KR20190071140A - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

화소 전극들이 형성된 기판을 테스트하기 위한 어레이 테스트 장치가 개시된다. 어레이 테스트 장치는, 기판을 지지하며 회전 가능한 스테이지와, 스테이지 하부에 결합되며 스테이지를 회전시키는 회전 구동부와, 스테이지의 상측에 배치되며 기판의 검사를 위한 복수의 검사 모듈과, 검사 모듈들을 지지하여 검사 모듈들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛과, 스테이지의 상측에 배치되며 기판에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛과, 프로브 유닛들을 지지하며 프로브 유닛들을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛을 포함할 수 있다. 여기서, 프로브 유닛들은 제2 갠트리 유닛들의 수평 이동 방향을 향해 고정될 수 있다. 이와 같이, 어레이 테스트 장치는 스테이지를 회전시키는 회전 구동부를 구비함으로써, 프로브 유닛마다 회전 모터를 구비할 필요없이 화소 전극들의 배열 방향에 따라 스테이지를 회전시켜 화소 전극들과 탐침들을 정렬할 수 있다.

Description

어레이 테스트 장치{Array tester}

본 발명의 실시예들은 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 TFT(Thin Film Transistor) 기판의 전기적인 성능을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치는 구동 회로들이 형성된 TFT 기판을 포함한다. 일 예로서, LCD 기판의 경우, TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통 전극들이 형성된 컬러 필터 기판과, TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 포함할 수 있다.

일반적으로 어레이 테스트 장치는 TFT 기판의 화소 전극들의 불량 여부를 검출하기 위해 사용될 수 있으며, TFT 기판을 지지하기 위한 스테이지와, TFT 기판을 조명하기 위한 광원과, TFT 기판의 상부에 배치되어 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 형성하며 광원으로부터의 조사된 광을 투과시키는 모듈레이터와, 모듈레이터를 촬상하여 TFT 기판의 화소 전극들의 불량 여부를 판단하기 위한 검사 카메라 등을 포함할 수 있다.

또한, 어레이 테스트 장치는 화소 전극들에 검사 신호를 인가하기 위한 프로브 모듈을 구비할 수 있다. 프로브 모듈은 바(bar) 형태로 길게 연장하는 프로브 유닛과 상기 프로브 유닛을 화소 전극들의 배열에 따라 회전시키기 위한 회전 구동부를 포함할 수 있다. 그러나 프로브 유닛이 외팔보 형태로 회전 구동부에 장착되므로 프로브 유닛이 하방으로 처지는 문제점이 발생될 수 있다. 또한, 다른 부재에 비해 고장 수리가 잦은 회전 구동부가 프로브 모듈마다 구비되므로 제조 비용이 증가하고 유지 보수가 어려운 문제점이 발생할 수 있다.

대한민국 공개특허공보 제10-2012-0013613호 (2012.02.15.)

본 발명의 실시예들은 프로브 유닛을 회전시키지 않고서 기판과 프로브 유닛을 정렬할 수 어레이 테스트 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 어레이 테스트 장치는, 기판을 지지하며 회전 가능한 스테이지와, 상기 스테이지 하부에 결합되며 상기 스테이지를 회전시키는 회전 구동부와, 상기 스테이지의 상측에 배치되며 상기 기판의 검사를 위한 복수의 검사 모듈과, 상기 검사 모듈들을 지지하여 상기 검사 모듈들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛과, 상기 스테이지의 상측에 배치되며 상기 기판에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛과, 상기 프로브 유닛들을 지지하며 상기 프로브 유닛들을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛을 포함할 수 있다. 여기서, 상기 프로브 유닛들은 상기 제2 갠트리 유닛들의 수평 이동 방향을 향해 고정될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 상에 형성된 전극들과 상기 탐침들 간의 정렬은 상기 제2 갠트리 유닛에 의한 상기 프로브 유닛의 수평 및 수직 방향으로의 이동과 상기 상기 회전 구동부에 의한 상기 스테이지의 회전에 의해 이루어질 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 프로브 유닛은 상기 제2 갠트리 유닛의 수평 이동 방향으로 연장된 바 형태를 가질 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치는 4개의 제2 갠트리 유닛을 포함하며, 상기 제2 갠트리 유닛들에는 4개의 프로브 유닛이 각각 장착될 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 검사 모듈은, 상기 기판에 형성된 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 발생시키며 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터의 상부에 배치되며 상기 모듈레이터를 촬상하기 위한 검사 카메라를 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치는 2개의 제1 갠트리 유닛을 포함하며, 상기 제1 갠트리 유닛들에는 2개의 검사 모듈이 각각 장착될 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 어레이 테스트 장치는, 스테이지를 회전시키는 회전 구동부를 구비함으로써, 화소 전극들의 배열 방향에 따라 스테이지가 회전될 수 있다. 이에 따라, 어레이 테스트 장치는 화소 전극들의 배열 방향에 따라 프로브 유닛들을 회전시킬 필요없이 스테이지를 회전시켜 탐침들과 화소 전극들을 정렬할 수 있다. 그 결과, 어레이 테스트 장치는 각각의 프로브 유닛 마다 프로브 유닛을 회전시키기 위한 별도의 회전 모터를 구비할 필요가 없으므로, 제조 원가가 절감되며 유지 보수가 용이하다. 또한, 회전 모터로 인한 프로브 유닛의 처짐이 방지될 수 있으므로, 탐침들과의 과도한 접촉으로 인한 기판의 훼손을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 검사 모듈을 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 5 내지 도 7은 도 1에 도시된 스테이지 상에 로드된 기판들을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 스테이지를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치(100)는 복수의 화소 전극들(미도시)을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판(10)에 대한 검사 공정을 수행하기 위해 사용될 수 있다. 일례로, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판(10)에 대하여 전기적인 검사를 수행하기 위해 이용될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(110)와, 상기 스테이지(110)를 회전시키는 회전 구동부(120)와, 상기 기판(10)에 대한 검사를 수행하기 위한 복수의 검사 모듈(130)과, 상기 검사 모듈들(130)을 지지하며 상기 검사 모듈들(130)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛(140)과, 상기 기판(10)에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침을 포함하는 복수의 프로브 유닛(150)과, 상기 프로브 유닛들(150)을 지지하며 상기 프로브 유닛들(150)을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛(160)을 포함할 수 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 상기 회전 구동부(120)는 상기 스테이지(110)의 하부에 결합될 수 있으며, 상기 스테이지(110)는 상기 회전 구동부(120)의 구동에 의해 회전될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 회전 구동부(120)는 도 3에 도시된 것처럼 상기 스테이지(110)를 약 90°로 회전시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 프로브 유닛들(150)을 회전시킬 필요없이 상기 스테이지(110)를 회전시켜 상기 탐침들과 상기 기판(10)을 정렬할 수 있다.

상기 스테이지(110)의 상측에는 상기 복수의 검사 모듈(130)이 배치될 수 있으며, 상기 검사 모듈들(130)은 상기 제1 갠트리 유닛들(140)에 장착될 수 있다.

특히, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 2개의 제1 갠트리 유닛들(140)을 포함할 수 있으며, 상기 제1 갠트리 유닛들(140)에는 2개의 검사 모듈들(130)이 각각 장착될 수 있다.

도 4는 도 1에 도시된 검사 모듈을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.

도 4를 참조하면, 상기 각각의 검사 모듈(130)은, 상기 기판(10)의 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 발생시키며 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터(132)와, 상기 모듈레이터(132)의 상부에 배치되며 상기 모듈레이터(132)를 촬상하기 위한 검사 카메라(134)를 포함할 수 있다.

도면에 상세히 도시하지 않았으나, 상기 모듈레이터(132)는 상기 기판(10)의 불량 유무에 따라 특정 물성치가 변화될 수 있다. 특히, 상기 기판(10)의 화소 전극들이 정상인 경우 상기 모듈레이터(132) 내부에 전기장이 형성되고, 상기 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 광이 통과할 수 있다. 이와 다르게, 상기 기판(10)의 화소 전극들이 불량인 경우 전기장이 형성되지 않거나 전기장의 세기가 저하되어 분자 배열이 변경되지 않으며 이에 의해 광이 통과할 수 없게 된다.

예를 들면, 상기 모듈레이터(132)는 공통 전극들이 형성된 전극층(미도시)과 상기 전기장에 의해 물성이 변화되는 전광 물질층(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 전극층은 상기 기판(10)의 화소 전극들과 함께 그 사이에서 전기장을 형성할 수 있으며, 상기 전광 물질층은 상기 전기장에 의해 분자 배열이 변화되는 PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)층일 수 있다. 여기서, 상기 전광 물질층은 PDLC 층으로 한정되지 않으며, 무기EL(Electro Luminance), 액정층 등 다양한 물질층이 사용될 수 있다.

구체적으로, 상기 화소 전극들이 정상인 경우 상기 공통 전극들과 화소 전극들 사이에서 형성된 전기장에 의해 상기 전광 물질층의 분자 배열이 전계 방향으로 변화되어 광이 투과될 수 있으며, 상기 화소 전극들이 불량인 경우 광 투과량이 감소되거나 광을 투과시키지 않을 수 있다. 즉, 상기 화소 전극들의 전기적인 성능에 따라 상기 모듈레이터(132)의 광 투과량이 변화될 수 있으며, 상기 검사 카메라(134)는 상기 모듈레이터(132)를 촬상함으로써 상기 기판의 불량 유무를 판단할 수 있다.

상기 검사 카메라(134)는 텔레센트릭 렌즈(136)와 동축 조명(138)을 포함할 수 있다. 도시되지는 않았으나, 상기 동축 조명(128)으로부터 조사된 광은 하프 렌즈(미도시)를 통해 모듈레이터(124)를 향해 반사될 수 있으며, 상기 모듈레이터(124) 및/또는 상기 기판(10)으로부터 반사된 광이 상기 검사 카메라(124)에 의해 검출될 수 있다.

그러나, 상기와 다르게, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 스테이지(110) 하부에 배치된 백라이트 조명 유닛을 포함할 수도 있으며, 이 경우 상기 스테이지(110)는 상기 백라이트 조명 유닛으로부터 조사된 광을 투과시키기 위해 투광 물질로 이루어질 수 있다.

다시, 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 스테이지(110)의 상측에는 상기 프로브 유닛들(150)이 배치될 수 있으며, 상기 프로브 유닛들(150)은 상기 제2 갠트리 유닛들(160)에 장착될 수 있다.

특히, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 4개의 제2 갠트리 유닛들(160)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 갠트리 유닛들(160)에는 4개의 프로브 유닛들(150)이 각각 장착될 수 있다.

상기 각각의 프로브 유닛(150)은 상기 제2 갠트리 유닛(160)의 길이 방향인 제1 수평 방향(Y)에 대해 수직하는 제2 수평 방향(X)으로 길게 연장된 바(bar) 형태를 가질 수 있다, 상기 탐침들은 상기 제2 수평 방향(X)을 따라 배열될 수 있으며, 상기 기판(10)에 형성된 화소 전극들에 접촉되어 전기적인 검사 신호를 상기 화소 전극들에 인가한다.

특히, 상기 프로브 유닛들(150)은 상기 제2 갠트리 유닛들(160)에 상기 제2 수평 방향(X)을 향하도록 고정되며 회전할 수 없다. 즉, 상기 프로브 유닛들(150)은 도 1에 도시된 것처럼 상기 제2 수평 방향(X)을 향하도록 고정되며 상기 제1 수평 방향(Y)을 향하여 배치될 수 없다.

상기 제2 갠트리 유닛들(160)은 상기 제1 수평 방향(Y)으로 상기 프로브 유닛들(150)을 이동시킬 수 있으며, 또한 상기 제2 수평 방향(X)으로 이동 가능하게 구성될 수 있다. 일 예로서, 상기 프로브 유닛들(150)은 리니어 모터들에 의해 상기 제1 수평 방향(Y)으로 이동될 수 있으며, 상기 제2 갠트리 유닛들(160)은 스텝 모터와 리니어 모션 가이드에 의해 상기 제2 수평 방향(X)으로 이동될 수 있다. 그러나, 상기 제2 갠트리 유닛들(160)의 수평 이동 방법은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

상기 프로브 유닛들(150)의 수직 이동은 공압 실린더에 의해 이루어질 수 있다. 그러나, 상기 프로브 유닛들(150)의 수직 이동 방법 역시 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.

도 5 내지 도 7은 도 1에 도시된 스테이지 상에 로드된 기판들을 설명하기 위한 개략적인 평면도들이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 스테이지(10) 상에는 복수의 기판들(10)이 로드될 수 있다. 예를 들면, 46 인치 또는 48 인치 기판들(10A)의 경우 도 5에 도시된 바와 같이 상기 스테이지(110) 상에 8장의 기판들(10A)이 로드될 수 있으며, 55 인치 기판들(10B)의 경우 도 6에 도시된 바와 같이 6장의 기판들(10B)이 상기 스테이지(110) 상에 로드될 수 있다.

상기와 다르게, 상기 스테이지(110) 상에는 서로 다른 크기를 갖는 기판들(10C, 10D)이 로드될 수도 있다. 예를 들면, 도 7에 도시된 바와 같이 65 인치 크기를 갖는 3장의 기판들(10C)과 32 인치 크기를 갖는 6장의 기판들(10D)이 상기 스테이지(110) 상에 동시에 로드될 수 있다.

이와 같이, 상기 스테이지(110) 상에는 다양한 크기의 기판들(10A, 10B, 10C, 10D)이 다양하게 형태로 배치될 수 있으며, 이에 따라, 상기 기판들(10A, 10B, 10C, 10D) 상에 형성된 화소 전극들의 배열 방향 또한 다양하다.

특히, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 제2 갠트리 유닛들(160)에 의한 상기 프로브 유닛들(150)의 수평 및 수직 방향으로의 이동과 상기 상기 회전 구동부(120)에 의한 상기 스테이지(110)의 회전에 의해 상기 기판들(10A, 10B, 10C, 10D) 상에 형성된 화소 전극들과 상기 탐침들 간을 정렬한다. 즉, 상기 회전 구동부(120)는 상기 화소 전극들의 배열 방향에 따라 상기 스테이지(110)를 회전시켜 상기 프로브 유닛(150)이 접촉될 상기 화소 전극들을 상기 탐침들의 배치 방향과 동일한 방향으로 배치시킨다. 이때, 상기 스테이지(110)는 상기 회전 구동부(120)에 의해 약 90°로 회전될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치(100)는 상기 스테이지(110)를 회전시키는 회전 구동부(120)를 구비함으로써, 상기 화소 전극들의 배열 방향에 따라 상기 스테이지(110)가 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 화소 전극들의 배열 방향에 따라 상기 프로브 유닛들(150)을 회전시킬 필요없이 상기 스테이지(110)를 회전시켜 상기 탐침들과 상기 화소 전극들을 정렬할 수 있다. 그 결과, 상기 어레이 테스트 장치(100)는 상기 각각의 프로브 유닛(150) 마다 상기 프로브 유닛(150)을 회전시키기 위한 별도의 회전 모터를 구비할 필요가 없으므로, 제조 원가가 절감되며 유지 보수가 용이하다. 또한, 상기 회전 모터로 인한 프로브 유닛의 처짐이 방지될 수 있으므로, 상기 탐침들과의 과도한 접촉으로 인한 기판의 훼손을 방지할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

10 : 기판 100 : 어레이 테스트 장치
110 : 스테이지 120 : 회전 구동부
130 : 검사 모듈 140 : 제1 갠트리 유닛
150 : 프로브 유닛 160 : 제2 갠트리 유닛

Claims (6)

1. 기판을 지지하며 회전 가능한 스테이지;
   상기 스테이지 하부에 결합되며 상기 스테이지를 회전시키는 회전 구동부;
   상기 스테이지의 상측에 배치되며 상기 기판의 검사를 위한 복수의 검사 모듈;
   상기 검사 모듈들을 지지하여 상기 검사 모듈들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛;
   상기 스테이지의 상측에 배치되며 상기 기판에 전기적인 검사 신호들을 인가하기 위한 복수의 탐침들을 포함하는 복수의 프로브 유닛; 및
   상기 프로브 유닛들을 지지하며 상기 프로브 유닛들을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛을 포함하고,
   상기 프로브 유닛들은 상기 제2 갠트리 유닛들의 수평 이동 방향을 향해 고정된 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판 상에 형성된 전극들과 상기 탐침들 간의 정렬은 상기 제2 갠트리 유닛에 의한 상기 프로브 유닛의 수평 및 수직 방향으로의 이동과 상기 상기 회전 구동부에 의한 상기 스테이지의 회전에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 프로브 유닛은 상기 제2 갠트리 유닛의 수평 이동 방향으로 연장된 바 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
4. 제1항에 있어서, 4개의 제2 갠트리 유닛을 포함하며, 상기 제2 갠트리 유닛들에는 4개의 프로브 유닛이 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
5. 제1항에 있어서, 상기 검사 모듈은,
   상기 기판에 형성된 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 발생시키며 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터; 및
   상기 모듈레이터의 상부에 배치되며 상기 모듈레이터를 촬상하기 위한 검사 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
6. 제5항에 있어서, 2개의 제1 갠트리 유닛을 포함하며, 상기 제1 갠트리 유닛들에는 2개의 검사 모듈이 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.

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