统中，可以是，在第一被输送物的下一个输送目的地为预定的特定输送目的地的情况下，控制器在第一被输送物变为了待回收状态的时间点，输出指示回收第一被输送物的输送指令。采用上述输送系统，例如事先将需要尽快输送的输送目的地规定为特定输送目的地，由此能够将以这样的特定输送目的地作为下一个输送目的地的被输送物从取放控制的执行对象中排除，而迅速地进行输送。由此，能够在满足对第一被输送物要求的要件的基础上，恰当地执行取放控制。
本发明的一个方式的输送方法是在上述输送系统中由上述控制器实施的输送方法，包括如下步骤：第一步，在该步骤中，对载置于下游侧端口的第一被输送物已变为待回收状态进行检测；第二步，在该步骤中，在第一步中检测出第一被输送物已变为待回收状态的情况下，对在上游侧端口是否载置有被输送物进行判定；以及，第三步，在该步骤中，在第二步中判定为在上游侧端口未载置有被输送物的情况下，在第一被输送物已变为待回收状态之后到经过预定的待机时间之前，使指示回收第一被输送物的输送指令的输出待机，直至向上游侧端口输送第二被输送物的输送车被掌握，在从第一被输送物已变为待回收状态的时间点起经过了待机时间的情况下，输出指示回收第一被输送物的输送指令。
在上述输送方法中，在下游侧端口上的第一被输送物处于待回收状态且在上游侧端口未载置有被输送物的情况下，控制器在预定的待机时间内，使指示回收在下游侧端口上处于待回收状态的第一被输送物的输送指令(回收指令)的输出待机，直至向上游侧端口输送第二被输送物的输送车被掌握。由此，能够提高向输送第二被输送物的输送车分配第一被输送物的回收指令的可能性。其结果是，能够提高利用已将第二被输送物载置于上游侧端口的输送车来回收第一被输送物的取放动作达成的可能性。另外，通过预先设定能够使回收指令的输出待机的待机时间，由此能够抑制因使回收指令的输出持续待机导致输送效率恶化这种情况出现。因此，采用上述输送方法，通过抑制输送效率的恶化并提高取放动作达成的可能性，由此能够提高输送车的运用效率。
采用本发明的一个方式，能够提供一种能够通过抑制输送效率的恶化并提高取放动作达成的可能性来提高输送车的运用效率的输送系统。
附图说明
图1是示出本发明的一个实施方式的输送系统的主要部分的图。
图2是图1的保管装置和半导体处理装置的俯视图。
图3是示出输送系统的控制结构的框图。
图4是用于说明取放动作的一例的图。
图5是用于说明取放动作的一例的图。
图6是用于说明取放动作的一例的图。
图7是用于说明取放动作的一例的图。
图8是用于说明取放动作的一例的图。
图9是用于说明取放动作的一例的图。
图10是示出输送系统的动作的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图详细说明本发明的一个实施方式。此外，在附图的说明中，对相同或者等同的要素标注相同的附图标记，省略重复说明。
使用图1和图2，说明本实施方式的输送系统1。输送系统1是在具备多个半导体处理装置100的半导体制造工厂内用于对收容有多个半导体晶圆的FOUP(Front OpeningUnified Pod：前端开启式晶圆传送盒)进行输送的系统。如图1所示，输送系统1具备轨道10、多台高架输送车20以及保管装置30，该保管装置30设置为与各半导体处理装置100相对应。图1图示出与在半导体制造工厂内存在的多个半导体处理装置100中的一个半导体处理装置100相对应的保管装置30。
轨道10铺设于半导体制造工厂的高架附近。高架输送车20是OHT(Overhead HoistTransfer：顶棚输送车)。高架输送车20在悬吊于轨道10的状态下沿轨道10单向行走。以下，将在高架输送车20的行走方向A上的上游侧和下游侧分别称为“上游侧”和“下游侧”。
高架输送车20将收容有多个半导体晶圆的FOUP90向各半导体处理装置100的装置端口101或者后述保管部31输送(供给)。在本实施方式中，作为一例，针对一个半导体处理装置100，沿高架输送车20的行走方向A并列设置有两个装置端口101。半导体处理装置100对在载置于装置端口101的FOUP90中收容的半导体晶圆等执行规定的加工处理。在以下说明中，将针对收容于FOUP90中的半导体晶圆等的处理简单地表达为对FOUP90的处理。例如，将执行了针对所收容的半导体晶圆等的加工处理之后的FOUP90表达为处理完毕的FOUP90等。处理完毕的FOUP90由高架输送车20回收，向例如实施下一道工序的处理的半导体处理装置100的装置端口等输送。处理完毕的FOUP90有时在装置端口101被高架输送车20回收，有时在暂时退避至保管部31之后，再由高架输送车20回收。
高架输送车20具有：把持机构21，其能够把持FOUP90的凸缘部91；和升降机构23，其能够通过与把持机构21连接的带22的反复放出、收回使把持机构21升降。高架输送车20通过由升降机构23使把持机构21升降，由此能够分别在与后述的保管部31之间和与装置端口101之间交接FOUP90。
作为一例，保管装置30具备本地台车(移载机构)32、两个保管部31以及对保管部31和本地台车32进行支承的支承部件33。支承部件33具有：一对侧壁部33a、33a，该一对侧壁部33a、33a立设于地面，其主面彼此在轨道10的延伸方向上对置；和一对轨条部件33b、33b，该一对轨条部件33b、33b在轨道10的下方沿轨道10的延伸方向延伸。一对轨条部件33b、33b彼此在相同的高度位置处在与轨道10的延伸方向正交的方向上对置。各轨条部件33b的两端部分别支承于一对侧壁部33a、33a的上表面端部。此外，一对轨条部件33b、33b彼此的间隔被设定为由高架输送车20升降的FOUP90不与轨条部件33b形成干扰的尺寸。
保管部31是沿水平方向延伸的板状部件，能够载置FOUP90。一方面，2个保管部31中的上游侧的第一保管部31A位于比2个装置端口101靠上游侧的位置，固定于上游侧的侧壁部33a的下游侧侧面。另一方面，2个保管部31中的下游侧的第二保管部31B位于比2个装置端口101靠下游侧的位置，固定于下游侧的侧壁部33a的上游侧侧面。
在装置端口101没有空位的情况下(图1的例子中，在2个装置端口101都载置有FOUP90的情况下)，上游侧的第一保管部31A作为使待处理的FOUP90待机的待机场所发挥功能。通过使待处理的FOUP90事先在第一保管部31A待机，由此在装置端口101产生了空位的情况下，能够立即从第一保管部31A向该装置端口101供给待处理的FOUP90。
下游侧的第二保管部31B作为供由半导体处理装置100实施的处理结束了的处理完毕的FOUP90从装置端口101退避的退避场所发挥功能。通过使处理完毕的FOUP90退避至第二保管部31B，由此处理完毕的FOUP90不由高架输送车20回收，而处于载置于装置端口101上的状态，能够解除该装置端口101处于无法使用的状态的情况。
本地台车32具有安装有车轮W的台车部32a。另外，与高架输送车20相同，本地台车32具有把持机构32b，其能够把持FOUP90的凸缘部91；和升降机构(未图示)，其能够通过与把持机构32b连接的带32c的反复放出、收回使把持机构32b升降。通过台车部32a的车轮W在一对轨条部件33b、33b上行走，本地台车32能够沿一对轨条部件33b、33b自由移动。另外，通过由升降机构使把持机构32b升降，本地台车32能够在保管部31和装置端口101之间，执行对FOUP90的移载。
如图3所示，输送系统1具备输送控制器41、多台高架输送车20共用的高架输送车控制器42以及在每个保管装置30设置的保管装置控制器43，作为掌管控制系统的功能要素。输送控制器41、高架输送车控制器42以及保管装置控制器43分别构成为例如包括处理器、内存、存储器以及通信设备等的计算机装置。在各控制器中，处理器执行被读入内存等的规定软件(程序)，并通过对在内存和存储器中的数据的读出和写入以及通信设备在控制器间的通信进行控制，实现后述的各控制器的功能。
输送控制器41是控制高架输送车20和本地台车32的动作的控制器。在控制高架输送车20的动作的情况下，输送控制器41对高架输送车控制器42输出输送FOUP90的输送指令。即，输送控制器41经由高架输送车控制器42，输出针对高架输送车20的输送FOUP90的输送指令。另外，在控制本地台车32的动作的情况下，输送控制器41向对包括该本地台车32的保管装置30进行控制的保管装置控制器43，输出输送FOUP90的输送指令。即，输送控制器41经由保管装置控制器43，输出针对由该保管装置控制器43控制的本地台车32的输送FOUP90的输送指令。
输送指令是指示将作为输送对象的FOUP90从某个出发地(输送源)输送至某个目的地(输送目的地)的信息。具体而言，输送指令是使对作为输送对象的FOUP90进行识别的信息(ID)、对抓取作为输送对象的FOUP90的地点(装置端口和保管部等)进行确定的信息(出发地点)以及对卸载作为输送对象的FOUP90的地点(装置端口和保管部等)进行确定的信息(目的地点)相互关联而成的信息。
输送控制器41基于输送指令的出发地点与目的地点的组合，向恰当的控制器输出输送指令。具体而言，一方面，在出发地点与目的地点的组合是能够由同一保管装置30内的本地台车32移载的组合的情况下，输送控制器41向与该保管装置30相对应的保管装置控制器43输出输送指令。另一方面，在出发地点与目的地点的组合不是能够由同一保管装置30内的本地台车32移载的组合的情况下(例如在不同的半导体处理装置100间输送的情况下)，输送控制器41向高架输送车控制器42输出输送指令。
由输送控制器41输出的输送指令基于来自上级控制器40的输送要求而生成。上级控制器40通过对半导体制造工厂的整体状况进行监视，来掌握各半导体处理装置100的装置端口101和保管部31的空位状况。另外，上级控制器40也掌握各FOUP90的处理状况。与输送控制器41、高架输送车控制器42以及保管装置控制器43相同，上级控制器40构成为例如包括处理器、内存、存储器以及通信设备等的计算机装置。
上级控制器40例如在检测出在半导体处理装置100的装置端口101或者第一保管部31A产生了空位时，向输送控制器41输出指示卸载(供给)新的FOUP90的输送要求。
另外，上级控制器40例如在检测出在半导体处理装置100的装置端口101上产生了处理完毕的FOUP90(即，半导体处理装置100对载置于装置端口101上的FOUP90的处理已结束)时，向输送控制器41输出指示抓取(回收)该处理完毕的FOUP90的输送要求。
输送控制器41在接收到如上述例示所示的来自上级控制器40的输送要求时，基于该输送要求，决定将哪个FOUP90从何处输送至何处，生成上述输送指令。例如，输送控制器41基于预先编程好的规则，实施从上级控制器40接收到的供给要求(要求供给的输送要求)与回收要求(要求回收的输送要求)的匹配，由此生成指定了出发地点和目的地点的输送指令。输送控制器41将这样生成的输送指令向高架输送车控制器42或者保管装置控制器43输出。
高架输送车控制器42是控制多台高架输送车20的行走动作的单一的控制器，当高架输送车控制器42接收到来自输送控制器41的输送指令(ID、出发地点、目的地点)时，向特定的高架输送车20分配该输送指令。具体而言，高架输送车控制器42基于预定的分配规则，对执行输送指令中示出的对FOUP90的输送处理的高架输送车20作出决定。进而，高架输送车控制器42向所决定的高架输送车20发送控制信号，使之执行FOUP90的输送处理。例如，高架输送车控制器42向在当前时间点未被分配输送指令的高架输送车20中的存在于与作为分配对象的输送指令中的出发地点最接近的位置处的高架输送车20分配该作为分配对象的输送指令。另外，高架输送车控制器42也能够向正在执行其它输送指令的高架输送车20中的、正在从作为分配对象的输送指令中的出发地点起、将规定范围内的地点作为目的地点、输送FOUP90的高架输送车20分配指示“在当前正在执行的输送指令之后执行作为分配对象的输送指令”的输送指令(输送指令预约)。
被分配了输送指令的高架输送车20开始行走动作，以实施基于该输送指令的输送处理。但是，被分配了上述输送指令预约的高架输送车20在结束了基于当前正在执行的输送指令的输送处理之后，开始行走动作，以实施基于输送指令预约的输送处理。具体而言，高架输送车20向出发地点开始行走，当到达出发地点时，抓取基于输送指令的ID确定的FOUP90。之后，高架输送车20向目的地点所示的位置开始行走，当到达目的地点所示的位置时，将所抓取的FOUP90卸载。利用这样的一系列动作，基于输送指令的ID确定的FOUP90被从出发地点输送至目的地点。
保管装置控制器43在接收到来自输送控制器41的输送指令(ID、出发地点、目的地点)时，向作为控制对象的保管装置30的本地台车32发送控制信号，以执行基于输送指令的输送处理。由此，与上述被分配了输送指令的高架输送车20相同，本地台车32开始行走动作，以实施基于输送指令的输送处理。具体而言，本地台车32开始向出发地点行走，当到达出发地点时，抓取基于输送指令的ID确定的FOUP90。之后，本地台车32开始向目的地点所示的位置行走，当到达目的地点所示的位置时，将所抓取的FOUP90卸载。
此外，保管装置控制器43对利用未图示的传感器等对作为控制对象的保管装置30的保管部31的空位状况进行监视，将监视结果依次发送至输送控制器41。由此，输送控制器41能够掌握各保管装置30的保管部31的空位状况。
接下来，对由输送控制器41实施的取放控制进行说明。在载置于能够载置FOUP90的场所即下游侧端口(上述的装置端口101或者第二保管部31B)处的FOUP90变为了待回收状态时，在比下游侧端口配置得靠上游侧且能够载置FOUP90的场所即上游侧端口处未载置有FOUP90的情况下，输送控制器41执行用于提高高架输送车20的运用效率的取放控制。在图1所示的结构例中，在下游侧端口为装置端口101的情况下，上游侧端口为第一保管部31A，在下游侧端口为第二保管部31B的情况下，上游侧端口为第一保管部31A或者装置端口101。
取放控制是用于提高取放动作达成的可能性的控制。另外，取放动作是指利用将向半导体处理装置100新供给的FOUP90(第二被输送物)已载置于上游侧端口处的高架输送车20来回收待回收的FOUP90(第一被输送物)的动作。即，取放动作是由一台高架输送车20实施相对于半导体处理装置100供给和回收FOUP90的动作。因此，与取放动作没有达成的情况(即，供给和回收FOUP90需要2台高架输送车20的情况)相比，通过使取放动作达成，能够提高高架输送车20的运用效率。
输送控制器41执行以下动作，作为取放控制。在下游侧端口的FOUP90变为待回收状态之后到经过预定的待机时间之前，输送控制器41使指示回收下游侧端口的FOUP90的输送指令(回收指令)的输出(向高架输送车控制器42输出)待机，直至向上游侧端口输送其它FOUP90的高架输送车20被掌握。即，输送控制器41进行控制，使输出对待回收的FOUP90的回收指令的时间点推延至向上游侧端口输送其它FOUP90的高架输送车20被掌握。由此，提高取放动作达成的可能性。通过这样控制回收指令的输出时间点，能够在由高架输送车控制器42实施的回收指令的分配处理中，提高向对上游侧端口输送FOUP90的高架输送车20分配该回收指令的可能性。具体而言，向对上游侧端口输送FOUP90的高架输送车20分配对下游侧端口的FOUP90的回收指令作为上述输送指令预约的可能性变大。采用这样的取放控制，能够提高取放动作达成的可能性，提高高架输送车的20的运用效率。
另一方面，在已使回收指令的输出待机的时间长延长的情况下，即使因取放动作达成使得高架输送车20的运用效率得以提高，输送系统1整体的FOUP90的输送效率也有可能恶化。因此，在从下游侧端口的FOUP90已变为待回收状态之后经过了预定的待机时间的情况下，输送控制器41向高架输送车控制器42输出对该FOUP90的回收指令。即，在尽管在产生了待回收的FOUP90之后待机了一定时间，向上游侧端口输送FOUP90的高架输送车20仍未被掌握的情况下，输送控制器41解除回收指令的输出的待机，输出回收指令。这样，预先设定能够使回收指令的输出时刻延迟的待机时间，在经过了待机时间的情况下，迅速输出回收指令，由此能够抑制FOUP90的输送效率的恶化。
使用图4～图9，对取放控制的具体例进行说明。图4示出该例子中的初始状态。在初始状态下，一方面，在半导体处理装置100的2个装置端口101中的下游侧的装置端口101B处载置有FOUP90A(第一被输送物)。另一方面，在上游侧的装置端口101A处载置有FOUP90B。这里，当半导体处理装置100对FOUP90A的处理结束时，输送控制器41从上述的上级控制器40受理对FOUP90A的回收要求。
这里，输送控制器41借助自身与保管装置控制器43的通信来掌握第二保管部31B空出一事。因此，在像这样，下游侧端口(在该例中为第二保管部31B)空出且在上游侧端口(在该例中为装置端口101B)载置有作为回收对象的FOUP90A的情况下，输送控制器41将FOUP90A向下游侧端口移载。具体而言，输送控制器41经由保管装置控制器43向本地台车32输出指示向第二保管部31B移载FOUP90A的输送指令。由此，如图5所示，FOUP90A被本地台车32向第二保管部31B移载，在第二保管部31B上成为待回收状态。另外，借助该移载动作，装置端口101B变空，成为在比下游侧端口即第二保管部31B靠上游侧的第一保管部31A和装置端口101B未载置有FOUP90的状态。即，成为能够执行上述取放动作的状态。
在该情况下，输送控制器41对在比载置有待回收的FOUP90A的第二保管部31B靠上游侧的装置端口101B处未载置有FOUP90A进行检测，执行上述取放控制。具体而言，在FOUP90A被载置于第二保管部31B之后(即，FOUP90A变为待回收状态之后)到经过预定的待机时间之前，输送控制器41使指示回收FOUP90A的回收指令的输出待机，直至向上游侧端口(在图5的例子中，第一保管部31A或者装置端口101B)输送新的FOUP90的高架输送车20被掌握。以下，对上述待机时间的一例进行说明。
输送控制器41在FOUP90A变为待回收状态之后至经过预定的待机时间T1(第一待机时间)之前未从上级控制器40受理到指示向上游侧端口输送(供给)FOUP90(第二被输送物)的输送要求(以下称“上游侧输送要求”)的情况下，输出FOUP90A的回收指令。例如，在FOUP90A变为了待回收状态时，输送控制器41启动第一计时器，在启动第一计时器之后至经过待机时间T1之前未受理到上游侧输送要求的情况下，输出FOUP90A的回收指令。
待机时间T1基于以下思路。即，在至输送控制器41从上级控制器40受理上游侧输送要求之前的时间变长了的情况下，能够执行取放动作的高架输送车20回收FOUP90A的时间也相应延迟。因此，以从FOUP90A变为待回收状态之后到受理上游侧输送要求之前的时间作为指标，实施上述控制，由此能够恰当地抑制因使回收指令的输出持续待机所致的输送效率的恶化。
另一方面，输送控制器41在FOUP90A变为待回收状态之后至经过待机时间T1之前已受理到上游侧输送要求的情况下，执行以下控制。这里，作为一例，对基于上游侧输送要求来执行向装置端口101B输送FOUP90C的情况加以考虑。在从上级控制器40受理到上游侧输送要求之后至经过预定的待机时间T2(第二待机时间)之前，未变为由高架输送车20输送FOUP90C的输送状态的情况下，输送控制器41输出FOUP90A的回收指令。例如，输送控制器41在受理到上游侧输送要求时，启动第二计时器，在第二计时器起动之后至经过待机时间T2之前，基于该上游侧输送要求生成的输送指令的输送对象即FOUP90C未变为输送状态的情况下，输送控制器41输出FOUP90A的回收指令。此外，有关FOUP90C是否变为了输送状态(即，输送FOUP90C的高架输送车20是否被掌握)，例如由对高架输送车20的行走动作进行控制的高架输送车控制器42掌握。因此，输送控制器41例如通过受理来自高架输送车控制器42的通知，能够掌握FOUP90C是否变为了输送状态。
此外，在输送控制器41受理到上游侧输送要求之后到变为FOUP90C由高架输送车20输送的输送状态这段期间，例如执行如下所示的处理。即，当输送控制器41从上级控制器40受理到上游侧输送要求时，生成基于该上游侧输送要求的输送指令(在上述例子中，指示将FOUP90C向装置端口101B输送的输送指令)，向高架输送车控制器42输出。接着，高架输送车控制器42将该输送指令分配至特定的高架输送车20。之后，被分配了输送指令的高架输送车20开始向作为输送对象的FOUP90C的抓取位置(输送指令的出发地点)行走。在该高架输送车20到达FOUP90C的抓取位置，结束了FOUP90C的抓取的阶段，成为能够输送FOUP90C的状态(即输送状态)。
待机时间T2基于以下思路。即，一方面，在输送控制器41从上级控制器40受理到上游侧输送要求之后到FOUP90C变为输送状态之前的时间变长了的情况下，能够执行取放动作的高架输送车20回收FOUP90A的时间也相应延迟。因此，以在从上级控制器40受理到上游侧输送要求之后至FOUP90C变为输送状态之前的时间作为指标，实施上述控制，由此能够恰当抑制因使回收指令的输出持续待机所致的输送效率的恶化。
另一方面，在输送控制器41受理到上游侧输送要求之后至经过待机时间T2之前，FOUP90C已变为由高架输送车20输送的输送状态的情况下，输送控制器41视为在经过预定的待机时间之前掌握了输送新的FOUP90C的高架输送车20，而输出FOUP90A的回收指令。由此，如图6和图7所示，能够提高利用将FOUP90C已载置于装置端口101B的高架输送车(图6和图7的高架输送车20A)来回收第二保管部31B上的FOUP90A的取放动作达成的可能性。
此外，在上述例子中，基于上游侧输送要求对执行向装置端口101B输送FOUP90C的情况进行了说明，但在基于上游侧输送要求执行向第一保管部31A输送FOUP90C的情况下，也能够实施上述相同的取放控制。在该情况下，能够提高利用已将新的FOUP90C载置于第一保管部31A的高架输送车20来回收第二保管部31B上的FOUP90A的取放动作达成的可能性。
另外，如图8和图9所示，在使高架输送车20直接回收被载置于装置端口101A的FOUP90B的情况下(即，不将FOUP90B暂时移载至第二保管部31B的情况下)，也能实施上述相同的取放控制。在该情况下，能够将输送控制器41从上级控制器40受理到回收FOUP90B的回收要求的时间点作为FOUP90B变为了待回收状态的时间点，执行上述相同的取放控制。通过这样的取放控制，能够提高利用已将新的FOUP90D载置于第一保管部31A的高架输送车20B来回收装置端口101A上的FOUP90B的取放动作达成的可能性。
通过执行上述取放控制，抑制因待回收的FOUP90的回收时刻的延迟所致的输送效率的恶化并提高取放动作达成的可能性，由此能够提高高架输送车20的运用效率。但是，例如根据待回收的FOUP90的种类不同，也可能存在不执行上述取放控制(使回收指令的输出待机)而应立即输出回收指令的情况。因此，在满足如下所述的规定的例外条件的FOUP90为回收对象的情况下，输送控制器41能够不执行上述取放控制。
例如，在与FOUP90(在图4～图9的例子中，FOUP90A或者FOUP90B)的输送相关的优先度比预定的基准高的情况下，输送控制器41可以在FOUP90变为了待回收状态的时间点，输出对该FOUP90的回收指令。例如，通过使来自上级控制器40的输送要求中包括上述优先度的信息，由此输送控制器41能够掌握作为回收对象的FOUP90的优先度。另外，作为这样的优先度，例如能够使用“1：优先度低”、“2：优先度中”、“3：优先度高”等预定的等级值。而且，在作为回收对象的FOUP90的优先度比预定的基准(例如“2”与“3”之间)高的情况下(该情况下，优先度为“3”的情况下)，输送控制器41在该FOUP90变为了待回收状态的时间点，立即输出该FOUP90的回收指令。
例如，就收纳有用于对由各半导体处理装置100实施的一系列加工处理是否被正常执行进行验证的作为试制品的半导体晶圆的FOUP90(以下“试制品FOUP”)而言，为了迅速掌握验证结果，优选使之优先于其它FOUP90地实施工序间输送。因此，通过将这样的试制品FOUP的优先度设定为上述的“3”，由此能够将试制品FOUP设定为取放控制的执行对象以外。由此，能够防止因取放控制致使试制品FOUP的回收时刻延迟。
另外，一方面，在FOUP90(在图4～图9的例子中，FOUP90A或者FOUP90B)的下一个输送目的地为预定的特定输送目的地的情况下，输送控制器41也可以在FOUP90变为了待回收状态的时间点，输出该FOUP90的回收指令。例如，在下一个输送目的地为用于暂时保管FOUP90的存储装置等的情况下，无需急于输送该FOUP90。另一方面，在下一个输送目的地为半导体处理装置100(该半导体处理装置100的装置端口101)的情况下，有时最好尽快输送FOUP90。例如，在由1个半导体处理装置100中的加工处理所导致的半导体晶圆的化学变化较快等情况下，需要在该1个半导体处理装置100中的加工处理之后的一定期间以内，执行下一道工序的加工处理。因此，设定需要尽快着手加工处理的半导体处理装置100的装置端口101，作为上述特定输送目的地，由此能够将向该装置端口101输送的FOUP90设定为取放控制的执行对象以外，将该FOUP90迅速地向下一个输送目的地输送。
在如上结构的输送系统1中，作为一例，利用输送控制器41实施图10所示的输送方法。此外，在对图10所示的输送方法的说明中，将作为回收对象的FOUP表达为“第一FOUP”，将新供给的FOUP表达为“第二FOUP”。在图4～图7的例子中，FOUP90A相当于第一FOUP，FOUP90C相当于第二FOUP。另外，在图8和图9的例子中，FOUP90B相当于第一FOUP，FOUP90D相当于第二FOUP。
首先，输送控制器41对在下游侧端口(在图4～图7的例子中为第二保管部31B，在图8和图9的例子中为装置端口101A)载置的第一FOUP变为了待回收状态这一情况进行检测(步骤S1，第一步)。具体而言，输送控制器41能够根据是否从上级控制器40受理到针对第一FOUP的回收要求，对第一FOUP是否处于待回收状态进行检测。
接着，输送控制器41对第一FOUP是否是取放控制的排除对象进行判定(步骤S2)。具体而言，如上所述，输送控制器41能够基于与第一FOUP的输送相关的优先度或者输送目的地，判定是否将第一FOUP设定为取放控制的执行对象以外。一方面，在判定为第一FOUP是取放控制的排除对象的情况下(步骤S2：是)，输送控制器41不执行取放控制(步骤S4～S9)，而输出第一FOUP的回收指令(步骤S10)。
另一方面，在判定为第一FOUP不是取放控制的排除对象的情况下(步骤S2：否)，输送控制器41对上游侧端口(在图4～图7的例子中，为第一保管部31A或者装置端口101B，在图8和图9的例子中，为第一保管部31A)是否空出(即，是否载置有FOUP90)进行判定(步骤S3、第二步)。一方面，在判定为上游侧端口没有空出的情况下(步骤S3：否)，由于不是取放动作能够达成的状况，因此输送控制器41不执行取放控制(步骤S4～S9)，而输出第一FOUP的回收指令(步骤S10)。
另一方面，在判定为上游侧端口空出的情况下(步骤S3：是)，由于是取放动作能够达成的状况，因此输送控制器41执行取放控制(步骤S4～S9、第三步)。首先，输送控制器41启动第一计时器(步骤S4)。进而，输送控制器41在从启动第一计时器之后到经过待机时间T1之前，对是否从上级控制器40受理到指示向上游侧端口输送第二FOUP的输送要求(上游侧输送要求)进行监视(步骤S5、S6)。一方面，在从启动第一计时器之后到经过待机时间T1之前未受理到上游侧输送要求的情况下(步骤S6：是)，输送控制器41为了抑制因第一FOUP的回收时刻的延迟所致的输送效率的恶化，而输出第一FOUP的回收指令(步骤S10)。
另一方面，在从启动第一计时器之后至经过待机时间T1之前受理到上游侧输送要求的情况下(步骤S5：是)，输送控制器41启动第二计时器(步骤S7)。应予以说明，在输送控制器41受理到上游侧输送要求的时间点，第二FOUP并未具体确定。在输送控制器41基于上游侧输送要求生成了输送指令的时间点，第二FOUP被具体确定。如上所述，在图4～图7的例子中，FOUP90C为第二FOUP，在图8和图9的例子中，FOUP90D为第二FOUP。而且，在从启动第二计时器之后到经过待机时间T2之前，输送控制器41对基于上游侧输送要求生成的输送指令的输送对象即第二FOUP是否已变为输送状态进行监视(步骤S8、S9)。一方面，在启动第二计时器之后至经过待机时间T2之前第二FOUP未变为输送状态的情况下(步骤S9：是)，输送控制器41为了抑制因第一FOUP的回收时刻的延迟所致的输送效率的恶化，而输出第一FOUP的回收指令(步骤S10)。
另一方面，在启动第二计时器之后至经过待机时间T2之前，第二FOUP已变为输送状态的情况下(步骤S8：是)，输送控制器41视为在经过预定的待机时间之前已掌握了输送第二FOUP的高架输送车20，而输出第一FOUP的回收指令(步骤S10)。
如以上说明所示，在输送系统1中，输送控制器41在预定的待机时间内，使指示回收在下游侧端口上处于待回收状态的第一FOUP的输送指令(回收指令)的输出待机，直至向上游侧端口输送第二FOUP的高架输送车20被掌握。这样，通过在向上游侧端口输送第二FOUP的高架输送车20已被掌握了之后，输出第一FOUP的回收指令，由此能够提高向输送第二FOUP的高架输送车20分配第一FOUP的回收指令的可能性。其结果是，能够提高利用已将第二FOUP载置于上游侧端口的高架输送车20来回收第一FOUP的取放动作达成的可能性。另外，通过预先规定能够使回收指令的输出待机的待机时间，能够抑制因使回收指令的输出持续待机所致的输送效率恶化。因此，采用输送系统1，通过抑制输送效率的恶化并提高取放动作达成的可能性，能够提高高架输送车20的运用效率。
在输送系统1中，在第一FOUP变为待回收状态之后到受理到指示向上游侧端口输送第二FOUP的输送要求之前的时间超过待机时间T1的情况下，输出回收指令。由此，能够恰当地抑制因使回收指令的输出持续待机所致的输送效率的恶化。
在输送系统1中，在从上级控制器40受理到指示向上游侧端口输送第二FOUP的输送要求之后到第二FOUP变为输送状态之前的时间超过了待机时间T2的情况下，输出回收指令。由此，能够恰当地抑制因使回收指令的输出持续待机所致的输送效率的恶化。
采用输送系统1，通过利用本地台车32将FOUP90从上游侧端口(第一保管部31A或者装置端口101)向下游侧端口(装置端口101或者第二保管部31B)移载，由此能够有目的地生成能够执行取放动作的状况。
在输送系统1中，在与第一FOUP的输送相关的优先度比预定的基准高的情况下，输送控制器41在第一FOUP变为了待回收状态的时间点，输出第一FOUP的回收指令。由此，能够将与输送相关的优先度高的FOUP90从取放控制的执行对象中排除，而迅速地进行输送。由此，能够在满足对第一FOUP要求的要件的基础上，恰当地执行取放控制。
在输送系统1中，在第一FOUP的下一个输送目的地为预定的特定输送目的地的情况下，输送控制器41在第一FOUP变为了待回收状态的时间点，输出对第一FOUP的回收指令。由此，通过将特定半导体处理装置的装置端口等需要尽快着手加工处理的输送目的地预先规定为特定输送目的地，由此能够将以这样的特定输送目的地为下一个输送目的地的被输送物从取放控制的执行对象中排除，而迅速地进行输送。由此，能够在满足对第一FOUP要求的要件的基础上，恰当地执行取放控制。
至此，说明了本发明的一个方式，但本发明并不局限于上述方式。例如，图1和图2中示出的保管装置30的结构不过为一例，保管部31和本地台车32的配置和结构能够任意地设计。另外，设置于一个半导体处理装置100中的装置端口101的数量并不局限于在上述实施方式中例示的2个，也有为一个或3个以上的情况。另外，在一个保管装置30中设置的保管部31的数量也并不局限于2个，也有为一个或3个以上的情况。
另外，图3中示出的控制结构为一例，各控制器的控制系统可以未必与图3所示的分级构造一致。例如，也可以是，每个保管装置30的保管装置控制器43构成为多个保管装置30共用的单一的控制器。同样地，输送控制器41、高架输送车控制器42以及保管装置控制器43也可以构成为单一的控制器。
另外，本发明的一个方式的输送系统所输送的被输送物并不局限于收容有多个半导体晶圆的FOUP，也可以是收容有玻璃晶圆、中间掩模等的其它容器。另外，本发明的一个方式的输送系统并不局限于半导体制造工厂，也能够用于其它施设。另外，在本发明的一个方式的输送系统中输送被输送物的输送车并不局限于高架输送车，例如也可以是在载置有FOUP的状态下沿轨道行走来输送FOUP的输送车或者沿设置于地面上的引导线输送FOUP的无人驾驶车等。
附图标记说明
1…输送系统；10…轨道；20…高架输送车；30…保管装置；31…保管部；31A…第一保管部；31B…第二保管部；32…本地台车(移载机构)；41…输送控制器；90…FOUP(被输送物)；90A、90B…FOUP(第一被输送物)；90C、90D…FOUP(第二被输送物)；101、101A、101B…装置端口。

Claims (7)

1.一种输送系统，其中，具备：
轨道；
多台输送车，所述多台输送车沿所述轨道行走，输送被输送物；以及
控制器，其输出针对所述输送车的输送所述被输送物的输送指令，
在载置于能够载置所述被输送物的场所即下游侧端口的第一被输送物处于待回收状态且在所述输送车的行走方向上配置得比所述下游侧端口靠上游侧的能够载置所述被输送物的场所即上游侧端口处未载置有所述被输送物的情况下，
在所述第一被输送物变为待回收状态之后到经过预定的待机时间之前，所述控制器使指示回收所述第一被输送物的输送指令的输出待机，直至向所述上游侧端口输送第二被输送物的作为所述多台输送车之一的第一输送车的输送状态被所述控制器掌握，从而，对所述第一输送车分配所述第一被输送物的回收指令，
在从所述第一被输送物已变为待回收状态的时间点起经过了所述待机时间的情况下，所述控制器输出指示回收所述第一被输送物的输送指令。
2.根据权利要求1所述的输送系统，其中，
所述控制器构成为基于从上级控制器受理到的所述被输送物的输送要求，输出输送所述被输送物的输送指令，
在所述第一被输送物已变为待回收状态之后到经过预定的第一待机时间之前，未从所述上级控制器受理到指示向所述上游侧端口输送所述第二被输送物的输送要求的情况下，所述控制器输出指示回收所述第一被输送物的输送指令。
3.根据权利要求2所述的输送系统，其中，
在从所述上级控制器受理到指示向所述上游侧端口输送所述第二被输送物的输送要求之后到经过预定的第二待机时间之前，所述第二被输送物未变为由所述多台输送车之一输送的输送状态的情况下，所述控制器输出指示回收所述第一被输送物的输送指令。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的输送系统，其中，
还具备保管装置，所述保管装置具有：保管部，其能供所述输送车交接所述被输送物；和移载机构，其能够在能供所述输送车交接所述被输送物的装置端口和所述保管部之间，移载所述被输送物，
所述保管部包括：第一保管部，其在所述输送车的行走方向上设置得比所述装置端口靠上游侧；和第二保管部，其在所述输送车的行走方向上设置得比所述装置端口靠下游侧，
所述下游侧端口是所述装置端口或者所述第二保管部，
在所述下游侧端口是所述装置端口的情况下，所述上游侧端口是所述第一保管部，在所述下游侧端口是所述第二保管部的情况下，所述上游侧端口是所述第一保管部或者所述装置端口，
所述控制器构成为还输出针对所述移载机构的输送所述被输送物的输送指令，在所述下游侧端口空出且在所述上游侧端口载置有所述第一被输送物的情况下，所述控制器对所述移载机构输出指示将所述第一被输送物向所述下游侧端口移载的输送指令。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的输送系统，其中，
在与所述第一被输送物的输送相关的优先度比预定的基准高的情况下，所述控制器在所述第一被输送物变为了待回收状态的时间点，输出指示回收所述第一被输送物的输送指令。
6.根据权利要求1～3中任一项所述的输送系统，其中，
在所述第一被输送物的下一个输送目的地为预定的特定输送目的地的情况下，所述控制器在所述第一被输送物变为了待回收状态的时间点，输出指示回收所述第一被输送物的输送指令。
7.一种输送方法，是在权利要求1～6中任一项所述的输送系统中由所述控制器实施的输送方法，其中，包括如下步骤：
第一步，在该步骤中，对载置于所述下游侧端口的第一被输送物已变为待回收状态进行检测；
第二步，在该步骤中，在所述第一步中检测出所述第一被输送物已变为待回收状态的情况下，对在所述上游侧端口是否载置有所述被输送物进行判定；以及
第三步，在该步骤中，在所述第二步中判定为在所述上游侧端口未载置有所述被输送物的情况下，在所述第一被输送物已变为待回收状态之后到经过预定的待机时间之前，使指示回收所述第一被输送物的输送指令的输出待机，直至向所述上游侧端口输送第二被输送物的作为所述多台输送车之一的第一输送车的输送状态被所述控制器掌握，从而对所述第一输送车分配所述第一被输送物的回收指令，在从所述第一被输送物已变为待回收状态的时间点起经过了所述待机时间的情况下，输出指示回收所述第一被输送物的输送指令。
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