CN102117589A

CN102117589A - 阵列测试装置

Info

Publication number: CN102117589A
Application number: CN2010102918715A
Authority: CN
Inventors: 朴廷喜
Original assignee: Top Engineering Co Ltd
Current assignee: Top Engineering Co Ltd
Priority date: 2009-12-31
Filing date: 2010-09-26
Publication date: 2011-07-06
Also published as: KR101052490B1; TW201122492A; KR20110079030A

Abstract

本文公开一种阵列测试装置。阵列测试装置包括探针组件。探针组件包括设置为能够沿基板输送方向移动的探针组件框架、以及以可拆卸的方式设置在探针组件框架上的托架。托架具有探针头，探针头的每一个配备有探针引脚。因此，阵列测试装置能够有效地应对大尺寸基板。

Description

阵列测试装置

技术领域

本发明涉及一种阵列测试装置。

背景技术

一般来说，平板显示器(FPD)是比具有布劳恩显像管(Braun Tube)的传统电视机或显示器薄而且轻的图像显示器。液晶显示器(LCD)、等离子体显示面板(PDP)、场致发射显示器(FED)以及有机发光二极管(OLED)是已开发并使用的平板显示器的实例。

LCD是以向排列为矩阵的液晶单元独立地提供基于图像信息的数据信号来控制液晶单元的透光性的方式来显示预期图像的图像显示器。LCD薄且轻，而且还具有包括功耗低以及操作电压低在内的许多其它优点，因此被广泛地使用。下面将详细描述用在这种LCD中的液晶面板的典型制造方法。

首先，在上基板上形成彩色滤光片和共用电极。之后，在与上基板相对的下基板上形成薄膜晶体管(TFT)和像素电极。

随后，将配向膜分别涂布至上基板和下基板。之后摩擦配向膜以便为将要在配向膜之间形成的液晶层中的液晶分子提供预倾角和配向方向。

此后，通过将密封胶涂布至基板中的至少一个基板来形成密封胶图案，以保持基板间的间隙、防止液晶漏出、以及密封基板间的间隙。以预定图案将密封胶涂布至基板中至少一个基板以形成密封胶图案。随后，在基板之间形成液晶层，从而完成液晶面板。

在上述过程中，测试具有TFT和像素电极的下基板(下文中称为“基板”)是否有缺陷的操作，是通过例如检测栅极线或数据线是否断线或者检测像素单元是否显色不佳来实现的。

典型地，阵列测试装置用于测试基板。阵列测试装置包括具有调制器的测试模块以及具有多个探针引脚的探针组件。利用阵列测试装置测试基板的过程是以将探针引脚置于对应于形成在基板上的电极的位置并接触电极然后将电信号施加至电极的方式来实施的。

近来，使用了具有大面积的大尺寸基板以提高液晶面板的生产效率。这里，为了将电信号经由探针引脚施加到形成于这种大尺寸基板上的电极，还必须对应于基板增大的尺寸而增大探针组件的尺寸。因此，必须要改进探针组件的构造或操作方法，使得在相应于大尺寸基板的情况下能够有效地操作探针组件。

发明内容

因此，针对以上现有技术中产生的问题提出本发明，并且本发明的目的是提供一种包括构造为有效地应对大尺寸基板的探针组件的阵列测试装置。

为了实现以上目的，本发明提供一种阵列测试装置，包括：测试单元，其测试基板的缺陷；基板输送单元，其向测试单元输送基板；以及探针组件，其将电信号施加至在基板上形成的电极，其中，探针组件包括：探针组件框架，其设置为能够沿基板输送方向移动；以及托架，其以可拆卸的方式设置在探针组件框架上，托架具有探针头，探针头配备有将接触基板的电极的探针引脚。

优选地，为了向下移动探针引脚而使探针引脚接触基板的电极，探针组件可进一步包括头升降单元，以上下升降探针引脚。替代地，探针组件可进一步包括框架升降单元，以上下升降探针组件框架。作为进一步的替代，探针组件可进一步包括托架升降单元，以上下升降托架。

探针组件框架可包括：一对第一框架条，其沿垂直于基板输送方向的方向延伸；以及一对第二框架条，其沿基板输送方向延伸，第二框架条整体地联接至第一框架条。托架可包括：一对第一托架条，其沿垂直于基板输送方向的方向延伸；以及一对第二托架条，其沿基板输送方向延伸，第二托架条整体地联接至第一托架条。

此外，可在探针组件框架与托架之间的接合处设置减震器。

在根据本发明的阵列测试装置中，探针组件框架设置为能够沿基板输送方向移动。另外，托架安置在探针组件框架上，安装于托架的探针头的数量和位置对应于基板的电极的数量和安装位置，使电信号能够施加至基板的电极。因此，仅需将托架用另一托架来替换，而不是将整个探针组件用另一探针组件来替换，就能够测量在电极的数量和安装位置上有所不同的各种基板。从而，本发明能够有效地应对各种不同的基板。

此外，在根据本发明的阵列测试装置中，探针组件包括两个元件，即包括探针组件框架和配备有探针头的托架。因此，能够简化探针组件的设计及制造过程。

另外，探针组件的安装过程分为两个过程，包括探针组件框架在基座上的安装以及托架在探针组件框架上的安装。因此，相比于整体地包括探针头的大探针组件在基座上的安装而言，本发明的阵列测试装置能够显著地减少在安装大探针组件时因大探针组件的重量或尺寸而产生的各种问题。

附图说明

结合附图，由以下对本发明的具体描述，可以更加明了本发明前述的和其他的目的、特征、方面和优点，其中：

图1是图示根据本发明第一个实施例的阵列测试装置的立体图；

图2是图示图1的阵列测试装置的基板输送单元的立体图；

图3是图示图1的阵列测试装置的探针组件的分解立体图；

图4是图示图1的阵列测试装置的探针组件的探针头的立体图；

图5是图示待由图1的阵列测试装置测试的基板的例子的平面图；

图6是图示对应于图5的基板的探针组件的平面图；

图7是图示待由图1的阵列测试装置测试的基板的另一例子的平面图；

图8是图示对应于图7的基板的探针组件的平面图；

图9和图10是示出图1的阵列测试装置的操作的图；

图11是根据本发明第二个实施例的阵列测试装置的部分剖面图；

图12是示出图11的阵列测试装置的操作的图；

图13是根据本发明第三个实施例的阵列测试装置的部分剖面图；以及

图14是示出图13的阵列测试装置的操作的图。

具体实施方式

下文将结合附图详细描述本发明的优选实施例。

如图1所示，根据本发明第一个实施例的阵列测试装置包括基座10、测试基板S的测试单元20、将基板S加载到测试单元20上的加载单元30，以及将基板S从测试单元20卸载的卸载单元40。

加载单元30的作用是支撑待测基板S并将其输送至测试单元20。卸载单元40的作用是支撑测试过的基板S并将其从测试单元20卸载。

加载单元30和卸载单元40的每一个包括：置于以规则间距彼此间隔开的位置并支撑其上的基板S的多个支撑板50；以及输送基板S的基板输送单元60。

吹气孔51穿透支撑板50而形成，从而使空气经由吹气孔51朝基板S吹出以使基板S悬浮。吹气孔51连接至用于供应空气的正压源。

如图2所示，基板输送单元60包括导轨61、支撑构件62、吸附构件63和吸附构件升降单元64。导轨61沿平行于基板S输送方向的方向(Y轴方向)延伸。支撑构件62分别安装在导轨61上以便能够移动。吸附构件63分别设置在支撑构件62上，并利用吸附力保持基板S的下表面。每个吸附构件升降单元64沿竖直方向(Z轴方向)升降相应的吸附构件63。

在具有上述构造的基板输送单元60中，当将基板S放置在支撑板50上时，吸附构件63向上移动并利用吸附力保持基板S的下表面。在该状态下，支撑构件62沿着导轨61移动并由此向测试单元20输送基板S。诸如线性马达的线性驱动装置可用作导轨61。在吸附构件63中形成有吸附孔，空气流经吸附孔。吸附孔连接至用于抽吸空气的负压源。

测试单元20的功能是测试基板S的电缺陷。测试单元20包括测试板21、测试模块22、探针组件23以及控制单元(未示出)。由加载单元30加载的基板S放置在测试板21上。测试模块22测试放置在测试板21上的基板S的电缺陷。探针组件23向放置在测试板21上的基板S施加电信号。控制单元控制测试模块22和探针组件23。

测试模块22设置在位于测试板21上方且沿X轴方向延伸的测试模块支撑框架223上。测试模块22可沿着测试模块支撑框架223沿X轴方向移动。优选地，测试模块22包括沿测试模块支撑框架223延伸的方向(X轴方向)彼此间隔开的多个测试模块22。测试模块22位于放置在测试板21上的基板S的上方，并且测试基板S的缺陷。每个测试模块22包括靠近测试板21上的基板S而设置的调制器221、以及拍摄调制器221的图像的摄像单元222。

根据操作的方法，测试单元分为两种，包括利用光反射法的测试单元和利用光透射法的测试单元。在反射法的情况中，光源与测试模块22一起放置，并且在测试模块22的调制器221上设置反射层。这样，通过测量从光源发出的光进入调制器221之后由调制器221的反射层反射的光量来检测基板S是否有缺陷。在透射法的情况中，光源设置在测试板21下方，通过测量从光源发出的光透过调制器221的光量来确定基板S是否有缺陷。光反射法和光透射法都可应用于根据本发明的阵列测试装置的测试单元20。

每个测试模块22的调制器221具有电光材料层，电光材料层根据基板S与调制器221之间产生的电场的强度而改变光的反射率(在光反射法的情况中)或光的透射率(在光透射法的情况中)。电光材料层是用这样的材料制成，该材料的特定物理性质通过当电能施加于基板S和调制器221时所产生的电场而改变，因此改变进入调制器221的光的发射率或透射率。优选地，电光材料层是用PDLC(聚合物分散液晶)制成的，PDLC的特征是其分子取向根据电场的强度而变化，以将入射光偏振到相应的角度。

如图3所示，探针组件23包括探针组件框架70、托架80和探针头90。探针组件框架70设置在基座10上，以便能够沿基板S输送方向(Y轴方向)移动。托架80以可拆卸的方式安装在探针组件框架70上。探针头90安装至托架80。每个探针头90包括多个探针引脚91。

优选地，探针组件框架70具有整体的矩形形状以增强其强度。具体地，探针组件框架70包括沿垂直于基板S输送方向的方向(X轴方向)延伸的一对第一框架条71、以及沿基板S输送方向(Y轴方向)延伸的一对第二框架条72。第一框架条71整体地联接至第二框架条72。由于探针组件框架70的这种结构，即使增大探针组件框架70的尺寸以对应大尺寸的基板S，两个第一框架条71之间的距离以及两个第二框架条72之间的距离也能保持恒定。

探针组件框架70设置在基座10上，以便能够沿Y轴方向移动。为达到此目的，在基座10上设置有沿Y轴方向延伸的框架导引件73。另外，连接至框架导引件73的框架移动单元74设置于探针组件框架70。探针组件框架70能够通过框架导引件73和框架移动单元74之间的相互作用而沿Y轴方向移动。诸如线性马达、滚珠丝杠等各种线性驱动装置可用于构造移动探针组件框架70的框架导引件73和框架移动单元74。

托架80具有整体的矩形形状以增强其强度。具体地，托架80包括沿垂直于基板S输送方向的方向(X轴方向)延伸的一对第一托架条81、以及沿基板S输送方向(Y轴方向)延伸的一对第二托架条82。第一托架条81整体地联接至第二托架条82。由于托架80的这种结构，第一托架条81之间的距离与第二托架条82之间的距离能够保持恒定。

托架80以可拆卸的方式安置在探针组件框架70上。为此，在探针组件框架70的每个第二框架条72中形成具有预定深度并沿Y轴方向延伸的插槽721。另外，在托架80的每个第二托架条82上设置有插入突伸部821。插入突伸部821具有对应于相关第二框架条72的插槽721的形状，并且沿Y轴方向延伸至预定长度。这样，托架80以能够将托架80向下移动至探针组件框架70的上部而使第二托架条82的插入突伸部821插入相应的第二框架条72的插槽721的方式，联接到探针组件框架70上。

在第一个实施例中，如以上所述的，尽管示出的是托架80的第二托架条82联接至探针组件框架70的第二框架条72，但本发明并不局限于此。例如，只要探针头90能够对应于基板S的电极S1，托架80就可以以托架80的第一托架条81联接至探针组件框架70的第一框架条71的方式、或替代地以探针组件框架70的第一框架条71和第二框架条72分别联接至托架80的第一托架条81和第二托架条82的方式，联接至探针组件框架70。

如图4所示，探针头90以可升降的方式安装至托架80。在第一个实施例中，尽管示出的是探针头90安装至托架80的第一托架条81，但本发明并不局限于此。例如，只要探针头90能够对应于基板S的电极S1，探针头90就可安装至托架80的第二托架条82、或替代地安装至托架80的第一托架条81和第二托架条82二者上。

每个探针头90包括：探针引脚保持件92，其保持多个探针引脚91；头升降单元93，其沿竖直方向(Z轴方向)移动探针引脚保持件92；以及头移动单元94，其沿第一托架条81延伸的方向(X轴方向)移动探针引脚保持件92。例如使用液压的致动器、使用电能的线性马达等的各种装置，可用作每个升降单元93，只要其能升降探针引脚保持件92。头升降单元93的作用是移动探针引脚保持件92，使探针引脚91按压测试板21上的基板S的相应电极S1。

探针头90能够通过头移动单元94的操作而沿X轴方向移动。诸如线性马达或滚珠丝杠的线性驱动装置，可用作头移动单元94。

同时，如图9所示，优选的是在探针组件框架70和托架80之间的接合处设置减震器78。具有足够弹性的弹性构件、弹簧等可用来作为减震器78。例如，在托架80的第二托架条82联接至探针组件框架70的第二框架条72这种结构的情况中，减震器78优选地安装在第二框架条72的每个插槽721中。由上述方法设置的减震器78能够吸收将托架80安置在探针组件框架70上时、探针组件框架70移动时、或探针头90向上或向下移动时产生的振动或震动。

下文将结合图5至图10解释根据具有上述构造的本发明第一个实施例的阵列测试装置的操作。

首先，为了在阵列测试装置中安装探针组件23，沿Y轴方向延伸的两个框架导引件73安装在基板10上。探针组件框架70设置在框架导引件73上。之后，将具有探针头90的托架80安置在探针组件框架70上，这样来完成探针组件23的安装。

同时，如图5和图7所示，基板S具有在基板S的预定处理完成之后从基板S上切割下来并用在实际产品中的面板区P。施加有电信号的电极S1形成在每个面板区P的边缘，且电极S1的数量及其安装位置根据面板区P的尺寸和位置以及面板区P与基板S的面积比而变化。

于是，如图6和图8所示，预备了具有不同数量的置于不同位置处的探针头90的多个托架80，以对应于在基板上形成的电极S1的位置和数量。

例如，如图5所示，在三个面板区P沿长度方向(Y轴方向)布置在基板S上、且两个电极S1绕各个面板区P的周边置于在X轴方向彼此间隔距离X1且在Y轴方向彼此间隔距离Y1的位置处的情况下，则如图6所示，具有在X轴方向彼此间隔距离X1且在Y轴方向彼此间隔距离Y1的两个探针头90的托架80安装在探针组件框架70上。

如图7所示，如果两条面板区的线沿横向(X轴方向)形成在基板S上、且两个面板区P沿长度方向(Y方向)形成在每条面板区的线上、并且两个电极S1绕各个面板区P的周边置于在X轴方向彼此相隔距离X2且在Y轴方向彼此相隔距离Y2的位置处，则如图8所示，具有在X轴方向彼此间隔距离X2且在Y轴方向彼此间隔距离Y2的两对探针头90的托架80安装在探针组件框架70上。

照此，预备具有不同数量的置于不同位置的探针头90的不同托架80。这样，根据基板S的电极S1的数量和安装位置，选择相应的托架80并安置在探针组件框架70上。因此，本发明能够正确地应对提供给阵列测试装置的各种基板S。

同时，在对应于待提供给阵列测试装置的基板S的托架80安置到探针组件框架70上以后，将基板S提供到加载单元30上。此后，空气从支撑板50的吹气孔51吹出，以将基板S悬浮。在此状态下，基板输送单元60的吸附构件63利用吸附力保持基板S的下表面，并且沿Y轴方向移动以将基板S输送至测试单元20。同时，探针组件框架70通过框架移动单元74的操作而沿着框架导引件73在基板S输送方向(Y轴方向)移动。安置在探针组件框架70上的托架80以及设置在托架80中的探针头90也通过探针组件框架70的移动而沿Y轴方向移动。以此方式，如图9所示，探针头90的探针引脚91在竖直方向(Z轴方向)和水平方向对准基板S的相应电极S1。这里，由于每个探针头90能够通过头移动单元94的操作而沿X轴方向移动，因此探针引脚91能够准确地对准基板S的相应电极S1。

照此，在基板S输送至测试单元20并且探针引脚91对准基板S的电极S1之后，测试单元20测试基板S的缺陷。

为测试基板S的缺陷，中断从支撑板50的吹气孔51吹出空气。然后，基板S会接触并支撑在支撑板50的上表面上。随后，如图10所示，探针头90的探针引脚保持件92通过头升降单元93的操作而向下移动。从而，探针引脚91按压基板S的相应电极S1，且随后向基板S的电极S1施加电信号。此后，测试模块22向下移动以将调制器221靠近基板S的上表面。在此状态下，调制器221通电。

然后，基板S与每个调制器221之间形成电场。电光材料层的电光材料的性质随电场变化。因此，在光反射法的情形中，从光源发出的光进入调制器221之后由调制器221的反射层反射的光量会变化。在光透射法的情形中，从光源发出的光透过调制器221的光量会变化。因此，通过利用由相应摄像单元222拍摄的调制器221的图像来测量光量，可确定基板S与调制器221之间产生的电场的强度。如果基板S没有缺陷，则基板S与调制器221之间形成的电场的强度在预设范围内，换言之，是正常的。然而，如果基板S是有缺陷的，则基板S与调制器221之间不形成电场，或者电场强度小于正常情况下的电场强度。这样，可通过测量基板S与调制器221之间形成的电场的强度来确定基板S是否有缺陷。

同时，测试单元20连续地测试基板S的面板区P的缺陷。为此，将基板S逐步输送至测试单元20。具体地，在测试第一面板区P的操作完成以后，探针头90的探针引脚保持件92通过头升降单元93的操作而向上移动，并且空气再次从支撑板50的吹气孔51吹出。此后，吸附构件63利用吸附力保持基板S的下表面，并且沿Y轴方向移动基板S，以使接下来的待测面板区P输送至测试单元20。随后，中断从支撑板50的吹气孔51吹出空气。由此，基板S会接触并支撑在支撑板50的上表面上。此后，探针组件框架70通过框架移动单元74的操作而沿着框架导引件73在Y轴方向移动。由此，放置在探针组件框架70上的托架80以及安装至托架80的探针头90能够移动至对准待测面板区P的电极S1的位置。随后，探针头90的探针引脚保持件92通过头升降单元93的操作而向下移动。由此，探针引脚91按压基板S的相应电极S1，并且电信号施加到基板S的电极S1。

连续并反复地执行上述过程，从而完成对形成在基板S上的所有面板区P的测试。

如上所述，根据本发明第一个实施例的阵列测试装置包括探针组件框架70，探针组件框架70设置为能够沿基板S输送方向(Y轴方向)移动。另外，托架80安置在探针组件框架70上，托架80上的探针头90的数量和位置对应于基板S的电极S1的数量和安装位置，从而使电信号能够施加于基板S的电极S1。因此，仅需将托架用另一托架来替换，而不是将整个探针组件用另一探针组件来替换，就能够测量在电极的数量和安装位置上有所不同的各种基板。这样，本发明能够有效地应对不同种类的基板S。

此外，在根据本发明第一个实施例的阵列测试装置中，探针组件23包括两个元件，即包括探针组件框架70和配备有探针头90的托架80。因此，能够简化探针组件23的设计及制造过程。

另外，在根据本发明第一个实施例的阵列测试装置中，探针组件23的安装过程分为两个过程，包括探针组件框架70在基座10上的安装以及托架80在探针组件框架70上的安装。因此，相比于整体地包括探针头90的大探针组件在基座10上的安装而言，本发明的阵列测试装置能够显著地减少在安装大探针组件时因大探针组件的重量或尺寸而导致的各种问题的发生。

再者，由于探针组件框架70和/或托架80具有整体的矩形形状，因此能够防止探针组件框架70和/或托架80变形。因而，本发明能够防止因探针组件框架70和/或托架80的变形而导致的探针头90的错位所产生的不能可靠地向基板S的电极S1施加电能的问题。

在增大探针组件23的尺寸以测试大尺寸基板S的缺陷的情况下，会更加强调根据第一个实施例的阵列测试装置的以上有益效果。

下文将结合图11至图12描述根据本发明第二个实施例的阵列测试装置。在以下对第二个实施例的描述中，相同的附图标记指示那些对应于第一个实施例的构件，并略去进一步的说明。

如图11所示，根据第二个实施例的阵列测试装置还包括框架升降单元110，其设置在探针组件框架70下方以升降探针组件框架70。

框架升降单元110包括：驱动单元111，其设置在框架移动单元74上；以及传动构件112，其将驱动单元111连接至探针组件框架70，以将驱动单元111的驱动力传递至探针组件框架70。

例如，框架升降单元110可配置为：驱动单元111包括利用气压或液压的汽缸，而传动构件112包括连接至汽缸的杆。本发明并不局限于此构造。换言之，各种构造都可用于框架升降单元110，只要其能够升降探针组件框架70；还例如，框架升降单元110可包括通过动子和定子之间的电磁交互来操作的线性马达。

在第二个实施例的构造中，在置于探针组件框架70上的托架80以及设置在托架80上的探针头90通过探针组件框架70的Y轴移动而沿Y轴方向移动之后，如图11所示，探针头90的探针引脚91在基板S上方关于竖直方向(Z轴方向)和水平方向对准基板S的相应电极S1。此后，探针组件框架70通过框架升降单元110的操作而向下移动。因此，如图12所示，设置在联接至探针组件框架70的托架80上的探针头90向下移动。由此，探针引脚91按压基板S的电极S1，且电信号能够施加到基板S的电极S1。

如上所述，在根据本发明第二个实施例的阵列测试装置中，设置在探针头90中的探针引脚91能够通过探针组件框架70的移动而沿竖直方向(Z轴方向)接触或远离基板S的相应电极S1。因此，第二个实施例不需在每个探针头90中安装单独的头升降单元93以沿竖直方向移动探针引脚91。这样，能够简化探针头90中头升降单元93的安装。此外，能够减小托架80的重量，从而为替换托架80提供便利。

下文将结合图13至图14描述根据本发明第三个实施例的阵列测试装置。在以下对第三个实施例的描述中，相同的附图标记指示那些对应于第一个实施例和第二个实施例的构件，并略去进一步的说明。

如图14所示，根据第三个实施例的阵列测试装置还包括托架升降单元120，其设置在托架80上的预定位置，以升降托架80。

托架升降单元120包括：驱动单元121，其设置在探针组件框架70上；以及传动构件122，其将驱动单元121连接至托架80，以将驱动单元121的驱动力传递至托架80。托架升降单元120安装在探针组件框架70的第二框架条72的插槽721中，并且联接至托架80的相应第二托架条82的插入突伸部821。由此，托架80以托架升降单元120向上或向下移动插入突伸部821的方式而向上或向下移动。

例如，托架升降单元120可配置为：驱动单元121包括利用气压或液压的汽缸，而传动构件122包括连接至汽缸的杆。本发明并不局限于此构造。换言之，各种构造都可用于托架升降单元120，只要其能够升降托架80；还例如，托架升降单元120可包括通过动子和定子之间的电磁交互来操作的线性马达。

在第三个实施例的构造中，在置于探针组件框架70上的托架80以及设置在托架80上的探针头90通过探针组件框架70的Y轴移动而沿Y轴方向移动之后，如图13所示，探针头90的探针引脚91在基板S上方关于竖直方向(Z轴方向)和水平方向对准基板S的相应电极S1。之后，托架80通过托架升降单元120的操作而向下移动。因此，如图14所示，设置在托架80上的探针头90向下移动。由此，探针引脚91按压基板S的电极S1，且电信号能够施加到基板S的电极S1。

如上所述，在根据本发明第三个实施例的阵列测试装置中，设置在探针头90中的探针引脚91能够通过托架80的移动而在竖直方向(Z轴方向)上接触或远离基板S的相应电极S1。因此，第三个实施例不需在每个探针头90中安装单独的头升降单元93以沿竖直方向移动探针引脚91。这样，能够简化探针头90中头升降单元93的安装。此外，能够减小托架80的重量，从而为替换托架80提供便利。

此外，根据第三个实施例的阵列测试装置构造为使得比探针组件框架70轻的托架80向上或向下移动，而不同于构造为使得相对较重的探针组件框架70向上或向下移动的第二个实施例。因此，根据第三个实施例的阵列测试装置能够减少为向上或向下移动探针头90的探针引脚91所需的力。

虽然为了示例性目的描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员将会清楚，在不脱离所附权利要求公开的本发明范围和实质情况下，可以进行各种不同的修改、增加以及替换。

本发明实施例的技术实质内容可独立实施或彼此结合。

Claims

1.一种阵列测试装置，包括：测试单元，所述测试单元测试基板的缺陷；基板输送单元，所述基板输送单元向所述测试单元输送所述基板；以及探针组件，所述探针组件将电信号施加至形成在所述基板上的电极，

其中，所述探针组件包括：

探针组件框架，所述探针组件框架设置为能够沿所述基板的输送方向移动；以及

托架，所述托架以可拆卸的方式设置在所述探针组件框架上，所述托架具有探针头，所述探针头配备有将接触所述基板的所述电极的探针引脚。

2.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件进一步包括头升降单元，以上下升降所述探针引脚。

3.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件进一步包括框架升降单元，以上下升降所述探针组件框架。

4.根据权利要求1所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件进一步包括托架升降单元，以上下升降所述托架。

5.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述探针组件框架包括：

一对第一框架条，所述一对第一框架条沿垂直于所述基板的输送方向的方向延伸；以及

一对第二框架条，所述一对第二框架条沿所述基板的输送方向延伸，所述第二框架条整体地联接至所述第一框架条。

6.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，所述托架包括：

一对第一托架条，所述一对第一托架条沿垂直于所述基板的输送方向的方向延伸；以及

一对第二托架条，所述一对第二托架条沿所述基板的输送方向延伸，所述第二托架条整体地联接至所述第一托架条。

7.根据权利要求1至4之一所述的阵列测试装置，其中，在所述探针组件框架与所述托架之间的接合处设置有减震器。