CN113740571A - 能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置通过探针块的单个控制来检测受检对象基板的图案是否不合格，可包括：底部，包括桁架；基板放置部，配置在底部的上部，用于在上表面放置受检对象并移动基板；以及探针龙门架，配置在基板放置部的一侧，通过与借助上述基板放置部进行移动的受检对象基板的至少一部分相接触，来测定基板的电特性。
Description
技术领域
本发明涉及能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，更详细地，涉及如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，在通过第一校准摄像头确认受检对象的校准标记来调节位置后，通过第二校准摄像头判断受检对象与探针销的位移是否相同，从而可单独改变探针块的第一方向的位移、第二方向的位移以及第三方向的位移。
背景技术
在这一部分中所记述的内容仅提供有关本发明的背景信息，并不构成现有技术。
作为显示器产品制造的最终工序，检测工序以往以如下方式进行，即，在使探针块的探针销物理接触显示器的电路图案后，通过向测试器施加电信号来测定及检测受检对象显示器的电路图案，从而输出测定数据。
由于作为受检对象的显示器的电路图案的位置根据型号各不相同，因而现有的阵列测试装置需与之相对应地更换探针块和探针销，以便进行测定及检测。
但即使像这样以与显示器的型号相对应的方式更换所装载的探针块及探针销，若不属于专属探针型号，则会在显示器的电路图案与探针块之间产生微小偏差。
因此，现有的阵列测试装置必须具备单个探针块位置调节功能，即，通过使玻璃放置台及探针块移动来对准作为受检对象的玻璃的各个电路图案，虽然已开发的与之相关的调节方式有很多，但存在很难准确实现探针块及探针销的位移的问题。
另一方面，还一直有如下的问题，即，在作为受检对象的玻璃的电路图案与探针块之间产生微小偏差的状况下，很难精确测定及检测显示器的电路图案，玻璃电路图案的测定所产生的测试精确度必然下降，不仅如此，无法获得具有准确性和可靠性的数据。
为了解决如上所述的现有的阵列测试装置的问题，虽然韩国及海外的一些相关公司对能够微调探针销的阵列测试装置进行了研究，但是，在实际产品化的层面上，因设置探针块的X轴移动驱动部、Y移动驱动部、Z轴移动驱动部及控制部结构所需的成本过高，或者，与现有的阵列测试装置相比，相应装置的制造成本所能带来的效果并不大，因此市场竞争力低，因而无法找到真正实现商业化的事例。
因此，需要开发能够解决如上所述的现有技术的技术问题的装置。
发明内容
技术问题
本发明用于改善所提及的上述现有技术的缺点，本发明的目的如下。
第一，本发明提供如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，能够以可与按型号各不相同的受检对象的电路相对应的方式装载多种探针块。
第二，本发明提供如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，可通过第一校准摄像头及第二校准摄像头实现双重测定来精密测量受检对象电路与探针销之间的位置。
第三，本发明提供如下的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列测试装置，即，通过第二校准摄像头确认受检对象的电路与探针销的偏差程度，在探针销与受检对象之间产生偏差的情况下，可微调探针块在第一方向轴、第二方向轴及第三方向轴上的位置。
本发明的技术问题并不局限于以上所提及的技术问题，本发明所属技术领域的普通技术人员可通过以下记载明确理解未提及的其他技术问题。
技术方案
根据本发明，本发明的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置通过单个探针块自动精密控制来检测受检对象基板的图案是否不合格，可包括：底部，包括桁架；基板放置部，配置在底部的上部，用于在上表面放置受检对象并移动基板；以及探针龙门架(gantry)，配置在基板放置部的一侧，通过与借助上述基板放置部进行移动的受检对象基板的至少一部分相接触，来测定基板的电特性。
本发明的特征在于，探针龙门架可包括：接触台部，设置有一个以上的探针块，上述探针块具有能够与受检对象基板相接触的探针销，能够基于受检对象基板的位置调节位置；以及第一校准摄像头，配置在接触台部的一侧，为了进行探针块与受检对象基板之间的位置对准而识别受检对象基板上的对准标记(align mar)。
在此情况下，探针龙门架还可包括：第二校准摄像头，用于拍摄探针销与受检对象基板的接触衬垫之间是否实现位置对准；以及探针块控制器，基于从第二校准摄像头获得的拍摄信息单独移动探针块来进行对准。
并且，第二校准摄像头还可包括第二校准摄像头控制器，上述第二校准摄像头控制器配置在桁架的一侧，能够以沿着第一方向及第三方向进行移动的方式对第二校准摄像头进行移动操作，以便为了精密测定受检对象基板与探针块的探针销之间的位移是否相同而进行超近距离拍摄。
而且，第二校准摄像头可由能够通过沿着第一方向连续移动来获得线性图像的线扫描摄像头代替。
另一方面，第二校准摄像头还可包括块控制运算部，上述块控制运算部通过第一方向位移运算部及第二方向位移运算部的运算来判断受检对象与探针块之间的位移是否相同，上述第一方向位移运算部通过比较受检对象与探针块的第一方向位移来判断是否需要改变探针块的第一方向位移，上述第二方向位移运算部通过比较受检对象与探针块的第二方向位移来判断是否需要改变探针块的第二方向位移。
根据本发明的其他特征，探针块控制器还可包括：探针块支架部，能够实现探针块的单位级抓取；第一方向位移控制器，能够实现探针块的第一方向位移微移操作；第二方向位移控制器，能够实现探针块的第二方向位移微移操作；以及第三方向位移控制器，能够实现探针块的第三方向位移微移操作。
在此情况下，能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置还可包括：探针块缓冲部，配置在探针龙门架的后方一侧，能够装载探针块；以及探针块移送部，配置在探针龙门架与探针块缓冲部之间的一侧，用于向接触台部移送探针块或从接触台部回收探针块。
另一方面，基板放置部还可包括：装载板部，呈平板形状，包括通过贯通表面而成的一个以上的吸附孔，能够通过吸附孔吸附受检对象；吸附部件，配置在装载板部的下部，能够通过吸附孔将受检对象吸附在装载板部；装拆销部，配置在装载板部的下部，通过形成于装载板部的贯通孔进行上下移动来调节受检对象的装拆；以及接触引导部，配置在装拆销部的下部，通过使装载板部沿着上下方向移动来使得放置在装载板部的受检对象与探针龙门架相接触。
将在以下的说明中对本发明的其他技术方案进行部分说明，可通过说明轻松确认一部分，或者，可通过本发明的实施例知晓。
以上的普通说明及以下的详细说明均仅属于例示及说明，并不限制发明要求保护范围中所记载的本发明。
发明的效果
以如上所述的方式构成的本发明具有如下的效果。
第一，可通过第一校准摄像头确认受检对象的校准标记并对受检对象与探针块之间的位置进行第一次精密调节。
第二，可通过第二校准摄像头判断受检对象的电路与单个单位的探针块单元之间的位移是否相同，若位移不相同，则可通过探针块控制器来单独对探针块的三方向位移进行第二次精密调节。
第三，能够以可根据受检对象的型号进行对应检测的方式装载多种探针块，并可通过探针块移送部自动更换探针块。
本发明的效果并不局限于以上提及的效果，本发明所属技术领域的普通技术人员可通过发明要求保护范围中的记载明确理解未提及的其他效果。
附图说明
图1为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的立体图。
图2为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针龙门架的立体图。
图3为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的第一校准摄像头的结构图及示出其功能的图。
图4为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的第二校准摄像头的结构图及示出其功能的图。
图5为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的第二校准摄像头控制器的结构图及示出通过第二校准摄像头控制器调节的第二校准摄像头的图。
图6为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的块控制运算部的算法的图。
图7为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块控制器的图。
图8为示出通过本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块控制器来使得第一方向位移、第二方向位移及第三方向位移得到单独调节的探针块的图。
图9为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置中的受检对象与探针块之间的位移相同的状态的图。
图10至图12为示出在本发明一实施例的探针块阵列测试装置中确认受检对象与探针块之间的位移是否相同并改变两者之间的位移的过程的图。
图13为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块缓冲部的图。
图14为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块移送部的图。
图15为示出通过本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块移送部来对探针块抓取部的第一方向位移、第二方向位移及第三方向位移进行调节的状态的图。
图16为示出根据受检对象来通过探针块移送部及探针块缓冲部装载/卸载探针块的算法的图。
具体实施方式
以下，参照附图，详细说明本发明的具体实施方式。
但是，在说明本发明的具体实施方式的过程中，当判断相关公知功能或结构的具体说明有可能不必要地混淆本发明的主旨时，将省略其详细说明。
本发明的目的、特征及优点可通过附图相关的详细说明而变得明确。但是，本发明可进行多种变更并包括多个实施例，因此，以下通过附图例示特定实施例并详细说明。
当判断对于本发明相关公知功能或结构的具体说明有可能不必要地混淆本发明的主旨时，将省略其详细说明。并且，在本说明书的说明过程中所使用的数字仅属于区分一个结构要素和其他结构要素的附图标记。
并且，在以下说明中所使用的结构要素的词尾“部”仅为便于制定说明书而使用或混用的，其本身并不具有相互区分的含义或作用。
图1为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的立体图。
本发明一实施例的能够实现单个探针块390自动精密控制的阵列图案测试装置可包括底部100、基板放置部200及探针龙门架300。
底部100可包括桁架110。
底部100可由形状不变的刚体(rigid body)(例如，可选择铁、铝、铜等金属或聚苯乙烯(PS)、ABS、聚缩醛(POM)、聚乙烯(PE)、聚氯乙烯(PVC)、聚碳酸酯(PC)、聚己内酯(PCL)及聚丙烯(PP)等合成树脂)制成。
基板放置部200可包括装载板部、吸附部件、装拆销部及接触引导部。
装载板部呈平板形状，包括通过贯通表面而成的一个以上的吸附孔，可通过吸附孔吸附受检对象20，但并不限定于此，还可形成除平板形状之外的其他形状。
吸附部件配置在装载板部的下部，可通过吸附孔将受检对象20吸附在装载板部。
装拆销部配置在装载板部的下部，可通过形成于装载板部的贯通孔进行上下移动来调节受检对象20的装拆。
接触引导部配置在装拆销部的下部，可通过使装载板部沿着上下方向移动来使得放置在装载板部的受检对象20与探针龙门架300相接触。
探针龙门架300可包括接触台部310、第一校准摄像头320、第二校准摄像头350及探针块控制器360。
以下，将说明各个上述结构的详细功能。
图2为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针龙门架300的立体图。
探针龙门架300可包括接触台部310、第一校准摄像头320、第二校准摄像头350及探针块控制器360。
第二校准摄像头350还可包括第二校准摄像头控制器351，探针块控制器360还可包括探针块支架部361、第一方向位移控制器362、第二方向位移控制器363及第三方向位移控制器364。
探针龙门架300还可包括检验摄像头。
检验摄像头配置在底部100的一侧，沿着第一方向及第三方向移动，通过拍摄二维图像，来使得使用人员能够用肉眼确认到阵列图案测试装置的测试结果是否错误。
检验摄像头可提供使用人员能够用肉眼确认的拍摄图像，以便检测测试结果、是否产生不合格。
检验摄像头的透镜可由多个透镜组合而成，以便可根据需确认是否产生不合格的受检对象20的任意位置与检验摄像头380之间的距离来调节倍率。
在接触台部310设置一个以上的探针块390，上述探针块390具有与受检对象20基板相接触的探针销，可基于受检对象20基板的位置调节位置。
图3为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的第一校准摄像头320的结构图及示出其功能的图。
如图3的(a)部分所示，第一校准摄像头320可沿着第一方向移动。
第一校准摄像头320配置在接触台部310的一侧，为了进行探针块390与受检对象20基板之间的位置对准而识别受检对象20基板上的对准标记21(align mark)。
更详细地，如图3的(b)部分所示，第一校准摄像头320可搜索在受检对象20的上表面一侧所配置的对准标记。
当第一校准摄像头320识别在受检对象20的上表面一侧所配置的对准标记时，由于无需进行探针块390的位置调节，因此，在接触台部310未工作的情况下，可通过基板放置部200的接触引导部来使得放置在基板放置部200的受检对象20沿着上方向移动。
当第一校准摄像头320无法识别在受检对象20的上表面一侧所配置的对准标记时，由于需要进行探针块390的位置调节，因此，可通过使得第一校准摄像头320沿着第一方向移动来搜索对准标记。当第一校准摄像头320识别到对准标记时，能够以与第一校准摄像头320的移动距离相对应的方式通过接触台部310调节探针块390的位移。随后，可通过基板放置部200的接触引导部来使得放置在基板放置部200的受检对象20沿着上方向移动来引导受检对象20与探针块390相接触。
最终，可通过第一校准摄像头320确认受检对象20的校准标记并对受检对象20与探针块390之间的位置进行第一次精密调节。
图4为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的第二校准摄像头350的结构图及示出其功能的图。
第二校准摄像头350还可包括第二校准摄像头控制器351，配置在桁架110的一侧，能够以沿着第一方向及第三方向进行移动的方式对第二校准摄像头350进行移动操作，以便为了精密测定受检对象20基板与探针块390的探针销之间的位移是否相同而进行超近距离拍摄。
第二校准摄像头350可由能够通过沿着第一方向连续移动来获得线性图像的线扫描摄像头代替。
与每单位场景拍摄一帧的区域摄像头不同，线扫描摄像头可以每单位场景拍摄一线。
与可在停止状态下进行拍摄的区域摄像头不同，线扫描摄像头在移动过程中也能进行拍摄。
因此，当第二校准摄像头350为线扫描摄像头时，即使受检对象20进行移动也可被拍摄，并且，可实现如同使用两台1Mega区域摄像头般的分辨率，可通过与受检对象20的移动速度相对应地调节第二校准摄像头350的同步速度来防止产生图像模糊(Image Smeat)，无需对因帧重叠(Frame Overlap)而重复的部分进行单独的影像处理也能使用拍摄影像。
图5为本发明一实施例的探针块阵列测试装置的第二校准摄像头控制器351的结构图及示出通过第二校准摄像头控制器351调节的第二校准摄像头350的图。
第二校准摄像头控制器351能够以沿着第一方向和第三方向进行移动的方式对第二校准摄像头350进行移动操作，以便为了精密测定受检对象20基板与探针块390的探针销之间的位移是否相同而进行超近距离拍摄。
第二校准摄像头控制器351可使得第二校准摄像头350沿着第一方向及第三方向微移动，以便检测受检对象20的电路基板与探针块390之间的微节距(pitch)单位级位移是否相对应。
最终，通过第二校准摄像头350判断受检对象20的电路与探针块390之间的各单位级位移是否相同，当位移不相同时，可通过探针块控制器360单独第二次调节探针块390的第三方向位移。
图6为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的块控制运算部352的算法的图。
块控制运算部352可包括第一方向位移运算部、第二方向位移运算部及第三方向位移运算部。
块控制运算部352可判断受检对象20与探针块390之间的位移是否相同。
块控制运算部352可抓取受检对象20与探针块390并拍摄。通过合并进行上述拍摄而得的两个图像来判断受检对象20与探针块390的位移是否相同，从而可调节探针块390的位移。
第一方向位移运算部通过比较受检对象20与探针块390的第一方向位移来判断是否需要改变探针块390的第一方向位移。
第二方向位移运算部通过比较受检对象20与探针块390的第二方向位移来判断是否需要改变探针块390的第二方向位移。
第三方向位移运算部通过比较受检对象20与探针块390的第三方向位移来判断是否需要改变探针块390的第三方向位移。
更详细地，基于第二校准摄像头350拍摄的场景，第一方向位移运算部可通过相互比较受检对象20电路的第一方向位置与探针块390的第一方向位置来判断探针块390是否放置在第一方向轴上的准确位置。
当探针块390放置在第一方向轴上的准确位置时，第二方向位移运算部可判断探针块390的第二方向位移。
当探针块390未放置在第一方向轴上的准确位置时，第一方向位移运算部可通过操作探针块控制器360的第一方向位移控制器362来微调探针块390的第一方向的位置。在结束探针块390的第一方向微调后，第二方向位移运算部可判断探针块390的第二方向位移。
基于第二校准摄像头350拍摄的场景，第二方向位移运算部可通过相互比较受检对象20电路的第二方向位置与探针块390的第二方向位置来判断探针块390是否放置在第二方向轴上的准确位置。
当探针块390放置在第二方向轴上的准确位置时，本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块390可判断受检对象20的电路是否不合格。
当探针块390未放置在第二方向轴上的准确位置时，可通过操作探针块控制器360的第二方向位移控制器363来微调探针块390的第二方向的位置。在结束探针块390的第二方向微调后，本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块390可判断受检对象20的电路是否不合格。
图7为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块控制器360的图。
图8为示出通过本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块控制器360来使得第一方向位移、第二方向位移及第三方向位移得到单独调节的探针块390的图。
探针块控制器360还可包括探针块支架部361、第一方向位移控制器362、第二方向位移控制器363及第三方向位移控制器364。
探针块支架部361可抓取探针块390的每个单位。
如图8的(a)部分所示，当通过第一方向位移运算部判断在受检对象20电路与探针块390之间的第一方向轴位移产生偏差时，第一方向位移控制器362可实现探针块390的第一方向位移微移操作。
如图8的(b)部分所示，当通过第二方向位移运算部判断在受检对象20电路与探针块390之间的第二方向轴位移产生偏差时，第二方向位移控制器363可实现探针块390的第二方向位移微移操作。
如图8的(c)部分所示，当通过第三方向位移运算部判断在受检对象20电路与探针块390之间的第三方向轴位移产生偏差时，第三方向位移控制器364可实现探针块390的第三方向位移微移操作。
图9为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置中的受检对象20与探针块390之间的位移相同的状态的图。
图10至图12为示出在本发明一实施例的探针块阵列测试装置中确认受检对象20与探针块390之间的位移是否相同并改变两者之间的位移的过程的图。
如图9所示，与受检对象20的电路相对应的探针块390在第一方向及第二方向上的位置均为准确的位移。
如图10的(a)部分所示，虽然与受检对象20的电路相对应的探针块390在第二方向上的位置为准确的位移，但是，在第一方向上的位置为错误的位移。
如图11的(a)部分所示，虽然与受检对象20的电路相对应的探针块390在第一方向上的位置为准确的位移，但是，在第二方向上的位置为错误的位移。
如图12的(a)部分所示，与受检对象20的电路相对应的探针块390在第一方向及第二方向上的位置均为错误的位移。
如图9所示，与受检对象20的电路相对应的探针块390在第一方向及第二方向上的位置均为准确的位移，因此，在探针块控制器360未进行工作的情况下，探针块390将位于准确的位置，由此，本发明一实施例的探针块阵列测试装置可检测受检对象20的电路。
如图10的(a)部分所示，虽然与受检对象20的电路相对应的探针块390在第二方向上的位置为准确的位移，但由于在第一方向上的位置为错误的位移，因此，如图10的(b)部分所示，可通过探针块控制器360的第一方向位移控制器362进行第一方向位移微调操作来使得探针块390移动到准确的位置，由此，本发明一实施例的探针块阵列测试装置可检测受检对象20的电路。
如图11的(a)部分所示，虽然与受检对象20的电路相对应的探针块390在第一方向上的位置为准确的位移，但由于在第二方向上的位置为错误的位移，因此，如图11的(b)部分所示，可通过探针块控制器360的第二方向位移控制器363进行第二方向位移微调操作来使得探针块390移动到准确的位置，由此，本发明一实施例的探针块阵列测试装置可检测受检对象20的电路。
如图12的(a)部分所示，与受检对象20的电路相对应的探针块390在第一方向及第二方向上的位置均为错误的位移，因此，如图12的(b)部分所示，可通过探针块控制器360的第一方向位移控制器362及第二方向位移控制器363进行第一方向位移微调操作和第二方向位移微调操作来使得探针块390移动到准确的位置，由此，本发明一实施例的探针块阵列测试装置可检测受检对象20的电路。
图13为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块缓冲部400的图。
探针块缓冲部400配置在探针龙门架300的后方一侧，可装载一个以上的探针块390。
探针块缓冲部400可保管多个探针块390，以便与受检对象20显示器的型号相对应地进行配套测试。
图14为示出本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块移送部410的图。
探针块移送部410可包括探针块抓取部414、第一方向驱动部411、第二方向驱动部412及第三方向驱动部413。
探针块抓取部414可根据受检对象20的显示器型号来实现探针龙门架300对探针块390的单位级装载或卸载。
如图14所示，虽然探针块抓取部414可形成有4个单元，但与图14不同，可包括4个以下或4个以上的单元。能够以与探针块抓取部414的单元数量相对应的方式额外包括第一方向驱动部411及第三方向驱动部413，以便实现探针块抓取部414的单位级微调。
第一方向驱动部411可包括第一方向驱动板411A，可实现探针块抓取部414的单元级第一方向位移微移操作。
第一方向驱动部411可生成动力并将所生成的动力传递到第一方向驱动板411A。第一方向驱动板411A可通过将动力传递到探针块抓取部414来实现探针块抓取部414的单位级第一方向位移微移操作。
第二方向驱动部412可实现探针块抓取部414的第二方向位移微移操作。
第三方向驱动部413可实现探针块抓取部414单元级第三方向位移微移操作。
探针块移送部410配置在探针龙门架300与探针块缓冲部400之间的一侧，可向接触台部310移送探针块390或从接触台部310回收探针块390。
图15为示出通过本发明一实施例的探针块阵列测试装置的探针块移送部410来对探针块抓取部414的第一方向位移、第二方向位移及第三方向位移进行调节的状态的图。
探针块抓取部414可实现探针块390的单位级抓取。
如图15的(a)部分所示，当探针龙门架300的探针块390与探针块移送部410的探针块抓取部414之间的第一方向轴上的位移互不相同时，第一方向驱动部411可实现探针块抓取部414的单位级第一方向位移微移操作。
如图15的(b)部分所示，当探针龙门架300的探针块390与探针块移送部410的探针块抓取部414之间的第二方向轴上的位移互不相同时，第二方向驱动部412可实现探针块抓取部414的整体第二方向位移微移。
如图15的(c)部分所示，当探针龙门架300的探针块390与探针块移送部410的探针块抓取部414之间的第三方向轴上的位移互不相同时，第三方向驱动部413可实现探针块抓取部414的单位级第三方向位移微移。
图16为示出根据受检对象来通过探针块移送部410及探针块缓冲部400装载/卸载探针块390的算法的图。
当受检对象20的型号与以往检测中的受检型号相同时，本发明一实施例的探针块阵列测试装置可在不驱动探针块移送部410及探针块缓冲部400的情况下进行检测。
当受检对象20的型号与以往检测中的受检型号不同时，可驱动探针块移送部410。
更详细地，探针块移送部410可卸载以往检测的探针块390。
当探针块抓取部414与探针块390之间的第一方向位移互不相同时，可通过启动第一方向驱动部411来进行调节，以使得探针块抓取部414的第一方向位移与探针龙门架300的探针块390的第一方向位移相同。
当探针块抓取部414与探针块390之间的第一方向位移通过第一方向驱动部411变得相同或一开始就相同时，可判断第二方向位移是否相同。
当探针块抓取部414与探针块390之间的第二方向位移互不相同时，可通过启动第一方向驱动部411来进行调节，以使得探针块抓取部414的第二方向位移与探针龙门架300的探针块390的第二方向位移相同。
当探针块抓取部414与探针块390之间的第二方向位移通过第二方向驱动部412变得相同或一开始就相同时，可判断第三方向位移是否相同。
当探针块抓取部414与探针块390之间的第三方向位移互不相同时，可通过启动第三方向驱动部413来进行调节，以使得探针块抓取部414的第三方向位移与探针龙门架300的探针块390的第三方向位移相同。
当探针块抓取部414与探针块390之间的第三方向位移通过第三方向驱动部413变得相同或一开始就相同时，探针块移送部410可通过向探针块缓冲部400移动来将卸载的探针块390装载在探针块缓冲部400。
探针块移送部410可装载与受检对象20的型号相对应的探针块390。探针块移送部410可向探针龙门架300对接探针块390。
通过上述流程，探针块阵列测试装置可按照受检对象20的型号进行对应检测并装载多种探针块390，可通过探针块移送部410自动更换探针块390。
本发明的实施例仅用于例示性地说明本发明的技术思想，本发明所属技术领域的普通技术人员可在不脱离本发明的基本特征的范围内对本发明的实施例进行多种修改及变形。
本发明的实施例仅用于说明，并不限定本发明的技术思想，因此，本发明的发明要求保护范围并不限定于本发明的实施例。
本发明的保护范围应根据发明要求保护范围加以解释，与其相同或等同的所有技术思想均属于本发明的发明要求保护范围。
Claims (13)
1.一种能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，通过精密控制探针块来检测受检对象基板的图案是否不合格，其特征在于，包括：
底部，包括桁架；
基板放置部，配置在上述底部的上部，用于在上表面放置受检对象并移动基板；以及
探针龙门架，配置在上述基板放置部的一侧，通过与借助上述基板放置部进行移动的受检对象基板的至少一部分相接触，来测定上述基板的电特性。
2.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述探针龙门架包括：
接触台部，设置有一个以上的探针块，上述探针块具有能够与受检对象基板相接触的探针销，能够基于受检对象基板的位置调节位置；以及
第一校准摄像头，配置在上述接触台部的一侧，为了进行上述探针块与受检对象基板之间的位置对准而识别受检对象基板上的对准标记。
3.根据权利要求2所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述第一校准摄像头能够沿着第一方向移动。
4.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述探针龙门架还包括：
第二校准摄像头，用于拍摄上述探针销与上述受检对象基板的接触衬垫之间是否实现位置对准；以及
探针块控制器，基于从上述第二校准摄像头获得的拍摄信息单独移动上述探针块来进行对准。
5.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述第二校准摄像头还包括第二校准摄像头控制器，上述第二校准摄像头控制器配置在上述桁架的一侧，能够以沿着第一方向及第三方向进行移动的方式对上述第二校准摄像头进行移动操作，以便为了精密测定受检对象基板与上述探针块的探针销之间的位移是否相同而进行超近距离拍摄。
6.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，
上述第二校准摄像头还包括块控制运算部，上述块控制运算部通过第一方向位移运算部及第二方向位移运算部的运算来判断受检对象与探针块之间的位移是否相同，
上述第一方向位移运算部通过比较受检对象与探针块的第一方向位移来判断是否需要改变探针块的第一方向位移，
上述第二方向位移运算部通过比较受检对象与探针块的第二方向位移来判断是否需要改变探针块的第二方向位移。
7.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述探针块控制器还包括：
探针块支架部，能够实现上述探针块的单位级抓取；
第一方向位移控制器，能够实现探针块的第一方向位移微移操作；
第二方向位移控制器，能够实现探针块的第二方向位移微移操作；以及
第三方向位移控制器，能够实现探针块的第三方向位移微移操作。
8.根据权利要求4所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述第二校准摄像头为能够通过沿着第一方向连续移动来获得线性图像的线扫描摄像头。
9.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，还包括探针块缓冲部，配置在上述探针龙门架的后方一侧，能够装载一个以上的上述探针块。
10.根据权利要求9所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，还包括探针块移送部，配置在上述探针龙门架与上述探针块缓冲部之间的一侧，用于向上述接触台部移送上述探针块或从上述接触台部回收上述探针块。
11.根据权利要求10所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述探针块移送部还包括：
探针块抓取部，能够实现上述探针龙门架对上述探针块的单位级装载或卸载；
第一方向驱动部，能够实现上述探针块抓取部的单元级第一方向位移微移操作；
第二方向驱动部，能够实现上述探针块抓取部的第二方向位移微移操作；以及
第三方向驱动部，能够实现上述探针块抓取部的单元级第三方向位移微移操作。
12.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，上述基板放置部包括：
装载板部，呈平板形状，包括通过贯通表面而成的一个以上的吸附孔，能够通过上述吸附孔吸附受检对象；
吸附部件，配置在上述装载板部的下部，能够通过上述吸附孔将受检对象吸附在上述装载板部；
装拆销部，配置在上述装载板部的下部，通过形成于上述装载板部的贯通孔进行上下移动来调节受检对象的装拆；以及
接触引导部，配置在上述装拆销部的下部，通过使上述装载板部沿着上下方向移动来使得放置在上述装载板部的受检对象与上述探针龙门架相接触。
13.根据权利要求1所述的能够实现单个探针块自动精密控制的阵列图案测试装置，其特征在于，还包括检验摄像头，配置在上述底部的一侧，沿着第一方向及第三方向移动，通过拍摄二维图像，来使得使用人员能够用肉眼确认到上述阵列图案测试装置的测试结果是否错误。
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