CN101419373A - 阵列测试装置 - Google Patents

阵列测试装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101419373A
CN101419373A CNA2008101817758A CN200810181775A CN101419373A CN 101419373 A CN101419373 A CN 101419373A CN A2008101817758 A CNA2008101817758 A CN A2008101817758A CN 200810181775 A CN200810181775 A CN 200810181775A CN 101419373 A CN101419373 A CN 101419373A
Authority
CN
China
Prior art keywords
modulator
substrate
light source
light
detecting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2008101817758A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101419373B (zh
Inventor
潘俊浩
丁东澈
崔渊圭
方圭龙
张文柱
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Top Engineering Co Ltd
Original Assignee
Top Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Top Engineering Co Ltd filed Critical Top Engineering Co Ltd
Publication of CN101419373A publication Critical patent/CN101419373A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101419373B publication Critical patent/CN101419373B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306Details
    • G02F1/1309Repairing; Testing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)

Abstract

本发明公开了一种阵列测试装置,其对显示面板的基板上的多个电极中是否存在电缺陷进行测试。该阵列测试装置包括至少一个光源和至少一个调制器。光源设置于基板的与调制器所设置的位置相对的一侧,光源与调制器一一对应,向相应的调制器发射光,并被移动到与调制器相同的位置。光源的尺寸与调制器的一样小,因而光源的亮度差明显减小。因此,光源朝向基板发射均匀的光以向调制器提供均匀的光,从而能够使根据面板的电极中是否存在缺陷而改变的光的量稳定。因而,测试阵列的检测单元测量通过调制器的光的量,并且精确地确定电极是否具有缺陷,从而提高面板缺陷检测的可靠性。

Description

阵列测试装置
相关申请参考
本申请要求于2008年8月4日提交的第10-2008-0076203号韩国专利申请的优先权,其公开内容全部结合于此作为参考。
技术领域
下面的描述涉及阵列测试装置,该阵列测试装置检测设置于显示面板的基板上的多个电极中的电缺陷。
背景技术
阵列测试装置是用于检测显示面板的基板上的电极中的缺陷的装置。显示面板包括诸如液晶显示器(LCD)、等离子显示面板(PDP)、以及有机发光二极管(OLED)的平板显示装置。阵列测试装置可以测试设置于LCD面板的薄膜晶体管(TFT)基板上的电极是否存在缺陷。一般的TFT LCD面板包括TFT基板、上面形成有滤色片和共用电极并且面对TFT基板的彩色基板、注入于TFT基板与彩色基板之间的液晶、以及背光单元。
图1是传统阵列测试装置的一部分的示意图。参照图1,该阵列测试装置包括多个调制器10、多个检测单元20、光源30、以及基板支撑单元40。
每个调制器10均比光源30小,并且移动预定距离。
每个检测单元20均设置于每个调制器10的上部,并且测量通过调制器10的光的量。
光源30设置于基板的下部,并且朝向调制器10发射光。光源30形成为沿调制器10的移动方向的单个单元。光源30发射光,使得光通过基板而射出。光源30的宽度可以与基板的宽度相同或者比基板的宽度大。
基板支撑单元40介于光源30与基板之间。基板支撑单元40具有与光源30相似的尺寸,并且抵靠在待测试的基板上。基板支撑单元40由透明材料制成,并且允许从光源30发出的光广泛地散布于基板支撑单元40抵靠的整个基板上。
在通过具有上述结构的传统阵列测试装置测试基板的过程中,如果当调制器10在基板的特定区域内移动时,调制器10停止移动预定的时间段,那么光源30就向基板发射光以检测基板中是否存在缺陷。
近来,随着电光形成技术的发展,更宽的基板被用于平板显示装置。因此,为了测试如此宽的基板上的电极,需要包括于阵列测试装置中的光源随基板尺寸的增加而按比例地增大。
通常,光源30包括灯和用于散射从灯发出的光的散射板,并且如果散射板的尺寸比较小,那么设置灯的部分与未设置灯的其它区域之间的亮度差就会增加,因此该亮度差不会显著影响面板缺陷的检测,但是当散射板的尺寸变得更大时,设置灯的区域与未设置灯的区域之间的亮度差就会增加。因此,光未均匀地提供给调制器10,因而降低了面板缺陷检测的可靠性。
而且,光源30不仅向通过调制器10测试的区域发射光,而且还向不通过调制器10测试的区域发射光。因此,在进行面板是否存在缺陷的测试时,可能消耗不必要的电能。
发明内容
本发明公开了一种阵列测试装置,其具有用于通过向调制器发射均匀光的光源而提高面板缺陷检测可靠性的结构。另外,还公开了一种具有仅允许调制器发射光的结构的阵列测试装置。
根据另一方面,公开了一种阵列测试装置,包括:至少一个调制器,其设置于待测试的基板的一侧,并且沿第一轴线移动;以及至少一个光源,其具有的尺寸与调制器的尺寸相对应,设置成与调制器一一对应并向相应的调制器发射光,并且当在基板上进行测试时所述光源被移动到与调制器相同的位置。
本领域技术人员将通过下面的详细描述而明白其它特征,下面的详细描述与附图结合起来,公开了本发明的示例性实施例。
附图说明
图1是传统阵列测试装置的一部分的示意图。
图2是根据示例性实施例的阵列测试装置的透视图。
图3是根据示例性实施例的阵列测试装置的截面图,该阵列测试装置具有与调制器联合移动的光源。
具体实施方式
提供下面的详细描述用来帮助读者获得对此处描述的方法、装置和/或系统的全面理解。因此,对本领域技术人员来说,可以对此处描述的系统、装置和/或方法进行各种改变、修改、和等同变化。另外,省略了对众所周知的功能和结构的描述,以便增加清楚性和简洁性。
图2是根据示例性实施例的阵列测试装置100的透视图。参照图2,该阵列测试装置100包括多个调制器110和多个光源120。
每个调制器110均设置于待测试的基板10的一侧(图2中的基板10的上部)。调制器110沿第一轴线移动。第一轴线与基板10朝向调制器110移动的移动方向垂直。调制器110靠近待测试的基板10放置,并且如果根据基板10缺陷的存在而向调制器110施加电信号,则特定性质改变。例如,调制器110中形成电场,并且调制器110的分子由于该电场而沿特定的方向排列,并且如果待测试基板10上的电极正常,则允许光通过调制器110。另一方面,如果基板10上的电极有缺陷,则调制器110内部不形成电场,因此分子的排列不会改变。结果,光不能通过调制器110。检测单元111设置于调制器110的一侧,并且检测单元111测量调制器110的变化性质,以检测基板10的电极是否存在缺陷。
每个光源120均设置于基板10的另一侧(图2中的基板10的下部),以面对每个调制器110并且将光发射到每个调制器上。也就是说,相对于基板10,调制器110和光源120设置成彼此相对。
每个光源120具有的尺寸与调制器110的尺寸相对应,也就是说,每个光源的尺寸与调制器110的尺寸相同或者比调制器的尺寸稍大,并且当测试面板中是否存在缺陷时,每个光源从基板10的另一方向移动到与调制器110相同的位置。包括于阵列测试装置100中的光源120具有的尺寸与调制器110的尺寸相对应,并且仅消耗少量的电能来发射光。从光源120发射的光可以是来自于氙气灯、钠灯、以及水晶卤素灯的光或者是激光。
根据示例性实施例的阵列测试装置100具有小尺寸的光源120以与调制器110的尺寸相对应,从而光源120与调制器110之间的亮度差能够明显较小。因此,光源120朝向基板10发射均匀的光以将该均匀的光提供给调制器110,因此光的量根据面板的电极是否存在缺陷而一致地改变。因而,检测单元111测量通过调制器110的光的量以确定相应的电极是否有缺陷,从而提高阵列测试装置100的面板缺陷检测的可靠性。
而且,阵列测试装置100使每个光源120具有的尺寸与调制器110的尺寸一样小,并且光源120与调制器110相联结且一起移动。因此,光源120向待测试基板10的特定区域发射光,而不向基板10的非计划区域发射光,因此能够以较小的电能消耗来测试面板中的缺陷。
在检测面板是否存在缺陷的过程中,光源120可以位于与调制器110相同的位置处。
图3是根据示例性实施例的阵列测试装置的截面图,该阵列测试装置具有与调制器一起移动的光源。参照图3,除了图2中所示的元件之外,该阵列测试装置进一步包括调制器移动组件130和光源移动组件140。
调制器移动组件130将调制器110朝向与基板10移动所沿的第二轴线垂直的第一轴线(参照图2)移动预定距离。接着,调制器移动组件130允许调制器110在预定距离处停留在基板上预定长的时间,以测试面板是否存在缺陷。调制器移动组件130重复上述操作以测试整个基板10。
光源移动组件140允许光源120与调制器110一起移动。更具体地说,光源移动组件140允许光源120沿与调制器110相同的方向(第一轴线方向)移动相同的距离,从而调制器110和光源120沿垂直方向(图3中的第三轴线方向)继续彼此面对。
此处,虽然调制器110可以以与光源120不同的速度移动,但是更有利的是,调制器110和光源120两者以相同的速度移动。通过将调制器110和光源120布置成彼此面对,可以缩短将调制器110和光源120重新布置成彼此垂直所用的时间,因此也可以缩短检测电极中是否存在缺陷所用的时间。
光源移动组件140包括轨道142和移动板141。
轨道142沿第一轴线延伸,该第一轴线与基板10移动所沿的第二轴线垂直。
移动板141连接于光源120。移动板141沿第一轴线方向可移动地连接于轨道142。但是,光源移动组件140的结构不限于轨道142和移动板141。
调制器移动组件130移动调制器110,并且光源移动组件140移动光源120以将其放置在与调制器相同的位置,从而调制器110和光源120相对于基板10移动。因此,当待测试的基板10被放置于调制器110与光源120之间时,调制器110和光源120停止移动预定长的时间,并且调制器110和相应的光源120中的每一个均检测基板10的特定区域中是否存在缺陷。然后,在给定的时间之后,调制器110和光源120移动到基板10的另一区域并停止移动,以检测在基板的该区域中是否存在缺陷。阵列测试装置100重复这样的操作以测试整个基板10。
阵列测试装置100可以包括基板支撑单元150。基板支撑单元150抵靠于基板10上,并且设置于光源120与基板10之间。如果存在任何电缺陷,则待测试的基板10所抵靠的基板支撑单元150测试基板10。基板支撑单元150可以由透明材料制成,因为透明材料能够使得从光源120发射的光通过基板10并到达调制器110。
再次参照图2,根据示例性实施例的阵列测试装置100可以包括装载单元160和卸载单元170,以将基板10供应给调制器110以便测试。
装载单元160形成于基板支撑单元150的一侧,并且将基板10朝向基板支撑单元150传送。另外,装载单元160可以包括至少两个或多个装载板161。装载板161间隔地并排设置,从而基板10能够抵靠于装载板161上或者能够通过间隔的装载板161而被移动至调制器110。
卸载单元170形成于设置装载单元160的基板支撑单元150的另一侧,并且将已在其上完成缺陷检测测试的基板10卸载。已在其上完成缺陷检测测试的基板10抵靠于卸载板171上或者以预定间隙浮于卸载板上方以便移动。
在这种情况下,装载单元160的装载板161和卸载单元170的卸载板171各自可以包括多个第一气孔162和第二气孔172,以便向基板10提供给定压力,使得基板10与装载板161隔开预定距离。而且,装载单元160和卸载单元170可以包括至少一个第一吸附单元163和第二吸附单元(图2中未示出)。
另外,基板支撑单元150可以包括多个第三气孔151。第三气孔151向基板10提供预定量的压力,使得基板10在移动时与基板支撑单元150隔开预定距离。另外,基板支撑单元150可以包括至少一个第三吸附单元152,以便固定于正在进行测试的基板10上。
在另一实施例中,虽然图中未示出,但是调制器110可以包括传送基板、调制器电极层、以及电材料层。
传送基板、调制器电极层、以及电材料层按照离基板最远到最近的顺序布置。也就是说,如图3所示,当调制器被放置于基板10上方时,传送基板、调制器电极层、以及电材料层按照从顶部到底部的顺序形成。
传送基板由光能够通过的材料形成,通常该材料是诸如石英和BK-7的透明物质。透明基板的背面具有稍后将描述的调制器电极层和电材料层。因此,传送基板由具有刚性的材料形成,以便支撑调制器电极层和电材料层。
调制器电极层形成电极和电磁场,该电极和电磁场形成于基板10上。由于调制器电极层成为光路,所以它需要具有高透光率。调制器电极层的实例可以包括氧化铟锡(ITO)或者纳米碳管(CNT)。
调制器电极层与形成于一般面板上的共用电极作用一样。共用电极在面板电极之间产生电磁场。同样地,电能施加于调制器电极层以及面板电极,并在调制器电极层与面板电极之间产生电磁场。因此,当阵列测试装置100测试面板中是否存在缺陷时,调制器电极层和面板电极可以被设置成通过所供应的电能而彼此电连接。
电材料层根据电磁场的大小来改变从光源120发射的光的量。更具体地说,当产生电磁场时,电材料层使其分子沿电场的方向排列,因而光通过电材料层。可替换地,当未产生电磁场时,电材料层的分子不规则地排列,并且电材料层不允许光通过。也就是说,根据是否存在电磁场,可选择地允许光通过,并且在电材料层上形成预定图样(form)。电材料层可以包括聚合物分散液晶(PDLC)。PDLC用于根据光散射程度来调节光的传输,并且由于该特性,PDLC适用于电材料层。但是,电材料层的材料不限于PDLC,可以使用包括无机电致发光(EL)和液晶的各种类型的面板。
显然,在不脱离本发明的精神或范围的前提下,本领域技术人员可以对本发明进行多种修改和变型。因此,本发明旨在覆盖在所附的权利要求及其等同物的范围内所提供的该发明的修改和变型。

Claims (4)

1.一种阵列测试装置,包括:
至少一个调制器,其设置于待测试的基板的一侧,并且沿第一轴线移动;以及
至少一个光源,.其具有的尺寸与所述调制器的尺寸相对应,设置成与所述调制器一一对应并向相应的调制器发射光,并且当在所述基板上进行测试时所述光源被移动到与所述调制器相同的位置。
2.根据权利要求1所述的阵列测试装置,进一步包括:
调制器移动组件,其沿第一轴线移动所述调制器;以及
光源移动组件,其使所述光源与所述调制器联合移动。
3.根据权利要求1所述的阵列测试装置,其中所述调制器包括:
传送基板;调制器电极层,在其自身与形成于所述基板上的电极之间形成电磁场;以及电材料层,其根据所述电磁场的大小改变从所述光源发射的光的量,并且所述传送基板、所述调制器电极层和所述电材料层按照离所述基板最远到最近的顺序布置。
4.根据权利要求1所述的阵列测试装置,进一步包括:
基板支撑单元,其介于所述光源与所述基板之间,并抵靠于所述基板上,且由透明材料制成以允许从所述光源发射的光到达所述基板。
CN2008101817758A 2008-08-04 2008-12-08 阵列测试装置 Expired - Fee Related CN101419373B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020080076203 2008-08-04
KR1020080076203A KR101470591B1 (ko) 2008-08-04 2008-08-04 어레이 테스트 장치
KR10-2008-0076203 2008-08-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101419373A true CN101419373A (zh) 2009-04-29
CN101419373B CN101419373B (zh) 2012-03-21

Family

ID=40630223

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008101817758A Expired - Fee Related CN101419373B (zh) 2008-08-04 2008-12-08 阵列测试装置

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101470591B1 (zh)
CN (1) CN101419373B (zh)
TW (1) TWI391665B (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102072991A (zh) * 2009-11-20 2011-05-25 塔工程有限公司 具有探针棒更换单元的阵列测试装置
CN102103277A (zh) * 2009-12-18 2011-06-22 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN102117589A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN102568359A (zh) * 2010-12-30 2012-07-11 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN103093715A (zh) * 2011-11-08 2013-05-08 塔工程有限公司 阵列测试装置
US11404497B2 (en) 2017-03-30 2022-08-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102612272B1 (ko) 2016-12-15 2023-12-11 세메스 주식회사 프로브 모듈 및 이를 포함하는 어레이 테스트 장치
KR102218403B1 (ko) * 2019-05-14 2021-02-23 주식회사 탑 엔지니어링 캘리브레이션 시스템 및 모듈레이터의 캘리브레이션 방법

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002365252A (ja) * 2001-06-12 2002-12-18 Nippon Sheet Glass Co Ltd マイクロ化学システム
KR100479525B1 (ko) * 2002-12-31 2005-03-31 엘지.필립스 엘시디 주식회사 다수의 어레이셀을 포함하는 액정표시장치용 기판 및 이의 제조방법
US7355418B2 (en) * 2004-02-12 2008-04-08 Applied Materials, Inc. Configurable prober for TFT LCD array test
JP4443337B2 (ja) * 2004-07-22 2010-03-31 株式会社バンダイナムコゲームス 表示装置及びゲーム装置
KR100748108B1 (ko) * 2005-02-23 2007-08-09 참앤씨(주) 음극선관용 패널의 검사장치 및 그 방법
JP2006266722A (ja) * 2005-03-22 2006-10-05 Olympus Corp 基板検査システム及び基板検査方法
KR200400962Y1 (ko) * 2005-08-31 2005-11-09 주식회사 디이엔티 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치
WO2007094627A1 (en) * 2006-02-15 2007-08-23 Dongjin Semichem Co., Ltd System for testing a flat panel display device and method thereof
KR20080028592A (ko) * 2006-09-27 2008-04-01 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장비
KR100756229B1 (ko) * 2006-10-26 2007-09-07 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장비
KR100822895B1 (ko) * 2007-10-05 2008-04-16 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치용 모듈레이터

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102072991A (zh) * 2009-11-20 2011-05-25 塔工程有限公司 具有探针棒更换单元的阵列测试装置
CN102103277A (zh) * 2009-12-18 2011-06-22 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN102117589A (zh) * 2009-12-31 2011-07-06 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN102568359A (zh) * 2010-12-30 2012-07-11 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN103093715A (zh) * 2011-11-08 2013-05-08 塔工程有限公司 阵列测试装置
CN103093715B (zh) * 2011-11-08 2017-08-22 塔工程有限公司 阵列测试装置
US11404497B2 (en) 2017-03-30 2022-08-02 Samsung Display Co., Ltd. Organic light emitting display device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101470591B1 (ko) 2014-12-11
TWI391665B (zh) 2013-04-01
TW201007168A (en) 2010-02-16
CN101419373B (zh) 2012-03-21
KR20100015248A (ko) 2010-02-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101419373B (zh) 阵列测试装置
US9693419B2 (en) Light source substrate, display apparatus, and light source substrate inspection method
KR101036112B1 (ko) 프로브 바 자동교체 유닛을 구비한 어레이 테스트 장치
KR101288457B1 (ko) 어레이 테스트 장치
CN102117588A (zh) 阵列测试装置
JP2008134238A (ja) アレイテスト装置
CN102117589A (zh) 阵列测试装置
CN101506719A (zh) 背光单元及具有背光单元的显示设备
US8419258B2 (en) Light guide plate, and backlight unit
CN101299125B (zh) 阵列测试器
KR20080017537A (ko) 백라이트 어셈블리 및 이를 갖는 표시 장치
CN104616611A (zh) 点灯检测设备及点灯检测方法
TW201202721A (en) Array test apparatus
CN103913875B (zh) 液晶显示装置的自动粘合系统以及自动粘合方法
KR100903530B1 (ko) 어레이 테스트 장비
US20110037685A1 (en) Display apparatus including sub-light source groups
US8988634B2 (en) Optical film and liquid crystal display device comprising the same
CN103170434A (zh) 密封胶涂布机
US20070046319A1 (en) LCD inspection apparatus
KR100932751B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR100822895B1 (ko) 어레이 테스트 장치용 모듈레이터
KR101207029B1 (ko) 어레이 테스트 장치
KR20210054635A (ko) 검사 방법 및 검사 장치
CN103672746A (zh) 导光板、背光模组及液晶显示装置
KR101763622B1 (ko) 글라스패널 이송장치 및 글라스패널 이송장치를 구비한 어레이 테스트 장치

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120321

Termination date: 20201208