KR102516283B1 - 어레이 테스트 장치 - Google Patents

Abstract

복수의 회소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판의 결함 여부를 검사하기 위한 어레이 테스트 장치가 개시된다. 어레이 테스트 장치는 기판 검사 모듈과 신호 생성 모듈을 구비할 수 있다. 기판 검사 모듈은 기판에 전기적인 검사 신호를 인가하기 위한 복수의 프로브 유닛을 구비한다. 신호 생성 모듈은 영상 패턴 신호를 생성하여 출력하는 복수의 패턴 제너레이터와, 패턴 제너레이터에 대응하여 구비되고 영상 패턴 신호를 제공받아 검사 신호를 생성하여 프로브 유닛에 제공하는 복수의 시그널 멀티플렉서와, 패턴 제너레이터들로부터 영상 패턴 신호들을 수신하여 영상 패턴 신호를 대응하는 시그널 멀티플렉서에 분배하기 위한 신호 조절 멀티플렉서를 구비한다. 신호 조절 멀티플렉서는 패턴 제너레이터들 중 어느 하나가 불량일 경우 나머지 패턴 제너레이터들 중 어느 하나에서 출력된 영상 패턴 신호를 불량 패턴 제너레이터에 대응하는 시그널 멀티플렉서에 제공한다. 이에 따라, 일부 패턴 제너레이터에 불량이 발생하더라도 영상 패턴 신호가 시그널 멀티플렉서들에 안정적으로 제공되므로, 프로브 유닛들이 검사 신호를 안정적으로 제공받을 수 있다.

Description

어레이 테스트 장치{Array tester}

본 발명의 실시예들은 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 TFT(Thin Film Transistor) 기판의 전기적인 성능을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치는 구동 회로들이 형성된 TFT 기판을 포함한다. 일 예로서, LCD 기판의 경우 TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통 전극들이 형성된 컬러 필터 기판과, TFT 기판과 컬러 필터 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 포함할 수 있다.

일반적으로 어레이 테스트 장치는 TFT 기판의 구동 회로들의 불량 여부를 검출하기 위해 사용될 수 있으며, TFT 기판을 지지하기 위한 스테이지와, TFT 기판의 구동 회로들에 전기적인 검사 신호를 인가하기 위한 복수의 프로브 유닛, TFT 기판을 조명하기 위한 광원과, 상기 TFT 기판의 상부에 배치되어 상기 화소 전극들과의 사이에서 전기장을 형성하며 상기 광원으로부터의 조사된 광을 투과시키는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터를 촬상하여 상기 TFT 기판의 화소 전극들의 불량 여부를 판단하기 위한 검사 카메라 등을 포함할 수 있다. 일 예로서, 대한민국 등록특허공보 제10-1470591호에는 광원으로부터 모듈레이터로 조사되는 광을 균일하게 하여 검사 신뢰도를 향상시키는 어레이 테스트 장치가 개시되어 있다.

또한, 어레이 테스트 장치는 TFT 기판의 결함 여부를 검사하기 위해 RGB 패턴 신호를 제공하는 패턴 제너레이터를 구비할 수 있다. 패턴 제너레이터로부터 출력된 RGB 패턴 신호는 복수의 멀티플렉서에 제공되며, 멀티플렉서는 RGB 패턴 신호를 이용하여 검사할 디스플레이 구동 회로들에 적합한 검사 신호를 생성하고 검사 신호를 연결된 프로브 유닛에 제공한다.

이렇게 종래의 어레이 테스트 장치는 패턴 제너레이터로부터 멀티플렉서로 RGB 패턴 신호가 직접 입력되므로, 멀티플렉서들 중 어느 하나에 불량이 발생할 경우 해당 멀티플렉서에 연결된 프로브 유닛들은 정상적으로 검사 신호를 인가받지 못하며, 이로 인래 검사 신뢰도가 저하되는 문제점이 있다.

본 발명의 실시예들은 프로브 유닛이 안정적으로 전기적인 검사 신호를 제공받을 수 있는 개선된 어레이 테스트 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 회소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판에 전기적인 검사 신호를 인가하기 위한 복수의 프로브 유닛을 구비하는 기판 검사 모듈, 및 영상 패턴 신호를 생성하여 출력하는 복수의 패턴 제너레이터와 상기 패턴 제너레이터에 대응하여 구비되고 상기 프로브 유닛과 전기적으로 연결되며 상기 영상 패턴 신호를 제공받아 상기 검사 신호를 생성하여 상기 프로브 유닛에 제공하는 복수의 시그널 멀티플렉서와 상기 시그널 멀티플렉서들 및 상기 패턴 제너레이터들과 전기적으로 연결되고 상기 패턴 제너레이터들로부터 영상 패턴 신호들을 수신하여 상기 영상 패턴 신호를 대응하는 시그널 멀티플렉서에 분배하기 위한 신호 조절 멀티플렉서를 구비하는 신호 생성 모듈을 포함할 수 있다. 또한, 상기 신호 조절 멀티플렉서는 상기 패턴 제너레이터들 중 어느 하나가 불량일 경우 나머지 패턴 제너레이터들 중 어느 하나에서 출력된 상기 영상 패턴 신호를 불량 패턴 제너레이터에 대응하는 시그널 멀티플렉서에 제공할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 기판 검사 모듈은 상기 디스플레이 구동 회로들에 결함 여부를 검사하기 위한 복수의 화소 검사 유닛을 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 화소 검사 유닛들 각각은, 상기 화소 전극들과의 사이에 전기장을 발생시켜 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터, 및 상기 모듈레이터를 촬상하기 위한 검사 카메라를 포함할 수 있다. 더불어, 상기 신호 조절 멀티플렉서는 상기 모듈레이터와 상기 검사 카메라를 구동하기 위한 구동 신호를 상기 모듈레이터와 상기 검사 카메라에 분배할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 패턴 제너레이터들과 상기 신호 조절 멀티플렉서를 제어하고, 상기 구동 신호들을 생성하여 상기 신호 조절 멀티플렉서에 제공하는 제어부를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 시그널 멀티플렉서들은 서로 다른 프로브 유닛에 전기적으로 연결되며 서로 다른 패턴 제너레이터에 대응할 수 있다.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 어레이 테스트 장치는 영상 패턴 신호를 제공하는 패턴 제너레이터들과 프로브 유닛들에 검사 신호를 제공하는 시그널 멀티플렉서들이 직접적으로 연결되지 않으며 상기 영상 패턴 신호들을 시그널 멀티플렉서들에 분배하기 위한 별도의 신호 조절 멀티플렉서를 구비한다. 이에 따라, 시그널 멀티플렉서들은 일부 패턴 제너레이터에 불량이 발생하더라도 신호 조절 멀티플렉서에 의해 영상 패턴 신호를 안정적으로 제공받을 수 있으므로, 검사 신호를 프로브 유닛들에 안정적으로 제공할 수 있다. 그 결과, 어레이 테스트 장치는 검사 신뢰도와 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 신호 조절 멀티플렉서는 모듈레이터와 검사 카메라에 구동 신호를 제공하므로, 모듈레이터와 검사 카메라가 검사 영역과 검사 신호에 대응하여 정확한 시점에 동기화될 수 있다. 이에 따라, 어레이 테스트 장치는 검사 공정의 효율을 향상시키고 모듈레이터와 검사 카메라의 작동 오류를 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 검사 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 화소 검사 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 검사 모듈을 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치(400)는 복수의 화소 전극들(미도시)을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판(10)에 대한 전기적인 검사를 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 패널의 TFT 기판에 대한 성능 검사를 위해 사용될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 어레이 테스트 장치(400)는 상기 기판(10)의 상측에 배치되어 실질적으로 상기 기판(10)을 검사하는 기판 검사 모듈(100)과, 상기 기판(10)을 검사하는데 필요한 신호들을 상기 기판 검사 모듈(100)에 제공하는 신호 생성 모듈(200)과, 상기 신호 생성 모듈(200)을 제어하는 제어부(300)를 포함할 수 있다.

상기 기판 검사 모듈(100)은 상기 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(110)와, 상기 스테이지(10) 상측에 배치되어 상기 디스플레이이 구동 회로들에 전기적인 검사 신호를 제공하기 위한 복수의 프로브 유닛(120)과, 상기 프로브 유닛들(120)을 지지하며 상기 프로브 유닛들(120)을 수평 및 수직 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제1 갠트리 유닛(130)을 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 갠트리 유닛들(130)에는 4 개의 프로브 유닛들(120)이 각각 장착될 수 있다.

상기 프로브 유닛들(120)은 상기 신호 생성 모듈(200)과 전기적으로 연결되어 상기 신호 생성 모듈(200)로부터 상기 검사 신호를 제공받는다. 상기 프로브 유닛들(120)은 상기 기판(10)의 디스플레이 구동 회로들에 전기적인 검사 신호를 인가하기 위한 복수의 탐침을 각각 구비하며, 상기 탐침들은 상기 기판(10)에 접촉되어 상기 검사 신호를 상기 디스플레이 구동 회로들에 인가한다.

또한, 상기 기판 검사 모듈(100)은 상기 디스플레이 구동 회로들에 결함 여부를 검사하기 위한 복수의 화소 검사 유닛(140)과, 상기 화소 검사 유닛들(140)을 지지하며 상기 화소 검사 유닛들(140)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 복수의 제2 갠트리 유닛(150)을 더 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 갠트리 유닛들(150)에는 두 개의 화소 검사 유닛들(140)이 각각 장착될 수 있다.

도 3은 도 2에 도시된 화소 검사 유닛을 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 화소 검사 유닛들(140) 각각은 상기 기판(10)의 화소 전극들과의 사이에 전기장을 발생시켜 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터(142)와, 상기 모듈레이터(142)의 상측에 배치되며 상기 모듈레이터(142)를 촬상하기 위한 검사 카메라(144)를 포함할 수 있다.

도면에 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 모듈레이터(142)는 공통 전압이 인가되는 공통 전극, 및 상기 기판(10)에 형성된 화소 전극과 상기 공통 전극 사이에 형성된 전기장에 의해 물성이 변화되는 전광 물질층을 구비할 수 있다. 상기 전광 물질층은 상기 전기장에 따라 분자 배열이 변하는 PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)층일 수 있다. 상기 전광 물질층은 상기 기판(10)의 불량 유무에 따라 물성치가 변화될 수 있다. 즉, 상기 기판(10)의 화소 전극들이 정상일 경우 상기 모듈레이터(142)의 공통 전극과 상기 화소 전극들 사이에 전기장이 형성되며, 상기 전기장에 의해 상기 전광 물질층의 분자 배열이 전계 방향으로 변화되어 광이 투과될 수 있다.

구체적으로, 상기 화소 전극들이 정상일 경우 상기 공통 전극과 상기 화소 전극들 사이에 형성된 전계에 의해 상기 전광 물질층의 분자 배열이 변화되어 광이 투과될 수 있다. 반면, 상기 화소 전극들이 불량일 경우 상기 전광 물질층의 광 투과량이 감소되거나 광을 투과시키지 않을 수 있다. 이때, 상기 화소 전극들에 인가되는 화소 전압은 상기 프로브 유닛들(120)로부터 상기 디스플레이 구동 회로들에 인가되는 검사 신호에 의해 생성될 수 있다.

상기 검사 카메라(144)는 상기 모듈레이터(142)를 촬상하며, 상기 검사 카메라(144)에 의해 촬상된 이미지를 통해 상기 기판(10)의 결함 유무를 판단할 수 있다.

특히, 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 화소 검사 유닛들(140)은 상기 신호 생성 모듈(200; 도 1 참조)로부터 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)의 구동에 필요한 신호를 제공받을 수 있다.

상기 화소 검사 유닛(140)은 수직 구동부(160)에 결합될 수 있다. 상기 수직 구동부(160)는 상기 제2 갠트리 유닛(150)에 장착될 수 있으며, 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.

다시, 도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 프로브 유닛들(120)과 상기 화소 검사 유닛들(140)은 상기 기판(10)을 검사하기 위한 신호들을 상기 신호 생성 모듈(200)로부터 제공 받는다.

상기 신호 생성 모듈(200)은 영상 패턴 신호, 예컨대 RGB 패턴 신호를 출력하는 복수의 패턴 제너레이터(210)와, 상기 검사 신호를 생성하여 상기 프로브 유닛들(120)에 제공하기 위한 복수의 시그널 멀티플렉서(220)와, 상기 패턴 제너레이터들(210)로부터 상기 영상 패턴 신호를 입력받아 상기 시그널 멀티플렉서들(220)에 분배하는 신호 조절 멀티플렉서(230)를 포함할 수 있다.

구체적으로, 상기 패턴 제너레이터들(210)은 상기 신호 조절 멀티플렉서(220)와 전기적으로 연결되고, 상기 제어부(300)에 의해 제어되며, 상기 제어부(300)에 의해 상기 영상 패턴 신호를 생성하여 상기 신호 조절 멀티플렉서(220)에 전송한다. 본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 신호 생성 모듈(200)은 4개의 패턴 제너레이터들(210)을 구비하나, 상기 패턴 제너레이터들(210)의 개수는 이에 한정되지 않는다.

상기 시그널 멀티플렉서들(220)은 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)와 전기적으로 연결되며, 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)로부터 수신된 상기 영상 패턴 신호를 이용하여 상기 검사 신호를 생성한다. 상기 시그널 멀티플렉서들(220) 각각은 프로브 유닛들(120)과 전기적으로 연결되며, 상기 검사 신호를 연결된 프로브 유닛들(120)에 제공한다. 여기서, 하나의 시그널 멀티플렉서(220)는 복수의 프로브 유닛과 전기적으로 연결되며, 상기 시그널 멀티플렉서들(220)은 서로 다른 복수의 프로브 유닛들에 전기적으로 연결된다.

상기 시그널 멀티플렉서(220)는 연결된 프로브 유닛들(120)이 검사할 기판(10)에 따라 적합한 전압으로 조절하여 상기 검사 신호를 제공한다. 상기 시그널 멀티플렉서(220)로부터 제공된 상기 검사 신호는 상기 프로브 유닛(120)의 탐침들을 통해 상기 디스플레이 구동 회로들에 인가된다.

특히, 상기 시그널 멀티플렉서들(220)은 상기 패턴 제너레이터들(210)에 대응하여 구비될 수 있으며, 서로 다른 패턴 제너레이터들에 대응하여 구비된다. 예를 들어, 하나의 시그널 멀티플렉서(220)는 한 쌍의 패턴 제너레이터에 대응하여 구비될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 신호 생성 모듈(200)은 두 개의 시그널 멀티플렉서(220)를 구비하나 상기 시그널 멀티플렉서(220)의 개수는 이에 한정되지 않는다. 또한, 하나의 시그널 멀티플렉서(220)는 두 개의 패턴 제너레이터에 대응하여 구비될 수 있으나, 하나의 시그널 멀티플렉서(220)에 대응하는 패턴 제너레이터의 개수는 이에 한정되지 않는다.

특히, 상기 시그널 멀티플렉서들(220)은 대응하는 패턴 제너레이터들에 직접적으로 연결되지 않고, 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)를 통해 상기 영상 패턴 신호를 제공받는다. 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)는 각각의 패턴 제너레이터(210) 및 각각의 시그널 멀티플렉서(220)와 전기적으로 연결된다. 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)는 상기 패턴 제너레이터들(210)로부터 영상 패턴 신호들을 제공받으며, 상기 연상 패턴 신호들을 대응하는 시그널 멀티플렉서별로 분배하여 상기 시그널 멀티플렉서들(220)에 제공한다. 예를 들어, 상기 패턴 제너레이터들(210)과 상기 시그널 멀티플렉서들(220) 중에서 첫번째와 두번째 제너레이터들과 첫번째 시그널 멀티플렉서가 대응하고 세번째와 네번째 제너레이터들과 두번째 시그널 멀티플렉서가 대응할 경우, 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)는 상기 첫번째와 두번째 제너레이터들로부터 수신된 영상 패턴 신호들을 상기 첫번째 시그널 멀티플렉서에 제공하고 상기 세번째와 네번째 패턴 제너레이터들로부터 수신된 영상 패널 신호들을 상기 두번째 시그널 멀티플렉서에 제공할 수 있다.

특히, 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)는 상기 패턴 제너레이터들(210) 중 어느 하나가 불량일 경우 불량이 발생한 패턴 제너레이터에 대응하는 시그널 멀티플렉서에 나머지 패턴 제너레이터들 중 어느 하나로부터 출력된 영상 패턴 신호를 분배한다. 이에 따라, 일부 패턴 제너레이터에서 불량이 발생하더라도 상기 영상 패턴 신호를 상기 시그널 멀티플렉서들(220)에 안정적으로 제공할 수 있다.

또한, 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)는 상기 화소 검사 유닛들(140) 각각의 모듈레이터(142)와 검사 카메라(144)에 전기적으로 연결되며, 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)를 구동하기 위한 구동 신호를 상기 제어부(300)로부터 제공받아 상기 모듈레이터(142)와 검사 카메라(144)에 제공한다. 이에 따라, 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)가 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)에 의해 동기화될 수 있다. 이렇게 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)에 의해 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)가 동기화되므로, 상기 기판(10)에서 검사할 영역에 대한 검사가 정확한 시점에 상기 화소 검사 유닛(140)에 의해 이루어질 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 어레이 테스트 장치(400)는 상기 영상 패턴 신호를 제공하는 상기 패턴 제너레이터들(210)과 상기 프로브 유닛들(120)에 상기 검사 신호를 제공하는 상기 시그널 멀티플렉서들(220)이 직접적으로 연결되지 않고 상기 영상 패턴 신호들이 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)에 의해 상기 시그널 멀티플렉서들(220)에 분배된다. 이에 따라, 일부 패턴 제너레이터에 불량이 발생하더라도 상기 시그널 멀티플렉서들(220)은 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)에 의해 상기 영상 패턴 신호를 안정적으로 제공받을 수 있다. 그 결과, 상기 검사 신호가 상기 프로브 유닛들(120)에 안정적으로 제공될 수 있으므로, 상기 어레이 테스트 장치(400)는 검사 신뢰도 및 공정 효율을 향상시킬 수 있다.

또한, 상기 어레이 테스트 장치(400)는 상기 신호 조절 멀티플렉서(230)에 의해 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)가 동기화되므로, 검사 영역과 상기 검사 신호에 대응하여 정확한 시점에 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)의 동작을 동기화할 수 있다. 이에 따라, 상기 어레이 테스트 장치(400)는 검사 공정의 효율을 향상시키고 상기 모듈레이터(142)와 상기 검사 카메라(144)의 작동 오류를 방지할 수 있다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

100 : 기판 검사 모듈 110 : 스테이지
120 : 프로브 유닛 130 : 제1 갠트리 유닛
140 : 화소 검사 유닛 142 : 모듈레이터
144 : 검사 카메라 150 : 제2 갠트리 유닛
160 : 수직 구동부 200 : 신호 생성 모듈
210 : 패턴 제너레이터 220 : 시그널 멀티플렉서
230 : 신호 조절 멀티플렉서 300 : 제어부
400 : 어레이 테스트 장치

Claims (5)

1. 복수의 화소 전극들을 포함하는 디스플레이 구동 회로들이 형성된 기판에 전기적인 검사 신호를 인가하기 위한 복수의 프로브 유닛 및 상기 디스플레이 구동 회로들의 결함 여부를 검사하기 위한 복수의 화소 검사 유닛을 구비하는 기판 검사 모듈; 및
   영상 패턴 신호를 생성하여 출력하는 복수의 패턴 제너레이터와, 상기 패턴 제너레이터에 대응하여 구비되고 상기 프로브 유닛과 전기적으로 연결되며 상기 영상 패턴 신호를 제공받아 상기 검사 신호를 생성하여 상기 프로브 유닛에 제공하는 복수의 시그널 멀티플렉서와, 상기 시그널 멀티플렉서들 및 상기 패턴 제너레이터들과 전기적으로 연결되고 상기 패턴 제너레이터들로부터 영상 패턴 신호들을 수신하여 상기 영상 패턴 신호를 대응하는 시그널 멀티플렉서에 분배하기 위한 신호 조절 멀티플렉서를 구비하는 신호 생성 모듈을 포함하되,
   상기 신호 조절 멀티플렉서는 상기 패턴 제너레이터들 중 어느 하나가 불량일 경우 나머지 패턴 제너레이터들 중 어느 하나에서 출력된 상기 영상 패턴 신호를 불량 패턴 제너레이터에 대응하는 시그널 멀티플렉서에 제공하고,
   상기 화소 검사 유닛들 각각은, 상기 화소 전극들과의 사이에 전기장을 발생시켜 상기 전기장의 크기에 따라 광 투과량이 변화되는 모듈레이터와, 상기 모듈레이터를 촬상하기 위한 검사 카메라를 포함하며,
   상기 신호 조절 멀티플렉서는 상기 모듈레이터와 상기 검사 카메라를 구동하기 위한 구동 신호를 상기 모듈레이터와 상기 검사 카메라에 분배하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   상기 패턴 제너레이터들과 상기 신호 조절 멀티플렉서를 제어하고, 상기 구동 신호들을 생성하여 상기 신호 조절 멀티플렉서에 제공하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 시그널 멀티플렉서들은 각각 복수의 프로브 유닛과 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.
5. 제1항에 있어서,
   상기 시그널 멀티플렉서들은 각각 한 쌍의 패턴 제너레이터와 대응하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.

Images