KR101062983B1 - 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치 - Google Patents

프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 엘씨디 글라스의 회로패턴을 측정/검사하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치에 관한 것으로, 상기 엘씨디 글라스의 모델에 따라 변경되는 회로패턴에 프로브 핀이 정확한 위치에 정렬 및 접촉되도록 프로브 핀을 자동으로 조정하여 상기 회로패턴의 측정에 따른 테스트의 정밀도를 높여 신뢰성 있는 데이터를 얻으며, 상기 엘씨디 글라스의 모델 변경에 따른 교체 시간의 단축 및 생산성이 향상되고, 상기 프루빙 장치의 성능 향상 및 사용자의 편의를 도모하도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 엘씨디 글라스가 장착되어 이송하는 글라스 고정 스테이지가 위치하는 메인 베이스 플레이트; 상기 메인 베이스 플레이트에 구비되어 엘씨디 글라스의 각 회로패턴 측정위치에 프로브 핀이 위치하도록 상기 프로브 핀이 결합된 프로브 고정 블록의 왕복이동을 미세하게 조정하는 블록 미세 조정부; 상기 각 블록 미세 조정부의 전면에 각각 설치되어 상기 프로브 핀과 회로패턴과의 접촉 여부를 확인하는 얼라인 카메라를 왕복이동시키는 카메라 이송부; 상기 메인 베이스 플레이트의 외방에 설치되어 상기 블록 미세 조정부와 카메라 이송부의 작동을 제어하는 디스플레이부;로 구성된 것이다.
프루빙 장치, 엘씨디 글라스, 회로패턴, 프로브 고정 블록, 프로브 핀

Description

프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치{APPARATUS FOR OPERATING OF PROB PIN IN PROBING APPARATUS}
본 발명은 엘씨디(LCD) 글라스의 회로패턴을 측정 및 검사하는 엘씨디(LCD) 검사 장비인 프루빙 장치에 관한 것으로서, 상기 프로빙 장치의 프로브 핀을 자동으로 조정함에 따라 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴 피치를 정확하게 측정 및 테스트의 정밀도를 높일 수 있을 뿐만 아니라 상기 엘씨디 글라스의 모델 변경에 따른 교체 시간을 단축하여 생산성을 향상시키며, 프루빙 장치의 사용에 따른 사용자의 편의를 도모하도록 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치에 관한 것이다.
일반적으로, 프루빙 장치는 엘씨디(LCD) 제품 제조의 최종 공정인 검사 공정에서 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴에 상기 프루빙 장치의 프로브 핀을 물리적으로 접촉시킨 후 테스터에서 전기적인 신호를 인가해 상기 엘씨디 글라스 회로패턴을 측정 및 검사하여 측정 데이터를 출력하는 검사 장비이다.
상기의 프루빙 장치는 도 1a와 도 1b에서 도시한 바와 같이, 상기 프루빙 장치(10)의 하부측에는 베이스 플레이트(1)가 설치되어 있고, 상기 베이스 플레이트(1)의 상면에는 프로브 블록 마운팅 플레이트(3)가 설치되어 있다.
상기 베이스 플레이트(1) 내에는 엘씨디(LCD) 글라스가 얹혀져 안착 고정되는 글라스 고정 스테이지(2)가 이송되어 설치되어 있으며, 상기의 글라스 고정 스테이지(2)는 상하로 왕복이동 가능하도록 설치되어 있다.
상기 프로브 블록 마운팅 플레이트(3)의 상면에는 엘씨디 글라스의 상면과 접촉됨은 물론 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴을 측정 및 검사하여 측정 데이터를 출력하도록 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴의 상방에 위치하는 복수개의 프로브 조정 블록(4)이 고정 결합되어 있고, 상기 각 프로브 조정 블록(4)의 저면에는 각 회로패턴과 각각 접촉되는 프로브 핀(5)이 설치되어 있다.
상기 각 프로브 조정 블록(4)은 상기 엘씨디 글라스의 상측면과 우측면에 위치하도록 도면상 상기 프로브 블록 마운팅 플레이트(3)의 상측과 우측에 각각 설치되어 있다.
상기 베이스 플레이트(1)의 상면 외측부에는 상기 각 프로브 조정 블록(4)의 상방에 위치됨은 물론 상기 각 프로브 조정 블록(4)의 프로브 핀(5)과 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴과의 접촉 여부를 확인하도록 하는 복수개의 카메라(6)가 고정 결합되어 있다.
상기의 구조를 갖는 종래 프루빙 장치는 상기 프루빙 장치(10)의 글라스 고정 스테이지(2) 상면에 측정 및 검사고자 하는 엘씨디(LCD) 글라스를 안착 고정하고 나서 상기 엘씨디 글라스가 안착 고정된 글라스 고정 스테이지(2)를 프루빙 장치(10)의 하방에 위치시킨다.
그러면, 상기 글라스 고정 스테이지(2)는 베이스 플레이트(1)와 프로브 블록 마운팅 플레이트(3)의 내측에 위치됨은 물론 상기 글라스 고정 스테이지(2)에 안착 고정된 엘씨디 글라스의 상측과 우측에는 상기 프로브 블록 마운팅 플레이트(3)에 결합된 복수개의 프로브 조정 블록(4)이 위치된다.
그런 다음, 상기 베이스 플레이트(1)에 결합된 카메라(6)를 이용하여 즉, 상기 카메라(6)에 찍힌 영상을 모니터에서 보면서 상기 각 프로브 조정 블록(4)의 프로브 핀(5)과 엘씨디 글라스의 회로패턴과의 정확한 위치를 잡는다.
즉, 상기 글라스 고정 스테이지(2) 또는, 상기 프로브 블록 마운팅 플레이트(3)를 손으로 상하좌우로 움직여서 상기 엘씨디 글라스를 이동시키거나 프로브 고정 블록(4)을 이동시켜 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴과 프로브 핀(5)과의 위치를 정확하게 잡는다.
상기와 같은 방법으로 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴에 상방에 각 프로브 조정 블록(4)이 위치되게 정렬시키고 나서 상기 각 프로브 조정 블록(4)의 프로브 핀(5)이 엘씨디 글라스의 회로패턴과 접촉되었는 지를 카메라를 통해 확인한다.
이 때, 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴과 각 프로브 핀(5)이 접촉되지 않았으면, 상기 글라스 고정 스테이지(2)를 상하로 왕복이동시키면서 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴과 각 프로브 핀(5)이 접촉되도록 한다.
이와 같이, 상기 프루빙 장치(10)에 고정 설치된 엘씨디 글라스를 테스트하게 되는데, 즉 상기 프루빙 장치(10)의 각 프로브 고정 블록(4) 저면에 설치된 프로브 핀(5)을 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴에 물리적으로 각각 접촉시킨 후 테스터에서 전기적인 신호를 인가해 상기 엘씨디 글라스 회로패턴을 측정 및 검사 하여 상기 측정한 데이터를 출력한다.
그러나, 이러한 종래의 프루빙 장치는 엘씨디 글라스의 모델이 변경되어 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴 크기 및 폭이 달라지게 되면 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴과 접촉되는 프로브 핀이 결합된 프로브 고정 블록의 위치도 달라져야 한다.
그러므로, 상기 엘씨디 글라스의 모델이 변경될 때마다 상기 프로브 고정 블록이 결합된 프로브 블록 마운팅 플레이트를 베이스 플레이트에서 분리하고 나서 상기 변경된 엘씨디 글라스의 모델에 맞도록 프로브 블록 마운팅 플레이트를 제작 및 상기 제작된 프로브 블록 마운팅 플레이트를 상기 베이스 플레이트에 결합하고 나서 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴을 측정 및 검사하여야 한다.
이와 같이, 상기 엘씨디 글라스의 모델 변경에 따라 상기 프루빙 장치의 각 구성 즉, 프로브 블록 마운팅 플레이트를 변경된 모델에 맞도록 제작하여야 할 뿐만 아니라 상기 새로 제작된 프로브 블록 마운팅 플레이트를 교체하는데 많은 시간이 소요되므로 인해 생산성이 저하되고, 상기 프루빙 장치의 운영에 많은 어려움이 따르는 문제점이 있었다.
또한, 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴에 프로브 조정 블록을 각각 위치 및 정렬시키거나 또는 상기 각 프로브 조정 블록의 프로브 핀을 각 회로패턴에 접촉시킬 때 상기 프루빙 장치의 글라스 고정 스테이지 또는 프로브 블록 마운팅 플레이트를 수작업 방식인 수동으로 상하 좌우방향을 움직이면서 조정하여 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴에 프로브 조정 블록 위치를 정확하게 놓이도록 정렬하여 야 한다.
상기와 같이, 수동으로 글라스 고정 스테이지 및 프로브 블록 마운팅 플레이트를 움직여서 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴에 각 프로브 조정 블록을 정렬하여야 함에 따라 상기 프로브 조정 블록 및 프로브 핀이 정확한 위치에 정열하기 어려울 뿐만 아니라 상기 제대로 정열되지 않은 상태에서는 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴을 측정 및 검사가 정확하게 이루어지지 않으므로 인해 상기 엘씨디 글라스 회로패턴의 측정에 따른 테스트의 정밀도가 떨어짐은 물론 그에 따라 정확하고 신뢰성 있는 데이터를 얻지 못하는 문제점도 있었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술에서의 문제점 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 엘씨디(LCD) 글라스의 모델에 따라 달라지는 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴 크기 및 폭에 맞도록 프루빙 장치의 프로브 조정 블록 및 프로브 핀의 위치를 자동으로 조정하도록 하여 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴에 따라 프로브 조정 블록이 정확하게 위치 및 정렬됨은 물론 상기 각 회로패턴과 각 프로브 핀이 정확한 위치에서 접촉되므로 상기 엘씨디 글라스 회로패턴의 측정에 따른 테스트의 정밀도를 높여 신뢰성 있는 데이터를 얻도록 하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 엘씨디 글라스의 각 회로패턴과 각 프로브 조정 블록의 프로브 핀과의 접촉 여부 및 상기 각 회로패턴에 프로브 핀이 정확하게 위치하는 지를 카메라 이송부의 얼라인 카메라를 통해 확인하여, 상기 회로패턴과 프로브 핀의 중심점이 일치하지 않으면 블록 미세 조정부에서는 각 프로브 조정 블록을 미세하게 이동되도록 조정하므로 상기 각 회로패턴에 프로브 핀이 정확하게 위치 및 접촉됨에 따라 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴을 보다 정확하게 측정하도록 하는데 그 목적이 있다
또한, 본 발명은 엘씨디 글라스의 각 회로패턴에 각 프로브 조정 블록의 프로브 핀이 정확한 위치에서 접촉되도록 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴 피치에 따라 상기 프로브 조정 블록 및 프로브 핀을 좌우방향으로의 이동이 자동으로 이루어짐으로써, 상기 엘씨디 글라스의 모델 변경에 따른 교체 시간 단축 및 생산성이 향 상될 뿐만 아니라 상기 프루빙 장치의 성능 향상 및 상기 프루빙 장치의 사용에 따른 사용자의 편의를 도모하도록 하는데 그 목적이 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 엘씨디(LCD) 글라스의 회로패턴을 측정 및 검사하도록 하부면에 프로브 핀이 결합된 복수개의 프로브 고정 블록이 구비된 프루빙 장치에 있어서, 상기 프루빙 장치의 하부측에 설치되어 상기 엘씨디 글라스가 얹혀져 장착되어 이송하는 글라스 고정 스테이지가 내측에 위치하도록 글라스 위치부를 갖는 메인 베이스 플레이트; 상기 메인 베이스 플레이트의 상측과 일측부에 각각 구비되어 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴 측정위치에 상기 각 프로브 고정 블록의 프로브 핀이 위치하도록 상기 각 프로브 고정 블록을 왕복 이동가능하게 결합함과 함께 상기 각 프로브 고정 블록의 이동을 미세하게 조정하는 블록 미세 조정부; 상기 각 블록 미세 조정부의 전면에 각각 설치되어 상기 회로패턴에 따라 이동하는 각 프로브 고정 블록의 상방에 위치하여 상기 프로브 핀과 상기 회로패턴과의 접촉 여부 및 프로브 핀의 중심점과 회로패턴의 중심점이 일치하는 지를 확인하는 얼라인 카메라를 왕복이동시키는 카메라 이송부; 상기 메인 베이스 플레이트의 외방에 설치되어 상기 블록 미세 조정부와 카메라 이송부의 작동을 제어 및 확인하도록 하는 디스플레이부;로 구성됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 블록 미세 조정부는, 메인 베이스 플레이트의 상면에 결합 고정되는 블록 고정 베이스와, 상기 블록 고정베이스의 전방에 위치됨과 함께 각 프로브 고정 블록의 후면에 각각 결합되는 복수개의 블록 고정 마운트와, 상기 각 블록 고정 마운트의 후면에 각각 결합되는 자성체인 가이드 고정블록과, 상기 각 가이드 고정블록의 후면과 대응되는 위치인 상기 블록 고정 베이스의 전면에 결합되어 상기 각 프로브 고정 블록의 이동을 미세하게 각각 조정하도록 상기 자성체인 각 가이드 고정블록을 전자력으로 이동시키는 리니어 모터와, 상기 각 가이드 고정블록의 후면 상, 하부측인 상기 블록 고정 베이스의 전면에 결합되어 상기 리니어 모터에 의해 이동하는 각 가이드 고정블록 및 프로브 고정 블록의 이동방향을 안내하는 복수개의 엘엠가이드와, 상기 각 리니어 모터와 디스플레이부에 연결 설치되어 상기 디스플레이부에서 보내지는 신호에 따라 상기 각 리니어 모터의 작동을 제어하는 제1콘트롤러로 구성됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 각 가이드 고정블록은 각 블록 고정 마운트의 후면 상, 하부를 서로 번갈아가면서 2열형태로 위치되도록 상기 각 가이드 고정블록의 결합 위치가 서로 엇갈리게 결합됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 리니어 모터는 각 블록 고정 마운트의 후면에 2열형태로 결합된 각 가이드 고정블록과 대응되도록 한 쌍으로 이루어짐을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 각 엘엠가이드의 안내를 받으면서 이동하는 각 가이드 고정블록의 후면 상, 하부에는 상기 각 엘엠가이드와 맞물린 상태에서 슬라이딩되면서 상기 각 가이드 고정블록 및 프로브 고정 블록의 이동을 안내하도록 하는 엘엠가이드블록이 각각 결합됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 블록 고정 베이스의 저면에는 길이방향으로 엘엠가이드가 결합되고, 블록 고정 마운트의 하부측에는 상기 엘엠가이드와 맞물린 상태에서 슬라이딩되면서 상기 블록 고정 마운트 및 상기 블록 고정 마운트에 결합된 프로브 고정 블록의 이동을 안내하도록 하는 엘엠가이드블록이 결합됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 각 리니어 모터 사이인 블록 고정 베이스의 전면에는 상기 각 리니어 모터에 의해 왕복이동하는 블록 고정 마운트를 미크론 단위로 정밀하게 이동시키도록 상기 각 리니어 모터를 미세하게 조정하는 리니어 스케일이 결합됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 카메라 이송부는, 각 블록 미세 조정부의 전면에 설치 및 메인 베이스 플레이트의 상면에 결합되는 카메라 이송 고정 베이스와, 상기 카메라 이송 고정 베이스의 전면 일측에 결합 설치되어 외부에서 인가되는 전원에 의해 회전력이 발생하는 회전모터와, 상기 회전모터에 축결합됨과 함께 상기 카메라 이송 고정 베이스의 전면에 회전가능하게 설치되어 상기 회전모터의 회전력에 의해 정·역방향으로 회전하는 이송회전축과, 상기 회전모터와 디스플레이부에 연결 설치되어 상기 디스플레이부에서 보내지는 신호에 따라 상기 회전모터의 작동을 제어하는 제2콘트롤러와, 상기 이송회전축에 이동가능하게 결합되어 상기 이송회전축의 회전 방향에 따라 왕복이동하도록 상기 이송회전축이 삽입되는 축공을 갖는 카메라 고정대와, 상기 카메라 이송 고정 베이스의 상부측에 설치되어 상기 카메라 고정대의 이동을 안내하도록 상기 카메라 고정대의 후면에 형성된 가이드홈부에 슬라이딩 가능하게 삽입 결합되는 카메라 이송용 가이드부와, 상기 카메라 고정대의 전면에는 엘씨디 글라스의 회로패턴과 각 프로브 고정 블록의 프로브 핀과의 접촉 여부 및 프로브 핀의 중심점과 회로패턴의 중심점이 일치하는 지를 확인 및 상기 각 회로패턴 간의 피치를 측정하는 얼라인 카메라가 구성됨을 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 카메라 이송 고정 베이스의 전면 일측에는 이송회전축의 일단이 회전모터와 축결합되도록 상기 이송회전축의 일측이 관통하는 삽입공을 갖는 제1지지돌부가 돌출 형성되고, 상기 카메라 이송 고정 베이스의 전면 타측에는 이송회전축의 타단이 회전가능하게 삽입 결합되는 삽입홈을 갖는 제2지지돌부가 돌출 형성됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 이송회전축의 외주면에는 수나사산이 형성되고, 카메라고정대의 축공 내주면에는 상기 수나사산과 맞물리는 암나사산이 형성됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
또한 본 발명은, 카메라 이송 고정 베이스의 상면에는 얼라인 카메라의 이동거리를 외부에서 확인하도록 눈금치수가 새겨진 눈금부가 설치됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치가 제공된다.
상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 프루빙 장치의 프로브 조정 블록과 프로브 핀의 위치를 자동으로 미세하게 조정하는 리니어 모터와 리니어 스케일을 구성함과 더불어 상기 프루빙 장치의 얼라인 카메라 위치를 이동시키도록 회전모터와 이송회전축이 구비된 카메라 이송부를 구성함으로써, 엘씨디(LCD) 글라스의 모델이 변경 즉, 엘씨디 글라스의 회로패턴 크기 및 폭이 달라지면 상기 각 프로브 조정 블록은 리니어 모터와 리니어 스케일 등에 의해 이동되면서 엘씨디 글라스의 회로패턴 상방에 위치되도록 자동으로 조정된다.
또한, 카메라 이송부에 의해 이동되는 얼라인 카메라를 통해 상기 각 프로브 조정 블록의 프로브 핀과 엘씨디 글라스의 회로패턴과의 접촉 여부를 확인 및 상기 프로브 핀의 중심점과 회로패턴의 중심점이 일치하는 지를 확인한다.
이 때, 상기 프로브 핀의 중심점과 회로패턴의 중심점이 일치하지 않을 경우 상기 얼라인 카메라를 통해 확인하여 상기 프로브 핀과 회로패턴이 틀어진 값만큼 상기 리니어 모터와 리니어 스케일을 구동시켜 상기 각 프로브 조정 블록을 이동시키므로 상기 회로패턴에 프로브 핀이 정확한 위치에서 접촉되도록 함에 따라 상기 회로패턴을 정확하게 측정하는 효과가 있다.
즉, 다양한 모델의 엘씨디 글라스로 인한 상기 엘씨디 글라스의 각 회로패턴 크기 및 폭이 변경되어도 상기 프루빙 장치는 엘씨디 글라스의 각 회로패턴과 프로브 조정 블록의 프로브 핀과의 접촉 여부 및 상기 프로브 조정 블록의 위치를 얼라인 카메라를 통해 확인하여 상기 각 회로패턴에 각 프로브 핀이 정확한 위치에서 접촉되도록 각 프로브 조정 블록의 이동을 미세하게 자동 조정함으로써, 상기 엘씨 디 글라스의 모델이 변경되어도 상기 변경된 엘씨디 글라스의 각 회로패턴을 보다 정확하게 측정 및 검사할 뿐만 아니라 상기 각 회로패턴의 측정에 따른 테스트의 정밀도를 높임으로 정확하면서도 신뢰성 있는 데이터를 얻을 수 있는 효과도 있다.
그리고, 상기 프루빙 장치의 메인 베이스 플레이트 및 글라스 고정 스테이지 또는 각 프로브 조정 블록 등을 교체하지 않으면서도 상기 다양한 모델의 엘씨디 글라스의 회로패턴을 정확하게 측정하는 효과도 있다.
즉, 상기 엘씨디 글라스의 모델이 변경되어 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴 크기 및 폭이 변경되어도 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴에 맞도록 상기 프루빙 장치의 프로브 조정 블록과 프로브 핀을 좌우방향으로 이동시켜 상기 회로패턴에 프로브 핀이 정확한 위치에 정렬 및 접촉함으로써, 상기 엘씨디 글라스의 모델 변경에 따른 상기 엘씨디 글라스의 교체 시간을 단축할 뿐만 아니라 상기 엘씨디 글라스의 패턴을 보다 빠른 시간 내에 측정 및 검사함에 따라 상기 엘씨디 글라스를 생산 및 처리하는 시간을 절감하여 생산성이 향상되는 효과도 있다.
한편, 엘씨디 글라스의 회로패턴을 측정 및 검사하기 위해 상기 프루빙 장치의 프로브 조정 블록과 얼라인 카메라를 리니어 모터와 회전모터에 의해 자동으로 조정 및 이동거리를 정확하게 조정함으로써, 상기 엘씨디 글라스의 회로패턴의 측정 및 검사가 보다 손쉽고 원활하게 이루어지고, 이로 인해 상기 프루빙 장치의 성능이 향상되도록 하는 효과도 있다.
또한, 상기 엘씨디 글라스의 모델 변경시에도 상기 프루빙 장치의 프로브 조정 블록이 정확한 위치에 정렬되도록 자동으로 조정함과 함께 상기 프로브 조정 블 록의 프로브 핀과 엘씨디 글라스의 회로패턴을 정확한 위치에서 접촉됨에 따라 상기 프루빙 장치의 사용에 따른 사용자의 편의를 도모하도록 하는 효과도 있다.
이하 본 발명에 따른 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치는 첨부된 도 2 내지 도 8을 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명 프루빙 장치의 구조를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명 프루빙 장치로 엘씨디 글라스가 이송되는 상태를 평면에서 나타낸 평면도이고, 도 4는 본 발명 프루빙 장치로 엘씨디 글라스가 이송되는 상태를 정면에서 나타낸 정면도이고, 도 5는 본 발명 프루빙 장치의 블록 미세 조정부 구조를 나타낸 사시도이고, 도 6은 본 발명 블록 미세 조정부에서 프로브 고정 블록이 결합된 블록 고정 마운팅을 블록 고정 베이스에 결합되는 상태를 저면에서 나타낸 사시도이고, 도 7은 본 발명 프루빙 장치의 카메라 이송부 구조를 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명 프루빙 장치에서 엘씨디 글라스의 회로패턴에 프로브 핀이 위치되는 상태를 나타낸 도면이다.
본 발명은, 엘씨디(LCD) 글라스(70)의 회로패턴(71)을 측정 및 검사하는 프루빙 장치(100)가 구비되어 있다.
상기의 프루빙 장치(100)는 도 2에서 도시한 바와 같이, 메인 베이스 플레이트(10)와, 블록 미세 조정부(20) 및, 프로브 고정 블록(30)과, 프로브 핀(31) 그리고, 카메라 이송부(40)와, 얼라인 카메라(50) 및, 엘씨디 글라스(70)가 안착 설치되는 글라스 고정 스테이지(60)와, 디스플레이부(80) 등으로 크게 구성되어 있다.
즉, 상기 프루빙 장치(100)는 엘씨디 글라스(70)가 장착되어 이송되는 글라스 고정 스테이지(60)가 위치하는 메인 베이스 플레이트(10)가 설치되어 있고, 상기 메인 베이스 플레이트(10)에는 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)을 측정하는 프로브 핀(31)이 하부면에 결합된 복수개의 프로브 고정 블록(30)이 왕복이동 가능하게 설치 및 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 왕복이동을 미세하게 조정하는 블록 미세 조정부(20)가 구비되어 있으며, 상기 메인 베이스 플레이트(10)에는 상기 프로브 핀(31)과 회로패턴(71) 간의 접촉 여부 및 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점이 일치하는 지를 확인 및 측정하는 얼라인 카메라(50)가 설치 및 상기 얼라인 카메라(50)을 왕복이동시키는 카메라 이송부(40)가 구비되어 있고, 상기 메인 베이스 플레이트(10)의 외방에는 상기 블록 미세 조정부(20)와 카메라 이송부(40)의 작동을 제어 및 확인하도록 하는 디스플레이부(80)가 설치되어 있다.
상기의 메인 베이스 플레이트(10)는 도 2에서와 같이, 상기 블록 미세 조정부(20)와 카메라 이송부(40)의 각종 구성이 위치 및 설치 고정되도록 상기 프루빙 장치(100)의 하부측에 설치되어 있다.
상기 메인 베이스 플레이트(10)의 내측에는 도 3과 도 4에서와 같이, 상기 프루빙 장치(100) 측으로 이송되는 글라스 고정 스테이지(60) 즉, 엘씨디(LCD) 글라스(70)가 상면에 얹혀진 상태로 장착되어 이송되는 글라스 고정 스테이지(60)가 위치하는 글라스 위치부(11)가 관통 형성되어 있다.
상기의 프로브 고정 블록(30)은 메인 베이스 플레이트(10)의 상방에 위치됨은 물론 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)측 상방에 각각 위치되도록 복수개 가 구비되어 있으며, 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 하부면에는 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)과 접촉되어 상기 각 회로패턴(71)을 측정 및 검사하는 프로브 핀(31)이 각각 결합되어 있다.
상기 프로브 핀(31)은 각 프로브 고정 블록(30)에 약 700개 정도 부착되어 있으며, 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)의 폭(a)은 20마이크로 이내로 형성되어 있다.
그러므로, 도 8에서와 같이 회로패턴(71)에 접촉되는 상기 프로브 고정 블록(30)의 폭(b) 즉, 프로브 핀(31)의 폭 또한 20마이크로 이내로 제작하여 상기 프로브 핀(31)과 회로패턴(71)이 적어도 70%이상 접촉되도록 한다.
상기의 블록 미세 조정부(20)는 도 2와 도 5에서와 같이, 상기 메인 베이스 플레이트(10) 상면의 상측과 일측부에 위치됨은 물론 상기 메인 베이스 플레이트(10)의 상측과 일측부에 각각 결합 고정되어 있다.
상기 블록 미세 조정부(20)는 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)을 측정 및 검사하기 위하여 상기 각 프로브 고정 블록(30)을 왕복이동시킴과 함께 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 프로브 핀(31)을 회로패턴(71)의 정확한 측정위치에 위치하도록 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 왕복 이동을 미세하게 조정하도록 한다.
상기 블록 미세 조정부(20)는 도 5와 도 6에서와 같이, 상기 메인 베이스 플레이트(10)의 상면에는 상기 블록 미세 조정부(20)의 각종 구성을 지지 고정하는 블록 고정 베이스(21)가 결합 고정되어 있다.
상기 블록 고정 베이스(21)의 전방에 위치되어 상기 블록 고정 베이스(21)의 좌우면으로 왕복 이동하도록 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 후면에 복수개의 블록 고정 마운트(32)가 각각 결합되어 있고, 상기 각 블록 고정 마운트(32)의 후면에는 자성체인 가이드 고정블록(33)이 각각 결합되어 있다.
상기 각 가이드 고정블록(33)은 상기 각 가이드 고정블록(33) 간의 간섭을 방지하기 위하여 상기 각 블록 고정 마운트(32)의 후면 상, 하부를 서로 번갈아가면서 2열형태로 위치 및 배열 즉, 상기 각 블록 고정 마운트(32)의 후면에 각 가이드 고정블록(33)의 결합위치가 서로 엇갈리게 결합되어 있다.
상기 블록 고정 베이스(21)의 전면에는 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 이동을 미세하게 각각 조정하도록 상기 자성체인 각 가이드 고정블록(33)을 전자력으로 이동시키는 리니어 모터(22)가 결합되어 있으며, 상기 리니어 모터(22)는 각 블록 고정 마운트(32)의 후면에 2열형태로 위치 및 배열된 각 가이드 고정블록(33)과 대응되도록 한 쌍으로 이루어져 있다.
즉, 상기 프로브 고정 블록(30)이 결합된 블록 고정 마운트(32)의 후면에 가이드 고정블록(33)이 2열형태로 결합되어 있으므로 상기 각 가이드 고정블록(33) 및 블록 고정 마운트(33)와 프로브 고정 블록(30)을 이동시키는 리니어 모터(22)는 상기 각 가이드 고정블록(33)의 후면에 대응되는 위치인 상기 블록 고정 베이스(21)의 전면 상, 하부에 한 쌍을 이루는 형태로 각각 결합되어 있다.
상기 각 리니어 모터(22)와 디스플레이부(80) 사이에는 상기 각 리니어 모터(22)와 디스플레이부(80)가 서로 연결되어 상기 디스플레이부(80)에서 보내지는 신호에 따라 각 리니어 모터(22)의 작동을 제어하도록 하는 제1콘트롤러(23)가 설 치되어 있다.
상기 블록 고정 베이스(21)의 전면에는 상기 리니어 모터(22)에 의해 왕복이동하는 각 가이드 고정블록(33) 및 프로브 고정 블록(30)의 이동방향을 안내하도록 하는 복수개의 엘엠가이드(24)가 결합되어 있다.
그리고, 상기 각 가이드 고정블록(33)의 후면 상, 하부측에는 상기 각 가이드 고정블록(33) 및 프로브 고정 블록(30)의 이동을 안내하도록 상기 각 엘엠가이드(24)와 대응되는 위치에 상기 각 엘엠가이드(24)와 맞물린 상태로 슬라이딩되는 엘엠가이드블록(34)가 각각 결합되어 있다.
즉, 상기 각 가이드 고정블록(33)의 후면 상, 하부측인 상기 블록 고정 베이스(21)에 복수개의 엘엠가이드(24)가 결합됨과 함께 상기 각 엘엠가이드(24)와 대응되는 위치인 상기 각 가이드 고정블록(33)의 후면 상, 하부측에 엘엠가이드블록(34)이 각각 결합되어 있으므로 상기 각 엘엠가이드(24)에 엘엠가이드블록(34)이 맞물린 상태로 상기 각 엘엠가이드(24)를 따라 엘엠가이드블록(34)이 슬라이딩됨에 따라 상기 블록 고정 베이스(21)의 좌우측방향으로 왕복이동하는 상기 각 가이드 고정블록(33) 및 프로브 고정 블록(30)의 이동방향을 안내한다.
상기 엘엠가이드(24)는 블록 고정 베이스(21)의 전면에 복수개가 결합됨과 함께 상기 엘엠가이드블록(24)은 각 가이드 고정블록(33)의 후면에 결합되어 있을 뿐만 아니라 도 6에서와 같이 상기 블록 고정 베이스(21)의 저면에도 엘엠가이드(24)가 길이방향으로 결합되어 있고, 상기 블록 고정 마운트(32)의 하부측에도 상기 블록 고정 베이스(21)의 저면에 결합된 엘엠가이드(24)와 맞물린 상태에서 슬 라이딩되면서 상기 블록 고정 마운트(32) 및 상기 블록 고정 마운트(32)에 결합된 프로브 고정 블록(30)의 왕복이동방향을 안내하도록 상기의 엘엠가이드(24)에 대응되는 위치에 엘엠가이드블록(34)이 결합되어 있다.
한편, 상기 블록 고정 베이스(21)의 전면에는 상기 리니어 모터(22)에 의해 왕복이동하는 블록 고정 마운트(32) 및 프로브 고정 블록(30)을 보다 정밀하게 이동하도록 하기 위하여 상기 블록 고정 마운트(32) 및 프로브 고정 블록(30)을 이동시키는 리니어 모터(22)의 부족한 값을 전송받아 상기 블록 고정 마운트(32) 및 프로브 고정 블록(30)의 이동을 미크론 단위로 정밀하게 이동하도록 상기 리니어 모터(22)를 상기 부족한 값에 맞도록 좀 더 작동되도록 상기 리니어 모터(22)를 조정하는 리니어 스케일(25)가 결합되어 있으며, 상기의 리니어 스케일(25)은 상기 리니어 모터(22)의 조정이 보다 효율적으로 이루어지도록 하기 위하여 상기 각 리니어 모터(22) 사이에 위치 및 결합되어 있다.
상기의 카메라 이송부(40)는 도 2에서와 같이, 상기 글라스 고정 스테이지(60)에 장착된 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)과 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 프로브 핀(31)과의 접촉 여부를 확인 및 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)의 중심점과 프로브 핀(31)의 중심점이 일치하는 지를 확인 및 측정하는 얼라인 카메라(50)가 왕복이동가능하게 설치됨은 물론 상기 얼라인 카메라(50)가 상기 각 프로브 고정 블록(30)의 상방측에 위치하도록 상기 메인 베이스 플레이트(10)의 상면 상측과 일측부에 결합됨은 물론 상기 각 블록 미세 조정부(20)의 전면에 위치 설치되어 있다.
상기 카메라 이송부(40)는 도 2와 도 7에서와 같이, 상기 각 블록 미세 조정부(20)의 전면에 위치되도록 설치됨과 함께 상기 메인 베이스 플레이트(10)의 상면 상측과 일측부에 카메라 이송 고정 베이스(41)가 각각 결합되어 있다.
상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 전면 일측에는 외부에서 인가되는 전원에 의해 회전력이 발생하는 회전모터(42)가 결합 설치되어 있고, 상기 회전모터(42)와 디스플레이부(80) 사이에는 상기 회전모터(42)와 디스플레이부(80)가 서로 연결되어 상기 디스플레이부(80)에서 보내지는 신호에 따라 회전모터(42)의 작동을 제어하도록 하는 제2콘트롤러(43)가 설치되어 있다.
상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 전면에는 한 쌍의 지지돌부(48,49)가 돌출 형성되어 있는데, 즉 상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 전면 일측에는 삽입공(48a)을 갖는 제1지지돌부(48)가 돌출 형성되어 있고, 상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 전면 타측에는 삽입홈(49a)을 갖는 제2지지돌부(49)가 돌출 형성되어 있다.
상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 전면에 회전가능하게 설치되어 상기 회전모터(42)의 회전력에 의해 정·역방향으로 회전하면서 얼라인 카메라(50)를 왕복이동시키는 이송회전축(44)이 상기 회전모터(42)에 축결합되어 있다.
즉, 상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 제1지지돌부(48) 삽입공(48a)을 관통하도록 상기 이송회전축(44)의 일단이 삽입 및 지지돌부(48)의 외측으로 돌출되어 회전모터(42)와 축결합됨과 함께 상기 제2지지돌부(49)의 삽입홈(49a)에 상기 이송회전축(44)의 타단이 회전가능하게 삽입 결합되므로, 상기 회전모터(42)에 의 해 회전하는 이송회전축(44)은 상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 전면에 결합되어 진다.
상기 이송회전축(44)에는 상기 회전모터(42)의 회전력에 의해 회전하는 이송회전축(44)의 회전방향에 따라 얼라인 카메라(50)를 왕복이동시키도록 상기 얼라인 카메라(50)가 상면에 결합 고정된 카메라 고정대(45)가 이동가능하게 결합되어 있다.
상기 카메라 고정대(45)에는 이송회전축(44)이 삽입되는 축공(45a)이 형성되어 있고, 상기 축공(45a)의 내주면에는 암나사산이 형성되어 있으며, 상기 이송회전축(44)의 외주면에는 회전하는 이송회전축(44)에 의해 카메라 고정대(45)가 왕복이동하도록 상기 축공(45a)의 암나사산과 맞물리는 수나사산이 형성되어 있다.
상기 카메라 고정대(45)의 후면에는 가이드홈부(45b)가 형성되어 있고, 상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 상부측에는 카메라 고정대(45)의 왕복이동을 안내하도록 상기 가이드홈부(45b)에 슬라이딩 가능하게 삽입되는 카메라 이송용 가이드부(46)가 결합되어 있다.
상기 카메라 이송 고정 베이스(41)의 상면에는 회전모터(42)에 의해 회전하는 이송회전축(44)을 따라 왕복이동하는 카메라 고정대(45)에 결합된 얼라인 카메라(50)의 이동거리를 외부에서 육안으로 확인할 수 있도록 눈금치수가 새겨진 눈금부(47)가 설치되어 있다.
상기 메인 베이스 플레이트(10)의 외방에는 제1,2콘트롤러(23,43)와 연결되어 상기 리니어 모터(22)와 회전모터(42) 등 상기 프루빙 장치(100)의 블록 미세 조정부(20)와 카메라 이송부(40) 등 각종 장치들의 작동을 제어할 뿐만 아니라 상기 프루빙 장치(100)의 작동상태를 외부에서 확인하도록 하는 디스플레이부(80)가 설치되어 있으며, 상기 디스플레이부(80)는 컴퓨터나 시스템 PC 등으로 이루어져 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용에 대해 설명하면 다음과 같다.
먼저, 측정 및 검사하고자 하는 엘씨디(LCD) 글라스(70)를 글라스 고정 스테이지(60) 상면에 얹혀지도록 장착하고 나서 상기 엘씨디 글라스(70)가 장착된 글라스 고정 스테이지(60)를 이송시켜 프루빙 장치(100)의 메인 베이스 플레이트(10)의 글라스 위치부(11) 내에 위치시킨다.
그리고, 상기 글라스 고정 스테이지(60)를 프루빙 장치(100)의 상방측으로 이동시켜 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)과 상기 프루빙 장치(100)의 프로브 고정 블록(30) 하부면에 결합된 프로브 핀(31)과 접촉되게 한다.
상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)과 프로브 핀(31)과의 접촉 여부 및 상기 회로패턴(71)의 중심점과 프로브 핀(31)의 중심점이 일치하는 지를 카메라 이송부(40)에 장착된 얼라인 카메라(50)를 이용하여 확인한다.
상기 얼라인 카메라(50)에서 촬영된 영상은 디스플레이부(80)로 보내져서 상기 디스플레이부(80)를 통해 촬영된 영상을 보면서 상기 회로패턴(71)에 프로브 핀(31)이 정확한 위치에서 접촉되었는 지를 확인하여, 상기 회로패턴(71)에 프로브 핀(31)이 정확하게 위치에서 접촉되어 있다면 상기 프루빙 장치(100)는 전기적인 신호를 인가하여 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)을 측정 및 검사하고 상기 측정한 데이터를 출력한다.
그리고, 상기 회로패턴(71)과 프로브 핀(31)이 접촉되어 있지 않거나 또는, 상기 회로패턴(71)의 중심점과 프로브 핀(31)이 중심점이 일치하지 않으면, 상기 얼라인 카메라(50)에 의해 이를 확인한 후 상기 프루빙 장치(100)의 블록 미세 조정부(20)의 구성 중 리니어 모터(22)와 리니어 스케일(25)을 구동시켜 상기 프로브 고정 블록(30)을 미세하게 이동시켜 상기 회로패턴(71)에 프로브 핀(31)을 정확한 위치 및 접촉시키고, 이를 얼라인 카메라(50)로 다시 확인한다.
그래서, 상기 회로패턴(71)과 프로브 핀(31)이 정확한 위치에서 접촉될 때까지 상기 프로브 고정 블록(30)을 이동시킴은 물론 상기 얼라인 카메라(50)로 계속해서 확인한다.
여기서, 상기 프루빙 장치(100)에 의해 측정 및 검사하는 엘씨디 글라스(70)의 모델 변경되어 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71) 크기 및 폭이 달라지게 되면, 상기 프루빙 장치(100)의 블록 미세 조정부(20)와 카메라 이송부(40) 및 디스플레이부(80)에 설치된 비젼 프로그램을 이용하여, 도 8에서와 같이 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점을 일치시킴은 물론 상기 정확한 위치에서 프로브 핀(31)과 회로패턴(71)이 접촉되도록 상기 프로브 고정 블록(30)과 프로브 핀(31)을 이동시킨다.
상기 엘씨디 글라스(70)의 모델에 따라 프루빙 장치(100)의 작동상태를 설명하면, 상기 프루빙 장치(100)에 전원이 인가되어 상기 프루빙 장치(100)로 엘씨디 글라스(70)가 위치 및 설치됨과 함께 상기 디스플레이부(80)에 설치된 비젼 프로그 램에 따라 블록 미세 조정부(20)와 카메라 이송부(40)가 작동된다.
즉, 상기 디스플레이부(80)에 설정된 신호를 받은 제1콘트롤러(23)의 제어신호에 따라 상기 블록 미세 조정부(20)의 블록 고정 베이스(21) 전면에 결합된 리니어 모터(22)가 작동되고, 상기 작동되는 리니어 모터(22)와 상기 프로브 고정 블록(30)이 결합된 블록 고정 마운트(32)의 후면에 결합된 자성체인 가이드 고정블록(33) 간에 전자력이 발생된다.
상기 발생되는 전자력에 의해 가이드 고정블록(33)의 후면 상, 하부측에 결합된 엘엠가이드블록(34)은 상기 블록 고정 베이스(21)의 전면에 설치된 엘엠가이드(24)을 따라 슬라이딩되면서 이동한다.
이와 함께, 상기 가이드 고정블록(33) 즉, 각 프로브 고정 블록(30)도 상기 블록 고정 베이스(21)의 좌, 우측방향으로 왕복이동하게 되고, 상기 각 프로브 핀(31)도 각 프로브 고정 블록(30)과 함께 왕복이동하면서 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)을 측정하기 위한 위치에 놓이게 된다.
이 때, 상기 블록 고정 베이스(21)에는 리니어 스케일(25)이 결합되어 있으므로 상기 리니어 스케일(25)은 리니어 모터(22) 만으로 각 프로브 고정 블록(30)의 왕복이동에 부족한 값을 전송받아 상기 전송된 부족한 값에 맞도록 리니어 모터(22)가 좀 더 작동되게 조정한다.
그러면, 상기 리니어 모터(22)는 리니어 스케일(25)의 조정에 따라 상기 각 프로브 고정 블록(30)을 미크론 단위로 정밀하면서도 미세하게 이동시킴에 따라 상기 각 프로브 고정 블록(30) 즉, 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점 이 일치되므로 인해 상기 프로브 핀(31)과 회로패턴(71)은 측정하고자 하는 정확한 위치에서 접촉된다.
한편, 상기에서와 같이 상기 각 회로패턴(71)과 각 프로브 핀(31)과의 접촉 여부 및 상기 각 회로패턴(71)의 중심점과 각 프로브 핀(31)의 중심점이 일치되지는 지는 상기 카메라 이송부(40)에 설치된 얼라인 카메라(50)로 촬영된 영상을 통해서 확인 가능하다.
상기 얼라인 카메라(50)의 작동상태를 설명하면, 상기 카메라 이송부(40)의 이송 고정 베이스(41) 전면에는 상기 디스플레이부(80)에 설정된 신호를 받은 제2콘트롤러(43)에 따라 작동되는 회전모터(42)와 상기 회전모터(42)의 회전력에 의해 회전하는 외주면에 수나사산이 형성된 이송회전축(44)이 결합되어 있다.
또한, 상기 이송회전축(44)에는 이송회전축(44)에 왕복이동가능하게 결합됨은 물론 얼라인 카메라(50)가 결합된 카메라 고정대(45)가 결합되어 있으므로 상기 제2콘트롤러(43)의 신호에 따라 회전모터(42)가 구동됨과 동시에 이송회전축(44)이 회전되므로 상기 이송회전축(44)의 회전방향에 따라 카메라 고정대(45)는 카메라 이송용 가이드부(46)와 가이드홈부(45b)에 의해 안내되면서 좌우방향으로 이동한다.
상기 좌우방향으로 이동하는 카메라 고정대(45)가 상기 프로브 고정 블록(30)의 상방에 위치하게 되면 상기 카메라 고정대(45)의 얼라인 카메라(50)는 상기 프로브 핀(31)과 회로패턴(71)과의 접촉 여부 및 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점이 일치되는 지를 촬영 및 측정하여 상기 측정된 값을 디 스플레이부(80)로 보내어 작업자가 디스플레이부(80)로 송출된 영상이나 신호를 보면서 접촉 여부 및 중심점의 일치 여부를 확인한다.
상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점이 일치함은 물론 상기 회로패턴(71)이 프로브 핀(31)이 정확한 위치에서 접촉되어 있으면, 상기 프루빙 장치(100)는 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)을 측정 및 검사한 후 상기 측정된 데이터를 출력한다.
그러나, 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점이 일치하지 않거나 또는, 상기 프로브 핀(31)과 회로패턴(71)이 접촉되지 않았다면, 상기 프루빙 장치(100)의 디스플레이부(80)에서는 중심점의 오차 값만큼 프로브 고정 블록(30)을 이동시키기 위해 상기 리니어 모터(22)와 리니어 스케일(25)을 작동시켜 상기 프로브 고정 블록(30)를 미세하게 이동시키며, 상기 미세하게 이동되는 프로브 고정 블록(30)에 의해 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점이 정확하게 일치함은 물론 상기 회로패턴(71)에 프로브 핀(31)이 정확한 위치에서 접촉되면 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)을 측정 및 검사한다.
상기에서와 같이, 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점의 일치 여부는 상기 얼라인 카메라(50)로 촬영 및 디스플레이부(80)에서 확인된 영상을 통하여 확인하면서 프로브 고정 블록(30)을 미크론 단위로 정밀하면서도 미세하게 이동시켜 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점이 정확하게 일치할 때까지 상기 얼라인 카메라(50)로 확인 및 상기 각 프로브 고정 블록(30)을 미세하게 이동시키도록 자동 조정한다.
여기서, 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71) 중심점과 상기 프로브 고정 블록(30)의 프로브 핀(31) 중심점이 일치하지 않은 경우 이를 일치시키기 위한 방법에 대해서 설명하면, 상기 프루빙 장치(100)의 디스플레이부(80)에 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71) 중심점과 상기 프로브 고정 블록(30)의 프로브 핀(31) 중심점이 일치된 이미지 파일을 등록한다.
그리고 나서, 상기 블록 미세 조정부(20)의 리니어 모터(22)와 리니어 스케일(25)을 작동시키면 상기 프로브 고정 블록(30)은 이동되어 상기 엘씨디 글라스(70)의 상방측으로 위치되며, 상기 얼라인 카메라(50)는 회전모터(42)에 의해 측정위치 즉, 디스플레이부(80)에 입력된 위치로 이동한다.
상기의 얼라인 카메라(50)는 상기의 입력된 위치에서 상기 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)과 프로브 고정 블록(30)의 프로브 핀(31)이 위치한 실제 이미지 파일을 촬영한다.
상기 얼라인 카메라(50)로 촬영된 이미지 파일은 디스플레이부(80)로 보내져서 상기 디스플레이부(80)에서는 촬영된 이미지 파일과 등록된 이미지 파일을 비교하여 상기 회로패턴(71)의 중심점과 상기 프로브 핀(31)의 중심점이 일치하는 지를 확인한다.
이 때, 상기 회로패턴(71)의 중심점과 프로브 핀(31)의 중심점이 일치하지 않으면 상기 입력된 이미지 파일과 촬영된 이미지 파일의 오차 값을 산출하여 상기 산출된 오차 값만큼 상기 리니어 모터(22)와 리니어 스케일(25)은 자동 조정되면서 상기 프로브 고정 블록(30)을 미크론 단위로 미세하게 이동시킨다.
그래서, 상기 프로브 고정 블록(30)의 프로브 핀(31) 중심점과 상기 회로패턴(71)의 중심점을 일치시키게 되는데, 즉 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점 일치 여부는 얼라인 카메라(50)로 촬영된 이미지 파일과 등록된 이미지 파일과의 일치 여부를 확인함에 따라 알 수 있다.
한편, 상기 프로브 핀(31)이 회로패턴(71)에 정확한 위치에 놓여 있는지, 상기 프로브 고정 블록(30)의 미세한 이동 또는, 등록된 이미지 파일과 촬영된 이미지 파일의 오차값 산출 및 비교 등은 상기의 얼라인 카메라(50)와 상기 디스플레이부(80)에 설치된 비젼 프로그램을 이용하여 자동으로 구현된다.
상술한 바와 같이, 상기 블록 미세 조정부(20)의 리니어 모터(22)와 리니어 스케일(25)에 의해 각 프로브 고정 블록(30)을 미세하게 이동되도록 자동 조정함과 함께 상기 카메라 이송부(40)의 얼라인 카메라(50)는 상기 각 회로패턴(71)의 중심점과 각 프로브 핀(31)의 중심점 일치 및 프로브 핀(31)과 회로패턴(71)과의 접촉 여부를 촬영하여 상기 촬영된 이미지 파일과 등록된 이미지 파일을 디스플레이부(80)에서 비교함은 물론 오차 값을 산출하여 오차 값만큼 프로브 고정 블록(30)을 이동시킴에 따라 상기 프로브 핀(31)의 중심점과 회로패턴(71)의 중심점이 일치 및 정확한 위치에서 접촉되므로 상기 프루빙 장치(100)는 엘씨디 글라스(70)의 회로패턴(71)를 보다 정확하게 측정 및 검사한 후 상기 측정된 데이터를 출력한다.
그러므로, 상기 엘씨디 글라스(70)의 모델이 변경되거나 또는, 변경된 모델의 엘씨디 글라스(70)에서 각 회로패턴(71) 크기 및 폭이 변하여도 상기 블록 미세 조정부(20)와 카메라 이송부(40)에 의해 상기 각 프로브 고정 블록(30)이 미세하게 이동 및 정확한 위치에 놓여있는 지를 확인함에 따라 상기 프루빙 장치(100)는 보다 정확한 측정값을 얻을 수 있다.
상기의 프루빙 장치(100)의 프로브 핀 구동장치는 TFT패턴 검사에 사용하는 유사한 제품이 있으면 사용할 수 있는 등 다양한 분야에 적용가능하다.
이와 같이, 본 발명에 따른 상기의 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치는 예시된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 의해 본 발명은 한정되지 않으며 그 발명의 기술범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있으므로 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되는 것이다.
도 1a는 일반적인 프루빙 장치를 평면에서 개략적으로 나타낸 평면도.
도 1b는 프루빙 장치를 측면에서 개략적으로 나타낸 측면도.
도 2는 본 발명 프루빙 장치의 구조를 나타낸 사시도.
도 3은 본 발명 프루빙 장치로 엘씨디 글라스가 이송되는 상태를 평면에서 나타낸 평면도.
도 4는 본 발명 프루빙 장치로 엘씨디 글라스가 이송되는 상태를 정면에서 나타낸 정면도.
도 5는 본 발명 프루빙 장치의 블록 미세 조정부 구조를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명 블록 미세 조정부에서 프로브 고정 블록이 결합된 블록 고정 마운팅을 블록 고정 베이스에 결합되는 상태를 저면에서 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명 프루빙 장치의 카메라 이송부 구조를 나타낸 사시도.
도 8은 본 발명 프루빙 장치에서 엘씨디 글라스의 회로패턴에 프로브 핀이 위치되는 상태를 나타낸 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
10: 메인 베이스 플레이트 20: 블록 미세 조정부
21: 블록 고정 베이스 22: 리니어 모터
23: 제1콘트롤러 24: 엘엠가이드
25: 리니어 스케일 30: 프로브 고정 블록
31: 프로브 핀 32: 블록 고정 마운트
33: 가이드 고정블록 34: 엘엠가이드블록
40: 카메라 이송부 41: 이송 고정 베이스
42: 회전모터 43: 제2콘트롤러
44: 이송회전축 45: 카메라 고정대
46: 카메라 이송용 가이드부 47: 눈금부
50: 얼라인 카메라 60: 글라스 고정 스테이지
70: 엘씨디 글라스 71: 회로패턴
80: 디스플레이부 100: 프루빙 장치

Claims (11)

  1. 회로패턴이 구비된 엘씨디(LCD) 글라스가 얹혀져 이송하는 글라스 고정 스테이지가 내측에 위치하도록 글라스 위치부를 갖는 메인 베이스 플레이트; 프로브 핀이 결합된 복수개의 프로브 고정 블록; 엘씨디 글라스의 회로패턴 측정위치에 프로브 핀이 위치되게 각 프로브 고정 블록의 이동을 미세하게 조정하도록 블록 고정 베이스와, 복수개의 블록 고정 마운트와, 자성체인 가이드 고정블록과, 각 가이드 고정블록을 전자력으로 이동시키는 리니어 모터와, 각 가이드 고정블록과 프로브 고정 블록의 이동방향을 안내하는 복수개의 엘엠가이드와, 제1콘트롤러로 이루어진 블록 미세 조정부; 상기 프로브 핀과 회로패턴과의 접촉 여부 및 각 중심점의 일치 여부를 확인하도록 카메라 이송 고정 베이스와, 회전모터와, 정·역방향으로 회전하는 이송회전축과, 제2콘트롤러와, 이송회전축의 회전방향에 따라 왕복이동하는 얼라인 카메라가 결합된 카메라 고정대와, 카메라 고정대의 이동을 안내하는 카메라 이송용 가이드부로 이루어진 카메라 이송부; 블록 미세 조정부와 카메라 이송부의 작동을 제어 및 확인하는 디스플레이부;가 구비된 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치에 있어서,
    상기 각 가이드 고정블록은 각 블록 고정 마운트의 후면 상, 하부를 서로 번갈아가면서 2열 형태로 위치되도록 상기 각 가이드 고정블록의 결합 위치가 서로 엇갈리게 결합되고, 상기 리니어 모터는 각 블록 고정 마운트의 후면에 2열 형태로 결합된 각 가이드 고정블록과 대응되도록 한 쌍으로 이루어짐을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치.
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  5. 제 1 항에 있어서,
    각 엘엠가이드의 안내를 받으면서 이동하는 각 가이드 고정블록의 후면 상, 하부에는 상기 각 엘엠가이드와 맞물린 상태에서 슬라이딩되면서 상기 각 가이드 고정블록 및 프로브 고정 블록의 이동을 안내하도록 하는 엘엠가이드블록이 각각 결합됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    블록 고정 베이스의 저면에는 길이방향으로 엘엠가이드가 결합되고, 블록 고정 마운트의 하부측에는 상기 엘엠가이드와 맞물린 상태에서 슬라이딩되면서 상기 블록 고정 마운트 및 상기 블록 고정 마운트에 결합된 프로브 고정 블록의 이동을 안내하도록 하는 엘엠가이드블록이 결합됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    각 리니어 모터 사이인 블록 고정 베이스의 전면에는 상기 각 리니어 모터에 의해 왕복이동하는 블록 고정 마운트를 미크론 단위로 정밀하게 이동시키도록 상기 각 리니어 모터를 미세하게 조정하는 리니어 스케일이 결합됨을 특징으로 하는 프루빙 장치의 프로브 핀 구동장치.
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